JP2005205888A - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン、あるいはアルミニウムなどの支持部材2上に感光性樹脂層1を形成する。次に、感光性樹脂層1に露光機によって、貫通口3のマスクを用い感光し、貫通口3を形成する。貫通口3の直径は、感光性樹脂層1の両側で同じ径d1に形成されるので、フィルタ4の基板13への接着面積を十分に確保可能であるとともに、貫通口3の単位面積当たりの開口面積が大きくなる。また、貫通口3の最大開口径d1は、吐出口面側から平面的にみた場合、吐出口11の幾何学的中心を通る直線と吐出口11の縁との交点間距離が最長となる直線距離以下、すなわち、吐出口11が円形の場合、吐出口11の直径d0以下となるように形成される。ヘッド基板10とフィルタ4の接着面として重ね合わせて圧接し、支持部材2を除去することで、インクジェット記録ヘッド20が形成される。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法における、フィルタの形成工程を示す工程図である。
(第2の実施形態)
図3は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法における、フィルタの形成工程を示す工程図である。
(第3の実施形態)
図4は、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法における、フィルタの形成工程を示す工程図である。
3 貫通口
4 フィルタ
10 ヘッド基板
10a 底面
10b 上面
11 吐出口
12 インク供給口
12a 開口部
13 基板
20 インクジェット記録ヘッド
Claims (15)
- インクを吐出する吐出口を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記吐出口に対応して設けられる、熱エネルギを発生する熱エネルギ発生素子を備える第1の面、および該第1の面と対向する第2の面を有する、前記第1の面から前記第2の面へ貫通するインク供給口を有する基板を備え、
前記基板の第2の面全体に、前記吐出口の幾何学的中心を通る直線と前記吐出口の縁との交点間距離が最長となる直線距離以下の長さの開口径を持つ複数の貫通口が形成されたフィルタ部材が設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記基板の第1の面には、前記吐出口と、前記吐出口と前記インク供給口とを連通するためのインク流路を形成するための溝と、を備える流路形成部材が設けられている、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記基板は前記インク供給口を複数有する、請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記複数の貫通口は前記直線距離以下の長さを直径とする円形である、請求項1ないし3のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記フィルタが感光性樹脂からなり、前記基板の前記第2の面に接着されている、請求項1ないし4のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記フィルタ上には第1の金属層が形成されており、前記基板の前記第2の面に形成された第2の金属層に対して接合されている、請求項1ないし5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記インク供給口は、前記基板の前記第2の面側の開口面積が前記第1の面側の開口面積より広い、請求項1ないし6に記載のインクジェット記録ヘッド。
- インクを吐出する吐出口を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
支持部材上に樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層に、前記吐出口の幾何学的中心を通る直線と前記吐出口の縁との交点間距離が最長となる直線距離以下の長さの開口径を持つ複数の貫通口を形成する工程と、
前記吐出口に対応して設けられる、熱エネルギを発生する熱エネルギ発生素子を備える第1の面と、該第1の面と対向する第2の面と、を有し、前記第1の面から前記第2の面へ貫通するインク供給口を有する基板を用意する工程と、
前記基板の前記第2の面に、前記貫通口が形成された前記樹脂層及び前記支持部材を接合する接合工程と、
前記基板の前記第2の面に接合された前記樹脂層および前記支持部材のうち、前記支持部材のみを除去する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記支持部材としてシリコンウエハおよびエッチング可能な金属からなる群より選ばれた一の部材を用いる、請求項8に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂層は感光性樹脂からなる、請求項8または9に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記接合工程が、前記ヘッド基板の前記第2の面にポリアミドを塗布し、前記ポリアミドが塗布された前記第2の面に前記貫通口が形成された前記樹脂層を密着させた後、加熱して接着する工程を含む、請求項8ないし10のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材上に前記樹脂層が形成された後に、前記樹脂層上に金属層を形成する工程と、前記金属層および前記樹脂層に前記貫通口を形成する工程と、前記ヘッド基板の前記第2の面にヘッド側金属層を形成する工程と、真空雰囲気中にて、前記金属層と前記ヘッド側金属層との表面をクリーニングガスによって清浄する工程と、前記金属層と前記ヘッド側金属層とを密着させて加圧する工程を含む、請求項8ないし11のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記金属層と前記ヘッド側金属層とを密着させて加熱する工程を含む,請求項12に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記インク供給口の開口面積よりも広い面積に、前記樹脂層に前記貫通口を形成する工程を含む、請求項8ないし13のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記基板を用意する工程は、前記インク供給口の前記第2の面側の開口面積が、前記インク供給口の開口面積のうち最大となるように前記インク供給口を形成する工程を含む、請求項8ないし14のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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