JP2005175049A - 外部共振器型半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】 グレーティングを半導体レーザにより近接して配置し、単一モード化を実現しながら、より小さなサイズの外部共振器型半導体レーザを提供する。
【解決手段】 外部共振器型半導体レーザ1は、半導体レーザ2、レンズ3、支持部4、グレーティング5によって構成されるリトロー型の半導体レーザである。半導体レーザ2は、例えば、青色レーザ・ダイオードのような半導体レーザ素子を使用したものである。グレーティング5は透過型のものであり、半導体レーザ2から出射されたレーザ光のほとんどはグレーティング5を透過し、透過0次光として外部に提供される。グレーティング5は、半導体レーザ2からのレーザ光に対して45°より大きな角度、例えば、約60°傾斜した状態で支持されて、その結果、より近接した位置に半導体レーザ2とグレーティング5が配置され外部共振器型半導体レーザの小型化が実現される。
【選択図】 図2
【解決手段】 外部共振器型半導体レーザ1は、半導体レーザ2、レンズ3、支持部4、グレーティング5によって構成されるリトロー型の半導体レーザである。半導体レーザ2は、例えば、青色レーザ・ダイオードのような半導体レーザ素子を使用したものである。グレーティング5は透過型のものであり、半導体レーザ2から出射されたレーザ光のほとんどはグレーティング5を透過し、透過0次光として外部に提供される。グレーティング5は、半導体レーザ2からのレーザ光に対して45°より大きな角度、例えば、約60°傾斜した状態で支持されて、その結果、より近接した位置に半導体レーザ2とグレーティング5が配置され外部共振器型半導体レーザの小型化が実現される。
【選択図】 図2
Description
この発明は、レーザ・ダイオード(LD:laser diode)を含む外部共振器型半導体レーザに関する。
ホログラフィメモリへの記録はレーザ光を使って行われる。より詳細には、一旦2本に分けられたレーザ光が、ホログラム(記録媒体)上で再び重ね合わされ、その干渉性を利用してホログラムに回折格子が記録される。この回折格子の記録によってデータが記録されることになるが、レーザ光が多重モードである場合は干渉性が低く、回折格子を形成し難い。
従って、ホログラフィメモリに利用されるレーザ光については、単一モード性が要求される。このため、従来では、532nmの固体レーザ(YAGの2次高調波)が使われることが多かった。
しかしながら、個体レーザは、例えば、パワー設定値を変更した場合に、実際のパワーがその設定値となるのに時間がかかる等、制御が難しいという欠点を有する。そこで、パワー等の制御が比較的容易なうえに、波長が短く、より高密度の記録が可能な青色レーザ・ダイオードをホログラフィメモリの分野に適用しようとする試みが盛んになされている。
ただし、この青色レーザ・ダイオードは、本来多重モードであって干渉性が低いため、ホログラフィメモリ用に単独で用いることは難しい。そこで、青色レーザ・ダイオードは、外部共振器と組み合わせた外部共振器型半導体レーザとして構成することによって単一モード化を実現している。外部共振器型半導体レーザは、外部から所定の波長の光を入射することによって半導体レーザの発振光の波長を安定化(単一モード化)する。
ここで、外部共振器型半導体レーザの代表的な例であるLittrow(リトロー)型の半導体レーザについて、図4を参照して説明する。例えば、レーザ・ダイオードのような半導体レーザ素子を含む半導体レーザ51から出射された縦多モードのレーザ光(発振光)がレンズ(コリメートレンズ)52によって平行にされ、グレーティング(回折格子)54に入射される。グレーティング54は、各モードの1次回折光を出力し、その配置角度に応じて、特定の1次回折光が、レンズ52を介して半導体レーザ51に逆注入される。この結果、半導体レーザ51が、注入された1次回折光に共振して単一モードの光を出射するようになり、その光の波長は、グレーティング54から戻った1次回折光の波長と同じになる。さらに、グレーティング54に入射したレーザ光の残り(0次光)は、入射角と同じ角度で反射され、外部に出射される。
半導体レーザ51に入射される光の波長は、グレーティング54の配置角度を変えることによって調整することができる。グレーティング54は、例えば、所定の支持部に支持された板バネに保持されており、グレーティング54に接するネジを回転させると、レンズ52の方向に移動、あるいは、これと逆の方向に移動する。この移動は、グレーティング54が、板バネが所定の支持部に支持されている箇所を支点として回転する運動に近似しており、この回転によってグレーティング54の配置角度が変わる。
また、グレーティング54は通常、反射型のものが使用され、半導体レーザ51から出射されたレーザ光に対して約45°の角度で配置される。従って、半導体レーザ51から出射されたレーザ光は、グレーティング54で、約90°曲がって反射する。上記グレーティング54の配置角度の調整は2°前後であるため、90°曲げられたレーザ光(すなわち、0次光)の出射方向も2°程度変わる。
グレーティング54の配置角度が、上記のように約45°となっているのには大きく2つの理由がある。1つは、グレーティング54を、半導体レーザ51から出射されたレーザ光に対して45°より小さい角度で配置すると、レーザ光をすべて受光するために長いグレーティングが必要となり、結果的に外部共振器型半導体レーザが大きくなってしまうことである。もう1つの理由は、グレーティング54を、半導体レーザ51から出射されたレーザ光に対して45°より大きな角度で配置すると、反射光(0次光)が半導体レーザ51に近接した方向に進み、極端な場合には、反射光がレンズ52の縁に当たって、レーザ光を外部に取り出せなくなってしまうことである。
しかしながら、グレーティング54が、上述のように、半導体レーザから出射されたレーザ光に対して約45°の角度で配置されると、図4のDで示すような大きなサイズが必ず必要となり、それ以下のサイズの外部共振器型半導体レーザを作製することができない。また、図4は、Littrow型の外部共振器型半導体レーザを示したものであるが、Littman型の外部共振器型半導体レーザについては、さらに、ミラーまたはプリズムを含む構成であるため、小型化が一層困難である。
従って、この発明の目的は、より小さなサイズで構成が可能な外部共振器型半導体レーザを提供することにある。
さらに、この発明の目的は、グレーティングを、半導体レーザから出射されたレーザ光に対して45°より大きな角度に傾斜させることによって、グレーティングを半導体レーザにより近接して配置しても、単一モードのレーザ光を取り出すことのできる外部共振器型半導体レーザを提供することにある。
さらに、この発明の目的は、透過型グレーティングを用いることによって、波長によらず、同じ方向の外部出射光を提供可能な外部共振器型半導体レーザを提供することにある。
この発明は、レーザ光を出射する半導体レーザと、半導体レーザから受光したレーザ光をほぼ平行な光として出射するコリメートレンズと、レーザ光をコリメートレンズを経由して受光する透過型のグレーティングとを有し、レーザ光を受光したグレーティングは、反射1次光および透過0次光を出射し、反射1次光は所定の周波数を有する光であり、反射1次光がコリメートレンズを介して半導体レーザに入射されることにより、半導体レーザから出射されるレーザ光が単一モード化され、グレーティングが、半導体レーザから出射されたレーザ光がグレーティングに向かう方向に対して少なくとも45°より大きな角度で配置されている外部共振器型半導体レーザである。
この発明によれば、グレーティングを半導体レーザに近接して配置することができ、結果的により小さなサイズの外部共振器型半導体レーザを実現することができる。また、透過0次光の光路の方向が一定であるため、取り出されたレーザ光の光学的調整が容易となる。
最初に、この発明の第1の実施形態に係る外部共振器型半導体レーザの構成を、図1を参照して説明する。図1に示す外部共振器型半導体レーザ1は、半導体レーザ2、レンズ(コリメートレンズ)3、支持部4、およびグレーティング5によって構成される。半導体レーザ2は、例えば、青色レーザ・ダイオードのような半導体レーザ素子を使用したものであり、レンズ3とともに、支持部4によって所定の位置に支持される。
グレーティング5は、透過型のものであり、半導体レーザ2から出射されたレーザ光のほとんどは、グレーティング5を透過して外部に提供される。図1には、レーザ光が半導体レーザ2からレンズ3を経由して、グレーティング5を透過する様子が示されている。なお、ここでは、図を簡潔化するため、グレーティング5からの反射光等については省略している。また、この実施形態において、グレーティング5は、半導体レーザ2からのレーザ光に対して45°より大きな角度、例えば、約60°に傾斜した状態で配置され、例えば、2500本/mmのものが用いられる。
半導体レーザ2の傾斜角度は、より厳密には、半導体レーザ2からグレーティング5に向かうレーザ光の方向に対して60°ということになる。ここでは、半導体レーザ2からグレーティング5の間のレーザ光の光路の方向を基準としていることに注意すべきである(グレーティング5により屈折した光路等は考慮しない)。また、上記レーザ光の方向(に延長した線)はグレーティング5と交差しているので、レーザ光の方向とグレーティング5のなす角は2つあることになる。しかしながら、ここでは、これらのなす角のうち小さい方の角度を用いて両者の位置関係を現すものとする。従って、傾斜角度が60°という場合、グレーティング5は、例えば、図1に示すグレーティング5の右端を下げる方向に60°傾いていても良いし、逆に、左端を下げる方向に60°傾いていても良い。
図1に示す、こうした構成によって、半導体レーザ2からグレーティング5の最大距離はD’となり、その分、外部共振器型半導体レーザ1のサイズをより小さくすることができる。図4に示された、半導体レーザ51からグレーティング54までの最大距離Dと比べると、外部共振器型半導体レーザ1のサイズを従来のものよりかなり小さくすることができるのが分かる。図4のグレーティング54は、半導体レーザ51からのレーザ光に対して約45°傾斜した状態で配置されている。
次に、図2を参照して、図1に示した第1の実施形態に係る外部共振器型半導体レーザ1において、グレーティング5で受光されたレーザ光がどのようになるかを説明する。図1の外部共振器型半導体レーザ1と同じ構成要素については同じ符号が付されている。また、図1に示した、半導体レーザ2からグレーティング5へのレーザ光は省略してある。
半導体レーザ2から出射されたレーザ光は、レンズ3を介してグレーティング5に入射すると、一部の光は反射して反射光となり、残りの光はグレーティング5を透過して透過光となる。反射光のうち、反射1次光9は、半導体レーザ2に戻って共振し、単一モード化が実現される。また、透過光のうち、透過0次光6は、外部に取り出されるレーザ光であり、これを用いてホログラフィメモリへの記録等が行われる。透過0次光6は、半導体レーザ2から出射されたレーザ光がグレーティング5に向かう方向と同じ方向に進む。すなわち、半導体レーザ2から出射されたレーザ光がグレーティング5に向かう方向に延びる線と、透過0次光6の進む方向に延びる線とは平行である。この関係は、波長を調整するためにグレーティング5の配置角度を変更した場合も維持される。
反射0次光10と透過1次光7は、ここでは使用されていない。また、この実施形態では、外部に取り出される透過0次光6の出力パワーをできるだけ強くし、かつ半導体レーザ2の良好な単一モード化のために、反射1次光9を全体の出力パワーの5%以上(より好ましくは10%以上)という要件を想定すると、完全に透明なグレーティングを使用した場合の反射1次光の出力パワーは全体の4%以下であり、上記要件を満たさない。
そこで、グレーティング5の反射面には、ある程度レーザ光を反射する層を形成することが望ましい。また、本実施形態においては、反射0次光10の出力パワーは弱くても構わないので、それを減らし、反射1次光9の出力パワーを増大させるためにグレーティング5をブレーズド回折格子とし、さらに、透過1次光7の出力パワーは、全体のほぼ15%とした。グレーティング5は、例えば、ガラス基板上にコートしたエポキシ樹脂に、格子形状を転写した後、その表面に薄いアルミコートを施すことによって作られる。また、反対側の表面に、無反射コーティングを施して、グレーティング5の裏面からの不要な反射光を軽減させるようにすることもできる。
このような外部共振器型半導体レーザ1の構成によって、グレーティング5を半導体レーザ2に近接して配置することができ、結果的により小さなサイズの外部共振器型半導体レーザ1を実現することができる。また、透過0次光6の光路の方向が一定であるため、取り出されたレーザ光の光学的調整が容易となる。
次に、図3を参照して、この発明の第2の実施形態に係る外部共振器型半導体レーザについて説明する。図3の外部共振器型半導体レーザ21は、図2の外部共振器型半導体レーザ1に対して、ディテクタ、波長モニタ、および光ファイバを付加した形態となっている。また、図2と同様に、半導体レーザからグレーティングへのレーザ光は省略してある。また、この実施形態においても、グレーティング25は、半導体レーザ22からのレーザ光に対して約60°傾斜した状態で配置され、例えば、2500本/mmのものが用いられる。
図2に示す第1の実施形態に係る外部共振器型半導体レーザ1では、透過1次光と反射0次光は使われていなかったが、第2の実施形態では、透過1次光27は、半導体レーザ22から出射されるレーザ光の出力パワーのモニタ用に、反射0次光30は、半導体レーザ22から出射されるレーザ光の波長確認用にそれぞれ用いられている。
透過1次光27は、まず、ディテクタ31で受光されて出力パワー(光量)の値が求められ、その値と、外部に取り出されるレーザ光である透過0次光26の出力パワーの値との比率が求められる。この後、ディテクタ31で透過1次光27の出力パワーを所定の間隔で検出すれば、当該検出された値と上記比率とから透過0次光26の出力パワーを把握することができる。
また、ディテクタ31によって検出された透過1次光27の出力パワーの値を使用して、透過0次光26の出力パワーが常に所望のパワーとなるように、半導体レーザ22の駆動電流をフィードバック制御することもできる。
一方、反射0次光30は、光ファイバ33を介して波長モニタ(光スペクトラムアナライザ)32に入射され、そこで反射0次光30の波長がチェックされる。また、光ファイバ33が介在するため、波長モニタ32が受光する光のパワーは、反射0次光30の出力パワーの数千分の1程度である。
また、第1の実施形態の外部共振器型半導体レーザ1と同様に、外部に取り出される透過0次光26の出力パワーをできるだけ強くし、かつ半導体レーザ22が良好な単一モードを示すことが望ましい。そこで、この場合も、第1の実施形態と同様の構造のグレーティング25を使用する。
第2の実施形態では、上記のように、透過1次光27は出力パワーのモニタ用に、反射0次光30はレーザ光の波長確認用にそれぞれ用いられているが、透過1次光27と反射0次光30をこれらの用途に限る必要はなく、その他の様々な用途に利用することができる。
このような外部共振器型半導体レーザ21の構成によって、グレーティング25を半導体レーザ22に近接して配置することができ、結果的により小さなサイズの外部共振器型半導体レーザ21を実現することができる。
1,21・・・外部共振器型半導体レーザ、2,22・・・半導体レーザ、3,23・・・レンズ、4,24・・・支持部、5,25・・・グレーティング、6,26・・・透過0次光、7,27・・・透過1次光、9,29・・・反射1次光、10,30・・・反射0次光、31・・・ディテクタ、32・・・波長モニタ、33・・・光ファイバ
Claims (11)
- レーザ光を出射する半導体レーザと、
前記半導体レーザから受光したレーザ光をほぼ平行な光として出射するコリメートレンズと、
前記レーザ光を前記コリメートレンズを経由して受光する透過型のグレーティングとを有し、
前記レーザ光を受光した前記グレーティングは、反射1次光および透過0次光を出射し、
前記反射1次光は所定の周波数を有する光であり、前記反射1次光が前記コリメートレンズを介して前記半導体レーザに入射されることにより、前記半導体レーザから出射されるレーザ光が単一モード化され、
前記グレーティングが、前記半導体レーザから出射されたレーザ光が前記グレーティングに向かう方向に対して少なくとも45°より大きな角度で配置されていることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記透過0次光は、前記半導体レーザから出射されたレーザ光が前記グレーティングに向かう方向と同じ方向に進むことを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングは、前記半導体レーザから出射されたレーザ光を受光する側に反射膜が形成されていることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項3に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記反射膜はアルミコートであることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項3に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングは、前記半導体レーザから出射されたレーザ光を受光する側とは反対側に無反射コーティングが施されていることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングは、ブレーズド回折格子であることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記レーザ光を受光した前記グレーティングはさらに、透過1次光を出射し、
前記透過1次光が、前記半導体レーザから出射されたレーザ光の出力パワーのフィードバック制御、または前記半導体レーザから出射されたレーザ光の波長のチェックに用いられることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記レーザ光を受光した前記グレーティングはさらに、反射0次光を出射し、
前記反射0次光が、前記半導体レーザから出射されたレーザ光の出力パワーのフィードバック制御、または前記半導体レーザから出射されたレーザ光の波長のチェックに用いられることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項1に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングが、前記半導体レーザから出射されたレーザ光が前記グレーティングに向かう方向に対してほぼ60°の角度で配置されていることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項5に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングが、入射したレーザ光の出力パワーの少なくとも10%を反射1次光として反射するよう構成されることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。 - 請求項6に記載の外部共振器型半導体レーザにおいて、
前記グレーティングが、入射したレーザ光の出力パワーのほぼ15%を透過1次光として透過するよう構成されることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。
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