JP2005117313A - 圧電素子およびタッチパネル装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る圧電素子Xは、基板11と、圧電膜12と、当該基板11および圧電膜12の間の電極13と、当該電極13とは反対の側にて圧電膜12に接する電極と14を備える。電極14は、基部14a、および、当該基部14aから延出し且つ相互に平行な複数の枝電極14bを有し、電極13は、圧電膜12を介して複数の枝電極14bにわたって対向する部位を有する。圧電膜12の厚さhと、複数の枝電極14bの電極周期をλとについて、0.005≦h/λ≦0.1を成立させる。電極13でのヒロック発生率は0.1%以下とする。本発明に係るタッチパネル装置は、このような圧電素子Xを励振手段および/または受振手段として具備する。
【選択図】 図1
Description
際的には、電極Eが設けられた領域の単位面積あたりに生ずる断面面積A1の総和を当該単位面積で除した値により、本発明におけるヒロック発生率を特定することができる。
図12に示すような、2つの圧電素子Xからなる正規対向型のトランスバーサルSAWフィルタを作製した。このフィルタを構成する本実施例の各圧電素子Xは、第1の実施形態に係るものである。
上述のフィルタ作製過程における第1成膜工程と同一の条件で、所定のガラス基板上に、2.0wt%のCuを含有するAl合金膜(厚さ300nm)を形成した。次に、このAl合金膜付きガラス基板を、300℃で20分間、加熱処理に付した。本加熱処理での加熱温度および加熱時間は、上述の第2成膜工程における基板加熱温度および成膜時間と同一である。すなわち、本加熱処理では、上述のフィルタ作製過程においてヒロックが発生および成長し得る工程の環境を模擬的に設定したのである。このようにして作製したサンプルのAl合金膜表面を原子力間顕微鏡(AFM)により観察し、ヒロック発生率を測定した。その結果、本サンプルのAl合金膜におけるヒロック発生率は、0.01%であった。したがって、本実施例の圧電素子Xの電極13におけるヒロック発生率も0.01%と考えられる。
本実施例のフィルタについて、入力信号と出力信号の間の挿入損失を測定した。その結果、本実施例のフィルタの挿入損失は−12dBであった。この結果は図13のグラフに示す。図13のグラフでは、ヒロック発生率(%)を横軸にて対数目盛りで表し、挿入損失(dB)を縦軸にて表す。
前記第2電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第1電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は、0.1%以下である、圧電素子。
(付記2)基板と、圧電膜と、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極と、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極と、を備え、
前記第1電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第2電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は、0.1%以下である、圧電素子。
(付記3)前記第1電極は、Ti,Cr,Ni,Cu,Zn,Pd,Ag,Hf,W,Pt,およびAuからなる群より選択される金属を0.1〜3wt%含有するAl合金よりなる、付記1または2に記載の圧電素子。
(付記4)前記圧電膜は、MnがドープされているZnOよりなる、付記3に記載の圧電素子。
(付記5)検出領域および当該検出領域を囲む周縁領域を含む基板と、
前記基板にて表面弾性波を励振するための、前記周縁領域に設けられている励振手段と、
前記検出領域を伝搬した表面弾性波を受振するための、前記周縁領域に設けられている受振手段と、を備え、
前記励振手段および/または前記受振手段は、基板、圧電膜、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極、並びに、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極を含み、
前記第2電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第1電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、タッチパネル装置。
(付記6)検出領域および当該検出領域を囲む周縁領域を含む基板と、
前記基板にて表面弾性波を励振するための、前記周縁領域に設けられている励振手段と、
前記検出領域を伝搬した表面弾性波を受振するための、前記周縁領域に設けられている受振手段と、を備え、
前記励振手段および/または前記受振手段は、基板、圧電膜、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極、並びに、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極を含み、
前記第1電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第2電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、タッチパネル装置。
(付記7)前記第1電極は、Ti,Cr,Ni,Cu,Zn,Pd,Ag,Hf,W,Pt,およびAuからなる群より選択される金属を0.1〜3wt%含有するAl合金よりなる、付記5または6に記載のタッチパネル装置。
(付記8)前記圧電膜は、MnがドープされているZnOよりなる、付記7に記載のタッチパネル装置。
11 基板
12 圧電膜
13,14,23,24 電極
14b,23b 枝電極
Y,Y’ タッチパネル装置
XA〜XD 圧電素子
31 基板
31a 検出領域
31b 周縁領域
32 圧電膜
33A〜33D,34A〜34D,43A〜43D,44A〜44D 電極
34b,43b 枝電極
34b’,43b’ 内側部
34b'',43b'' 外側部
Claims (5)
- 基板と、圧電膜と、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極と、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極と、を備え、
前記第2電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第1電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、圧電素子。 - 基板と、圧電膜と、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極と、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極と、を備え、
前記第1電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第2電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、圧電素子。 - 前記第1電極は、Ti,Cr,Ni,Cu,Zn,Pd,Ag,Hf,W,Pt,およびAuからなる群より選択される金属を0.1〜3wt%含有するAl合金よりなる、請求項1または2に記載の圧電素子。
- 検出領域および当該検出領域を囲む周縁領域を含む基板と、
前記基板にて表面弾性波を励振するための、前記周縁領域に設けられている励振手段と、
前記検出領域を伝搬した表面弾性波を受振するための、前記周縁領域に設けられている受振手段と、を備え、
前記励振手段および/または前記受振手段は、基板、圧電膜、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極、並びに、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極を含み、
前記第2電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第1電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、タッチパネル装置。 - 検出領域および当該検出領域を囲む周縁領域を含む基板と、
前記基板にて表面弾性波を励振するための、前記周縁領域に設けられている励振手段と、
前記検出領域を伝搬した表面弾性波を受振するための、前記周縁領域に設けられている受振手段と、を備え、
前記励振手段および/または前記受振手段は、基板、圧電膜、当該基板および圧電膜の間に介在する第1電極、並びに、当該第1電極とは反対の側にて前記圧電膜に接する第2電極を含み、
前記第1電極は、基部、および、当該基部から延出し且つ相互に平行な複数の枝電極を有し、
前記第2電極は、前記圧電膜を介して前記複数の枝電極にわたって対向する部位を有し、
前記圧電膜の厚さをhとし、且つ、前記複数の枝電極の電極周期をλとすると、0.005≦h/λ≦0.1が成立し、
前記第1電極におけるヒロック発生率は0.1%以下である、タッチパネル装置。
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