JP2005043678A

JP2005043678A - Method and apparatus for forming fine pattern

Info

Publication number: JP2005043678A
Application number: JP2003277858A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Suda; 廣伸須田; Yasumasa Akimoto; 靖匡秋本
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2003-07-22
Filing date: 2003-07-22
Publication date: 2005-02-17
Anticipated expiration: 2023-07-22
Also published as: JP4556391B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently manufacture a color filter for a high precision liquid crystal display, using a printing method by the transference of a pigment ink, by precisely performing the transference of the pigment ink from a flat intaglio to a glass plate. <P>SOLUTION: In forming a fine pattern on a print base member by bringing the finely patterned flexible flat intaglio to which the ink is applied into close contact with the print base member and by transferring the ink from the flat intaglio to the print base member, the difference in the thermal expansion coefficient between the flat intaglio and the print base member is not larger than 1.5×10<SP>-6</SP>/°C. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶ディスプレイ用カラーフィルタなどを得るための精細パターンの形成方法に関するものである。 The present invention relates to a fine pattern forming method for obtaining a color filter for a liquid crystal display.

液晶ディスプレイ用カラーフィルターの製造方法としては、現在、シート状のガラス板の上の中央部にカラーフィルタ用フォトレジストを滴下した後、高速で回転させて均一な塗布膜を設け、露光・現像を行なってカラーフィルタパターンを形成するといったフォトリソグラフィ方法が広く用いられている。このフォトリソグラフィの工程を繰り返すことによって、例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色とブラックマトリックスの計四色のカラーフィルタが製造されている。
このフォトリソグラフィ法において、シート状のガラス板上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布する方法としては、上記のようにカラーフィルタ用フォトレジストをシート状のガラス板上の中央部に滴下する代わりに、スロット型塗布ヘッドによりガラス板上の全面に平面状に厚く塗布し、次に高速で回転させることによって均一な塗布膜を形成する方法もある。 Currently, the color filter for liquid crystal display is manufactured by dropping a color filter photoresist on the center of a sheet-like glass plate and rotating it at high speed to provide a uniform coating film for exposure and development. Photolithographic methods are widely used in which a color filter pattern is formed in a row. By repeating this photolithography process, for example, a total of four color filters of three colors of red (R), green (G), and blue (B) and a black matrix are manufactured.
In this photolithography method, as a method of applying the color filter photoresist on the sheet-like glass plate, instead of dropping the color filter photoresist on the center portion on the sheet-like glass plate as described above, There is also a method in which a uniform coating film is formed by applying a flat and thick coating on the entire surface of a glass plate with a slot type coating head and then rotating at a high speed.

一方、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを効率よく製造する方法として、スロット型塗布ヘッドで、精密にカラーフィルタ用フォトレジストの膜厚を制御しながらカラーフィルタ用ガラス表面上に塗布し、パターンを露光し、現像してカラーフィルタパターンを形成し、カラーフィルタを製造する方法が提案されている。 On the other hand, as a method for efficiently producing a color filter for a liquid crystal display, a slot-type coating head is applied onto the color filter glass surface while precisely controlling the film thickness of the color filter photoresist, and the pattern is exposed. There has been proposed a method for producing a color filter by developing a color filter pattern.

さらに印刷手法によりカラーフィルタを製造することも考慮されている。通常印刷の印刷速度は一分間に８０ｍ位であって大量に印刷できるものであり、カラーフィルタの製造に際して印刷手法を応用すれば、従来のカラーフィルタ製造法の一分間に三枚程度と比較した場合の数十倍の生産性があると考えられる。
なお、従来のカラーフィルタ印刷は、三色のインキの画像をブランケット胴に転写させ、さらに同画像を印刷定盤上のガラス基板に転写させて三色印刷を行うものである（例えば特許文献１参照）。
従来のカラーフィルタを形成する印刷方式において凸版に樹脂インクを供給する方式として、展色平版から凸版に転写するものが提案されている（例えば特許文献２参照）。
従来のカラーフィルタを形成する印刷方式において、ダイコータにてブランケット胴にインキを供給することが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
従来のカラーフィルタを形成するのにダイコータを使用して金属ローラにインキを供給し、露光現像を行う方法が提案されている（例えば、特許文献４参照）。
従来のカラーフィルタを形成するに際して、インクジェットを使用することが提案されている（例えば、特許文献５参照）。
従来のカラーフィルタを形成するに際して、インクジェットを使用して転写を行なうようにしたものが提案されている（例えば、特許文献６参照）。
特開平６−９３９号公報（第３頁）。特開平６−２７３１６号公報（第３頁）特開２０００−２８９３２０号公報（第２頁）特開２００２−７１９３２号公報（第２頁）特開２００２−３７２６１３号公報（第２頁）特開平１１−３１１７０７号公報（第２頁） Furthermore, it is considered to produce a color filter by a printing method. The printing speed of normal printing is about 80m per minute, and it can be printed in large quantities. Compared with the conventional color filter manufacturing method, about 3 sheets per minute if the printing method is applied when manufacturing the color filter. It is thought that the productivity is several tens of times higher than the case.
In the conventional color filter printing, an image of three colors of ink is transferred to a blanket cylinder, and the same image is transferred to a glass substrate on a printing surface plate to perform three-color printing (for example, Patent Document 1). reference).
As a method for supplying resin ink to a relief printing plate in a conventional printing method for forming a color filter, a method for transferring from a color developing planographic printing plate to a relief printing plate has been proposed (for example, see Patent Document 2).
In a conventional printing method for forming a color filter, it has been proposed to supply ink to a blanket cylinder with a die coater (see, for example, Patent Document 3).
In order to form a conventional color filter, a method has been proposed in which ink is supplied to a metal roller using a die coater and exposure development is performed (see, for example, Patent Document 4).
In forming a conventional color filter, it has been proposed to use an inkjet (see, for example, Patent Document 5).
When forming a conventional color filter, there has been proposed one in which transfer is performed using an ink jet (see, for example, Patent Document 6).
JP-A-6-939 (page 3). JP-A-6-27316 (page 3) JP 2000-289320 A (2nd page) JP 2002-71932 A (second page) JP 2002-372613 A (2nd page) JP 11-311707 A (page 2)

上述したフォトリソフラフィ法におけるカラーフィルタ用フォトレジストをスロット型塗布ヘッドによりシート状のガラス板に厚く塗布してからそのガラス板を高速回転させてカラーフィルタ用フォトレジストの塗膜厚を調整する上記方法では、カラーフィルタ用フォトレジストを滴下して高速回転して塗布する上記方法に比べてカラーフィルタ用フォトレジストの消費量は少ないものの、上記何れかの方法も余分に投与したカラーフィルタ用フォトレジストを遠心力で除去し薄く均一な塗布膜を形成することから、かなりの割合のカラーフィルタ用フォトレジストを捨てることになる。また、カラーフィルタになるまでに前記工程をガラス板上に繰り返すので、各工程でのプロセスが累計されることになる。 The coating film thickness of the color filter photoresist is adjusted by rotating the glass plate at a high speed after the photoresist for color filter in the photolithography method described above is applied thickly on a sheet-like glass plate by a slot type coating head. In this method, although the consumption amount of the color filter photoresist is smaller than that of the above method in which the color filter photoresist is dropped and rotated at a high speed, the color filter photoresist is added in any of the above methods. Is removed by centrifugal force to form a thin and uniform coating film, so that a considerable proportion of the color filter photoresist is discarded. Moreover, since the said process is repeated on a glass plate until it becomes a color filter, the process in each process is accumulated.

上記カラーフィルタ用フォトレジストの膜厚を制御しながら均一に塗布する方法では、カラーフィルタ用ガラス板の表面上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布してからパターンを露光し、現像するための高価な露光機、現像機を購入し、維持するため費用がかかるという不都合がある。 In the method of applying uniformly while controlling the film thickness of the color filter photoresist, the pattern is exposed and developed after applying the color filter photoresist on the surface of the color filter glass plate. There is an inconvenience that it is expensive to purchase and maintain an exposure machine and a developing machine.

液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造に印刷手法を用いる場合も以下の点が問題となる。
まず位置合せ精度に関して問題がある。ザンメル印刷機のように多色の版を一つのブランケットに転写して多色を同時に転写する印刷機では位置合せ精度が良好であり、その位置合せ精度は±１０μｍ位となるが、一般的な印刷方法を応用した場合、従来の印刷機の位置合せ精度が±５０μｍ位と粗いためにカラーフィルタを印刷するには適さない。特にカラーフィルタを印刷するにはその位置合せ精度が±３μｍ必要である。
そして、インキの均一供給に関しても問題がある。オフセット印刷の場合、インク着付けローラから版へ、版からブランケットへ、そしてブランケットから紙へと供給されるが、その時のインキ供給のバラツキを３％以下にする精度ではなかった。この点、ブランケットからガラス板ヘのインキの転写を１００％を満足する技術が完成されているが、転写後のパターン表面が曲面になり、カラーフィルタの表面の平滑性を満足できるものではなかった。グラビア印刷のような凹版印刷の場合、ドクター等で不用部分のインキを掻き取るため凹版の中のインキの中心付近が凹んでしまい、パターンが中抜け状態で転写され、目的のパターンを作成できなかった。さらに印刷装置には、その装置及び装置回りでの生じる微小な異物を取り除く対策が施されておらず、カラーフィルタのパターンに異物が混入するなどの問題が多い。 The following points also become a problem when a printing method is used for manufacturing a color filter for a liquid crystal display.
First, there is a problem regarding the alignment accuracy. A printing machine that transfers multiple colors simultaneously to a blanket, such as a Zammel printer, has good alignment accuracy, and the alignment accuracy is about ± 10 μm. When the printing method is applied, it is not suitable for printing a color filter because the alignment accuracy of a conventional printing press is as coarse as about ± 50 μm. In particular, in order to print a color filter, the alignment accuracy needs to be ± 3 μm.
There is also a problem with the uniform supply of ink. In the case of offset printing, the ink is supplied from the ink application roller to the plate, from the plate to the blanket, and from the blanket to the paper, but the accuracy of the ink supply variation at that time is not 3% or less. In this respect, the technology that satisfies 100% of the ink transfer from the blanket to the glass plate has been completed, but the pattern surface after the transfer has become a curved surface, and the smoothness of the surface of the color filter is not satisfactory. . In the case of intaglio printing such as gravure printing, the ink near the center of the intaglio is recessed because the ink is scraped off by a doctor, etc., and the pattern is transferred in a hollow state, making it impossible to create the desired pattern. It was. Furthermore, the printing apparatus is not provided with a measure for removing fine foreign matters generated around the apparatus and the apparatus, and there are many problems such as foreign matters entering the color filter pattern.

そこで本発明者は、インクジェット印刷機などにて顔料インクを精細パターン（カラーフィルタのストライプパターンなどの精細パターン）にして施した平板状凹版と、カラーフィルタの基材であるガラス板とを密着させることによって、精細パターンの顔料インクを前記ガラス板に転写できて、顔料インクの大きなロスを生じさせることなくガラス板にカラーフィルタの精細パターンを形成できる点に着目したものである。そして、本発明は平板状凹版からガラス板へ顔料インクを転写させるに際して、精度よく行なえるようにすることを課題とし、高精度の液晶ディスプレイ用カラーフィルタを、前記顔料インク転写による印刷手法を用いて効率よく製造することを目的とするものである。 Therefore, the present inventor closely adheres a plate-like intaglio made by applying a pigment ink in a fine pattern (fine pattern such as a stripe pattern of a color filter) to a glass plate which is a base material of the color filter, using an inkjet printer or the like Thus, the pigment ink having a fine pattern can be transferred to the glass plate, and the fine pattern of the color filter can be formed on the glass plate without causing a large loss of the pigment ink. And this invention makes it a subject to make it possible to perform accurately when transferring a pigment ink from a flat intaglio to a glass plate, and uses the printing method by the said pigment ink transfer for the highly accurate color filter for liquid crystal displays. The purpose is to manufacture efficiently.

本発明は上記課題を考慮してなされたもので、精細パターンにしてインクが施された可撓性の平板状凹版を被印刷基材に密着して、平板状凹版から前記インクを被印刷基材に転写して被印刷基材に精細パターンを形成するにあたり、前記平板状凹版と被印刷基材との熱膨張率の差を１．５×１０^-6／℃以内としたことを特徴とする精細パターンの形成方法を提供して、上記課題を解消するものである。
そして、本発明において、上記被印刷基材はガラス板であるものとすることが可能である。また、上記平板状凹版はガラス板であるものとすることが可能である。
もう一つの発明は、可撓性の平板状凹版にインキングするインキング手段と、前記インキング手段によりインキングされた前記可撓性の平板状凹版を被印刷基材に密着する平板状凹版密着手段と、前記可撓性の平板状凹版にインキングされたインクを前記被印刷基材に転写する転写手段と、を有する精細パターン形成装置であって、前記可撓性の平板状凹版と前記被印刷基材との熱膨張率の差が１．５×１０^-6／℃以内であることを特徴とする精細パターン形成装置であり、この精細パターン形成装置を提供して上記課題を解消するものである。
そして、この発明において、上記印刷基材はガラス板であるものとすることが可能である。また、上記平板状凹版はガラス板であるものとすることが可能である。 The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems. A flexible flat intaglio having a fine pattern and ink applied thereto is brought into close contact with the substrate to be printed, and the ink is applied from the flat intaglio to the substrate to be printed. When forming a fine pattern on a substrate to be printed by transferring to a material, the difference in coefficient of thermal expansion between the plate-like intaglio and the substrate to be printed is set to be within 1.5 × 10 ⁻⁶ / ° C. The above-mentioned problems are solved by providing a fine pattern forming method.
In the present invention, the substrate to be printed can be a glass plate. The flat intaglio may be a glass plate.
Another invention relates to an inking means for inking a flexible flat intaglio, and a flat intaglio that adheres the flexible flat intaglio inked by the inking means to a substrate to be printed. A fine pattern forming apparatus comprising: a close contact means; and a transfer means for transferring the ink inked on the flexible flat intaglio to the substrate to be printed, wherein the flexible flat intaglio The fine pattern forming apparatus is characterized in that the difference in thermal expansion coefficient with the substrate to be printed is 1.5 × 10 ⁻⁶ / ° C. or less, and the fine pattern forming apparatus is provided to solve the above problems. To do.
In the present invention, the printing substrate can be a glass plate. The flat intaglio may be a glass plate.

本発明によれば、平板状凹版と被印刷基材との熱膨張率の差が非常に小さいので、両者を位置合せして密着したときに平板状凹版の顔料インクと、被印刷基材の前記顔料インクを受ける部分とが適正に対応位置するようになり、顔料インクの転写が適正位置に行われるようになるなど、実用性に優れた効果を奏するものである。 According to the present invention, the difference in coefficient of thermal expansion between the plate-shaped intaglio and the substrate to be printed is very small. The portion that receives the pigment ink is appropriately positioned correspondingly, and the pigment ink is transferred to the appropriate position.

本発明の精細パターンの形成方法を液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造を一実施例として詳細に説明する。
このカラーフィルタの製造では以下の工程が設定されている。
まず、カラーフィルタとするための被印刷基材であるガラス板に予めブラックマトリスクを設けたものを用意しておき、これを投入ロボットにより洗浄機に洗浄する。なお、ブラックマトリスクは通常のフォトリソ法を利用して作成されるものであり、樹脂ブラックフォトレジストをガラス板に塗布し、マスクを介して露光して硬化させ、現像して所定のパターンを得たものである。
洗浄機で洗浄されたガラス板は、カラーフィルタのＲパターンを印刷する製造装置、同じくＧパターンを印刷する製造装置、同じくＢパターンを印刷する製造装置に移載ロボットを介して順次送られ、それぞれの製造装置で精細パターンをガラス板に印刷する。
最後の精細パターンを印刷した後、移載ロボットを介してガラス板が現像機に送られて現像を行ない、カラーフィルタが得られる、現像によって得られたカラーフィルタは受取りロボットによって現像機から取り出し、カラーフィルタの製造の工程が終了する。 The fine pattern forming method of the present invention will be described in detail with reference to the production of a color filter for a liquid crystal display.
In manufacturing the color filter, the following steps are set.
First, a glass plate, which is a substrate to be printed for use as a color filter, is prepared in advance with a black matrix, and this is washed in a washing machine by a loading robot. The black matrix is created by using a normal photolithography method. A resin black photoresist is applied to a glass plate, exposed and cured through a mask, and developed to obtain a predetermined pattern. It is a thing.
The glass plate cleaned by the washer is sequentially sent to the manufacturing apparatus that prints the R pattern of the color filter, the manufacturing apparatus that also prints the G pattern, and the manufacturing apparatus that also prints the B pattern via the transfer robot. A fine pattern is printed on a glass plate by using the manufacturing apparatus.
After printing the final fine pattern, the glass plate is sent to the developing machine via the transfer robot for development, and a color filter is obtained. The color filter obtained by the development is taken out from the developing machine by the receiving robot, The process of manufacturing the color filter ends.

カラーフィルタの製造ラインに設置される上記Rパターン、Ｇパターン、Ｂパターンの精細パターンを印刷する各製造装置１は精細パターン形成装置であり、図１に示されているように、後述の可撓性平板状凹版を支持する金属枠２、仮位置決めステージ３、インクジェット装置、バキューム孔付定盤５プレス胴６Ｘ・Ｙ・θ制御定盤７、紫外線露光装置８、剥離胴９、可撓性平板状凹版剥離台１０から構成されている。
この製造装置１を概略的に説明すれば、図１における製造装置１のインクジェット噴射位置（イ）にて、可撓性平板状凹版を支持した金属枠２が仮位置決めステージ３に置かれてからバキューム孔付定盤５により持ち上げられ、その状態で金属枠２の可撓性平板状凹版に対して下方からインキング手段である前記インクジェット装置４により精細パターンにしてインクが噴射される。そして乾燥位置（ロ）を経て、インキが付与された可撓性平板状凹版を支持する金属枠２がプレス胴６の下に移載され（押圧圧着位置（ハ））、Ｘ・Ｙ・θ制御定盤７の上に配置された被印刷基材であるガラス板に前記可撓性平板状凹版を密着させるようにしている。
そして、被印刷基材のガラス板が可撓性基材に密着した状態で金属枠２が紫外線硬化装置８に移載されて露光を行ない（紫外線硬化位置（ニ））、この後に金属枠２が剥離胴９下に移載され（可撓性平板状凹版剥離位置（ホ））、ガラス板を可撓性平板状凹版剥離台１０に位置させてこのガラス板から可撓性平板状凹版を剥離し、精細パターンのインクをガラス板に転写するようにしている。 Each manufacturing apparatus 1 that prints the fine pattern of the R pattern, G pattern, and B pattern installed in the color filter production line is a fine pattern forming apparatus. As shown in FIG. Metal frame 2 for supporting a flat plate-shaped intaglio, temporary positioning stage 3, ink jet device, surface plate with vacuum hole 5 press cylinder 6 X / Y / θ control surface plate 7, UV exposure device 8, peeling cylinder 9, flexible It is comprised from the flat plate-shaped intaglio peeling stand 10. FIG.
The manufacturing apparatus 1 will be schematically described. After the metal frame 2 supporting the flexible plate-like intaglio is placed on the temporary positioning stage 3 at the ink jet ejection position (A) of the manufacturing apparatus 1 in FIG. It is lifted by the surface plate 5 with a vacuum hole, and in that state, the ink is ejected from the lower side to the flexible flat intaglio of the metal frame 2 in a fine pattern by the ink jet device 4 as inking means. Then, after passing through the drying position (b), the metal frame 2 supporting the flexible flat intaglio to which ink has been applied is transferred under the press cylinder 6 (pressing and pressing position (c)), and X, Y, θ The flexible plate-shaped intaglio is brought into close contact with a glass plate which is a printing substrate disposed on the control surface plate 7.
Then, the metal frame 2 is transferred to the ultraviolet curing device 8 in a state where the glass plate of the substrate to be printed is in close contact with the flexible substrate, and exposure is performed (ultraviolet curing position (d)). Is transferred under the peeling cylinder 9 (flexible flat plate intaglio peeling position (e)), the glass plate is positioned on the flexible flat plate intaglio peeling table 10 and the flexible flat intaglio is transferred from this glass plate. The fine pattern ink is peeled off and transferred to the glass plate.

上述したように被印刷基材であるガラス板に対するＲパターンの印刷は、カラーフィルタの製造ライン上で、洗浄装置側から最初に移載されるＲパターン用の製造装置で行われる。このＲパターンの印刷について以下に説明する。
Ｒ用の版としてガラス板からなる可撓性平板状凹版１１が用いられる。そして図２に示すようにこの可撓性平板状凹版１１は、スクリーン印刷版用のスクリーン（紗）からなるシート状の支持体１２を上記金属枠２に張り、その支持体１２に固定され、金属枠２自体が固定されていても可撓性平板状凹版１１の僅かな上下が支持体１２の変形により許容され、また、支持体１２とともにこの可撓性平板状凹版１１が撓むことができるようにしている。 As described above, the printing of the R pattern on the glass plate as the substrate to be printed is performed by the R pattern manufacturing apparatus that is first transferred from the cleaning apparatus side on the color filter manufacturing line. This R pattern printing will be described below.
A flexible flat intaglio 11 made of a glass plate is used as the R plate. Then, as shown in FIG. 2, the flexible flat intaglio 11 has a sheet-like support 12 made of a screen (plate) for a screen printing plate stretched over the metal frame 2, and is fixed to the support 12. Even if the metal frame 2 itself is fixed, slight ups and downs of the flexible flat intaglio 11 are allowed by deformation of the support 12, and the flexible flat intaglio 11 can be bent together with the support 12. I can do it.

可撓性平板状凹版１１は、ガラス板基材１３に、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）薄膜からなる樹脂薄膜１４が全面に形成している。そして、ＲＧＢ三色のカラーフィルタのＲストライプパターンに対応する部分以外の部分は、図９に示されているようにフッ素樹脂でパターニングして撥インクパターン１５が設けられている。
撥インクパターン１５は、Ｒストライプパターンの隔壁としてパターニングしており、被印刷基材のガラス板１６のブラックマトリクス１７のストライプ方向のパターンと重なる時に、少なくとも３μｍはブラックマトリクス１７のパターンがはみ出るように形成し（図１０）、位置合わせの許容誤差内であれば、カラーフィルタに白ヌケなどを生じさせないようにしている。
また、撥インクパターン１５は、ブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンと重なる部分は、少なくともブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンの端から４μｍはブラックマトリクス１７のパターンが重なるように形成し（図１１）、ブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターン上には、撥インクパターン１３はブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンの端から４μｍより内側には形成されていなく余分のＲ顔料インク１８がストライプと直交方向に流れ、他の色傾城に漏れ出さないことになる。そして、Ｒ顔料インキがブラックマトリクス１７上であるので、後述する紫外線露光時には、ガラス板１６側からの紫外線に対しても硬化しないので、位置合わせの許容誤差内であれば、余分のＲ顔料インク１８がはみ出すことがない。 In the flexible flat intaglio 11, a resin thin film 14 made of a polyvinyl alcohol (PVA) thin film is formed on the entire surface of a glass plate substrate 13. The portions other than the portion corresponding to the R stripe pattern of the RGB three-color color filter are patterned with a fluororesin as shown in FIG.
The ink repellent pattern 15 is patterned as a partition of an R stripe pattern, and when the pattern overlaps with the pattern in the stripe direction of the black matrix 17 of the glass plate 16 of the substrate to be printed, the pattern of the black matrix 17 protrudes at least 3 μm. If it is formed (FIG. 10) and it is within the tolerance of alignment, white spots or the like are not generated in the color filter.
Further, the ink repellent pattern 15 is formed so that the portion of the black matrix 17 that overlaps with the stripe in the orthogonal direction overlaps the pattern of the black matrix 17 at least 4 μm from the end of the pattern in the orthogonal direction to the stripe of the black matrix 17. (FIG. 11) On the pattern orthogonal to the stripes of the black matrix 17, the ink repellent pattern 13 is not formed within 4 μm from the end of the pattern orthogonal to the stripes of the black matrix 17 and is an extra R pigment. The ink 18 flows in the direction orthogonal to the stripes and does not leak to other color ramps. Since the R pigment ink is on the black matrix 17, it is not cured against ultraviolet rays from the glass plate 16 side during ultraviolet exposure described later, so that the excess R pigment ink is within the alignment tolerance. 18 does not protrude.

上述のようにしてＲストライプパターンの隔壁として撥インクパターン１５が施された可撓性平板状凹版１１を支持した金属枠２が製造装置１でのインクジェット噴射位置、乾燥位置、押圧圧着位置、紫外線硬化位置、可撓性平板状凹版剥離位置と順に移載されることでガラス板１６に精細パターンが得られるものである。
（Ｒ、インクジェット噴射位置）
まず、可撓性平板状凹版１１を取り付けた金属枠２を仮位置決めステージ３にセットし、仮位置決めする。仮位置決めステージ３の図示しない細孔の低圧空気吹き出孔から低圧空気を可撓性平板状凹版１１に吹きかける。これによってエアークッションのように可撓性平板状凹版１１の下に空気層を形成して浮かす。そして、可撓性平板状凹版１１が浮いている状態で、仮位置決めステージ３を上昇させて、可撓性平板状凹版１１の背面をＸ・Ｙ・θ制御のできるバキューム孔付定盤３に固定させる。バキューム孔付定盤３の固定は吸引によるもので、可撓性平板状凹版１１を含めた金属枠２全体が支持される。この時点までの可撓性平板状凹版１１の状態を断面として図４に示す。
バキューム孔付定盤３側に固定された可撓性平板状凹版１１の下方からインクジェット装置４を使用してＲ顔料インク１８を所定の位置に噴射し、可撓性平板状凹版１１に対してＲストライプパターンの形成を行う（図５参照）。
インクジェット装置４にはＣＣＤカメラが設置してあり、図２では図上、左から右に移動し、可撓性平板状凹版１１の位置合わせマークを読み込むようにしている。そして、マークを読み込んだ位置情報を基にして、バキューム孔付定盤５がＸ・Ｙ・θ制御により所定の位置にセットされる。インクジェット装置４が右から左に稼動し、バキューム孔付定盤５とインクジェット装置４の位置が合っていることを確認する。確認後、インクジェット装置４が行き来四回する。顔料インクの噴射は予めコンピュータに登録されているＲストライプパターンに応じて動作する。
このように顔料インクの盛りを確実にするためにインクジェット装置４による吹き付けが複数回行われる。なお、従来技術では、隔壁が低いと顔料インクがはみ出してしまうが、本実施例では、下方向から噴射するので、はみ出すことがない。
Ｒ顔料インクの噴射が終了した後、図示しない印刷版移載装置で金属枠２をつかむとともに、バキューム孔付定盤５の吸引バキュームを解除し、金属枠２を乾燥位置（ロ）まで移動させる。 As described above, the metal frame 2 supporting the flexible plate-like intaglio 11 on which the ink repellent pattern 15 is applied as the partition of the R stripe pattern is the ink jet spraying position, the drying position, the pressure pressing position, and the ultraviolet light in the manufacturing apparatus 1. A fine pattern is obtained on the glass plate 16 by being transferred in the order of the curing position and the flexible plate-like intaglio peeling position.
(R, inkjet jet position)
First, the metal frame 2 to which the flexible flat intaglio 11 is attached is set on the temporary positioning stage 3 and temporarily positioned. Low-pressure air is blown onto the flexible flat intaglio 11 from a low-pressure air blowing hole (not shown) of the temporary positioning stage 3. Thus, an air layer is formed and floats under the flexible flat intaglio 11 like an air cushion. Then, with the flexible flat plate-shaped intaglio 11 floating, the temporary positioning stage 3 is raised, and the back surface of the flexible flat plate-shaped intaglio plate 11 is changed to the vacuum hole surface plate 3 capable of X, Y, θ control. Fix it. The vacuum hole surface plate 3 is fixed by suction, and the entire metal frame 2 including the flexible flat intaglio 11 is supported. The state of the flexible flat intaglio 11 up to this point is shown in FIG. 4 as a cross section.
The R pigment ink 18 is jetted to a predetermined position from the lower side of the flexible flat intaglio 11 fixed to the surface plate 3 with a vacuum hole by using the ink jet device 4, and is applied to the flexible flat intaglio 11. An R stripe pattern is formed (see FIG. 5).
The inkjet device 4 is provided with a CCD camera, and in FIG. 2, it moves from the left to the right in the drawing to read the alignment mark of the flexible flat intaglio 11. Based on the position information from which the mark has been read, the vacuum holed surface plate 5 is set at a predetermined position by X, Y and θ control. The inkjet device 4 is operated from right to left, and it is confirmed that the position of the vacuum hole surface plate 5 and the inkjet device 4 is aligned. After confirmation, the inkjet device 4 goes back and forth four times. The ejection of the pigment ink operates according to the R stripe pattern registered in advance in the computer.
Thus, in order to ensure the accumulation of the pigment ink, spraying by the inkjet device 4 is performed a plurality of times. In the prior art, when the partition wall is low, the pigment ink protrudes, but in this embodiment, since the ink is ejected from the lower direction, it does not protrude.
After the ejection of the R pigment ink is finished, the metal frame 2 is grasped by a printing plate transfer device (not shown), the suction vacuum of the surface plate 5 with a vacuum hole is released, and the metal frame 2 is moved to the drying position (b). .

（Ｒ、乾燥位置）
可撓性平板状凹版１１に吹き付けられたＲ顔料インク１８は溶剤が揮発すると体積が小さくなる（図６参照）。しかし、この時、Ｒ顔料インク１８は溶剤が揮発した後でもプレス変形する紫外線硬化レジストであるため、柔らかい状態である。乾燥位置を経た金属枠２は平板状凹版圧着手段が構成されている次の押圧圧着位置へと移動する。
（Ｒ、押圧圧着位置）
押圧圧着位置にあるＸ・Ｙ・θ制御定盤７は上下できる機構であり、下降した位置で、ガラス板１６を所定の位置にセットして吸引バキュームで固定する。溶剤が揮発し乾燥した後の可撓性平板状凹版１１がプレス胴６の下まで移動してから、この可撓性平板状凹版１１を支持している金属枠２が固定される。
Ｘ・Ｙ・θ制御定盤７を上昇させ、可撓性平板状凹版１とＸ・Ｙ・θ制御定盤７に固定されたガラス板１６とが接しない距離まで上昇接近させる。このとき可撓性平板状凹版１１とガラス板１６の間に、低圧空気吹き込みノズル１９で低圧空気を吹き込むことにより、空気薄膜層を設けて密着させない。さらに、Ｘ・Ｙ・θ制御定盤７の中にＣＣＤカメラが設けられていて、このＣＣＤカメラで、可撓性平板状凹版１１のマークとガラス板１６のマークとを読み取り位置合わせする。そして、位置合わせをした後で、プレス胴６で左から順次押圧密着する。この時、左側の低圧空気吹き込みノズル１９の低圧空気は止める。図６に押圧密着する前の状態の可撓性平板状凹版１１とガラス板１６とを断面で示した。
撥インクパターン１５とブラックマトリクス１７とが接し押圧されることにより、Ｒ顔料インク１８はブラックマトリクス１７の間に隙間なく押し込まれるともに膜厚が均一になる。これにより、従来柔らかいレジストでの、プレスした時の弊害であった膜厚のバラツキという問題が解決される。
Ｒ顔料インク１８の膜厚が均一になった状態で、印刷版移載装置で金属枠２をつかむ。そして、Ｘ・Ｙ・θ制御定盤７の吸引バキューム孔から空気を吹いて、可撓性平板状凹版１１とガラス板１６を密着させた状態で、紫外線硬化位置まで移動させる。
（Ｒ、紫外線硬化位置）
紫外線露光装置８には、ブラック額縁２０の半分より内側が切り取ってあるＲパターン形成用の金属製マスクがセットされていて、ガラス板１６のブラックマトリクスと前記金属製マスクの位置合わせをして密着させ、ガラス１６側から紫外線露光を行ってＲストライプパターンのＲ顔料インクを硬化させる。そして、印刷版移載装置で金属枠２をつかむ。可撓性平板状凹版１１とガラス板１６を密着させた状態で転写手段が構成されている可撓性平板状凹版剥離台位置へ移動させる。
（Ｒ、可撓性平板状凹版剥離位置）
可撓性平板状凹版１１は剥離胴９の下となるように移送されてきていて、可撓性平板状凹版１１を剥離胴９で押さえ付けることができるように可撓性平板状凹版１１に密着したガラス板１６が可撓性平板状凹版剥離台１０に位置する。そして剥離胴９で押さえながら金属枠１３の一辺側（図上、右側）を持ち上げて端から順次ガラス板１６から可撓性平板状凹版１１を剥離する（図７参照）。この時、可撓性平板状凹版１１は反るように撓んで、金属枠２が持ち上げられている側からガラス板１６との間が徐々に剥離していき、精細パターンとしたＲ顔料インクがガラス板１６上に転写され、ガラス板１６上でＲ顔料インクによるＲストライプパターンでの精細パターンが形成される。このときのガラス板１６を断面で図８に示し、図１２でその平面を示した。なお、図１２と後述の図１９、図２６では説明を容易にするため、ブラックマトリクスと重なる部分での各インクは図示していない。
剥離後、可撓性印刷板剥離台１０を下降させ、ガラス板６を吸引バキュームから解除し、Ｒパターンの製造装置からＧパターンの製造装置へと移載ロボットによりガラス板１６を移載する。 (R, dry position)
The volume of the R pigment ink 18 sprayed on the flexible flat intaglio 11 is reduced when the solvent is volatilized (see FIG. 6). At this time, however, the R pigment ink 18 is a soft state because it is an ultraviolet curable resist that undergoes press deformation even after the solvent has volatilized. After passing through the drying position, the metal frame 2 moves to the next press-bonding position where the plate-like intaglio pressing means is configured.
(R, pressure bonding position)
The X / Y / θ control surface plate 7 at the press-bonding position is a mechanism that can be moved up and down, and in the lowered position, the glass plate 16 is set at a predetermined position and fixed by suction vacuum. After the flexible flat intaglio 11 after the solvent has evaporated and dried, the metal frame 2 supporting the flexible flat intaglio 11 is fixed.
The X, Y, θ control surface plate 7 is raised and moved up and close to a distance where the flexible flat intaglio 1 and the glass plate 16 fixed to the X, Y, θ control surface plate 7 do not contact each other. At this time, an air thin film layer is provided between the flexible plate-like intaglio 11 and the glass plate 16 by blowing low-pressure air with a low-pressure air blowing nozzle 19 so that the air thin film layer is not brought into close contact. Further, a CCD camera is provided in the X / Y / θ control surface plate 7, and the mark on the flexible flat intaglio 11 and the mark on the glass plate 16 are read and aligned with this CCD camera. After the alignment, the press cylinder 6 is pressed and adhered sequentially from the left. At this time, the low pressure air from the left side low pressure air blowing nozzle 19 is stopped. FIG. 6 shows a cross section of the flexible flat intaglio 11 and the glass plate 16 in a state before being pressed and adhered.
When the ink repellent pattern 15 and the black matrix 17 are pressed against each other, the R pigment ink 18 is pressed between the black matrix 17 without any gap and the film thickness becomes uniform. This solves the problem of variation in film thickness, which has been an adverse effect of pressing with a conventional soft resist.
With the R pigment ink 18 having a uniform film thickness, the metal frame 2 is held by the printing plate transfer device. Then, air is blown from the suction vacuum hole of the X / Y / θ control surface plate 7 and moved to the ultraviolet curing position in a state where the flexible flat intaglio 11 and the glass plate 16 are in close contact with each other.
(R, UV curing position)
The UV exposure apparatus 8 is set with a metal mask for forming an R pattern whose inner side is cut out from half of the black picture frame 20, and the black matrix of the glass plate 16 and the metal mask are aligned and adhered to each other. Then, UV exposure is performed from the glass 16 side to cure the R pigment ink having an R stripe pattern. Then, the metal frame 2 is grasped by the printing plate transfer device. The flexible flat plate-like intaglio 11 and the glass plate 16 are brought into close contact with each other and moved to the flexible flat plate-like intaglio peeling plate position where the transfer means is configured.
(R, flexible plate-like intaglio peeling position)
The flexible plate-like intaglio 11 has been transferred so as to be under the peeling cylinder 9, so that the flexible plate-like intaglio 11 can be pressed by the peeling cylinder 9. The adhered glass plate 16 is positioned on the flexible flat plate-like intaglio peeling table 10. Then, one side (the right side in the figure) of the metal frame 13 is lifted while being pressed by the peeling cylinder 9, and the flexible flat intaglio 11 is peeled from the glass plate 16 sequentially from the end (see FIG. 7). At this time, the flexible flat intaglio 11 bends in a curved manner, and gradually peels off from the glass plate 16 from the side where the metal frame 2 is lifted, and the R pigment ink having a fine pattern is formed. It is transferred onto the glass plate 16 and a fine pattern with an R stripe pattern is formed on the glass plate 16 with the R pigment ink. The glass plate 16 at this time is shown in cross section in FIG. 8, and its plane is shown in FIG. In FIG. 12, FIG. 19 and FIG. 26, which will be described later, for convenience of explanation, each ink in a portion overlapping the black matrix is not shown.
After peeling, the flexible printing plate peeling table 10 is lowered, the glass plate 6 is released from the suction vacuum, and the glass plate 16 is transferred by the transfer robot from the R pattern manufacturing apparatus to the G pattern manufacturing apparatus.

次に、Ｇ顔料インク２１を使ってＧパターンの製造装置によりカラーフィルタのＧストライプパターンの作成方法について説明する。
この工程で用いる可撓性平板状凹版１１は、図１８に示すように、カラーフィルタのＲとＧのストライプパターン対応部分以外の部分に撥インクパターン１５が設けられ、既にガラス板１６に形成されているＲストライプパターンに対応するようにして、そして新たに形成するＧストライプパターンを得る上での隔壁としてパターニングしてある。
このＧストライプパターンを得るための可撓性平板状凹版１１の撥インクパターン１５も、上述したＲストライプパターンを得るための可撓性平板状凹版１１に設けた撥インクパターン１５と同じように、ブラックマトリクス１７のストライプ方向のパターンと重なる時に少なくとも３μｍはブラックマトリクス１７のパターンがはみ出るように形成され、また、ブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンと重なる部分は、少なくともブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンの端から４μｍはブラックマトリクス１７のパターンが重なるように形成してある。このようにすることによって、余分のＧ顔料インク２１がストライプと直交方向に流れ、他の色傾城に漏れ出でない。さらにブラックマトリクス１７上であり、ガラス板１６側からの紫外線に対しても硬'化しないものとしているので、位置合わせの許容誤差内であれば、余分のＧ顔料インク２１がはみ出すことがなく、現像時に除去されるようにしている。加えて、例えＧ顔料インクがはみ出してＲストライプパターン上に乗るようなことがあっても、露光時に紫外線をこのＲストライプパターンが遮断するので硬化せず、現像時に除去されるようになる。 Next, a method of creating a G stripe pattern of a color filter using a G pattern ink 21 by a G pattern manufacturing apparatus will be described.
As shown in FIG. 18, the flexible flat intaglio 11 used in this step is provided with an ink repellent pattern 15 in a portion other than the portion corresponding to the R and G stripe patterns of the color filter, and is already formed on the glass plate 16. It is patterned as a partition for obtaining a newly formed G stripe pattern so as to correspond to the R stripe pattern.
The ink repellent pattern 15 of the flexible flat intaglio 11 for obtaining the G stripe pattern is the same as the ink repellent pattern 15 provided on the flexible flat intaglio 11 for obtaining the R stripe pattern described above. At least 3 μm is formed so that the pattern of the black matrix 17 protrudes when overlapping the pattern in the stripe direction of the black matrix 17, and the portion overlapping the pattern in the orthogonal direction to the stripe of the black matrix 17 is at least the stripe of the black matrix 17 The pattern of the black matrix 17 is formed so as to overlap 4 μm from the end of the orthogonal pattern. By doing so, excess G pigment ink 21 flows in the direction orthogonal to the stripes and does not leak to other color ramps. Furthermore, since it is on the black matrix 17 and does not harden even with ultraviolet rays from the glass plate 16 side, the excess G pigment ink 21 does not protrude if within the alignment tolerance. It is removed during development. In addition, even if the G pigment ink protrudes and rides on the R stripe pattern, the R stripe pattern blocks the ultraviolet rays at the time of exposure, so that it does not cure and is removed at the time of development.

このＧパターン用の可撓性平板状凹版１１も上記Ｒパターン用の可撓性平板状凹版と同じように金属枠２に張った支持体１２に固定される。Ｇパターン用の製造装置もＲパターン用の上記製造装置と同一の構成を有しているものであり、精細パターンであるこのＧパターンを、既にＲパターンが形成されているガラス板１６に形成する製造装置の構成についてはその説明を省略する。
（Ｇ、インクジェット噴射位置）
インクジェット噴射位置において仮位置決めステージ３とバキューム孔付定盤５との動作はＲパターン用製造装置のものと同じである。バキューム孔付定盤３に固定させる金属枠２に位置しているインク付与前の可撓性平板状凹版１１を図１４に示した。
Ｇパターンの製造装置でのインクジェット装置４は、予めコンピュータに登録されているＧストライプパターンに応じて動作するものであり、可撓性平板状凹版１１のＧパターンに対応した部分にＧ顔料インク２１を噴射して盛った状態を図１４に示した。 The flexible flat intaglio 11 for the G pattern is also fixed to the support 12 stretched on the metal frame 2 in the same manner as the flexible flat intaglio for the R pattern. The manufacturing apparatus for the G pattern has the same configuration as the manufacturing apparatus for the R pattern, and this G pattern, which is a fine pattern, is formed on the glass plate 16 on which the R pattern has already been formed. The description of the configuration of the manufacturing apparatus is omitted.
(G, inkjet injection position)
The operations of the temporary positioning stage 3 and the vacuum hole surface plate 5 at the ink jet ejection position are the same as those of the R pattern manufacturing apparatus. FIG. 14 shows the flexible flat intaglio 11 before application of ink, which is located on the metal frame 2 fixed to the surface plate 3 with vacuum holes.
The inkjet apparatus 4 in the G pattern manufacturing apparatus operates in accordance with a G stripe pattern registered in advance in a computer, and a G pigment ink 21 is applied to a portion corresponding to the G pattern of the flexible flat intaglio 11. FIG. 14 shows a state in which the water is injected and accumulated.

（Ｇ、乾燥位置）
乾燥位置でのＧ顔料インク２１の変化（体積縮小）もＲ顔料インクの場合と同じである。
（Ｇ、押圧圧着位置）
押圧圧着位置にあるＸ・Ｙ・θ制御定盤７には既にＲパターンが形成されたガラス板１６が配され、位置合せした状態で、即ち、ガラス板１６のＧパターン形成部分と可撓性平板状凹版１１のＧ顔料インク２１の塗布部分とを対応させて押圧圧着を行なう（図１５参照）。
（Ｇ、紫外線硬化位置）
Ｇパターン用の製造装置１における紫外線露光装置８には、ブラック額縁２０の半分より内側が切り取ってあるＧパターン形成用の金属製マスクがセットされていて、ガラス板１６のブラックマトリクスと前記金属製マスクの位置合わせをして密着させ、ガラス１６側から紫外線露光を行ってＧストライプパターンのＧ顔料インクを硬化させるようにしている。
（Ｇ、可撓性平板状凹版剥離位置）
可撓性平板状凹版剥離位置では、Ｒパターンの製造装置１の場合と同一の作業を行われ（図１６）、ガラス板１６上でＧ顔料インクによるＧストライプパターンでの精細パターンが形成される。このときのガラス板１６を断面で図１７に示し、その平面を図１９に示した。
剥離後、Ｇパターンの製造装置からＢパターンの製造装置へと移載ロボットによりガラス板１６を移載する。 (G, dry position)
The change (volume reduction) of the G pigment ink 21 at the drying position is the same as that of the R pigment ink.
(G, pressure bonding position)
The glass plate 16 on which the R pattern has already been formed is arranged on the X / Y / θ control surface plate 7 at the press-bonding position, and in an aligned state, that is, the G pattern forming portion of the glass plate 16 and the flexibility Pressing and pressing are performed in correspondence with the application portion of the G pigment ink 21 of the flat intaglio 11 (see FIG. 15).
(G, UV curing position)
The UV exposure apparatus 8 in the G pattern manufacturing apparatus 1 is provided with a G pattern forming metal mask that is cut out from the half of the black picture frame 20, and the black matrix of the glass plate 16 and the metal mask. The mask is aligned and brought into close contact, and ultraviolet exposure is performed from the glass 16 side to cure the G pigment ink of the G stripe pattern.
(G, flexible plate-like intaglio peeling position)
At the flexible plate-like intaglio peeling position, the same operation as in the R pattern manufacturing apparatus 1 is performed (FIG. 16), and a fine pattern with a G stripe pattern is formed on the glass plate 16 with G pigment ink. . The glass plate 16 at this time is shown in cross section in FIG. 17, and the plane is shown in FIG.
After peeling, the glass plate 16 is transferred by the transfer robot from the G pattern manufacturing apparatus to the B pattern manufacturing apparatus.

次に、Ｂ顔料インク２２を使ってＢパターンの製造装置によりカラーフィルタのＢストライプパターンの作成方法について説明する。
この工程で用いる可撓性平板状凹版１１は、図２５に示すように、カラーフィルタのＲとＧとＢのストライプパターン対応部分以外の部分に撥インクパターン１５が設けられ、既にガラス板１６に形成されているＲストライプパターンとＧストライプパターンとに対応するようにして、そして新たに形成するＢストライプパターンを得る上での隔壁としてパターニングしてある。
このＢストライプパターンを得るための可撓性平板状凹版１１の撥インクパターン１５も、上述したＲ、Ｇストライプパターンを得るための可撓性平板状凹版１１に設けた撥インクパターン１５と同じように、ブラックマトリクス１７のストライプ方向のパターンと重なる時に少なくとも３μｍはブラックマトリクス１７のパターンがはみ出るように形成され、また、ブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンと重なる部分は、少なくともブラックマトリクス１７のストライプと直交方向のパターンの端から４μｍはブラックマトリクス１７のパターンが重なるように形成してある。
このようにすることによって、余分のＢ顔料インク２１がストライプと直交方向に流れ、他の色領域に漏れ出でない。さらにブラックマトリクス１７上であり、ガラス板１６側からの紫外線に対しても硬'化しないものとしているので、位置合わせの許容誤差内であれば、余分のＢ顔料インク２１がはみ出すことがない。加えて、例えＢ顔料インクがはみ出してＲ、Ｇストライプパターン上に乗るようなことがあっても、露光時に紫外線をこのＲ、Ｇストライプパターンが遮断するので硬化せず、現像時に除去されるようになる。 Next, a method for creating a B stripe pattern of a color filter by using a B pattern manufacturing apparatus using the B pigment ink 22 will be described.
As shown in FIG. 25, the flexible flat intaglio 11 used in this step is provided with an ink-repellent pattern 15 in portions other than the portions corresponding to the R, G, and B stripe patterns of the color filter. Patterning is performed so as to correspond to the formed R stripe pattern and G stripe pattern, and as a partition for obtaining a newly formed B stripe pattern.
The ink repellent pattern 15 of the flexible flat intaglio 11 for obtaining the B stripe pattern is the same as the ink repellent pattern 15 provided on the flexible flat intaglio 11 for obtaining the R and G stripe patterns. In addition, at least 3 μm is formed so that the pattern of the black matrix 17 protrudes when it overlaps the pattern in the stripe direction of the black matrix 17, and the portion of the black matrix 17 that overlaps the pattern in the direction orthogonal to the stripe is at least of the black matrix 17. The pattern of the black matrix 17 is formed so as to overlap 4 μm from the end of the pattern orthogonal to the stripe.
By doing so, the extra B pigment ink 21 flows in the direction orthogonal to the stripe and does not leak into other color regions. Furthermore, since it is on the black matrix 17 and is not hardened against ultraviolet rays from the glass plate 16 side, the excess B pigment ink 21 does not protrude if it is within the alignment tolerance. In addition, even if the B pigment ink protrudes and rides on the R and G stripe patterns, the R and G stripe patterns block the ultraviolet rays at the time of exposure so that they are not cured and are removed at the time of development. become.

このＢパターン用の可撓性平板状凹版１１も上記Ｒパターン用の可撓性平板状凹版と同じように金属枠２に張った支持体１２に固定される。Ｂパターン用の製造装置もＲ、Ｇパターン用の上記製造装置と同一の構成を有しているものであり、精細パターンであるこのＢパターンを、既にＲ、Ｇパターンが形成されているガラス板１６に形成する製造装置の構成についてはその説明を省略する。
（Ｂ、インクジェット噴射位置）
インクジェット噴射位置において仮位置決めステージ３とバキューム孔付定盤５との動作はＲ、Ｇパターン用製造装置のものと同じである。バキューム孔付定盤３に固定させる金属枠２に位置しているインク付与前の可撓性平板状凹版１１を図２０に示した。
Ｂパターンの製造装置でのインクジェット装置４は、予めコンピュータに登録されているＢストライプパターンに応じて動作するものであり、可撓性平板状凹版１１のＢパターンに対応した部分にＢ顔料インク２２を噴射して盛った状態を図２１に示した。 The flexible flat intaglio 11 for the B pattern is also fixed to the support 12 stretched on the metal frame 2 in the same manner as the flexible flat intaglio for the R pattern. The manufacturing apparatus for the B pattern has the same configuration as that of the manufacturing apparatus for the R and G patterns, and this B pattern, which is a fine pattern, is a glass plate on which the R and G patterns are already formed. The description of the configuration of the manufacturing apparatus formed in 16 will be omitted.
(B, inkjet ejection position)
The operations of the temporary positioning stage 3 and the vacuum hole surface plate 5 at the ink jet ejection position are the same as those of the R and G pattern manufacturing apparatus. FIG. 20 shows the flexible flat intaglio 11 before application of ink positioned on the metal frame 2 fixed to the surface plate 3 with vacuum holes.
The inkjet apparatus 4 in the B pattern manufacturing apparatus operates in accordance with a B stripe pattern registered in advance in a computer, and a B pigment ink 22 is applied to a portion corresponding to the B pattern of the flexible flat intaglio 11. FIG. 21 shows a state in which the water is injected and accumulated.

（Ｂ、乾燥位置）
乾燥位置でのＢ顔料インク２１の変化（体積縮小）もＲ、Ｇ顔料インクの場合と同じである。
（Ｂ、押圧圧着位置）
押圧圧着位置にあるＸ・Ｙ・θ制御定盤７には既にＲパターン、Ｇパターンが形成されたガラス板１６が配され、位置合せした状態で、即ち、ガラス板１６のＢパターン形成部分と可撓性平板状凹版１１のＢ顔料インク２２の塗布部分とを対応させて押圧圧着を行なう（図２２参照）。
（Ｂ、紫外線硬化位置）
Ｂパターン用の製造装置１における紫外線露光装置８には、ブラック額縁２０の半分より内側が切り取ってあるＢパターン形成用の金属製マスクがセットされていて、ガラス板１６のブラックマトリクスと前記金属製マスクの位置合わせをして密着させ、ガラス板１６側から紫外線露光を行ってＢストライプパターンのＢ顔料インクを硬化させるようにしている。
（Ｇ、可撓性平板状凹版剥離位置）
可撓性平板状凹版剥離位置では、Ｒ、Ｇパターンの製造装置１の場合と同一の作業を行われ、ガラス板１６上でＢ顔料インクによるＢストライプパターンでの精細パターンが形成される。このときのガラス板１６を断面で図２４に示し、その平面を図２６に示した。
剥離後、Ｂパターンの製造装置から移載ロボットによりガラス板１６を現像機へと移載する。 (B, dry position)
The change (volume reduction) of the B pigment ink 21 at the drying position is the same as that of the R and G pigment inks.
(B, pressure bonding position)
The glass plate 16 on which the R pattern and the G pattern are already formed is arranged on the X / Y / θ control surface plate 7 at the press-bonding position, and in an aligned state, that is, the B pattern forming portion of the glass plate 16 Press-compression is performed in correspondence with the application portion of the B pigment ink 22 of the flexible flat intaglio 11 (see FIG. 22).
(B, UV curing position)
In the ultraviolet exposure apparatus 8 in the manufacturing apparatus 1 for B pattern, a metal mask for B pattern formation that is cut out from the half of the black frame 20 is set, and the black matrix of the glass plate 16 and the metal mask are formed. The mask is aligned and brought into close contact, and ultraviolet exposure is performed from the glass plate 16 side to cure the B pigment ink of the B stripe pattern.
(G, flexible plate-like intaglio peeling position)
At the flexible flat-plate intaglio peeling position, the same operation as in the R and G pattern manufacturing apparatus 1 is performed, and a fine pattern with a B stripe pattern is formed on the glass plate 16 with B pigment ink. The glass plate 16 at this time is shown in cross section in FIG. 24, and the plane is shown in FIG.
After peeling, the glass plate 16 is transferred from the B pattern manufacturing apparatus to the developing machine by a transfer robot.

Ｒ、Ｇ、Ｂの各パターンが施されたガラス板１６を現像機にセットして現像することにより、所定部分以外にはみ出したＲ顔料インク、Ｇ顔料インク、Ｂ顔料インクが除去され、次に熱硬化することによりカラーフィルタが完成する。
なお、上記各製造装置においては、顔料インクの塗布状態を観察する手段を有していて、可撓性平板状凹版において顔料インクの塗布量が不十分な場所には、後からその塗布量の不十分な部分に顔料インクを塗布できるようにしている。 By setting the glass plate 16 on which each pattern of R, G, and B is applied to a developing machine and developing, the R pigment ink, G pigment ink, and B pigment ink protruding beyond the predetermined portion are removed. The color filter is completed by thermosetting.
Each of the above manufacturing apparatuses has means for observing the application state of the pigment ink, and in the place where the application amount of the pigment ink is insufficient in the flexible flat intaglio, The pigment ink can be applied to the insufficient portion.

上記可撓性平板状凹版１１はＲＧＢの三色に応じてＲパターン用、Ｇパターン用、Ｂパターン用として別個に用意したが、上記インクジェット装置からＲ顔料インクとＧ顔料インクとＢ顔料インクとを、同時にして、かつ各パターンが相互に重なり合わないように噴射できるものである。そこで、インクジェット装置にてＲ、Ｇ、Ｂの顔料インクを各パターンに応じて同時に噴射する場合には、一つの可撓性平板状凹版のみでよく、その場合の撥インキパターン３は例えば図２７に示すように隣り合うストライプパターンが連続しない独立したものとすることで対応できるものとなる。 The flexible plate-shaped intaglio 11 was prepared separately for the R pattern, G pattern, and B pattern according to the three colors of RGB. From the inkjet device, the R pigment ink, the G pigment ink, and the B pigment ink At the same time and so that the patterns do not overlap each other. Therefore, when the R, G, and B pigment inks are simultaneously ejected in accordance with the respective patterns in the ink jet apparatus, only one flexible flat intaglio may be used. In this case, the ink repellent pattern 3 is, for example, FIG. As shown in FIG. 4, it can be dealt with by making the adjacent stripe patterns independent and not continuous.

上記液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造に際して用いた可撓性平板状凹版とカラーフィルタのガラス基材であるガラス板とは共に同一のガラス板を用いていて、その厚さは０．３〜１．０ｍｍから選択して同一厚さのものとし、この厚さの範囲とすることで印刷版側は可撓性のある平板状凹版となる。なお、可撓性平板状凹版とガラス板とは同一の大きさであり、ともに２ｍ×２ｍである。また、ガラス板である可撓性平板状凹版に対し、その可撓性を得る上でより好ましい厚さの範囲は０．５〜０．７ｍｍである。
可撓性平板状凹版と被印刷基材とを共に同一のガラス板としているため、熱膨張率の差違がなく、位置合せして重ね合わせすれば可撓性平板状凹版に設けた顔料インクとガラス板側のパターンを設ける部分とが適正に対応する。これによって押圧して密着させれば、Ｒ顔料インクの転写によるＲのストライプパターン、Ｇ顔料インクの転写によるＧのストライプパターン、Ｂ顔料インクの転写によるＢのストライプパターンそれぞれがガラス板の適正位置に形成され、正確な精細パターンを有するカラーフィルタが得られる。
なお、可撓性平板状凹版はガラス板に限定されるものではなく、その場合に被印刷基材との熱膨張率の差が、１．５×１０^-6／℃以内であることが望ましい。 The flexible flat plate-like intaglio used in the production of the color filter for liquid crystal display and the glass plate which is the glass substrate of the color filter are both made of the same glass plate and have a thickness of 0.3-1. By selecting from 0 mm and having the same thickness, and by setting the thickness within this range, the printing plate side becomes a flexible flat intaglio. In addition, a flexible flat plate-shaped intaglio and a glass plate are the same magnitude | sizes, and both are 2mx2m. Moreover, the range of more preferable thickness is 0.5-0.7 mm when obtaining the flexibility with respect to the flexible plate-shaped intaglio which is a glass plate.
Since both the flexible flat intaglio and the substrate to be printed are made of the same glass plate, there is no difference in the coefficient of thermal expansion, and if they are aligned and overlapped, the pigment ink provided on the flexible flat intaglio The part where the pattern on the glass plate side is provided corresponds appropriately. When pressed and brought into close contact, the R stripe pattern due to the transfer of the R pigment ink, the G stripe pattern due to the transfer of the G pigment ink, and the B stripe pattern due to the transfer of the B pigment ink are respectively positioned at appropriate positions on the glass plate. A color filter formed and having an accurate fine pattern is obtained.
The flexible plate-like intaglio is not limited to a glass plate, and in that case, the difference in thermal expansion coefficient from the substrate to be printed is preferably within 1.5 × 10 ⁻⁶ / ° C. .

本発明の精細パターンの形成方法を実施する液晶ディスプレイ用カラーフィルタ製造ラインにおけるパターン製造装置を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematically the pattern manufacturing apparatus in the color filter manufacturing line for liquid crystal displays which implements the formation method of the fine pattern of this invention. パターン製造装置における金属枠を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the metal frame in a pattern manufacturing apparatus. 同じくパターン製造装置における金属枠と可撓性平板状凹版とを示す説明図である。It is explanatory drawing which similarly shows the metal frame and flexible plate-shaped intaglio in a pattern manufacturing apparatus. Ｒパターン用の可撓性平板状凹版を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the flexible flat plate-shaped intaglio for R patterns in a cross section. Ｒパターン用の可撓性平板状凹版にＲ顔料インクが施された状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state by which R pigment ink was given to the flexible plate-shaped intaglio for R patterns. Ｒパターン用の可撓性平板状凹版とガラス板とを相対させた状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the flexible flat plate-shaped intaglio for R patterns, and the glass plate face each other in a cross section. Ｒパターン用の可撓性平板状凹版をガラス板から剥離させる状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which peels the flexible flat plate-shaped intaglio for R patterns from a glass plate in a cross section. Ｒ顔料インクによるＲパターンが形成されたガラス板を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which R pattern by R pigment ink was formed in a cross section. Ｒパターン用の可撓性平板状凹版の撥インキパターンを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the ink-repellent pattern of the flexible flat plate-shaped intaglio for R patterns. 撥インクパターンとブラックマトリクスのストライプ方向に沿った部分との重ね合わせ状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the overlapping state of the ink repellent pattern and the part along the stripe direction of a black matrix in a cross section. 撥インクパターンとブラックマトリクスのストライプ方向に直交する部分との重ね合わせ状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the overlapping state of the ink repellent pattern and the part orthogonal to the stripe direction of a black matrix in a cross section. Ｒパターンが形成されたガラス板を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which R pattern was formed. Ｇパターン用の可撓性平板状凹版を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the flexible flat intaglio for G patterns in a cross section. Ｇパターン用の可撓性平板状凹版にＧ顔料インクが施された状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state by which G pigment ink was given to the flexible flat plate-shaped intaglio for G patterns. Ｇパターン用の可撓性平板状凹版とガラス板とを相対させた状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the flexible flat plate-shaped intaglio for G patterns, and the glass plate face each other in a cross section. Ｇパターン用の可撓性平板状凹版をガラス板から剥離させる状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which peels the flexible flat plate-shaped intaglio for G patterns from a glass plate in a cross section. Ｒ、Ｇパターンが形成されたガラス板を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which R, G pattern was formed in a cross section. Ｇパターン用の可撓性平板状凹版の撥インキパターンを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the ink-repellent pattern of the flexible plate-shaped intaglio for G patterns. Ｒ、Ｇパターンが形成されたガラス板を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which R, G pattern was formed. Ｂパターン用の可撓性平板状凹版を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the flexible flat plate-shaped intaglio for B patterns in a cross section. Ｂパターン用の可撓性平板状凹版にＧ顔料インクが施された状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state by which G pigment ink was given to the flexible plate-shaped intaglio for B patterns. Ｂパターン用の可撓性平板状凹版とガラス板とを相対させた状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the flexible flat plate-shaped intaglio for B patterns, and the glass plate face each other in a cross section. Ｂパターン用の可撓性平板状凹版をガラス板から剥離させる状態を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which peels the flexible flat intaglio for B patterns from a glass plate in a cross section. Ｒ、Ｇ、Ｂパターンが形成されたガラス板を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which the R, G, B pattern was formed in a cross section. Ｂパターン用の可撓性平板状凹版の撥インキパターンを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the ink-repellent pattern of the flexible flat plate-shaped intaglio for B patterns. Ｒ、Ｇ、Ｂパターンが形成されたガラス板を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the glass plate in which R, G, and B pattern were formed. ＲＧＢ同時印刷用の可撓性平板状凹版における撥インクパターン例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the ink-repellent pattern in the flexible plate-shaped intaglio for RGB simultaneous printing.

符号の説明Explanation of symbols

１…製造装置
２…金属枠
４…インクジェット装置
１２…支持体（スクリーン）
１５…撥インクパターン
１６…ガラス板
１７…ブラックマトリクス
１８…Ｒ顔料インク
２１…Ｇ顔料インク
２２…Ｂ顔料インク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Manufacturing apparatus 2 ... Metal frame 4 ... Inkjet apparatus 12 ... Support body (screen)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Ink repellent pattern 16 ... Glass plate 17 ... Black matrix 18 ... R pigment ink 21 ... G pigment ink 22 ... B pigment ink

Claims

精細パターンにしてインクが施された可撓性の平板状凹版を被印刷基材に密着して、平板状凹版から前記インクを被印刷基材に転写して被印刷基材に精細パターンを形成するにあたり、前記平板状凹版と被印刷基材との熱膨張率の差を１．５×１０^-6／℃以内としたことを特徴とする精細パターンの形成方法。 A flexible flat intaglio with ink applied in a fine pattern is brought into close contact with the substrate to be printed, and the ink is transferred from the flat intaglio to the substrate to be printed to form a fine pattern on the substrate to be printed. In doing so, the method of forming a fine pattern is characterized in that the difference in coefficient of thermal expansion between the plate-like intaglio and the substrate to be printed is within 1.5 × 10 ⁻⁶ / ° C.

上記被印刷基材はガラス板である請求項１に記載の精細パターンの形成方法。 The fine pattern forming method according to claim 1, wherein the substrate to be printed is a glass plate.

上記平板状凹版はガラス板である請求項１または２に記載の精細パターンの形成方法。 The method for forming a fine pattern according to claim 1, wherein the flat intaglio is a glass plate.

可撓性の平板状凹版にインキングするインキング手段と、
前記インキング手段によりインキングされた前記可撓性の平板状凹版を被印刷基材に密着する平板状凹版密着手段と、
前記可撓性の平板状凹版にインキングされたインクを前記被印刷基材に転写する転写手段と、
を有する精細パターン形成装置であって、
前記可撓性の平板状凹版と前記被印刷基材との熱膨張率の差が１．５×１０^-6／℃以内であることを特徴とする精細パターン形成装置。 Inking means for inking into a flexible flat intaglio,
A plate-like intaglio contact means for closely attaching the flexible plate-like intaglio inked by the inking means to a substrate to be printed;
Transfer means for transferring the ink inked on the flexible flat intaglio to the substrate to be printed;
A fine pattern forming apparatus comprising:
A fine pattern forming apparatus, wherein a difference in coefficient of thermal expansion between the flexible plate-shaped intaglio and the printing substrate is within 1.5 × 10 ⁻⁶ / ° C.

上記印刷基材はガラス板である請求項４に記載の精細パターン形成装置。 The fine pattern forming apparatus according to claim 4, wherein the printing substrate is a glass plate.

上記平板状凹版はガラス板である請求項４または５に記載の精細パターン形成装置。 6. The fine pattern forming apparatus according to claim 4, wherein the flat intaglio is a glass plate.