JP2004530243A - メモリセルの構造試験 - Google Patents

メモリセルの構造試験 Download PDF

Info

Publication number
JP2004530243A
JP2004530243A JP2002578510A JP2002578510A JP2004530243A JP 2004530243 A JP2004530243 A JP 2004530243A JP 2002578510 A JP2002578510 A JP 2002578510A JP 2002578510 A JP2002578510 A JP 2002578510A JP 2004530243 A JP2004530243 A JP 2004530243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bit line
coupled
bit lines
memory cells
voltage level
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP2002578510A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004530243A5 (ja
Inventor
トリップ,マイケル
マク,タク
スパイカ,マイケル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Intel Corp
Original Assignee
Intel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Intel Corp filed Critical Intel Corp
Publication of JP2004530243A publication Critical patent/JP2004530243A/ja
Publication of JP2004530243A5 publication Critical patent/JP2004530243A5/ja
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/02Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters
    • G11C29/028Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters with adaption or trimming of parameters
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/02Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/50Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/50Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
    • G11C2029/5004Voltage

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)

Abstract

第1及び第2のメモリセルを第1及び第2のビット線にそれぞれ結合し、前記第1及び第2のビット線を介して前記第1及び第2のメモリセルからデータを読み込み、前記第1及び第2のビット線の電圧レベルを比較することを含むメモリセルを試験するための装置及び方法。

Description

【技術分野】
【0001】
本発明は、従来の機能試験で可能であった以上にメモリアレイ試験を迅速化する構造的試験手法の利用に関する。
【背景技術】
【0002】
多くの電子デバイスに通常使用されるメモリアレイが、益々密集してパッケージ化されるにつれ、試験は急激に複雑になり、そのため個々のセル及び他のメモリアレイ部品を完全に試験するのに時間を要するようになった。その結果、製造時の試験工程は完了するまで長くかかるようになり、発見された不良をデバッグするための作業時間も長くなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
当該技術分野における一般的な方法では、メモリアレイ内のメモリセルに対して、種々の値の組み合わせを書き込み及びメモリから読み出す機能試験を採用している。しかしながら、メモリアレイ内のメモリセルの行及び列のサイズが両方とも増大し続けており、メモリセルを適切に試験するために要求される書き込み及び読み出し動作の数が急激に増大し、これにより、このような試験を実施するために必要な時間量においても急激な増加を引き起こしている。これは、部品の製造スループットと試験適用範囲の完全性との間のトレードオフの増加に関連する問題を促進することになり、不良のメモリアレイが消費者に渡る危険性が増大する。
【0004】
また、このような機能的試験は不良の原因を追跡するために必要な情報の多くを提供しない。セルが最後に書き込まれたもの以外の値を返したことを検出したとき、その検査の結果は、アドレスデコーダの不良か、データラッチの不良か、データラインの不良か、メモリセルの不良か、あるいはドライバの不良であるかについての表示を提供しない。従って、後続の製造を改善することができるように、及びメモリアレイのサイズが増大し続けるに伴って、これらの追加の試験を行うために必要とされる時間も増大する、メモリアレイ内の不良を分離するための別の試験が必要である。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明は、一般に利用可能なDRAM及びSRAM ICの場合のように、ダイナミックにかつランダムにアクセス可能な、行及び列で編成されたメモリセルのアレイが存在するメモリアレイに関する。しかしながら、当業者には理解されるように、本発明は、限定ではないが、消去可能なROM IC、プログラマブル・ロジックデバイス、及びマイクロプロセッサ内のアレイに編成される構成要素を含む、他の回路のアレイにも適用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0006】
本発明の目的、特徴、及び利点は、以下の詳細な説明によって当業者には理解されるであろう。
説明の目的のための以下の詳細な説明において、本発明を完全に理解するために多くの詳細が記載される。しかしながら、本発明を実施するためにこれらの具体的な詳細が必要でないことは当業者には明らかであろう。
【0007】
図1は本発明の一実施形態のブロック図である。メモリアレイ100は、上半部分110、下半部分112、複数のワード線(ワード線130と132を含む)を介して上半部分110と下半部分112の両方に接続されたアドレスデコーダ120、コンパレータ回路140、及びラッチ142を含むように示されている。上半部分110及び下半部分112内には、ビット線170及び172にそれぞれ接続されたメモリセル160及び162がそれぞれある。ビット線170及び172は、次いでコンパレータ回路140の入力に接続され、該コンパレータ回路は次にラッチ142に接続される。本発明の説明を明確にするために、上半部分110にはメモリセル160とビット線170だけが示され、下半部分112にはメモリセル162とビット線172だけが示されている。しかしながら、当業者には良く知られているように、典型的なメモリアレイには多くのビット線があり、それぞれのビット線にはこれに接続された多くのメモリセルがある。
【0008】
メモリアレイ100の通常の動作の間、アドレスデコーダ120はメモリアドレスの部分をデコードし、アドレスデコーダ120を上半部分110と下半部分112とに接続するワード線の適切なものをオンにして、上半部分110と下半部分112内の適切なメモリセルにアクセスできるようにする。実行されているメモリの動作に応じて、上半部分110と下半部分112内のメモリセルに対し、メモリセルが接続されているビット線を介してデータが書き込まれ及び読み込まれる。例えば、両方のメモリセル160及び162に関連するメモリアドレスに対する書き込み動作の間、アドレスデコーダ120はメモリアドレスの部分をデコードし、ワード線130と132とをオンにして、ビット線170及び172を介してメモリセル160と162にアクセスできるようにする。
【0009】
本発明の一実施形態において、メモリセル160と162は、最初に各メモリセル160及び162にそれぞれビット線170及び172を介して同一のデータを書き込むことによって試験される。次に、ビット線170及び172は、それぞれVcc又はVssで表される高電圧状態又は低電圧状態にプリチャージされる。次いで、アドレスデコーダ120は、メモリセル160及び162に関連するメモリアドレスの部分をデコードする。次に、メモリセル160及び162は、該メモリセルのデータをビット線170及び172にそれぞれ出力する。コンパレータ回路140は、ビット線170及び172の電圧を連続して比較して、ビット線170と172の電圧が実質的に同じであるかどうかを示す信号を連続して発生させるシングル・コンパレータである。一実施形態において、ラッチ142は、試験中に1つ又はそれ以上の所定時間でトリガされて、ビット線170及び172上でそれぞれ高から低へのサンプル変化を示す波形例180及び182の進行中の時間例t1及びt2のような時間におけるコンパレータ回路140の出力状態を捕えることができる。別の実施形態において、ラッチ142は、ビット線170及び172上の電圧が実質的に異なることを示すコンパレータ回路140からの信号のどのような発生をもラッチして記憶する「スティッキーラッチ」として実現することができる。
【0010】
メモリアレイの通常の使用においてメモリセルを読み込むときに、ビット線を高電圧状態にプリチャージすることは一般的な方法である。従って、本発明の一実施形態において、メモリセルの試験は、メモリセルを読むときにビット線が高い状態にだけチャージされた状態で行われることになろう。しかしながら、通常用いられるメモリセルの設計によれば、プリチャージを高い状態にだけに制限すると、過度の漏れ又は他の条件に関して、メモリセルの回路の半分しか試験されない結果となる。従って本発明の別の実施形態では、ビット線が高い状態と低い状態の両方にプリチャージされた試験も含まれる。
【0011】
メモリセル160及び162を試験するためにコンパレータ回路140を使用することは、全く同一に設計されたビット線に接続された全く同一に設計されたメモリセルは、高い状態又は低い状態のいずれでも実質的に同じ割合で、これらのメモリセルに関連するビット線の電圧を駆動できなければならないという仮定に基づく。要するに、両方のビット線170及び172上で見られる波形(波形例180及び182のような)は実質的に同じに見えるべきである。また、コンパレータ回路のこのような使用は、メモリアレイ100のプロセス変動又は他の欠陥により、上半部分110と下半部分112の両方に対して同じ不良が生じることはほとんど無いという仮定に基づいており、そのため両方のメモリセル160と162が、ビット線170及び172上に見られる結果として生じたずれを有する波形が、実質的に同じに見えるようになる程同じ様態で欠陥があることになることは殆ど無い。換言すれば、粉塵や製造プロセスのエラーのような不純物は、上半部分110と下半部分112の両方に対して同様の影響を持たないことが想定され、その結果、本発明によって実行される試験では、上半部分110と下半部分112間の任意のメモリセルペア間に差が無いことを示すことになる。
【0012】
メモリアレイ100は、バッファ及び他の関連回路が中央に配置され、ビット線をより短くしてビット線に対してより望ましい電気特性を与えるように、当業者には周知の一般的な方法により上半部分110と下半部分112に分割されている。本発明は、この一般的な方法の利点を生かして同じ中央配置を使用し、隣接するビット線の電気特性を比較するコンパレータ140のような中央配置のコンパレータ回路を設ける。しかしながら、当業者には明らかなように、このメモリアレイ100の上半部分110と下半部分112への分割は、本発明の実施には必ずしも必要ではない。本発明は、多くの他のレイアウト又はメモリアレイを含む構成要素の配置を用いて実施することができる。
【0013】
図2は本発明の別の実施形態のブロック図である。メモリアレイ200は、実質的に図1のメモリアレイ100と同等であり、図2の参照符号2xxのアイテムは、図1の参照符号1xxのアイテムに相当するようになっている。メモリアレイ100に対応して、メモリアレイ200は、ワード線230によって上半部分210内でメモリセル260に結合され、ワード線232によって下半部分212内でメモリセル262に結合されたアドレスデコーダ220を備えている。
【0014】
しかしながら、1つのビット線だけに各々が接続されたメモリセル160及び162と違って、メモリセル260及び262は各々1組のビット線(ビット線270と274、及びビット線272と276にそれぞれ)に接続されている。一実施形態において、各ビット線の組は各メモリセルと共に使用され、1ビットのデータとその補数を各メモリセルに書き込み、かつ読み出す。この実施形態では、1ビットのデータとその補数を読み込むために、各組のビット線をセンスアンプ上の異なる入力の組に経路付けることは一般的な方法である。しかしながら、別の実施形態では、各メモリセルに対してデータを書き込み及びセルから読み出すことが2つ(又はそれ以上)の完全に独立した経路を提供するために、2本(又は1本)のビット線が使用される。この実施形態におけるビット線のこの使用は、マルチポートメモリ構成要素が多くはこの方法で実装される結果であることが多い。
【0015】
メモリセル260及び262の各々に接続されたビット線の組を有する目的に関係なく、図1のメモリアレイ100のビット線170及び172に相当する方法で、ビット線270及び272はコンパレータ回路240の入力に接続され、ビット線274及び276はコンパレータ回路244の入力に接続される。また図1に対応して、コンパレータ回路240と244はラッチ242と246に接続される。
【0016】
データ及びその補数を運ぶビット線の組を使用してメモリセルに書き込み及びセルから読み出す本発明の実施形態において、メモリセル260及び262は、最初に、ビット線270と272及びビット線272と276をそれぞれ介して、各メモリセル260及び262に同じデータを書き込むことによって試験される。次に、ビット線270〜276が、高い電圧状態か又は低い電圧状態のいずれかにプリチャージされる。次いで、アドレスデコーダ220は、メモリセル260及び262に関連するメモリアドレスの部分をデコードする。次に、メモリセル260及び262は、そのデータをビット線270と274、及びビット線272と276にそれぞれ出力する。コンパレータ回路240は、ビット線270と272の電圧を連続して比較して、ビット線270と272の電圧が実質的に同じであるかどうかを示す信号を連続して発生させるシングル・コンパレータである。コンパレータ回路244は、ビット線274及び276の電圧に関して同様のことを行う。一実施形態において、ラッチ242及び246は、試験中に1つ又はそれ以上の所定時間でトリガされて、これらの時間にコンパレータ回路240及び244の出力状態を捕えることができる。別の実施形態において、ラッチ242及び246はそれぞれ、これらに関連するビット線上の電圧が実質的に異なったことを示す、これらが接続されたコンパレータ回路からの信号のどのような発生をもラッチして記憶する「スティッキーラッチ」として実装することができる。
【0017】
更に、データ及びその補数を運ぶビット線の組を使用してメモリセルへ書き込み及びセルから読み出し、メモリセルからの読み出しにセンスアンプを使用する実施形態においては、そのセンスアンプを、メモリセルを試験するためのコンパレータ回路として使用されるコンパレータとして機能させるように構成することができる。これは、別々のビット線を必要に応じて選択的に接続し又は切り離すマルチプレクサを使用することによって達成することができ、これによりセンスアンプがこれら2つの機能のいずれか一方を実行することが可能となる。或いは、別の実施形態では、センスアンプとコンパレータは別個の構成要素のままであってもよい。
【0018】
メモリセルの各々に取り付けられたビット線のいずれかを使用して、メモリセルに個別に書き込み及びセルから読み出すことができる本発明の別の実施形態においては、マルチポートメモリの場合のように、メモリセルは上述とほぼ同じ方法で試験される。しかしながら、メモリ260及び262の書き込み機能に欠陥がないことを保証するために、各メモリ260及び262の試験は2回実行され、最初にビット線270及び272を使用してメモリセル260及び262にそれぞれ同じデータを書き込み、次に同様にビット線274及び276を使用して行われる。
【0019】
図3は本発明の更に別の実施形態のブロック図である。メモリアレイ300は図2のメモリアレイ200と実質的に同じであり、コンパレータ回路とこれに関連するラッチを除いて、図3の参照符号3xxのアイテムは図2の番号2xxのアイテムに相当するようになっている。メモリアレイ200に対応して、メモリアレイ300は、ワード線330によって上半部分310内でメモリセル360に結合され、ワード線332によって下半部分312内でメモリセル362に結合されたアドレスデコーダ320を備えている。同様にメモリアレイ200に対応して、メモリセル360はビット線370及び372に結合され、メモリセル362はビット線372及び376に結合される。
【0020】
図2に示された実施形態と違って、図3のコンパレータ回路は、それぞれ減算回路と1組のコンパレータから構成される。ビット線370及び372は減算回路390の入力に接続される。減算回路390は、ビット線372の一方の電圧レベルからビット線370の他方の電圧レベルを減算し、正又は負のいずれかの電圧出力とする減算の結果として生じる差を表す電圧を出力する。次に、この減算回路390の出力は、コンパレータ340及び341の各々2つの入力の一方に接続される。これに対して、ビット線374及び376は減算回路392の入力に接続され、減算回路392の出力はコンパレータ344及び345の各々2つの入力の一方に接続される。コンパレータ340及び344の各々の他方の入力は、高電圧レベル基準+vrefに接続され、コンパレータ341及び345の各々の他方の入力は、低電圧レベル基準−vrefに接続される。コンパレータ340、341、344、及び345はそれぞれ、ラッチ342、343、346、及び347の入力に接続される。
【0021】
メモリアレイ300のメモリセルが、1組のビット線を用いて書き込み及び読み出すようになっているか、又は各セルに接続された2つのビット線の各々が、個別に書き込み及び読み出すようになっているかに関係なく、メモリアレイ300のメモリセル360及び362の試験は、図2のメモリセル260及び262に関して上に記載された方法とほぼ同様に実行される。しかしながら、図3に示されるように各々が減算回路と1組のコンパレータからなる該コンパレータ回路の構成は、比較されている1組のビット線の電圧が互いに異なる程度を制御するより大きな能力をもたらす。より正確には、+vrefと−vrefとを調整することによって、コンパレータ340及び344をバイアスし、コンパレータ340又は344のいずれかが機能不良を示す信号を出力する前に、ビット線370及び372の電圧レベルを調整可能な程度まで異なるようにする。ビット線370と372間の電圧レベルの差が大きくなり+vrefを超える場合には、コンパレータ340はラッチ342に対して+vrefを超えたことを示す信号を出力し、ビット線370と372間の電圧レベルの差が小さくなり−vrefを下回る場合には、コンパレータ344はラッチ346に対して−vrefを下回ったことを示す信号を出力する。
【0022】
図4は本発明の一実施形態のフローチャートである。400からスタートし、410において、メモリアレイの1組のメモリセルに同じ値を書き込む。420において、この2つのメモリセルの各々から、対応するビット線の組をコンパレータ回路の入力に接続する。一実施形態において、ここでは各メモリセルが1つのビット線だけに接続されており、これは420において2つのビット線の各々をシングルコンパレータ回路の入力に接続することを意味する。或いは、各メモリセルを2つのビット線に接続する別の実施形態では、420において、1つのメモリセルからの各ビット線を、別のメモリセルからの対応するビット線と共にコンパレータ回路に接続する。
【0023】
430において、メモリセルの組の各々からこの同じ値を読み出し、コンパレータ回路に接続されたビット線の各対応する組を比較する。対応するビット線の組の間で電圧レベルが実質的に異なる場合には、次に460において故障が検出される。しかしながら、対応するビット線の組の間で電圧レベルに実質的な差がない場合には、メモリセルの組と、及びこれらが接続されたビット線とのこの試験は450において合格となる。
【0024】
図5は本発明の別の実施形態のフローチャートである。メモリアレイにおけるメモリセルの試験は500からスタートする。510において、メモリアレイの1組のメモリセルに同じ値を書き込み、520において、メモリセルの組の各メモリセルに結合された対応するビット線の組をコンパレータ回路の入力に接続する。次に530において、メモリセルの組から該同じ値を読み出し、対応するビット線の組の電圧レベルを比較する。540において、対応するビット線の組の電圧レベルに実質的な差が検出された場合、550において、実質的な差を検出したことをラッチする。しかしながら、このような実質的な差が540で検出されたかどうかに関係なく、560において、試験されるべきメモリセルがもう存在しない場合には、試験は終了する。さもなければ、510において、メモリセルのもう別の組に対して試験を繰り返す。
【0025】
一実施例として、図1と図5の両方を様々に参照すると、510において、ビット線170及び172をそれぞれ使用して同じ値をメモリセル160及び162に書き込む。520において、ビット線170及び172をコンパレータ回路140の入力に接続する。530において、ビット線170及び172をそれぞれ使用して、メモリセル160及び162の両方に書き込まれた同じデータをメモリセル160及び162から読み出し、コンパレータ回路140を使用してビット線170及び172の電圧レベルを比較する。コンパレータ回路140が、ビット線170及び172間の実質的な電圧差を検出すると、ラッチ142によってこの事実の表示をラッチする。560において更にメモリセルが試験され場合には、次に510において、別の同じ値の組を別のメモリセルの組に書き込む。或いは、同じデータを読み出す一方の試験では高電圧状態にプリチャージし、同じデータを読み出す他方の試験では低電圧状態にプリチャージするビット線170及び172を用いて、メモリセル160及び162に対して試験を繰り返すことができる。
【0026】
別の実施例として、図2と図5の両方を様々に参照すると、メモリセル260及び262をビット線の組を用いて書き込み及び読み出す場合、特にビット線270及び272をデータの書き込み及び読み出しに使用する場合には、ビット線274及び276をデータの補数の書き込み及び読み出しに使用する。510において、同じデータをメモリセル260及び262にそれぞれ書き込むためにビット線270及び272を使用して、同じ値をメモリセル260及び262に書き込み、一方ではビット線274及び276を使用して、メモリセル260及び262にそれぞれ同じ補数データを書き込む。520において、ビット線270及び272をコンパレータ回路240の入力に接続し、ビット線274及び276はコンパレータ回路244の入力に接続する。530において、メモリセル260から読み出すためにビット線270及び274を使用し、メモリセル262から読み出すためにビット線272及び276を使用して、メモリセル260及び262の両方に書き込まれた同じデータと補数とを読み出す。コンパレータ回路240がデータを読み出している間に、ビット線270と272との間に実質的な電圧差を検出すると、ラッチ242によってこの事実の表示をラッチする。これに対して、コンパレータ回路244がデータの補数を読み出している間に、ビット線274と276との間の実質的な電圧差を検出すると、ラッチ244によってこの事実の表示をラッチする。560において、更にメモリセルを試験する場合には、次に510において、別の同じ値の組を別のメモリセルの組に書き込む。或いは、一方の試験においては高い状態にプリチャージし、他方の試験においては低い状態にプリチャージするビット線270、272、274、及び276を用いて、メモリセル260及び262に対して試験を繰り返すことができる。
【0027】
図6は、本発明の更に別の実施形態のフローチャートである。ビット線の組を使用してメモリアレイのデータ及びその補数の両方のビットを書き込み及び読み出すメモリセルの試験は600からスタートする。610において、メモリアレイの1組のメモリセルに同じ値を書き込み、620において、メモリセルの組の各メモリセルに結合された、データ及び補数データの対応するビット線の組をコンパレータ回路の入力に接続する。次に630において、コンパレータ回路によって使用される電圧基準を設定する。640において、メモリセルの組から同じ値を読み出し、データ及びその補数の対応するビット線の組の電圧レベルを比較する。650において、対応するビット線の組の電圧レベルに実質的な差が検出された場合、660において、実質的な差を検出したことをラッチする。しかしながら、このような実質的な差が650において検出されたかどうかに関係なく、670において、試験されるべきメモリセルがもう存在しない場合には、試験は終了する。さもなければ、610において、メモリセルの別の組に対して試験を繰り返す。或いは、同じデータの読み出すの間に高いプリチャージと低いプリチャージの両方でビット線を試験することが望ましい場合には、試験を繰り返すことができる。
【0028】
実施例として、図3と図6の両方を様々に参照すると、セル360及び362をビット線の組を用いて書き込み及び読み出す場合、特にビット線370及び372をデータの書き込み及び読み出しに使用する場合には、ビット線374及び376をデータの補数の書き込み及び読み出しに使用する。610において、同じデータをメモリセル360及び362にそれぞれ書き込むために、ビット線370及び372を使用して、メモリセル360及び362に同じ値を書き込み、一方ではビット線374及び376を使用して、メモリセル360及び362にそれぞれ同じ補数データを書き込む。620において、ビット線370及び372を減算回路390の入力に接続し、該減算回路はコンパレータ340及び341と共にコンパレータ回路を構成する。これに対して、ビット線374及び376を減算回路392の入力に接続し、該減算回路はコンパレータ344及び345と共にコンパレータ回路を構成する。630において、コンパレータ340及び341の入力に結合された電圧基準+vrefと、コンパレータ344及び345の入力に結合された電圧基準−vrefを両方とも設定する。640において、以前にメモリセル360及び362に書き込まれた同じデータ及びそのデータの補数を、メモリセル360から読み出すためにビット線370及び374を用いて読み出し、メモリセル362から読み出すためにビット線372及び376を用いて読み出す。650において、対応するビット線370及び372、又はビット線374及び376の組の電圧レベルに実質的な差が検出された場合、660において、ラッチ342、343、346、又は347の適切な1つによって、この発生がラッチされる。
【0029】
より具体的には、減算回路390は、ビット線370の電圧をビット線372の電圧から減算し、結果として生じる差を表す電圧をコンパレータ340及び341の両方の入力に出力する。ビット線370及び372間の電圧レベルに差がある場合、減算器回路390の出力は、ビット線370又は372のいずれの電圧レベルが高いかによって、負又は正のいずれかである非ゼロ電圧レベルとなる。コンパレータ340は減算回路390からのこの出力を比較し、出力の電圧レベルが+vrefより高い場合、ラッチ342によってこのことの表示がラッチされる。同様に、コンパレータ341は減算回路390からの出力を比較し、出力の電圧レベルが−vrefより低い場合、ラッチ343によってこのことの表示がラッチされる。これに対して、減算回路392は、ビット線374及び376の電圧レベル間の差を表す出力をコンパレータ344及び345の入力に与え、次に、該コンパレータは、それぞれ+vref及び−vrefに対してこの出力を比較し、この出力レベルが+vrefよりも高いか、又は−vrefよりも低いかのを示す表示をそれぞれラッチ346及び347によってラッチする。
【0030】
670において、更にメモリセルを試験する場合には、次に610において、別の同じ値の組を別のメモリセルの組に書き込む。或いは、一方の試験においては高い状態にプリチャージし、他方の試験においては低い状態にプリチャージするビット線370、372、374、及び376を用いて、メモリセル360及び362に対して試験を繰り返すことができる。
【0031】
本発明を好適な実施形態に関連して説明してきた。前述の説明に照らして、種々の代替、変更、変形、及び使用が当業者には理解されるであろうことは明白である。本発明が電子デバイスの他の機能に支援されて実施することができることは当業者によって理解されるであろう。
【0032】
本発明の実施例の実施形態は、ひとつにはビット線によってアクセス可能なメモリアレイの内容で説明されている。しかしながら、本発明は広範な電子デバイス、マイクロエレクトロニクスデバイス、及びマイクロメカニカルデバイスに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明の一実施形態のブロック図である。
【図2】本発明の別の実施形態のブロック図である。
【図3】本発明の更に別の実施形態のブロック図である。
【図4】本発明の一実施形態のフローチャートである。
【図5】本発明の別の実施形態のフローチャートである。
【図6】本発明の更に別の実施形態のフローチャートである。

Claims (18)

  1. 第1のビット線に結合された第1のメモリセルと、
    第2のビット線に結合された第2のメモリセルと、
    前記第1及び第2のメモリセルに結合され、該第1及び第2のメモリセルへのアクセスを可能にするアドレスデコーダと、
    前記第1及び第2のビット線に結合され、前記第1のビット線上の前記第1のメモリセルから及び前記第2のビット線上の前記第2のメモリセルからデータが出力されたときに、前記第1のビット線の電圧レベルを前記第2のビット線の電圧レベルと比較するコンパレータ回路と、
    を備える装置。
  2. 前記アドレスデコーダがメモリアドレスの部分をデコードすることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 前記第1及び第2のメモリセルがダイナミックRAMのメモリセルであることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  4. 前記第1及び第2のメモリセルがスタティックRAMのメモリセルであることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  5. 前記コンパレータ回路が前記第1のビット線に結合された第1の入力と、前記第2のビット線に結合された第2の入力とを備えたシングルコンパレータからなることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  6. 前記コンパレータの出力は、前記第1のビット線の電圧レベルが前記第2のビット線の電圧レベルと実質的に異なることを示す表示を記憶するようにラッチに結合されていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
  7. 前記ラッチのトリガされる時間が調整可能であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
  8. 前記第1のビット線の電圧レベルが前記第2のビット線の電圧レベルと実質的に異なることを示す表示が生じる時は何時でも、該表示をラッチするようにトリガされるスティッキーラッチであることを特徴とする請求項6に記載の装置。
  9. 前記コンパレータ回路が、
    前記第1のビット線に結合された第1の入力と前記第2のビット線に結合された第2の入力とを有する減算回路と、
    前記減算回路の出力に結合された第1のコンパレータと、
    前記減算回路の出力に結合された第2のコンパレータと
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
  10. 前記第1のコンパレータの出力が、前記第1のビット線と前記第2のビット線の間の電圧レベルの差が第1の基準電圧を超えることを示す表示を記憶するように第1のラッチに結合され、
    前記第2のコンパレータの出力が、前記第1のビット線と前記第2のビット線の間の電圧レベルの差が第2の基準電圧を下回ることを示す表示を記憶するように第2のラッチに結合される
    ことを特徴とする請求項9に記載の装置。
  11. 前記第1及び第2の基準電圧が調整可能であることを特徴とする請求項10に記載の装置。
  12. 前記第1及び第2のラッチのトリガされる時間が調整可能であることを特徴とする請求項10に記載の装置。
  13. 前記第1及び第2のラッチが、スティッキーラッチであり、その結果、前記第1のラッチは、前記第1及び第2のビット線間の電圧レベルの差が前記第1の基準電圧を超えたことを示すあらゆる表示もラッチし、前記第2のラッチは、前記第1及び第2のビット線間の電圧レベルの差が前記第2の基準電圧を下回ったことを示すあらゆる表示をもラッチすることを特徴とする請求項10に記載の装置。
  14. 第1及び第2のメモリセルに同じ値を書き込み、
    第1のメモリセルを第1のビット線に結合し、
    第2のメモリセルを第2のビット線に結合し、
    前記第1及び第2のビット線をコンパレータ回路の入力に結合し、
    前記第1のビット線を介して前記第1のメモリセルから、及び前記第2のビット線を介して前記第2のメモリセルから同じ値を読み出し、
    前記第1及び第2のビット線の電圧レベルを比較する
    ことを含む方法。
  15. 前記第1のビット線の電圧レベルが前記第2のビット線の電圧レベルと実質的に異なることを示す、前記コンパレータ回路からの表示をラッチすることを更に含む請求項14に記載の方法。
  16. 前記第1のビット線と前記第2のビット線間の電圧レベルの差が実質的である程度を設定することを更に含む請求項14に記載の方法。
  17. メモリアレイ内のコンパレータ回路であって、
    前記メモリアレイ内の第1のメモリセルに結合された第1のビット線に結合された第1の入力と、
    前記メモリアレイ内の第2のメモリセルに結合された第2のビット線に結合された第2の入力と、
    スティッキーラッチに結合された出力と、
    を備えるコンパレータ回路。
  18. 前記コンパレータ回路が、前記第2のビット線を切り離して、前記メモリアレイ内の前記第1のメモリセルに結合された第3のビット線を接続するマルチプレク
    サに結合されていることを特徴とする請求項17に記載のコンパレータ回路。
JP2002578510A 2001-03-30 2002-03-08 メモリセルの構造試験 Ceased JP2004530243A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/823,642 US6757209B2 (en) 2001-03-30 2001-03-30 Memory cell structural test
PCT/US2002/007340 WO2002080183A2 (en) 2001-03-30 2002-03-08 Memory cell structural test

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004530243A true JP2004530243A (ja) 2004-09-30
JP2004530243A5 JP2004530243A5 (ja) 2005-12-22

Family

ID=25239313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002578510A Ceased JP2004530243A (ja) 2001-03-30 2002-03-08 メモリセルの構造試験

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6757209B2 (ja)
EP (1) EP1374250B1 (ja)
JP (1) JP2004530243A (ja)
KR (1) KR100544362B1 (ja)
CN (1) CN100538910C (ja)
AT (1) ATE329354T1 (ja)
DE (1) DE60212103T2 (ja)
HK (1) HK1060437A1 (ja)
MY (1) MY127555A (ja)
WO (1) WO2002080183A2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007102877A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置、およびメモリテスト回路
JP2016071910A (ja) * 2014-09-29 2016-05-09 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7480195B2 (en) * 2005-05-11 2009-01-20 Micron Technology, Inc. Internal data comparison for memory testing
US7602778B2 (en) * 2005-06-29 2009-10-13 Cisco Technology, Inc. System and methods for compressing message headers
US7548473B2 (en) * 2006-04-14 2009-06-16 Purdue Research Foundation Apparatus and methods for determining memory device faults
CN101714407B (zh) * 2009-11-12 2012-08-08 钰创科技股份有限公司 行地址保留存储单元触发电路及行地址保留存储单元装置
CN108051767B (zh) * 2018-01-04 2019-07-19 南京国睿安泰信科技股份有限公司 一种用于集成电路测试仪的自动诊断方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57105897A (en) * 1980-12-23 1982-07-01 Fujitsu Ltd Semiconductor storage device
JPS61261895A (ja) * 1985-05-16 1986-11-19 Toshiba Corp 半導体記憶装置
JPS61292300A (ja) * 1985-06-18 1986-12-23 Toshiba Corp オンチツプメモリテスト容易化回路
JPS63211198A (ja) * 1987-02-27 1988-09-02 Hitachi Ltd 半導体記憶装置
JPH04211160A (ja) * 1990-03-20 1992-08-03 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
JPH04212799A (ja) * 1990-01-31 1992-08-04 Nec Ic Microcomput Syst Ltd テスト回路内蔵半導体メモリ
JPH05312918A (ja) * 1992-05-06 1993-11-26 Toshiba Corp 半導体記憶装置
JPH0675749A (ja) * 1992-02-21 1994-03-18 Hyundai Electron Ind Co Ltd 並列テスト回路
JPH06318400A (ja) * 1992-09-09 1994-11-15 Sony Electron Inc 半導体メモリの試験回路
JPH07211099A (ja) * 1994-01-12 1995-08-11 Sony Corp 半導体記憶装置の試験装置
JPH07307100A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Nec Corp メモリ集積回路
JP2001210095A (ja) * 2000-01-24 2001-08-03 Mitsubishi Electric Corp メモリモジュール

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4503536A (en) 1982-09-13 1985-03-05 General Dynamics Digital circuit unit testing system utilizing signature analysis
US4527272A (en) 1982-12-06 1985-07-02 Tektronix, Inc. Signature analysis using random probing and signature memory
JP2831767B2 (ja) * 1990-01-10 1998-12-02 株式会社アドバンテスト 半導体メモリ試験装置
US5708598A (en) * 1995-04-24 1998-01-13 Saito; Tamio System and method for reading multiple voltage level memories
JP3607407B2 (ja) * 1995-04-26 2005-01-05 株式会社日立製作所 半導体記憶装置
US5973967A (en) * 1997-01-03 1999-10-26 Programmable Microelectronics Corporation Page buffer having negative voltage level shifter
US6002623A (en) * 1997-02-12 1999-12-14 Micron Technology, Inc. Semiconductor memory with test circuit
JPH10308100A (ja) 1997-05-06 1998-11-17 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
KR100269319B1 (ko) 1997-12-29 2000-10-16 윤종용 동시칼럼선택라인활성화회로를구비하는반도체메모리장치및칼럼선택라인제어방법
US5963497A (en) * 1998-05-18 1999-10-05 Silicon Aquarius, Inc. Dynamic random access memory system with simultaneous access and refresh operations and methods for using the same
KR100308191B1 (ko) 1998-05-28 2001-11-30 윤종용 빌트-인패럴테스트회로를구비한반도체메모리장치
US6353568B1 (en) * 2000-12-29 2002-03-05 Lsi Logic Corporation Dual threshold voltage sense amplifier

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57105897A (en) * 1980-12-23 1982-07-01 Fujitsu Ltd Semiconductor storage device
JPS61261895A (ja) * 1985-05-16 1986-11-19 Toshiba Corp 半導体記憶装置
JPS61292300A (ja) * 1985-06-18 1986-12-23 Toshiba Corp オンチツプメモリテスト容易化回路
JPS63211198A (ja) * 1987-02-27 1988-09-02 Hitachi Ltd 半導体記憶装置
JPH04212799A (ja) * 1990-01-31 1992-08-04 Nec Ic Microcomput Syst Ltd テスト回路内蔵半導体メモリ
JPH04211160A (ja) * 1990-03-20 1992-08-03 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
JPH0675749A (ja) * 1992-02-21 1994-03-18 Hyundai Electron Ind Co Ltd 並列テスト回路
JPH05312918A (ja) * 1992-05-06 1993-11-26 Toshiba Corp 半導体記憶装置
JPH06318400A (ja) * 1992-09-09 1994-11-15 Sony Electron Inc 半導体メモリの試験回路
JPH07211099A (ja) * 1994-01-12 1995-08-11 Sony Corp 半導体記憶装置の試験装置
JPH07307100A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Nec Corp メモリ集積回路
JP2001210095A (ja) * 2000-01-24 2001-08-03 Mitsubishi Electric Corp メモリモジュール

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007102877A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置、およびメモリテスト回路
US8010853B2 (en) 2005-09-30 2011-08-30 Fujitsu Semiconductor Ltd. Semiconductor storage device and memory test circuit
JP2016071910A (ja) * 2014-09-29 2016-05-09 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1374250B1 (en) 2006-06-07
KR100544362B1 (ko) 2006-01-23
HK1060437A1 (en) 2004-08-06
CN100538910C (zh) 2009-09-09
DE60212103T2 (de) 2007-01-04
WO2002080183A3 (en) 2003-04-17
KR20030085084A (ko) 2003-11-01
ATE329354T1 (de) 2006-06-15
CN1537312A (zh) 2004-10-13
MY127555A (en) 2006-12-29
US20020141259A1 (en) 2002-10-03
US6757209B2 (en) 2004-06-29
DE60212103D1 (de) 2006-07-20
EP1374250A2 (en) 2004-01-02
WO2002080183A2 (en) 2002-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6816422B2 (en) Semiconductor memory device having multi-bit testing function
US6501692B1 (en) Circuit and method for stress testing a static random access memory (SRAM) device
JP3258676B2 (ja) メモリアレイ用短絡回路検知器回路
US5343429A (en) Semiconductor memory device having redundant circuit and method of testing to see whether or not redundant circuit is used therein
KR100339321B1 (ko) 복수의메모리셀을가진메모리를구비한전자회로
JP2008522334A (ja) ウィークセルを検出するためのsram検査方法とsram検査装置
US6590818B1 (en) Method and apparatus for soft defect detection in a memory
JP2006520511A (ja) 弱いsramセルのテスト
JPH07262798A (ja) 半導体メモリのストレス回路及びストレス電圧供給方法
US5757816A (en) IDDQ testing of integrated circuits
US6731561B2 (en) Semiconductor memory and method of testing semiconductor memory
US6591384B1 (en) Comparable circuits for parallel testing DRAM device
KR940010665B1 (ko) 다이나믹메모리장치 및 그 번인방법
JP2004530243A (ja) メモリセルの構造試験
US7286426B2 (en) Semiconductor memory device
US20070127300A1 (en) Bun-in test method semiconductor memory device
KR100272942B1 (ko) 반도체기억장치
US9001568B2 (en) Testing signal development on a bit line in an SRAM
US6088274A (en) Method and device for testing a semiconductor serial access memory device through a main memory
US7719908B1 (en) Memory having read disturb test mode
KR100211761B1 (ko) 반도체 메모리 장치의 병렬비트 테스트 회로 및 그 방법
KR100524925B1 (ko) 테스트 시간을 줄일 수 있는 병렬 비트 테스트를 구현하는 반도체 메모리 장치 및 이를 이용한 병렬 비트 테스트 방법
KR950004871B1 (ko) 중복회로가 있는 반도체기억장치 및 그중복회로의 사용여부를 확보하는 검사방법
JPH0729375A (ja) 半導体記憶装置
KR100491052B1 (ko) 시스템온칩 시험 회로 및 시험 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050223

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050223

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080212

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20080512

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20080519

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080612

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090623

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090924

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100226

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20100308

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100506

A045 Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment]

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045

Effective date: 20101005