JP2005141811A - 不揮発性メモリ - Google Patents

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Abstract

【課題】 2種類の外部供給電圧に対応し、この外部供給電圧を切り替えるしきい値電圧付近での動作を安定させることができ、また書き込み/消去時の動作を安定させることができる不揮発性メモリを提供する。
【解決手段】 2つの電圧レベルをしきい値として持つヒステリシスコンパレータを持っている電源回路を有する不揮発性メモリであって、外部供給電圧の上昇時に、2.3Vの検出で検出信号が“H”になり、定電圧回路などからなる内部降圧回路が動作して、2.2Vの内部動作電圧を生成して供給し、その後、2.1Vを検出することで検出信号が“L”になり、外部供給電圧をそのまま内部動作電圧として供給することにより、外部供給電圧が2.3V付近で不安定になっても、検出信号は“H”のままなので、内部動作電圧が変動しなくなる。
【選択図】 図7



Description

本発明は、不揮発性メモリに関し、特に2種類の外部供給電圧に対応するフラッシュメモリ(フラッシュEEPROM)などのような不揮発性メモリに適用して有効な技術に関する。
本発明者が検討したところによれば、不揮発性メモリに関しては、以下のような技術が考えられる。
たとえば、2種類の外部供給電圧に対応する不揮発性メモリとしては、特許文献1に記載のような技術が挙げられる。この特許文献1の技術は、5Vと3Vの2種類の供給電圧(Vcc)が外部から供給され、3Vの内部動作電圧で内部回路が動作するように構成されている。この内部動作電圧は、外部供給電圧を降圧するか、あるいはそのまま使うかをしきい値で切り替えるようになっており、5Vが供給された場合には3Vに降圧し、3Vが供給された場合にはそのまま使われる。また、書き込み・消去に必要な高電圧(Vpp)も、外部から供給される。
特開平5−12890号公報
ところで、前記のような不揮発性メモリの技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
たとえば、前記特許文献1の技術では、2種類の電圧の切り替えを単一のしきい値で判定するために、しきい値付近の電圧で動作すると、切り替え動作が頻発して動作が不安定になることがある。すなわち、図10(a),(b)に示すように、外部供給電圧(Vcc)がしきい値の4.0V付近で不安定になると、これに伴って検出信号も外部供給電圧が4.0Vを越えると“H”になり、4.0V以下では“L”になり、この“H”と“L”が繰り返され、外部供給電圧を降圧して内部動作電圧を生成するか、あるいは外部供給電圧をそのまま内部動作電圧として使うかの切り替えが不安定となる。
また、高電圧(Vpp)が外部から供給されるので、書き込み/消去については考慮されていない。
そこで、本発明の目的は、2種類の外部供給電圧に対応し、この外部供給電圧を切り替えるしきい値電圧付近での動作を安定させることができる不揮発性メモリを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、書き込み/消去時の動作を安定させることができる不揮発性メモリを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明は、2種類の外部供給電圧に対応する不揮発性メモリに適用され、内部にヒステリシスコンパレータを持ち、外部供給電圧の上昇時に、第1電圧レベルの検出で内部降圧回路が動作し、第1電圧レベルより絶対値として小さい内部動作電圧を生成して供給し、その後、第1電圧レベルより絶対値として小さい第2電圧レベルを検出することで外部供給電圧を内部動作電圧として供給する電源回路を有するものである。
この不揮発性メモリにおいて、電源回路から供給された内部動作電圧を基準に書き込み/消去/ベリファイ/読み出し電圧を生成する電圧生成回路を有するものである。さらに、電圧生成回路は、複数段のチャージポンプ回路を含み、第1外部供給電圧レベルと、第1外部供給電圧レベルより小さい第2外部供給電圧レベルとに対応して、チャージポンプ回路の段数を切り替えるものである。特に、第1外部供給電圧レベルは3V系であり、第2外部供給電圧レベルは1.8V系とするものである。
また、この不揮発性メモリにおいては、1メモリセルに多ビットのデータを格納する多値メモリセルからなるメモリアレイを有し、多値不揮発性メモリに適用するようにしたものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
(1)第1および第2電圧レベルの2つのしきい値を持つヒステリシスコンパレータを採用することで、外部供給電圧を降圧するか、またはそのまま内部動作電圧として供給するかを切り替える際のしきい値電圧付近での不安定動作を解消して、外部供給電圧を切り替えるしきい値電圧付近での動作を安定させることができる。
(2)内部動作電圧を基準に書き込み/消去電圧を生成することで、高電圧を外部供給しない単一電源動作の不揮発性メモリでは、特に書き込み/消去時の内部電圧が安定するので、書き込み/消去時の動作を安定させることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
(実施の形態1)
まず、図1により、本発明の実施の形態1の不揮発性メモリの概略構成の一例を説明する。図1は、不揮発性メモリの概略構成図を示す。
本実施の形態1の不揮発性メモリは、たとえばフラッシュメモリからなり、マルチプレクサ1、データ入力バッファ2、制御信号バッファ3、電源回路4からなる入出力回路5と、ページアドレスバッファ6、入力データコントローラ7、カラムアドレスカウンタ8、読み出し/書き込み/消去コントローラ9からなるロジック回路10と、メモリアレイ11、Xデコーダ12、データレジスタ13、Yゲート14、Yデコーダ15、データ出力バッファ16からなるメモリ回路17と、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18などから構成される。
入出力回路5において、マルチプレクサ1には各データ入出力端子I/O1〜I/O8を通じてデータが入出力され、このマルチプレクサ1で入力または出力が切り替えられる。このマルチプレクサ1を介した入力データはデータ入力バッファ2を通じて、ロジック回路10の入力データコントローラ7に出力される。制御信号バッファ3には各制御信号入力端子CE(チップイネーブル),RE(リードイネーブル),WE(ライトイネーブル)、WP(ライトプロテクト),CLE(コマンドラッチイネーブル),ALE(アドレスラッチイネーブル),PRE(パワーオンオートリードイネーブル),DSE(ディープスタンバイイネーブル)を通じて各制御信号が入力され、この制御信号バッファ3から制御信号がロジック回路10の読み出し/書き込み/消去コントローラ9に出力される。また、読み出し/書き込み/消去コントローラ9から直接、制御信号出力端子R/B(レディ/ビジー)を通じて制御信号が出力される。なお、これらの各制御信号において、CE,RE,WE、WP,DSE,Bは、図において各記号にバーを付している通り反転信号である。
この入出力回路5において、電源回路4には、電源端子Vccを通じて外部供給電圧が供給され、この電源回路4で内部動作電圧を生成してロジック回路10、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18に供給される。また、入出力回路5には、接地端子Vssを通じて接地電圧も供給される。たとえば一例として、電源端子Vccを通じて供給される外部供給電圧は、3V系と1.8V系との2種類の外部供給電圧レベルであり、いずれの電圧レベルの供給に対しても2.2Vの内部動作電圧が生成されて出力される。
ロジック回路10において、ページアドレスバッファ6には、マルチプレクサ1、読み出し/書き込み/消去コントローラ9から制御信号が入力され、ページアドレスの制御信号がメモリ回路17のXデコーダ12に出力される。入力データコントローラ7には、データ入力バッファ2からのデータと、読み出し/書き込み/消去コントローラ9からの制御信号が入力され、入力データの制御信号がメモリ回路17のYゲート14に出力される。カラムアドレスカウンタ8には、読み出し/書き込み/消去コントローラ9から制御信号が入力され、カラムアドレスがメモリ回路17のYデコーダ15に出力される。読み出し/書き込み/消去コントローラ9には、マルチプレクサ1、制御信号バッファ3から制御信号が入力され、各制御信号がロジック回路10内の各回路や、制御信号バッファ3、メモリ回路17内のデータ出力バッファ16、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18に出力される。
メモリ回路17において、メモリアレイ11には、1メモリセルに多ビットのデータを格納する多値メモリセルが、ワード線とビット線との交点にアレイ状に配置されている。このメモリアレイ11内の各メモリセルは、Xデコーダ12、Yゲート14、Yデコーダ15により任意に選択され、この選択されたメモリセルに対するデータの読み出し、データの書き込み、データの消去が行われる。これらの読み出し、書き込み、消去のデータはデータレジスタ13に一時的に格納され、また読み出しデータはデータ出力バッファ16に一時的に格納されて出力される。
次に、図2により、本実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源系統の概略構成の一例を説明する。図2は、電源系統の概略構成図を示す。
電源系統は、外部供給電圧が電源端子Vccを通じて供給され、この外部供給電圧から電源回路4を通じて内部動作電圧を生成し、この内部動作電圧はロジック回路10や、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18に供給される。この読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18において、昇圧回路で内部動作電圧を昇圧し、また降圧回路で内部動作電圧を降圧して、読み出し電圧、書き込み電圧、消去電圧、ベリファイ電圧などの各種動作電圧を生成してメモリ回路17に供給する。このメモリ回路17では、生成された各電圧が、読み出し動作、書き込み動作、消去動作などに用いられる。たとえば一例として、内部動作電圧は2.2V、読み出し電圧は〜5Vmax、書き込み電圧は〜15Vmax、消去電圧は〜−18Vmaxである。なお、昇圧回路には、たとえば後述する実施の形態2において説明するようなチャージポンプ回路(図9、外部供給電圧Vccは内部動作電圧となる)が内蔵されている。
次に、図3により、本実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、多値メモリセルのしきい値電圧分布の一例を説明する。図3は、多値メモリセルのしきい値電圧分布の説明図であり、(a)は比較例の2値メモリセル、(b)は4値メモリセルを示す。
多値(4値)メモリセルは、1メモリセルに多ビット(2ビット)のデータを格納することが可能であり、図3(a)に示す2値(しきい値電圧(Vth)分布が“1”と“0”)のメモリセルに対して、図3(b)に示すように、しきい値電圧(Vth)分布の小さい方から、“00”、“01”、“10”、“11”の分布の4値のデータを格納することができる。
書き込み動作においては、たとえば“00”分布は、上裾判定電圧がVWE1、下裾判定電圧がVWV1にそれぞれ設定され、同様に、“01”,“10”分布は、それぞれ、上裾判定電圧がVWE2,VWE3、下裾判定電圧がVWV2,VWV3にそれぞれ設定され、また“11”分布は、下裾判定電圧がVWV4に設定される。また、読み出し動作においては、たとえば“00”分布と“01”分布の間に読み出し電圧Vr1、“01”分布と“10”分布の間に読み出し電圧Vr2、“10”分布と“11”分布の間に読み出し電圧Vr3がそれぞれ設定される。
次に、図4により、本実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源回路の構成の一例を説明する。図4は、電源回路の回路図を示す。
電源回路4は、イニシャル回路21、電圧検出回路22、定電圧回路23、切替回路24などから構成され、特に、内部にヒステリシスコンパレータを持ち、外部供給電圧の上昇時に、第1電圧レベルの検出で定電圧回路23などからなる内部降圧回路が動作し、第1電圧レベルより絶対値として小さい内部動作電圧を生成して供給し、その後、第1電圧レベルより絶対値として小さい第2電圧レベルを検出することで外部供給電圧を内部動作電圧として供給するように構成されている。たとえば一例として、第1電圧レベルは2.2V、第2電圧レベルは2.1V、内部動作電圧は2.2Vに設定される。
イニシャル回路21は、電源投入時に内部回路を初期化する回路であり、外部供給電圧の電源ラインに接続され、また出力ラインが電圧検出回路22、定電圧回路23のMOSトランジスタT3,T16のゲートに接続され、ゲート制御信号として用いられる。
電圧検出回路22は、外部供給電圧の電圧レベルを検出する回路であり、ヒステリシス特性により、外部供給電圧のレベルが立ち上がるときに高いレベル、立ち下がるときに低いレベルで検出するようになっている。この電圧検出回路22は、外部供給電圧の電源ラインと接地ラインとの間に接続された7つのMOSトランジスタT1〜T7からなるヒステリシスコンパレータを構成し、この出力ラインは切替回路24のインバータIV1に接続される。このヒステリシスコンパレータを構成するMOSトランジスタT1〜T7において、MOSトランジスタT3はイニシャル回路21からの出力信号によりゲート制御され、またMOSトランジスタT5は切替回路24からの信号によりゲート制御される。
定電圧回路23は、降圧レベルを決定するための定電圧を発生する回路であり、外部供給電圧の電源ラインと接地ラインとの間に接続された6つのMOSトランジスタT11〜T16からなり、これらのMOSトランジスタT11〜T16において、MOSトランジスタT16はイニシャル回路21からの出力信号によりゲート制御される。
切替回路24は、外部供給電圧を降圧するか、あるいはそのまま内部動作電圧として出力するかを切り替える回路であり、2段のインバータIV1,IV2と2つのMOSトランジスタT21,T22からなり、前段のインバータIV1には電圧検出回路22からの出力信号が入力され、後段のインバータIV2から電圧検出回路22のMOSトランジスタT5のゲートに接続される。また、後段のインバータIV2の出力ラインはMOSトランジスタT21のゲートに接続され、ゲート制御信号として用いられる。また、MOSトランジスタT22のゲートは、定電圧回路23のMOSトランジスタT11とMOSトランジスタT12との接続ノードに接続され、ゲート制御される。
次に、図5および図6により、電源回路の動作の一例を説明する。図5は、電源回路内の電圧検出回路の動作の波形図を示す。図6は、電源回路の動作の波形図であり、(a)は外部供給電圧を降圧する場合、(b)は外部供給電圧を降圧しない場合を示す。
図5に示すように、外部供給電圧として、電源投入時から時間の経過とともに電圧レベルが上昇し、所定の時間で一定となるような電圧が供給された場合に、電圧検出回路22の内部ノードBは外部供給電圧に対して定電圧特性を示すため、検出電圧を超えると電圧検出回路22の出力Cは“L”→“H”へと変化する。すなわち、電圧検出回路22の内部ノードBの動作波形は、外部供給電圧に比べて上昇角度が小さく、早い時間で一定となる。なお、検出電圧は、内部ノードBの動作波形と反転電圧(ノードB入力インバータ)とが交差する電圧となる。
図6において、外部供給電圧として3.3Vが供給され、この電圧を降圧する場合は、図6(a)に示すように、外部供給電圧は、電源投入時から時間の経過とともに上昇し、3.3Vで一定となるような動作波形となる。この外部供給電圧の供給状態において、イニシャル回路21の出力Aは、電源投入時から所定の時間経過した後に“L”→“H”へと変化し、以降は外部供給電圧と同じ動作波形となる。そして、これらの外部供給電圧、イニシャル回路21の出力Aに基づいて、電圧検出回路22の出力Cは、検出電圧に到達した時点で“L”→“H”へと変化し、以降はイニシャル回路21の出力Aと同じ動作波形となる。従って、電源回路4から出力される内部動作電圧は、外部供給電圧が検出電圧を超えると、外部供給電圧を降圧して内部動作電圧として出力される。
また、外部供給電圧として1.8Vが供給され、この電圧を降圧しない場合は、図6(b)に示すように、外部供給電圧は、電源投入時から時間の経過とともに上昇し、1.8Vで一定となるような動作波形となる。この外部供給電圧の供給状態において、イニシャル回路21の出力Aは、電源投入時から所定の時間経過した後に“L”→“H”へと変化し、以降は外部供給電圧と同じ動作波形となる。そして、これらの外部供給電圧、イニシャル回路21の出力Aに基づいて、電圧検出回路22の出力Cは、検出電圧に到達しないので“L”の状態を維持する。従って、電源回路4から出力される内部動作電圧は、外部供給電圧が検出電圧を越えないので、外部供給電圧がそのまま内部動作電圧として出力される。
次に、図7により、電源回路において、外部供給電圧を切り替える動作の安定性について説明する。図7は、外部供給電圧を切り替える動作の安定性の説明図であり、(a)は電圧波形と検出信号との関係、(b)は検出信号のレベルに対応する内部動作電圧の生成を示す。
本実施の形態1においては、電源回路4に、前述したように、たとえば一例としての2.3Vと2.1Vとの2つの電圧レベルをしきい値として持つヒステリシスコンパレータを持っているので、図7(a)に示すように、外部供給電圧の上昇時に、2.3Vの第1電圧レベルの検出で検出信号が“H”になり、定電圧回路23などからなる内部降圧回路が動作して、2.2Vの内部動作電圧を生成して供給する。その後、2.1Vの第2電圧レベルを検出することで検出信号が“L”になり、外部供給電圧をそのまま内部動作電圧として供給する。従って、外部供給電圧(Vcc)が2.3V付近で不安定になっても、検出信号は“H”のままなので、外部供給電圧を降圧して内部供給しているときに、外部供給電圧が下がっても切替回路24が動かないので、内部動作電圧が変動しなくなる。
従って、本実施の形態1の不揮発性メモリによれば、2つのしきい値を持つヒステリシスコンパレータを採用することで、外部供給電圧を降圧するか、またはそのまま内部動作電圧として供給するかを切り替える際のしきい値電圧付近での不安定動作が解消されるので、外部供給電圧を切り替えるしきい値電圧付近での動作を安定させることができる。
また、内部動作電圧が変動しなくなるので、この内部動作電圧を昇圧した書き込み/消去時の内部電圧が安定することで、書き込み/消去動作を安定させることができる。
さらに、本実施の形態1のような不揮発性メモリをメモリカードなどに搭載し、パーソナルコンピュータや携帯機器などの外部記憶媒体として用いて、バッテリ動作を考えた場合、AC電源を基にする場合と比較して外部供給電圧は不安定になりやすいため、本実施の形態による不揮発性メモリはバッテリ動作のデュアルボルテージ製品に適用して特に効果が大きい。
(実施の形態2)
まず、図8により、本発明の実施の形態2の不揮発性メモリにおいて、電源系統の概略構成の一例を説明する。図8は、電源系統の概略構成図を示す。
本実施の形態2の不揮発性メモリにおいて、前記実施の形態1と異なる点は、外部供給電圧から生成された内部動作電圧がロジック回路10のみに供給され、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18には外部供給電圧が直接供給される点である。他の構成および各回路の機能などは前記実施の形態1と同様である。
すなわち、本実施の形態2の不揮発性メモリにおける電源系統は、外部供給電圧が電源端子Vccを通じて供給され、この外部供給電圧から電源回路4を通じて内部動作電圧を生成し、この内部動作電圧はロジック回路10に供給される。また、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18aには、外部供給電圧が直接供給され、昇圧回路で外部供給電圧を昇圧し、また降圧回路で外部供給電圧を降圧して、読み出し電圧、書き込み電圧、消去電圧、ベリファイ電圧などの各種動作電圧を生成してメモリ回路17に供給する。このメモリ回路17では、生成された各電圧が、読み出し動作、書き込み動作、消去動作などに用いられる。
次に、図9により、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路内のチャージポンプ回路の構成の一例を説明する。図9は、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路内のチャージポンプ回路の回路図を示す。
読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18aには、外部供給電圧を昇圧するチャージポンプ回路が内蔵されている。このチャージポンプ回路は、複数の容量素子C1〜C8と複数のスイッチ回路S0〜S8,S4’からなり、外部供給電圧に対応して動作し、3Vが供給された場合には昇圧段数が4段(各容量素子C1〜C4と各スイッチ回路S1〜S3,S4’とを対とする4段構成)のポンプとして動作し、1.8Vが供給された場合には昇圧段数が8段(各容量素子C1〜C8と各スイッチ回路S1〜S8とを対とする8段構成)のポンプとして動作するように構成されている。
たとえば、3V動作時には、制御信号Φa,/Φa,/Φa’を活性化し、制御信号Φb,/Φbを活性化しないように制御することで、4段のスイッチ回路S1〜S3,S4’を動作させて容量素子C1〜C4に充電された電圧を出力することにより、昇圧段数が4段のポンプとして動作させる。また、1.8V動作時には、制御信号Φa,/Φa,Φb,/Φbを活性化し、制御信号Φa’を活性化しないように制御することで、8段のスイッチ回路S1〜S8を動作させて容量素子C1〜C8に充電された電圧を出力することにより、昇圧段数が8段のポンプとして動作させる。
従って、本実施の形態2の不揮発性メモリによれば、前記実施の形態1と同様の効果を得ることができ、特にロジック回路10は動作電圧を固定することで安定動作するとともに、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路18aには外部供給電圧を直接入力することでチャージポンプ回路の効率を上げることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
たとえば、前記実施の形態においては、不揮発性メモリとしてフラッシュメモリを例に説明したが、EEPROMなどの不揮発性メモリなどにも適用することが可能である。
本発明の実施の形態1の不揮発性メモリを示す概略構成図である。 本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源系統を示す概略構成図である。 (a),(b)は本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、多値メモリセルのしきい値電圧分布を示す説明図である。 本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源回路を示す回路図である。 本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源回路内の電圧検出回路の動作を示す波形図である。 (a),(b)は本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、電源回路の動作を示す波形図である。 (a),(b)は本発明の実施の形態1の不揮発性メモリにおいて、外部供給電圧を切り替える動作の安定性を示す説明図である。 本発明の実施の形態2の不揮発性メモリにおいて、電源系統を示す概略構成図である。 本発明の実施の形態2の不揮発性メモリにおいて、読み出し/書き込み/消去電圧生成回路内のチャージポンプ回路を示す回路図である。 (a),(b)は本発明の前提として検討した比較例の不揮発性メモリにおいて、外部供給電圧を切り替える動作の不安定性を示す説明図である。
符号の説明
1 マルチプレクサ
2 データ入力バッファ
3 制御信号バッファ
4 電源回路
5 入出力回路
6 ページアドレスバッファ
7 入力データコントローラ
8 カラムアドレスカウンタ
9 読み出し/書き込み/消去コントローラ
10 ロジック回路
11 メモリアレイ
12 Xデコーダ
13 データレジスタ
14 Yゲート
15 Yデコーダ
16 データ出力バッファ
17 メモリ回路
18,18a 読み出し/書き込み/消去電圧生成回路
21 イニシャル回路
22 電圧検出回路
23 定電圧回路
24 切替回路

Claims (5)

  1. 内部にヒステリシスコンパレータを持ち、外部供給電圧の上昇時に、第1電圧レベルの検出で内部降圧回路が動作し、前記第1電圧レベルより絶対値として小さい内部動作電圧を生成して供給し、その後、前記第1電圧レベルより絶対値として小さい第2電圧レベルを検出することで外部供給電圧を内部動作電圧として供給する電源回路を有することを特徴とする不揮発性メモリ。
  2. 請求項1記載の不揮発性メモリにおいて、
    前記電源回路から供給された前記内部動作電圧を基準に書き込み/消去/ベリファイ/読み出し電圧を生成する電圧生成回路を有することを特徴とする不揮発性メモリ。
  3. 請求項2記載の不揮発性メモリにおいて、
    前記電圧生成回路は、複数段のチャージポンプ回路を含み、
    第1外部供給電圧レベルと、前記第1外部供給電圧レベルより小さい第2外部供給電圧レベルとに対応して、前記チャージポンプ回路の段数を切り替えることを特徴とする不揮発性メモリ。
  4. 請求項3記載の不揮発性メモリにおいて、
    前記第1外部供給電圧レベルは3V系であり、前記第2外部供給電圧レベルは1.8V系であることを特徴とする不揮発性メモリ。
  5. 請求項1記載の不揮発性メモリにおいて、
    1メモリセルに多ビットのデータを格納する多値メモリセルからなるメモリアレイを有することを特徴とする不揮発性メモリ。

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