JP2005100673A - 高周波加熱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電極に高周波を給電する給電線における放電防止とマイクロ波漏洩抑制を保証し、マイクロ波加熱と誘電加熱の両機能を付帯した装置を提供する。
【解決手段】固定電極１９に高周波を給電する給電線３６において、加熱室底壁面１３を貫通配線させた領域を略同軸線構成とし、加熱室内側にあっては外部導体に相当する突出部１０１と絶縁部材１０６、１０７を配し、加熱室外側には同軸チョーク１０２を配することで、誘電加熱時に固定電極１９近傍での給電線３６に生じる高電圧に伴う放電発生を解消し、マイクロ波加熱時に給電線に重畳するマイクロ波に対して伝送方向を規定して同軸チョークを確実に作用させて加熱室外への漏洩を抑制させることができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、マイクロ波加熱および被加熱物を電極間に挟んで加熱する誘電加熱が併用できる高周波加熱装置に関するものである。

高周波加熱装置の代表である電子レンジは、被加熱物を直接的に加熱できるので鍋・釜を準備する必要がない簡便さでもって生活上の不可欠な機器になっている。また、この電子レンジのマイクロ波加熱の特徴は加熱エネルギを食品内部にまで供給できることであり、この特徴を冷凍食品の解凍に利用するということで冷凍食品が大量に流通してきた。

電子レンジは、被加熱物を収納する加熱室の大きさが大概、幅寸法および奥行き寸法がそれぞれ３０〜４０ｃｍ、高さ寸法が２０ｃｍ前後である。一方使用しているマイクロ波の波長は約１２ｃｍであり、加熱室内には強弱の電界分布が必ず生じ、さらには被加熱物の形状やその物理特性の影響が相乗されて局所加熱が発生することがある。冷凍食品の解凍においては、氷が解けて水になった領域に加熱エネルギが集中するので局所加熱現象が顕著に現れ、部分煮えと未解凍とが共存してしまう問題を有している。

波長の長い高周波を利用し、被加熱物を電極に挟んで誘電加熱する方法は、歴史が古くいまでも工業用としてバッチ方式やベルトコンベア方式が用いられている。これらは大型の冷凍品の処理や冷凍品の多量処理のために大型の装置構成であり、かつ装置の操作も熟練者が行っている。

一方、この電極を用いた装置の家庭用装置への展開も古くから検討されてきたが、生活上の利便性あるいは使用上の利便性の価値をユーザに提供できるまでには至っていない。

家庭用装置としての実用価値を提供することを目的とした従来のこの種の高周波加熱装置は、誘電加熱時に使用する電極の一方がマイクロ波加熱時に被加熱物を載置するターンテーブルと兼用させ、他方の電極は上下方向に昇降する構成としている（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１によれば、電極への高周波の給電は、電極に相対して配置した結合用電極を備え、結合用電極に給電された高周波を静電容量結合により電極側に伝える構成としている。
特開平９−９２４５５号公報（特許請求の範囲、図１）

しかしながら、前記従来の構成では、マイクロ波加熱時に電極と相対する結合用電極にマイクロ波が重畳し、この結果、結合用電極に結線された給電線を通ってマイクロ波が加熱室外に漏洩する課題を有している。

また、下側に位置する電極に関しては、マイクロ波加熱時に被加熱物を載置するターンテーブルとして使用し、そのターンテーブルの表面に非金属製の保護材を装着したものであるが、底面積の大きな被加熱物をマイクロ波の電波で加熱する場合に、このようなターンテーブル構成では被加熱物の中心部の加熱が不足する課題を有していた。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、誘電加熱用の電極およびその電極への高周波給電の構成および配置を工夫し、マイクロ波加熱時および誘電加熱時のそれぞれで使い勝手の良い高周波加熱装置を提供することを目的とする。

前記従来の課題を解決するために、本発明の高周波加熱装置は、加熱室において被加熱物を挟む電極と、高周波を発生する高周波電源と、前記高周波を前記電極に給電する給電線とを備え、前記給電線は前記加熱室壁面を貫通する領域で略同軸線構成とし、前記加熱室の外側に同軸チョーク構成を配し、加熱室の内側に同軸線の外部導体を突出させ、その外部導体の先端に絶縁部材を延在させる構成としたものである。

これによって、給電線は加熱室壁面と同電位である略同軸線の外部導体に対して絶縁し、誘電加熱時に給電線まわりに生じようとする放電発生を解消させている。また、マイクロ波加熱時に給電線に重畳して加熱室外に漏洩しようとするマイクロ波は、加熱室内に突出させた外部導体によって伝送方向を給電線方向に規定し、給電線を伝送するマイクロ波に対して同軸チョークを確実に作用させてマイクロ波の加熱室外への漏洩を抑制させている。

本発明の高周波加熱装置は、電極に高周波を給電する給電線まわりでの放電防止とマイクロ波漏洩抑制を確実に保証できるので、マイクロ波加熱および誘電加熱のそれぞれの機能を付帯した高周波加熱装置を提供することができる。

第１の発明は、被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に供給するマイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記加熱室において被加熱物を挟む電極と、高周波を発生する高周波電源と、前記高周波を前記電極に給電する給電線とを備えた高周波加熱装置において、前記給電線は前記加熱室壁面を貫通する貫通部で略同軸線構成とし、前記加熱室の外側に同軸チョーク構成を配し、加熱室の内側に同軸線の外部導体を突出させ、その外部導体の先端に絶縁部材を延在させる構成とすることにより、給電線は加熱室壁面と同電位である略同軸線の外部導体に対して絶縁し、誘電加熱時に給電線まわりに生じようとする放電発生を解消させている。また、マイクロ波加熱時に給電線に重畳して加熱室外に漏洩しようとするマイクロ波は、加熱室内に突出させた外部導体によって伝送方向を給電線方向に規定し、給電線を伝送するマイクロ波に対して同軸チョークを確実に作用させてマイクロ波の加熱室外への漏洩を抑制させている。そして、電極に高周波を給電する給電線まわりでの放電防止とマイクロ波漏洩抑制を確実に保証できるので、マイクロ波加熱および誘電加熱のそれぞれの機能を付帯した高周波加熱装置を提供することができる。

第２の発明は、特に、第１の発明の給電線の加熱室壁面の貫通部を、電極面に対向する加熱室壁面より外側に配置したことにより、被加熱物を挟んだ電極間のインピーダンスによって電極に供給される高周波電界強度は変化するが、それに伴う電極と加熱室壁面との間に生じる高周波電界の変化の影響を回避した位置に貫通部を配置して、貫通部での給電線の絶縁性を保証することができる。

第３の発明は、特に、第１の発明の給電線の略同軸線構成には、少なくとも弾性体の絶縁部材を配設したことにより、高周波損失による給電線の発熱に伴う給電線の線膨張に対して絶縁性能を維持することができる。

第４の発明は、特に、第１の発明の電極は固定電極と可動電極とで構成し、被加熱物を載置する誘電材料からなる載置板を備え、載置板の下方に固定電極を設けたことにより、マイクロ波加熱と誘電加熱とのそれぞれに対して被加熱物を同様の載置方法ですればよく使い勝手のよい装置を提供できる。また、この固定電極を高圧側電極とすれば、固定電極に触ることがない構成となり安全性の確保ができる。

第５の発明は、特に、第４の発明の固定電極が対向する加熱室壁面に複数の開孔を設けたことにより、固定電極と加熱室壁面との間に生じる容量成分を減少させて、無効電力を低減し、被加熱物を効率よく誘電加熱することができる。

第６の発明は、特に、第４の発明の固定電極は、その略中央部に開孔を配し、開孔の周辺を可動電極側に凸状に形成したことにより、開孔の存在による電極間の高周波電界の弱まりに対し凸部による電極間距離の短縮によって高周波電界を強くし、開孔に対向する被加熱物の誘電加熱を促進させることができる。

第７の発明は、特に、第６の発明の固定電極の開孔は、マイクロ波の波長の略１／４以上の直径を有する大きさとしたことにより、マイクロ波加熱時に大きな被加熱物に対して開孔に対向する被加熱物の部位にもマイクロ波を十分に供給でき被加熱物の加熱の均一化を図ることができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１は、本発明の第１の実施の形態における誘電加熱時の状態を示す高周波加熱装置の正面断面図、図２は図１の右側より見た断面構成図、図３は図１の給電線の略同軸線構成の構成図、図４は図１の固定電極の構成図である。

図１〜図４において、被加熱物を収納する加熱室１０は、マイクロ波を閉じ込めることができる金属材料の境界面である左壁面１１、右壁面１２、底壁面１３、上壁面１４、奥壁面１５および加熱室内を透視できるパンチング板を有する開閉扉１６とで構成し、加熱室１０内には被加熱物１７を載置する誘電材料からなる載置板１８を配置している。載置板１８の下方には誘電加熱用の一方の電極である固定電極１９を配し、載置板１８の上方には他方の電極である可動電極２０を配し、この可動電極２０はスライドしながら上下方向に可動する構成としている。また、固定電極１８の下方にはマイクロ波を放射する電波放射手段２１を配置している。導波管２２はマイクロ波発生手段であるマグネトロン２３を一端側に配し、マグネトロン２３が発生するマイクロ波を伝送して他端側に配した電波放射手段２１に導く。電波放射手段２１の回転軸は導波管２２内に挿入している。モータ２４は電波放射手段２１の回転軸と嵌合する出力軸を有し、このモータ２４を動作させることで電波放射手段２１が回転する。電波放射手段２１は、開口部を有する円板の構成からなり、回転に伴って電波の放射方向あるいは放射分布が変化するように構成している。なお、電波放射手段２１は、長板、導波管型アンテナなどの構成も採れる。

固定電極１９は、その略中央部（加熱室の左右および前後方向の略中央部に対応）にマイクロ波の波長の１／４以上の直径からなる開孔１９ａを配し、開孔１９ａの周辺部は、可動電極２０側に凸状加工１９ｂを施した構成としている。

開孔１９ａの直径は、２４５０ＭＨｚ帯のマイクロ波を使用する場合、３１ｍｍ以上が好ましく、一方最大でも５０ｍｍ以下に選択する。また、開孔周辺の凸状部の高さは、固定電極１９平面に対して略３ｍｍ程度としている。

また固定電極１９と加熱室の壁面との距離Ｇ１、Ｇ２は、少なくとも使用するマイクロ波の波長の１／４以上としている。

一方、可動電極２０の周縁部は、固定電極１９の周縁部よりも加熱室の壁面側に近い構成（図１のＷ１、図２のＷ２が相当する）としている。そして可動電極２０には、支持部２５を介して二つの回転軸２６、２７を組立ている。これら二つの回転軸２６、２７はそれぞれ支持部２５に設けた貫通穴の中を自由に回転できるような関係に構成し、回転軸２６、２７の回転に伴う可動電極２０の昇降動作において、可動電極２０が固定電極１９に対して略平行に昇降する構成としている。そして一方の回転軸２７には弾性体の金属ワイヤ２８を設けている。この金属ワイヤ２８は一端を可動電極２０に接続し、他端は回転軸２７に溶接固定している。そして可動電極２０はこの金属ワイヤ２８、回転軸２７を介して加熱室１０の金属壁面と導通させている。モータ２９は、回転軸２６、２７を回転駆動させるものである。なお、この回転駆動には複数の歯車などを用いて構成した駆動系を用いることでモータ２９の負荷を軽減し、小型モータを利用することができる。また、回転軸２６、２７は加熱室１０の壁面を貫通させて回転支持しており、この支持部にはそれぞれ電波シール機構３０を配している。

また、固定電極１９は載置板１８の下面に近接して配置するように絶縁材料からなる支持柱３２にて加熱室の底壁面１３から所定の間隙でもって支持させている。

高周波電源３３は各電極に供給する高周波（たとえば１３．５６ＭＨｚ、２７．１２ＭＨｚ）を発生するものである。電力検知部３４は高周波電源３３から電極の方向に伝送する入射電力および電極側から高周波電源側に戻ってくる反射電力を検知する（ＣＭ型ＳＷＲ回路など）ものである。整合回路３５は電極に直列接続したコイルと並列接続したコンデンサとの回路構成からなり、少なくともコイルはそのインピーダンスを連続的に可変できる構成として被加熱物を含む電極インピーダンスを高周波電源３３の出力インピーダンスに整合させるものである。整合回路３５の高圧側は固定電極１９に結線し、アース側は加熱室１０の壁面に結線している。高圧側の給電線３６は加熱室１０の壁面部を貫通する領域を略同軸線構成３７（詳細は図３を用いて後述する）としている。

制御部３８は、電力検知部３４の検知信号に基づいて、高周波電源３３の出力、整合回路３５のコイルやコンデンサの値の可変制御あるいはモータ２９の動作制御をする。なお、図２の破線は装置本体ボディ３９を示す。

次に、固定電極１９へ高周波を給電する給電線３６まわりの構成について説明する。この給電線３６は加熱室底壁面１３を貫通配線とし、この貫通領域を略同軸線構成としている。すなわち、図３において、加熱室底壁面１３は、加熱室の内側に絞り加工によって外部導体に相当する突出部１０１を形成している。また、加熱室底壁面１３の外側には同軸チョーク１０２を配する。この同軸チョーク１０２は、第一の構造体１０３と第二の構造体１０４から構成している。これらの第一および第二の構造体１０３、１０４はそれぞれ所定の内径と長さで構成し、使用するマイクロ波の周波数帯において同軸線の外部導体の切れ目１０５におけるインピーダンスが略無限大になるように構成している。また、この同軸チョーク１０２は、加熱室底壁面１３に溶接組立（あるいはねじ組立）としている。

給電線３６は、同軸チョーク１０２および突出部１０１を貫通して配線するが、同軸チョーク１０２および突出部１０１に対して絶縁部材を介して略同心状に配線している。この絶縁部材は、弾性体の絶縁部材１０６と成形加工した非弾性体の絶縁部材１０７を使用し、弾性体絶縁部材１０６（たとえば、シリコンゴムチューブ）を内側に配置させている。また、非弾性体の絶縁部材１０７は、突出部１０１の先端からさらに延在して配置させている。また、給電線３６の加熱室壁面の貫通部は固定電極１９が対向する加熱室底壁面１３の対向領域よりも外側に配置させている。これにより、給電線３６は他端を略９０度に丸曲げして固定電極１９にねじ１０８により組立て接続させている。

なお、同軸チョークの構成例としては、第一の構造体１０３は内径１５．５ｍｍ、長さ１０．０ｍｍ、板厚さ０．５ｍｍ、第二の構造体１０４は、内側が、内径８．５ｍｍ、長さ１３．５ｍｍ、板厚さ０．５ｍｍ、外側が、内径２７．５ｍｍ、長さ１６．５ｍｍ、板厚さ０．５ｍｍである。また、突出部１０１は、内径８．５ｍｍ、長さ６ｍｍ、突出部１０１の先端からの絶縁部材１０７の長さは６ｍｍ、給電線３６は直径３ｍｍである。

また、固定電極１９が対向する加熱室底壁面１３には複数の開孔１３ａを設けている。この開孔１３ａは、マイクロ波に対しては漏洩防止構造として作用するものであり、一例として直径３ｍｍの孔を開口率約５０％で配置させている。なお、導波管２２の管壁面に対応する領域は開孔１３ａの直径２ｍｍの孔を開口率約４０％で配置している。

以上のような構成において、給電線３６を外部導体に対して二重絶縁構成とし、さらに突出部１０１との間に絶縁部材１０７を介在させた構成により、誘電加熱時に固定電極１９近傍での給電線３６に生じる高電圧に伴う放電発生を解消させている。また、マイクロ波加熱時に給電線に重畳して加熱室外に漏洩しようとするマイクロ波に対しては、加熱室内に突出させた外部導体によって伝送方向を給電線方向に規定し、給電線を伝送するマイクロ波に対して同軸チョークを確実に作用させてマイクロ波の加熱室外への漏洩を抑制させている。そして、電極に高周波を給電する給電線まわりでの放電防止とマイクロ波漏洩抑制を確実に保証できるので、マイクロ波加熱および誘電加熱のそれぞれの機能を付帯した高周波加熱装置を提供することができる。

また、給電線３６の加熱室壁面の貫通部を、電極面に対向する加熱室壁面より外側に配置したことにより、被加熱物を挟んだ電極間のインピーダンスによって電極に供給される高周波電界強度は変化するが、それに伴う電極と加熱室壁面との間に生じる高周波電界の変化の影響を回避した位置に貫通部を配置して、貫通部での給電線の絶縁性を保証することができる。

また、給電線３６の略同軸線構成部には、少なくとも弾性体の絶縁部材１０６を配設したことにより、高周波損失による給電線３６の発熱に伴う給電線３６の線膨張に対して絶縁性能を維持することができる。

さらに、固定電極１９の下方に電波放射手段２１を設けた構成とすることで誘電加熱における電極間に生じる電界方向と同様の方向である被加熱物の下方からマイクロ波を放射させることにより、被加熱物の載置方法はターンテーブル無しの共用構成（載置板１８構成）にでき、マイクロ波加熱と誘電加熱使用とのそれぞれに対して被加熱物を同様の載置方法ですればよく使い勝手のよい装置を提供できる。また、この固定電極１９を高圧側電極とすれば、固定電極に触ることがない構成となり安全性の確保ができる。

また、固定電極１９が対向する加熱室壁面１３に複数の開孔１３ａを設けたことにより、固定電極１９と加熱室壁面１３との間に生じる容量成分を減少させて、無効電力を低減し、被加熱物を効率よく誘電加熱することができる。

また、固定電極１９の中央部に設けた開孔１９ａは、略円形形状とし、その直径は使用するマイクロ波の波長の１／４以上としたことより開孔１９ａはマイクロ波を確実に通過させることができ、開孔１９ａに対向する被加熱物の部位にもマイクロ波を十分に供給でき被加熱物のマイクロ波加熱時の加熱の均一化をより確実に保証できる。なお、この開孔１９ａは最大５０ｍｍ以下にすることで誘電加熱時の電極中央での高周波電界の不存在領域を抑制することができる。

また、少なくとも固定電極１９の開孔１９ａの周辺を可動電極側に凸状１９ｂに形成したことにより、開孔１９ａの存在による電極間の高周波電界の弱まりに対し凸状部による電極間距離の短縮によって高周波電界を強くし、開孔１９ａに対向する被加熱物の誘電加熱を促進させることができる。また、この凸状加工１９ｂをしたことにより、固定電極１９の機械的強度を高くし熱歪の発生を抑制することができる。

また、固定電極１９と加熱室の壁面との距離は、少なくとも使用するマイクロ波の波長の１／４以上としたものであり、これにより固定電極１９の周辺からも満遍なくマイクロ波を被加熱物側に供給し被加熱物の加熱の均一化を図ることができる。

また、可動電極２０の周縁部は、固定電極１９の周縁部よりも加熱室の壁面側に近い構成としたことにより被加熱物の収納位置が広いという印象の安心感を使用者に与えるとともに、電極周辺部における端部での電界分布の集中を緩和して使い勝手の良い装置を提供できる。

さらに可動電極２０は、単なる上下昇降ではなく、スライドしながら昇降するものである。そして、上壁面１４の直下に収納する構成としている。この昇降動作の中で、可動電極２０は固定電極１９に対して略平行に対向しながら対向間隔を可変するように動作させており、これにより被加熱物の厚みに応じた対向間隔の調整を可能にし被加熱物に供給する誘電加熱エネルギを最大化し短時間加熱を図ることができる。

次に、制御部３８の誘電加熱時の動作を説明する。

被加熱物が収納された後、誘電加熱の開始キーが押されると、モータ２９を動作させて可動電極２０を下降し被加熱物と所定の間隙を有する位置にセットする。その後、高周波電源３３を５０Ｗ程度の小電力出力にて動作させ、電力検知部３４から得られる反射電力を最小にするように整合回路を動作させる。反射電力が最小になった後、高周波電源３３の出力を最大化し、被加熱物を誘電加熱していく。この加熱中にも電力検知部３４からの検知信号を随時取りこみ、反射電力が最小になるように整合回路３５（あるいはモータ２９）を動作制御する。その後、所定の加熱時間の経過、あるいは電力検知部の信号変化などに基づく加熱終了時期判定により誘電加熱の終了時期が来ると高周波電源３３の動作を停止し、モータ２９を動作して可動電極２０を加熱室の上壁面１４直下に上昇移動して収納する。

なお、誘電加熱時には加熱室１０内の空気を対流あるいは給排気させることが望ましい。

次にマイクロ波加熱の場合の主要動作について説明する。マイクロ波加熱の場合、可動電極２０は、加熱室上壁面１４の直下に収納した状態のままで加熱を実行する。

被加熱物を載置板１８の上に載置した後、開閉扉１６を閉じ、操作パネル（図示していない）内の操作キーを用いて加熱条件を入力し加熱開始キーを押すことでマイクロ波加熱が開始する。装置に組込んだ制御部（図示していない）は、この加熱開始キーが押されたことを認識すると、マグネトロン２３を駆動する電源（図示していない）を動作させる。これによりマグネトロン２３がマイクロ波を発生する。発生したマイクロ波は、導波管２２を伝送し、導波管２２の終端側に設けた電波放射手段２１に供給され、加熱室１０に放射される。ここで放射されたマイクロ波は、固定電極１９の周縁と加熱室壁面との間隙部および固定電極１９の中央に設けた開孔１９ａを通り、載置板１８を透過して被加熱物にマイクロ波エネルギを供給し、被加熱物を均一にマイクロ波加熱する。

次に誘電加熱とマイクロ波加熱とを併用する場合の主要動作について説明する。

このような加熱として、冷凍食品の「解凍温め」がある。「解凍温め」に対して、まず誘電加熱を行い、引続いてマイクロ波加熱を実行する。各加熱方法の引渡し時の動作について説明する。誘電加熱の終了に伴って高周波電源３３の動作を停止するとともに可動電極２０を上壁面１４の直下に上昇移動させる。その後直ちにマグネトロン２３を動作させてマイクロ波加熱への移行を完成させる。

対向する電極間に生じる高周波電界は冷凍食品を貫通するので、冷凍食品は食品内部まで確実に昇温されるので均一解凍の状態になる。この状態からマイクロ波加熱をすることで、解凍された食品は融解のための熱エネルギ消費を抑制でき、食品全体は所望の適温まで短時間に昇温する。

なお、本発明の実施の形態１に用いた加熱室および電極の構成寸法の一例は、加熱室の形状は、幅４１５ｍｍ、奥行３１５ｍｍ、高さ２３０ｍｍ、固定電極１９の形状は、幅２８０ｍｍ、奥行２００ｍｍ、可動電極２０の形状は、幅３００ｍｍ、奥行２２０ｍｍ、固定電極１９と加熱室壁面１３との間隙は３０ｍｍである。

以上のように、本発明にかかる高周波加熱装置は、マイクロ波加熱と誘電加熱との併用が可能になるので、食品加熱、解凍装置、陶芸加熱装置、乾燥装置あるいは生体化学反応装置等の用途に適用できる。

本発明の実施の形態１の高周波加熱装置の誘電加熱時の正面断面図 同高周波加熱装置の右側から見た断面図 同高周波加熱装置の給電線の略同軸線構成の構成図 同高周波加熱装置の下電極の構成図

符号の説明

１０ 加熱室
１３ａ 複数の開孔（加熱室壁面の開孔）
１７ 被加熱物
１８ 載置板
１９ 固定電極
１９ａ 開孔
１９ｂ 凸状
２０ 可動電極
２３ マグネトロン（マイクロ波発生手段）
３３ 高周波電源
３６ 給電線
１０１ 突出部（外部導体の突出部）
１０２ 同軸チョーク
１０６ 弾性体の絶縁部材
１０７ 絶縁部材

Claims (7)

1. 被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に供給するマイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記加熱室において被加熱物を挟む電極と、高周波を発生する高周波電源と、前記高周波を前記電極に給電する給電線とを備えた高周波加熱装置であって、前記給電線は前記加熱室壁面を貫通する貫通部で略同軸線の構成を有し、前記貫通部の前記加熱室外側に同軸チョークを配し、前記貫通部の加熱室内側は同軸線の外部導体を突出させ、前記外部導体の先端に絶縁部材を延在させる構成とした高周波加熱装置。
2. 貫通部は、電極面に対向する加熱室壁面より外側に配置した請求項１に記載の高周波加熱装置。
3. 給電線の略同軸線構成には、少なくとも弾性体の絶縁部材を配設した請求項１に記載の高周波加熱装置。
4. 電極は固定電極と可動電極とで構成し、被加熱物を載置する誘電材料からなる載置板を備え、載置板の下方に固定電極を設けた請求項１に記載の高周波加熱装置。
5. 固定電極が対向する加熱室壁面に複数の開孔を設けた請求項４に記載の高周波加熱装置。
6. 固定電極は、その略中央部に開孔を配し、開孔の周辺を可動電極側に凸状に形成した請求項４に記載の高周波加熱装置。
7. 固定電極の開孔は、マイクロ波の波長の略１／４以上の直径を有する大きさとした請求項６に記載の高周波加熱装置。

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