JP2005235569A - Organic electroluminescent element, its manufacturing method and electronic apparatus - Google Patents

Organic electroluminescent element, its manufacturing method and electronic apparatus Download PDF

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JP2005235569A JP2004043028A JP2004043028A JP2005235569A JP 2005235569 A JP2005235569 A JP 2005235569A JP 2004043028 A JP2004043028 A JP 2004043028A JP 2004043028 A JP2004043028 A JP 2004043028A JP 2005235569 A JP2005235569 A JP 2005235569A
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英和 小林
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裕 竹下
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic electroluminescent element of realizing equalization of film quality and film thickness of each layer in a thin film stacking structure of the organic electroluminescent element to provide high charge transportation efficiency, and also to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: This organic EL element 200 is composed by catching an organic function layer 140 between a pair of electrodes 141 and 154; and an intermediate layer 155 having a surface reforming function is interlaid between a hole injection layer 140A and a luminescent layer 140B constituting the organic function layer 140. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、及び電子機器に関するものである。   The present invention relates to an organic electroluminescence element, a manufacturing method thereof, and an electronic device.

近年、液晶ディスプレイに替わる自発発光型ディスプレイとして、有機物を用いた有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」と略記する）装置の開発が加速している。このような有機ＥＬ装置の作成方法として、高分子を液相法で形成する方法が知られている。
有機ＥＬ装置の構造においては、発光部である有機ＥＬ素子の発光効率、耐久性を向上させるために、正孔注入層や電子注入層を、それぞれ陽極と発光層との間、及び発光層と陰極との間に形成することが多い。そして、このような薄膜積層構造を液相法で形成する場合の第１の問題点として、液体材料の溶媒により既に形成された有機膜が溶解される、いわゆる相溶性の問題がある。そこで、例えば特許文献１では、正孔注入層にシランカップリング剤を入れて架橋し、不溶化することで、発光層との相溶を防止する技術が開示されている。
特開２０００−２０８２５４号公報 In recent years, development of organic electroluminescence (hereinafter abbreviated as “organic EL”) devices using organic substances has been accelerated as a spontaneous emission type display replacing a liquid crystal display. As a method for producing such an organic EL device, a method of forming a polymer by a liquid phase method is known.
In the structure of the organic EL device, in order to improve the light emission efficiency and durability of the organic EL element which is a light emitting part, a hole injection layer and an electron injection layer are respectively provided between the anode and the light emitting layer, and the light emitting layer. It is often formed between the cathode and the cathode. As a first problem in forming such a thin film laminated structure by a liquid phase method, there is a so-called compatibility problem in which an organic film already formed is dissolved by a solvent of a liquid material. Thus, for example, Patent Document 1 discloses a technique for preventing compatibility with a light emitting layer by putting a silane coupling agent into a hole injection layer, cross-linking and insolubilizing the hole injection layer.
JP 2000-208254 A

上記従来技術によれば、正孔注入層と発光層との相溶を防止できる。しかしながら、係る技術を用いたとしても、正孔注入層上に塗布される溶液の性質によっては、素子特性に不具合を生じるおそれがあった。すなわち、例えば、極性溶媒を含む液体材料を用いて形成した正孔注入層上に、非極性溶媒を含む液体材料を用いて発光層を形成する場合、正孔注入層上で液体材料が弾かれて十分に濡れ広がらず、形成される発光層の膜質や膜厚に不均一を生じることがあり、その結果、有機ＥＬ素子の特性が低下するという問題がある。   According to the above prior art, the compatibility between the hole injection layer and the light emitting layer can be prevented. However, even if such a technique is used, there is a possibility that a defect may occur in device characteristics depending on the properties of the solution applied on the hole injection layer. That is, for example, when a light emitting layer is formed using a liquid material containing a nonpolar solvent on a hole injection layer formed using a liquid material containing a polar solvent, the liquid material is repelled on the hole injection layer. In such a case, the film does not sufficiently wet and spread, and the film quality and film thickness of the light emitting layer to be formed may be non-uniform. As a result, the characteristics of the organic EL element are deteriorated.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、有機エレクトロルミネッセンス素子の薄膜積層構造における各層の膜質並びに膜厚の均一化を実現でき、もって高い電荷輸送効率を得られるようにした有機エレクトロルミネッセンス素子、及びその製造方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and can realize uniform film quality and film thickness of each layer in a thin film laminated structure of an organic electroluminescence element, thereby obtaining high charge transport efficiency. An object of the present invention is to provide an organic electroluminescence device and a method for manufacturing the same.

本発明は、上記課題を解決するために、一対の電極間に有機機能層を挟持してなる有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記有機機能層が、液相法により形成された液相形成層を含んでおり、前記液相形成層が、表面改質機能を有する中間層上に形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
この構成によれば、前記中間層によって前記液相形成層の下側の層表面を改質し、良好な親和性を確保した上で液相法により層形成を行うので、中間層上で液体材料が良好に濡れ広がり、もって均一な膜厚、膜質の液相形成層を得ることができる。これにより、前記電極間で良好な電荷輸送性が得られ、素子特性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供できる。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention provides an organic electroluminescence element having an organic functional layer sandwiched between a pair of electrodes, wherein the organic functional layer is formed by a liquid phase method. An organic electroluminescence device is provided, wherein the liquid phase forming layer is formed on an intermediate layer having a surface modification function.
According to this configuration, the lower layer surface of the liquid phase forming layer is modified by the intermediate layer, and the layer is formed by the liquid phase method after ensuring good affinity. The material spreads well, so that a liquid phase forming layer having a uniform film thickness and quality can be obtained. Thereby, a favorable charge transport property is obtained between the electrodes, and an organic electroluminescence device having excellent device characteristics can be provided.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層が、両親媒性分子を層厚方向に配向させてなる構造を有することが好ましい。この構成によれば、両親媒性分子に含まれる結合親和性の異なる基の一方（極性基）を下層表面に結合させ、他方の基（非極性基）によって液体材料との親和性を得ることができるので、容易に下層表面の改質を行うことができる。   In the organic electroluminescence element of the present invention, the intermediate layer preferably has a structure in which amphiphilic molecules are oriented in the layer thickness direction. According to this configuration, one of the groups having different binding affinities (polar group) contained in the amphiphilic molecule is bonded to the surface of the lower layer, and the affinity for the liquid material is obtained by the other group (nonpolar group). Therefore, it is possible to easily modify the surface of the lower layer.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層が、単分子膜又はその積層膜であることが好ましい。この構成によれば、中間層表面で均一な表面特性（液体材料との親和性）を得ることができるとともに、膜厚の極めて薄い中間層を形成できるので、電極間の電荷輸送性を損なうことがない。   In the organic electroluminescent element of the present invention, the intermediate layer is preferably a monomolecular film or a laminated film thereof. According to this configuration, uniform surface characteristics (affinity with the liquid material) can be obtained on the surface of the intermediate layer, and an extremely thin intermediate layer can be formed, which impairs the charge transport property between the electrodes. There is no.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層を構成する材料が、次の式（１）に示す分子構造を有しており、式（１）に示すＸ基が加水分解性基である構成とすることができる。但し、Ｒは炭素原子及び水素原子以外の元素を含むことのある炭化水素基であり、ｎは０以上の整数である。   In the organic electroluminescence device of the present invention, the material constituting the intermediate layer has a molecular structure represented by the following formula (1), and the X group represented by the formula (1) is a hydrolyzable group. It can be. However, R is a hydrocarbon group that may contain elements other than carbon atoms and hydrogen atoms, and n is an integer of 0 or more.

Ｘ−Ｒｎ …（１） X-R n ... (1)

この構成によれば、前記加水分解性のＸ基により下層側表面に容易に結合し、かつ反対側の炭化水素基によって液体材料との高い親和性を実現できる。   According to this configuration, the hydrolyzable X group can be easily bonded to the lower surface, and high affinity with the liquid material can be realized by the opposite hydrocarbon group.

上記構成においては、前記Ｘ基が、シラノール基（−Ｓｉ（ＯＨ）３）、トリクロロシリル基（−ＳｉＣｌ３）、トリエトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＥｔ）３）、トリメトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＭｅ）３）、チオール基（−ＳＨ）、ヒドロキシル基（−ＯＨ）、アミノ基（−ＮＨ２）、リン酸基（−ＰＯ３Ｈ２）、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ）、スルホン酸基（−ＳＯ３Ｈ）、リン酸クロリド基（−ＰＯ２Ｃｌ２）、カルボン酸クロリド基（−ＣＯＣｌ）、及びスルホン酸クロリド基（−ＳＯ２Ｃｌ）、から選ばれる１種である構成とすることができる。 In the above configuration, the X group is a silanol group (—Si (OH) 3 ), a trichlorosilyl group (—SiCl 3 ), a triethoxysilyl group (—Si (OEt) 3 ), or a trimethoxysilyl group (—Si). (OMe) 3 ), thiol group (—SH), hydroxyl group (—OH), amino group (—NH 2 ), phosphate group (—PO 3 H 2 ), carboxyl group (—COOH), sulfonic acid group ( -SO 3 H), phosphoric acid chloride group (-PO 2 Cl 2), a carboxylic acid chloride group (-COCl), and sulfonic acid chloride group (-SO 2 Cl), be configured to be one selected from Can do.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層を構成する材料が、シラン化合物であることが好ましい。すなわち、前記中間層を構成する材料にはシランカップリング剤を用いることができる。あるいは、チタネート系、アルミネート系のカップリング剤であってもよい。   In the organic electroluminescence element of the present invention, the material constituting the intermediate layer is preferably a silane compound. That is, a silane coupling agent can be used as the material constituting the intermediate layer. Alternatively, a titanate or aluminate coupling agent may be used.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層が、自己組織化膜であることが好ましい。この構成によれば、前記中間層を極めて高度に配向した単分子膜ないしその積層膜により形成できるため、中間層表面において極めて均一な特性（液体材料の濡れ性等）が得られる。これにより、さらに液相形成層の膜厚、膜質の均一性を高めることができる。   In the organic electroluminescent element of the present invention, the intermediate layer is preferably a self-assembled film. According to this configuration, since the intermediate layer can be formed of a highly molecularly oriented monomolecular film or a laminated film thereof, extremely uniform characteristics (such as wettability of the liquid material) can be obtained on the surface of the intermediate layer. Thereby, the uniformity of the film thickness and film quality of the liquid phase forming layer can be further improved.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層を構成する材料が、次の式（２）に示す分子構造を有しており、式（２）に示すＹ基が、メチル基（ＣＨ３）、トリフルオロメチル基（ＣＦ３）、芳香族官能基、ベンゼン誘導体からなる基、ビフェニル誘導体からなる基、トリアリールアミン誘導体からなる基、及びフタロシアニン誘導体からなる基、から選ばれる１種である構成とすることができる。 In the organic electroluminescence device of the present invention, the material constituting the intermediate layer has a molecular structure represented by the following formula (2), and the Y group represented by the formula (2) is a methyl group (CH 3 ). , A trifluoromethyl group (CF 3 ), an aromatic functional group, a group consisting of a benzene derivative, a group consisting of a biphenyl derivative, a group consisting of a triarylamine derivative, and a group consisting of a phthalocyanine derivative It can be.

Ｘ−Ｒｎ−Ｙ …（２） X-R n -Y ... (2 )

この構成によれば、特に液相形成層を形成するための液体材料が非極性溶媒を含むものである場合に良好な濡れ性を得られる中間層を形成できる。   According to this configuration, it is possible to form an intermediate layer capable of obtaining good wettability particularly when the liquid material for forming the liquid phase forming layer contains a nonpolar solvent.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層を構成する材料が、フルオロアルキルシランであることが好ましい。この構成によれば、前記中間層として、表面に非極性基が配列された自己組織化単分子膜を形成できるので、液相形成層を均一に形成でき、良好な素子特性を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を提供できる。   In the organic electroluminescent element of the present invention, the material constituting the intermediate layer is preferably fluoroalkylsilane. According to this configuration, as the intermediate layer, a self-assembled monomolecular film having nonpolar groups arranged on the surface can be formed, so that a liquid phase forming layer can be formed uniformly and organic electroluminescence having good device characteristics. An element can be provided.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層が、ＬＢ（ラングミュア・ブロジェット）膜であってもよい。すなわち、前記中間層は、気水界面に形成した脂肪酸誘導体等の単分子膜を基体上に転写してなる膜であってもよい。この構成によっても液相形成層を形成する際の液体材料の濡れ性を改善でき、均一な膜厚、膜質の液相形成層が得られる。   In the organic electroluminescence device of the present invention, the intermediate layer may be an LB (Langmuir-Blodget) film. That is, the intermediate layer may be a film formed by transferring a monomolecular film such as a fatty acid derivative formed at the air-water interface onto the substrate. Also with this configuration, the wettability of the liquid material when forming the liquid phase forming layer can be improved, and a liquid phase forming layer having a uniform film thickness and film quality can be obtained.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、前記有機機能層が、正孔注入層と発光層とを含んでおり、前記両層の間に前記中間層が設けられている構成とすることができる。この場合、前記発光層が先の液相形成層に相当する。そして、本構成によれば、均一な膜厚、膜質の発光層を有するので、良好な発光特性を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供できる。   The organic electroluminescent element of this invention can be set as the structure by which the said organic functional layer contains the positive hole injection layer and the light emitting layer, and the said intermediate | middle layer is provided between the said both layers. In this case, the light emitting layer corresponds to the previous liquid phase forming layer. And according to this structure, since it has a uniform film thickness and a light emitting layer of a film quality, an organic electroluminescent element provided with a favorable light emission characteristic can be provided.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子では、前記中間層が、前記有機機能層と前記電極との間に設けられている構成とすることもできる。すなわち前記中間層は、有機機能層の構成層の間に設けるのみならず、電極と有機機能層との界面に設けることもできる。   In the organic electroluminescent element of this invention, the said intermediate | middle layer can also be set as the structure provided between the said organic functional layer and the said electrode. That is, the intermediate layer can be provided not only between the constituent layers of the organic functional layer, but also at the interface between the electrode and the organic functional layer.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、一対の電極間に有機機能層を挟持してなる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、基体上に第１の電極を形成する工程と、前記第１の電極上に、直接又は前記有機機能層の一部の層を介して、表面改質機能を有する中間層を形成する工程と、前記中間層上に、前記有機機能層の一部の層を液相法により形成する工程と、を含むことを特徴としている。
このような製造方法すれば、液相法によって有機機能層の構成層を形成するに先立って、中間層を形成して形成面の表面特性を改質するので、液相法により形成する層の液体材料が中間層表面で良好に濡れ広がるようになり、もって均一な膜厚の構成層を得ることができる。従って本製造方法によれば、発光効率等の素子特性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することができる。 The method for producing an organic electroluminescent element of the present invention is a method for producing an organic electroluminescent element comprising an organic functional layer sandwiched between a pair of electrodes, the step of forming a first electrode on a substrate, A step of forming an intermediate layer having a surface modification function on the first electrode directly or via a part of the organic functional layer; and a part of the organic functional layer on the intermediate layer. Forming a layer by a liquid phase method.
According to such a manufacturing method, prior to forming the constituent layer of the organic functional layer by the liquid phase method, the intermediate layer is formed to modify the surface characteristics of the formation surface. The liquid material can be wet and spread well on the surface of the intermediate layer, so that a constituent layer having a uniform film thickness can be obtained. Therefore, according to this manufacturing method, an organic electroluminescent element excellent in element characteristics such as luminous efficiency can be manufactured.

本発明に係る製造方法では、前記中間層を液相法により形成することができる。
上記製造方法では、前記中間層を形成するに際して、液滴吐出法を用いることができる。液滴吐出法を用いるならば、有機機能層の構成層を液滴吐出法で形成する場合に、一括して中間層も形成できるため、効率的に製造を行うことが可能になる。
あるいは、前記中間層を形成するに際して、ディップ法を用いることもできる。 In the manufacturing method according to the present invention, the intermediate layer can be formed by a liquid phase method.
In the manufacturing method, a droplet discharge method can be used when forming the intermediate layer. If the droplet discharge method is used, when the constituent layers of the organic functional layer are formed by the droplet discharge method, an intermediate layer can also be formed at a time, so that it is possible to manufacture efficiently.
Alternatively, a dipping method can be used when forming the intermediate layer.

次に、本発明の電子機器は、先に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えたことを特徴としている。この構成によれば、高輝度、高コントラストの表示部を備えた電子機器が提供される。   Next, an electronic apparatus of the present invention is characterized by including the organic electroluminescence element described above. According to this configuration, an electronic apparatus including a display unit with high brightness and high contrast is provided.

（有機ＥＬ装置）
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。以下の実施の形態では、本発明に係る有機ＥＬ素子を画素として基体上に配列してなる有機ＥＬ装置を例示して説明する。この有機ＥＬ装置は、例えば電子機器等の表示手段として好適に用いることができるものである。 (Organic EL device)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, an organic EL device in which the organic EL elements according to the present invention are arranged as pixels on a substrate will be described as an example. This organic EL device can be suitably used as display means for electronic devices, for example.

図１は本実施形態の有機ＥＬ装置の回路構成図、図２は、同有機ＥＬ装置に備えられた各画素７１の平面構造を示す図であって反射電極や有機機能層を取り除いた状態を示す図である。また図３は、図２のＡ−Ａ線に沿う断面構成を示す図である。   FIG. 1 is a circuit configuration diagram of the organic EL device of the present embodiment, and FIG. 2 is a diagram showing a planar structure of each pixel 71 provided in the organic EL device, with a reflective electrode and an organic functional layer removed. FIG. FIG. 3 is a diagram showing a cross-sectional configuration along the line AA of FIG.

図１に示すように、有機ＥＬ装置７０は、透明の基板上に、複数の走査線（配線、電力導通部）１３１と、これら走査線１３１に対して交差する方向に延びる複数の信号線（配線、電力導通部）１３２と、これら信号線１３２に並列に延びる複数の共通給電線（配線、電力導通部）１３３とがそれぞれ配線されたもので、走査線１３１及び信号線１３２の各交点毎に、画素（画素領域）７１が設けられて構成されたものである。   As shown in FIG. 1, the organic EL device 70 includes a plurality of scanning lines (wiring, power conduction unit) 131 and a plurality of signal lines (in a direction intersecting with the scanning lines 131) on a transparent substrate. Wiring and power conducting portion) 132 and a plurality of common power supply lines (wiring and power conducting portions) 133 extending in parallel to the signal lines 132 are respectively wired at each intersection of the scanning line 131 and the signal line 132. In addition, a pixel (pixel region) 71 is provided.

信号線１３２に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、及びアナログスイッチ等を備えるデータ側駆動回路７２が設けられている。一方、走査線１３１に対しては、シフトレジスタ及びレベルシフタ等を備える走査側駆動回路７３が設けられている。また、画素領域７１の各々には、走査線１３１を介して走査信号（電力）がゲート電極に供給されるスイッチング用ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）１４２と、このスイッチング薄膜トランジスタ１４２を介して信号線１３２から供給される画像信号（電力）を保持する保持容量ｃａｐと、保持容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給される駆動用ＴＦＴ１４３と、このカレント薄膜トランジスタ１４３を介して共通給電線１３３に電気的に接続したときに共通給電線１３３から駆動電流（電力）が流れ込む画素電極１４１と、この画素電極１４１と共通電極１５４との間に挟み込まれる発光部１４０と、が設けられている。そして、前記画素電極１４１と共通電極１５４と、発光部１４０とによって構成される素子が、本発明に係る有機ＥＬ素子である。   For the signal line 132, a data side driving circuit 72 including a shift register, a level shifter, a video line, an analog switch, and the like is provided. On the other hand, for the scanning line 131, a scanning side driving circuit 73 including a shift register, a level shifter, and the like is provided. In addition, each of the pixel regions 71 is supplied from a switching TFT (thin film transistor) 142 to which a scanning signal (power) is supplied to the gate electrode through the scanning line 131 and from the signal line 132 through the switching thin film transistor 142. A storage capacitor cap that holds an image signal (power), a driving TFT 143 to which the image signal held by the storage capacitor cap is supplied to the gate electrode, and the common power supply line 133 via the current thin film transistor 143. A pixel electrode 141 into which a drive current (power) flows from the common power supply line 133 when connected, and a light emitting unit 140 sandwiched between the pixel electrode 141 and the common electrode 154 are provided. And the element comprised by the said pixel electrode 141, the common electrode 154, and the light emission part 140 is the organic EL element which concerns on this invention.

このような構成のもとに、走査線１３１が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ１４２がオンとなると、そのときの信号線１３２の電位（電力）が保持容量ｃａｐに保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ１４３のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ１４３のチャネルを介して共通給電線１３３から画素電極１４１に電流（電力）が流れ、さらに発光部１４０を通じて共通電極１５４に電流が流れることにより、発光部１４０は、これを流れる電流量に応じて発光するようになる。   Under such a configuration, when the scanning line 131 is driven and the switching thin film transistor 142 is turned on, the potential (power) of the signal line 132 at that time is held in the holding capacitor cap, and the state of the holding capacitor cap is reached. Accordingly, the on / off state of the current thin film transistor 143 is determined. A current (power) flows from the common power supply line 133 to the pixel electrode 141 through the channel of the current thin film transistor 143, and further, a current flows to the common electrode 154 through the light emitting unit 140, so that the light emitting unit 140 has a current flowing therethrough. It emits light according to the amount.

次に、図２に示す画素７１の平面構造をみると、画素７１は、平面視略矩形状の画素電極１４１の四辺が、信号線１３２、共通給電線１３３、走査線１３１及び図示しない他の画素電極用の走査線によって囲まれた配置となっている。また図３に示す画素７１の断面構造をみると、基板（基体）Ｐ上に、駆動用ＴＦＴ１４３が設けられており、駆動用ＴＦＴ１４３を覆って形成された複数の絶縁膜を介した基板Ｐ上に、有機ＥＬ素子２００が形成されている。有機ＥＬ素子２００は、基板Ｐ上に立設されたバンク（隔壁部材）１５０に囲まれる領域内に設けられており、画素電極１４１と、共通電極１５４との間に、有機機能層１４０を挟持した構成を備える。   Next, when viewing the planar structure of the pixel 71 shown in FIG. 2, the pixel 71 has four sides of the pixel electrode 141 having a substantially rectangular shape in plan view, the signal line 132, the common power supply line 133, the scanning line 131, and other not shown. The arrangement is surrounded by scanning lines for pixel electrodes. Further, in the cross-sectional structure of the pixel 71 shown in FIG. 3, the driving TFT 143 is provided on the substrate (base) P, and the substrate P is interposed on the substrate P through the plurality of insulating films formed to cover the driving TFT 143. In addition, an organic EL element 200 is formed. The organic EL element 200 is provided in a region surrounded by a bank (partition wall member) 150 erected on the substrate P, and the organic functional layer 140 is sandwiched between the pixel electrode 141 and the common electrode 154. The configuration is provided.

駆動用ＴＦＴ１４３は、半導体層２１０に形成されたソース領域１４３ａ、ドレイン領域１４３ｂ、及びチャネル領域１４３ｃと、半導体層表面に形成されたゲート絶縁膜２２０を介してチャネル領域１４３ｃに対向するゲート電極１４３Ａとを主体として構成されている。半導体層２１０及びゲート絶縁膜２２０を覆う第１層間絶縁膜２３０が形成されており、この第１層間絶縁膜２３０を貫通して半導体層２１０に達するコンタクトホール２３２，２３４内に、それぞれドレイン電極２３６、ソース電極２３８が埋設され、各々の電極はドレイン領域１４３ｂ、ソース領域１４３ａに導電接続されている。第１層間絶縁膜２３０には、第２層間絶縁膜２４０が形成されており、この第２層間絶縁膜２４０に貫設されたコンタクトホールに画素電極１４１の一部が埋設されている。そして画素電極１４１とドレイン電極２３６とが導電接続されることで、駆動用ＴＦＴ１４３と画素電極１４１（有機ＥＬ素子２００）とが電気的に接続されている。そして、この画素電極１４１の周縁部に一部乗り上げるようにして無機絶縁材料からなる無機バンク１４９が形成され、この無機バンク１４９上に、有機材料からなるバンク１５０が形成されている。   The driving TFT 143 includes a source region 143a, a drain region 143b, and a channel region 143c formed in the semiconductor layer 210, and a gate electrode 143A facing the channel region 143c through a gate insulating film 220 formed on the surface of the semiconductor layer. Is the main constituent. A first interlayer insulating film 230 is formed to cover the semiconductor layer 210 and the gate insulating film 220. The drain electrodes 236 are respectively formed in the contact holes 232 and 234 that penetrate the first interlayer insulating film 230 and reach the semiconductor layer 210. The source electrode 238 is buried, and each electrode is conductively connected to the drain region 143b and the source region 143a. A second interlayer insulating film 240 is formed in the first interlayer insulating film 230, and a part of the pixel electrode 141 is embedded in a contact hole penetrating through the second interlayer insulating film 240. The pixel electrode 141 and the drain electrode 236 are conductively connected, so that the driving TFT 143 and the pixel electrode 141 (organic EL element 200) are electrically connected. An inorganic bank 149 made of an inorganic insulating material is formed so as to partially run on the peripheral edge of the pixel electrode 141, and a bank 150 made of an organic material is formed on the inorganic bank 149.

有機ＥＬ素子２００を構成する有機機能層１４０には、正孔注入層１４０Ａと、発光層１４０Ｂとが含まれており、これらの正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間には、中間層１５５が介在している。正孔注入層１４０Ａは、発光層１４０Ｂへの電荷輸送性を高め、発光効率を高めることを目的として設けられる層であり、その形成材料としては、例えばポリチオフェン誘導体、ポリピロール誘導体など、またはそれらのドーピング体などが用いられる。具体的には、３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の分散液などが用いられる。この分散液に用いる溶媒には、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、ｎ−ブチルアルコール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン（ＤＭＩ）及びその誘導体、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート等のグリコール類等の極性溶媒を挙げることができる。   The organic functional layer 140 constituting the organic EL element 200 includes a hole injection layer 140A and a light emitting layer 140B, and an intermediate layer is provided between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B. 155 is interposed. The hole injection layer 140A is a layer provided for the purpose of enhancing the charge transport property to the light emitting layer 140B and enhancing the light emission efficiency. As a material for forming the hole injection layer 140A, for example, a polythiophene derivative, a polypyrrole derivative or the like or a doping thereof The body is used. Specifically, a dispersion of 3,4-polyethylenediosithiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS) or the like is used. Examples of the solvent used in this dispersion include isopropyl alcohol (IPA), n-butyl alcohol, γ-butyrolactone, N-methylpyrrolidone (NMP), 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (DMI) and derivatives thereof. And polar solvents such as glycols such as carbitol acetate and butyl carbitol acetate.

有機ＥＬ素子２００の主たる発光部を成す発光層１４０Ｂの形成材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料を用いることができる。そして本実施形態の場合、この発光層１４０Ｂが、液相法により形成された液相形成層となっている。
発光層１４０Ｂの形成材料の具体例を挙げるならば、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。尚、上述した高分子材料に代えて、従来公知の低分子材料を用いることもできる。また、必要に応じて発光層１４０Ｂ上に、フッ化リチウムとカルシウムの積層膜等の電子注入層を設けてもよい。 As a material for forming the light emitting layer 140B constituting the main light emitting portion of the organic EL element 200, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence can be used. In the case of the present embodiment, the light emitting layer 140B is a liquid phase forming layer formed by a liquid phase method.
Specific examples of the material for forming the light emitting layer 140B include (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), and polyvinylcarbazole. Polysilanes such as (PVK), polythiophene derivatives, and polymethylphenylsilane (PMPS) are preferably used. In addition, these polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, Nile red, coumarin 6, and quinacridone. It can also be used by doping a low molecular weight material such as. In addition, it replaces with the polymeric material mentioned above, a conventionally well-known low molecular material can also be used. Further, an electron injection layer such as a laminated film of lithium fluoride and calcium may be provided on the light emitting layer 140B as necessary.

そして、発光層１４０Ｂの形成に際しては、上記に挙げた形成材料を溶媒に溶解して調製した液体材料を、後述の中間層１５５上に配し、溶媒を蒸発させる方法が適用される。前記溶媒としては、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の非極性溶媒を例示できる。   When the light emitting layer 140B is formed, a method in which a liquid material prepared by dissolving the above-described forming materials in a solvent is placed on an intermediate layer 155 described later and the solvent is evaporated is applied. Examples of the solvent include nonpolar solvents such as cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, and tetramethylbenzene.

正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間に設けられた中間層１５５は、表面改質機能を有するものである。本実施形態の場合、中間層１５５を設けたことで正孔注入層１４０Ａの表面特性を改質しており、これによって、発光層１４０Ｂを形成するための液体材料の被覆性を改善し、均一な膜厚及び膜質を有する発光層を得ている。以下に中間層１５５の作用を説明する。   The intermediate layer 155 provided between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B has a surface modification function. In the case of this embodiment, the surface characteristics of the hole injection layer 140A are modified by providing the intermediate layer 155, thereby improving the coverage of the liquid material for forming the light emitting layer 140B, and uniform A light emitting layer having a sufficient film thickness and quality is obtained. The operation of the intermediate layer 155 will be described below.

まず、正孔注入層１４０Ａを液相法により形成するためにＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの分散液を用いた場合、この分散液は極性溶媒を用いた溶液であるため、得られた正孔注入層１４０Ａの表面は親水性となる。そしてこのような正孔注入層１４０Ａ上に発光層１４０Ｂを液相法により形成する場合、その液体材料に芳香族系の溶媒（非極性溶媒）を用いると、正孔注入層１４０Ａの表面との親和性が低いために濡れ性が悪くなる。その結果、液体材料が表面に偏在し、得られる発光層１４０Ｂの膜厚や膜質の均一性が低下することになる。
これに対して、本発明の如く中間層１５５を設けるならば、正孔注入層１４０Ａの親水性の表面を改質して例えば親油性にすることができるため、発光層１４０Ｂの液体材料との親和性を向上させることができ、液体材料の塗れ性改善によって形成される発光層１４０Ｂの膜厚、膜質の均一性を向上させることができる。 First, when a PEDOT / PSS dispersion is used to form the hole injection layer 140A by a liquid phase method, the dispersion is a solution using a polar solvent. The surface becomes hydrophilic. When the light emitting layer 140B is formed on the hole injection layer 140A by a liquid phase method, if an aromatic solvent (nonpolar solvent) is used as the liquid material, the surface of the hole injection layer 140A Due to low affinity, wettability deteriorates. As a result, the liquid material is unevenly distributed on the surface, and the film thickness and film quality uniformity of the resulting light emitting layer 140B are reduced.
On the other hand, if the intermediate layer 155 is provided as in the present invention, the hydrophilic surface of the hole injection layer 140A can be modified to be made, for example, oleophilic, so that the liquid material of the light emitting layer 140B The affinity can be improved, and the uniformity of the film thickness and film quality of the light emitting layer 140B formed by improving the wettability of the liquid material can be improved.

中間層１５５は、分子構造内に極性基と非極性基とを有する、いわゆる両親媒性分子からなるものとすることが好ましい。そして、この両親媒性分子を層厚方向に配向させることで、前記極性基ないし非極性基を表面に配列させ、表面改質機能を得ることができる。すなわち、正孔注入層１４０Ａ表面に対して前記両親媒性分子の極性基を結合させて中間層１５５を形成すれば、中間層１５５の表面には非極性基が配置された状態となり、正孔注入層１４０Ａの表面が改質される。その結果、発光層１４０Ｂを形成するための液体材料の塗れ性が良好なものとなる。   The intermediate layer 155 is preferably made of a so-called amphiphilic molecule having a polar group and a nonpolar group in the molecular structure. Then, by orienting the amphiphilic molecules in the layer thickness direction, the polar group or nonpolar group can be arranged on the surface to obtain a surface modification function. That is, if the intermediate layer 155 is formed by bonding the polar group of the amphiphilic molecule to the surface of the hole injection layer 140A, a nonpolar group is arranged on the surface of the intermediate layer 155. The surface of the injection layer 140A is modified. As a result, the wettability of the liquid material for forming the light emitting layer 140B is improved.

また中間層１５５は、単分子膜又はその積層膜であることが好ましい。係る構造を備えた中間層１５５をより容易に得るには、単分子層を比較的容易に形成できる自己組織化膜又はＬＢ膜（ラングミュア・ブロジェット膜）であれば都合がよい。単分子膜ないしその積層膜とすることで、正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間の電荷輸送性を損なうことなく発光層１４０Ｂの被覆性を高めることができ、良好な発光特性を有する有機ＥＬ素子が得られる。
尚、自己組織化膜は、分子の自発的な配向作用を利用して形成される緻密な単分子膜ないしその積層膜であり、ＬＢ膜は、気水界面に形成した単分子膜を横方向に加圧して配列させた膜を、基板上にすくい取って形成する単分子膜ないしその積層膜である。 The intermediate layer 155 is preferably a monomolecular film or a laminated film thereof. In order to obtain the intermediate layer 155 having such a structure more easily, a self-assembled film or an LB film (Langmuir-Blodgett film) that can form a monomolecular layer relatively easily is convenient. By using a monomolecular film or a laminated film thereof, the coverage of the light emitting layer 140B can be improved without impairing the charge transport property between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B, and the light emitting characteristics are excellent. An organic EL element is obtained.
The self-assembled film is a dense monomolecular film or a laminated film formed by utilizing the spontaneous alignment action of molecules, and the LB film is a lateral direction of the monomolecular film formed at the air-water interface. A monomolecular film or a laminated film thereof is formed by scooping and forming a film arranged under pressure on a substrate.

上記単分子膜を形成可能な中間層１５５の形成材料としては、下記式（１）に示す分子構造を有するものを例示できる。式（１）において、Ｘ基は加水分解性基であり、Ｒは炭素原子及び水素原子以外の元素を含むことがある炭化水素基であり、ｎは０以上の整数である。   Examples of the material for forming the intermediate layer 155 capable of forming the monomolecular film include those having a molecular structure represented by the following formula (1). In the formula (1), the X group is a hydrolyzable group, R is a hydrocarbon group that may contain elements other than carbon atoms and hydrogen atoms, and n is an integer of 0 or more.

Ｘ−Ｒｎ …（１） X-R n ... (1)

前記Ｘ基としては、例えば、シラノール基（−Ｓｉ（ＯＨ）３）、トリクロロシリル基（−ＳｉＣｌ３）、トリエトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＥｔ）３）、トリメトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＭｅ）３）、チオール基（−ＳＨ）、ヒドロキシル基（−ＯＨ）、アミノ基（−ＮＨ２）、リン酸基（−ＰＯ３Ｈ２）、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ）、スルホン酸基（−ＳＯ３Ｈ）、リン酸クロリド基（−ＰＯ２Ｃｌ２）、カルボン酸クロリド基（−ＣＯＣｌ）、及びスルホン酸クロリド基（−ＳＯ２Ｃｌ）等を挙げることができる。 Examples of the X group include a silanol group (—Si (OH) 3 ), a trichlorosilyl group (—SiCl 3 ), a triethoxysilyl group (—Si (OEt) 3 ), and a trimethoxysilyl group (—Si (OMe). 3 ), thiol group (—SH), hydroxyl group (—OH), amino group (—NH 2 ), phosphate group (—PO 3 H 2 ), carboxyl group (—COOH), sulfonic acid group (—SO) 3 H), phosphoric acid chloride group (—PO 2 Cl 2 ), carboxylic acid chloride group (—COCl), sulfonic acid chloride group (—SO 2 Cl), and the like.

炭化水素基Ｒは、例えばアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基等であり、分子構造に含まれる水素基がアミノ基、チオール基、フッ素原子等で置換されていてもよく、炭素鎖中に−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、−Ｎ＝等のヘテロ原子やベンゼン環が挟まっていてもよい。   The hydrocarbon group R is, for example, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an aralkyl group, etc., and a hydrogen group contained in the molecular structure may be substituted with an amino group, a thiol group, a fluorine atom, etc. A heteroatom such as -O-, -S-, -NH-, -N =, etc., or a benzene ring may be sandwiched.

上記分子構造を備える材料のうちでも、いわゆるカップリング剤と呼ばれる化合物がは利用しやすく好ましい。このようなカップリング剤としては、シランカップリング剤（シラン化合物）のほか、チタネート系やアルミネート系のものがあり、本発明に係る中間層１５５を形成する上ではいずれも適用可能である。   Among the materials having the molecular structure, a compound called a coupling agent is preferable because it is easy to use. As such a coupling agent, in addition to a silane coupling agent (silane compound), there are a titanate type and an aluminate type, and any of them can be applied to form the intermediate layer 155 according to the present invention.

両親媒性分子を構成するシラン化合物は、一般式ＲｎＳｉＸ’４−ｎで示され、Ｘ’基はＳｉを含まない加水分解性基である。またこの場合ｎは１以上３以下の整数である。
具体例を挙げるならば、プロピルトリメトキシシラン、オクチルトリメトキシシラン、デシルオクチルトリメトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、アミノオクチルトリメトキシシラン、アミノデシルオクチルトリメトキシシラン、メルカプトプロピルトリメトキシシラン、メルカプトオクチルトリメトキシシラン、メルカプトデシルオクチルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、デシルオクチルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノオクチルトリエトキシシラン、アミノデシルオクチルトリエトキシシラン、メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メルカプトオクチルトリエトキシシラン、メルカプトデシルオクチルトリエトキシシラン、プロピルトリクロロシラン、オクチルトリクロロシラン、デシルオクチルトリクロロシラン、アミノプロピルトリクロロシラン、アミノオクチルトリクロロシラン、アミノデシルオクチルトリクロロシラン、メルカプトプロピルトリクロロシラン、メルカプトオクチルトリクロロシラン、メルカプトデシルオクチルトリクロロシラン等、及び後述のフッ化アルキルシランを挙げることができる。これらの１種又は２種以上の混合物を用いることができる。 The silane compound constituting the amphiphilic molecule is represented by the general formula R n SiX ′ 4-n , and the X ′ group is a hydrolyzable group containing no Si. In this case, n is an integer of 1 to 3.
Specific examples include propyltrimethoxysilane, octyltrimethoxysilane, decyloctyltrimethoxysilane, aminopropyltrimethoxysilane, aminooctyltrimethoxysilane, aminodecyloctyltrimethoxysilane, mercaptopropyltrimethoxysilane, mercaptooctyl. Trimethoxysilane, mercaptodecyloctyltrimethoxysilane, propyltriethoxysilane, octyltriethoxysilane, decyloctyltriethoxysilane, aminopropyltriethoxysilane, aminooctyltriethoxysilane, aminodecyloctyltriethoxysilane, mercaptopropyltriethoxy Silane, mercaptooctyltriethoxysilane, mercaptodecyloctyltriethoxysilane, propyl Lichlorosilane, octyltrichlorosilane, decyloctyltrichlorosilane, aminopropyltrichlorosilane, aminooctyltrichlorosilane, aminodecyloctyltrichlorosilane, mercaptopropyltrichlorosilane, mercaptooctyltrichlorosilane, mercaptodecyloctyltrichlorosilane, etc. Mention may be made of alkylsilanes. These 1 type, or 2 or more types of mixtures can be used.

シラン化合物を用いる場合、中間層が形成される表面の原子Ｍとシラン化合物とが直接又は間接に反応し結合する。例えばシラン化合物の加水分解性基の一部が加水分解されて生成するＳｉＯＨと、表面の原子Ｍ（あるいはＭＯＨ等）が反応してＳｉ−Ｏ−Ｍ結合が形成される。   When a silane compound is used, the surface atom M on which the intermediate layer is formed and the silane compound react or bond directly or indirectly. For example, SiOH produced by hydrolysis of a part of the hydrolyzable group of the silane compound reacts with surface atoms M (or MOH or the like) to form a Si-OM bond.

また本発明において、中間層１５５は自己組織化膜であることが好ましく、係る自己組織化膜を形成し得る材料としては、下記式（２）に示す分子構造を有するものを例示できる。   In the present invention, the intermediate layer 155 is preferably a self-assembled film, and examples of materials that can form such a self-assembled film include those having a molecular structure represented by the following formula (2).

Ｘ−Ｒｎ−Ｙ …（２） X-R n -Y ... (2 )

この場合、Ｙ基としては、メチル基（ＣＨ３）、トリフルオロメチル基（ＣＦ３）、芳香族官能基、ベンゼン誘導体からなる基、ビフェニル誘導体からなる基、トリアリールアミン誘導体からなる基、及びフタロシアニン誘導体からなる基のいずれかとされる。 In this case, the Y group includes a methyl group (CH 3 ), a trifluoromethyl group (CF 3 ), an aromatic functional group, a group consisting of a benzene derivative, a group consisting of a biphenyl derivative, a group consisting of a triarylamine derivative, and One of the groups consisting of a phthalocyanine derivative.

例えば、上記材料のうち、フルオロアルキルシランを用いれば、膜の表面にフルオロアルキル基が位置するように分子が配向し、自己組織化膜が形成されるので、中間層１５５の表面で極めて均一な表面特性が得られる。フルオロアルキルシランは、一般式Ｒ”ｎＳｉＸ”（４−ｎ）で表され、ｎは１以上３以下の整数であり、Ｘ”はメトキシ基、エトキシ基、アセトキシ基、ハロゲン原子などの加水分解性基であり、Ｒ”はフルオロアルキル基（ＣＦ３−（ＣＦ２）ｘ−（ＣＨ２）ｙ；ｘは０〜１０の整数、ｙは０〜４の整数）である。フルオロアルキルシランを用いた場合の下地層（正孔注入層１４０Ａ）との結合形態は、先のシラン化合物の場合と同様である。 For example, among the above materials, when fluoroalkylsilane is used, the molecules are oriented so that the fluoroalkyl group is located on the surface of the film, and a self-assembled film is formed. Therefore, the surface of the intermediate layer 155 is extremely uniform. Surface characteristics are obtained. Fluoroalkylsilane is represented by the general formula R ″ n SiX ″ (4-n) , n is an integer of 1 to 3, and X ″ is a hydrolysis of a methoxy group, an ethoxy group, an acetoxy group, a halogen atom, or the like. R ″ is a fluoroalkyl group (CF 3 — (CF 2 ) x — (CH 2 ) y ; x is an integer of 0 to 10, y is an integer of 0 to 4). The form of bonding with the base layer (hole injection layer 140A) when fluoroalkylsilane is used is the same as that of the previous silane compound.

フルオロアルキルシランの具体例を挙げると、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリエトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリクロロシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリクロロシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等であり、これらの１種又は２種以上の混合物を用いることができる。   Specific examples of the fluoroalkylsilane include heptadecafluoro-1,1,2,2 tetrahydrodecyltriethoxysilane, heptadecafluoro-1,1,2,2 tetrahydrodecyltrimethoxysilane, heptadecafluoro-1, 1,2,2 tetrahydrodecyltrichlorosilane, tridecafluoro-1,1,2,2 tetrahydrooctyltriethoxysilane, tridecafluoro-1,1,2,2 tetrahydrooctyltrimethoxysilane, tridecafluoro-1, 1,2,2tetrahydrooctyltrichlorosilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, and the like, and one or a mixture of two or more thereof can be used.

上記式（２）に示した中間層形成材料の具体的分子構造につき、数例を以下の（化１）〜（化５）に示しておく。（化１）に示す物質は、Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ビス（３−メチルフェニル）−1，1'−ビフェニル−４，４'−ジアミン（N,N'-diphenyl-N,N'-bis(3-methylphenyl)-1,1'-biphenyl-4,4'-diamine）、（化２）に示す物質は、４，４'−ビス[（ｐ−トリメトキシシリルプロピルフェニル）フェニルアミノ]ビフェニル（4,4'-bis[(p-trimethoxysilylpropylphenyl)phenylamino]biphenyl）、（化３）に示す物質は、トリス（ｐ−トリメトキシシリルプロピルフェニル）アミン（tris(p-trimethoxysilylpropylphenyl)amine）、（化４）に示す物質は、n-ブチルトリメトキシシラン（n-butyltrimethoxysilane）、（化５）に示す物質は、メチルトリメトキシシラン（methyltrimethoxysilane）である。   Several examples of the specific molecular structure of the intermediate layer forming material represented by the above formula (2) are shown in the following (Chemical Formula 1) to (Chemical Formula 5). The substance shown in (Chemical Formula 1) is N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine (N, N′-diphenyl- N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine), the substance shown in (Chemical Formula 2) is 4,4'-bis [(p-trimethoxysilylpropyl) Phenyl) phenylamino] biphenyl (4,4'-bis [(p-trimethoxysilylpropylphenyl) phenylamino] biphenyl), the substance shown in (Chemical Formula 3) is tris (p-trimethoxysilylpropylphenyl) amine (tris (p-trimethoxysilylpropylphenyl) ) amine) and (Chemical Formula 4) are n-butyltrimethoxysilane, and (Chemical Formula 5) is methyltrimethoxysilane.

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尚、上述した式（１）、（２）の分子構造に含まれる炭素鎖の長さｎは、０〜１０程度とすることが好ましい。ｎが１０を超えると中間層１５５の導電性が低下する傾向にあり、１０以下であれば正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間の電荷輸送性を良好に確保できる。また係る電荷輸送性を確保する上では、上記Ｙ基として電荷輸送性を有するものを用いると有効である。   In addition, it is preferable that the length n of the carbon chain included in the molecular structure of the above formulas (1) and (2) is about 0 to 10. If n exceeds 10, the conductivity of the intermediate layer 155 tends to decrease, and if it is 10 or less, the charge transport property between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B can be ensured satisfactorily. Further, in order to ensure such charge transportability, it is effective to use a charge transportability as the Y group.

上に挙げた中間層形成材料を用いて中間層１５５を形成するには、後述の液滴吐出法やディップ法などの液相法が好適に用いられる。すなわち、中間層形成材料をイソプロピルアルコール等の溶媒に溶解した溶液（１％程度でよい）を液滴吐出法により正孔注入層１４０Ａ上に滴下し乾燥させる方法や、前記溶液に基板Ｐを浸漬し、洗浄、乾燥する方法により所定の単分子膜を正孔注入層１４０Ａ上に形成できる。中間層１５５としてＬＢ膜を形成する場合には、上記ディップ法における浸漬液として、気水界面に所定の単分子膜を形成したものを用いればよい。   In order to form the intermediate layer 155 using the above-described intermediate layer forming material, a liquid phase method such as a droplet discharge method or a dip method described later is preferably used. That is, a solution in which an intermediate layer forming material is dissolved in a solvent such as isopropyl alcohol (may be about 1%) is dropped on the hole injection layer 140A by a droplet discharge method and dried, or the substrate P is immersed in the solution. Then, a predetermined monomolecular film can be formed on the hole injection layer 140A by a method of washing and drying. In the case of forming an LB film as the intermediate layer 155, an immersion liquid in the dip method in which a predetermined monomolecular film is formed at the air-water interface may be used.

基板Ｐとしては、いわゆるトップエミッション型の有機ＥＬ装置の場合、有機ＥＬ素子２００が配設された側から光を取り出す構成であるので、ガラス等の透明基板のほか、不透明基板も用いることができる。不透明基板としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、また熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、さらにはそのフィルム（プラスチックフィルム）などが挙げられる。
画素電極１４１は、トップエミッション型の場合にはＩＴＯ等の透明導電材料により形成する必要はなく、金属材料等の適宜な導電材料によって形成できる。 In the case of a so-called top emission type organic EL device, the substrate P is configured to extract light from the side where the organic EL element 200 is disposed. Therefore, in addition to a transparent substrate such as glass, an opaque substrate can also be used. . Examples of opaque substrates include ceramics such as alumina, metal sheets such as stainless steel that have been subjected to insulation treatment such as surface oxidation, thermosetting resins and thermoplastic resins, and films thereof (plastic films). It is done.
In the case of the top emission type, the pixel electrode 141 does not need to be formed of a transparent conductive material such as ITO, and can be formed of an appropriate conductive material such as a metal material.

共通電極１５４は、発光層１４０Ｂとバンク１５０の上面、さらにはバンク１５０の側面部を形成する壁面を覆った状態で基板Ｐ上に形成される。この共通電極１５４を形成するための材料としては、トップエミッション型の場合、透明導電材料が用いられる。透明導電材料としてはＩＴＯが好適であるが、他の透光性導電材料であっても構わない。   The common electrode 154 is formed on the substrate P in a state of covering the light emitting layer 140 </ b> B, the upper surface of the bank 150, and the wall surface forming the side surface of the bank 150. As a material for forming the common electrode 154, in the case of the top emission type, a transparent conductive material is used. ITO is suitable as the transparent conductive material, but other translucent conductive materials may be used.

共通電極１５４の上層側には、陰極保護層を形成してもよい。係る陰極保護層を設けることで、製造プロセス時に共通電極１５４が腐食されるのを防止する効果が得られ、無機化合物、例えば、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン窒酸化物等のシリコン化合物により形成できる。共通電極５０を無機化合物からなる陰極保護層５５で覆うことにより、無機酸化物からなる陰極５０への酸素等の侵入を良好に防止することができる。なお、陰極保護層５５は、基板２００の外周部の絶縁層２８４上まで、１０ｎｍから３００ｎｍ程度の厚みに形成される。   A cathode protective layer may be formed on the upper layer side of the common electrode 154. By providing such a cathode protective layer, an effect of preventing the common electrode 154 from being corroded during the manufacturing process can be obtained, and an inorganic compound such as silicon oxide, silicon nitride, silicon nitride oxide or the like can be used. Can be formed. By covering the common electrode 50 with the cathode protective layer 55 made of an inorganic compound, it is possible to satisfactorily prevent oxygen or the like from entering the cathode 50 made of an inorganic oxide. The cathode protective layer 55 is formed to a thickness of about 10 nm to 300 nm up to the insulating layer 284 on the outer peripheral portion of the substrate 200.

尚、本実施の形態では、正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間に中間層１５５を設けた構成としたが、この中間層１５５の形成位置はこれに限定されるものではない。例えば、画素電極１４１と正孔注入層１４０Ａとの間に中間層を設けることもでき、有機機能層１４０が正孔輸送層や電子注入層等を含む場合には、それらの層間に中間層１５５を配してもよい。また、中間層１５５は有機ＥＬ素子２００につき１層のみである必要はなく、画素電極１４１と共通電極１５４との間の任意の層間に複数の中間層１５５を設けることができる。   In this embodiment, the intermediate layer 155 is provided between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B. However, the formation position of the intermediate layer 155 is not limited to this. For example, an intermediate layer can be provided between the pixel electrode 141 and the hole injection layer 140A. When the organic functional layer 140 includes a hole transport layer, an electron injection layer, or the like, the intermediate layer 155 is interposed between these layers. May be arranged. Further, the intermediate layer 155 does not need to be only one layer for the organic EL element 200, and a plurality of intermediate layers 155 can be provided between arbitrary layers between the pixel electrode 141 and the common electrode 154.

（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に、本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法の実施形態を、図面を参照して説明する。 (Method for manufacturing organic EL device)
Next, an embodiment of a method for manufacturing an organic EL device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態に係る製造方法に用いられる液滴吐出装置について説明する。図４は本発明の有機ＥＬ装置を製造する際に用いる液滴吐出装置を示す概略斜視図であり、図５及び図６は液滴吐出装置に設けられた液滴吐出ヘッドを示す図である。
図４において、液滴吐出装置ＩＪは、基板Ｐの表面（所定面）に液滴（インク滴）を配置可能な成膜装置であって、ベース１２と、ベース１２上に設けられ、基板Ｐを支持するステージ（ステージ装置）ＳＴと、ベース１２とステージＳＴとの間に介在し、ステージＳＴを移動可能に支持する第１移動装置１４と、ステージＳＴに支持されている基板Ｐに対して所定の材料を含む液滴を定量的に吐出（滴下）可能な液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を移動可能に支持する第２移動装置１６とを備えている。液滴吐出ヘッド２０の液滴の吐出動作や、第１移動装置１４及び第２移動装置１６の移動動作を含む液滴吐出装置ＩＪの動作は制御装置ＣＯＮＴにより制御される。 <Droplet ejection device>
First, a droplet discharge device used in the manufacturing method according to this embodiment will be described. FIG. 4 is a schematic perspective view showing a droplet discharge device used in manufacturing the organic EL device of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are views showing a droplet discharge head provided in the droplet discharge device. .
In FIG. 4, a droplet discharge device IJ is a film forming device that can dispose droplets (ink droplets) on the surface (predetermined surface) of a substrate P, and is provided on the base 12 and the base 12. A stage (stage device) ST that supports the substrate ST, a first moving device 14 that is interposed between the base 12 and the stage ST and that supports the stage ST so as to be movable, and a substrate P supported by the stage ST. A droplet discharge head 20 capable of quantitatively discharging (dropping) droplets containing a predetermined material and a second moving device 16 that movably supports the droplet discharge head 20 are provided. The operation of the droplet discharge device IJ including the droplet discharge operation of the droplet discharge head 20 and the movement operations of the first moving device 14 and the second moving device 16 is controlled by the control device CONT.

第１移動装置１４はベース１２の上に設置されており、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。第２移動装置１６は、ベース１２の後部１２Ａに立てられた支柱１６Ａ，１６Ａにより第１移動装置１６の上方に支持されている。第２移動装置１６のＸ軸方向は第１移動装置１４のＹ軸方向と直交する方向である。ここで、Ｙ軸方向はベース１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に沿った方向である。これに対してＸ軸方向はベース１２の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Ｚ軸方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向である。   The first moving device 14 is installed on the base 12 and is positioned along the Y-axis direction. The second moving device 16 is supported above the first moving device 16 by struts 16A, 16A standing on the rear portion 12A of the base 12. The X-axis direction of the second moving device 16 is a direction orthogonal to the Y-axis direction of the first moving device 14. Here, the Y-axis direction is a direction along the front 12B and rear 12A directions of the base 12. On the other hand, the X-axis direction is a direction along the left-right direction of the base 12 and is horizontal. The Z-axis direction is a direction perpendicular to the X-axis direction and the Y-axis direction.

第１移動装置１４は例えばリニアモータによって構成され、２本のガイドレール４０と、これらのガイドレール４０，４０に沿って移動可能なスライダー４２とを備えている。このリニアモータ形式の第１移動装置１４のスライダー４２はガイドレール４０に沿ってＹ軸方向に移動して位置決め可能である。スライダー４２はＺ軸回り（θＺ）用のモータ４４を備えている。モータ４４のロータはステージＳＴに固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとステージＳＴとはθＺ方向に沿って回転してステージＳＴをインデックス（回転割り出し）することができる。すなわち、第１移動装置１４はステージＳＴをＹ軸方向及びθＺ方向に移動可能である。   The first moving device 14 includes, for example, a linear motor, and includes two guide rails 40 and a slider 42 that can move along the guide rails 40 and 40. The slider 42 of the linear motor type first moving device 14 can be positioned by moving in the Y-axis direction along the guide rail 40. The slider 42 includes a motor 44 for rotating around the Z axis (θZ). The rotor of the motor 44 is fixed to the stage ST. Accordingly, by energizing the motor 44, the rotor and the stage ST can rotate along the θZ direction to index the stage ST (rotation index). That is, the first moving device 14 can move the stage ST in the Y-axis direction and the θZ direction.

ステージＳＴは基板Ｐを保持し所定の位置に位置決めするものである。ステージＳＴは吸着保持装置５０を有しており、吸着保持装置５０が作動することによりステージＳＴに設けられた吸入孔４６Ａを通して基板ＰをステージＳＴの上に吸着して保持する。   The stage ST holds the substrate P and positions it at a predetermined position. The stage ST has a suction holding device 50. When the suction holding device 50 is operated, the substrate P is sucked and held on the stage ST through a suction hole 46A provided in the stage ST.

第２移動装置１６はリニアモータによって構成され、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂと、このコラム１６Ｂに支持されているガイドレール６２Ａと、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されているスライダー６０とを備えている。スライダー６０はガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、液滴吐出ヘッド２０はスライダー６０に取り付けられている。   The second moving device 16 is constituted by a linear motor, and is capable of moving in the X-axis direction along the column 16B fixed to the columns 16A and 16A, the guide rail 62A supported by the column 16B, and the guide rail 62A. And a supported slider 60. The slider 60 can be positioned by moving in the X-axis direction along the guide rail 62 </ b> A, and the droplet discharge head 20 is attached to the slider 60.

液滴吐出ヘッド２０は揺動位置決め装置としてのモータ６２，６４，６６，６８を有している。モータ６２を作動すれば、液滴吐出ヘッド２０はＺ軸に沿って上下動して位置決め可能である。このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。モータ６４を作動すると、液滴吐出ヘッド２０はＹ軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ６６を作動すると、液滴吐出ヘッド２０はＸ軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ６８を作動すると、液滴吐出ヘッド２０はＺ軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。すなわち、第２移動装置１６は液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に支持するとともに、この液滴吐出ヘッド２０をθＸ方向、θＹ方向、θＺ方向に移動可能に支持する。   The droplet discharge head 20 has motors 62, 64, 66, and 68 as swing positioning devices. When the motor 62 is operated, the droplet discharge head 20 can be positioned by moving up and down along the Z axis. The Z axis is a direction (vertical direction) orthogonal to the X axis and the Y axis. When the motor 64 is operated, the droplet discharge head 20 can be positioned by swinging along the β direction around the Y axis. When the motor 66 is operated, the droplet discharge head 20 can be positioned by swinging in the γ direction around the X axis. When the motor 68 is operated, the droplet discharge head 20 can be positioned by swinging in the α direction around the Z axis. That is, the second moving device 16 supports the droplet discharge head 20 so as to be movable in the X-axis direction and the Z-axis direction, and supports the droplet discharge head 20 so as to be movable in the θX direction, the θY direction, and the θZ direction. .

このように、図４に示す液滴吐出ヘッド２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、液滴吐出ヘッド２０の吐出面２０Ｐは、ステージＳＴ側の基板Ｐに対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、液滴吐出ヘッド２０の吐出面２０Ｐには液滴を吐出する複数のノズルが設けられている。   As described above, the droplet discharge head 20 shown in FIG. 4 can be positioned by linearly moving in the Z-axis direction on the slider 60, and can be positioned by swinging along α, β, and γ. The discharge surface 20P of the discharge head 20 can accurately control the position or posture with respect to the substrate P on the stage ST side. A plurality of nozzles for discharging droplets are provided on the discharge surface 20P of the droplet discharge head 20.

図５は液滴吐出ヘッド２０を示す分解斜視図である。液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル８１を有するノズルプレート８０と、振動板８５を有する圧力室基板９０と、これらノズルプレート８０と振動板８５とを嵌め込んで支持する筐体８８とを備えて構成されている。液滴吐出ヘッド２０の主要部構造は、図６に示すように、圧力室基板９０をノズルプレート８０と振動板８５とで挟み込んだ構造とされている。ノズルプレート８０のノズル８１は、各々圧力室基板９０に区画形成された圧力室（キャビティ）９１に対応している。圧力室基板９０には、シリコン単結晶基板等をエッチングすることにより、各々が圧力室として機能可能にキャビティ９１が複数設けられている。キャビティ９１同士の間は側壁９２で分離されている。各キャビティ９１は供給口９４を介して共通の流路であるリザーバ９３に繋がっている。振動板８５は例えば熱酸化膜等により構成される。   FIG. 5 is an exploded perspective view showing the droplet discharge head 20. The droplet discharge head 20 includes a nozzle plate 80 having a plurality of nozzles 81, a pressure chamber substrate 90 having a vibration plate 85, and a casing 88 that fits and supports the nozzle plate 80 and the vibration plate 85. Configured. As shown in FIG. 6, the main structure of the droplet discharge head 20 is a structure in which a pressure chamber substrate 90 is sandwiched between a nozzle plate 80 and a vibration plate 85. The nozzles 81 of the nozzle plate 80 correspond to the pressure chambers (cavities) 91 formed in the pressure chamber substrate 90, respectively. The pressure chamber substrate 90 is provided with a plurality of cavities 91 so that each can function as a pressure chamber by etching a silicon single crystal substrate or the like. The cavities 91 are separated from each other by a side wall 92. Each cavity 91 is connected to a reservoir 93 which is a common flow path via a supply port 94. The diaphragm 85 is made of, for example, a thermal oxide film.

振動板８５にはタンク口８６が設けられ、図４に示したタンク３０からパイプ（流路）３１を通じて任意の液滴を供給可能に構成されている。振動板８５上のキャビティ８１に相当する位置には圧電体素子８７が配設されている。圧電体素子８７はＰＺＴ素子等の圧電性セラミックスの結晶を上部電極および下部電極（図示せず）で挟んだ構造を備える。圧電体素子８７は制御装置ＣＯＮＴから供給される吐出信号に対応して体積変化を発生可能に構成されている。   The diaphragm 85 is provided with a tank port 86 so that an arbitrary droplet can be supplied from the tank 30 shown in FIG. A piezoelectric element 87 is disposed at a position corresponding to the cavity 81 on the vibration plate 85. The piezoelectric element 87 has a structure in which a piezoelectric ceramic crystal such as a PZT element is sandwiched between an upper electrode and a lower electrode (not shown). The piezoelectric element 87 is configured to be able to generate a volume change corresponding to the ejection signal supplied from the control device CONT.

液滴吐出ヘッド２０から液滴を吐出するには、まず、制御装置ＣＯＮＴが液滴を吐出させるための吐出信号を液滴吐出ヘッド２０に供給する。液滴は液滴吐出ヘッド２０のキャビティ８１に流入しており、吐出信号が供給された液滴吐出ヘッド２０では、その圧電体素子８７がその上部電極と下部電極との間に加えられた電圧により体積変化を生ずる。この体積変化は振動板８５を変形させ、キャビティ８１の体積を変化させる。この結果、そのキャビティ８１のノズル穴２１１から液滴が吐出される。液滴が吐出されたキャビティ８１には吐出によって減った液体材料が新たに後述するタンク３０から供給される。
本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪに備えられた液滴吐出ヘッド２０は、圧電体素子に体積変化を生じさせて液滴を吐出させる構成であるが、発熱体により液体材料に熱を加えその膨張によって液滴を吐出させるような構成であってもよい。 In order to eject droplets from the droplet ejection head 20, first, the controller CONT supplies an ejection signal for ejecting the droplets to the droplet ejection head 20. The droplets flow into the cavity 81 of the droplet discharge head 20, and in the droplet discharge head 20 to which the discharge signal is supplied, the voltage applied to the piezoelectric element 87 between the upper electrode and the lower electrode. Causes a volume change. This volume change deforms the diaphragm 85 and changes the volume of the cavity 81. As a result, a droplet is ejected from the nozzle hole 211 of the cavity 81. The liquid material reduced by the discharge is newly supplied from the tank 30 described later to the cavity 81 from which the droplet has been discharged.
The liquid droplet ejection head 20 provided in the liquid droplet ejection apparatus IJ according to the present embodiment is configured to cause a volume change in a piezoelectric element to eject liquid droplets, but heat is applied to a liquid material by a heating element. The configuration may be such that droplets are ejected by the expansion.

図４に戻り、基板Ｐ上に設けられる液体材料は、液体材料調整装置Ｓにより生成される。液体材料調整装置Ｓは、液体材料を収容可能なタンク３０と、タンク３０に取り付けられ、このタンク３０に収容されている液体材料の温度を調整する温度調整装置３２と、タンク３０に収容されている液体材料を攪拌する撹拌装置３３とを備えている。温度調整装置３２はヒータにより構成されており、タンク３０内の液体材料を任意の温度に調整する。温度調整装置３２は制御装置ＣＯＮＴにより制御され、タンク３０内の液体材料は温度調整装置３２により温度調整されることで所望の粘度に調整される。   Returning to FIG. 4, the liquid material provided on the substrate P is generated by the liquid material adjusting device S. The liquid material adjusting device S is stored in the tank 30 that can store the liquid material, a temperature adjusting device 32 that is attached to the tank 30 and adjusts the temperature of the liquid material stored in the tank 30, and the tank 30. And a stirring device 33 for stirring the liquid material. The temperature adjusting device 32 includes a heater, and adjusts the liquid material in the tank 30 to an arbitrary temperature. The temperature adjusting device 32 is controlled by the control device CONT, and the temperature of the liquid material in the tank 30 is adjusted by the temperature adjusting device 32 to be adjusted to a desired viscosity.

タンク３０はパイプ（流路）３１を介して液滴吐出ヘッド２０に接続しており、液滴吐出ヘッド２０から吐出される液体材料の液滴はタンク３０からパイプ３１を介して供給される。また、パイプ３１を流れる液体材料は不図示のパイプ温度調整装置によって所定の温度に制御され、粘度を調整される。更に、液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の温度は、液滴吐出ヘッド２０に設けられた不図示の温度調整装置により制御され、所望の粘度に調整されるようになっている。   The tank 30 is connected to the droplet discharge head 20 via a pipe (flow path) 31, and the liquid material droplets discharged from the droplet discharge head 20 are supplied from the tank 30 via the pipe 31. The liquid material flowing through the pipe 31 is controlled to a predetermined temperature by a pipe temperature adjusting device (not shown), and the viscosity is adjusted. Further, the temperature of the droplets ejected from the droplet ejection head 20 is controlled by a temperature adjusting device (not shown) provided in the droplet ejection head 20 so as to be adjusted to a desired viscosity.

尚、図４には液滴吐出ヘッド２０及び液体材料調整装置Ｓのそれぞれが１つだけ図示されているが、液滴吐出装置ＩＪには複数の液滴吐出ヘッド２０及び液体材料調整装置Ｓが設けられており、これら複数の液滴吐出ヘッド２０のそれぞれから異種または同種の液体材料の液滴が吐出されるようになっている。そして、基板Ｐに対してこれら複数の液滴吐出ヘッド２０のうち、第１の液滴吐出ヘッドから第１の液体材料を吐出した後、これを焼成又は乾燥し、次いで第２の液滴吐出ヘッドから第２の液体材料を基板Ｐに対して吐出した後これを焼成又は乾燥し、以下、複数の液滴吐出ヘッドを用いて同様の処理を行うことにより、基板Ｐ上に複数の材料層が積層され、多層パターンを形成できるようになっている。   FIG. 4 shows only one droplet discharge head 20 and one liquid material adjusting device S, but the droplet discharge device IJ includes a plurality of droplet discharge heads 20 and liquid material adjusting devices S. The liquid droplets of different or the same kind of liquid material are discharged from each of the plurality of liquid droplet discharge heads 20. Then, after the first liquid material is discharged from the first droplet discharge head among the plurality of droplet discharge heads 20 to the substrate P, this is fired or dried, and then the second droplet discharge head is discharged. After the second liquid material is discharged from the head onto the substrate P, this is baked or dried, and thereafter, a plurality of material layers are formed on the substrate P by performing the same processing using a plurality of droplet discharge heads. Are stacked so that a multilayer pattern can be formed.

＜有機ＥＬ装置の製造手順＞
次に、上述した液滴吐出装置ＩＪを用いて本発明に係る有機ＥＬ装置の製造手順について、図７及び図８を参照して説明する。 <Procedure for manufacturing organic EL device>
Next, a manufacturing procedure of the organic EL device according to the present invention using the above-described droplet discharge device IJ will be described with reference to FIGS.

まず、図７（ａ）に示すように、ガラス基板などの基板Ｐ上に、駆動用ＴＦＴ１４３を形成し、これと電気的に接続された画素電極１４１を形成した後、画素電極１４１の周縁部に沿って、無機バンク１４９及び（有機）バンク１５０を形成する。そして、必要に応じてバンク１５０の表面に撥液処理を施しておく。係る撥液処理として、例えばバンクの表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法を採用できる。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ６、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このような撥液処理を基体の一面側全体に施したとしても、ＩＴＯ膜や金属膜からなる無機材料の画素電極１４１や無機バンク１４９の表面は、有機材料からなるバンク１５０の表面よりも撥液化されにくく、バンク１５０の表面のみが選択的に撥液化され、バンク１５０に囲まれる領域内に液体材料に対する親和性の異なる複数の領域が形成される。
尚、これら駆動用ＴＦＴ１４３や画素電極１４１、バンク１４９，１５０については、公知の製造方法を適用すればよく、本明細書ではその製造工程についての説明は省略している。 First, as shown in FIG. 7A, a driving TFT 143 is formed on a substrate P such as a glass substrate, and a pixel electrode 141 electrically connected thereto is formed. Then, a peripheral portion of the pixel electrode 141 is formed. The inorganic bank 149 and the (organic) bank 150 are formed along the line. Then, a liquid repellent treatment is performed on the surface of the bank 150 as necessary. As such liquid repellent treatment, for example, a method of treating the surface of the bank with a fluorine compound or the like can be employed. Examples of the fluorine compound include CF 4 , SF 6 , and CHF 3 , and examples of the surface treatment include plasma treatment and UV irradiation treatment. Even when such a liquid repellent treatment is applied to the entire surface of the substrate, the surface of the pixel electrode 141 or inorganic bank 149 made of an inorganic material made of an ITO film or a metal film is more repellent than the surface of the bank 150 made of an organic material. It is difficult to liquefy, and only the surface of the bank 150 is selectively lyophobic, and a plurality of regions having different affinity for the liquid material are formed in the region surrounded by the bank 150.
A known manufacturing method may be applied to the driving TFT 143, the pixel electrode 141, and the banks 149 and 150, and the description of the manufacturing process is omitted in this specification.

次に、図７（ｂ）に示すように、基板Ｐの上面を上に向けた状態で、先に記載の正孔注入層形成材料を含む液体材料１１４ａを液滴吐出ヘッド２０によりバンク１５０に囲まれた塗布位置に選択的に塗布する。正孔注入層を形成するための液体材料１１４ａは、図４に示した液体材料調整装置Ｓにより調製され、正孔注入層形成材料及び溶媒を含むものであり、例えばＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの分散液を使用する。本実施形態において、液滴吐出法にて正孔注入層を形成しているが、基板上に形成した非親和性（撥液性）を示す部位と親和性（親液性）を示す部位を利用して、スリットコート（或いはカーテンコート）、ダイコート法により正孔注入層を形成してもよい。
上述した正孔注入層形成用材料を含む液体材料１１４ａが液滴吐出ヘッド２０より基板Ｐ上に吐出されると、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んでバンク１５０が形成されているので、液体材料１１４ａはバンク１５０を越えてその外側に広がらないようになっている。 Next, as shown in FIG. 7B, with the upper surface of the substrate P facing upward, the liquid material 114a containing the hole injection layer forming material described above is applied to the bank 150 by the droplet discharge head 20. Apply selectively to the enclosed application position. The liquid material 114a for forming the hole injection layer is prepared by the liquid material adjusting device S shown in FIG. 4 and includes a hole injection layer forming material and a solvent. For example, a PEDOT / PSS dispersion liquid is used. use. In the present embodiment, the hole injection layer is formed by the droplet discharge method. However, the portion having non-affinity (liquid repellency) formed on the substrate and the portion having affinity (lyophilicity) are formed. The hole injection layer may be formed by slit coating (or curtain coating) or die coating.
When the liquid material 114a including the hole injection layer forming material described above is discharged onto the substrate P from the droplet discharge head 20, the liquid material 114a tends to spread in the horizontal direction because of its high fluidity, but surrounds the applied position. Since the bank 150 is formed, the liquid material 114a does not extend beyond the bank 150 to the outside thereof.

続いて、図７（ｃ）に示すように加熱あるいは光照射により液体材料１１４ａの溶媒を蒸発させて画素電極１４１上に固形の正孔注入層１４０Ａを形成する。あるいは、大気環境下又は窒素ガス雰囲気下において所定温度及び時間（一例として２００℃、１０分）焼成するようにしてもよい。あるいは大気圧より低い圧力環境下（真空環境下）に配置することで溶媒を除去するようにしてもよい。   Subsequently, as shown in FIG. 7C, the solvent of the liquid material 114 a is evaporated by heating or light irradiation to form a solid hole injection layer 140 </ b> A on the pixel electrode 141. Alternatively, firing may be performed at a predetermined temperature and time (for example, 200 ° C., 10 minutes) in an air environment or a nitrogen gas atmosphere. Or you may make it remove a solvent by arrange | positioning under the pressure environment (vacuum environment) lower than atmospheric pressure.

続いて、図７（ｃ）に示すように、基板Ｐの上面を上に向けた状態で液滴吐出ヘッド２０より、先に記載の中間層形成材料と溶媒とを含む液体材料１１５をバンク１５０内の正孔注入層１４０Ａ上に選択的に塗布する。その後溶媒を蒸発させると、図８（ａ）に示すような中間層１５５が得られるが、この中間層１５５は、例えば中間層形成材料としてフルオロアルキルシランが含まれている場合、加水分解性基（Ｘ”基）が正孔注入層１４０Ａ表面に優先的に結合し、非極性基であるフルオロアルキル基が中間層１５５の表面に整然と配列された単分子膜又はその積層膜となる。この中間層１５５は、単分子層〜２分子層程度にごく薄く形成することが好ましく、このように薄く形成すれば、正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとの間の電荷移動度を損なうことなく十分な効果が得られる。   Subsequently, as shown in FIG. 7C, the liquid material 115 containing the intermediate layer forming material and the solvent described above is supplied from the droplet discharge head 20 with the upper surface of the substrate P facing upward. This is selectively applied on the hole injection layer 140A. Thereafter, when the solvent is evaporated, an intermediate layer 155 as shown in FIG. 8A is obtained. This intermediate layer 155, for example, contains a hydrolyzable group when fluoroalkylsilane is contained as an intermediate layer forming material. The (X ″ group) is preferentially bonded to the surface of the hole injection layer 140A, and a monomolecular film or a laminated film thereof in which fluoroalkyl groups, which are nonpolar groups, are regularly arranged on the surface of the intermediate layer 155. The layer 155 is preferably formed to be as thin as a monomolecular layer to a bimolecular layer, and such a thin layer is sufficient without impairing the charge mobility between the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B. Effects can be obtained.

次に、図８（ｂ）に示すように、発光層形成材料を含む液体材料１１４ｂを液滴吐出ヘッド２０から吐出して、発光層形成材料と溶媒とを含む液体材料１１４ｂをバンク１５０内の中間層１５５上に塗布する。本実施形態の場合、この液体材料１１４ｂの溶媒には、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の非極性溶媒を用いるのがよい。上記フルオロアルキルシランの非極性基との親和性に優れるからである。
このように液体材料１１４ｂを塗布すると、中間層１５５の作用により、液体材料１１４ｂは中間層１５５の表面で良好に濡れ広がり、均一にバンク１５０内に充たされる。 Next, as shown in FIG. 8B, the liquid material 114b containing the light emitting layer forming material is discharged from the droplet discharge head 20, and the liquid material 114b containing the light emitting layer forming material and the solvent is stored in the bank 150. It is applied on the intermediate layer 155. In the present embodiment, a nonpolar solvent such as cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, or tetramethylbenzene is preferably used as the solvent for the liquid material 114b. This is because the affinity of the fluoroalkylsilane with the nonpolar group is excellent.
When the liquid material 114 b is applied in this manner, the liquid material 114 b is wet and spread well on the surface of the intermediate layer 155 by the action of the intermediate layer 155 and is uniformly filled in the bank 150.

尚、複数色の有機ＥＬ素子が基板上に配列されたカラー表示が可能な有機ＥＬ装置を製造する場合、液体材料１１４ｂの吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層形成材料を含む液体材料、緑色の発色光を発光する発光層形成材料を含む液体材料、青色の発色光を発光する発光層形成材料を含む液体材料を、それぞれ対応するバンク１５０内部（画素７１）に吐出し塗布することによって行う。なお、各色に対応する画素７１は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。   When manufacturing an organic EL device capable of color display in which a plurality of colors of organic EL elements are arranged on a substrate, the formation of the light emitting layer by discharging the liquid material 114b is the formation of a light emitting layer that emits red colored light. A liquid material containing a material, a liquid material containing a light emitting layer forming material that emits green colored light, and a liquid material containing a light emitting layer forming material that emits blue colored light are placed inside the corresponding bank 150 (pixel 71). It is performed by discharging and applying. The pixels 71 corresponding to the respective colors are determined in advance so that they are regularly arranged.

このようにして各色の発光層形成用材料を含む液体材料１１４ｂを吐出し塗布したならば、液体材料１１４ｂ中の溶媒を蒸発させる。この工程により、図８（ｃ）に示すように正孔注入層１４０Ａ上に固形の発光層１４０Ｂが形成される。上記中間層１５５により液体材料１１４ｂは均一に塗布されているので、得られる発光層１４０Ｂもその膜厚、膜質が均一なものとなる。
これにより正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとからなる有機機能層１４０が得られる。ここで、発光層形成用材料を含む液体材料１１４ｂ中の溶媒の蒸発については、必要に応じて加熱あるいは減圧等の処理を行うが、発光層形成用材料は通常乾燥性が良好で速乾性であることから、特にこのような処理を行うことなく、したがって各色の発光層形成用材料を順次吐出塗布することにより、その塗布順に各色の発光層１４０Ｂを形成することができる。 When the liquid material 114b including the light emitting layer forming material of each color is discharged and applied in this manner, the solvent in the liquid material 114b is evaporated. By this step, as shown in FIG. 8C, a solid light emitting layer 140B is formed on the hole injection layer 140A. Since the liquid material 114b is uniformly applied by the intermediate layer 155, the resulting light emitting layer 140B also has a uniform film thickness and film quality.
Thereby, the organic functional layer 140 composed of the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B is obtained. Here, regarding the evaporation of the solvent in the liquid material 114b containing the light emitting layer forming material, treatment such as heating or decompression is performed as necessary. However, the light emitting layer forming material usually has a good drying property and a fast drying property. For this reason, the light emitting layer 140B of each color can be formed in the order of application by sequentially discharging and applying the light emitting layer forming material of each color without performing such a process.

その後、図８（ｃ）に示すように、透明基板Ｐの表面全体に、あるいはストライプ状に、ＩＴＯ等の透明導電材料からなる共通電極１５４を形成する。こうして、有機ＥＬ素子２００を製造することができる。尚、本実施形態において有機ＥＬ素子２００は画素電極１４１と正孔注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂと共通電極１５４とを含むものである。   Thereafter, as shown in FIG. 8C, a common electrode 154 made of a transparent conductive material such as ITO is formed on the entire surface of the transparent substrate P or in a stripe shape. Thus, the organic EL element 200 can be manufactured. In the present embodiment, the organic EL element 200 includes a pixel electrode 141, a hole injection layer 140A, a light emitting layer 140B, and a common electrode 154.

このような有機ＥＬ装置の製造方法において、正孔注入層１４０Ａや発光層１４０Ｂ、中間層１５５といった有機ＥＬ素子の構成要素となる薄膜は液滴吐出装置ＩＪにより製造されるので、正孔注入層１４０Ａや発光層１４０Ｂの形成用材料となる液体材料のロスは少なく、正孔注入層１４０Ａや発光層１４０Ｂは比較的安価にしかも安定して形成される。   In such a method of manufacturing an organic EL device, since the thin film that is a component of the organic EL element such as the hole injection layer 140A, the light emitting layer 140B, and the intermediate layer 155 is manufactured by the droplet discharge device IJ, the hole injection layer There is little loss of the liquid material used as the material for forming 140A and the light emitting layer 140B, and the hole injection layer 140A and the light emitting layer 140B are formed relatively inexpensively and stably.

上記有機ＥＬ装置の製造方法では、中間層１５５を液滴吐出法により形成する場合について説明したが、中間層１５５は、ディップ法により形成してもよい。この場合、浸漬液にフルオロアルキルシラン溶液を用いれば、基板Ｐの浸漬／引上げを行うことで、フルオロアルキルシランからなる中間層１５５が形成できる。また浸漬液として、表面に脂肪酸誘導体の単分子膜を形成したものを用いれば、基板Ｐの浸漬／引上げを行うことで、前記単分子膜が基板Ｐ表面に転写される（ＬＢ膜）。   In the method for manufacturing the organic EL device, the case where the intermediate layer 155 is formed by a droplet discharge method has been described. However, the intermediate layer 155 may be formed by a dipping method. In this case, if a fluoroalkylsilane solution is used as the immersion liquid, the intermediate layer 155 made of fluoroalkylsilane can be formed by immersing / pulling up the substrate P. Moreover, if the immersion liquid used is a monomolecular film of a fatty acid derivative formed on the surface, the monomolecular film is transferred to the surface of the substrate P (LB film) by immersing / pulling up the substrate P.

（電子機器）
図９は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視構成図である。
図９に示す映像モニタ１２００は、先の実施形態の有機ＥＬ装置を備えた表示部１２０１と、筐体１２０２と、スピーカ１２０３等を備えて構成されている。この映像モニタ１２００では、先の実施形態の有機ＥＬ装置による高画質で、均一な明るさの表示が可能である。
上記各実施の形態の有機ＥＬ装置は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの電子機器においても、高画質表示が可能にである。 (Electronics)
FIG. 9 is a perspective configuration diagram illustrating an example of an electronic apparatus according to the invention.
A video monitor 1200 shown in FIG. 9 includes a display unit 1201 including the organic EL device of the previous embodiment, a housing 1202, a speaker 1203, and the like. The video monitor 1200 can display a uniform brightness with high image quality by the organic EL device of the previous embodiment.
The organic EL device of each of the above embodiments is not limited to the above mobile phone, but is an electronic book, a personal computer, a digital still camera, a viewfinder type or a monitor direct view type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator. It can be suitably used as an image display means for a word processor, a workstation, a videophone, a POS terminal, a device equipped with a touch panel, etc., and any electronic device can display a high image quality.

図１は、実施形態に係る有機ＥＬ装置の回路構成図。FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an organic EL device according to an embodiment. 図２は、同、１画素を示す平面構成図。FIG. 2 is a plan configuration diagram showing one pixel. 図３は、図２のＡ−Ａ線に沿う断面構成図。FIG. 3 is a cross-sectional configuration diagram taken along the line AA in FIG. 2. 図４は、実施形態に係る液滴吐出装置の斜視構成図。FIG. 4 is a perspective configuration diagram of the droplet discharge device according to the embodiment. 図５は、液滴吐出ヘッドの分解斜視図。FIG. 5 is an exploded perspective view of the droplet discharge head. 図６は、液滴吐出ヘッドの拡大斜視構成図。FIG. 6 is an enlarged perspective configuration diagram of the droplet discharge head. 図７は、実施形態に係る製造工程を示す断面工程図。FIG. 7 is a cross-sectional process diagram illustrating a manufacturing process according to the embodiment. 図８は、実施形態に係る製造工程を示す断面工程図。FIG. 8 is a cross-sectional process diagram illustrating a manufacturing process according to the embodiment. 図９は、電子機器の一例を示す斜視構成図。FIG. 9 is a perspective configuration diagram illustrating an example of an electronic apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

２０ 液滴吐出ヘッド、７０ 有機ＥＬ装置、１１４ａ，１１４ｂ，１１５ 液体材料、１４０ 有機機能層、１４１ 画素電極、１４３ 駆動用ＴＦＴ、１５０ バンク（隔壁部材）、１５５ 中間層、１５４ 共通電極、２００ 有機ＥＬ素子、２３０，２４０ 層間絶縁膜、ＩＪ 液滴吐出装置、Ｐ 基板（基体）   20 Liquid droplet ejection head, 70 Organic EL device, 114a, 114b, 115 Liquid material, 140 Organic functional layer, 141 Pixel electrode, 143 Driving TFT, 150 Bank (partition member), 155 Intermediate layer, 154 Common electrode, 200 Organic EL element, 230, 240 interlayer insulation film, IJ droplet discharge device, P substrate (base)

Claims (17)

一対の電極間に有機機能層を挟持してなる有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記有機機能層が、液相法により形成された液相形成層を含んでおり、
前記液相形成層が、表面改質機能を有する中間層上に形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 An organic electroluminescence element comprising an organic functional layer sandwiched between a pair of electrodes,
The organic functional layer includes a liquid phase forming layer formed by a liquid phase method,
An organic electroluminescence device, wherein the liquid phase forming layer is formed on an intermediate layer having a surface modification function. 前記中間層が、両親媒性分子を層厚方向に配向させてなる構造を有することを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the intermediate layer has a structure in which amphiphilic molecules are oriented in the layer thickness direction. 前記中間層が、単分子膜又はその積層膜であることを特徴とする請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to claim 2, wherein the intermediate layer is a monomolecular film or a laminated film thereof. 前記中間層を構成する材料が、次の式（１）に示す分子構造を有しており、
式（１）に示すＸ基が加水分解性基であることを特徴とする請求項１から請求項３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
Ｘ−Ｒｎ …（１）
但し、Ｒは炭素原子及び水素原子以外の元素を含むことのある炭化水素基であり、ｎは０以上の整数である。 The material constituting the intermediate layer has a molecular structure represented by the following formula (1):
The X group shown in Formula (1) is a hydrolyzable group, The organic electroluminescent element of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
X-R n ... (1)
However, R is a hydrocarbon group that may contain elements other than carbon atoms and hydrogen atoms, and n is an integer of 0 or more. 前記Ｘ基が、シラノール基（−Ｓｉ（ＯＨ）３）、トリクロロシリル基（−ＳｉＣｌ３）、トリエトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＥｔ）３）、トリメトキシシリル基（−Ｓｉ（ＯＭｅ）３）、チオール基（−ＳＨ）、ヒドロキシル基（−ＯＨ）、アミノ基（−ＮＨ２）、リン酸基（−ＰＯ３Ｈ２）、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ）、スルホン酸基（−ＳＯ３Ｈ）、リン酸クロリド基（−ＰＯ２Ｃｌ２）、カルボン酸クロリド基（−ＣＯＣｌ）、及びスルホン酸クロリド基（−ＳＯ２Ｃｌ）、から選ばれる１種であることを特徴とする請求項４に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The X group is a silanol group (—Si (OH) 3 ), a trichlorosilyl group (—SiCl 3 ), a triethoxysilyl group (—Si (OEt) 3 ), or a trimethoxysilyl group (—Si (OMe) 3 ). , Thiol group (—SH), hydroxyl group (—OH), amino group (—NH 2 ), phosphate group (—PO 3 H 2 ), carboxyl group (—COOH), sulfonic acid group (—SO 3 H) 5. It is one kind selected from phosphoric acid chloride group (—PO 2 Cl 2 ), carboxylic acid chloride group (—COCl), and sulfonic acid chloride group (—SO 2 Cl). The organic electroluminescent element of description. 前記中間層を構成する材料が、シラン化合物であることを特徴とする請求項５に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   6. The organic electroluminescence device according to claim 5, wherein the material constituting the intermediate layer is a silane compound. 前記中間層が、自己組織化膜であることを特徴とする請求項３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to claim 3, wherein the intermediate layer is a self-assembled film. 前記中間層を構成する材料が、次の式（２）に示す分子構造を有しており、
式（２）に示すＹ基が、メチル基（ＣＨ３）、トリフルオロメチル基（ＣＦ３）、芳香族官能基、ベンゼン誘導体からなる基、ビフェニル誘導体からなる基、トリアリールアミン誘導体からなる基、及びフタロシアニン誘導体からなる基、から選ばれる１種であることを特徴とする請求項７に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
Ｘ−Ｒｎ−Ｙ …（２） The material constituting the intermediate layer has a molecular structure represented by the following formula (2):
Y group represented by formula (2) is a group composed of a methyl group (CH 3 ), a trifluoromethyl group (CF 3 ), an aromatic functional group, a group composed of a benzene derivative, a group composed of a biphenyl derivative, or a group composed of a triarylamine derivative. And an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein the organic electroluminescent device is one selected from the group consisting of phthalocyanine derivatives.
X-R n -Y ... (2 ) 前記中間層を構成する材料が、フルオロアルキルシランであることを特徴とする請求項８に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescent element according to claim 8, wherein the material constituting the intermediate layer is fluoroalkylsilane. 前記中間層が、ＬＢ（ラングミュア・ブロジェット）膜であることを特徴とする請求項３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to claim 3, wherein the intermediate layer is an LB (Langmuir-Blodget) film. 前記有機機能層が、正孔注入層と発光層とを含んでおり、前記両層の間に前記中間層が設けられていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The said organic functional layer contains the positive hole injection layer and the light emitting layer, The said intermediate | middle layer is provided between the said both layers, The any one of Claim 1 to 10 characterized by the above-mentioned. Organic electroluminescence element. 前記中間層が、前記有機機能層と前記電極との間に設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescent element according to any one of claims 1 to 11, wherein the intermediate layer is provided between the organic functional layer and the electrode. 一対の電極間に有機機能層を挟持してなる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
基体上に第１の電極を形成する工程と、
前記第１の電極上に、直接又は前記有機機能層の一部の層を介して、表面改質機能を有する中間層を形成する工程と、
前記中間層上に、前記有機機能層の一部の層を液相法により形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 A method for producing an organic electroluminescent element comprising an organic functional layer sandwiched between a pair of electrodes,
Forming a first electrode on a substrate;
Forming an intermediate layer having a surface modification function on the first electrode directly or via a part of the organic functional layer;
Forming a part of the organic functional layer on the intermediate layer by a liquid phase method;
The manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by including. 前記中間層を、液相法により形成することを特徴とする請求項１３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 13, wherein the intermediate layer is formed by a liquid phase method. 前記中間層を形成するに際して、液滴吐出法を用いることを特徴とする請求項１４に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   The method for manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 14, wherein a droplet discharge method is used when forming the intermediate layer. 前記中間層を形成するに際して、ディップ法を用いることを特徴とする請求項１４に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   15. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 14, wherein a dipping method is used when forming the intermediate layer. 請求項１から１２のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the organic electroluminescent element according to claim 1.
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