CN110068417A - 一种平膜压力传感器 - Google Patents

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周敬训
谷庆伟
李晴
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Wuxi Laidun Electronics Co Ltd
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    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
    • G01L7/082—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms

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Abstract

本发明涉及一种平膜压力传感器，包括第一外壳和第二外壳，所述第一外壳下端安装在第二外壳上端，且第一外壳下端设置安装腔，安装腔内安装压力检测单元，所述第二外壳内位于压力检测单元下方焊接有金属平膜隔膜，压力检测单元下端设置压力感应膜片，所述压力感应膜片紧贴金属平膜隔膜，且第一外壳和第二外壳之间通过金属平膜隔膜密封，所述第二外壳位于金属平膜隔膜下端开设连通至外侧的通孔，所述平膜压力传感器，安装组装方便高效，且介质兼容性更好。

Description

一种平膜压力传感器
技术领域
本发明涉及传感器，尤其涉及一种平膜压力传感器。
背景技术
压力传感器是用于检测管道内介质压力的装置，扩散硅MEMS充油芯体传感器是一种压力传感器，内部设置波纹隔膜，压力作用在隔膜上，隔膜变形，由于液体(硅油)不可被压缩，液体作用在硅杯上，使硅杯变形，达到传感器检测压力的效果，但是这种传感器的封装工艺比较复杂，充入硅油时必须要在真空环境下进行。
发明内容
本申请人针对以上缺点，进行了研究改进，提供一种平膜压力传感器。
本发明所采用的技术方案如下：
一种平膜压力传感器，包括第一外壳和第二外壳，所述第一外壳下端安装在第二外壳上端，且第一外壳下端设置安装腔，安装腔内安装压力检测单元，所述第二外壳内位于压力检测单元下方焊接有金属平膜隔膜，压力检测单元下端设置压力感应膜片，所述压力感应膜片紧贴金属平膜隔膜，且第一外壳和第二外壳之间通过金属平膜隔膜密封，所述第二外壳位于金属平膜隔膜下端开设连通至外侧的通孔。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述金属平膜隔膜面积远大于压力感应膜片的面积。
所述金属平膜隔膜采用不锈钢制成。
所述金属平膜隔膜采用铜制成。
所述金属平膜隔膜厚度范围为0.05～0.1mm。
本发明的有益效果如下：所述平膜压力传感器，压力作用于金属平膜隔膜，使金属平膜隔膜变形，金属平膜隔膜再作用于压力感应膜片，通过压力感应膜片即可检测管道内的压力，金属平膜隔膜直接焊接，并将压力检测单元紧贴金属平膜即可，安装组装方便，且通过金属平膜隔膜作为密封件，取代传统的橡胶O型圈，使传感器介质兼容性更好。
附图说明
图1为本发明提供的平膜压力传感器的结构示意图。
图2为本发明提供的平膜压力传感器压力检测单元的结构示意图。
图中：1、第一外壳；11、安装腔；2、第二外壳；21、通孔；3、压力检测单元；31、压力感应膜片；4、金属平膜隔膜。
具体实施方式
下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。
如图1、图2所示，实施例一的平膜压力传感器，包括第一外壳1和第二外壳2，第一外壳1下端安装在第二外壳2上端，且第一外壳1下端设置安装腔11，安装腔11内安装压力检测单元3，第二外壳2内位于压力检测单元3下方焊接有金属平膜隔膜4，压力检测单元3下端设置压力感应膜片31，压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，且金属平膜隔膜4面积远大于压力感应膜片31的面积，第一外壳1和第二外壳2之间通过金属平膜隔膜4密封，第二外壳2位于金属平膜隔膜4下端开设连通至外侧的通孔21，金属平膜隔膜4采用不锈钢制成，厚度为0.05mm。
实施例二的平膜压力传感器的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.07mm。
实施例三的平膜压力传感器的的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.1mm。
实施例一、二和三的平膜压力传感器安装时，将压力检测单元3的压力感应膜片31向下安装在第一外壳1的安装腔11内，再将金属平膜隔膜4焊接固定到第二外壳2内部，然后将第一外壳1安装到第二外壳2上端，使压力检测单元3的压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，并使第一外壳1紧贴金属平膜隔膜4，通过金属平膜隔膜4密封第一外壳1和第二外壳2，即完成传感器装配，装配完成后，通过第二外壳2将传感器连接到管路上，管路内的压力经过穿过第二外壳2上的通孔21，作用于金属平膜隔膜4上，造成金属平膜隔膜4变形，金属平膜隔膜4作用在压力感应膜片31，造成压力感应膜片31变形，即可通过压力感应膜片31感应检测管道内的压力。
以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在不违背本发明的基本结构的情况下，本发明可以作任何形式的修改。

Claims (5)

1.一种平膜压力传感器，其特征在于：包括第一外壳(1)和第二外壳(2)，所述第一外壳(1)下端安装在第二外壳(2)上端，且第一外壳(1)下端设置安装腔(11)，安装腔(11)内安装压力检测单元(3)，所述第二外壳(2)内位于压力检测单元(3)下方焊接有金属平膜隔膜(4)，压力检测单元(3)下端设置压力感应膜片(31)，所述压力感应膜片(31)紧贴金属平膜隔膜(4)，且第一外壳(1)和第二外壳(2)之间通过金属平膜隔膜(4)密封，所述第二外壳(2)位于金属平膜隔膜(4)下端开设连通至外侧的通孔(21)。
2.根据权利要求1所述的平膜压力传感器，其特征在于：所述金属平膜隔膜(4)面积远大于压力感应膜片(31)的面积。
3.根据权利要求1或2所述的平膜压力传感器，其特征在于：所述金属平膜隔膜(4)采用不锈钢制成。
4.根据权利要求1或2所述的平膜压力传感器，其特征在于：所述金属平膜隔膜(4)采用铜制成。
5.根据权利要求1或2所述的平膜压力传感器，其特征在于：所述金属平膜隔膜(4)厚度范围为0.05～0.1mm。
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