JP2005026315A - 露光装置、露光方法、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハに所定のパターンで光を照射して露光を行なう露光装置は、ウェーハを載置するためのステージ2と、ステージ2上に載置されたウェーハに対して光を照射する光照射部6とを有する。ステージ2は移動機構8により移動可能である。移動機構8の動作は制御部10により制御される。制御部10は、露光装置の調整を行なった際に、光照射部6に対するステージ2の相対的位置ずれを補正するためのアライメント補正量を計算により求め、算出したアライメント補正量に基づいてステージ2の位置を制御しながら露光処理を行なう。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置に係り、より詳細には、半導体基板に露光処理を施す露光装置及び露光方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子のような半導体製品や液晶表示装置等の製造工程では、一般的にフォトリソグラフィ装置を用いて回路パターンを形成する。フォトリソグラフィ装置は、基板にフォトレジストを塗布するコーターと、フォトレジストを所定のパターンで露光して現像する露光装置とを有する。
【0003】
露光装置は、ウェーハステージ上に載置された基板上のフォトレジストにレチクル又はマスクを介して光を照射し、フォトレジストに所定のパターンを焼き付けるための装置である。
【0004】
図1は露光装置の概略構成を示す図である。図1に示すように、基板(ウェーハWF)はウェーハステージ2上に載置され、ステージ2の上方から所定のパターンの光がレチクル4を含む光照射部6から照射される。ウェーハ上に位置精度高く光を照射するためには、レチクル4を介して照射される光の露光位置とウェーハWFの位置とを精度よく合わせることが必要である。この位置合わせをアライメントと称する。
【0005】
通常、アライメントはウェーハステージ2を微細に移動及び回転することにより行なわれる。したがって、ウェーハステージ2は水平/垂直移動機構及び水平回転機構(XYZθ移動機構及びチルト機構)8を有しており、移動機構8及び露光焼付け倍率のずれ補正量をレンズの垂直移動による補正を含め一連の動作は露光装置に設けられた制御部10により制御される。したがって、アライメントは制御部10が移動機構8の動作を制御することにより行なわれる。
【0006】
なお、図1において、Bスコープ及びCスコープを用いてウェーハステージ2上の規準マーク2aを検出することにより、ウェーハステージ2と光照射部6との位置決めの規準となるベースラインが設定される。図1では、装置の修理や調整により、調整前のベースラインaがbに移動したことが示されており、また、調整によりウェーハWFの位置が矢印cだけ移動したことが示されている。
【0007】
アライメントを高精度に行いかつ連続したウェーハの処理において精度を維持するために、露光装置にアライメントの補正値を入力する。アライメントの補正値として、一般的に以下の項目がある。
【0008】
▲1▼ アライメントオフセット(alignment offset)
ステージのX及びY方向のずれ補正量
▲2▼ チップ倍率(chip magnification)
露光焼付け倍率のずれ補正量
▲3▼ チップ回転(chip rotation)
ステージの回転方向のずれ補正量
▲4▼ ウェーハスケーリング(wafer scaling)
ウェーハのX及びY方向の変形補正量
▲5▼ ウェーハ回転(wafer rotation)
ウェーハの回転方向の変形補正量
従来は、パイロット用のウェーハを用いて予め決められたアライメント補正量で露光を開始し、パイロット用のウェーハでアライメント補正を行なっていた。すなわち、1ロットのウェーハの最初の一枚についてアライメント補正を行い、露光位置が所定の範囲になった後でその1ロット分のウェーハの露光処理を開始する。このように、パイロット用のウェーハによるアライメント調整をパイロット処理と称する。
【0009】
その後、同様に例えば5ロット分のウェーハを露光処理し、5ロットで測定された値(上述のアライメント補正量)の平均値を6ロット目にフィードバックしてずれの調整(アライメント)を自動的に行なう。また、7ロット目以降は、直前の5ロット分の測定値の平均値を順次フィードバックする。したがって、複数のロットを連続的に処理する場合は、各ロットの処理の最初にパイロット処理を行なう必要はない。
【0010】
【特許文献1】
特開平9−82597号公報
【0011】
【特許文献2】
特開2000−100720号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のようにアライメント調整を行いながら多数のロットを連続して処理していくと、装置の経時変化等により、アライメントの規準となる値が最初のロットから大きく変化することがある。この規準となる値が大きく変化している状態において、例えば装置に不具合が生じたために装置を修理したような場合、それまで用いてきたアライメントの基準値が変わってしまうような調整が行なわれることがある。
【0013】
従来、装置の調整後に処理を再開する際、調整後のアライメント補正値を、調整直前の処理における値に設定し、最初のロットと同様にパイロット処理を行なってアライメント調整を行なっていた。
【0014】
図2は装置の調整前後の処理の流れを示すフローチャートである。図2に示す例では、最初に装置に処理条件を入力してから1ロット目の処理を行い(ステップS1,S2)、3ロット目の処理が終了した時点で装置に何らかの不具合あるいは異常が発生したため、装置を調整している(ステップS3〜S5)。したがって、装置の調整が終了した後、パイロット処理を行い(ステップS6,S7)、ウェーハと露光位置との間の位置ずれを補正している。すなわち、位置ずれの補正において、まずパイロットウェーハを用いた露光を行い(ステップS6)、位置ずれを検出してその分の補正を行なう(ステップS7)。位置ずれ量の測定値が所定の範囲に収まるまで、この処理を繰り返し行なう。位置ずれ量が所定の範囲となったときのアライメント補正量をその品種のウェーハの処理条件として設定し(ステップS8)、次のロット(4ロット目)の処理を再開する(ステップS9)。上述のような処理条件の再設定は、ウェーハの品種毎に行なう必要があり、また、同じ品種であっても各層毎に行なう必要がある。
【0015】
このように、装置の修理や調整が行なわれる毎に、毎回パイロット処理を行なう必要があり、パイロット処理に費やす時間だけ露光処理の再開が遅れてしまうという問題があった。
【0016】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、修理や調整後であってもパイロット処理を行なわずに露光処理を再開することのできる露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明によれば、基板に所定のパターンで光を照射して露光を行なう露光装置であって、基板を載置するステージと、該ステージ上に載置された基板に対して光を照射する光照射部と、前記ステージを移動するための移動機構と、該移動機構の動作を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記露光装置の調整を行なった際に、前記光照射部に対する前記ステージの相対的位置ずれを補正するためのアライメント補正量を計算により算出し、算出したアライメント補正量に基づいて前記ステージの位置を制御する制御手段を有することを特徴とする露光装置が提供される。
【0018】
上述の発明において、前記制御手段は、前記露光装置の調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出することが好ましい。また、前記アライメント補正量は、基板の水平方向位置の補正量、基板の回転方向位置の補正量、及びレンズの垂直方向位置の補正量を含むことが好ましい。
【0019】
また、本発明によれば、基板に所定のパターンで光を照射して露光を行なう露光装置を用いた露光方法であって、前記露光装置の調整を行なった際に、調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出し、算出したアライメント補正量に基づいて基板の位置ずれを補正しながら露光処理を行なうことを特徴とする露光方法が提供される。
【0020】
さらに、本発明によれば、基板に所定のパターンで光を照射する露光処理を露光装置に行なわせるためのプログラムであって、前記露光装置の調整を行なった際に、調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出し、算出したアライメント補正量に基づいて基板の位置ずれを補正しながら露光処理を行なわせることを記述したこと特徴とするプログラムが提供される。
上述の本発明によれば、露光装置を調整した際に、アライメント補正量を計算により求め、計算で求めたアライメント補正量に基づいて調整後の露光装置により露光処理を行なう。これにより、露光装置の調整後にパイロット処理によりアライメント補正量を再度設定する必要がなくなる。したがって、パイロット処理に要する時間や労力を低減することができ、装置稼動率を向上させることができる。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【0021】
本発明の実施の形態では、図1に示すような露光装置に調整を行なった後で処理を再開する際に用いるアライメント補正値として、調整前の補正値を用いずに、調整後の補正値を計算により求める。すなわち、調整前の補正値を用いてパイロット処理を行い調整後の適切な補正値を求める代わりに、調整時に変更した値を調整直前の補正値に反映して、調整後の補正値を計算により求める。
【0022】
本実施の形態では、調整後の補正値を計算により求めるために必要な項目をパラメータとして以下のように定義する。
【0023】
A=調整直前のベースラインの値(μm)
B=調整直後のベースラインの値(μm)
C=調整時のオーバーレイ補正量(μm)
D=調整直前の処理における補正量(μm)
E=調整直前のチップ倍率の値(ppm)
F=調整直前のチップ回転の値(ppm)
G=調整時のチップ回転補正量(ppm)
H=調整時のチップ倍率補正量(ppm)
以上のパラメータを用いて、調整後のオフセット補正量、チップ倍率補正量、チップ回転補正量を以下の式で求める。
【0024】
(1)調整後のオフセット補正量=((B−A)−C)+D)
(B−A)は調整により変化したベースラインの変化量であり、これから調整時に入れたオーバーレイ補正量を引くことにより、調整の際に変化したオフセット補正量が得られる。これに調整直前の処理における補正量Dを加えることで、調整後のオフセット補正量を求める。オフセット補正量はX方向及びY方向についてそれぞれ別個に算出する。
【0025】
(2)調整後のチップ倍率=E+(−G)
Eは調整中に入れた補正値であり、調整直前の補正値Gに加えることにより調整後のチップ倍率補正量を算出する。尚、この補正量は、レンズの垂直方向位置に対しても配分されて補正精度が向上する。
【0026】
(3)調整後のチップ回転=F+H
Fは調整中に入れた補正値であり、調整直前の補正値Hに加えることにより調整後のチップ回転補正量を算出する。
【0027】
本実施の形態では、上述の計算により求めた補正量を用いて、装置調整後の処理を再開する。すなわち、装置調整後にパイロット処理を行なうことなく、計算により求めた補正量を装置に入力して直ちに処理を再開する。
【0028】
図3は本実施の形態における露光装置の調整前後の処理の流れを示すフローチャートである。図3に示す例では、最初に装置に処理条件を入力し(ステップS1)、1ロット目の処理を行う(ステップS2)。その後、2ロット目の処理を行い(ステップS3)、続いて3ロット目の処理を行なう(ステップS4)。3ロット目の処理が終了した時点で装置に何らかの不具合あるいは異常が発生したため、装置を調整する(ステップS5)。
【0029】
ここで、従来は処理を再開するためにパイロット処理を行なっていたが、本実施の形態では、装置の調整が終了した時点で上述の計算式に基づいて処理条件(すなわちアライメント補正量)を算出し(ステップS10)、算出したアライメント補正値を装置に入力する(ステップS11)。そして、算出したアライメント補正値を用いて次のロットすなわち4ロット目の処理を行なう(ステップS12)。
【0030】
以上のように、本実施の形態による半導体製造方法では、露光装置の調整を行なった後に、パイロット処理を行なう必要はなく、計算により求めたアライメント補正値を用いて直ちに処理を再開することができる。
【0031】
アライメント補正値を算出してそれに基づいて処理を行なう方法は、半導体露光装置の制御部にプログラムとして組み込んでおくことにより実現できる。このプログラムは、例えば補正量を基板の水平方向位置、基板の回転方向位置、及びレンズの垂直方向位置に対して配分の割合を決定することができる。また、このプログラムは、装置の調整時に変化したパラメータを装置の制御部に取得させ、自動的に調整後のアライメント補正量を算出することとしてもよい。
【0032】
【実施例】
以上の方法により複数の製品A(ロット1)〜製品J(ロット10)までの半導体ウェーハの露光処理を行なった。
【0033】
図4は製品A(ロット1)〜製品J(ロット10)の露光処理に用いられたアライメント補正量を示す図である。ここで、製品D(ロット4)の処理と製品E(ロット5)の処理の間において、露光装置の調整を行なっており、製品E(ロット5)以降のアライメント補正量は、A(ロット1)〜製品D(ロット4)までのアライメント補正量とは異なる値となっている。すなわち、製品E(ロット5)以降のアライメント補正量は計算により求めた値に基づいて設定される。
【0034】
ここで、露光装置の調整を行なった際にベースラインを移動した量(B−A)は、X方向に−0.01μm、Y方向に0.04μmであった。また、ウェーハのオーバーレイは変わらなかったため、調整時のオーバーレイ補正量C=0であった。また、調整直前の処理におけるオフセット補正量Dは、X方向に0.1μm、Y方向に−0.04μmであった。
【0035】
以上の値を基に調整後のオフセット補正値を算出すると、X方向のオフセット補正値は、((B−A)−C)+D)=(−0.01−0)+(0.1)=0.009μmとなる。また、X方向のオフセット補正値は、((B−A)−C)+D)=(0.04−0)+(―0.004)=0となる。
【0036】
また、装置の調整時に変化させたチップ倍率G=0.5ppmであり、チップ回転H=1ppmであった。また、図4から分かるように、調整直前のチップ倍率補正量E=1.6ppmであり、調整直前のチップ回転補正量F=0.3ppmであった。
【0037】
以上の値を基に調整後のチップ倍率補正値及びチップ回転補正値を算出すると、チップ倍率補正値はE+(−G)=1.6+(−0.5)=0.8ppmとなり、チップ回転補正値はF+H=0.3+1=1.3ppmとなる。
【0038】
なお、図5(a)は調整前の製品A〜製品Dに用いられたオフセット補正量を示すグラフであり、図5(b)は調整後の製品E〜製品Jに用いられたオフセット補正量を示すグラフである。また、図6(a)は調整前の製品A〜製品Dに用いられたチップ倍率補正量及びチップ回転補正量を示すグラフであり、図6(b)は調整後の製品E〜製品Jに用いられたチップ倍率補正量及びチップ回転補正量を示すグラフである。
【0039】
ここで、図4に示すアライメント補正量に基づいて処理を行なった場合に、各製品(ロット)でのアライメンのずれ(ウェーハの位置ずれ)がどの程度であるかを調べた結果を図7に示す。すなわち、図7は、各製品のアライメントのずれ量を測定し、各製品におけるオフセットの最大値及び最小値、チップ倍率の平均値、チップ回転の平均値を求めた結果を示している。また、図8及び図9は図7に示す値を示すグラフである。
【0040】
図8(a)は調整前におけるX及びY方向のオフセットのずれ(位置ずれ)を示すグラフであり、図8(b)は調整後におけるX及びY方向のオフセットのずれ(位置ずれ)を示すグラフである。図8(a)と図8(b)とを比較すると分かるように、調整前と後とにおいて、XY両方向ともオフセットのずれ量にほとんど変化はみられず、計算により求めた調整後のオフセット補正値は適切な値であったことがわかる。
【0041】
また、図9(a)は調整前におけるチップ倍率及びチップ回転を示すグラフであり、図9(b)は調整後におけるチップ倍率及びチップ回転を示すグラフである。図9(a)と図9(b)とを比較すると分かるように、調整前と後とにおいて、チップ倍率及びチップ回転の値にほとんど変化はみられず、計算により求めた調整後のチップ倍率補正値及びチップ回転補正値は適切な値であったことがわかる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、計算で求めたアライメント補正量に基づいて調整後の露光装置により露光処理を行なうので、調整後にパイロット処理によりアライメント補正量を再度設定する必要がなく、装置稼動率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】露光装置の概略構成を示す図である。
【図2】露光装置の調整前後の処理の流れを示すフローチャートである。
【図3】本発明が適用された露光装置の調整前後の処理の流れを示すフローチャートである。
【図4】製品A〜製品Jの露光処理に用いられたアライメント補正量を示す図である。
【図5】露光装置の調整前後において、製品A〜製品Jに用いられたオフセット補正量を示すグラフである。
【図6】露光装置の調整前後において、製品A〜製品Jに用いられたチップ倍率補正量及びチップ回転補正量を示すグラフである。
【図7】図4に示すアライメント補正量に基づいて処理を行なった場合に、各製品でのアライメンのずれ(ウェーハの位置ずれ)を調べた結果を示す図である。
【図8】露光装置の調整前後におけるオフセットのずれを示すグラフである。
【図9】露光装置の調整前後におけるチップ倍率及びチップ回転を示すグラフである。
【符号の説明】
2 ウェーハステージ
4 レチクル
6 光照射部
8 ステージ移動機構
10 制御部
Claims (5)
- 基板に露光を行なう露光装置であって
基板を載置するステージと、
該ステージ上に載置された基板に対して光を照射する光照射部と、
前記ステージを移動するための移動機構と、
該移動機構の動作を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、前記露光装置の調整を行なった際に、前記光照射部に対する前記ステージの相対的位置ずれを補正するためのアライメント補正量を計算により算出し、算出したアライメント補正量に基づいて前記ステージの位置を制御する制御手段を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項1記載の露光装置であって、
前記制御手段は、前記露光装置の調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出することを特徴とする露光装置。 - 請求項2記載の露光装置であって、
前記アライメント補正量は、基板の水平方向位置の補正量、基板の回転方向位置の補正量、及びレンズの垂直方向位置の補正量を含むことを特徴とする露光装置。 - 基板に所定のパターンで光を照射して露光を行なう露光装置を用いた露光方法であって、
前記露光装置の調整を行なった際に、調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出し、
算出したアライメント補正量に基づいて基板の位置ずれを補正しながら露光処理を行なう
ことを特徴とする露光方法。 - 基板に所定のパターンで光を照射する露光処理を露光装置に行なわせるためのプログラムであって、
前記露光装置の調整を行なった際に、調整を行なう前のアライメント補正量と、調整を行なった際に変更したアライメント補正量とに基づいて、調整後のアライメント補正量を算出し、
算出したアライメント補正量に基づいて基板の位置ずれを補正しながら露光処理を行なわせる
ことを記述したこと特徴とするプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003187712A JP2005026315A (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 露光装置、露光方法、及びプログラム |
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Publications (1)
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JP (1) | JP2005026315A (ja) |
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