JP2005207743A - 差圧測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本体ボディに設けられそれぞれシールダイアフラム室を構成する高圧側と低圧側シールダイアフラムと、シールダイアフラム室それぞれ連通された伝導穴とを具備する差圧測定装置において、
外側に凸状をなすバックプレート面と、高圧側バックプレート面を覆って設けられ低圧側過大圧室を構成しバックプレート面に押圧取付けられた平板状の予加重ダイアフラムと、低圧側バックプレート面を覆って設けられ高圧側過大圧室を構成しバックプレート面に押圧取付けられた平板状の低圧側予加重ダイアフラムと、低圧側過大圧室と低圧側伝導穴とを連通する低圧側過大圧伝導穴と、高圧側過大圧室と高圧側伝導穴とを連通する高圧側過大圧伝導穴と、予加重ダイアフラムを覆ってそれぞれ設けられた平板状の高圧側と低圧側シールダイアフラムとを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。
【選択図】 図1
Description
これまでは部品点数を減らすために一体加工、一体成形などの手法を取り入れてきたが、生産拠点をローコストカントリーに移すに伴い、「入手しやすい材料を使う」、「手間はかかっても厳密な品質管理が不要な工法を採用する」ことが求められる。
本発明は差圧測定装置の受圧部に関するもので、入手しやすい材料を使用できる構造を実現する。
以下、各構成の細部について説明する。
このようにして、高圧側及び低圧側からの圧力を封入液33、37により伝達し、その差を差圧センサ29が検出することができるのである。
高圧側及び低圧側のプロセスからの圧力は測定許容範囲であるから、高圧側過大圧伝導穴を通して伝達される圧力が低圧側過大圧予加重ダイアフラム36を背後から押しても、低圧側過大圧予加重ダイアフラム36は自然状態に戻ろうとする加重により変位しない。
この変位によりシールダイアフラム裏側の封入液が移動し、シールダイアフラムは過大圧予加重ダイアフラムに密着して接する。
シールダイアフラムが過大圧予加重ダイアフラムに密着すると、それ以上大きな過大圧はセンサ部に伝達されず、センサを過大圧から保護することができる。
そうすると、高圧側シールダイアフラム34の裏側の封入液に伝達された過大圧は、高圧側伝導穴39と高圧側過大圧伝導穴41を通して低圧側過大圧予加重ダイアフラム36の背後を押す。
低圧側過大圧予加重ダイアフラム36に与えられた加重よりも過大圧が優るので、低圧側過大圧予加重ダイアフラム36は変位する。
この変位に伴い高圧側封入液33が移動し、高圧側シールダイアフラム34の裏側の封入液がなくなり、高圧側シールダイアフラム34は高圧側過大圧予加重ダイアフラム32に接する。
高圧側シールダイアフラム34が高圧側過大圧予加重ダイアフラムに接すると、高圧側シールダイアフラム34の裏側に封入液がなくなるので、それ以上の過大圧はセンサ部23には伝達されない。
さらに、封入されている封入液33、37は温度により膨張収縮をするが、差圧測定装置の使用温度全範囲においてセンサ部23の破壊圧力以下ではシールダイアフラム34、38と過大圧予加重ダイアフラム32、36間に封入されている封入液33、37が全て過大圧予加重ダイアフラム32、36とボディ21の接液部31、35間に移動する設計となっている。
このように、過大圧保護構造では過大圧予加重ダイアフラム32、36の動作は非常に重要である。
ボティの両側面の凹形状に合わせて、ダイアフラムを予め、少なくとも1個の波型(凹形)を有する凹形状に形成しなければならず、形成作業が難しい。
ボティの両側面は凹形状をなし、ダイアフラムが凹形状では皿板ばねと同じようにクリック動作を生じ易く正確な動作が得難い。
本体ボディに設けられたバックプレート面を覆ってそれぞれ設けられ高圧側と低圧側シールダイアフラム室を構成する高圧側と低圧側シールダイアフラムと、前記シールダイアフラム室にそれぞれ連通された高圧側伝導穴と低圧側伝導穴とを具備する差圧測定装置において、
外側に凸状をなす高圧側と低圧側バックプレート面と、前記高圧側シールダイアフラム室の前記高圧側バックプレート面を覆って設けられ前記高圧側バックプレート面と低圧側過大圧室を構成し前記バックプレート面に押圧取付けられた平板状の高圧側予加重ダイアフラムと、前記低圧側シールダイアフラム室の前記低圧側バックプレート面を覆って設けられ前記低圧側バックプレート面と高圧側過大圧室を構成し前記バックプレート面に押圧取付けられた平板状の低圧側予加重ダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ前記低圧側過大圧室と前記低圧側伝導穴とを連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記本体ボディに設けられ前記高圧側過大圧室と前記高圧側伝導穴とを連通する高圧側過大圧伝導穴と前記高圧側と低圧側予加重ダイアフラムを覆ってそれぞれ設けられた平板状の高圧側と低圧側シールダイアフラムとを具備したことを特徴とする差圧測定装置。
前記予加重ダイアフラムは,密着して重ね合わされた複数枚の予加重ダイアフラムよりなることを特徴とする請求項1記載の差圧測定装置。
前記予加重ダイアフラムは,密着して重ね合わされた第1の予加重ダイアフラムと第2の予加重ダイアフラムとよりなることを特徴とする。
予加重ダイアフラム、シールダイアフラム共に平板状で、波形成形が不要となり、低コストで製作でき、低価格が実現できる差圧測定装置が得られる。
左右対称な構造が容易に得られ、特性が安定した差圧測定装置が得られる。
予加重ダイアフラムは平板状であるので、バックプレート面と形状が一致させ易く、入力が測定範囲内では、予加重ダイアフラムはボディに密着して移動せず、圧力伝達媒体も移動しないため、管路抵抗に起因する応答遅れがなく、高速応答が実現できる差圧測定装置が得られる。
予加重ダイアフラムは,密着して重ね合わされた複数枚の予加重ダイアフラムよりなるので、個々の予加重ダイアフラムに発生する応力を複数分の1に減ずることが出来るので、予加重ダイアフラムを高強度材料ではなく、市販一般の低価格な材料で製作でき、安価な差圧測定装置が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2,図3は図1の動作説明図である。
図において、図7と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図7と相違部分のみ説明する。
高圧側予加重ダイアフラム53は、高圧側シールダイアフラム室54の高圧側バックプレート面51を覆って設けられ、高圧側バックプレート面51と低圧側過大圧室55を構成し、バックプレート面51に押圧取付けられ平板状をなす。
予加重ダイアフラム53,54は、組み立て前は平坦な平板状をなし、バックプレート面51,52に押圧取付けることにより、凸形状となっている。
高圧側過大圧伝導穴62は、本体ボディ61に設けられ、高圧側過大圧室58と高圧側伝導穴39とを連通する。
高圧側と低圧側シールダイアフラム63,64とは、高圧側と低圧側予加重ダイアフラム53,56を覆ってそれぞれ設けられ、平板状をなす。
高圧側シールダイアフラム室54、高圧側伝導穴39および高圧側過大圧伝導穴62で構成される空間には、圧力伝達媒体101が封入されている。
低圧側シールダイアフラム室57、低圧側伝導穴42および低圧側過大圧伝導穴59で構成される空間には、圧力伝達媒体102が封入されている。
二組の通路は、互いに交わることはない。
一方、低圧側の圧力Pは低圧側過大圧伝導穴59により高圧側予加重ダイアフラム53を加圧する。
予加重ダイアフラム53,56の復元力は最大測定範囲の圧力Pmaxの約2倍に相当するよう凸形状は設計されており、2Pmaxの圧力が加わると予加重ダイアフラム53,56は変位しはじめる。
圧力Pが2Pmaxを越え、約3Pmaxになると、低圧側シールダイアフラム64は、低圧側予加重ダイアフラム56に着座し、それ以上変位しなくなる。
圧力Pが約3Pmaxを越えても、低圧側シールダイアフラム64は低圧側予加重ダイアフラム56に接しているため、圧力伝達媒体101の圧力は約3Pmax以上は上昇せず、差圧センサ29は約3Pmax以上の圧力を受けない。
予加重ダイアフラム53,56の動作をグラフに表すと図3に示す如くなる。
予加重ダイアフラム53,56、シールダイアフラム63,64共に平板状で、波形成形が不要となり、低コストで製作でき、低価格が実現できる差圧測定装置が得られる。
予加重ダイアフラム53,56は平板状であるので、バックプレート面51,52と形状が一致させ易く、入力が測定範囲内では、予加重ダイアフラム53,56はボディ61に密着して移動せず、圧力伝達媒体101,102も移動しないため、管路抵抗に起因する応答遅れがなく、高速応答が実現できる差圧測定装置が得られる。
本実施例においては、高圧側予加重ダイアフラム71と低圧側予加重ダイアフラム72とは,密着して重ね合わされた複数枚の予加重ダイアフラムよりなる。
この場合は、高圧側予加重ダイアフラム71は,密着して重ね合わされた高圧側の第1の予加重ダイアフラム711と高圧側の第2の予加重ダイアフラム712とよりなる。
低圧側予加重ダイアフラム72は,密着して重ね合わされた低圧側の第1の予加重ダイアフラム721と低圧側の第2の予加重ダイアフラム722とよりなる。
σ1=(3/4)×E×r2×2Pmax÷t2
ここで、E:予加重ダイアフラム材料の縦弾性係数、
r:半径、
t:板厚
σ2=(3/4)×E×r2×3Pmax÷t2
この応力に耐えるため予加重ダイアフラム53,56には高強度材料を採用する必要があり、コストを押し上げる。
σ=(3/4)×E×r2×(P/2)÷t2
第2の予加重ダイアフラム721,722にも同じ応力が発生する。
P=2Pmaxのときの応力σ3は
σ3=(3/4)×E×r2×(2Pmax/2)÷t2
σ1との比較で分かるように、発生応力は半減する。
低圧側に3Pmax以上の圧力が加わっても、シールダイアフラム64は第2の予加重ダイアフラム722に密着しているため、差圧センサ29には3Pmaxを越える圧力は伝達されず、差圧センサ29は過大な圧力から保護される。
応力σ=(3/4)×E×r2×Pmax÷t2
ここで、E:縦弾性係数、
r:ダイアフラム半径、
t:板厚
例えば、高強度材料として引張強度が1900N/mm2を越えるマルエージング鋼があるが、高強度材料にも強度には限界があり、しかも、極めて高価格である。
予加重ダイアフラムを2重に、あるいは複数枚化することにより予加重ダイアフラムに発生する応力を抑え、低価格材料を使用することができることになる。
11 圧力検出部
12 増幅部
13 高圧側フランジ
14 低圧側フランジ
15 受圧部
16 ナット
17 ボルト
21 ボディ
22 リング
23 センサ部
24 高圧側ダイアフラム部
25 低圧側ダイアフラム部
26 高圧側封入液伝達穴部
27 低圧側封入液伝達穴部
28 ターミナル
29 差圧センサ
30a ハーメチック端子
30b ハーメチック端子
31 高圧側接液部
32 高圧側過大圧予加重ダイアフラム
33 高圧側封入液
34 高圧側シールダイアフラム
35 低圧側接液部
36 低圧側過大圧予加重ダイアフラム
37 低圧側封入液
38 低圧側シールダイアフラム
39 高圧側伝導穴
40 高圧側センサ伝導穴
41 高圧側過大圧伝導穴
42 低圧側伝導穴
43 低圧側センサ伝導穴
44 低圧側過大圧伝導穴
51 高圧側バックプレート面
52 低圧側バックプレート面
53 高圧側予加重ダイアフラム
54 高圧側シールダイアフラム室
55 低圧側過大圧室
56 低圧側予加重ダイアフラム
57 低圧側シールダイアフラム室
58 高圧側過大圧室
59 低圧側過大圧伝導穴
61 本体ボディ
62 高圧側過大圧伝導穴
63 高圧側シールダイアフラム
64 低圧側シールダイアフラム
71 高圧側予加重ダイアフラム
711 高圧側の第1の予加重ダイアフラム
712 高圧側の第2の予加重ダイアフラム
72 低圧側予加重ダイアフラム
721 低圧側の第1の予加重ダイアフラム
722 低圧側の第2の予加重ダイアフラム
101 封入液
102 封入液
P 圧力
Claims (3)
- 本体ボディに設けられたバックプレート面を覆ってそれぞれ設けられ高圧側と低圧側シールダイアフラム室を構成する高圧側と低圧側シールダイアフラムと、前記シールダイアフラム室にそれぞれ連通された高圧側伝導穴と低圧側伝導穴とを具備する差圧測定装置において、
外側に凸状をなす高圧側と低圧側バックプレート面と、
前記高圧側シールダイアフラム室の前記高圧側バックプレート面を覆って設けられ前記高圧側バックプレート面と低圧側過大圧室を構成し前記バックプレート面に押圧取付けられた平板状の高圧側予加重ダイアフラムと、
前記低圧側シールダイアフラム室の前記低圧側バックプレート面を覆って設けられ前記低圧側バックプレート面と高圧側過大圧室を構成し前記バックプレート面に押圧取付けられた平板状の低圧側予加重ダイアフラムと、
前記本体ボディに設けられ前記低圧側過大圧室と前記低圧側伝導穴とを連通する低圧側過大圧伝導穴と、
前記本体ボディに設けられ前記高圧側過大圧室と前記高圧側伝導穴とを連通する高圧側過大圧伝導穴と
前記高圧側と低圧側予加重ダイアフラムを覆ってそれぞれ設けられた平板状の高圧側と低圧側シールダイアフラムと
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。 - 前記予加重ダイアフラムは,密着して重ね合わされた複数枚の予加重ダイアフラムよりなること
を特徴とする請求項1記載の差圧測定装置。 - 前記予加重ダイアフラムは,密着して重ね合わされた第1の予加重ダイアフラムと第2の予加重ダイアフラムとよりなること
を特徴とする請求項2記載の差圧測定装置。
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