JP2005047123A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状のキャリア8に保持されたウェハ9にマスクプレートを当接させて半導体素子9aにクリーム半田を印刷するスクリーン印刷において、ウェハ9をキャリア8とともに搬送する搬送行程において、ウェハ9上に押さえ部材10を載置して押さえ部材10の自重によってウェハ9をキャリア8に押し付けてウェハ9の反り変形を矯正する。これにより、薄型の撓みやすいウェハ9をキャリア8に安定して保持させることができる。
【選択図】図4
Description
段となっている。
6 下受け部
8 キャリア
9 ウェハ
10 押さえ部材
11 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
13 スキージユニット
23 押さえ部材移載機構
Claims (2)
- パターン孔が設けられたマスクプレートを板状のキャリアに保持された薄型の基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下方に配設された基板位置決め部と、この基板位置決め部に設けられ前記キャリアに保持された基板を下受けして吸着保持する基板保持部と、この基板保持部に前記基板を前記キャリアとともに搬入しまた基板保持部から前記基板を前記キャリアとともに搬出する基板搬送手段と、この基板搬送手段による搬送過程において前記基板上に錘部材を載置して当該基板を前記キャリアに錘部材の自重により押し付けて基板の反り変形を矯正する変形矯正手段と、前記錘部材を前記キャリア上から除去しまた載置キャリア上に載置する錘移載手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
- パターン孔が設けられたマスクプレートを板状のキャリアに保持された薄型の基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下方に配設された基板位置決め部に設けられた基板保持部に前記キャリアに保持された基板を下受けして吸着保持する基板保持工程と、前記基板を吸着保持した状態でスクリーン印刷を実行する印刷工程と、前記基板保持部に前記基板を前記キャリアとともに搬入しまた基板保持部から前記基板を前記キャリアとともに搬出する基板搬送工程とを含み、この基板搬送工程において前記基板上に錘部材を載置して当該基板を前記キャリアに錘部材の自重により押し付けて基板の反り変形を矯正することを特徴とするスクリーン印刷方法。
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2003
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