JP2005129567A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子回路形成工程を終了したウェハを、複数のチップを含む2つ以上のウェハ片に分割し、前記ウェハ片を梱包し、梱包された前記ウェハ片を次工程の場所へ搬送することにより、梱包内荷重の変形応力によるモーメントを小さくし、ウェハを衝撃から保護して安全に搬送する。前記ウェハの分割は、スクライブライン上を縦方向に1回以上、横方向に1回以上切断することが望ましい。また、前記ウェハ内での前記ウェハ片の位置情報を組立工程のために伝達することにより、組立工程において良品チップをピックアップしてダイボンディングすることが容易となる。
【選択図】図1
Description
12 ピックアップデータ
13 ベアウェハ
14 ウェハ
15 チップ
16 ウェハ片
17 リードフレーム
18 無効領域
19 ダイシングテープ
20 不良チップ
21 ダイシングキャリア治具
Claims (10)
- 素子回路形成工程を終了した半導体ウェハを、複数のチップを含む2つ以上のウェハ片に分割する工程と、
前記ウェハ片を梱包する工程と、
梱包された前記ウェハ片を次工程の場所へ搬送する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 梱包され搬送されて来た、素子回路が形成された半導体ウェハから分割された、複数のチップを含むウェハ片を受け取る工程と、
前記ウェハ片をダイシングして複数の前記チップに分割する工程と、
前記チップをダイボンディングする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 素子回路形成工程を終了した半導体ウェハを、複数のチップを含む2つ以上のウェハ片に分割する工程と、
前記ウェハ片を梱包する工程と、
梱包された前記ウェハ片を次工程の場所へ搬送する工程と、
梱包された前記ウェハ片を受け取る工程と、
前記ウェハ片をダイシングして複数の前記チップに分割する工程と、
前記チップをダイボンディングする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体ウェハを前記ウェハ片に分割する工程は、スクライブライン上を縦方向に1回以上、横方向に1回以上切断することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体ウェハの前記2つ以上のウェハ片となる領域には、それぞれ異なるプロセス条件で前記素子回路形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記2つ以上のウェハ片はそれぞれ異なる場所へ搬送されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記搬送する工程は、必要なチップ数を含む一部の前記ウェハ片を、必要とする場所へ搬送することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2または3記載の半導体装置の製造方法において、
受け取った前記ウェハ片を前記ダイシングする工程の前にそれぞれ所定の厚さに裏面研削することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記ウェハ片を搬送する際、前記半導体ウェハ内での前記ウェハ片の位置情報を組立工程のために伝達することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2または3記載の半導体装置の製造方法において、
前記ウェハ片を受け取る際に、前記半導体ウェハ内での前記ウェハ片の位置情報を受け取り、前記位置情報を前記ダイボンディング工程で前記チップをピックアップする際に利用することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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