JP2005322582A - Microwave heating device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、物質にマイクロ波を照射し、これを加熱するマイクロ波加熱装置に係り、特にマイクロ波加熱によって円管状の誘電体、またはこの円管に接する流体を加熱し、それによって化学反応を促進するマイクロ波加熱装置に関する。 The present invention relates to a microwave heating apparatus that irradiates a substance with microwaves and heats the substance, and in particular, heats a cylindrical dielectric or a fluid in contact with the circular pipe by microwave heating, thereby causing a chemical reaction. It relates to a microwave heating device that promotes.
マイクロ波は、電子レンジを始め、産業用の加熱炉の加熱源として広く利用されている。マイクロ波は、物質に含まれる水を加熱するだけでなく、極性をもつ誘電物質に作用してこれを選択的に加熱するので、被加熱物の直接加熱が可能で、短時間で効率よく被加熱物を加熱する能力を持っている。
加熱には周波数が2,450MHzのマイクロ波を使用するのが一般的である。この周波数のマイクロ波は、波長が12cm程度であるため、通常、加熱温度にムラが生じ、これを均一化することが求められている。加熱均一化の目的を果たすために、マイクロ波の反射を時間的に変化させたり、被加熱物を移動させる等を行って、マイクロ波と物質の相互の位置関係を時間的に変える手段が一般に用いられている。
一方、化学反応を促進する場合、加熱は品質を左右する重要な操作因子であり、また、最もエネルギーを消費する操作の一つである。
一般に加熱は、反応装置内に物質を置いて行われる。この場合、反応装置全体を加熱しなければならず、多大な無駄なエネルギーを消費する要因となっている。また、触媒反応の場合、重要なのは触媒とその触媒の近傍にある物質の温度であり、そのような部分のみを選択的に加熱加熱することが望ましいが、このようなことが従来の加熱手段で不可能であったことも、加熱に余計なエネルギーを消費する要因となっていた。
化学反応を促進するための加熱操作をマイクロ波加熱により行う技術が近年提案されている。例えば、特許文献1には、マイクロ波発生器、マイクロ波をアプリケータに誘導する導波路、処理されるサンプルを保持するアプリケータと、これらの導波路、サンプル、アプリケータと協働して共振空胴を形成する回転可能なデフレクタを含むマイクロ波加熱装置が開示されている。このシステムは加熱プロセス中にデフレクタを回転させ、誘電率が変動するサンプルに対し、単一モードの共振条件を満たすように工夫している。デフレクタはマイクロ波の反射を計測してそれを利用して調整されるが、この方法では、共振状態のほかに負荷変動に伴うインピーダンスの変化も含んでしまうので的確な方法とは言えない。
ところで、一般に、化学反応を促したい流体を流す管は通常、円形断面を呈している。このような流体にマイクロ波を照射して選択加熱が行えれば、エネルギー消費の大幅な削減が期待できる。マイクロ波による流体加熱については、通常の用途、例えば水負荷のような形態では特に均一加熱の必要はないが、化学反応を主目的とする用途では、一般に、温度が反応に大きく関係するので、均一に加熱することが強い要求となってくる。しかし、流体を流通させる円管あるいはこれに接する流体に対して、マイクロ波による均一加熱を実行できる加熱装置に関する文献は、出願人の調査の限りにおいて見出すことができない。
In general, microwaves having a frequency of 2,450 MHz are used for heating. Since the microwave of this frequency has a wavelength of about 12 cm, the heating temperature is usually uneven, and it is required to make it uniform. In order to achieve the purpose of uniform heating, a means to change the positional relationship between the microwave and the substance in time by changing the reflection of the microwave in time or moving the object to be heated is generally used. It is used.
On the other hand, when promoting chemical reactions, heating is an important operating factor that affects quality, and is one of the most energy consuming operations.
In general, heating is performed by placing a substance in a reaction apparatus. In this case, the entire reaction apparatus must be heated, which is a factor that consumes a large amount of wasted energy. In the case of catalytic reaction, what is important is the temperature of the catalyst and the substance in the vicinity of the catalyst, and it is desirable to selectively heat and heat only such a portion. It was also impossible to consume extra energy for heating.
In recent years, a technique for performing a heating operation for promoting a chemical reaction by microwave heating has been proposed. For example,
By the way, generally, the pipe | tube which flows the fluid which wants to accelerate | stimulate a chemical reaction usually has a circular cross section. If selective heating can be performed by irradiating such a fluid with microwaves, a significant reduction in energy consumption can be expected. For fluid heating by microwaves, there is no need for uniform heating in normal applications, for example, in the form of water load, but in applications where the main purpose is a chemical reaction, the temperature is generally related to the reaction. Uniform heating is a strong demand. However, literature relating to a heating device capable of performing uniform heating by microwaves on a circular pipe through which a fluid flows or a fluid in contact with the circular pipe cannot be found as far as the applicant's investigation.
この発明は、上記のような背景と要求のもとになされたものであり、マイクロ波によって、円管に接する流体を高効率で均一に加熱する新しい手段を提供することを目的とする。 The present invention has been made based on the background and demands described above, and an object thereof is to provide a new means for uniformly and efficiently heating a fluid in contact with a circular tube by a microwave.
請求項1に記載された発明においては、上記課題を解決するため、マイクロ波が導入される空間を円筒状の空胴共振器内に形成し、その中に誘電体の円管を同軸的に配設する。空胴共振器内に、大きさが円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、向きが中心軸に平行な軸対象マイクロ波電界を発生させることによって円管を加熱し、これに接する流体の化学反応を促進させるようにマイクロ波加熱装置を構成する。
In the invention described in
請求項2に記載された発明は、マイクロ波が導入される空間を円筒状の空胴共振器内に形成し、その中に、流体に接する誘電体の円管を同軸的に配設する。空胴共振器内に、円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、電気力線が円周に沿いあるいはこの円周と同軸状となる軸対称電界を発生させることによって、円管を加熱し、これに接する流体の化学反応を行わせるようにマイクロ波加熱装置を構成する。 According to the second aspect of the present invention, a space into which a microwave is introduced is formed in a cylindrical cavity resonator, and a dielectric circular tube in contact with the fluid is coaxially disposed therein. By generating an axisymmetric electric field in the cavity resonator that is constant along the circumference and does not change in the axial direction, and the electric lines of force are along the circumference or coaxial with the circumference, A microwave heating apparatus is configured to heat a circular tube and cause a chemical reaction of a fluid in contact with the circular tube.
請求項3に記載された発明は、請求項1または2に記載のマイクロ波加熱装置において、空胴共振器の端部側壁に開口を設け、この開口を円管が貫通して空胴共振器の外部へ伸びるように構成する。その際、開口の大きさを電磁波が遮断状態となるように設定する。この円管内に流体を流通させ、円管をマイクロ波で加熱することにより流体を間接加熱し、この流体の化学反応を回転対称的に促進するようにした。 According to a third aspect of the present invention, in the microwave heating apparatus according to the first or second aspect, an opening is provided in an end side wall of the cavity resonator, and a circular tube passes through the opening to form the cavity resonator. It is configured to extend to the outside. At that time, the size of the opening is set so that the electromagnetic wave is cut off. A fluid was circulated in this circular tube, and the circular tube was heated with microwaves to indirectly heat the fluid, and the chemical reaction of this fluid was promoted rotationally symmetrically.
請求項4に記載された発明は、請求項1ないし3の何れかに記載のマイクロ波化学反応装置において、空胴共振器に対し、金属または誘電体からなる共振周波数調整部材を、空胴共振器内への突出量を調整可能に挿入することにより、空胴共振器の共振周波数を調整可能とした。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the microwave chemical reaction device according to any one of the first to third aspects, wherein a resonance frequency adjusting member made of a metal or a dielectric is provided with respect to the cavity resonator. The resonant frequency of the cavity resonator can be adjusted by inserting the amount of protrusion into the chamber in an adjustable manner.
請求項5に記載された発明は、請求項1ないし4の何れかに記載のマイクロ波加熱装置において、空胴共振器内に、電磁界を検出する検出素子を挿入し、その検出した電磁界強度に基づいて共振周波数を手動又は自動調整できるようにした。 According to a fifth aspect of the present invention, in the microwave heating apparatus according to any one of the first to fourth aspects, a detection element for detecting an electromagnetic field is inserted into the cavity resonator, and the detected electromagnetic field The resonance frequency can be adjusted manually or automatically based on the intensity.
請求項6に記載された発明は、請求項1ないし3の何れかに記載のマイクロ波加熱装置において、円管の少なくとも一部に、マイクロ波を吸収して昇温する昇温物質を塗工、含浸、膜生成するなどして担持させ、これを空胴共振器内に発生するマイクロ波電界によって、回転対称的に加熱し、円管内の流体の化学反応を促進するようにした。 A sixth aspect of the present invention is the microwave heating apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein a temperature rising material that absorbs microwaves and raises the temperature is applied to at least a part of the circular tube. It was carried by impregnation, film formation, etc., and this was heated in a rotationally symmetrical manner by a microwave electric field generated in the cavity resonator to promote the chemical reaction of the fluid in the circular tube.
請求項7に記載された発明は、請求項1ないし3の何れかに記載のマイクロ波加熱装置において、円管の少なくとも一部に、流体の化学反応を促進するための触媒を塗工、含浸、膜生成するなどして担持させ、この触媒を選択的に加熱することにより流体の化学反応を促進するようにした。
The invention described in
請求項8に記載された発明は、請求項1ないし3の何れかに記載のマイクロ波加熱装置において、円管の少なくとも一部に、マイクロ波を吸収して昇温する昇温物質と流体の化学反応を促進するための触媒とを塗工、含浸、膜生成するなどして担持させた。 According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the microwave heating apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein at least a part of the circular tube absorbs the microwave and raises a temperature rising substance and a fluid. A catalyst for promoting a chemical reaction was supported by coating, impregnating, or forming a film.
請求項9に記載された発明は、請求項1ないし5の何れかに記載のマイクロ波加熱装置において、円管の少なくとも一部を、誘電体からなる外側円管で同軸的に包囲させ、この両円管を空胴端部側壁と気密となるように構成することによって、外側円管と円管との間に他の流体を収容する流体空間を形成し、かつ円管は流体空間内において少なくとも一部をポーラスにし、円管内に収容された流体と流体空間内に収容された他の流体とを、円管のポーラスな部位を介して合流可能となるように構成した。 According to a ninth aspect of the present invention, in the microwave heating apparatus according to any one of the first to fifth aspects, at least a part of the circular tube is coaxially surrounded by an outer circular tube made of a dielectric material. By constructing both the circular tubes so as to be airtight with the cavity end side wall, a fluid space for accommodating other fluid is formed between the outer circular tube and the circular tube, and the circular tubes are formed in the fluid space. At least a part is made porous, and the fluid accommodated in the circular tube and the other fluid accommodated in the fluid space are configured to be able to merge through the porous portion of the circular tube.
請求項10に記載された発明は、請求項9に記載のマイクロ波加熱装置において、円管の流体空間内における少なくとも一部に、マイクロ波を吸収して昇温する昇温物質を塗工、含浸、膜生成するなどして担持させ、空胴共振器内に発生するマイクロ波電界によって、この昇温物質を選択的に加熱するようにした。
The invention described in
請求項11に記載された発明は、請求項9に記載のマイクロ波加熱装置において、円管の流体空間内における少なくとも一部に、流体の化学反応を促進するための触媒を塗工、含浸、膜生成する構成にした。
The invention described in
請求項12に記載された発明は、請求項9に記載のマイクロ波加熱装置において、円管の流体空間内における少なくとも一部に、マイクロ波を吸収して昇温する物質と前記流体の化学反応を促進するための触媒とを塗工、含浸、膜生成する構成にした。
The invention described in
請求項13に記載された発明においては、上記課題を解決するため、マイクロ波が導入される空間を円筒状の空胴共振器内に形成し、その中に、誘電体の円管を同軸的に配設する。空胴共振器内に、円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、電気力線が軸方向に向かう電界を発生させ、これにより円管内に収容された流体を加熱するようにマイクロ波加熱装置を構成する。 According to the thirteenth aspect of the present invention, in order to solve the above-described problem, a space into which a microwave is introduced is formed in a cylindrical cavity resonator, and a dielectric circular tube is coaxially formed therein. It arranges in. In the cavity resonator, a constant electric field along the circumference does not change in the axial direction, and an electric field line generates an electric field directed in the axial direction, thereby heating the fluid contained in the circular tube. A microwave heating apparatus is configured in the above.
請求項1に記載された発明においては、空胴共振器内において、円周に沿って一定で、軸方向に向かう電界を発生させ、流体に接する円管の均一で効率的な回転対称加熱を可能とした。 In the first aspect of the present invention, a uniform and efficient rotationally symmetric heating of the circular tube in contact with the fluid is generated in the cavity resonator by generating a constant electric field in the axial direction along the circumference. It was possible.
請求項2に記載された発明においては、空胴共振器内において、流体が接する誘電体の円管に対し、円管の円周に沿って一定な、円周に沿う電界を発生させ、均一で効率的な回転対称加熱を可能とした。
In the invention described in
請求項3に記載された発明においては、円管内に被加熱物としての流体を流通させて、均一で選択的に直接又は間接加熱することができるので高効率で均一な処理が可能になる。
In the invention described in
請求項4に記載された発明においては、被加熱物の性質や加熱状態に応じて変化する共振周波数を調整する手段を提供することで、常に最適の加熱効率が得られる。
In the invention described in
請求項5に記載された発明においては、空胴共振器内の電磁界を検出素子で検出しこれに基づき共振周波数を手動又は自動調整することで、常に最適の加熱効率が得られる。
In the invention described in
請求項6に記載された発明においては、例えば、円管内に収容された流体がマイクロ波を吸収しない物質であるような場合でも、円管が担持する昇温物質が選択的に加熱されるので、これによって円管内の流体等の被加熱物を間接加熱することができるとともに、回転対称的に化学反応を行わせることができる。
In the invention described in
請求項7に記載された発明においては、円管が担持する触媒により、流体の化学反応を促進することができる。
In the invention described in
請求項8に記載された発明においては、円管が担持する触媒と昇温物質により、流体に対する触媒作用と加熱操作を確実に並立させることができる。
In the invention described in
請求項9に記載された発明においては、異なる2流体を隔てる円管をポーラスなものとすることにより、このポーラスな部位を介して2流体を合流させ化学反応を行わせることができる。
In the invention described in
請求項10に記載された発明においては、異なる2流体を合流させ、円管が担持する昇温物質で確実に2流体を間接加熱して化学反応を促進することができる。
In the invention described in
請求項11に記載された発明においては、異なる2流体を合流させ、円管が担持する触媒の作用で、2流体の化学反応を促進することができる。
In the invention described in
請求項12に記載された発明においては、異なる2流体を合流させ、円管が担持する触媒と昇温質による触媒作用と加熱作用で2流体の化学反応をより確実に促進することができる。
In the invention described in
請求項13に記載された発明においては、空胴共振器内において、誘電体の円管内に収容される流体に対し、円管の円周に沿って一定で、軸方向に向かう電界を発生させ、均一で効率的な加熱を可能とした。 In a thirteenth aspect of the invention, in the cavity resonator, an electric field directed in the axial direction is generated along the circumference of the circular tube for the fluid contained in the dielectric circular tube. , Enabling uniform and efficient heating.
図面を参照してこの発明の一実施形態を説明する。図1はこの発明の基本構造を示す説明図、図2は誘電体円管の内表面におけるマイクロ波電界を示す説明図、図3は誘電体内外における電界の連続性を示す説明図、図4は空胴共振器の軸方向端部に設けた開口の詳細を示す断面図、図5は空胴共振器の周波数調整機構を示す説明図、図6は空胴共振器と導波管の結合方法の一実施例を示す斜視図、図7は空胴共振器と導波管の結合スロットを示す正面図、図8は空胴共振器と導波管の他の結合方法の一実施例を示す説明図、図9、図10はそれぞれ加熱装置の他の実施形態を示す説明図である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is an explanatory view showing the basic structure of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing a microwave electric field on the inner surface of the dielectric tube, FIG. 3 is an explanatory view showing the continuity of the electric field inside and outside the dielectric, and FIG. Is a cross-sectional view showing details of an opening provided at the end of the cavity resonator in the axial direction, FIG. 5 is an explanatory diagram showing a frequency adjusting mechanism of the cavity resonator, and FIG. 6 is a coupling of the cavity resonator and the waveguide. FIG. 7 is a front view showing a coupling slot between a cavity resonator and a waveguide, and FIG. 8 is an embodiment of another coupling method of the cavity resonator and the waveguide. FIG. 9 and FIG. 10 are explanatory views showing other embodiments of the heating device, respectively.
図1において、マイクロ波の空胴共振器1は、金属製の円筒状側壁2と、その軸線方向両端を電磁波的に密閉する端部側壁3で構成される。液体、気体のような流体Aを収容する誘電体の円管4は、空胴共振器1内に同軸的に配置される。空胴共振器1内には、導波管5からマイクロ波が導入され、内部にTE010モードかTM010モード、もっと一般的には、TE0ns、TM0nsモードが励起される。これにより、誘電体円管4と共に、内部の流体Aがマイクロ波によって間接的または直接的に加熱される。ここにn、sは整数である。TE010モードを励起した場合、電界は円周に沿うかあるいはこの円周と同軸的に分布しており、円周に沿って、また軸方向に対して大きさが変化せず、TM010モードの場合、電界は軸方向に向かい、円周に沿って、また軸方向に対し大きさが変化しない。TE010とTM010では、後者の方が空胴の大きさをより大きくできる利点をもっている。nは半径方向、sは中心軸方向に対し、変化する次数を示す。誘電体円管2の半径方向の一部、例えば内面を選択的に加熱するような用途や、誘電体円管2内を通る被加熱流体が層流でない場合にnは1である必要はないが、一般的にはn=1であることが望ましい。流体の場合、加熱されながら円管4内を軸方向に流れるので、周期的な加熱が行われることになる。したがって、この場合、sは0である必要はない。しかしながら、例えば円管の内面に触媒を塗工するような用途では、s=0であることが要求される。
In FIG. 1, a
図2において、矢印6は、空胴共振器1内にTM010モードを励起したときに発生する軸方向電界の向きを示している。図は軸方向に向かう電気力線を一つ選んで代表的に表示したものであるが、このモードの電気力線の大きさは円周に沿っても軸方向に対しても変化せず一定である。また矢印7は、TE010モードを励起した際に発生する円周に沿う電界を示しており、同様に電気力線の大きさは円周に沿っても軸方向に対しても変化せず一定である。rが図示の値と異なる部分の電気力線は7と同軸的になっている。
In FIG. 2, an
図3において、8は誘電体、矢印9は電界を示している。電磁波の境界条件から、誘電体8の内外のマイクロ波は、誘電体表面に対する平行成分が連続で、垂直成分に関しては、誘電体外の誘電率と電界の積と誘電体内の誘電率と電界の積が連続である。したがって、被加熱物の誘電率が外部の誘電率に比較して大きい場合、両者の比に応じて誘電体8内の電荷が弱くなる。すなわち、図3(a)のように誘電体表面に平行な電界は誘電体8の内外で大きさが等しいが、図3(b)のように、誘電体表面に垂直となる電界は、誘電体外の物質の比誘電率が1、誘電体自身の比誘電率をεとすると、誘電体外の電界の大きさの1/εに弱まる。図3(c)のように、誘電体表面に対し斜めに入射する電界は、平行成分が連続で、垂直成分が1/εとなるので向きが変化する。マイクロ波による加熱は電界の2乗に比例するから、これを考慮すると、境界の電界の向きは境界面に平行でなければならない。この要件を満たすために、被加熱物が円筒面を持つ場合、電界を軸方向に向けるか円周に沿うようにする必要がある。上記TE010、TM010モードの電界はこの条件を満足している。
In FIG. 3, 8 indicates a dielectric, and an
図4に示す実施形態において、1は円筒状空胴共振器で、円筒状側壁2と端部側壁3からなる。4は誘電体円管で、空胴共振器1内に同軸的に配設される。端部側壁3の中心には、電磁波が十分遮断状態となる径を持つ円形の小さい開口3aがある。なお、誘電体円管4の外径は端部側壁3の開口3aの内径と一致させる必要はないが、図では説明の便宜上、等しく描いてある。また、一般には円管4が開口3aを貫通する必要はないが、この実施形態では被加熱物流体Aを流通させる用途を想定しているので貫通するようになっている。
In the embodiment shown in FIG. 4,
開口3aは、電磁波が遮断状態となるのに十分な程に小さく設定される。開口3aを包囲する鍔状の金具10を端部側壁3の外側に付設して実効的に端部側壁3の厚さを増すことにより、確実に電波漏れを抑制する効果を増すことができる。誘電体円管4内には図の上下方向に流体が流れるようになっている。
円管4をマイクロ波電力の無損失な部材で構成すれば、円管4内の流体Aを直接加熱することができる。流体Aの誘電率が大きいと、実効的に寸法を大きくした効果が出るので、その分、円管4や空胴共振器1の径方向の寸法を小さくしなければならない。流体A内の電界は半径方向で変化するが、TE010 やTM010の場合、その変化は比較的小さく、したがって径方向に対してもほぼ均一な加熱ができる。なお、電界の径方向の分布状態は、流体の誘電率や誘電損によっても相応の影響を受ける。
The opening 3a is set to be small enough for the electromagnetic wave to be blocked. By attaching the bowl-shaped metal fitting 10 surrounding the opening 3a to the outside of the
If the
円管4がマイクロ波を吸収して昇温する材質である場合は、内部に流れる流体Aを間接加熱することができる。熱は順調に流体Aに伝達される。円管4自身が円周方向にも軸方向にもほぼ均等に加熱されるので、流体Aが層流で流体自身の熱伝導が悪くない限りほぼ均一に間接加熱される。
When the
図5は共振周波数を調整する手段を示している。金属または誘電体製の周波数調整片11を円筒状側壁のスロット2aから空胴共振器1内に矢印の方向に沿って挿入することによって共振周波数を調整する。空胴共振器1の円筒状側壁2に流れる電流は軸方向であるから、側壁2が所定の厚みを有していれば、側壁にスロット状の開口2aを設けても電磁波の漏れは十分小さい。周波数調整片11を挿入するときは、これが一種のアンテナになって電波漏洩策が必要となる場合がある。その場合、例えば図4のフランジ金具7を開口2aに沿って展開した形状の漏洩防止金具を付設するような対策が有効である。
FIG. 5 shows a means for adjusting the resonance frequency. The resonance frequency is adjusted by inserting a
調整片11、平板状でも棒状でもよい。調整片11が比較的小径の棒状である場合には、空胴共振器1の円筒状側壁2だけでなく、端部側壁3から挿入してもよい。
The
空胴共振器1に小さい穴を開けても、あるいは、特にTM010共振空胴の場合は軸方向にスロットを切ってもよいので、このような開口からループを挿入して空胴内の電磁界の大きさを検出することができる。この信号が最大となるように周波数調整片11の位置を調整して同調をとることが可能である。このようにして、常に同調を確保できる。電気的なフィードバック系を使用すれば、自動調整が可能である。
A small hole may be made in the
図6の実施形態において、導波管5は、空胴共振器1の軸方向の中心部に結合している。このように軸方向に対称的に結合させることにより、TM010モードの近接モードであるTM011モードの発生を阻止でき、その分モード分離がよくなるという利点が生まれる。
In the embodiment of FIG. 6, the
図7は導波管5の正面から空胴共振器1を見た図である。導波管5は、終端が導波管の管軸方向に対し直角な短絡板12で短絡されている。この短絡板12は空胴共振器1の円筒状側壁2と一体化されており、中央に空胴共振器1の管軸方向に伸びる結合スロット13が設けられている。このスロット13により空胴共振器1内にTM010モードを発生する。
FIG. 7 is a view of the
図8の実施形態においては、空胴共振器1に対し導波管14が結合されている。この導波管14は、通常、標準導波管より高さが低い扁平導波管で、図に示すように、空胴共振器1の軸方向の中間部に結合されている。電界は図の水平方向に向かっている。導波管14の終端部には、結合のための開口15設けられ、この開口15を介して共振器1内にTE010モードが励起される。結合の位置を軸方向中間部としたのは隣接モードであるTE011が励起されないようにするためであり、これによってモード分離が改善される。開口15の幅Wと高さHは目的のTE010モード分布が得られるように適切に定められる。
In the embodiment of FIG. 8, a
空胴共振器1にTE010モードを励起する方法としては、モード変換器を用いる方法がある。この場合は、空胴共振器1の軸方向端部側壁3にモード変換器を取り付け、この方向から空胴に電磁波を励起することになる。また、空胴共振器1の直径は、内部の誘電体の効果によって比較的小さくなるので、径を合わせるためテーパ、ステップ導波管、結合共振器等の直径を変換するデバイスが必要である。
As a method for exciting the TE010 mode in the
図9は単一の流体Aを誘電体円管4内に流通させる形態を示している。誘電体円管4の内面に、電磁波を吸収して昇温する触媒16が塗工あるいは成膜され、又は含浸されている。空胴共振器1内に例えばTM010モードの電磁界を励起すると、触媒16が流体Aと共に均一に加熱される。適切に加熱された触媒16は流体Aに接してその化学反応を促進する。
FIG. 9 shows a form in which a single fluid A is circulated in the
図10に示すように、円管4をポーラスな部材とし、その外側に第2の誘電体円管である外側円管17を設け、その両端を閉塞する。外側円管17は流体Bの入口17a、出口17bを有する。両円管4,17間に流体の収容空間18が形成される。第1の流体が円管4を通って図の上下方向に流れ、流体収容空間18を流れる第2の流体Bが、ポーラスな円管4の側壁を透過して第1の流体Aと合流する。流体収容空間18内の第2の流体を適切に加圧すれば、第2の流体Bは円管2をスムーズに透過する。円管4に担持された触媒16は、第1、第2の流体A,B間の化学反応を促進する働きを担っている。触媒16がマイクロ波を吸収しにくい物質である場合には、これに加えて、マイクロ波を吸収して昇温しやすい昇温物質を円管4に担持させることができる。触媒16を担持させるのは、円管4の外表面だけでなく、内表面、またその組織内、内外両面であってもよい。
As shown in FIG. 10, the
また、特に円管4の誘電体損失を低くし、代わりに円管4の内部に流れる流体のマイクロ波損失を高くした場合でも境界条件によって、流体自身が円周に沿って、あるいは軸方向に関し均一に加熱される。TE010モードの場合は、中心軸上で電界がゼロになるので、半径方向の加熱が不均一になるが、TM010モードの場合は、中心に近づくにつれ電界が強くなる傾向を持っていて、全体として、円柱状の流体をほぼ均一加熱できることになる。この場合でも、円管4は流体の発熱によって、熱伝導で加熱されるので、内面に触媒を担持させておくと触媒の温度が上がり、流体の化学反応を促進させることができる。流体に化学反応させるべき物質を溶融もしくは混入し、または、必要に応じて触媒を溶融もしくは混入しておくと、マイクロ波の作用で化学反応が効率よくほぼ均一に進行する。この場合、誘電体としては、例えば、石英、テフロン(登録商標)などの熱伝導が悪く、マイクロ波損失の少ないを材料を選択できる。なお、このようなマイクロ波の吸収が少ない材料でも、わずかながら、マイクロ波を吸収して自ら昇温する。流体中の化学反応をおこさせる物質自身がマイクロ波を吸収して昇温しない場合は、エチレングリコール、水、アルコールのようなマイクロ波をよく吸収する溶媒を使ってもよい。このような構成によって、回転対称的に、また、軸方向、半径方向に対してもほぼ均一に流体を加熱でき、マイクロ波効果を与えて化学反応を促進できる。
In particular, even when the dielectric loss of the
この発明は、マイクロ波を用い、被加熱物を収容する誘電体円管の円周に沿って一定で管軸方向にもほぼ均一な電界を生じさせるので、誘電体円管を均一に加熱できるほか、それによって、誘電体円管の表面近傍を流れる流体を間接加熱し、あるいは収容する流体それ自体をも均一に加熱して流体の化学反応を均一に促進できる。化学反応装置の他、産業上広い応用展開が可能である。 This invention uses microwaves to generate a uniform electric field in the tube axis direction that is constant along the circumference of the dielectric tube that accommodates the object to be heated, so that the dielectric tube can be heated uniformly. In addition, the fluid flowing in the vicinity of the surface of the dielectric tube can be indirectly heated, or the contained fluid itself can be uniformly heated to uniformly promote the chemical reaction of the fluid. In addition to chemical reactors, a wide range of industrial applications are possible.
1 空胴共振器
2 円筒側壁
2a スロット
3 端部側壁
3a 開口
4 誘電体円管
5 導波管
6 矢印(軸方向マイクロ波電界)
7 矢印(円周方向マイクロ波電界)
8 誘電体
9 矢印
10 鍔状金具
11 周波数調整片
12 短絡板
13 スロット
14 導波管
15 結合スロット
16 触媒
17 外側誘電体円管
17a 流体入口
17b 流体出口
18 流体収容空間
DESCRIPTION OF
7 Arrow (circumferential microwave electric field)
8 Dielectric 9
Claims (13)
この空胴共振器内に同軸的に配設され、流体に接する誘電体からなる円管とを具備し、
前記空胴共振器の円筒状側壁における軸方向の中間位置に設けられた結合スロットにマイクロ波導波管が結合され、
前記空胴共振器内に、大きさが円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、向きが中心軸に平行な軸対称マイクロ波電界を発生させて、前記円管を加熱することにより前記流体の化学反応を進行させることを特徴とするマイクロ波加熱装置。 A cavity resonator composed of a metal cylindrical side wall and a metal end side wall that electromagnetically closes both axial ends of the cylindrical side wall;
It is coaxially arranged in the cavity resonator, and comprises a circular tube made of a dielectric material in contact with the fluid,
A microwave waveguide is coupled to a coupling slot provided at an axial intermediate position in the cylindrical side wall of the cavity resonator,
In the cavity resonator, the size is constant along the circumference and does not change with respect to the axial direction, and an axisymmetric microwave electric field whose direction is parallel to the central axis is generated to heat the circular tube. A microwave heating apparatus characterized in that the chemical reaction of the fluid proceeds.
この空胴共振器内に同軸的に配設され、流体に接する誘電体からなる円管とを具備し、
前記空胴共振器の円筒状側壁における軸方向の中間位置に設けられた結合スロットにマイクロ波導波管が結合され、
前記空胴共振器内に、大きさが円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、電気力線が円周に沿いあるいはこの円周と同軸状となる軸対称マイクロ波電界を発生させて、前記円管を加熱することにより前記流体の化学反応を進行させることを特徴とするマイクロ波加熱装置。 A cavity resonator composed of a metal cylindrical side wall and a metal end side wall that electromagnetically closes both axial ends of the cylindrical side wall;
It is coaxially arranged in the cavity resonator, and comprises a circular tube made of a dielectric material in contact with the fluid,
A microwave waveguide is coupled to a coupling slot provided at an axial intermediate position in the cylindrical side wall of the cavity resonator,
An axially symmetric microwave electric field in which the size is constant along the circumference and does not change in the axial direction in the cavity resonator, and the electric field lines are along the circumference or coaxial with the circumference. And a chemical reaction of the fluid is caused to proceed by heating the circular tube.
この空胴共振器内に同軸的に配設され、内部に被加熱流体を収容する誘電体からなる円管とを具備し、
前記空胴共振器の円筒状側壁における軸方向の中間位置に設けられた結合スロットにマイクロ波導波管が結合され、
前記空胴共振器内に、大きさが円周に沿って一定で軸方向に対しても変化せず、向きが中心軸に平行な軸対象マイクロ波電界を発生させて、前記円管内の被加熱流体を直接又は間接に加熱し、被加流体の化学反応を進行させることを特徴とするマイクロ波加熱装置。 A cavity resonator composed of a metal cylindrical side wall and a metal end side wall that electromagnetically closes both axial ends of the cylindrical side wall;
It is coaxially arranged in the cavity resonator, and comprises a circular tube made of a dielectric material that contains a fluid to be heated inside,
A microwave waveguide is coupled to a coupling slot provided at an axial intermediate position in the cylindrical side wall of the cavity resonator,
An axial target microwave electric field is generated in the cavity so that the size is constant along the circumference and does not change with respect to the axial direction, and the direction is parallel to the central axis. A microwave heating apparatus, wherein a heating fluid is directly or indirectly heated to advance a chemical reaction of a fluid to be added.
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---|---|
JP (1) | JP4759668B2 (en) |
Cited By (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007149404A (en) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | Microwave heating device |
JP2007261960A (en) * | 2006-03-01 | 2007-10-11 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Method for continuously producing higher fatty acid methyl ester from co2 |
JP2008173521A (en) * | 2006-08-09 | 2008-07-31 | Honda Electronic Co Ltd | Submerged plasma treatment apparatus and submerged plasma treatment method |
JP2008279415A (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Environment Technology Ventures Kk | Microwave heating unit |
JP2008302281A (en) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Shikoku Instrumentation Co Ltd | Microwave chemical reactor and method |
WO2009041431A2 (en) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Kabushiki Kaisha Idx | Microwave device |
JP2009097359A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Takumi:Kk | Microwave heating device for exhaust gas |
WO2009110245A1 (en) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | マイクロ波環境化学株式会社 | Microwave chemical reaction device and reaction method using said device |
CN101568206A (en) * | 2009-01-21 | 2009-10-28 | 徐艳姬 | Energy-saving easily-changeable high-temperature microwave heating chamber and manufacturing method thereof |
CN101568209A (en) * | 2009-01-21 | 2009-10-28 | 徐艳姬 | Microwave heater for heating liquid and/or gases |
JP2010095422A (en) * | 2008-10-19 | 2010-04-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Apparatus for producing hydrogen |
JP2010097884A (en) * | 2008-10-18 | 2010-04-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Microwave heating of conductive thin film |
JP2010207735A (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Microwave continuous irradiation method and apparatus to fluid |
JP2011137226A (en) * | 2009-12-05 | 2011-07-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Method for producing metal particulate |
JP2012052895A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Flow injection analysis device and flow injection analysis method |
WO2012043753A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 株式会社サイダ・Fds | Microwave device and flow tube thereof |
JP2012075996A (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Saida Fds Inc | Microwave device |
JP2012531450A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for acylation of organic acids with amino groups |
JP2012531451A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for the preparation of aliphatic carboxylic acid amides. |
JP2012531304A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Equipment for continuous chemical reactions at high temperatures |
JP2012531452A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Process for the continuous production of esters of aliphatic carboxylic acids |
JP2012531384A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for the production of esters of aromatic carboxylic acids |
JP2013019025A (en) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Method for manufacturing metal microparticle |
JP2013505125A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Equipment for continuous heterogeneous catalytic chemical reactions at high temperatures |
JP2013505275A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous transesterification process |
JP2013037882A (en) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Saida Fds Inc | Microwave device and circulation pipe thereof |
JP2013531862A (en) * | 2010-05-03 | 2013-08-08 | ゴジ リミテッド | Modal analysis |
JP2013236984A (en) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Device and method for vaporizing liquid |
KR101353872B1 (en) * | 2012-06-04 | 2014-01-21 | 주식회사 포스코 | Apparatus for heating fluid with microwave |
JP2014194955A (en) * | 2014-06-20 | 2014-10-09 | Saida Fds Inc | Microwave device |
US8884040B2 (en) | 2008-04-04 | 2014-11-11 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Continuous method for producing fatty acid amides |
US8946605B2 (en) | 2008-12-02 | 2015-02-03 | Zhejiang Twrd New Material Co., Ltd. | Microwave heating device and its application in chemical reactions |
US9039870B2 (en) | 2006-10-09 | 2015-05-26 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Method for producing alkaline (meth)acrylamides |
WO2015080812A1 (en) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Tubular waveguide applicator |
US9221938B2 (en) | 2010-12-30 | 2015-12-29 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Polymers carrying hydroxyl groups and ester groups and method for the production thereof |
US9243116B2 (en) | 2010-12-30 | 2016-01-26 | Clariant International Ltd. | Method for modifying polymers comprising hydroxyl groups |
JP2016130369A (en) * | 2016-02-10 | 2016-07-21 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Metal fine particle manufacturing method and metal fine particle-containing solvent |
JP2018024555A (en) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 矢崎総業株式会社 | Hydrogen production device |
JP2018173404A (en) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | Sample inspection device |
JP2019085301A (en) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Hydrogen production apparatus |
WO2019107402A1 (en) | 2017-11-28 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave treatment device, microwave treatment method, and chemical reaction method |
JP2019087410A (en) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave heating device and chemical reaction method |
WO2019156142A1 (en) * | 2018-02-08 | 2019-08-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave heating method, microwave heating device, and chemical reaction method |
JP2019140103A (en) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave-heating device, heating method and chemical reaction method |
JP2019140213A (en) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Thin film pattern-firing method and microwave-firing device |
JP2020043051A (en) * | 2018-09-06 | 2020-03-19 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave processing apparatus, microwave processing method, and chemical reaction method |
CN111602465A (en) * | 2018-02-08 | 2020-08-28 | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 | Microwave heating method, microwave heating apparatus, and chemical reaction method |
JP2020173958A (en) * | 2019-04-10 | 2020-10-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave heating device and microwave heating method |
CN115278971A (en) * | 2022-09-07 | 2022-11-01 | 四川大学 | Microwave heating assembly and microwave heating device |
WO2024029388A1 (en) * | 2022-08-03 | 2024-02-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate treatment device, fluid activation device, substrate treatment method, and fluid activation method |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6119098A (en) * | 1984-07-05 | 1986-01-27 | 日本化学機械製造株式会社 | Continuous heater with microwave |
JPS6389427A (en) * | 1986-09-26 | 1988-04-20 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | Method of coating inside of tube and equipment therefor |
JPS63213346A (en) * | 1987-03-02 | 1988-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plasma device |
JPS63250088A (en) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | 大阪瓦斯株式会社 | Microwave heater for liquid |
JPH0289251U (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-16 | ||
JPH03294779A (en) * | 1990-04-11 | 1991-12-25 | Toshiba Corp | Hot blast generating device |
JPH08330065A (en) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | New Japan Radio Co Ltd | Microwave thawing/heating device |
JPH11111446A (en) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Shibaura Mechatronics Corp | Microwave heating device |
JP2002538476A (en) * | 1999-03-04 | 2002-11-12 | エムティー・システムズ・エルエルシー | Microwave heating device for gas chromatography column |
-
2004
- 2004-05-11 JP JP2004141079A patent/JP4759668B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6119098A (en) * | 1984-07-05 | 1986-01-27 | 日本化学機械製造株式会社 | Continuous heater with microwave |
JPS6389427A (en) * | 1986-09-26 | 1988-04-20 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | Method of coating inside of tube and equipment therefor |
JPS63213346A (en) * | 1987-03-02 | 1988-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plasma device |
JPS63250088A (en) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | 大阪瓦斯株式会社 | Microwave heater for liquid |
JPH0289251U (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-16 | ||
JPH03294779A (en) * | 1990-04-11 | 1991-12-25 | Toshiba Corp | Hot blast generating device |
JPH08330065A (en) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | New Japan Radio Co Ltd | Microwave thawing/heating device |
JPH11111446A (en) * | 1997-10-07 | 1999-04-23 | Shibaura Mechatronics Corp | Microwave heating device |
JP2002538476A (en) * | 1999-03-04 | 2002-11-12 | エムティー・システムズ・エルエルシー | Microwave heating device for gas chromatography column |
Cited By (66)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007149404A (en) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | Microwave heating device |
JP2007261960A (en) * | 2006-03-01 | 2007-10-11 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Method for continuously producing higher fatty acid methyl ester from co2 |
JP2008173521A (en) * | 2006-08-09 | 2008-07-31 | Honda Electronic Co Ltd | Submerged plasma treatment apparatus and submerged plasma treatment method |
US9039870B2 (en) | 2006-10-09 | 2015-05-26 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Method for producing alkaline (meth)acrylamides |
JP2008279415A (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Environment Technology Ventures Kk | Microwave heating unit |
JP2008302281A (en) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Shikoku Instrumentation Co Ltd | Microwave chemical reactor and method |
WO2009041431A3 (en) * | 2007-09-25 | 2009-06-18 | Idx Kk | Microwave device |
JP2009080997A (en) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Idx Corp | Microwave device |
WO2009041431A2 (en) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Kabushiki Kaisha Idx | Microwave device |
JP2009097359A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Takumi:Kk | Microwave heating device for exhaust gas |
WO2009110245A1 (en) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | マイクロ波環境化学株式会社 | Microwave chemical reaction device and reaction method using said device |
US8884040B2 (en) | 2008-04-04 | 2014-11-11 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Continuous method for producing fatty acid amides |
JP2010097884A (en) * | 2008-10-18 | 2010-04-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Microwave heating of conductive thin film |
JP2010095422A (en) * | 2008-10-19 | 2010-04-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Apparatus for producing hydrogen |
US8946605B2 (en) | 2008-12-02 | 2015-02-03 | Zhejiang Twrd New Material Co., Ltd. | Microwave heating device and its application in chemical reactions |
CN101568206A (en) * | 2009-01-21 | 2009-10-28 | 徐艳姬 | Energy-saving easily-changeable high-temperature microwave heating chamber and manufacturing method thereof |
CN101568209A (en) * | 2009-01-21 | 2009-10-28 | 徐艳姬 | Microwave heater for heating liquid and/or gases |
JP2010207735A (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Microwave continuous irradiation method and apparatus to fluid |
JP2012531450A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for acylation of organic acids with amino groups |
JP2016021399A (en) * | 2009-06-30 | 2016-02-04 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Apparatus for continuously performing chemical reaction at high temperature |
JP2012531451A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for the preparation of aliphatic carboxylic acid amides. |
JP2012531304A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Equipment for continuous chemical reactions at high temperatures |
JP2012531452A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Process for the continuous production of esters of aliphatic carboxylic acids |
JP2012531384A (en) * | 2009-06-30 | 2012-12-10 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous process for the production of esters of aromatic carboxylic acids |
US8974743B2 (en) | 2009-06-30 | 2015-03-10 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Device for continuously carrying out chemical reactions at high temperatures |
JP2013505125A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Equipment for continuous heterogeneous catalytic chemical reactions at high temperatures |
JP2013505275A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | クラリアント・ファイナンス・(ビーブイアイ)・リミテッド | Continuous transesterification process |
US9302245B2 (en) | 2009-09-22 | 2016-04-05 | Clariant International Ltd. | Apparatus for continuously carrying out heterogeneously catalyzed chemical reactions at elevated temperatures |
US9000197B2 (en) | 2009-09-22 | 2015-04-07 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Continuous transesterification method |
JP2015180776A (en) * | 2009-12-05 | 2015-10-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Method of producing metal fine particle |
JP2011137226A (en) * | 2009-12-05 | 2011-07-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Method for producing metal particulate |
JP2013531862A (en) * | 2010-05-03 | 2013-08-08 | ゴジ リミテッド | Modal analysis |
JP2012052895A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Flow injection analysis device and flow injection analysis method |
WO2012043753A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 株式会社サイダ・Fds | Microwave device and flow tube thereof |
US10091841B2 (en) | 2010-09-30 | 2018-10-02 | Pacific Microwave Technology Corp. | Microwave device and flow tube used therein |
JP2012075996A (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Saida Fds Inc | Microwave device |
US9221938B2 (en) | 2010-12-30 | 2015-12-29 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Polymers carrying hydroxyl groups and ester groups and method for the production thereof |
US9243116B2 (en) | 2010-12-30 | 2016-01-26 | Clariant International Ltd. | Method for modifying polymers comprising hydroxyl groups |
JP2013019025A (en) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Method for manufacturing metal microparticle |
JP2013037882A (en) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Saida Fds Inc | Microwave device and circulation pipe thereof |
JP2013236984A (en) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Device and method for vaporizing liquid |
KR101353872B1 (en) * | 2012-06-04 | 2014-01-21 | 주식회사 포스코 | Apparatus for heating fluid with microwave |
WO2015080812A1 (en) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Tubular waveguide applicator |
US9603203B2 (en) | 2013-11-26 | 2017-03-21 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Tubular waveguide applicator |
JP2014194955A (en) * | 2014-06-20 | 2014-10-09 | Saida Fds Inc | Microwave device |
JP2016130369A (en) * | 2016-02-10 | 2016-07-21 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Metal fine particle manufacturing method and metal fine particle-containing solvent |
JP2018024555A (en) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 矢崎総業株式会社 | Hydrogen production device |
JP7109945B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-08-01 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | Laboratory test device |
JP2018173404A (en) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | Sample inspection device |
JP2019085301A (en) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Hydrogen production apparatus |
JP2019087410A (en) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave heating device and chemical reaction method |
WO2019107402A1 (en) | 2017-11-28 | 2019-06-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave treatment device, microwave treatment method, and chemical reaction method |
JPWO2019107402A1 (en) * | 2017-11-28 | 2020-11-19 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Microwave processing equipment, microwave processing method and chemical reaction method |
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EP3751963A4 (en) * | 2018-02-08 | 2021-11-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Microwave heating method, microwave heating device, and chemical reaction method |
CN111602465A (en) * | 2018-02-08 | 2020-08-28 | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 | Microwave heating method, microwave heating apparatus, and chemical reaction method |
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WO2024029388A1 (en) * | 2022-08-03 | 2024-02-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate treatment device, fluid activation device, substrate treatment method, and fluid activation method |
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