JP2005205543A - ウエーハの研削方法及びウエーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カップ型研削砥石を用いてウエーハの両面を片面ずつ研削する方法において、先ず、前記ウエーハの一方の面を研削する際に、前記研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ外周から中心に向けて進行させ、ウエーハ中心部で離脱させることによって研削を行い、その後、前記ウエーハのもう一方の面を研削する際に、前記研削砥石をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ中心から外周に向けて進行させ、ウエーハ外周縁で離脱させることによって研削を行うことを特徴とするウエーハの研削方法。
【選択図】図1
Description
尚、本発明において、凸形状及び凹形状とは、ウエーハ厚さによる形状、つまりウエーハの裏面(または表面)を基準として表されるウエーハ厚さが増加している部分の形状及び減少している部分の形状であり、また突起及びへこみとは、ウエーハ面で突出している部分の面形状及びくぼんでいる部分の面形状を言う。
このように研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ中心部で離脱させて研削を行う際に、ウエーハを20rpm以上の回転速度で回転させることにより、ウエーハ外周縁から切り込ませた研削砥石がウエーハの研削中に磨耗して砥石のテーパー形状が小さくなるので、ウエーハ中心部で研削砥石を離脱させる際に生じる研削残りを低減することが可能となり、ウエーハの平坦度を一層向上させることができる。
このように研削砥石をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ外周縁で離脱させることによって研削を行う際に、ウエーハを10rpm以下、特に5rpm以下の回転速度で回転させることにより、研削によりウエーハ面に砥石の軌跡として現れる研削条痕の周期を小さくすることができる。このように、ウエーハ面に現れる研削条痕の周期が小さければ、例えばその後ウエーハに研磨加工を施す際に、少ない研磨代でウエーハ面の研削条痕を容易に除去することが可能となるので、研磨の際にウエーハの平坦度が悪化するのを防止できるし、また生産性の向上を図ることができる。
このように、本発明の研削方法で使用するカップ型研削砥石として、ダイヤモンド砥粒を使用したレジンボンドの砥石を用いることにより、レジンボンドの砥石は若干の弾力性を備えていることから、研削時にはその圧力により砥石自体が若干収縮するようになるので、良好な研削を安定して行うことができる。
本発明は、直径が200mm以上、さらに300mm以上の大口径となるウエーハを研削する場合や、特に半導体ウエーハを研削する場合に非常に優れた平坦度が得られ、直径200mm以上となる大口径のシリコン半導体ウエーハの加工に好適である。
本発明により研削されたウエーハは、ウエーハ中心部に形成される凸形状が極めて小さく、ウエーハの両面が平坦に研削加工された高品質のウエーハとすることができる。さらに、このように研削加工されたウエーハに両面研磨及びCMP等で鏡面研磨加工を施して表面を仕上げた鏡面研磨ウエーハであれば、極めて高い平坦度を有する非常に高品質の鏡面研磨ウエーハとすることができる。
本発明者等は、ウエーハの両面に研削を施す際にウエーハ中心部に突出した形状の突起が形成されるのを抑制する方法について鋭意研究及び検討を重ねた。その結果、カップ型研削砥石を用いてウエーハを研削する場合において、研削砥石がウエーハに接触して切り込みを開始する位置では、研削砥石の弾性に起因する上滑り現象によって研削量が減少するため、ウエーハの切り込み開始位置付近では研削面が僅かに盛り上がるようになり、また一方、研削砥石による切り込みが終了する位置(すなわち、研削砥石が離脱する位置)では、研削抵抗の急激な低下により研削量が多くなるため、研削面が僅かにへこむような形状になることが明らかとなった。
本発明のウエーハの研削方法で用いられる研削装置は、カップ型研削砥石を用いてウエーハの両面を片面ずつ研削することができるものであれば特に限定されないが、例えば図3に示すような研削装置を用いることができる。先ず、図3を参照しながら、本発明の研削方法を実施する際に使用することのできる研削装置の一例について説明する。
先ず、研削を施す半導体ウエーハWはウエーハカセット14に収容されており、搬送ロボット11によって装置内の所定の位置に搬入される。これを反転手段10でキャッチして、反転位置12で先ずウエーハWの裏面を上にして所定の位置に位置決めされた第1チャックテーブル6に吸着保持させ、ターンテーブル8で研削位置13に移動させる。ここで、第1チャックテーブル6を回転させるとともに、カップ型研削砥石9を回転させつつ砥石部を半導体ウエーハWの裏面に接触させることによって半導体ウエーハWの裏面全体を研削することができる。
ここで、種々の回転速度で半導体ウエーハを回転させながら、研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ中心部で離脱させるようにして半導体ウエーハの裏面の研削を行ったときの研削面のウエーハ中心部に生じる凸形状の大きさを調べるために、以下のような実験を行った。
図3に示した研削装置を用いて、チャックテーブル6に吸着保持した半導体ウエーハWを研削位置13で5、10、20、40rpmの4条件で回転させながら、研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ中心部で離脱させるようにして半導体ウエーハの裏面の研削を行った。その後、ウエーハ裏面(研削面)のウエーハ中心部に形成された凸形状の大きさを静電容量方式の厚さ測定器(コベルコ科研社製SBW−330)を用いて測定した。その測定結果を図5に示す。図5に示したように、研削を外周から中心に向けて行うとともに半導体ウエーハを5rpmの回転速度で回転させながら研削を行うことにより、ウエーハ中心部に形成される凸形状の大きさを0.15μm以下と従来よりも小さいサイズにすることができ、さらにウエーハの回転速度を20rpm以上にすることによって、凸形状の大きさを0.04μm以下の極めて小さいサイズにすることができることがわかった。
例えば、図4(b)に示したように、半導体ウエーハWの弧線部分17でカップ型研削砥石9と半導体ウエーハWの表面とを接触させる場合であれば、カップ型研削砥石9を上方から見て反時計回りとなるように回転させたり、あるいは、半導体ウエーハWの弧線部分17’でカップ型研削砥石9と半導体ウエーハWの表面とを接触させる場合であれば、カップ型研削砥石9を上方から見て時計回りとなるように回転させることによって、カップ型研削砥石9の砥石部をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ外周縁で離脱させるようにしてウエーハの研削を行うことができる。
(実施例1)
図3に示した研削装置1により、シリコンウエーハの両面を片面ずつ研削した。
先ず、研削を行うシリコンウエーハとして、CZ法により育成したシリコン単結晶インゴットをワイヤーソーでスライスした後、面取り加工を施した直径300mmのものを準備した。
上記実施例1と同様のシリコンウエーハを準備して、ウエーハの両面を片面ずつ研削した。
この実施例2では、ウエーハ裏面の研削を行うときのチャックテーブルの回転速度を20rpmに設定したこと以外は、上記実施例1の研削条件と同様の条件にしてシリコンウエーハ両面の研削を行った。
上記実施例1と同様のシリコンウエーハを準備して、図3に示した研削装置1によりウエーハの両面を片面ずつ研削した。
先ず、準備したシリコンウエーハの裏面を上にして第1チャックテーブル6に吸着保持し、ターンテーブル8で研削位置13に移動させた後、第1チャックテーブル6を5rpmの回転速度で回転させるとともに、カップ型研削砥石9を、ウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ外周縁で離脱させるように上記実施例1とは逆方向に回転させながら、砥石部をシリコンウエーハに接触させてシリコンウエーハの裏面を7μmの研削代で研削した。このとき、研削装置1のカップ型研削砥石9として、ダイヤモンド砥粒を使用したレジンボンド♯3000番の砥石を用い、また、カップ型研削砥石の回転速度を2700rpm、研削砥石の送り量を12μm/minに設定して研削を行った。
8…ターンテーブル、 9…カップ型研削砥石、 10…ウエーハ反転手段、
11…ウエーハ搬送ロボット、 12…反転位置、 13…研削位置、
14…ウエーハカセット、 15…ウエーハ芯出し手段、 16…洗浄・乾燥手段、
17、17’…ウエーハと研削砥石が接触する弧線部分、
18…砥石部、 19…砥石回転軸、 20…カップ状基台、
21…研削装置、 22…半導体ウエーハ、 23…チャックテーブル、
24…研削砥石、 25…研削ヘッド、 26…カップ型研削砥石、
27…回転軸、 30…チャックテーブル、 W…ウエーハ(半導体ウエーハ)。
Claims (9)
- カップ型研削砥石を用いてウエーハの両面を片面ずつ研削する方法において、先ず、前記ウエーハの一方の面を研削する際に、前記研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ外周から中心に向けて進行させ、ウエーハ中心部で離脱させることによって研削を行い、その後、前記ウエーハのもう一方の面を研削する際に、前記研削砥石をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ中心から外周に向けて進行させ、ウエーハ外周縁で離脱させることによって研削を行うことを特徴とするウエーハの研削方法。
- 前記研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ中心部で離脱させることによって研削を行う際に、前記ウエーハを20rpm以上の回転速度で回転させることを特徴とする請求項1に記載のウエーハの研削方法。
- 前記研削砥石をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ外周縁で離脱させることによって研削を行う際に、前記ウエーハを10rpm以下の回転速度で回転させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウエーハの研削方法。
- 前記研削砥石をウエーハ外周縁から切り込ませ、ウエーハ中心部で離脱させる研削を、前記ウエーハの裏面に施し、前記研削砥石をウエーハ中心部から切り込ませ、ウエーハ外周縁で離脱させる研削を、前記ウエーハの表面に施すことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のウエーハの研削方法。
- 前記カップ型研削砥石として、ダイヤモンド砥粒を使用したレジンボンドの砥石を用いることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のウエーハの研削方法。
- 前記研削するウエーハの直径を200mm以上とすることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のウエーハの研削方法。
- 前記研削するウエーハを半導体ウエーハとすることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載のウエーハの研削方法。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載のウエーハの研削方法により研削されたウエーハ。
- 請求項8に記載のウエーハに鏡面研磨加工を施した鏡面研磨ウエーハ。
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