JP2005079526A - Scribing tool and its holder, and apparatus - Google Patents
Scribing tool and its holder, and apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005079526A JP2005079526A JP2003311570A JP2003311570A JP2005079526A JP 2005079526 A JP2005079526 A JP 2005079526A JP 2003311570 A JP2003311570 A JP 2003311570A JP 2003311570 A JP2003311570 A JP 2003311570A JP 2005079526 A JP2005079526 A JP 2005079526A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shank
- point
- scribing tool
- polygon
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体ウェハやサファイア基板をチップ状に分割するためのスクライビングツール及びそのホルダ並びにこれらを備えた装置に関する。 The present invention relates to a scribing tool for dividing a semiconductor wafer or a sapphire substrate into chips, a holder thereof, and an apparatus including these.
半導体ウェハ等をチップ状に分割すべく対象とするウェハ上に罫書き線をけがくスクライビング装置が知られている。スクライビング装置においては、例えば、対象ウェハをステージに吸着固定する一方、ダイヤモンドチップを先端に具備するスクライビングツールを所定の位置に固定した後、ステージをX軸及びY軸に沿って移動させることにより、スクライビングツールの先端でウェハをけがき、罫書き線(スクライブ溝)を形成する。 2. Description of the Related Art A scribing apparatus for scribing scribe lines on a target wafer to divide a semiconductor wafer or the like into chips is known. In the scribing apparatus, for example, by fixing the target wafer to the stage while fixing the scribing tool provided with a diamond tip at a predetermined position, the stage is moved along the X axis and the Y axis. The wafer is scribed at the tip of the scribing tool to form ruled lines (scribe grooves).
スクライビングツールは、通常、柱状のシャンク部と、シャンク部の一方の端部に設けたポイント部とから構成される。シャンク部は、スクライビングツールをスクライビング装置に固定するために把持される部分であり、従来は丸形(軸に垂直な断面が円形)又は角形(軸に垂直な断面が略四角形)のものが知られている。 The scribing tool is usually composed of a columnar shank portion and a point portion provided at one end of the shank portion. The shank part is a part that is gripped to fix the scribing tool to the scribing device. Conventionally, the shank part has a round shape (circular cross section perpendicular to the axis) or a square shape (cross section perpendicular to the axis is substantially square). It has been.
図7(A1)及び(A2)は、シャンク部断面が円形である従来のスクライビングツールの一例を示す図である。図7(A1)はポイント部111側から見た平面図であり、図7(A2)はポイント部111及びシャンク部112の一部を含む部分側面図である。図示のスクライビングツール110は、ポイント部111に3つのカッティングポイントP1〜P3を形成した3ポイントツールである。これらのカッティングポイントは、ポイント形成面(結晶面)S0〜S3を切削することにより形成され、各ポイント形成面の交線である稜線L1〜L3が中心から外側へ延びている。尚、ポイント形成面の形成は、「研磨」によることが一般的であるが、本明細書中で用いる「切削」の語は「研磨」も含む広い意味である。このようなスクライビングツールを用いてウェハをけがく場合には、例えば稜線L1をけがく方向に一致させた状態でカッティングポイントP1をウェハに押し当てて移動させることにより、スクライブ溝を形成する。
FIGS. 7A1 and 7A2 are views showing an example of a conventional scribing tool in which the cross section of the shank is circular. 7A1 is a plan view seen from the point portion 111 side, and FIG. 7A2 is a partial side view including a part of the point portion 111 and the
図7(B1)及び(B2)は、シャンク部断面が角形である従来のスクライビングツールの一例を示す同様の図である。図示のスクライビングツール120は、ポイント部121に4つのカッティングポイントP1〜P4を形成した4ポイントツールである。これらのカッティングポイントは、ポイント形成面S0〜S4を切削することにより形成され、各ポイント形成面の交線である稜線L1〜L4が中心から外側へ延びている。また、シャンク部122には、シャンク軸C2に平行な平面である4つのシャンク面T1〜T4が形成されており、その断面は略正方形となる。ウェハをけがく方法は、上記の3ポイントツールと同様である。
FIGS. 7B1 and 7B2 are similar views showing an example of a conventional scribing tool having a square shank section. The illustrated
シャンク部が丸形もしくは角形の従来のスクライビングツールは周知であり、例えば特許文献1及び2に記載されている。
図8の各図は、従来の丸形又は角形のシャンク部をもつスクライビングツールの問題点を説明する図である。図8(A)は、スクライビング装置の一部を概略的に示した図であり、図7のスクライビングツール110(又は120)をホルダ130(又は140)に挿通して固定した状態である。ホルダ130(又は140)は、スクライビングツール110(又は120)のポイント部の稜線が適切な方向及び角度となるように調整されて装置本体(図示せず)に固定されている。従って、このように固定された状態でスクライビングツールが矢印の方向に相対的に移動するとウェハ等60上にスクライブ溝61が形成されることとなる。
Each figure of FIG. 8 is a figure explaining the problem of the scribing tool which has the conventional round or square shank part. FIG. 8A is a diagram schematically showing a part of the scribing apparatus, and is a state in which the scribing tool 110 (or 120) of FIG. 7 is inserted through the holder 130 (or 140) and fixed. The holder 130 (or 140) is fixed to an apparatus main body (not shown) by adjusting the ridgeline of the point portion of the scribing tool 110 (or 120) to have an appropriate direction and angle. Therefore, when the scribing tool moves relatively in the direction of the arrow in the fixed state as described above, a
ここで、図8(B1)は、丸形シャンク部用のホルダ130の場合の図8(A)のX−X断面図を示している。ホルダ130の本体131には、スクライビングツール110を挿通するための挿通孔が穿設されている。この挿通孔は、スクライビングツール110を円滑に挿通するために、シャンク部の径に遊びを加えた大きさの径で形成されている(図では誇張して示している)。シャンク部を挿通した後、留め具132をホルダ130の側面から螺入させ、シャンク部を挿通孔の内周面に押しつけることによりスクライビングツール110を固定している。
Here, FIG. 8B1 shows an XX cross-sectional view of FIG. 8A in the case of the
しかしながら、留め具132で固定する際、図8(B2)に示すようにスクライビングツール110がそのシャンク軸C1の周りで回転(自転)した状態で固定されることがある。この状態でスクライブ溝61を形成した場合、図8(B3)に示すようにスクライブ溝61とカッティングポイントP1の方向(図7(A1)の稜線L1の方向)とが一致せずθだけ傾いた状態となり、良好なスクライブ溝が形成されない。丸形シャンク部をもつスクライビングツールは、本来、カッティングポイントの位置が分かり難い上、回転し易いという欠点がある。
However, when fixing with the
また、図8(C1)は、角形シャンク部用のホルダ140の場合の図8(A)のX−X断面を示している。ホルダ140の本体141には、スクライビングツール120を挿通するための挿通孔が穿設されている。この挿通孔は、スクライビングツール120を円滑に挿通するために、シャンク部の大きさに遊びを加えた大きさで形成されている(図では誇張して示している)。シャンク部を挿通した後、留め具142をホルダ140の側面から螺入させ、角形のシャンク部を挿通孔の平坦な内周面に押しつけることによりスクライビングツール120を固定している。この場合は、丸形シャンク部と異なり、シャンク軸C2の周りで回転することはない。
FIG. 8C1 shows an XX cross section of FIG. 8A in the case of the
しかしながら、留め具142で固定する際、図8(C2)に示すようにスクライビングツール120のシャンク軸C2が傾斜した状態で固定されることがある。これは、ホルダ140の挿通孔の遊びのために生じる傾斜である。この状態でスクライブ溝61を形成した場合も、スクライブ溝61とカッティングポイントP1の方向(図7(B1)の稜線L1の方向)とが一致しない状態となり、良好なスクライブ溝が形成されない。
However, when fixing with the
上記のような問題点は、ウェハ上に数百μmの間隔でスクライブ溝を形成しなければならない場合に、チッピングやクラックを誘引するし、歩留まりを悪化させる。 The above-described problems cause chipping and cracks and deteriorate the yield when scribe grooves must be formed on the wafer at intervals of several hundred μm.
上記の問題点に鑑み、本発明は、ポイント部のカッティングポイントに対応する稜線をスクライブ溝の方向と確実に一致させるように位置決めすることが可能なシャンク部形状を具備するスクライビングツールを実現することを目的とする。特に、複数のカッティングポイントの各々の位置決めが、他のカッティングポイントの位置決めの影響を受けず、独立して位置決め可能なシャンク部形状を具備するスクライビングツールを実現することを目的とする。 In view of the above problems, the present invention realizes a scribing tool having a shank portion shape that can be positioned so that the ridge line corresponding to the cutting point of the point portion matches the direction of the scribe groove. With the goal. In particular, it is an object of the present invention to realize a scribing tool having a shank portion shape that can be positioned independently without being affected by the positioning of other cutting points.
また、斯かるスクライビングツールを挿通させ固定するためのホルダを実現することを目的とする。 Another object is to realize a holder for inserting and fixing such a scribing tool.
さらにまた、斯かるスクライビングツール及びホルダを具備するスクライビング装置を実現することを目的とする。 Furthermore, it aims at realizing the scribing apparatus which comprises such a scribing tool and a holder.
上記の目的を達成すべく本発明は以下の構成を提供する。尚、()内の符号は、後述する実施例を示す図面で用いる符号であるが、参考のために付したものであって、特許請求の範囲を実施例に限定するためではない。 In order to achieve the above object, the present invention provides the following configurations. In addition, although the code | symbol in () is a code | symbol used in drawing which shows the Example mentioned later, it is attached | subjected for reference and is not for limiting a claim to an Example.
(1)請求項1に係るスクライビングツールは、円柱のシャンク部材の周面に対し軸(C3)に平行な複数のシャンク面を切削してなるシャンク部(12)と、前記シャンク部の一方の端部に取り付けられかつ複数のポイント形成面(S0、S1..)を切削することにより複数のカッティングポイント(P1、P2..)を形成したポイント部(11)とを有するスクライビングツール(10)である。
このスクライビングツールにおいて、次の(a)〜(d)の要件を満たすことを特徴とする。
(a)前記複数のシャンク面が、所定の角度(β)をなして隣り合うシャンク面の対(T2a、T2b)を、前記カッティングポイントと同数含む。
(b)前記カッティングポイント(P2)と前記隣り合うシャンク面(T2a、T2b)の対とが1対1に対応付けられ、該対応付けられたシャンク面の対の交線(M2)の一端点(Q2)と該カッティングポイントとを結ぶ線上に稜線(L2)が形成されている。
(c)前記軸(C3)に垂直な断面における前記シャンク部の形状である第1多角形(M1'N1'M2'N2'..)と、該断面に対し前記複数のカッティングポイントを投影して形成される第2多角形(P1'P2'..)と、該断面に対し前記稜線を投影して形成される投影稜線(L2')との関係において、
前記投影稜線が、前記断面内における前記軸(C3)と前記第2多角形の頂点(P2')とを結ぶ延長線(I)上に位置すると共に、該延長線がその上に位置する前記第1多角形の頂点(M2')の内角(β)を2等分する。
(d)前記延長線(I)上に位置する前記第1多角形の頂点(M2')の内角が、前記第2多角形の頂点(P2')の内角より大きい。
(1) A scribing tool according to
This scribing tool is characterized by satisfying the following requirements (a) to (d).
(A) The plurality of shank surfaces include the same number of pairs (T2a, T2b) of adjacent shank surfaces at a predetermined angle (β) as the cutting points.
(B) The cutting point (P2) and the pair of adjacent shank surfaces (T2a, T2b) are associated one-to-one, and one end point of the intersection line (M2) of the associated shank surface pair A ridge line (L2) is formed on a line connecting (Q2) and the cutting point.
(C) Projecting the first polygon (M1'N1'M2'N2 '..), which is the shape of the shank portion in a cross section perpendicular to the axis (C3), and the cutting points to the cross section. In relation to the second polygon (P1'P2 '..) formed by projecting the ridge line onto the cross section and the projected ridge line (L2'),
The projected ridge line is located on an extension line (I) connecting the axis (C3) and the vertex (P2 ′) of the second polygon in the cross section, and the extension line is located on the extension line (I). Divide the interior angle (β) of the vertex (M2 ′) of the first polygon into two equal parts.
(D) The interior angle of the vertex (M2 ′) of the first polygon located on the extension line (I) is larger than the interior angle of the vertex (P2 ′) of the second polygon.
(2)請求項2に係るスクライビングツールは、前記延長線(I)上に位置する前記第1多角形の頂点(M2')の内角が、該第1多角形の頂点の総数と同数の頂点をもつ正多角形の内角よりも小さいことが好適である。
(2) In the scribing tool according to
(3)請求項3に係るスクライビングツール用ホルダは、請求項1又は2のいずれかに記載のスクライビングツールを固定するためのホルダ(30)である。このホルダは、前記スクライビングツール(10)を挿通するための挿通孔(32)を設けたホルダ本体(31)と、挿通された該スクライビングツール(10)を固定する留め具(34)とを有し、前記挿通孔の内周面に対し、前記隣り合うシャンク面(T2a、T2b)の対と嵌合可能な一対の嵌合面(32a、32b)を設けたことを特徴とする。
(3) A holder for a scribing tool according to
(4)請求項4に係るスクライビング装置は、請求項1又は2のいずれかに記載のスクライビングツール(10)と、請求項4に記載のスクライビングツール用ホルダ(30)とを有することを特徴とする。
(4) A scribing apparatus according to
本発明によるスクライビングツールは、多角形断面をもつシャンク部と複数のカッティングポイントを設けたポイント部を有する。シャンク部には、所定の角度をなして隣り合うシャンク面の対がカッティングポイント同数だけ設けられている。一対のシャンク面は、1つのカッティングポイントと対応付けられている。さらに、対となっているシャンク面同士の交線の一端点とカッティングポイントとを結ぶ線上に稜線が形成されている。軸に垂直なシャンク部断面上にカッティングポイントを投影した投影図において、軸とカッティングポイントの投影点を結ぶ延長線上に稜線が位置し、かつこの延長線上に位置するシャンク部断面多角形(第1多角形)の頂点の内角が、この延長線で2等分されている。さらにこの延長線上において、第1の多角形の頂点の内角が、カッティングポイントの投影点により形成される多角形(第2多角形)の内角よりも大きい。 The scribing tool according to the present invention has a shank portion having a polygonal cross section and a point portion provided with a plurality of cutting points. In the shank portion, the same number of pairs of shank surfaces adjacent to each other at a predetermined angle are provided. A pair of shank surfaces is associated with one cutting point. Furthermore, a ridge line is formed on a line connecting one end point of the intersection line between the pair of shank surfaces and the cutting point. In the projection drawing in which the cutting point is projected on the cross section of the shank portion perpendicular to the axis, the ridge line is located on the extension line connecting the axis and the projection point of the cutting point, and the shank part cross section polygon (first shape) located on this extension line The interior angle of the apex of the (polygon) is divided into two equal parts by this extension line. Furthermore, on this extension line, the interior angle of the vertex of the first polygon is larger than the interior angle of the polygon (second polygon) formed by the projection point of the cutting point.
このように構成したことから、1つのカッティングポイントの位置及びそれから延びる稜線方向が、シャンク部の一対の隣り合うシャンク面の位置と確実に対応付けられることとなる。従って、シャンク部の隣り合う一対のシャンク面の位置が確定されれば、必然的に対応するカッティングポイントの位置及びそれから延びる稜線方向が確定される。 Since it comprised in this way, the position of one cutting point and the ridgeline direction extended from it will be matched with the position of a pair of adjacent shank surface of a shank part reliably. Therefore, if the position of a pair of adjacent shank surfaces of the shank portion is determined, the position of the corresponding cutting point and the direction of the ridge line extending therefrom are inevitably determined.
また、上記延長線上において第1多角形の頂点の内角が、延長線により2等分されると共に第2多角形の内角よりも大きく形成されるので、1つのカッティングポイントに対応する一対の隣り合うシャンク面が、隣のカッティングポイントに対応する別の一対の隣り合うシャンク面とは独立して形成される。従って、一対の隣り合うシャンク面は、別の一対のシャンク面と干渉することはない。この結果、各カッティングポイントの位置決めを、他のカッティングポイントに影響されることなく行うことができる。 In addition, since the interior angle of the vertex of the first polygon is bisected by the extension line and formed larger than the interior angle of the second polygon on the extension line, a pair of adjacent points corresponding to one cutting point A shank surface is formed independently of another pair of adjacent shank surfaces corresponding to adjacent cutting points. Therefore, a pair of adjacent shank surfaces do not interfere with another pair of shank surfaces. As a result, each cutting point can be positioned without being influenced by other cutting points.
本発明によるスクライビングツール用ホルダは、上記のスクライビングツールのカッティングポイントに対応する一対の隣り合うシャンク面に嵌合する挿通孔内周面を設けたので、予定するスクライブ溝の位置にカッティングポイントを合わせかつスクライブ溝の方向に稜線方向を一致させた状態で確実に固定することができる。すなわち、固定時にスクライビングツールの軸が自転したり傾斜したりするおそれがない。従って、スクライビングツールをホルダに取り付けた後の調整も不要となる。 The holder for a scribing tool according to the present invention is provided with the inner peripheral surface of the insertion hole that fits into a pair of adjacent shank surfaces corresponding to the cutting point of the scribing tool, so that the cutting point is aligned with the position of the scribe groove to be planned. And it can fix reliably in the state which made the ridgeline direction correspond with the direction of a scribe groove | channel. That is, there is no possibility that the axis of the scribing tool rotates or tilts when fixed. Therefore, adjustment after attaching the scribing tool to the holder is also unnecessary.
以下、実施例を示した図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
<第1の実施例(3ポイントツール)>
図1は、本発明による3ポイントのスクライビングツールの一例の外観図である。図1(A)は、ダイヤモンドチップを取り付けたスクライビングツール10の先端をシャンク軸C3の方向からみた図であり、図1(B)は部分前面図であり、図1(C)は部分側面図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings showing examples.
<First Example (3-point tool)>
FIG. 1 is an external view of an example of a three-point scribing tool according to the present invention. 1A is a view of the tip of the
図1の各図を参照すると、本発明のスクライビングツール10は、円柱シャンク部材の周面並びにその一方の端部に取り付けたダイヤモンドチップに対して適宜の複数の平面を切削することにより作製される。
1, the
シャンク部12については、円柱シャンク部材の周面をその軸C3に平行な複数の平面であるシャンク面T1a、T1b..T3a、T3bで切削することにより形成される。これら複数のシャンク面は、所定の角度βをなして隣り合うシャンク面の対から構成される。図1の例では、シャンク面T1aとT1bの対、シャンク面T2aとT2bの対、及びシャンク面T3aとT3bの対の3つの対が含まれている。これら隣り合うシャンク面の対の数は、カッティングポイントP1〜P3の総数と同数である。よって、シャンク面の総数は、カッティングポイントの総数の2倍(本例では6面)となる。
The
ポイント部11については、シャンク部12の一方の端部に取り付けられたダイヤモンドチップに対し、複数のポイント形成面S0、S1、S2及びS3を切削することにより3つのカッティングポイントP1、P2及びP3を形成している。
About the
本発明のスクライビングツール10においては、各カッティングポイントと、隣り合うシャンク面の対とが1対1に対応付けられる。すなわち、図1の例では、カッティングポイントP1に対してシャンク面T1aとT1bの対が、カッティングポイントP2に対してシャンク面T2aとT2bの対が、そしてカッティングポイントP3に対してシャンク面T3aとT3bの対がそれぞれ対応付けられる。
In the
さらに、例えば、一対のシャンク面T1aとT1bが交わって形成される交線M1の一つの端点Q1と、対応するカッティングポイントP1とを結ぶ線分上に稜線L1が形成される。稜線L1は、ポイント形成面S1とS2の交線として形成されている。同様に、一対のシャンク面T2aとT2bが交わって形成される交線M2の一つの端点Q2と、対応するカッティングポイントP2とを結ぶ線分上に稜線L2が形成される。また、一対のシャンク面T3aとT3bが交わって形成される交線M3の一つの端点Q3と、対応するカッティングポイントP3とを結ぶ線分上に稜線L3が形成される。前述の通り、各カッティングポイントP1等を用いてスクライブ溝をけがくときには、その対応する稜線L1等をスクライブ溝方向と一致させる必要がある。交線M1、M2、M3のように各カッティングポイントと対応する交線を「ポイント対応交線」と称し、それぞれの一端点Q1、Q2及びQ3を「対応交線端点」と称することとする。 Further, for example, a ridge line L1 is formed on a line segment connecting one end point Q1 of the intersection line M1 formed by the intersection of the pair of shank surfaces T1a and T1b and the corresponding cutting point P1. The ridge line L1 is formed as an intersection line between the point formation surfaces S1 and S2. Similarly, a ridge line L2 is formed on a line segment connecting one end point Q2 of the intersection line M2 formed by the intersection of the pair of shank surfaces T2a and T2b and the corresponding cutting point P2. Further, a ridge line L3 is formed on a line segment connecting one end point Q3 of the intersection line M3 formed by the intersection of the pair of shank surfaces T3a and T3b and the corresponding cutting point P3. As described above, when scribing a scribe groove using each cutting point P1 or the like, it is necessary to match the corresponding ridge line L1 or the like with the scribe groove direction. The intersection lines corresponding to the cutting points, such as the intersection lines M1, M2, and M3, are referred to as “point corresponding intersection lines”, and the respective end points Q1, Q2, and Q3 are referred to as “corresponding intersection end points”.
一方、図1において、本発明の主旨からすれば「対」をなしていないが隣り合っている2つのシャンク面(例えば、T1bとT2a)が存在する。そして、これらが交わることによっても交線(例えば、N1)が形成される。このような交線は、カッティングポイントと対応していない交線であり、「ポイント非対応交線」と称することとする。 On the other hand, in FIG. 1, there are two adjacent shank surfaces (for example, T1b and T2a) that are not “paired” according to the gist of the present invention. And an intersection line (for example, N1) is formed also when these intersect. Such an intersection line is an intersection line that does not correspond to the cutting point, and is referred to as a “point non-corresponding intersection line”.
スクライビングツール10をこのように構成したことから、1つのカッティングポイント(例えばP2)の位置及びそれから延びる稜線(例えばL2)の方向が、シャンク部12の一対の隣り合うシャンク面(例えばT2aとT2b)の位置と確実に対応付けられることとなる。すなわち、シャンク部12の隣り合う一対のシャンク面の位置が確定されれば、必然的に対応するカッティングポイントの位置及びそれから延びる稜線方向が確定される。
Since the
図2は、図1のスクライビングツール10の特徴をさらに詳細に説明する模式図であり、シャンク部12における軸C3に垂直な断面に相当する図である。また、図1で示したカッティングポイントや稜線等をこの断面上へ軸C3に平行に投影した図でもある。
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the features of the
スクライビングツール10を切り出す円柱シャンク部材の断面が、円形の破線で示されている。シャンク部12の断面形状は、「第1多角形」により示されている。第1多角形は、図1のポイント対応交線M1〜M3のこの断面への投影点であるM1’〜M3’と、ポイント非対応交線N1〜N3のこの断面への投影点であるN1’〜N3’とが交互に各頂点として配置された多角形である。
A cross section of a cylindrical shank member from which the
さらに、図1のポイント部11の各カッティングポイントP1〜P3をこの断面へ投影した投影点P1’〜P3’を頂点とする「第2多角形」が示されている。
Further, a “second polygon” having projection points P1 ′ to P3 ′ as projections obtained by projecting the cutting points P1 to P3 of the
またさらに、図1のポイント部11の各稜線L1〜L3をこの断面へ投影した投影稜線L1’〜L3’が示されている。例えば、投影稜線L1’は、対応するカッティングポイント投影点P1’とポイント対応交線投影点M1’とを結ぶ線上にある。他の投影稜線についても同様である。
Furthermore, projected ridgelines L1 'to L3' obtained by projecting the ridgelines L1 to L3 of the
ここで、カッティングポイントP2(その投影点P2’)を例として、斯かる幾何学的配置における関係を説明する。他のカッティングポイントP1及びP3については説明を省くが、同様である。 Here, the relationship in such a geometric arrangement will be described using the cutting point P2 (its projection point P2 ') as an example. The other cutting points P1 and P3 are not described, but are the same.
先ず、投影稜線L2’は、軸C3とカッティングポイント投影点P2’を結ぶ直線の延長線I上に位置する。当然ながら、この延長線I上には、第1多角形の頂点(ポイント対応交線投影点)M2’が位置する。そして、この第1多角形の頂点M2’の内角βが延長線Iによって2等分(すなわちβ/2)される。つまり、投影稜線L2’が内角βを2分する中心線となるように、対応する隣り合うシャンク面の対T2aとT2bが形成されている。 First, the projection ridge line L2 'is located on a linear extension line I connecting the axis C3 and the cutting point projection point P2'. Of course, on this extension line I, the vertex (point-corresponding intersection projection point) M2 'of the first polygon is located. Then, the internal angle β of the vertex M2 ′ of the first polygon is divided into two equal parts (that is, β / 2) by the extension line I. That is, the corresponding pair of adjacent shank surfaces T2a and T2b is formed so that the projected ridge line L2 'becomes a center line that bisects the inner angle β.
この延長線Iは、第2多角形の頂点(カッティングポイント投影点)P2’の内角αも2等分(すなわちα/2)している。因みに3ポイントツールの場合、αは60度である。よって、シャンク面の対T2aとT2bの位置を確定(固定)することにより、必然的に投影稜線L2’(稜線L2)がその中心線上に確定すると共に投影点P2’(カッティングポイントP2)の位置が確定することとなる。 The extension line I also divides the inner angle α of the vertex (cutting point projection point) P2 ′ of the second polygon into two equal parts (that is, α / 2). Incidentally, in the case of a three-point tool, α is 60 degrees. Therefore, by confirming (fixing) the position of the pair T2a and T2b of the shank surface, the projection ridge line L2 ′ (ridge line L2) is inevitably fixed on the center line and the position of the projection point P2 ′ (cutting point P2). Will be confirmed.
加えて、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M2’の頂点の内角βが、同じく延長線I上に位置する第2多角形の頂点P2’の内角αより大きく形成される必要がある。すなわち、3ポイントツールの場合、αが60度であるから、βは60度より大きい角度とする。 In addition, the inner angle β of the vertex M2 ′ of the first polygon located on the extension line I needs to be formed larger than the inner angle α of the vertex P2 ′ of the second polygon also located on the extension line I. There is. That is, in the case of a three-point tool, α is 60 degrees, so β is an angle larger than 60 degrees.
仮に、第1多角形の内角βが第2多角形の内角αと等しければ、シャンク面T1bとシャンク面T2aが破線IIで示す線分上に位置することとなり、2つの面が重なり共通の平面となる。このような場合、一対の隣り合うシャンク面が、別の一対のシャンク面と干渉することとなる。従って、各カッティングポイント毎に独立して位置決めを行おうとする本発明の効果が発揮されない。 If the inner angle β of the first polygon is equal to the inner angle α of the second polygon, the shank surface T1b and the shank surface T2a are located on the line segment indicated by the broken line II, and the two surfaces overlap and are in a common plane. It becomes. In such a case, a pair of adjacent shank surfaces will interfere with another pair of shank surfaces. Therefore, the effect of the present invention to perform positioning independently for each cutting point is not exhibited.
これに対し、第1多角形の内角βが第2多角形の内角αより大きければ、シャンク面T1bとシャンク面T2aが、実線で示す線分M1’N1’と線分N1’M2’のようにそれぞれ独立して形成され、互いに干渉することがない。この結果、各カッティングポイントの位置決めを、他のカッティングポイントに影響されることなく行うことができるようになる。 On the other hand, if the inner angle β of the first polygon is larger than the inner angle α of the second polygon, the shank surface T1b and the shank surface T2a are represented by the line segment M1′N1 ′ and the line segment N1′M2 ′ indicated by solid lines. Are formed independently of each other and do not interfere with each other. As a result, each cutting point can be positioned without being influenced by other cutting points.
さらに好適には、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M2’の内角βが、第1多角形の頂点の総数と同数の頂点をもつ正多角形の内角よりも小さいことが好適である。3ポイントツールの場合、第1多角形は図示の通り六角形であるが、内角βが正六角形の内角120度であるとすると、シャンク面T1bとシャンク面T2aが破線IIIで示す線分上に位置することとなる(すなわちシャンク部の断面形状がほぼ正六角形)。このようにシャンク部断面形状が正多角形に近いと、ポイント対応交線M1〜M3とポイント非対応交線N1〜N3の区別がつき難いため、スクライビングツールをホルダに装着する際にカッティングポイントの位置が判断できず不便である。 More preferably, the interior angle β of the vertex M2 ′ of the first polygon located on the extension line I is preferably smaller than the interior angle of a regular polygon having the same number of vertices as the total number of vertices of the first polygon. It is. In the case of a three-point tool, the first polygon is a hexagon as shown, but if the inner angle β is a regular hexagonal inner angle of 120 degrees, the shank surface T1b and the shank surface T2a are on the line segment indicated by the broken line III. (Ie, the cross-sectional shape of the shank portion is approximately a regular hexagon). Thus, when the cross-sectional shape of the shank part is close to a regular polygon, it is difficult to distinguish the point-corresponding intersection lines M1 to M3 and the point non-corresponding intersection lines N1 to N3, so that when the scribing tool is mounted on the holder, The position cannot be determined, which is inconvenient.
また、内角βが正六角形の内角120度より大きいと、シャンク面T1bとシャンク面T2aが破線IVで示す線分上に位置することとなる。このようなシャンク部を形成するためには、元々の円柱シャンク部材を一回り大きくする必要があるため、材料が無駄となりコスト高となる。 On the other hand, if the inner angle β is larger than the regular hexagonal inner angle of 120 degrees, the shank surface T1b and the shank surface T2a are positioned on the line segment indicated by the broken line IV. In order to form such a shank portion, it is necessary to enlarge the original cylindrical shank member once, so that the material is wasted and the cost is increased.
従って、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M2’の内角βは、第2多角形の頂点P2’の内角αより大きく、かつ第1多角形の頂点の総数と同数の頂点をもつ正多角形の内角よりも小さいことが好適である。3ポイントツールでは、βが60より大きく120度未満の範囲内となり、例えば90度である。 Therefore, the interior angle β of the vertex M2 ′ of the first polygon located on the extension line I is larger than the interior angle α of the vertex P2 ′ of the second polygon, and the same number of vertices as the total number of vertices of the first polygon are obtained. It is preferable that the inner angle of the regular polygon is smaller. In the three-point tool, β is in the range of more than 60 and less than 120 degrees, for example 90 degrees.
図3は、図1のスクライビングツールをスクライビング装置に装着するためのホルダの実施例を示す図である。図3(A)は、図1のスクライビングツール10の全体外観を概略的に示す図である。カッティングポイントP2と、これに対応する一対の隣り合うシャンク面T2a及びT2b、これらのシャンク面により形成されるポイント対応交線M2及びその一端点Q2が示されている。
FIG. 3 is a view showing an embodiment of a holder for mounting the scribing tool of FIG. 1 on the scribing apparatus. FIG. 3A is a diagram schematically showing the overall appearance of the
図3(B)は、スクライビングツール10を挿通し固定するためのホルダ30を概略的に示した斜視図である。ホルダ30は、図8(A)の従来技術のように図示しないスクライビング装置に所定の角度で固定される。ホルダ30は、ホルダ本体31を具備し、このホルダ本体31を貫通するように挿通孔32が設けられている。スクライビングツール10は、この挿通孔32に挿通される。ホルダ本体31の側面には、挿通されたスクライビングツール10を固定するための螺子等の留め具を螺入する留め具孔33が設けられる。留め具孔33は、挿通孔32の軸に垂直に穿設され、挿通孔32内に開口している。挿通孔32の内周面には、スクライビングツール10の一対の隣り合うシャンク面と嵌合可能な一対の嵌合面が設けられている。符号32cは、一対の嵌合面の交線を示しており、留め具孔33に対向する位置にある。
FIG. 3B is a perspective view schematically showing a
図3(C)は、スクライビングツール10をホルダ30の挿通孔32に挿通し、留め具34を螺入し固定した状態を、ポイント部側から見た平面図である。挿通孔32の内周面において、留め具34と対向する側に、隣り合う一対の嵌合面32aと32bが設けられている。これら一対の嵌合面32a、32bが、スクライビングツール10の一対の隣り合うシャンク面T2a、T2bとそれぞれ嵌合する。すなわち、一対の嵌合面32aと32bのなす角度は、シャンク面T2aとT2bのなす角度βと等しくなるように形成されている。
FIG. 3C is a plan view of the
挿通孔32の大きさは、従来と同様にスクライビングツール10を円滑に挿通できるように遊びを設けて形成されている(図では誇張して示している)。しかしながら、本発明においては、留め具34を留め具孔33に螺入してスクライビングツール10を嵌合面32a、32b側へ押し付けると、スクライビングツール10は、その軸C3が回転することも傾斜することもなく適正な位置で固定される。稜線L2は、罫書き予定のスクライブ溝の方向と一致する。図示の例は、カッティングポイントP2を用いる場合であるが、他のカッティングポイントP1又はP3を用いる場合も同様である。
The size of the
尚、一対の嵌合面32a、32bの位置及びこれらのなす角度以外の部分の挿通孔32の形状については、図示のものに限定されない。
In addition, about the position of a pair of
<第2の実施例(4ポイントツール)>
図4は、本発明による4ポイントのスクライビングツールの一例の外観図である。図4(A)は、ダイヤモンドチップを取り付けたスクライビングツール20の先端をシャンク軸C4の方向からみた図であり、図4(B)は部分側面図である。
<Second Example (4-point tool)>
FIG. 4 is an external view of an example of a 4-point scribing tool according to the present invention. 4A is a view of the tip of the
図4の各図を参照すると、本発明のスクライビングツール20は、円柱シャンク部材の周面並びにその一方の端部に取り付けたダイヤモンドチップに対して適宜の複数の平面を切削することにより作製される。
4, the
シャンク部22については、円柱シャンク部材の周面をその軸C4に平行な複数の平面であるシャンク面T1a、T1b..T4a、T4bで切削することにより形成される。これら複数のシャンク面は、所定の角度βをなして隣り合うシャンク面の対から構成される。図4の例では、シャンク面T1aとT1bの対、シャンク面T2aとT2bの対、シャンク面T3aとT3bの対、及びシャンク面T4aとT4bの4つの対が含まれている。これら隣り合うシャンク面の対の数は、カッティングポイントP1〜P4の総数と同数である。よって、シャンク面の総数は、カッティングポイントの総数の2倍(本例では8面)となる。
The
ポイント部21については、シャンク部22の一方の端部に取り付けられたダイヤモンドチップに対し、複数のポイント形成面S0、S1、S2、S3及びS4を切削することにより4つのカッティングポイントP1、P2、P3及びP4を形成している。
About the
本発明のスクライビングツール20においては、各カッティングポイントと、隣り合うシャンク面の対とが1対1に対応付けられる。すなわち、図4の例では、カッティングポイントP1に対してシャンク面T1aとT1bの対が、カッティングポイントP2に対してシャンク面T2aとT2bの対が、カッティングポイントP3に対してシャンク面T3aとT3bの対が、そしてカッティングポイントP4に対してシャンク面T4aとT4bの対がそれぞれ対応付けられる。
In the
さらに、例えば、一対のシャンク面T1aとT1bが交わって形成される交線M1の一つの端点Q1と、対応するカッティングポイントP1とを結ぶ線分上に稜線L1が形成される。稜線L1は、ポイント形成面S1とS4の交線として形成されている。同様に、一対のシャンク面T2aとT2bが交わって形成される交線M2の一つの端点Q2と、対応するカッティングポイントP2とを結ぶ線分上に稜線L2が形成される。以下、稜線L3及び稜線L4についても同様である。前述の通り、各カッティングポイントP1等を用いてスクライブ溝をけがくときには、その対応する稜線L1等をスクライブ溝方向と一致させる必要がある。交線M1、M2、M3のように各カッティングポイントと対応する交線を「ポイント対応交線」と称し、それぞれの一端点Q1、Q2及びQ3を「対応交線端点」と称することとする。 Further, for example, a ridge line L1 is formed on a line segment connecting one end point Q1 of the intersection line M1 formed by the intersection of the pair of shank surfaces T1a and T1b and the corresponding cutting point P1. The ridge line L1 is formed as an intersection line between the point formation surfaces S1 and S4. Similarly, a ridge line L2 is formed on a line segment connecting one end point Q2 of the intersection line M2 formed by the intersection of the pair of shank surfaces T2a and T2b and the corresponding cutting point P2. Hereinafter, the same applies to the ridgeline L3 and the ridgeline L4. As described above, when scribing a scribe groove using each cutting point P1 or the like, it is necessary to match the corresponding ridge line L1 or the like with the scribe groove direction. The intersection lines corresponding to the cutting points, such as the intersection lines M1, M2, and M3, are referred to as “point corresponding intersection lines”, and the respective end points Q1, Q2, and Q3 are referred to as “corresponding intersection end points”.
一方、図4において、本発明の主旨からすれば「対」をなしていないが隣り合っている2つのシャンク面(例えば、T1bとT2a、T2bとT3a)が存在する。そして、これらが交わることによっても交線(例えば、N1、N2)が形成される。このような交線は、カッティングポイントと対応していない交線であり、「ポイント非対応交線」と称することとする。 On the other hand, in FIG. 4, there are two adjacent shank surfaces (for example, T1b and T2a, T2b and T3a) that are not “paired” according to the gist of the present invention. The intersection lines (for example, N1 and N2) are also formed when these intersect. Such an intersection line is an intersection line that does not correspond to the cutting point, and is referred to as a “point non-corresponding intersection line”.
スクライビングツール20をこのように構成したことから、1つのカッティングポイント(例えばP3)の位置及びそれから延びる稜線(例えばL3)の方向が、シャンク部22の一対の隣り合うシャンク面(例えばT3aとT3b)の位置と確実に対応付けられることとなる。すなわち、シャンク部22の隣り合う一対のシャンク面の位置が確定されれば、必然的に対応するカッティングポイントの位置及びそれから延びる稜線方向が確定される。
Since the
図5は、図4のスクライビングツール20の特徴をさらに詳細に説明する模式図であり、シャンク部22における軸C4に垂直な断面に相当する図である。また、図4で示したカッティングポイントや稜線等をこの断面上へ軸C4に平行に投影した図でもある。
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the features of the
スクライビングツール20を切り出す円柱シャンク部材の断面が、円形の破線で示されている。シャンク部22の断面形状は、「第1多角形」により示されている。第1多角形は、図4のポイント対応交線M1〜M4のこの断面への投影点であるM1’〜M4’と、ポイント非対応交線N1〜N4のこの断面への投影点であるN1’〜N4’とが交互に各頂点として配置された多角形である。
A cross section of the cylindrical shank member from which the
さらに、図4のポイント部21の各カッティングポイントP1〜P4をこの断面へ投影した投影点P1’〜P4’を頂点とする「第2多角形」が示されている。
Further, a “second polygon” having projection points P1 ′ to P4 ′ obtained by projecting the cutting points P1 to P4 of the
またさらに、図4のポイント部21の各稜線L1〜L4をこの断面へ投影した投影稜線L1’〜L4’が示されている。例えば、投影稜線L1’は、対応するカッティングポイント投影点P1’とポイント対応交線投影点M1’とを結ぶ線上にある。他の投影稜線についても同様である。
Furthermore, projected ridgelines L1 'to L4' obtained by projecting the ridgelines L1 to L4 of the
ここで、カッティングポイントP3(その投影点P3’)を例として、斯かる幾何学的配置における関係を説明する。他のカッティングポイントP1、P2及びP4については説明を省くが、同様である。 Here, the relationship in such a geometric arrangement will be described using the cutting point P3 (its projection point P3 ') as an example. The other cutting points P1, P2 and P4 are not described, but are the same.
先ず、投影稜線L3’は、軸C4とカッティングポイント投影点P3’を結ぶ直線の延長線I上に位置する。当然ながら、この延長線I上には、第1多角形の頂点(ポイント対応交線投影点)M3’が位置する。そして、この第1多角形の頂点M3’の内角βが延長線Iによって2等分(すなわちβ/2)される。つまり、投影稜線L3’が内角βを2分する中心線となるように、対応する隣り合うシャンク面の対T3aとT3bが形成されている。 First, the projection ridge line L3 'is located on a linear extension line I connecting the axis C4 and the cutting point projection point P3'. Of course, on this extension line I, the vertex (point corresponding intersection projection point) M3 'of the first polygon is located. Then, the internal angle β of the vertex M3 'of the first polygon is divided into two equal parts (that is, β / 2) by the extension line I. That is, the corresponding pair of adjacent shank surfaces T3a and T3b are formed so that the projected ridge line L3 'becomes a center line that bisects the inner angle β.
この延長線Iは、第2多角形の頂点(カッティングポイント投影点)P3’の内角αも2等分(すなわちα/2)している。因みに4ポイントツールの場合、αは90度である。よって、シャンク面の対T3aとT3bの位置を確定(固定)することにより、必然的に投影稜線L3’(稜線L3)がその中心線上に確定すると共に、投影点P3’(カッティングポイントP3)の位置が確定することとなる。 The extension line I also divides the inner angle α of the vertex (cutting point projection point) P3 ′ of the second polygon into two equal parts (that is, α / 2). Incidentally, in the case of a 4-point tool, α is 90 degrees. Therefore, by confirming (fixing) the positions of the pair T3a and T3b of the shank surface, the projected ridge line L3 ′ (ridge line L3) is inevitably fixed on the center line, and the projection point P3 ′ (cutting point P3) The position will be fixed.
加えて、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M3’の頂点の内角βが、同じく延長線I上に位置する第2多角形の頂点P3’の内角αより大きく形成される必要がある。すなわち、4ポイントツールの場合、αが90度であるから、βは90度より大きい角度とする。 In addition, the inner angle β of the vertex M3 ′ of the first polygon located on the extension line I needs to be formed larger than the inner angle α of the vertex P3 ′ of the second polygon also located on the extension line I. There is. That is, in the case of a four-point tool, α is 90 degrees, so β is an angle larger than 90 degrees.
仮に、第1多角形の内角βが第2多角形の内角αと等しければ、シャンク面T2bとシャンク面T3aが破線IIで示す線分上に位置することとなり、2つの面が重なり共通の平面となる。このような場合、一対の隣り合うシャンク面が、別の一対のシャンク面と干渉することとなる。従って、各カッティングポイント毎に独立して位置決めを行おうとする本発明の効果が発揮されない。 If the inner angle β of the first polygon is equal to the inner angle α of the second polygon, the shank surface T2b and the shank surface T3a are located on the line segment indicated by the broken line II, and the two surfaces overlap and are in a common plane. It becomes. In such a case, a pair of adjacent shank surfaces will interfere with another pair of shank surfaces. Therefore, the effect of the present invention to perform positioning independently for each cutting point is not exhibited.
これに対し、第1多角形の内角βが第2多角形の内角αより大きければ、シャンク面T2bとシャンク面T3aが、実線で示す線分M2’N2’と線分N2’M3’のようにそれぞれ独立して形成され、互いに干渉することがない。この結果、各カッティングポイントの位置決めを、他のカッティングポイントに影響されることなく行うことができるようになる。 On the other hand, if the interior angle β of the first polygon is larger than the interior angle α of the second polygon, the shank surface T2b and the shank surface T3a are represented by the line segment M2′N2 ′ and the line segment N2′M3 ′ indicated by solid lines. Are formed independently of each other and do not interfere with each other. As a result, each cutting point can be positioned without being influenced by other cutting points.
さらに好適には、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M3’の内角βが、第1多角形の頂点の総数と同数の頂点をもつ正多角形の内角よりも小さいことが好適である。4ポイントツールの場合、第1多角形は図示の通り八角形であるが、内角βが正八角形の内角135度であるとすると、シャンク面T2bとシャンク面T3aが破線IIIで示す線分上に位置することとなる(すなわちシャンク部の断面形状がほぼ正八角形)。このようにシャンク部断面形状が正多角形に近いと、ポイント対応交線M1〜M4とポイント非対応交線N1〜N4の区別がつき難いため、スクライビングツールをホルダに装着する際にカッティングポイントの位置が判断できず不便である。 More preferably, the interior angle β of the vertex M3 ′ of the first polygon located on the extension line I is smaller than the interior angle of a regular polygon having the same number of vertices as the total number of vertices of the first polygon. It is. In the case of the 4-point tool, the first polygon is an octagon as shown, but if the inner angle β is a regular octagonal inner angle of 135 degrees, the shank surface T2b and the shank surface T3a are on the line segment indicated by the broken line III. (That is, the cross-sectional shape of the shank portion is approximately a regular octagon). Thus, when the cross-sectional shape of the shank part is close to a regular polygon, it is difficult to distinguish between the point-corresponding intersection lines M1 to M4 and the point non-corresponding intersection lines N1 to N4. Therefore, when attaching the scribing tool to the holder, The position cannot be determined, which is inconvenient.
また、内角βが正八角形の内角135度より大きいと、シャンク面T2bとシャンク面T3aが破線IVで示す線分上に位置することとなる。このようなシャンク部を形成するためには、元々の円柱シャンク部材を一回り大きくする必要があるため、材料が無駄となりコスト高となる。 If the internal angle β is larger than the regular octagonal internal angle of 135 degrees, the shank surface T2b and the shank surface T3a are positioned on the line segment indicated by the broken line IV. In order to form such a shank portion, it is necessary to enlarge the original cylindrical shank member once, so that the material is wasted and the cost is increased.
従って、延長線I上に位置する第1多角形の頂点M3’の内角βは、第2多角形の頂点P3’の内角αより大きく、かつ第1多角形の頂点の総数と同数の頂点をもつ正多角形の内角よりも小さいことが好適である。4ポイントツールでは、βが90より大きく135度未満の範囲内となり、例えば120度である。 Accordingly, the interior angle β of the vertex M3 ′ of the first polygon located on the extension line I is larger than the interior angle α of the vertex P3 ′ of the second polygon, and the number of vertices is the same as the total number of vertices of the first polygon. It is preferable that the inner angle of the regular polygon is smaller. In the 4-point tool, β is in the range of greater than 90 and less than 135 degrees, for example 120 degrees.
図6は、図4のスクライビングツールをスクライビング装置に装着するためのホルダの実施例を示す図である。図6(A)は、図4のスクライビングツール20の全体外観を概略的に示す図である。カッティングポイントP3と、これに対応する一対の隣り合うシャンク面T3a及びT3b、これらのシャンク面により形成されるポイント対応交線M3及びその一端点Q3が示されている。
FIG. 6 is a view showing an embodiment of a holder for mounting the scribing tool of FIG. 4 on the scribing apparatus. FIG. 6A is a diagram schematically showing the overall appearance of the
図6(B)は、スクライビングツール20を挿通し固定するためのホルダ40を概略的に示した斜視図である。ホルダ40は、図8(A)の従来技術のように図示しないスクライビング装置に所定の角度で固定される。ホルダ40は、ホルダ本体41を具備し、このホルダ本体41を貫通するように挿通孔42が設けられている。スクライビングツール20は、この挿通孔42に挿通される。ホルダ本体41の側面には、挿通されたスクライビングツール20を固定するための螺子等の留め具を螺入する留め具孔43が設けられる。留め具孔43は、挿通孔42の軸に垂直に穿設され、挿通孔42内に開口している。挿通孔42の内周面には、スクライビングツール20の一対の隣り合うシャンク面と嵌合可能な一対の嵌合面が設けられている。符号42cは、一対の嵌合面の交線を示しており、留め具孔43に対向する位置にある。
FIG. 6B is a perspective view schematically showing a
図6(C)は、スクライビングツール20をホルダ40の挿通孔42に挿通し、留め具34を螺入し固定した状態を、ポイント部側から見た平面図である。挿通孔42の内周面において、留め具44と対向する側に、隣り合う一対の嵌合面42aと42bが設けられている。これら一対の嵌合面42a、42bが、スクライビングツール20の一対の隣り合うシャンク面T3a、T3bとそれぞれ嵌合する。すなわち、一対の嵌合面42aと42bのなす角度は、シャンク面T3aとT3bのなす角度βと等しくなるように形成されている。
FIG. 6C is a plan view of the
挿通孔42の大きさは、従来と同様にスクライビングツール20を円滑に挿通できるように遊びを設けて形成されている(図では誇張して示している)。しかしながら、本発明においては、留め具44を留め具孔43に螺入してスクライビングツール20を嵌合面42a、42b側へ押し付けると、スクライビングツール20は、その軸C4が回転することも傾くこともなく適正な位置で固定される。稜線L3は、罫書き予定のスクライブ溝の方向と一致する。図示の例は、カッティングポイントP3を用いる場合であるが、他のカッティングポイントP1、P2又はP4を用いる場合も同様である。
The size of the
尚、一対の嵌合面42a、42bの位置及びこれらのなす角度以外の部分の挿通孔42の形状については、図示のものに限定されない。
In addition, about the position of a pair of
<その他の実施例>
本発明の原理を適用できる他のスクライビングツールの例として8ポイントツールがある。8ポイントツールは、例えば、図4(A)に示す4ポイントツールの各稜線L1〜L4上に更なるカッティングポイントを1つずつ設けたポイント部を有する。従って、8ポイントツールの場合は、前述の4ポイントツールの場合と全く同様のシャンク部形状を適用することにより、本発明の効果を奏することができる。
<Other examples>
An example of another scribing tool to which the principles of the present invention can be applied is an 8-point tool. For example, the 8-point tool has a point portion in which one more cutting point is provided on each of the ridge lines L1 to L4 of the 4-point tool shown in FIG. Therefore, in the case of an 8-point tool, the effect of the present invention can be achieved by applying the same shank portion shape as in the case of the 4-point tool described above.
<スクライビング装置>
図示しないが、本発明によるスクライビングツールとそのホルダを装着したスクライビング装置が実現される。斯かるスクライビング装置の他の構成要素、例えば、ステージ構造、X−Y移動機構並びにホルダ位置調節機構等は従来と同様である。
<Scribing device>
Although not shown, a scribing apparatus equipped with a scribing tool and its holder according to the present invention is realized. Other components of such a scribing apparatus, for example, a stage structure, an XY movement mechanism, a holder position adjustment mechanism, and the like are the same as those in the conventional art.
10、20 スクライビングツール
11、21 ポイント部
12、22 シャンク部
30、40 ホルダ
31、41 ホルダ部
32、42 挿通孔
33、43 留め具孔
34、44 留め具
110、120 スクライビングツール(従来)
111、121 ポイント部
112、122 シャンク部
L1〜L4 稜線
C1〜C4 シャンク軸
L1’〜L4’ 投影稜線
M1〜M4 ポイント対応交線
M1’〜M4’ポイント対応交線投影点
N1〜N4 ポイント非対応交線
N1’〜N4 非対応交線投影点
P1〜P4 カッティングポイント
P1’〜P2’ カッティングポイント投影点
Q1〜Q4 シャンク面交線端点
S0〜S4 ポイント形成面
T1〜T4、T1a〜T4a、T1b〜T4b シャンク面
10, 20
111, 121
Claims (4)
(a)前記複数のシャンク面が、所定の角度(β)をなして隣り合うシャンク面の対(T2a、T2b)を、前記カッティングポイントと同数含み、
(b)前記カッティングポイント(P2)と前記隣り合うシャンク面(T2a、T2b)の対とが1対1に対応付けられ、該対応付けられたシャンク面の対の交線(M2)の一端点(Q2)と該カッティングポイントとを結ぶ線上に稜線(L2)が形成されており、
(c)前記軸(C3)に垂直な断面における前記シャンク部の形状である第1多角形(M1'N1'M2'N2'..)と、該断面に対し前記複数のカッティングポイントを投影して形成される第2多角形(P1'P2'..)と、該断面に対し前記稜線を投影して形成される投影稜線(L2')との関係において、
前記投影稜線が、前記断面内における前記軸(C3)と前記第2多角形の頂点(P2')とを結ぶ延長線(I)上に位置すると共に、該延長線がその上に位置する前記第1多角形の頂点(M2')の内角(β)を2等分し、かつ
(d)前記延長線(I)上に位置する前記第1多角形の頂点(M2')の内角が、前記第2多角形の頂点(P2')の内角より大きいことを特徴とするスクライビングツール。 A shank portion (12) formed by cutting a plurality of shank surfaces parallel to the axis (C3) with respect to the circumferential surface of the cylindrical shank member, and a plurality of point forming surfaces attached to one end of the shank portion ( In a scribing tool (10) having a point portion (11) formed with a plurality of cutting points (P1, P2 ..) by cutting S0, S1 ..)
(A) the plurality of shank surfaces includes the same number of pairs of shank surfaces (T2a, T2b) adjacent to each other at a predetermined angle (β) as the cutting points;
(B) The cutting point (P2) and the pair of adjacent shank surfaces (T2a, T2b) are associated one-to-one, and one end point of the intersection line (M2) of the associated shank surface pair A ridge line (L2) is formed on the line connecting (Q2) and the cutting point,
(C) Projecting the first polygon (M1'N1'M2'N2 '..), which is the shape of the shank portion in a cross section perpendicular to the axis (C3), and the cutting points to the cross section. In relation to the second polygon (P1'P2 '..) formed by projecting the ridge line onto the cross section and the projected ridge line (L2'),
The projected ridge line is located on an extension line (I) connecting the axis (C3) and the vertex (P2 ′) of the second polygon in the cross section, and the extension line is located on the extension line (I). Dividing the interior angle (β) of the vertex (M2 ′) of the first polygon into two equal parts, and (d) The interior angle of the vertex (M2 ′) of the first polygon located on the extension line (I) is A scribing tool, wherein the scribing tool is larger than an inner angle of a vertex (P2 ') of the second polygon.
前記スクライビングツール(10)を挿通するための挿通孔(32)を設けたホルダ本体(31)と、挿通された該スクライビングツール(10)を固定する留め具(34)とを有し、
前記挿通孔の内周面に対し、前記隣り合うシャンク面(T2a、T2b)の対と嵌合可能な一対の嵌合面(32a、32b)を設けたことを特徴とする
スクライビングツール用ホルダ。 In the holder (30) for fixing the scribing tool according to claim 1 or 2,
A holder body (31) provided with an insertion hole (32) for inserting the scribing tool (10), and a fastener (34) for fixing the inserted scribing tool (10),
A holder for a scribing tool, wherein a pair of fitting surfaces (32a, 32b) capable of fitting with the pair of adjacent shank surfaces (T2a, T2b) are provided on the inner peripheral surface of the insertion hole.
A scribing apparatus comprising the scribing tool (10) according to claim 1 and the scribing tool holder (30) according to claim 4.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003311570A JP3868940B2 (en) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | Scribing tool and its holder and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003311570A JP3868940B2 (en) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | Scribing tool and its holder and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079526A true JP2005079526A (en) | 2005-03-24 |
JP3868940B2 JP3868940B2 (en) | 2007-01-17 |
Family
ID=34413108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003311570A Expired - Fee Related JP3868940B2 (en) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | Scribing tool and its holder and apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3868940B2 (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009245967A (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Stanley Electric Co Ltd | MANUFACTURING METHOD OF ZnO-BASED SEMICONDUCTOR DEVICE AND ZnO-BASED SEMICONDUCTOR DEVICE |
JP2010225756A (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Stanley Electric Co Ltd | Method for manufacturing semiconductor device |
EP1939948A3 (en) * | 2006-12-26 | 2010-11-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for breaking semiconductor substrate, method for breaking solar cell and method for fabrication of solar cell module |
WO2017056876A1 (en) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Method for cutting brittle substrate |
JPWO2016084614A1 (en) * | 2014-11-25 | 2017-09-07 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Method for dividing brittle substrate |
WO2018003430A1 (en) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 日本電気硝子株式会社 | Method for producing sheet glass |
CN109293229A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 三星钻石工业股份有限公司 | Diamond segment and substrate cutting-off method |
-
2003
- 2003-09-03 JP JP2003311570A patent/JP3868940B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1939948A3 (en) * | 2006-12-26 | 2010-11-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for breaking semiconductor substrate, method for breaking solar cell and method for fabrication of solar cell module |
US8034653B2 (en) | 2006-12-26 | 2011-10-11 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for breaking semiconductor substrate, method for breaking solar cell and method for fabrication of solar cell module |
JP2009245967A (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Stanley Electric Co Ltd | MANUFACTURING METHOD OF ZnO-BASED SEMICONDUCTOR DEVICE AND ZnO-BASED SEMICONDUCTOR DEVICE |
JP2010225756A (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Stanley Electric Co Ltd | Method for manufacturing semiconductor device |
JPWO2016084614A1 (en) * | 2014-11-25 | 2017-09-07 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Method for dividing brittle substrate |
WO2017056876A1 (en) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Method for cutting brittle substrate |
JPWO2017056876A1 (en) * | 2015-09-29 | 2018-06-21 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Method for dividing brittle substrate |
WO2018003430A1 (en) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 日本電気硝子株式会社 | Method for producing sheet glass |
CN109293229A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 三星钻石工业股份有限公司 | Diamond segment and substrate cutting-off method |
CN109293229B (en) * | 2017-07-25 | 2022-08-09 | 三星钻石工业股份有限公司 | Diamond tool bit and substrate cutting method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3868940B2 (en) | 2007-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5065481B2 (en) | Drill tool with cutting insert | |
CN102438785B (en) | Cutting insert and cutting insert assembly | |
JPH06509518A (en) | Drill tools and cutting inserts for drilling holes in solid materials | |
JP3868940B2 (en) | Scribing tool and its holder and apparatus | |
JP2003501280A (en) | Cutting bit for camshaft milling cutter, and disc-shaped milling cutter | |
JP5835337B2 (en) | Cutting inserts and cutting tools | |
JP6476883B2 (en) | Multipoint diamond tool | |
KR20070057967A (en) | Cutting tool with replaceable cutting inserts | |
WO2019073716A1 (en) | Cartridge and turning tool | |
KR20160018663A (en) | Screw with a screw head which has a drive | |
JP5481514B2 (en) | Drill body for drill tools | |
US7306412B2 (en) | Rotary milling cutter and milling method using the same technical field | |
US20050199142A1 (en) | Removable marking device for mold | |
JP2005114025A (en) | Tolerance ring | |
ES2773926T3 (en) | Machining system | |
TWI654061B (en) | Multi-point diamond tool | |
JP2006026853A (en) | Gear chamfering milling cutter | |
JP6124040B2 (en) | Body and cutting edge exchangeable cutting tools for cutting tools | |
JP2011110673A (en) | Cutting tool | |
US20040001740A1 (en) | Cutting insert for a drill, and boring tool using this insert | |
JP4622410B2 (en) | Throw-away drill | |
JPH0550306A (en) | Cutting tool | |
JP2002018607A (en) | Throwaway tip and cutting tool | |
JP6057010B1 (en) | Drilling tool | |
JP4148475B2 (en) | Cross hole screw |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060509 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |