JP2005037189A - フレーム搬送プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング用テープ11に固定された多数の半導体チップ10の電気的特性検査を行うフレーム搬送プローバ1が、該テープからのチップの剥れ又は飛び出しを検出する剥離検出手段9を備えている。この剥離検出手段は、レーザ光Lを発光する発光部91、その受光部92及び受光量の増減によりチップの剥れ及び飛び出しを判定部93とを有している。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシング用テープに固定された多数の半導体チップの電気的な特性検査を行うフレーム搬送プローバに関し、詳しくはダイシング用テープからの半導体チップの剥れを検出可能なフレーム搬送プローバに関する。
【0002】
【従来の技術】
ウェハの表面には同一の電気素子回路が形成された多数の半導体デバイスが形成されており、この電気素子回路を個々の半導体デバイス(半導体チップ)として切断する前に、各電気素子回路の電気的特性を検査するために、プローバによってその良・不良を判定している。このプローバは、一般にウェハの各半導体デバイスに対応する触針を有し、テスタに接続されるプローブカードと、ウェハの各半導体デバイスとを順次対応させて、半導体デバイスの電極パッドに触針を接触させるようにして、電気的な測定を行うように構成されている。
【0003】
近年、電子機器、例えば、携帯電話、デジタルカメラ、携帯情報端末等の小型・軽量・薄型化を実現するために、半導体集積回路に対する実装技術は、チップ・サイズ・パッケージ(CSP)又はウェハレベル・チップ・サイズ・パッケージ(WCSP)の段階に入っている。このような、CSPは、半導体チップを積層して使用するものである。
このためウェハにおいても、100μm以下に薄化したウェハが要求されており、このように薄肉化したウェハでは、プローバによる電気的特性検査後のダイシング工程で個々の半導体チップに切断する過程において、不良がでる可能性が高くなる。また、出来るだけ半導体チップとしての製品の最終段階で電気的特性検査を行うことによって、実装製品の不良化率を少なくしたいという要望がある。
【0004】
そこで、従来より半導体チップの状態で電気的特性検査を行うことが、フレーム搬送プローバによって行われている。その場合、ダイシング工程での切断によって半導体チップが個々にばらばらになるのを防止するため、多数の半導体デバイスが形成されたウェハの電子素子回路が形成されていない面にダイシング用テープを貼付してから、ウェハをダイシングするようにしている。このダイシング用テープもウェハの形状と同様の円形状をしており、ウェハをダイシングした後に、ダイシング用テープを拡径するように引き延ばして、リング状の金属製フレームによってその引き延ばした状態で保持される。即ち、ダイシングされた個々の半導体チップの間隔(切れ目)が多少拡げられた状態でダイシング用テープ上に貼り付けられたまま保持される。このような状態でフレームによって搬送され、フレーム搬送プローバのステージ上に保持された状態で個々の半導体チップの電気的特性検査が行われている。
【0005】
しかしながら、上述した従来の方法では、時として半導体チップがダイシング用テープから剥れかかっている場合がある。この状態で電気的特性検査の測定を開始すると、剥れかかっている半導体チップがフレーム搬送プローバのプローブカード針に接触して、針やチップを破損したり、半導体チップを位置決めするためのアライメント実行時にアライメントカメラにぶつかり、アライメントカメラやチップを破損するといった問題が生じていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体チップのダイシング用テープからの剥れ及び飛び出しを事前に検出して、半導体チップ、プローブカード針及びアライメントカメラ等の破損を防止することができるフレーム搬送プローバを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載のフレーム搬送プローバを提供する。
請求項1に記載のフレーム搬送プローバは、ダイシング用テープからの半導体チップの剥れ及び高さ方向の飛び出しを検出する剥離検出手段を備えるようにしたものであり、これにより、剥れかかっていたり、飛び出したりしている半導体チップを事前に取り除くことができ、これらのチップとの接触によるプローブカード針、アライメントカメラ及び半導体チップ等の破損を防止することができる。
【0008】
請求項2のフレーム搬送プローバは、剥離検出手段が、発光部、受光部及び判定部とを有していて、発光部からのレーザ光を受光部で受光し、その受光量の増減で半導体チップの剥れや飛び出しを判定するようにしたものである。
請求項3のフレーム搬送プローバは、剥離検出手段が、発信部、受信部及び判定部とを有していて、発信部からの超音波を受信部で受信し、その受信量の増減で半導体チップの剥れや飛び出しを判定するようにしたものであり、レーザ光を使用した場合と同様の効果を奏する。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態のフレーム搬送プローバについて説明する。通常のプローバとフレーム搬送プローバとは、先に述べたように、プローバがウェハ上に形成された半導体デバイスの電気特性検査を行うものであるのに対し、フレーム搬送プローバが、ウェハから個々にダイシングされた半導体チップの電気特性検査を行うものである点が異なるだけで、プローバとしての機構は、同様の機構を有するものである。図1は、本発明のフレーム搬送プローバの概略の全体構成を示す図である。図2は、本発明の特徴である剥離検出手段を説明する図である。
【0010】
フレーム搬送プローバ1は、通常のプローバと同様に、ステージ2、ステージ駆動用モータ3、触針41が設けられたプローブカード4、テスタ5、アライメント光学装置6、ステージ側のCCDカメラ7及び制御部8等より構成されると共に、剥離検出手段9を有している。
ウェハからダイシングされた個々の半導体チップ10は、ダイシング用フィルム11上に貼着された状態でリング状のフレーム12によって保持され、この状態で搬送される。この状態の半導体チップ10を形成するのは、先に述べたように、電気素子回路の形成されていないウェハの裏面にダイシング用テープ11を貼着し、ウェハをダイシングする。このダイシングによって個々の半導体チップ10に切断されたままダイシング用テープ11に貼り付けられた状態となる。次いで、ダイシング用テープ11を径方向に等しく引き延ばして、この引き延ばした状態のままリング状のフレーム12によって保持される。こうして、この状態で半導体チップ10がフレーム12で搬送される。
【0011】
半導体チップ10は、フレーム12ごとステージ2の上部のチャック部21に載置され、保持される。ステージ2は制御部8によって制御されるステージ駆動用モータ3によって、X,Y,Z方向及びZ軸を中心とするθ回転方向に移動可能に構成され、ステージ2のチャック部21に保持された半導体チップ10を3次元的に移動することができる。
【0012】
半導体チップ10の表面には、多数の電極パッド(図示せず)が形成されており、プローブカード4には、半導体チップ10の電極パッドに対応する触針41が設けられている。従ってテスタ5に接続されているプローブカード4の触針41を半導体チップ10の電極パッドに接触させることにより、半導体チップ10の電気的特性を検査することができる。なお、複数の半導体チップ10を一度に検査する場合は、プローブカード4にはそれらの電極パッドの数に対応した数の触針41が設けられる。
【0013】
なお、本発明のフレーム搬送プローバ1においても、通常のプローバと同様にプローブカード4の触針41と半導体チップ10の電極パッドとの位置合わせを行う、アライメントカメラをしたアライメント光学装置6を備えている。即ち、ステージ2には、触針41を下方から撮像して針の先端位置を検出するCCDカメラ7が取り付けられており、ステージ2を移動してCCDカメラ7を動かし、その焦点を合わせながら触針41の先端の位置を測定し、その結果を制御部8に入力するようにしている。またアライメント光学装置6は、半導体チップ10のパターンを認識して制御部8に入力している。このようにして、制御部8ではアライメント光学装置6で得られた情報とステージ2のCCDカメラ7で得られた触針41の先端の位置情報とに基づき、公知の画像処理技術を用いて、触針41の先端と半導体チップ10の電極パッドとの位置合わせを自動で行うことができる。
【0014】
更に本発明のフレーム搬送プローバ1には、本発明の特徴であるダイシング用テープ11からの半導体チップ10の剥れ又は飛び出しを検出する剥離検出手段9が設けられている。剥離検出手段9は、レーザ光Lを発光する発光部91と、この発光部91からのレーザ光Lを受光する受光部92と、この受光部92で受光されたレーザ光Lの受光量の増減によって半導体チップ10の剥れ又は飛び出しを判定する判定部93及びアンプ部94とから構成されている。発光部91で発光されたレーザ光Lは、レンズ95によって平行光線に変えられ、半導体チップ10上を受光部92に向って進む。半導体チップ10aがダイシング用テープ11から剥れて一部が浮いた状態にあるとき、一部のレーザ光Lはこの半導体チップ10aにより遮られ、受光部92に達しない。このように、レーザ光Lを半導体チップ10の上方で発光させ、例えば、ステージ2をZ軸方向に移動させることにより、徐々に半導体チップ10の上面に近づけて行き、受光部92での受光量の増減でY軸に平行な列内での半導体チップ10aのダイシング用テープ11からの剥れ又は飛び出しを検出することができる。
【0015】
この場合、図3に示すように、ステージ2をY軸方向に走査することによって、Y軸に平行な全ての列内での半導体チップ10の剥れ又は飛び出しの存否を検出することができる。XY座標軸上での個々の半導体チップ10の剥れ又は飛び出しの存否を正確に検出する場合は、図3に示すように、90°位相をずらして配置した、もう一対の発光部・受光部を設け、ステージ2をX軸方向に走査することによって、X軸に平行な列内での半導体チップ10の剥れ又は飛び出しを検出することができる。このようにして、XY座標軸での特定の半導体チップ10の剥れ又は飛び出しを特定できる。
【0016】
なお、ステージ2を90°回転させることによって、一対の発光部・受光部でも、XY座標軸上で、半導体チップ10の不具合を特定することも可能である。また、上記実施形態では、ステージ2側を走査させ、発光部91及び受光部92側を固定していたが、ステージ2側を固定し、発光部・受光部側を走査させるようにしてもよい。
【0017】
このようにして、判定部93で不具合として判定された半導体チップ10は、手動又は自動で取り除かれるか、又はこの不具合の半導体チップ10を避けるようにして、電気的特性検査が行われる。このようにして、剥れ又は飛び出した半導体チップとプローブカード針又はアライメントカメラ等との接触を避けることができ、これらの破損を防止することができる。
【0018】
なお、上述の実施形態では、レーザ光Lを使用することで半導体チップ10のダイシング用テープ11からの剥れ又は飛び出しを検出しているが、レーザ光Lに代えて超音波を利用するようにしてもよい。当然この場合には、レーザ光の発光部91に代えて超音波の発信部が、レーザ光の受光部に代えて超音波の受信部が使用される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のフレーム搬送プローバの概略の全体構成を示す図である。
【図2】本発明のフレーム搬送プローバの剥離検出手段を説明する図である。
【図3】本発明のフレーム搬送プローバの剥離検出手段の配置平面図である。
Claims (3)
- ダイシング用テープに固定された、ダイシング済みの多数の半導体チップの電気的特性検査を行うフレーム搬送プローバにおいて、このフレーム搬送プローバが、
前記ダイシング用テープからの半導体チップの剥れ及び高さ方向の飛び出しを検出する剥離検出手段を備えていることを特徴とするフレーム搬送プローバ。 - 前記剥離検出手段が、レーザ光を発光する発光部と、前記発光部からのレーザ光を受光する受光部と、前記受光部での受光量の増減で半導体チップの剥れ及び飛び出しを判定する判定部とを有していることを特徴とする請求項1に記載のフレーム搬送プローバ。
- 前記剥離検出手段が、超音波を発信する発信部と、前記発信部からの超音波を受信する受信部と、前記受信部での受信量の増減で半導体チップの剥れ及び飛び出しを判定する判定部とを有していることを特徴とする請求項1に記載のフレーム搬送プローバ。
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