JP2005223022A - アバランシ・フォトダイオード - Google Patents
アバランシ・フォトダイオード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005223022A JP2005223022A JP2004027302A JP2004027302A JP2005223022A JP 2005223022 A JP2005223022 A JP 2005223022A JP 2004027302 A JP2004027302 A JP 2004027302A JP 2004027302 A JP2004027302 A JP 2004027302A JP 2005223022 A JP2005223022 A JP 2005223022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- type
- thickness
- light absorption
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims abstract description 95
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 12
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/102—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
- H01L31/107—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier working in avalanche mode, e.g. avalanche photodiodes
- H01L31/1075—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier working in avalanche mode, e.g. avalanche photodiodes in which the active layers, e.g. absorption or multiplication layers, form an heterostructure, e.g. SAM structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 アバランシ・フォトダイオードの動作状態において、p型光吸収層16はその一部を除いてp型中性(非空乏化光吸収層)を保ち、かつ、低濃度光吸収層15は空乏化(空乏化光吸収層)する様に、各々の光吸収層のドーピング濃度分布が決定されている。また、p型光吸収層16の層厚WANと低濃度光吸収層15の層厚WADとの比は、光吸収層の層厚WA(=WAN+WAD)が一定の条件において、WAD>0.3μmの範囲であって、かつ、光吸収により光吸収層中に発生するキャリアの走行に伴う素子応答の遅延時間を極少値にするように決定されている。
【選択図】 図1
Description
(第1の実施形態)
図1は、本発明のアバランシ・フォトダイオードの構成例を説明するための図であり、図1(a)は断面図、図1(b)は動作時におけるバンドダイアグラムである。これらの図において、11はn型InPのn型電極層、12はInPのなだれ増倍層、13はInPの電界制御層、14はInGaAsPのバンドギャップ傾斜層、15は低濃度InGaAsの低濃度光吸収層、16はp型InGaAsのp型光吸収層、17はp型InGaAsPのp型電極層、18および19は金属電極でありそれぞれn電極およびp電極である。なお、p型光吸収層16および低濃度光吸収層15は、InGaAsに限らずInGaAsP混晶半導体としてもよい。
本発明のアバランシ・フォトダイオードのpin−PD動作時における帯域において、空乏化光吸収層およびp型光吸収層の各層独立でのキャリア走行時間を求めると、基本的に式(1)および式(3)に従って、p型光吸収層のキャリア走行時間としてτN=WAN 2/3Deが得られ、また、アバランシ層は層厚が薄いのでその部分の影響を無視すると、空乏化光吸収層のキャリア走行時間としてτD=WAD/3vhが得られる。
帯域はf3dB=1/[2πτtotal]で近似されるので、式(10)のτtotalが最小になる様にWADとWANを定めることにより本発明のアバランシ・フォトダイオードの帯域を最適化できる。
以下では、本発明のアバランシ・フォトダイオードの具体的な構造について、帯域f3dBが最大となるWAD1とWAN2の組み合わせについて説明する。ここでは、構造例として、40Gbit/sアバランシ・フォトダイオードを念頭において考える。
12、42、52 なだれ増倍層
13、43、53 電界制御層
14、44、54 バンドギャップ傾斜層
15、45、55 低濃度光吸収層
16、56 p型光吸収層
17、46、57 p型電極層
18 n電極
19、47、58 p電極
Claims (3)
- n型電極層と、なだれ増倍層と、電界制御層と、バンドギャップ傾斜層と、層厚WAの光吸収層と、p型電極層とが順次積層された積層体を備えているアバランシ・フォトダイオードであって、
前記光吸収層は、前記p型電極層側に設けられた層厚WANのp型層と前記バンドギャップ傾斜層側に設けられた層厚WADの低濃度層との接合により構成されており、
前記p型層および前記低濃度層の各々のドーピングプロファイルは、素子動作状態において、前記p型層は前記低濃度層との接合界面近傍領域を除いてp型中性状態を維持する一方、前記低濃度層は空乏化するように決定されているとともに、
前記p型層の層厚WANと前記低濃度層の層厚WADとの比が、光吸収により前記光吸収層中に発生するキャリアの走行に伴う素子応答の遅延時間をτtotal、前記p型層に起因する遅延時間をτN2、前記低濃度層に起因する遅延時間をτD1、前記光吸収層の全域を前記低濃度層とした場合の遅延時間をτDとした場合に、前記光吸収層の層厚WA(=WAN+WAD)が一定の条件において、次式を満足するように決定されていることを特徴とするアバランシ・フォトダイオード。
- 前記p型層の層厚WANと前記低濃度層の層厚WADとの比は、〔(WAD×τD1+WAN×τN2)/WA〕が極小値をとるように決定されていることを特徴とする請求項1に記載のアバランシ・フォトダイオード。
- 前記p型層および前記低濃度層は、InGaAsP混晶半導体から成り、素子動作時における前記低濃度層の空乏化厚が0.3μmよりも厚い(WAD>0.3μm)ことを特徴とする請求項1または2に記載のアバランシ・フォトダイオード。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004027302A JP2005223022A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | アバランシ・フォトダイオード |
EP05709692.7A EP1713133A4 (en) | 2004-02-03 | 2005-02-03 | Avalanche photodiode |
CNB2005800039138A CN100495741C (zh) | 2004-02-03 | 2005-02-03 | 雪崩光敏二极管 |
US10/587,818 US7557387B2 (en) | 2004-02-03 | 2005-02-03 | Avalanche photodiode |
PCT/JP2005/001599 WO2005076371A1 (ja) | 2004-02-03 | 2005-02-03 | アバランシ・フォトダイオード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004027302A JP2005223022A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | アバランシ・フォトダイオード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005223022A true JP2005223022A (ja) | 2005-08-18 |
Family
ID=34835884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004027302A Pending JP2005223022A (ja) | 2004-02-03 | 2004-02-03 | アバランシ・フォトダイオード |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7557387B2 (ja) |
EP (1) | EP1713133A4 (ja) |
JP (1) | JP2005223022A (ja) |
CN (1) | CN100495741C (ja) |
WO (1) | WO2005076371A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007000996A1 (ja) | 2005-06-27 | 2007-01-04 | Ntt Electronics Corporation | アバランシ・フォトダイオード |
WO2010071088A1 (ja) | 2008-12-17 | 2010-06-24 | Nttエレクトロニクス株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
JP2015520950A (ja) * | 2012-05-17 | 2015-07-23 | ピコメトリクス、エルエルシー | 平面のアバランシェ・フォトダイオード |
JP2015149332A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 日本電信電話株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
JP2018152489A (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-27 | 日本電信電話株式会社 | アバランシェフォトダイオード |
JP2019160900A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体受光素子、光受信モジュール、光モジュール、及び光伝送装置 |
CN111211196A (zh) * | 2020-02-15 | 2020-05-29 | 北京工业大学 | 一种高灵敏度高线性度探测器 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009139936A2 (en) * | 2008-02-14 | 2009-11-19 | California Institute Of Technology | Single photon detection with self-quenching multiplication |
US7720342B2 (en) * | 2008-04-15 | 2010-05-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical device with a graded bandgap structure and methods of making and using the same |
TW201001736A (en) * | 2008-06-19 | 2010-01-01 | Univ Nat Central | A high-speed avalanche photodiode |
WO2011127343A2 (en) * | 2010-04-08 | 2011-10-13 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Avalanche photodiode operating voltage selection algorithm |
US8461624B2 (en) * | 2010-11-22 | 2013-06-11 | Intel Corporation | Monolithic three terminal photodetector |
JP6036197B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-11-30 | 三菱電機株式会社 | アバランシェフォトダイオードの製造方法 |
CN107004734A (zh) * | 2014-12-05 | 2017-08-01 | 日本电信电话株式会社 | 雪崩光电二极管 |
US10490687B2 (en) | 2018-01-29 | 2019-11-26 | Waymo Llc | Controlling detection time in photodetectors |
CN111403540B (zh) * | 2020-01-15 | 2022-02-15 | 华中科技大学 | 一种雪崩光电二极管 |
US11342472B2 (en) * | 2020-06-15 | 2022-05-24 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Temperature insensitive optical receiver |
US11450782B2 (en) * | 2020-09-03 | 2022-09-20 | Marvell Asia Pte Ltd. | Germanium-on-silicon avalanche photodetector in silicon photonics platform, method of making the same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61198688A (ja) | 1985-02-27 | 1986-09-03 | Nec Corp | 半導体受光素子 |
JP3141847B2 (ja) | 1998-07-03 | 2001-03-07 | 日本電気株式会社 | アバランシェフォトダイオード |
US20030111675A1 (en) * | 2001-11-27 | 2003-06-19 | Jds Uniphase Corporation | Doped absorption for enhanced responsivity for high speed photodiodes |
JP4093304B2 (ja) * | 2002-06-26 | 2008-06-04 | Nttエレクトロニクス株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
-
2004
- 2004-02-03 JP JP2004027302A patent/JP2005223022A/ja active Pending
-
2005
- 2005-02-03 EP EP05709692.7A patent/EP1713133A4/en not_active Withdrawn
- 2005-02-03 WO PCT/JP2005/001599 patent/WO2005076371A1/ja active Application Filing
- 2005-02-03 US US10/587,818 patent/US7557387B2/en active Active
- 2005-02-03 CN CNB2005800039138A patent/CN100495741C/zh active Active
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007000996A1 (ja) | 2005-06-27 | 2007-01-04 | Ntt Electronics Corporation | アバランシ・フォトダイオード |
US7880197B2 (en) | 2005-06-27 | 2011-02-01 | Ntt Electronics Corporation | Avalanche photodiode having doping region with monotonically increasing concentration distribution |
WO2010071088A1 (ja) | 2008-12-17 | 2010-06-24 | Nttエレクトロニクス株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
JP2010147177A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Ntt Electornics Corp | アバランシ・フォトダイオード |
US8575650B2 (en) | 2008-12-17 | 2013-11-05 | Ntt Electronics Corporation | Avalanche photodiode |
JP2015520950A (ja) * | 2012-05-17 | 2015-07-23 | ピコメトリクス、エルエルシー | 平面のアバランシェ・フォトダイオード |
JP2015149332A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 日本電信電話株式会社 | アバランシ・フォトダイオード |
JP2018152489A (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-27 | 日本電信電話株式会社 | アバランシェフォトダイオード |
JP2019160900A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体受光素子、光受信モジュール、光モジュール、及び光伝送装置 |
JP7045884B2 (ja) | 2018-03-09 | 2022-04-01 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体受光素子、光受信モジュール、光モジュール、及び光伝送装置 |
CN111211196A (zh) * | 2020-02-15 | 2020-05-29 | 北京工业大学 | 一种高灵敏度高线性度探测器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005076371A1 (ja) | 2005-08-18 |
CN100495741C (zh) | 2009-06-03 |
CN1914741A (zh) | 2007-02-14 |
US20070200141A1 (en) | 2007-08-30 |
EP1713133A4 (en) | 2017-10-18 |
EP1713133A1 (en) | 2006-10-18 |
US7557387B2 (en) | 2009-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7557387B2 (en) | Avalanche photodiode | |
JP6755285B2 (ja) | アバランシェ・フォトダイオード | |
JP4234116B2 (ja) | アバランシ・フォトダイオード | |
US8729602B2 (en) | Avalanche photodiode | |
JP4093304B2 (ja) | アバランシ・フォトダイオード | |
JP6121343B2 (ja) | アバランシ・フォトダイオード | |
JP2009252769A (ja) | 半導体受光素子 | |
US6909161B2 (en) | Photodiode | |
JP5282350B2 (ja) | 半導体光素子 | |
US20140042584A1 (en) | Uni-travelling-carrier photodiode | |
JP2002231992A (ja) | 半導体受光素子 | |
JP7445152B2 (ja) | アバランシェフォトダイオード | |
JPS6285477A (ja) | 光半導体装置 | |
JP5303793B2 (ja) | フォトダイオード | |
JP4137826B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP2011176094A (ja) | フォトダイオード | |
JPS59161082A (ja) | 半導体受光装置 | |
JP2011181581A (ja) | フォトダイオード | |
JPH07235688A (ja) | アバランシェホトダイオード及び半導体装置 | |
JPS62165376A (ja) | 半導体受光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061010 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |
|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20070112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070216 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20070502 |