JP2004511796A - 圧力センサモジュール - Google Patents
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Abstract
本発明による圧力センサモジュール(1)は、1つの供給導管内に簡単な弁(15)を有しており、この弁は、別の運転媒体なしに、センサのダイヤフラムが破損したときに、2つの供給導管が互いに接続されることを阻止する。
Description
背景技術
本発明は、請求項1の上位概念に記載した形式の圧力センサモジュールから出発する。
【0002】
進歩する機関制御部においては、燃料圧力が燃料加熱を減少するため及び燃料の放出を減少するために、制御される。この場合、燃料圧力センサによって、燃料圧力と吸気管圧力との間の差が測定される。安価な燃料圧力センサとして、現在ケイ素をベースとするマイクロメカニックなセンサが使用される。この場合、回路とは逆の側のダイヤフラム側が燃料で負荷され、回路に面したダイヤフラム側が吸気管と接続されている。製作誤差あるいは操作誤差によって、センサのダイヤフラムが破損すると、燃料が破損したダイヤフラムを通って直接に吸気管内にポンピングされ、かつ、燃料衝撃によって機関の損傷をもたらすことがある。
【0003】
圧力側に付加的に金属ダイヤフラムを有しており、この金属ダイヤフラム上に圧力が及ぼされ、かつ、これが圧力を、シリコン油を介してセンサのダイヤフラムに伝達するようになっている差圧センサは公知である。センサのダイヤフラムが過負荷によって破損すると、金属ダイヤフラムは設けられている支持面に接触し、かつ、圧力を受容し、これにより、圧力側の媒体がセンサケーシング内に、かつ又は他方の圧力側の範囲内に達することがある。単に、存在しているシリコン油のわずかな量だけが、吸気管内に達する。このセンサはしかしながら、金属ダイヤフラムのための高価な構造及びシリコン油のための気密な容積の構成のために、高価である。このことは、結合技術のための物質費及びプロセス費、油の充てん及び油の充てん後の平衡によるものである。精度要求を維持するために、金属ダイヤフラムの最少値及びこれにより相応する構造大きさも必要であり、これは小型化の妨げになる。
【0004】
GB 2264070 A1から、差圧圧力センサ及び弁を備えた装置が公知であり、この弁は差圧圧力センサへの供給導管を閉鎖することができる。このことは、単に電子的な制御部を介してだけ、行うことができる。
【0005】
発明の利点
本発明による圧力センサモジュールは、これに対し、簡単な形式で一方の供給導管から他方の供給導管への媒体の移行が阻止され、その際このことは、圧力に無関係に、若しくは媒体の流動に無関係に、行われるという利点を有している。
【0006】
従属請求項に記載した手段によって、請求項1に記載した圧力センサモジュールの有利な展開及び改善が可能である。
【0007】
弁の有利な構成は、浮力体が一方の導管の2つの狭窄部の間に配置されており、センサチップが供給導管をもはや互いに分離しないときに、この供給導管を、一方の狭窄部に接触することによって閉鎖することによって、生ずる。
【0008】
第1の狭窄部は有利には穴格子によって形成されている。
【0009】
浮力体としては有利には玉が使用され、これは供給導管よりも小さな横断面を有している。
【0010】
本発明の有利な構成は請求項6に記載されており、この場合、圧力センサモジュールは、内燃機関の吸気管と燃料導管とに接続されている。
【0011】
圧力センサモジュールが鉛直に取り付けられていると、有利である。それはこれによって、浮力体が供給導管を不所望の形式で閉鎖しないかたである。
【0012】
浮力体が液状の燃料よりもわずかな密度を有していると、有利である。それは、浮力体が燃料内の浮力に基づいて第2の狭窄部に接触し、かつ、これによって供給導管を閉鎖し、これにより、燃料が吸気管内に達することがないからである。
【0013】
狭窄部又は浮力体が付加的にシールエレメントを有しており、このシールエレメントがシールを容易にすると、有利である。
【0014】
浮力体を案内するために、供給導管は有利な形式で案内レールを有しており、この案内レールは、浮力体が常に最適に狭窄部に接触し、かつ、正常運転においては充分なスペースが、吸気管の圧力変化の際の媒体交換のために存在している。
【0015】
実施例の説明
図1は本発明による圧力センサモジュール1を示し、これはなかんずくモジュールケーシング8より成っており、この中に少なくとも部分的にセンサ室5が配置されている。センサ室5は例えばセンサチップ3(図3)を有し、これは圧力若しくは圧力差を測定することができる。普通はこれは、ダイヤフラムを有している、ケイ素をベースとするマイクロメカニックなセンサである。センサ室5には例えば内燃機関の吸気管と接続されている第1の供給導管10と、例えば燃料導管と接続されている第2の供給導管12とが接続されている。
【0016】
センサチップ3はそのダイヤフラムで、第1の供給導管10と第2の供給導管12とを互いに分離しており、これにより、媒体が一方の供給導管10,12から他方の供給導管12,10に達することはない。
【0017】
例えば第1の供給導管10の部分範囲10b内に、ダイヤフラムが破損し、かつ、このようにして第1の供給導管10と第2の供給導管12とが分離していないときに、第1の供給導管10を閉じることのできる弁15が配置されており、これにより媒体が第2の供給導管12から第1の供給導管10内に達することはない。
【0018】
弁15は例えば、第1の狭窄部18と第2の狭窄部19とを有している、第1の供給導管10の部分範囲10bである。供給導管10の残りの部分は10aで示されている。2つの狭窄部18,19の間には、浮力体22が配置されており、これは弁15の可動の弁部材を形成している。
【0019】
ダイヤフラムが第1の供給導管10及び第2の供給導管12を互いに分離しているときに、浮力体22はその重量によって第1の狭窄部18上に接触しており、その際浮力体は第1の供給導管を閉鎖していない。換言すれば、第1の供給導管10内の圧力は一方のダイヤフラム側に作用し、第2の供給導管12からの圧力は他方のダイヤフラム側に作用し、これにより差圧が測定される。
【0020】
第1の狭窄部18は例えば穴格子である。第2の狭窄部19は例えば、第1の供給導管10bの横断面が減少せしめられることによって、形成される。浮力体22は例えば玉、円柱体あるいは、弁座を形成する第2の狭窄部19への接触によって供給導管10を閉じることのできる他の形状であり、2つの狭窄部18,19の間の例えば丸い供給導管10bよりもわずかな横断面を有している。
【0021】
ダイヤフラムが第1の供給導管10及び第2の供給導管12をもはや互いに分離しいていないときに、第2の供給導管12内の例えばより高い圧力によって、浮力体22が第2の供給導管12内のより高い圧力及び流動する媒体によって第2の狭窄部19に圧着され、かつ、このようにして、第1の供給導管10を閉じ、第1の供給導管及び第2の供給導管12を再び互いに分離する。
【0022】
第2の供給導管12内の媒体が液状の媒体、例えば液状の燃料のような媒体であって、かつこれが破損したダイヤフラムの場合に、第1の狭窄部18を通って供給導管10b内に達する場合には、浮力体は浮力を得る。それは浮力体22は有利には液状の燃料よりもわずかな密度を有しているからである。浮力体22は浮力及び供給導管12内のより高い圧力によって、第2の狭窄部19に圧着される。
【0023】
弁15の制御は要するに付加的な補助手段なしに行われる。それは、一方の供給導管12内の媒体若しくは供給導管10,12内の圧力差は弁15の閉鎖を生ぜしめるからである。
【0024】
圧力センサモジュール1は更に電気的な接続エレメント25を有しており、これは、外部の電気的なエネルギ源及び又は制御ユニットへの接続に役立つ差し込みプラグ27の部分である。例えば少なくとも1つの供給導管10,12はその外周に例えばシールリング29を有しており、これは圧力センサモジュール1を別の構造部分に導入する際に、シールするのにに役立つ。
【0025】
圧力センサモジュール1は更に固定フランジ31を有しており、これは圧力センサモジュール1を構造部分に固定するために役立つ。
【0026】
図2aは本発明の別の実施例のための、図1の部分を示す。これは大体において弁15の別の構成を示す。
【0027】
第1の狭窄部18は例えばセンサ室5のケーシング37内の開口によって形成されており、この開口は浮力体22よりも小さな横断面を有している。
【0028】
第2の狭窄部19は、図1のように、第1の供給開口10bの横断面の減少によって構成されている。
【0029】
浮力体22は、一貫した縦溝35を有しているエレメント33によって形成されている。縦溝35によって、エレメント33の外周面が第1の供給導管10bの2つの狭窄部18,19の間の横断面と同一である場合にも、第1の供給導管10のセンサ室5への接続が与えられている。
【0030】
例えば供給導管10bはこの範囲において、円形の横断面を有しており、浮力体22は、相応する一貫した縦溝35を有している円柱体によって形成されている。円柱体33は部分的に直接に供給導管10bに接触しており、その際しかし縦溝35によって、第1の供給導管10からセンサ室5への移行が保証されている。円柱体33も図1に示すように、ダイヤフラムが破損されて、狭窄部19に面した、円柱体33の端面が狭窄部19に適合せしめられているときに、例えば端面と狭窄部19が円すい状に構成されているときに、供給導管10を閉じる。
【0031】
図2bは、玉を浮力体22として示し、これは案内レール17によって案内されている。円柱体又は他の形状も案内レールによって案内することができる。案内レール17は、玉が常に最適に狭窄部19に接触することを保証する。それは、案内レール17の自由端部によって形成される円の直径がほぼ玉の外径に一致するからである。
【0032】
工作部19と浮力体22との間のシールを容易にするために、狭窄部19の範囲内に少なくとも1つのシールエレメント16、例えば環状のゴム***部が取り付けられている。シールエレメント16は弾性的に変形可能であり、これにより大きなシール面が生じる。シールエレメント16は浮力体22に存在していることもできる。図2dは玉を浮力体22として示しており、この玉はシールエレメント16により取り囲まれている。
【0033】
図2cは、図2bの線A−Aに沿った断面図を示す。例えば横断面が三角形の、あるいは棒形の案内レール17によって、供給導管10の部分が形成されており、これらの部分を通って、供給導管10からの圧力がセンサチップ3のダイヤフラムに作用することができる。
【0034】
図3は、例えば本発明による圧力センサモジュール1が使用されているセンサ室5を示す。センサ室5はセンサケーシング37を有しており、このセンサケーシング内に、センサチップ3がガラス台39上に配置されている。センサチップ3はセンサケーシング37内で、例えばゲル45によって、保護されている。センサチップ3はボンディングワイヤ41によって電気的なセンサ接続エレメント43に接続されており、このセンサ接続エレメント自体は、電気的な接続エレメント25と接続されている。ケーシング37は開口を有しており、この開口は第1の狭窄部18の範囲内に配置されているか、あるいは第1の狭窄部を形成し(図2)、かつ、供給導管10に接続されている。センサチップ3の他方の側は、破線で示すように、供給導管12に接続されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明による圧力センサモジュールを示す。
【図2a】
本発明による別の圧力センサモジュールの細部を示す。
【図2b】
本発明による更に別の圧力センサモジュールの細部を示す。
【図2c】
図2bの線A−Aに沿った断面図を示す。
【図2d】
浮力体のための更に別の実施例を示す。
【図3】
本発明による圧力センサモジュール内に取り付けられているセンサ室を示す。
【符号の説明】
1 圧力センサモジュール、 3 センサチップ、 5 センサ室、 8 モジュールケーシング、 10 第1の供給導管、 10a 残りの部分、 10b 部分範囲、 12 第2の供給導管、 15 弁、 16 シールエレメント、 17 案内レール、 18 第1の狭窄部、 19 第2の狭窄部、 22 浮力体、 25 接続エレメント、 27 差し込みプラグ、 29 シールリング、 31 固定フランジ、 33 エレメント、 35 縦溝、 37 センサケーシング、 39 ガラス台、 41 ボンディングワイヤ、 43 センサ接続エレメント、 45 ゲル
Claims (12)
- 圧力差を測定するための圧力センサモジュールであって、少なくとも、圧力差を測定するためのセンサチップと、センサチップにより互いに分離された少なくとも2つの供給導管を有しているモジュールケーシングとを備え、かつ、前記供給導管内に少なくとも時間的に異なった圧力が存在している形式のものにおいて、
少なくとも1つの供給導管(10,12)内に、弁(15)が配置されており、この弁(15)は、この供給導管(10,12)を、センサチップ(3)が供給導管(10,12)をもはや互いに分離していないときに、閉鎖することを特徴とする、圧力センサモジュール。 - 弁(15)が、1つの供給導管(10,12)の少なくとも2つの狭窄部(18,19)と、この供給導管(10,12)内で可動に配置されている浮力体(22)とから成っており、この浮力体は、2つの狭窄部(18,19)の間に配置されていて、第1の狭窄部(18)上に載置されており、この浮力体はその横断面によって供給導管(10)を閉鎖せず、センサチップ(3)が供給導管(10,12)をもはや互いに分離しないときに、それが第2の狭窄部(19)に接触することによって、供給導管(10)を閉鎖することを特徴とする、請求項1記載の圧力センサモジュール。
- 第1の狭窄部(18)が穴格子によって形成されていることを特徴とする、請求項2記載の圧力センサモジュール。
- 浮力体(22)が玉であり、これは供給導管(10,12)よりも小さな横断面を有していることを特徴とする、請求項2記載の圧力センサモジュール。
- 浮力体(22)が、縦溝(35)を備えたエレメント(33)によって形成されていることを特徴とする、請求項2又は4記載の圧力センサモジュール。
- 圧力センサモジュール(1)が、第1の供給導管(10)と第2の供給導管(12)とを有しており、第1の供給導管(10)は内燃機関の吸気管に接続されており、第2の供給導管(12)は燃料導管に接続されており、かつ、弁(15)が第1の供給導管(10)内に配置されていることを特徴とする、請求項1記載の圧力センサモジュール。
- 内部に浮力体(22)が配置されている供給導管(10,12)の少なくとも一部分の長手方向軸線がほぼ鉛直に延びていることを特徴とする、請求項2記載の圧力センサモジュール。
- 浮力体(22)が液状の燃料よりも小さい密度を有していることを特徴とする、請求項2又は4又は5又は7記載の圧力センサモジュール。
- 2つの供給導管(10,12)が設けられており、一方の供給導管(10,12)内で少なくとも所定の時間で、他方の供給導管(12,10)内の圧力よりも大きいか、あるいはこれと同じである圧力が支配することを特徴とする、請求項1又は2又は6記載の圧力センサモジュール。
- 供給導管(10,12)が、2つの狭窄部(18,19)の間で少なくとも部分的に案内レール(17)を有していることを特徴とする、請求項2又は6記載の圧力センサモジュール。
- 浮力体(22)が少なくとも1つのシールエレメント(16)を有していることを特徴とする、請求項2又は4又は5又は7又は8記載の圧力センサモジュール。
- 浮力体が供給導管(10,12)をシールするところの狭窄部(18,19)の範囲内に、少なくとも1つのシールエレメント(16)が存在していることを特徴とする、請求項2記載の圧力センサモジュール。
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