JP2005139554A - 耐熱性被覆部材 - Google Patents
耐熱性被覆部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005139554A JP2005139554A JP2004320468A JP2004320468A JP2005139554A JP 2005139554 A JP2005139554 A JP 2005139554A JP 2004320468 A JP2004320468 A JP 2004320468A JP 2004320468 A JP2004320468 A JP 2004320468A JP 2005139554 A JP2005139554 A JP 2005139554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- rare earth
- earth element
- heat
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
【効果】 本発明の耐熱性被覆部材は、耐熱性、耐蝕性、非反応性が良好で、真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での金属又はセラミックスを焼結又は熱処理するのに有効に用いられるものである。
【選択図】 なし
Description
(1)Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Dy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はDy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(2)Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Yb,Er,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はYb,Er,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(3)Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Yb酸化物、又はYb酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(4)カーボン基材が、Dy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はDy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(5)カーボン基材が、Yb,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はYb,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(6)カーボン基材が、Yb酸化物、又はYb酸化物からなるYb含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(7)カーボン基材の密度が1.5g/cm3以上である(1)〜(6)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(8)上記希土類元素含有酸化物の層の厚さが0.02mm以上0.4mm以下であることを特徴とする(1)〜(7)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(9)上記希土類含有酸化物の層上に、短周期型周期律表において3A族〜8族までの元素から選ばれる1種以上の元素の化合物の層を単層又は複数層積層させたことを特徴とする(1)〜(8)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(10)真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での金属又はセラミックスの焼結に用いる(1)〜(9)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
本発明の耐熱性被覆部材は、特に、真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下で、製品となる金属又はセラミックスの焼結又は熱処理を行う際に使用されるが、製品や使用温度や使用ガスの種類によって、被覆酸化物と基材の種類又は組み合わせを変えて、最適化する必要がある。
50×50×5mmの形状のMo、Ta、カーボン基材を準備した。表面をプラズマ溶射する前に、ブラストで表面を荒らし、次いで、表1に示す所定の組成、平均粒径の希土類元素含有酸化物粒子を上記基材にアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、上記基材を希土類元素含有酸化物からなる層で被覆して、被覆部材を得た。
0.84gの粉末状炭素(比表面積200m2/g)と0.01モルの表3に示す各原料希土類元素含有酸化物の粉末(平均粒径1〜2μm)とを、少量のエタノールとともに、乳鉢で十分粉砕混合し、真空乾燥機中で乾燥して混合粉末を得た。各混合粉末を、金型で加圧成形し、直径20mmのペレットとした。各ペレットを、アルゴン雰囲気中1420℃で2時間焼成した。焼成後のペレットを手早く打砕して粗粉とし、各試料について1.5gを密栓可能な試料瓶に採取した。これに純水0.1cm3ずつ加えて密栓した。しばらく置いて平衡に達したのち、試料瓶中の気体をガスクロマトグラフにかけ、アセチレンの定量を行った。結果を表3に示す。
実施例6と同様にカーボン基材を用意し、平均粒径40μmのYb2O3粒子をアルゴン/水素で溶射することにより、0.1mmの溶射被膜を形成した。更に、平均粒径40μmのEr2O3粒子を同雰囲気で供給しながら溶射し、0.2mmの被膜部材を形成した。
Er2O3に代えて平均粒径60μmのY2O3を用いた以外は実施例13と同様にして0.2mmの被膜部材を得た。
Claims (10)
- Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Dy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はDy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Yb,Er,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はYb,Er,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- Mo,Ta,W,Zr,Al,Ti,カーボン及びそれらの合金並びにそれらの酸化物系セラミックス、非酸化物系セラミックス及び炭化物系材料から選ばれる材質を有する基材が、Yb酸化物、又はYb酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- カーボン基材が、Dy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はDy,Ho,Er,Tb,Gd,Tm,Yb,Lu,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- カーボン基材が、Yb,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物、又はYb,Eu及びSmから選ばれる1種以上の元素の酸化物からなる希土類元素含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- カーボン基材が、Yb酸化物、又はYb酸化物からなるYb含有酸化物とAl,Si,Zn,Fe,Ti,Mn,V及びYから選ばれる1種以上の金属の酸化物とからなる希土類元素含有酸化物の層で被覆されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
- カーボン基材の密度が1.5g/cm3以上である請求項1〜6のいずれか1項に記載の耐熱性被覆部材。
- 上記希土類元素含有酸化物の層の厚さが0.02mm以上0.4mm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の耐熱性被覆部材。
- 上記希土類含有酸化物の層上に、短周期型周期律表において3A族〜8族までの元素から選ばれる1種以上の元素の化合物の層を単層又は複数層積層させたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の耐熱性被覆部材。
- 真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での金属又はセラミックスの焼結に用いる請求項1〜9のいずれか1項に記載の耐熱性被覆部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004320468A JP4171916B2 (ja) | 2001-06-18 | 2004-11-04 | 耐熱性被覆部材 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001183510 | 2001-06-18 | ||
JP2004320468A JP4171916B2 (ja) | 2001-06-18 | 2004-11-04 | 耐熱性被覆部材 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001354673A Division JP2003073794A (ja) | 2001-06-18 | 2001-11-20 | 耐熱性被覆部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005139554A true JP2005139554A (ja) | 2005-06-02 |
JP4171916B2 JP4171916B2 (ja) | 2008-10-29 |
Family
ID=34702679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004320468A Expired - Fee Related JP4171916B2 (ja) | 2001-06-18 | 2004-11-04 | 耐熱性被覆部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4171916B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053351A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-03-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類永久磁石、その製造方法、並びに永久磁石回転機 |
JP2007287875A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類永久磁石材料の製造方法 |
JP2008285734A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類酸化物含有溶射基板及びその製造方法 |
JP2012167372A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-09-06 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 希土類酸化物含有溶射基板の製造方法及び積層板の製造方法 |
KR101249729B1 (ko) | 2010-10-28 | 2013-04-02 | 경북대학교 산학협력단 | 내산화 mo-si-b합금의 제조 방법과 mo-si-b계 내열제품 |
JP2015054812A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 三井金属鉱業株式会社 | 焼成治具および焼成治具の製造方法 |
JP6360245B1 (ja) * | 2017-11-08 | 2018-07-18 | 新和工業株式会社 | 焼成用セッターおよびその製造方法 |
-
2004
- 2004-11-04 JP JP2004320468A patent/JP4171916B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053351A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-03-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類永久磁石、その製造方法、並びに永久磁石回転機 |
JP4656325B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2011-03-23 | 信越化学工業株式会社 | 希土類永久磁石、その製造方法、並びに永久磁石回転機 |
JP2007287875A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類永久磁石材料の製造方法 |
JP4656323B2 (ja) * | 2006-04-14 | 2011-03-23 | 信越化学工業株式会社 | 希土類永久磁石材料の製造方法 |
JP2008285734A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類酸化物含有溶射基板及びその製造方法 |
KR101534448B1 (ko) * | 2007-05-21 | 2015-07-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 희토류 산화물 함유 용사 기판 및 그의 제조 방법 |
KR101249729B1 (ko) | 2010-10-28 | 2013-04-02 | 경북대학교 산학협력단 | 내산화 mo-si-b합금의 제조 방법과 mo-si-b계 내열제품 |
JP2012167372A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-09-06 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 希土類酸化物含有溶射基板の製造方法及び積層板の製造方法 |
JP2015054812A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 三井金属鉱業株式会社 | 焼成治具および焼成治具の製造方法 |
JP6360245B1 (ja) * | 2017-11-08 | 2018-07-18 | 新和工業株式会社 | 焼成用セッターおよびその製造方法 |
WO2019092894A1 (ja) * | 2017-11-08 | 2019-05-16 | 新和工業株式会社 | 焼成用セッターおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4171916B2 (ja) | 2008-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003073794A (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
KR101313470B1 (ko) | 내열성 피복 부재 및 그의 제조 방법, 및 상기 부재를 사용하는 처리 방법 | |
Nygren et al. | On the preparation of bio-, nano-and structural ceramics and composites by spark plasma sintering | |
KR100756619B1 (ko) | 질화알루미늄 소결체, 반도체 제조용 부재 및 질화알루미늄소결체의 제조 방법 | |
TW201018655A (en) | Corrosion-resistant bonding agent's for bonding ceramic componets which are exposed to plasmas | |
JP4171916B2 (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
EP1435501B1 (en) | Heat-resistant coated member | |
JP2016502486A (ja) | マグネシアまたはマグネシアスピネル系耐火材料の製造方法、およびマグネシアまたはマグネシアスピネル系耐火材料 | |
WO2015025951A1 (ja) | 多孔質セラミックス及びその製造方法 | |
JP2002371383A (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
JP4081574B2 (ja) | 耐熱性被覆部材の製造方法 | |
JP2004190056A (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
JP6942788B2 (ja) | ペースト組成物、炭化物焼結体およびその製造方法、並びに耐火部材 | |
JP4189676B2 (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
JP2003082402A (ja) | 硬質焼結合金の焼結用セッター | |
JP4069610B2 (ja) | 表面被覆窒化珪素質焼結体 | |
JP4716042B2 (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
JP2009001485A (ja) | 耐熱性被覆部材 | |
JP2004010381A (ja) | 表面被覆窒化珪素焼結体 | |
Hur et al. | Graded coatings by gradient temperature densification | |
WO1996040602A1 (en) | Ceramic-coated support for powder metal sintering | |
JP2004332012A (ja) | 耐熱性治具及び熱処理・焼結方法 | |
JP2003267782A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JPH0226841A (ja) | 光学ガラス成形用モールド材 | |
JPH11310461A (ja) | 高純度炭化物セラミックス部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070124 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080321 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080327 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080716 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4171916 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140822 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |