JP2005249454A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 少なくとも１対の固定電極を有する基板と、該基板上にアンカーで支持された弾性梁により宙支され、該固定電極と対向する可動電極を備える慣性質量体とを有し、該慣性質量体の下部には慣性質量体と同一もしくは慣性質量体より高密度の１種以上の材料から成る錘部を有する容量型加速度センサ。
2. 上記基板の表面に上記錘部を変位可能に収容する凹部を設け、上記慣性質量体の重心を上記アンカーよりも下方に位置するようにした請求項１記載の容量型加速度センサ。
3. 上記慣性質量体は、上記可動電極を支持し、かつ上記錘部を有する基部を有しており、該基部を上記弾性梁に支持せしめてなる請求項１又は２に記載の容量型加速度センサ。
4. 上記慣性質量体は、上記可動電極を包囲し、かつ上記錘部を有する枠部を有しており、
   上記可動電極の中央部を一対の捩れ梁により支持して上記検出空隙の上に宙支する一方、上記可動電極と上記枠部とを上記捩れ梁から離間して配設された一対のリンク梁により連結してなる請求項１又は２に記載の容量型加速度センサ。
5. 上記の各固定電極を、溝を挟んで配設された複数の突状電極で構成する一方、上記可動電極に複数の突片から成るダンパー部を上記溝内に張り出すように配設してなる請求項１から４のいずれか一つに記載の容量型加速度センサ。
6. 上記慣性質量体の対向する一対の主面を可動電極となし、上記基板に、基板上に配設され一方の主面の可動電極と対向する第１の固定電極と、基板から突設され他方の主面の可動電極と対向する第２の固定電極とを設けてなる請求項１から５のいずれか一つに記載の容量型加速度センサ。
7. 上記基板の上面に、空隙を介して上記構造体を保護する上面保護基板を接合する一方、
   上記第２の固定電極に代えて、上記上面保護基板の内面に設けた少なくとも１対の固定電極を用いてなる請求項６記載の容量型加速度センサ。
8. 上記慣性質量体がポリシリコンから成り、かつ上記錘部が単結晶シリコンから成る請求項１から７のいずれか一つに記載の容量型加速度センサ。
9. 直交する３軸方向の加速度成分を検出する容量型加速度センサであって、
   少なくとも３対の固定電極を有する基板上に検出空隙を設けて接合された３種の導電性梁構造体を有しており、
   該３種の導電性梁構造体は、ｘ方向、ｙ方向、そしてｚ方向の加速度成分を検出するそれぞれ第１、第２、そして第３の導電性梁構造体であって、
   各導電性梁構造体は、加速度により変位可能な慣性質量体と、該慣性質量体に連接され慣性質量体を上記検出空隙の上に宙支する少なくとも一対の弾性梁と、該弾性梁を支持し上記基板に接合された少なくとも一対のアンカーと、を有しており、慣性質量体の一部を上記固定電極と対向せしめて可動電極となし、該可動電極と上記固定電極とにより差動容量を構成する一方、上記慣性質量体の下部に、慣性質量体と同一もしくは慣性質量体より高密度の１種以上の材料からなる錘部を有しており、
   さらに、第１及び第２の導電性梁構造体の慣性質量体には、上記の各可動電極を支持し、かつ上記錘部を有する基部を設け、該基部を上記弾性梁に支持せしめる一方、
   第３の導電性梁構造体の慣性質量体には、上記可動電極を包囲し、かつ上記錘部を有する枠部を設け、上記可動電極の中央部を一対の捩れ梁により支持して上記検出空隙の上に宙支する一方、上記可動電極と上記枠部とを上記捩れ梁から離間して配設された一対のリンク梁により連結し、
   さらに、第１と第２の導電性梁構造体を互いに直交するように配置してなる容量型加速度センサ。
10. 上記基板の上面には、空隙を設けて上記構造体を保護する上面保護基板を接合する一方、上記基板の下面には下面保護基板を全面に接合してなる請求項１から９のいずれか一つに記載の容量型加速度センサ。
11. 上記基板の上面に、上記可動電極及び上記固定電極と電極パッドを接続する配線を設ける一方、該配線を絶縁層で被覆し埋込配線として取り出すようにした請求項１０記載の容量型加速度センサ。
12. 上記基板に設けた貫通孔に導体を充填して貫通配線とし、該貫通配線を上記下面保護基板と導通するようにした請求項１０記載の容量型加速度センサ。
13. 上記上面保護基板及び／又は上記下面保護基板に、差動容量検出回路を設けてなる請求項１１又は１２に記載の容量型加速度センサ。