JP2005172575A

JP2005172575A - Inspection apparatus

Info

Publication number: JP2005172575A
Application number: JP2003411887A
Authority: JP
Inventors: Seiji Nakagawa; 清治中川; Minoru Okamoto; 実岡本; Toshiaki Iwata; 利明岩田
Original assignee: Toshiba Teli Corp
Current assignee: Toshiba Teli Corp
Priority date: 2003-12-10
Filing date: 2003-12-10
Publication date: 2005-06-30

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the amount of management information being owned by a type correspondence tool and to accurately store or read the information. <P>SOLUTION: An inspection apparatus comprises a type correspondence tool in which a wireless tag is embedded, an inspection device on which the type correspondence tool can be mounted or dismounted, a tag information reader which is provided on the inspection device and reads at least the information in the wireless tag embedded in the type correspondence tool when the type correspondence tool is mounted, and a checking device which checks whether the type correspondence tool is appropriate or not based on the information read by the tag information reader. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば液晶表示装置などの表示パネルを検査する表示パネル検査装置に適用して有用な検査装置及び方法に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus and method useful when applied to a display panel inspection apparatus for inspecting a display panel such as a liquid crystal display apparatus.

液晶表示パネルは、その品質をチェックするために組立て前に表示パネル検査装置において検査される。検査は、液晶表示パネルの端子にコンタクトプローブを介して、駆動電圧を与え、正常に動作しているかどうかが目視により観察され。 The liquid crystal display panel is inspected in a display panel inspection apparatus before assembly in order to check its quality. In the inspection, a drive voltage is applied to the terminals of the liquid crystal display panel via a contact probe, and it is visually observed whether or not it is operating normally.

また液晶表示パネルは、各種のサイズのものがある。このために、液晶表示パネルの品種に対応した複数種のプローブユニットが検査のために用意されている。そして、これから検査しようとする表示パネルに適合したプローブユニットが、選択されて表示パネル検査装置に装着されて、検査が開始される。 Liquid crystal display panels are available in various sizes. Therefore, a plurality of types of probe units corresponding to the types of liquid crystal display panels are prepared for inspection. Then, a probe unit suitable for the display panel to be inspected is selected and mounted on the display panel inspection apparatus, and the inspection is started.

複数ある中から１つのプローブユニットが選択され、表示パネル検査装置に装着されたとき、正しいプローブユニットが装着されているかどうかを識別する必要がある。この識別のために、従来は、治具としての識別情報が、プローブユニットの一部に例えば穴の数と、穴の位置を組み合せた形で付与されていた。表示パネル検査装置は、この穴の数と位置を光学素子を利用して読み取り、現在装着されているプローブユニットがどのような品種に対応するものであるかを識別している。 When one probe unit is selected from among a plurality of probe units and attached to the display panel inspection apparatus, it is necessary to identify whether or not the correct probe unit is attached. For this identification, conventionally, identification information as a jig has been given to a part of the probe unit, for example, in a combination of the number of holes and the position of the holes. The display panel inspection apparatus reads the number and position of the holes by using an optical element, and identifies what kind of probe unit is currently attached.

しかし、この方式であると品種対応治具であるプローブユニットで管理すべき情報量が限られてくる。プローブユニットで管理する管理情報として更に多くの種類の情報を管理することが要望されている。 However, with this method, the amount of information to be managed by the probe unit, which is a product type jig, is limited. It is desired to manage more types of information as management information managed by the probe unit.

そこでこの発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、品種対応治具で所有できる管理情報の情報量を多くすることができ、また、情報を正確で確実に格納、或は読み出しできるようにした検査装置と検査方法を提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and the object of the present invention is to increase the amount of management information that can be possessed by the product type jig, and to store information accurately and reliably. Another object of the present invention is to provide an inspection device and an inspection method which can be read out.

この発明の一側面によれば、無線タグが内蔵された品種対応治具と、前記品種対応治具を着脱自在な検査装置と、前記検査装置に設けられており、前記品種対応治具が装着されたときに、前記品種対応治具に内蔵されている無線タグの情報を少なくとも読取るタグ情報読み取り装置と、前記タグ情報読み取り装置が読取ったタグ情報に基づき、少なくとも前記品種対応治具が適正か否かをチェックする点検装置とを備える。 According to one aspect of the present invention, a product-compatible jig having a built-in wireless tag, an inspection device in which the product-compatible jig is detachable, and the inspection device are provided. A tag information reading device that reads at least information on a wireless tag built in the product type corresponding jig, and whether the product type corresponding jig is appropriate based on the tag information read by the tag information reading device. And an inspection device for checking whether or not.

本発明によれば、無線タグに多くの情報を書き込むことができ、品種対応治具に関する管理情報を多くすることができる。また無線で情報を読取るために、機械的な方式と異なり情報の欠損、消失が生じにくい。安定した正確な情報管理が可能である。 According to the present invention, it is possible to write a lot of information on the wireless tag, and it is possible to increase management information related to the product type corresponding jig. In addition, since information is read wirelessly, unlike a mechanical method, loss or disappearance of information is unlikely to occur. Stable and accurate information management is possible.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１はこの発明が適用された液晶表示パネルを検査するための表示パネル検査装置の概観である。検査装置本体１００の前面には、プローブ治具１１０が取り付けられる。プローブ治具１１０は、図２（Ａ）に示すように、枠体１１１と、枠体１１１の内側に設けられたプローブユニット１１２と、枠体１１１の外周側に取り付けられた駆動基板１１３とを有する。プローブユニット１１２の入出力信号は、駆動基板１１３の駆動回路を介して入出力されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overview of a display panel inspection apparatus for inspecting a liquid crystal display panel to which the present invention is applied. A probe jig 110 is attached to the front surface of the inspection apparatus main body 100. As shown in FIG. 2A, the probe jig 110 includes a frame body 111, a probe unit 112 provided inside the frame body 111, and a drive substrate 113 attached to the outer peripheral side of the frame body 111. Have. Input / output signals of the probe unit 112 are input / output via the drive circuit of the drive substrate 113.

このプローブ治具１１０には、さらにＸ−Ｙ軸、Θ方向へ位置調整を行うためのテーブルが取り付けられている。図面では、プローブ治具１１０の下側になるためにこのテーブルは省略して、示していない。Ｚ軸方向の位置調整（接近・離間方向の調整）はパレット２００が移動制御されることにより得られる。 A table for adjusting the position in the XY direction and the Θ direction is further attached to the probe jig 110. In the drawing, this table is omitted because it is below the probe jig 110 and is not shown. Position adjustment in the Z-axis direction (adjustment in the approach / separation direction) is obtained by controlling the movement of the pallet 200.

プローブ治具１１０は、上記のテーブルを介して、パレット２００上に配置される。パレット２００は、その背面側にバックライト部２０１を有し、光が透過する穴若しくは透明の板を有するパレット上に液晶基板（セルと称される）（図示せず）が載置可能である。パレット２００に液晶基板が載置されると複数のセンタリング爪２０３、２０３、…が液晶基板を所定位置に位置決めする。 The probe jig 110 is arranged on the pallet 200 through the table. The pallet 200 has a backlight unit 201 on the back side thereof, and a liquid crystal substrate (referred to as a cell) (not shown) can be placed on the pallet having a hole through which light passes or a transparent plate. . When the liquid crystal substrate is placed on the pallet 200, the plurality of centering claws 203, 203,... Position the liquid crystal substrate at a predetermined position.

なお、上記テーブルは、プローブ治具１１０側ではなく、パレット２００側に設けられていてもよい。 The table may be provided not on the probe jig 110 side but on the pallet 200 side.

パレット２００上に液晶基板が載置されると、プローブ治具１１０は、先のテーブルがＸ−Ｙ軸、Θの位置調整を行い、液晶基板の端子に対してプローブユニット１１２のピンが正確に合致するようになる。この状態で、パレットをＺ軸移動させてコンタクトが得られる。アライメントカメラ１１４は、上記ようにプローブ治具１１０の位置調整を行う制御システムのセンサとして利用されている。 When the liquid crystal substrate is placed on the pallet 200, the probe jig 110 adjusts the position of the XY axis and Θ of the previous table so that the pins of the probe unit 112 are accurately positioned with respect to the terminals of the liquid crystal substrate. Matches. In this state, the contact is obtained by moving the pallet in the Z axis. The alignment camera 114 is used as a sensor of a control system that adjusts the position of the probe jig 110 as described above.

本発明の装置では、プローブ治具１１０の一部には、プローブ治具用タグ３０１が埋設されている。またパレット２００にもパレット用タグ３２１が埋設されてもよい。一方、図１に示すように、検査装置本体１００には、無線タグリーダ・ライタ３０３（タグ情報読み取り装置）が設けられ、アンテナ３０２を通じて先のプローブ治具タグ３０１と交信を行うことができる。この無線タグリーダ・ライタ３０３は、パレット用タグ３２１と交信を行ってもよい。なお検査装置本体１００には、無線タグ情報を表示するモニタ１２及び操作パネル１１が設けられてもよい。 In the apparatus of the present invention, a probe jig tag 301 is embedded in a part of the probe jig 110. A pallet tag 321 may also be embedded in the pallet 200. On the other hand, as shown in FIG. 1, the inspection apparatus main body 100 is provided with a wireless tag reader / writer 303 (tag information reading apparatus), and can communicate with the probe jig tag 301 through the antenna 302. The wireless tag reader / writer 303 may communicate with the pallet tag 321. The inspection apparatus main body 100 may be provided with a monitor 12 for displaying the RFID tag information and an operation panel 11.

本発明の装置は、上記の如く構成される。次に無線タグシステムの動作及び機能について説明する。本発明ではプローブ治具１１０のような品種対応治具にタグ３０１を設けることにより、所有できる管理情報の情報量を多くすることができ、また、情報を正確で確実に格納、或は読み出しできるようにし、検査を誤り無く行うことができる。また治具の取り付けミスによる事故を防止することができる。 The apparatus of the present invention is configured as described above. Next, the operation and function of the wireless tag system will be described. In the present invention, by providing the tag 301 to the product type corresponding jig such as the probe jig 110, the amount of management information that can be owned can be increased, and information can be stored or read accurately and reliably. Thus, the inspection can be performed without error. In addition, accidents due to jig attachment mistakes can be prevented.

図３には、無線タグシステムにおいて使用するデータの種類を示している。プローブユニット１１２に関する情報としては、品種情報、シリアル番号等がある。その他、図２に示されるように、パネル情報として、品種、パネルタイプ、パネルサイズ、コンタクト辺、パターン数などの情報があり、プローブ情報として、ピン数、ピン型式、ピン径、コンタクト回数、シリアル番号等の情報を書き込む領域が確保されている。さらに履歴情報として、出荷時期、修理履歴、装置搭載履歴、パレットの組み合せ、最終使用日、その他の情報を書き込む領域がある。またアライメント情報として、コンタクトシフト、アライメントシフト、オーバードライブ、ＺＥＲＯ位置等の書き込み領域がある。 FIG. 3 shows the types of data used in the wireless tag system. Information relating to the probe unit 112 includes product type information, serial number, and the like. In addition, as shown in FIG. 2, panel information includes information such as product type, panel type, panel size, contact side, number of patterns, etc., and probe information includes pin number, pin type, pin diameter, contact count, serial number, etc. An area for writing information such as a number is secured. Furthermore, as history information, there is an area for writing shipping time, repair history, device mounting history, combination of pallets, last use date, and other information. The alignment information includes writing areas such as contact shift, alignment shift, overdrive, and ZERO position.

またパレットに関する情報を書き込む領域が確保されてもよい。パレットに関する情報としては、パネル情報として品種、パネルタイプ、パネルサイズ、コンタクト辺、パターン数などの情報があり、パレット情報として輝度、シリアル番号があり、履歴情報として、出荷時期、修理履歴、装置搭載履歴、治具との組み合せなどの情報がある。 An area for writing information about the pallet may be secured. Information on the pallet includes information such as product type, panel type, panel size, contact size, number of patterns, etc. as panel information, brightness and serial number as pallet information, shipping information, repair history, equipment installation as history information There is information such as history and combination with jig.

さらに駆動基板１１３に関する情報としては、パネル情報として品種、パネルタイプ、パネルサイズ、コンタクト辺、パターン数などの情報があり、パレット情報としてシリアル番号があり、履歴情報として、出荷時期、修理履歴、装置搭載履歴、治具との組み合せなどの情報がある。この例は一例であり、その他種々の実施形態が可能である。 Further, as information on the drive board 113, there are information such as product type, panel type, panel size, contact side, number of patterns, etc. as panel information, serial number as pallet information, shipping information, repair history, device as history information. There is information such as mounting history and combinations with jigs. This example is an example, and various other embodiments are possible.

図４には、プローブ治具タグ３０１を有する品種対応治具（プローブ治具）１１０が完成したときに、処理されるプロセスの例を示している。プローブ治具タグ３０１がプローブ治具１１０本体に取り付けられる。次に、品種、シリアル番後などの情報がプローブ治具タグ３０１に書き込まれる。これにより、プローブ治具１１０は、他の治具と識別できる固有の部品となる。 FIG. 4 shows an example of a process to be processed when the product type corresponding jig (probe jig) 110 having the probe jig tag 301 is completed. A probe jig tag 301 is attached to the probe jig 110 main body. Next, information such as product type and serial number is written in the probe jig tag 301. Thereby, the probe jig 110 becomes a unique component that can be distinguished from other jigs.

図５には、プローブ治具１１０が検査装置１００に例えば交換のために取り付けられたときの処理を示している。品種対応治具としてのプローブ治具１１０が検査装置１００に取り付けられたとき、検査装置１００の無線タグリーダ・ライタ３０３は、プローブ治具タグ３０１の情報を読取る。そして、適正なプローブ治具１１０が検査装置１００に取り付けられているかどうかを判断する。この適正かどうかの判断は、例えば無線タグリーダ・ライタ３０３側のメモリに予め使用できる治具のシリアル番号情報、条件情報を登録しておき、この情報と、プローブ治具タグ３０１から読取った情報とを比較することにより行われる。適正なプローブ治具１１０が取り付けられているときは、例えば青のＬＥＤ点灯が得られ、不適切なプローブ治具１１０が取り付けられているときは、例えば赤のＬＥＤ点灯と警告ブザーが出力される。 FIG. 5 shows processing when the probe jig 110 is attached to the inspection apparatus 100 for replacement, for example. When the probe jig 110 as the product type corresponding jig is attached to the inspection apparatus 100, the wireless tag reader / writer 303 of the inspection apparatus 100 reads the information of the probe jig tag 301. Then, it is determined whether an appropriate probe jig 110 is attached to the inspection apparatus 100. The determination as to whether or not this is appropriate is performed by, for example, registering serial number information and condition information of a jig that can be used in advance in the memory on the wireless tag reader / writer 303 side, and information read from the probe jig tag 301 This is done by comparing When the appropriate probe jig 110 is attached, for example, blue LED lighting is obtained, and when the inappropriate probe jig 110 is attached, for example, red LED lighting and a warning buzzer are output. .

図６は、メンテナンスが行われたときの処理を示している。例えば、プローブユニット１１２のピンを交換する場合がある。このような場合は、履歴情報としてピン交換時期などの情報がプローブ治具用タグ３０１に書き込まれる。この書き込み処理は、例えば、操作パネル１１から日付情報を入力すると、この日付情報が無線タグリーダ・ライタ３０３に送られる。すると、無線タグリーダ・ライタ３０３が、プローブ治具用タグ３０１の履歴情報エリアに交換時期の日付情報を書き込むのである。 FIG. 6 shows processing when maintenance is performed. For example, the pin of the probe unit 112 may be exchanged. In such a case, information such as the pin replacement time is written in the probe jig tag 301 as history information. In this writing process, for example, when date information is input from the operation panel 11, the date information is sent to the wireless tag reader / writer 303. Then, the wireless tag reader / writer 303 writes the date information of the replacement time in the history information area of the probe jig tag 301.

図７は、検査装置１００において、液晶基板の検査が行われるときの無線タグシステムの動作例を示している。検査が開始され（ステップＤ１）、液晶基板にバックライトからの光が照射される。そしてプローブ治具用タグ３０１のプローブユニット１１２のピンが、液晶基板の所定端子にコンタクトする。このとき、コンタクト回数がプローブ治具用タグ３０１に書き込まれる。また、最終使用日時も書き込まれる（ステップＤ２、Ｄ３）。ここで、コンタクト回数が設定値を超えたかどうかのチェックも行われる（ステップＤ４）。超えていなければ、ステップＤ２に戻り次の液晶基板の検査を行う。ステップＤ４で、コンタクト回数が設定値を超えた場合、アラームを発生させ、プローブピンの交換時期が近づいていることをオペレータに知らせる（ステップＤ５）。 FIG. 7 shows an operation example of the wireless tag system when the inspection apparatus 100 inspects the liquid crystal substrate. Inspection is started (step D1), and the liquid crystal substrate is irradiated with light from the backlight. Then, the pins of the probe unit 112 of the probe jig tag 301 are in contact with predetermined terminals of the liquid crystal substrate. At this time, the contact count is written in the probe jig tag 301. The last use date and time is also written (steps D2 and D3). Here, it is also checked whether or not the number of contacts exceeds the set value (step D4). If not, the process returns to step D2 to inspect the next liquid crystal substrate. If the contact count exceeds the set value in step D4, an alarm is generated to notify the operator that the probe pin replacement time is approaching (step D5).

上記した実施の形態によると、プローブ治具タグ３０１は、プローブ治具１１０の枠の一部に埋設されているとしたが、プローブユニット１１２そのものに埋設されていてもよい。 According to the above-described embodiment, the probe jig tag 301 is embedded in a part of the frame of the probe jig 110, but may be embedded in the probe unit 112 itself.

本発明が適用された検査装置の外観を示す図。The figure which shows the external appearance of the test | inspection apparatus to which this invention was applied. 図１のプローブ治具及びパレットを取り出して示す図。The figure which takes out and shows the probe jig and pallet of FIG. 無線タグシステムに管理情報の例を示す図。The figure which shows the example of management information in a wireless tag system. 本発明装置の動作例を説明するために示したフロー図。The flowchart shown in order to demonstrate the operation example of this invention apparatus. 本発明装置の動作例を説明するために示したフロー図。The flowchart shown in order to demonstrate the operation example of this invention apparatus. 本発明装置の動作例を説明するために示したフロー図。The flowchart shown in order to demonstrate the operation example of this invention apparatus. 本発明装置の動作例を説明するために示したフロー図。The flowchart shown in order to demonstrate the operation example of this invention apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１００…検査装置本体、１１０…プローブ治具、１１２…プローブユニット、２００…パレット、２０１…バックライト部、２０３…センタリング爪、３０１…プローブ治具タグ、３０３…無線タグリーダ・ライタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Inspection apparatus main body, 110 ... Probe jig, 112 ... Probe unit, 200 ... Pallet, 201 ... Backlight part, 203 ... Centering claw, 301 ... Probe jig tag, 303 ... Wireless tag reader / writer

Claims

無線タグが内蔵された品種対応治具と、
前記品種対応治具を着脱自在な検査装置と、
前記検査装置に設けられており、前記品種対応治具が装着されたときに、前記品種対応治具に内蔵されている無線タグの情報を少なくとも読取るタグ情報読み取り装置と、
前記タグ情報読み取り装置が読取ったタグ情報に基づき、少なくとも前記品種対応治具が適正か否かをチェックする点検装置と
を具備したことを特徴とする検査装置。 A product-compatible jig with a built-in wireless tag,
An inspection device in which the product-compatible jig is detachable;
A tag information reading device that is provided in the inspection device and reads at least information of a wireless tag built in the product type corresponding jig when the product type corresponding jig is mounted;
An inspection device comprising: an inspection device that checks at least whether the product corresponding jig is appropriate based on tag information read by the tag information reading device.

前記品種対応治具は、検査対象である表示パネルが載置されたとき、前記表示パネルの端子に接触されるコンタクトピンを有するプローブユニットをも含むことを特徴とする請求項１記載の検査装置。 2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the product corresponding jig includes a probe unit having a contact pin that comes into contact with a terminal of the display panel when the display panel to be inspected is placed. .

前記無線タグは、前記品種対応治具の品質管理のために必要な管理情報を保持し、前記点検装置は、前記管理情報の値を識別することを特徴とする請求項２記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 2, wherein the wireless tag holds management information necessary for quality control of the product corresponding jig, and the inspection apparatus identifies a value of the management information.

前記無線タグは、前記品種対応治具の品質管理のために必要な管理情報として、ピンコンタクト回数を示す情報を保持することを特徴とする請求項３記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 3, wherein the wireless tag holds information indicating the number of pin contacts as management information necessary for quality control of the product corresponding jig.

前記無線タグは、前記品種対応治具の品質管理のために必要な管理情報として、品種を示す情報を保持することを特徴とする請求項３記載の検査装置。 4. The inspection apparatus according to claim 3, wherein the wireless tag holds information indicating a product type as management information necessary for quality control of the product corresponding jig.

前記無線タグは、前記品種対応治具の品質管理のために必要な管理情報として、シリアル番号を示す情報を保持することを特徴とする請求項３記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 3, wherein the wireless tag holds information indicating a serial number as management information necessary for quality control of the product corresponding jig.

前記検査装置に設けられているタグ情報読み取り装置は、この検査装置で用いることを許可されたプローブ治具のシリアル番号を保持していることを特徴とする請求項３記載の検査装置。 4. The inspection apparatus according to claim 3, wherein the tag information reader provided in the inspection apparatus holds a serial number of a probe jig permitted to be used in the inspection apparatus.

前記検査装置に設けられているタグ情報読み取り装置は、さらに書き込み機能を有し、この検査装置に装着されているプローブ治具がそのプローブユニットのピンを被検査体にコンタクトする毎に回数情報を、前記無線タグに書き込むことを特徴とする請求項３記載の検査装置。 The tag information reading device provided in the inspection apparatus further has a writing function, and each time the probe jig mounted on the inspection apparatus contacts the pin of the probe unit to the object to be inspected, The inspection apparatus according to claim 3, wherein the inspection apparatus writes in the wireless tag.

前記検査装置に設けられているタグ情報読み取り装置は、さらに書き込み機能を有し、この検査装置に装着されているプローブ治具がそのプローブユニットのピンを被検査体にコンタクトする毎に回数情報を、前記無線タグに書き込み、前記回数情報が設定値を越えた場合には、その旨の表示出力を得ることを特徴とする請求項３記載の検査装置。 The tag information reading device provided in the inspection apparatus further has a writing function, and each time the probe jig mounted on the inspection apparatus contacts the pin of the probe unit to the object to be inspected, 4. The inspection apparatus according to claim 3, wherein when the number information is written to the wireless tag and the number of times exceeds a set value, a display output to that effect is obtained.