JP2005125398A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005125398A JP2005125398A JP2003366075A JP2003366075A JP2005125398A JP 2005125398 A JP2005125398 A JP 2005125398A JP 2003366075 A JP2003366075 A JP 2003366075A JP 2003366075 A JP2003366075 A JP 2003366075A JP 2005125398 A JP2005125398 A JP 2005125398A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- laser
- processing
- workpiece
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 18
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 106
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 133
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 44
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】 レーザ加工装置1において、加工用光ファイバ10の入射端10a側には入射レンズ23が配置され、レーザ発振器15から出射されたレーザ光L1を集光して加工用光ファイバ10のコア11に入射させる。加工用光ファイバ10の出射端10b側には加工レンズ21,22からなる加工光学系20が配置され、加工用光ファイバ10のコア11を介して伝送されたレーザ光L1を集光して被加工物30上に照射する。被加工物30の表面で反射されたレーザ光の一部(入射光であるレーザ光L1の光路から外れたレーザ光L2)が加工用光ファイバ10のクラッド層12に入射される。また、加工用光ファイバ10の入射端10a側にはセンサ装置41が配置され、被加工物30で反射されて加工用光ファイバ10のクラッド層12を介してレーザ発振器15側に戻されたレーザ光L3を検出する。
【選択図】 図1
Description
10 加工用光ファイバ
10a 入射端
10b 出射端
11 コア
12 クラッド層(外部層)
13 サポート層(外部層)
14 被覆層
15 レーザ発振器
20 加工光学系
21,22 加工レンズ
23 入射レンズ(入射光学系)
30 被加工物
41 センサ装置
41a センサ部
42 観察装置
43 反射ミラー
44 測定用光ファイバ
51 ビームスプリッタ
52 集光レンズ
53 撮像装置
60 レーザ加工装置
L1 レーザ光(コア伝送光)
L2 レーザ光(入射光の光路から外れたレーザ光)
L3 レーザ光(クラッド伝送光)
Claims (8)
- レーザ光を利用して被加工物の加工を行うレーザ加工装置において、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を伝送する加工用光ファイバと、
前記加工用光ファイバの出射端側に配置され、前記加工用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を集光して被加工物上に照射する加工光学系と、
前記加工用光ファイバの入射端側に配置され、前記被加工物で反射されて前記加工用光ファイバを介して前記レーザ発振器側に戻されたレーザ光を検出するセンサ装置とを備え、
前記加工用光ファイバは、コアと、このコアを覆う外部層とを有し、前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記外部層を介して前記レーザ発振器側に戻されたレーザ光を検出することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記センサ装置による検出結果に基づいて前記被加工物の加工状態を観察する観察装置をさらに備えたことを特徴とする、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記外部層から出射されたレーザ光の光路上に配置されたセンサ部を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記センサ部は、前記加工用光ファイバの前記入射端側の異なる位置に複数配置されていることを特徴とする、請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記複数のセンサ部は、異なる感度特性を持つ少なくとも二種類のセンサ部を含むことを特徴とする、請求項4に記載のレーザ加工装置。
- 前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記外部層から出射されたレーザ光の光路上にその入射端が位置付けられるように配置された測定用光ファイバと、この測定用光ファイバの出射端側に配置され、前記測定用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を検出するセンサ部とを有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記測定用光ファイバは、前記加工用光ファイバの前記入射端側の異なる位置に複数配置され、前記センサ部は、前記複数の測定用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を検出するように一つ又は複数配置されていることを特徴とする、請求項6に記載のレーザ加工装置。
- 前記外部層はクラッド層及びサポート層のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003366075A JP4537686B2 (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003366075A JP4537686B2 (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005125398A true JP2005125398A (ja) | 2005-05-19 |
JP4537686B2 JP4537686B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=34644536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003366075A Expired - Fee Related JP4537686B2 (ja) | 2003-10-27 | 2003-10-27 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4537686B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010007852A1 (ja) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | 住友電気工業株式会社 | レーザ加工装置及びその加工方法 |
WO2011122566A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社フジクラ | 光強度モニタ回路、およびファイバレーザシステム |
EP2728390A4 (en) * | 2011-06-29 | 2015-07-29 | Furuuchi Chemical Corp | COLLIMATOR AND OPTICAL ISOLATOR WITH COLLIMATOR |
JP2020515878A (ja) * | 2016-12-02 | 2020-05-28 | テラダイオード, インコーポレーテッド | 電力送達およびビーム切り替えのためのファイバ束を利用するレーザシステム |
JP2020535974A (ja) * | 2017-10-05 | 2020-12-10 | シノヴァ エスアーSynova Sa | レーザービームを用いて被加工材を加工する装置 |
CN115993691A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-21 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 光路耦合***及光路耦合***的控制方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5559788A (en) * | 1978-10-28 | 1980-05-06 | Aloka Co Ltd | Laser safety device |
JPH03207590A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ溶接位置の位置決め装置 |
JPH081357A (ja) * | 1994-06-13 | 1996-01-09 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2001025889A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ光出射装置 |
JP2001102720A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-04-13 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の加工方法 |
JP2003001465A (ja) * | 2001-06-21 | 2003-01-08 | Japan Atom Energy Res Inst | 複合型光ファイバを用いたレーザ加工システム |
-
2003
- 2003-10-27 JP JP2003366075A patent/JP4537686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5559788A (en) * | 1978-10-28 | 1980-05-06 | Aloka Co Ltd | Laser safety device |
JPH03207590A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ溶接位置の位置決め装置 |
JPH081357A (ja) * | 1994-06-13 | 1996-01-09 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2001025889A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ光出射装置 |
JP2001102720A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-04-13 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の加工方法 |
JP2003001465A (ja) * | 2001-06-21 | 2003-01-08 | Japan Atom Energy Res Inst | 複合型光ファイバを用いたレーザ加工システム |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102099145A (zh) * | 2008-07-16 | 2011-06-15 | 住友电气工业株式会社 | 激光加工装置及其加工方法 |
US8546722B2 (en) | 2008-07-16 | 2013-10-01 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laser processing apparatus and processing method employed therein |
JP5440499B2 (ja) * | 2008-07-16 | 2014-03-12 | 住友電気工業株式会社 | レーザ加工装置及びその加工方法 |
CN102099145B (zh) * | 2008-07-16 | 2014-08-13 | 住友电气工业株式会社 | 激光加工装置及其加工方法 |
WO2010007852A1 (ja) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | 住友電気工業株式会社 | レーザ加工装置及びその加工方法 |
US9234792B2 (en) | 2010-03-30 | 2016-01-12 | Fujikura Ltd. | Light intensity monitor capable of detecting light intensity and fiber breaking |
WO2011122566A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社フジクラ | 光強度モニタ回路、およびファイバレーザシステム |
CN102844942A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-26 | 株式会社藤仓 | 光强度监控电路以及光纤激光器*** |
JP5276749B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-08-28 | 株式会社フジクラ | 光強度モニタ回路、およびファイバレーザシステム |
EP2728390A4 (en) * | 2011-06-29 | 2015-07-29 | Furuuchi Chemical Corp | COLLIMATOR AND OPTICAL ISOLATOR WITH COLLIMATOR |
JP2020515878A (ja) * | 2016-12-02 | 2020-05-28 | テラダイオード, インコーポレーテッド | 電力送達およびビーム切り替えのためのファイバ束を利用するレーザシステム |
JP7042823B2 (ja) | 2016-12-02 | 2022-03-28 | テラダイオード, インコーポレーテッド | レーザビームに関連する方法およびレーザシステム |
JP2020535974A (ja) * | 2017-10-05 | 2020-12-10 | シノヴァ エスアーSynova Sa | レーザービームを用いて被加工材を加工する装置 |
US11697175B2 (en) | 2017-10-05 | 2023-07-11 | Synova S.A. | Apparatus for machining a workpiece with a laser beam |
JP7324515B2 (ja) | 2017-10-05 | 2023-08-10 | シノヴァ エスアー | レーザービームを用いて被加工材を加工する装置 |
CN115993691A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-21 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 光路耦合***及光路耦合***的控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4537686B2 (ja) | 2010-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3917731B2 (ja) | レーザ走査顕微鏡 | |
JP3996783B2 (ja) | 走査型顕微鏡及び走査型顕微鏡用モジュール | |
CN108375349B (zh) | 倾斜测定装置 | |
KR101609029B1 (ko) | 광 전달 매질의 투과 특성을 측정하는 방법 및 이를 이용한 이미지 획득 장치 | |
JP2008506426A5 (ja) | ||
JPH09318529A (ja) | 光散乱体の光学測定装置 | |
JP2004089552A (ja) | 診断光照射装置 | |
JPH0515428B2 (ja) | ||
JP2021128173A (ja) | 亀裂検出装置及び亀裂検出方法 | |
JP2002196252A (ja) | 走査型顕微鏡検査における照明用光源装置、及び走査型顕微鏡 | |
KR20180087147A (ko) | 스폿 형상 검출 장치 | |
CN113631980A (zh) | 共聚焦显微镜单元和共聚焦显微镜 | |
JP4537686B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2001235684A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
KR20180101157A (ko) | 공초점 계측 장치 | |
JP4885429B2 (ja) | 光刺激装置および光走査型観察装置 | |
KR20200041079A (ko) | 초점 심도를 이용한 플랑크톤 검사 장치 및 그 방법 | |
JP2004279342A (ja) | 深さ測定装置 | |
JP2005062515A (ja) | 蛍光顕微鏡 | |
JP2001506015A (ja) | 複数の試料個所で同時に試料を光励起する走査顕微鏡 | |
JP3819083B2 (ja) | 蛍光診断装置 | |
JP2000334587A (ja) | レーザ溶接の溶接状態検出装置 | |
JP2010091428A (ja) | 走査光学系 | |
US7382530B2 (en) | Method for the adjustment of a light source in a microscope | |
KR20220119398A (ko) | 공초점 거리 측정을 이용한 작업편의 제어되는 기계가공을 위한 방법 및 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4537686 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |