JP2005131645A - レーザ加工方法及び加工状態判断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属材料のレーザ加工の加工状態判断方法であって、加工用の第1次レーザ光の照射した後に、前記第1次レーザ光よりもエネルギー密度の低い第2次レーザ光を加工部に照射して、前記第2次レーザ光の反射光を計測することにより加工状態を判定するレーザ加工の加工状態判断方法において、前記第2次レーザ光の反射光を第1の所定時間計測して、この後に前記第2次レーザ光の反射光を第2の所定時間計測することにより加工状態を判定する。
【選択図】図7
Description
本実施形態のレーザ加工の加工状態判断方法を図1〜10に基づいて説明する。本実施形態のレーザ加工の加工状態判断方法は、図1に示すように、加工用のレーザ光照射後に、加工用レーザ光(第1次レーザ光)のエネルギー密度より低く、レーザ光照射部が加工されないレベルの所定のエネルギー密度の第2次レーザ光を加工部に照射し、第2次レーザ光の反射光強度を計測することで、加工部の溶融凝固状態(溶融有無および溶融形状)を検出し加工状態を判定する。図1(a)に示すように、第2次レーザ光は第1次レーザ光に連続させてもよく、図1(b)に示すように、第1次レーザ光照射後、所定の時間経過後に照射させてもよい。
実施形態2のレーザ加工の加工状態判断方法に用いるレーザ加工装置の構造を図11に示す。本実施形態の加工状態判断方法は実施形態1と略同じであるが、光計測部の構造が異なっている。本実施形態のレーザ加工装置は、レーザ光出射部に波形制御機能を用いることにより第1次レーザ光と第2次レーザ光とを同一の光源であるレーザ発振部10から発振することができる構造になっている。
実施形態3のレーザ加工の加工状態判断方法に用いるレーザ加工装置の構造を図12に示す。本実施形態の加工状態判断方法は実施形態1と略同じであるが、光計測部の構造が異なっている。本実施形態のレーザ加工装置は、第1次レーザ光を照射する光学系と同一の光学系により反射光5の計測をする。レーザ加工装置のミラーとして、プラズマ光6は透過し、レーザ光の一部を反射することができる部分反射鏡18を使用することにより、加工部から発せられたプラズマ光6や反射光5は部分反射鏡18を透過させる。そして、ミラー16によりこれらの光の方向を変化させて平凸レンズ19を通過した後、ダイクロイックミラー20によりプラズマ光6と反射光5を分離し、PDセンサ13、14により計測する。また、プラズマ光6を検出するPDセンサ14の前面にはYAGレーザ光を遮光するカットフィルター12、反射光5を検出するPDセンサ13の前面にはYAGレーザ光のみを透すバンドパスフィルター11を配置している。また、プラズマ光6を検出する部分にカメラなどの画像計測装置を配置することで溶接部分の画像認識による判定を行うことも可能である。これらは全てレーザ光と同軸で計測することが可能であり、ガルバノミラーを用いた加工機においても使用することが可能である。
本実施形態のレーザ加工の加工状態判断方法を図13、14に基づいて説明する。本実施形態の加工状態判断方法は、実施形態1と略同じであるが、加工部から発せられるプラズマ光の強度を計測することにより加工状態を判定することを特徴としている。プラズマ光は、図13に示すように、第1次レーザ光のプラズマ光と、第2次レーザ光のプラズマ光とからなる。
実施形態5のレーザ加工方法は、実施形態1〜4のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法の結果を図15に示すフローチャートに従って、フィードバックしながらリペア加工をするレーザ加工方法である。
実施形態6のレーザ加工装置を図16に基づいて説明する。本実施形態のレーザ加工装置は、実施形態3のレーザ加工装置と略同じであるが、加工状態判定処理部25が追加されている。
つまり、本実施形態のレーザ加工装置は、レーザ光を発振させるレーザ発振部10と、レーザ光を照射するレーザ光出射部21と、レーザ光照射時に加工部から放出されるプラズマ光および反射光の強度を計測する光計測部22と、光計測部22で計測されたプラズマ光6および反射光5の強度から所定の判断基準により加工状態を判定する加工状態判定処理部25とを有している。
実施形態7のレーザ加工装置を図17に基づいて説明する。本実施形態のレーザ加工装置は、実施形態6のレーザ加工装置と略同じであるが、レーザ光照射制御部26が追加されている。つまり、本実施形態のレーザ加工装置は、レーザ光を発振させるレーザ発振部10と、レーザ光を照射するレーザ光出射部21と、レーザ光照射時に金属材料から放出されるプラズマ光および反射光の強度を計測する光計測部22と、光計測部22で計測されたプラズマ光6および反射光5の強度から所定の判断基準により加工状態を判定する加工状態判定処理部25と、加工状態判定処理部25での判定結果をレーザ光出射部21とレーザ発振部10にフィードバックし、欠陥がある場合は第1回目レーザ光照射部分近傍に再度レーザ光照射させるレーザ光照射制御部26とを有している。そして、実施形態1〜5記載の方法にて加工状態の判定を行い、その判定結果をもとにリペア加工を行う。
2 第2金属板
3 溶融部
4 レーザ光
5 反射光
6 プラズマ光
10 レーザ発振部
10a 第1次レーザ光レーザ発振部
10b 第2次レーザ光レーザ発振部
11 フィルタバンドパス
12 IRカットフィルタ
13 反射光用PDセンサ
14 プラズマ光用PDセンサ
15 レーザ集光レンズ
16 反射鏡
17 光ファイバ
18 部分反射鏡
19 平凸レンズ
20 ダイクロイックミラー
21 レーザ光出射部
22 光計測部
25 加工状態判定処理部
26 レーザ光照射制御部
Claims (11)
- 金属材料のレーザ加工の加工状態判断方法であって、加工用の第1次レーザ光を照射した後に、前記第1次レーザ光よりもエネルギー密度の低い第2次レーザ光を加工部に照射して、前記第2次レーザ光の反射光を計測することにより加工状態を判定するレーザ加工の加工状態判断方法において、
前記第2次レーザ光の反射光を第1の所定時間計測して、この後に前記第2次レーザ光の反射光を第2の所定時間計測することにより加工状態を判定することを特徴とするレーザ加工の加工状態判断方法。 - 前記第1次レーザ光と前記第2次レーザ光を同一の光源から照射することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 前記第1次レーザ光を照射する光学系と同一の光学系により前記第2次レーザ光の反射光の計測をすることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 前記第1次レーザ光を照射する時に、前記第1次レーザ光のプラズマ光の強度を計測することにより加工状態を判定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 2枚の金属材料を重ね合わせたものに前記第1次レーザ光を照射することにより、前記2枚の金属材料を溶接することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 前記2枚の金属材料は、レーザ光照射側にレーザ吸収率の大きい金属材料を配置して、レーザ未照射側にレーザ吸収率の小さい金属材料を配置することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 前記第1の所定時間が5m秒以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 前記第2の所定時間が10m秒以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法。
- 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法の結果をフィードバックしながらリペア加工をすることを特徴とするレーザ加工方法。
- レーザ光を発振するレーザ発振部と、前記レーザ光を加工部に照射するレーザ光照射部と、前記レーザ光を前記加工部に照射する時に前記加工部から放出されるプラズマ光と反射光を計測する光計測部と、前記光計測部で計測される光強度から加工状態を判断する判断部と、を有してなり、請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のレーザ加工の加工状態判断方法により加工状態を判断することを特徴とするレーザ加工状態判断装置。
- 請求項10記載の加工状態判断装置によりレーザ加工の加工状態判断方法の結果をフィードバックしながらリペア加工をすることを特徴とするレーザ加工装置。
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