JP2005276901A - ダミー基板及び該ダミー基板を使用する基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ダミー基板100は、シリコン基板101に樹脂コーティング102が施された構造となっており、ダミー基板100の強度を増すと共に、処理中に破損した場合にもシリコン基板101の破片又は粉末が飛散して処理装置内を汚染するのを防止している。また、樹脂コーティング102に耐薬品性の樹脂を用いることにより、薬液による洗浄処理によってダミー基板100がエッチングされるのを抑制し、繰り返し使用可能な回数を増加している。
【選択図】 図1
Description
101 シリコン基板
102 樹脂コーティング
103 主面
104 被処理基板
105 保持面
106 非保持面
200 チャンバー
201 回転台
202 シャフト
203 モーター
204 カセット
205 ガイド
206 上蓋
207 スプレーノズル
208 洗浄用薬液
209 薬液供給管
210 サイドスプレーノズル
211 純水供給管
Claims (15)
- 被処理基板と実質的に等しい質量を有するダミー基板であって、
少なくとも周縁部が樹脂によって被覆されている板状部材よりなることを特徴とするダミー基板。 - 前記板状部材の全面が樹脂で被覆されていることを特徴とする請求項1に記載のダミー基板。
- 前記被処理基板と実質的に等しい形状と寸法とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のダミー基板。
- 前記樹脂は、耐薬品性の樹脂であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のダミー基板。
- 前記樹脂は、導電性の樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のダミー基板。
- 前記2つの主面の内どちらか一方にマーキングが施されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のダミー基板。
- 前記板状部材は単結晶シリコン基板であるか又は単結晶シリコンを含む基板であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のダミー基板。
- 複数の容器のそれぞれに複数の被処理基板を収納する工程と、
請求項1〜7のいずれか1つに記載のダミー基板を前記複数の容器に必要枚数収納することによって、前記複数の容器に収納された前記被処理基板と前記ダミー基板との合計枚数を前記複数の容器の全てにおいて同数とする工程と、
前記ダミー基板を収納した前記複数の容器を回転軸に対して対称に配置すると共に前記回転軸を中心に回転させながら前記被処理基板を処理する工程とを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記被処理基板を処理する前記工程において、前記複数の容器を回転させながら前記被処理基板に薬液を噴霧し、前記被処理基板を洗浄することを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記薬液は酸又はアルカリを含むことを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記被処理基板を処理する前記工程において、前記複数の容器を回転させながら前記被処理基板を乾燥することを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
- 複数の被処理基板を、それらの主面同士が対向する配列を作るように容器に収納する工程と、
請求項1〜7のいずれか1つに記載のダミー基板を、前記ダミー基板の主面と前記配列の端部に位置する前記被処理基板の主面とが対向するように前記容器に収納する工程と、
前記ダミー基板を収納した前記容器と共に前記被処理基板を処理する工程とを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 複数の被処理基板を、それらの主面同士が対向する配列を作るように容器に収納する工程と、
請求項1〜7のいずれか1つに記載のダミー基板を、2つの主面の内どちらか一方の主面を用いて保持し、保持する主面と異なるもう一方の主面と前記配列の端部に位置する前記被処理基板の主面とが対向するように前記容器に収納する工程と、
前記ダミー基板を収納した前記容器と共に前記被処理基板を処理する工程とを含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記ダミー基板は、請求項6に記載のダミー基板であり、
前記2つの主面の内どちらか一方の主面を用いて保持する際には前記マーキングの施された主面を用い、
前記保持する主面と異なるもう一方の主面は、前記マーキングの施されていない主面であることを特徴とする請求項13に記載の基板処理方法。 - 複数の被処理基板及び請求項1〜7のいずれか1つに記載のダミー基板を容器に収納する工程と、
前記ダミー基板を収納した前記容器と共に前記複数の被処理基板を薬液に浸漬して処理する工程とを含むことを特徴とする基板処理方法。
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