JP2004505239A - 薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法、及び薄膜構成素子 - Google Patents
薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法、及び薄膜構成素子 Download PDFInfo
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Abstract
薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法、並びに、薄膜構成素子が提案されており、ダイアフラム層(10,20)の非導電表面上に、測定素子、例えば、伸び測定ストリップ(30)を構成するための抵抗層が堆積されており、測定素子の電気接触接続のためのコンタクト層系(41)を当該測定素子上に、コンタクト層系の各領域とダイアフラム層(10,20)との間に測定素子(30)の領域が位置しているように堆積されている。これは、例えば、コンタクト層系の各コンタクト接続部の対称に構成されたキャパシタンスを有する高圧センサを形成するのに使われる。
Description
【0001】
本発明は、少なくとも1つの、コンタクト接続部が設けられた機能層が堆積された基板を有する薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法及び薄膜構成素子に関する。そのような高圧センサは、自動車内の多数のシステムで使用されており、例えば、燃料噴射装置又はディーゼルコモンレール噴射装置で使用されている。自動化技術の領域でも、高圧センサは使用されている。このセンサの機能は、圧力によって生じるダイアフラムの機械的な歪を薄膜システムを用いて電気信号に変換することに基づいている。ドイツ連邦共和国特許公開第10014984号公報からは、その種の薄膜システムを有する高圧センサが既に公知であるが、実際には、コンタクト層及び容量の非対称性の領域内に、コンタクト層の製造条件に起因する面非対称性の結果として若干、層付着上の問題点が生じることがある。
【0002】
発明の利点
独立請求項記載の要件を有する本発明の方法乃至本発明の薄膜構成素子は、エッジ部の被覆乃至エッジ部の損傷の問題点を回避して、層付着を改善するという利点を有している。つまり、コンタクト層系は一様な基板上に堆積されており、乃至層が越えるべき段差がないか、又は、非常に低い段差しかない。
【0003】
従属請求項記載の手段によって、独立請求項記載の方法乃至薄膜構成素子を改善することができる。
【0004】
特に有利には、コンタクト層系の各領域とダイアフラムとの間に、測定素子の領域が設けられており、容量の対称性が達成されている。つまり、面、従って、コンタクト接続部のキャパシタンスが(ダイアフラムに対して相対的に)、あまり正確でないエッチングによってではなくて、極めて正確にエッチングされた抵抗層によって、遮蔽マスク内に堆積されたコンタクト層系を特定することができるのである。更に、層付着を改善することができる。つまり、コンタクト層系は一様な基板上に堆積されており、従来技術とは異なり、少なくとも部分的にダイアフラム層の絶縁基板上に、抵抗層のエッチング過程の際、基板上への付着を劣化させるような残渣が残ることもない。更に、層が越えるべき段差は全くなく、その結果、エッジ部の被覆乃至エッジ部の損傷での効率上の問題点は回避される。
【0005】
更に、有利には、抵抗層及びパッシベーション層を一緒にエッチングするとよく、つまり、このようにして、マスク面を節約して、高い歩留まりを達成することができる。更に、パッシベーション層が遮蔽マスクによってコーティングされる際に生じることがある残渣によってボンディング可能性が損なわれるのを回避することができる。
【0006】
更に、抵抗層用の材料として、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンを使うと有利である。そうすることによって、抵抗層としてのポリシリコンの析出のために500℃以上でPECVDプロセス工程を行わずにすみ、その代わり、130℃以下で使用可能なニッケルクロム乃至ニッケルクロムシリコンの析出のためにスパッタリングプロセスを使うことができる。そうすることによって、最大プロセス温度を明らかに低減することができる。
【0007】
本発明の別の利点は、更に従属請求項及び以下の説明から得られる。
【0008】
図面
以下、本発明について図示の実施例を用いて詳細に説明する。
【0009】
その際、
図1は、第1の本発明の製造方法を示す図、
図2は、第2の本発明の製造方法の方法工程を示す図、
図3は、第3の本発明の製造方法を示す図、
図4は、第4の製造方法の方法工程を示す図、
図5は、第5の製造方法の方法工程を示す図
である。
【0010】
実施例の説明
図1は、高圧センサの製造用の第1の本発明の方法を示す。先ず(図1a)、スチール製ダイアフラム10のコーティングすべき表面上全面に、絶縁層20が堆積される。続いて、伸び測定ストリップ用の本来の機能層が全面に堆積され;それから、この伸び測定ストリップ30は、後続の工程で、フォトリソグラフによる構造化層を用いて形成される(図1b)。それに続いて、コンタクト層乃至コンタクト層系40が堆積され、その際、大抵、同様にフォトリソグラフにより構造化される(図1c)。択一的に選択して、コンタクト層40のフォトリソグラフによる構造化のために、遮蔽マスク技術を使ってもよい。所望の電気特性を調整するために、それに続いて補償過程を行う行うことができ、殊に、構造化された複数の圧電抵抗性伸び測定ストリップ乃至抵抗素子によって形成されたホイートストンブリッジの対称性を調整するように補償過程を行うことが屡々である。後続工程で(図1d)、パッシベーション層50が堆積され、このパッシベーション層の構造化は、同様にフォトリソグラフにより、又は、遮蔽マスク技術を用いることによって行うことができる。パッシベーション層がフォトリソグラフにより行われる場合、感光性レジストマスクとプラズマエッチング工程を用いて行われ、その際、エッチングガスとして、有利には、CF4/02ガス混合気を使うことができる。遮蔽マスク技術を用いてパッシベーション層を構造化する際、遮蔽マスクの開口の位置は、適切な位置又は個所にのみコーティングされるように選定されている。
【0011】
本発明の第1の実施例では、図1a及び1bに示されているように、絶縁層20がスチール製ダイアフラム10上に堆積され、続いて、絶縁層20上に抵抗層が堆積され、後続の工程で、抵抗層が伸び測定ストリップ乃至抵抗素子30となるように構造化される。絶縁層として、例えば、10マイクロメートル厚酸化シリコン層が使われて、PECVD方法(PECVD=Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)で堆積される。抵抗層として、500ナノメートル厚のポリシリコン層又は50ナノメートル厚ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコン層が堆積されて、ポリシリコンの場合、フォトリソグラフ工程と続いてプラズマエッチング工程とを介して、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンの場合、ウェットエッチング工程を介して構造化することができる。
【0012】
本発明によると、続いて行うコンタクト層系40のコーティングの際、コンタクト層の厚みに較べてほんの僅かな段差しか被覆されず、図1に示した方法では、抵抗層は約50ナノメートル厚のニッケルクロム又はニッケルクロムシリコン層として構成されている。続いて、コンタクト層(図1では参照番号40で示されている)は、スパッタリング又は蒸着プロセスを用いて堆積されている。これは、遮蔽マスクを用いて、又は、全面が続いてフォト構造化プロセスにより、イオンビームエッチング工程を用いて行うことができる。
【0013】
第2の本発明の方法によると、コンタクト層系の形成のために、図2に記載された方法のように、コンタクト層系が測定素子上に被覆の際に段差が生じないように堆積される:
コンタクト層系41の形成のために、先ず500ナノメートル厚のニッケルクロム、パラジウム及び続いて金の層シーケンスが、遮蔽マスクを通って伸び測定ストリップ30上にスパッタリング又は蒸着される(図2a)。このために使われる遮蔽マスクの開口は、この際、予め構造化された伸び測定ストリップの領域内全てに位置しており、その結果、コンタクト層系41とスチールダイアフラム10との間のコンタクト層系41の各個所に、伸び系ストリップ30の領域がある。後続工程(図2b)では、別の遮蔽マスクがPECVD方法を介して500ナノメートル厚のシリコンニトリド(SixNiy;x=3,y=4)製のパッシベーション層50が析出されて、コンタクト層系41の各コンタクト接続部間の伸び系ストリップ30の機能感応性領域が外部から影響されないようにして、自動車内の使用条件下で、センサ素子が障害なく作動するようにすることができる。
【0014】
図3には、高圧センサの製造用の第3の本発明の方法が示されており、この際、PECVD方法で10マイクロメートル厚酸化シリコン絶縁層20がスチール製ダイアフラム10上に堆積され、スチール製ダイアフラム10上に続いてポリシリコン(500ナノメートル厚)の抵抗層32又はNiCr(50ナノメートル厚)又はNiCrSi(50ナノメートル厚)が堆積されている。第2の工程(図3b)では、500ナノメートル厚のコンタクト層系41が遮蔽マスク技術で堆積される。材料としては、このためにニッケル又はニッケルクロム、パラジウム、続いて金の層シーケンスが使われる。択一的に選択して、コンタクト層系を形成するために、全面がコンタクト材料で堆積され、続いて、フォトリソグラフ及びエッチング工程を用いて、堆積されたコンタクト材料が構造化される。続いて、図3cに示されているように、全面がシリコンニトリド層52、その上に、フォトレジスト層60が堆積される。フォトレジストは、抵抗素子乃至伸び測定ストリップ30を形成するのに、抵抗層32の構造化のために、後続の現像の際に更にコンタクト層系41の内部領域43もセンサのエッジ領域も露出され、乃至、エッチングすることができる。フォトレジスト層60の現像後、内部領域43がエッチングストップ層として使われる内部領域43内でのシリコンニトリド層52のエッチングによる除去後、及び、抵抗素子の形成用のコンタクト層系41の各コンタクト接続部間及びセンサ素子のエッジ領域内でのシリコンニトリド層52及び抵抗層32のエッチングによる除去後、フォトレジスト層の残渣部分で更に被覆された高圧センサが形成され、この高圧センサの伸び測定ストリップ30は、シリコンニトリド製のパッシベーション層50によって被覆され、この高圧センサのコンタクト層系は、全面が抵抗層32の除去されていない領域で被覆されている。この際、エッチング方法として、ポリシリコンの場合、抵抗材料として有利にはテトラフッ化炭素−酸素混合物が使用され、NiCr又はNiCrSiの場合、抵抗材料としてウェット化学エッチングプロセスが使用される。残渣フォトレジスト層(図3e)の除去後、後続工程で、コンタクト層系のコンタクト接続部に電気端子が設けられ、高圧センサの上側が、例えば、更にケーシングによって覆われる。
【0015】
図3に示された第3の実施例に対して択一的なやり方(第4の方法)では、シリコンニトリド(図3c)の代わりに、感光性BCB(=ベンゾチクロブタン Benzocyclobuten)がパッシベーション層52として被覆される。それから、フォトレジスト層及びBCB層を露光及び現像することができ、その結果、後続して、パッシベーション層ではなく、抵抗層だけをエッチングしさえすればよい。それから、フォトレジスト層の除去後、図4に示されているように、装置を、例えば、300℃の温度に加熱して、BCB層が流れ易い(”Reflow”)ようにし、従って、伸び測定ストリップ30の外側エッジが、BCB層から形成されたパッシベーション層55で更に被覆されている。
【0016】
図3に示された実施例に対して択一的な第5の製造方法では、抵抗材料としてニッケルクロムを使用していて、フォトレジストを全く使わないで済み、部分図3a及びbを用いて説明したやり方では、単に層57だけが感光性BCB材料が、抵抗層32乃至コンタクト層系41の上面上に全面にわたってスパッタリング又は蒸着される(図5a)。BCB層57の露光及び現像後、抵抗層は、エッジ領域内にも各コンタクト接続部間の領域内にも、一方では、所望のパッシベーション層58が形成され、他方では、後続して、この空けられた個所に抵抗層をウェット化学エッチングして伸び測定ストリップ30が形成される(図5b)。NiCr又はNiCrSiの場合、抵抗材料としてフォトレジスト層がなく、ウェット化学エッチングプロセスを使うことができる。つまり、BCB層は、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンのエッチング用の酸に対して耐性がある。続いて行われるリフローベーキング”Reflow−Bake”によって、各コンタクト接続部でのパッシベーション層エッジが丸み付けされ、並びに、殊に、変形して形成されたパッシベーション層59の結果、伸び測定ストリップ30のエッジ領域も保護絶縁することができる。
【0017】
択一的に、ドイツ連邦共和国特許公開第10014984号公報に記載されているように、レーザ方法を用いて抵抗層を構造化してもよい。
【0018】
特殊鋼製ダイアフラム10と絶縁層20との一体化は、選択的にガラス製ダイアフラムによって置き換えてもよい。
【0019】
別の択一的な実施例では、例えば、”HSQ”(ハイドロゲン・シルセスキオクサン ”Hydrogen Silsesquioxan”)、Dow Corning社製、”SiLK”、Dow Chemical社製、又は、”Flare”、Allied Signal社製の他の有機又は無機材料層から絶縁層を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】
第1の本発明の製造方法を示す図
【図2】
第2の本発明の製造方法の方法ステップを示す図
【図3】
第3の本発明の製造方法を示す図
【図4】
第4の製造方法の方法ステップを示す図
【図5】
第5の製造方法の方法ステップを示す図
本発明は、少なくとも1つの、コンタクト接続部が設けられた機能層が堆積された基板を有する薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法及び薄膜構成素子に関する。そのような高圧センサは、自動車内の多数のシステムで使用されており、例えば、燃料噴射装置又はディーゼルコモンレール噴射装置で使用されている。自動化技術の領域でも、高圧センサは使用されている。このセンサの機能は、圧力によって生じるダイアフラムの機械的な歪を薄膜システムを用いて電気信号に変換することに基づいている。ドイツ連邦共和国特許公開第10014984号公報からは、その種の薄膜システムを有する高圧センサが既に公知であるが、実際には、コンタクト層及び容量の非対称性の領域内に、コンタクト層の製造条件に起因する面非対称性の結果として若干、層付着上の問題点が生じることがある。
【0002】
発明の利点
独立請求項記載の要件を有する本発明の方法乃至本発明の薄膜構成素子は、エッジ部の被覆乃至エッジ部の損傷の問題点を回避して、層付着を改善するという利点を有している。つまり、コンタクト層系は一様な基板上に堆積されており、乃至層が越えるべき段差がないか、又は、非常に低い段差しかない。
【0003】
従属請求項記載の手段によって、独立請求項記載の方法乃至薄膜構成素子を改善することができる。
【0004】
特に有利には、コンタクト層系の各領域とダイアフラムとの間に、測定素子の領域が設けられており、容量の対称性が達成されている。つまり、面、従って、コンタクト接続部のキャパシタンスが(ダイアフラムに対して相対的に)、あまり正確でないエッチングによってではなくて、極めて正確にエッチングされた抵抗層によって、遮蔽マスク内に堆積されたコンタクト層系を特定することができるのである。更に、層付着を改善することができる。つまり、コンタクト層系は一様な基板上に堆積されており、従来技術とは異なり、少なくとも部分的にダイアフラム層の絶縁基板上に、抵抗層のエッチング過程の際、基板上への付着を劣化させるような残渣が残ることもない。更に、層が越えるべき段差は全くなく、その結果、エッジ部の被覆乃至エッジ部の損傷での効率上の問題点は回避される。
【0005】
更に、有利には、抵抗層及びパッシベーション層を一緒にエッチングするとよく、つまり、このようにして、マスク面を節約して、高い歩留まりを達成することができる。更に、パッシベーション層が遮蔽マスクによってコーティングされる際に生じることがある残渣によってボンディング可能性が損なわれるのを回避することができる。
【0006】
更に、抵抗層用の材料として、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンを使うと有利である。そうすることによって、抵抗層としてのポリシリコンの析出のために500℃以上でPECVDプロセス工程を行わずにすみ、その代わり、130℃以下で使用可能なニッケルクロム乃至ニッケルクロムシリコンの析出のためにスパッタリングプロセスを使うことができる。そうすることによって、最大プロセス温度を明らかに低減することができる。
【0007】
本発明の別の利点は、更に従属請求項及び以下の説明から得られる。
【0008】
図面
以下、本発明について図示の実施例を用いて詳細に説明する。
【0009】
その際、
図1は、第1の本発明の製造方法を示す図、
図2は、第2の本発明の製造方法の方法工程を示す図、
図3は、第3の本発明の製造方法を示す図、
図4は、第4の製造方法の方法工程を示す図、
図5は、第5の製造方法の方法工程を示す図
である。
【0010】
実施例の説明
図1は、高圧センサの製造用の第1の本発明の方法を示す。先ず(図1a)、スチール製ダイアフラム10のコーティングすべき表面上全面に、絶縁層20が堆積される。続いて、伸び測定ストリップ用の本来の機能層が全面に堆積され;それから、この伸び測定ストリップ30は、後続の工程で、フォトリソグラフによる構造化層を用いて形成される(図1b)。それに続いて、コンタクト層乃至コンタクト層系40が堆積され、その際、大抵、同様にフォトリソグラフにより構造化される(図1c)。択一的に選択して、コンタクト層40のフォトリソグラフによる構造化のために、遮蔽マスク技術を使ってもよい。所望の電気特性を調整するために、それに続いて補償過程を行う行うことができ、殊に、構造化された複数の圧電抵抗性伸び測定ストリップ乃至抵抗素子によって形成されたホイートストンブリッジの対称性を調整するように補償過程を行うことが屡々である。後続工程で(図1d)、パッシベーション層50が堆積され、このパッシベーション層の構造化は、同様にフォトリソグラフにより、又は、遮蔽マスク技術を用いることによって行うことができる。パッシベーション層がフォトリソグラフにより行われる場合、感光性レジストマスクとプラズマエッチング工程を用いて行われ、その際、エッチングガスとして、有利には、CF4/02ガス混合気を使うことができる。遮蔽マスク技術を用いてパッシベーション層を構造化する際、遮蔽マスクの開口の位置は、適切な位置又は個所にのみコーティングされるように選定されている。
【0011】
本発明の第1の実施例では、図1a及び1bに示されているように、絶縁層20がスチール製ダイアフラム10上に堆積され、続いて、絶縁層20上に抵抗層が堆積され、後続の工程で、抵抗層が伸び測定ストリップ乃至抵抗素子30となるように構造化される。絶縁層として、例えば、10マイクロメートル厚酸化シリコン層が使われて、PECVD方法(PECVD=Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)で堆積される。抵抗層として、500ナノメートル厚のポリシリコン層又は50ナノメートル厚ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコン層が堆積されて、ポリシリコンの場合、フォトリソグラフ工程と続いてプラズマエッチング工程とを介して、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンの場合、ウェットエッチング工程を介して構造化することができる。
【0012】
本発明によると、続いて行うコンタクト層系40のコーティングの際、コンタクト層の厚みに較べてほんの僅かな段差しか被覆されず、図1に示した方法では、抵抗層は約50ナノメートル厚のニッケルクロム又はニッケルクロムシリコン層として構成されている。続いて、コンタクト層(図1では参照番号40で示されている)は、スパッタリング又は蒸着プロセスを用いて堆積されている。これは、遮蔽マスクを用いて、又は、全面が続いてフォト構造化プロセスにより、イオンビームエッチング工程を用いて行うことができる。
【0013】
第2の本発明の方法によると、コンタクト層系の形成のために、図2に記載された方法のように、コンタクト層系が測定素子上に被覆の際に段差が生じないように堆積される:
コンタクト層系41の形成のために、先ず500ナノメートル厚のニッケルクロム、パラジウム及び続いて金の層シーケンスが、遮蔽マスクを通って伸び測定ストリップ30上にスパッタリング又は蒸着される(図2a)。このために使われる遮蔽マスクの開口は、この際、予め構造化された伸び測定ストリップの領域内全てに位置しており、その結果、コンタクト層系41とスチールダイアフラム10との間のコンタクト層系41の各個所に、伸び系ストリップ30の領域がある。後続工程(図2b)では、別の遮蔽マスクがPECVD方法を介して500ナノメートル厚のシリコンニトリド(SixNiy;x=3,y=4)製のパッシベーション層50が析出されて、コンタクト層系41の各コンタクト接続部間の伸び系ストリップ30の機能感応性領域が外部から影響されないようにして、自動車内の使用条件下で、センサ素子が障害なく作動するようにすることができる。
【0014】
図3には、高圧センサの製造用の第3の本発明の方法が示されており、この際、PECVD方法で10マイクロメートル厚酸化シリコン絶縁層20がスチール製ダイアフラム10上に堆積され、スチール製ダイアフラム10上に続いてポリシリコン(500ナノメートル厚)の抵抗層32又はNiCr(50ナノメートル厚)又はNiCrSi(50ナノメートル厚)が堆積されている。第2の工程(図3b)では、500ナノメートル厚のコンタクト層系41が遮蔽マスク技術で堆積される。材料としては、このためにニッケル又はニッケルクロム、パラジウム、続いて金の層シーケンスが使われる。択一的に選択して、コンタクト層系を形成するために、全面がコンタクト材料で堆積され、続いて、フォトリソグラフ及びエッチング工程を用いて、堆積されたコンタクト材料が構造化される。続いて、図3cに示されているように、全面がシリコンニトリド層52、その上に、フォトレジスト層60が堆積される。フォトレジストは、抵抗素子乃至伸び測定ストリップ30を形成するのに、抵抗層32の構造化のために、後続の現像の際に更にコンタクト層系41の内部領域43もセンサのエッジ領域も露出され、乃至、エッチングすることができる。フォトレジスト層60の現像後、内部領域43がエッチングストップ層として使われる内部領域43内でのシリコンニトリド層52のエッチングによる除去後、及び、抵抗素子の形成用のコンタクト層系41の各コンタクト接続部間及びセンサ素子のエッジ領域内でのシリコンニトリド層52及び抵抗層32のエッチングによる除去後、フォトレジスト層の残渣部分で更に被覆された高圧センサが形成され、この高圧センサの伸び測定ストリップ30は、シリコンニトリド製のパッシベーション層50によって被覆され、この高圧センサのコンタクト層系は、全面が抵抗層32の除去されていない領域で被覆されている。この際、エッチング方法として、ポリシリコンの場合、抵抗材料として有利にはテトラフッ化炭素−酸素混合物が使用され、NiCr又はNiCrSiの場合、抵抗材料としてウェット化学エッチングプロセスが使用される。残渣フォトレジスト層(図3e)の除去後、後続工程で、コンタクト層系のコンタクト接続部に電気端子が設けられ、高圧センサの上側が、例えば、更にケーシングによって覆われる。
【0015】
図3に示された第3の実施例に対して択一的なやり方(第4の方法)では、シリコンニトリド(図3c)の代わりに、感光性BCB(=ベンゾチクロブタン Benzocyclobuten)がパッシベーション層52として被覆される。それから、フォトレジスト層及びBCB層を露光及び現像することができ、その結果、後続して、パッシベーション層ではなく、抵抗層だけをエッチングしさえすればよい。それから、フォトレジスト層の除去後、図4に示されているように、装置を、例えば、300℃の温度に加熱して、BCB層が流れ易い(”Reflow”)ようにし、従って、伸び測定ストリップ30の外側エッジが、BCB層から形成されたパッシベーション層55で更に被覆されている。
【0016】
図3に示された実施例に対して択一的な第5の製造方法では、抵抗材料としてニッケルクロムを使用していて、フォトレジストを全く使わないで済み、部分図3a及びbを用いて説明したやり方では、単に層57だけが感光性BCB材料が、抵抗層32乃至コンタクト層系41の上面上に全面にわたってスパッタリング又は蒸着される(図5a)。BCB層57の露光及び現像後、抵抗層は、エッジ領域内にも各コンタクト接続部間の領域内にも、一方では、所望のパッシベーション層58が形成され、他方では、後続して、この空けられた個所に抵抗層をウェット化学エッチングして伸び測定ストリップ30が形成される(図5b)。NiCr又はNiCrSiの場合、抵抗材料としてフォトレジスト層がなく、ウェット化学エッチングプロセスを使うことができる。つまり、BCB層は、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンのエッチング用の酸に対して耐性がある。続いて行われるリフローベーキング”Reflow−Bake”によって、各コンタクト接続部でのパッシベーション層エッジが丸み付けされ、並びに、殊に、変形して形成されたパッシベーション層59の結果、伸び測定ストリップ30のエッジ領域も保護絶縁することができる。
【0017】
択一的に、ドイツ連邦共和国特許公開第10014984号公報に記載されているように、レーザ方法を用いて抵抗層を構造化してもよい。
【0018】
特殊鋼製ダイアフラム10と絶縁層20との一体化は、選択的にガラス製ダイアフラムによって置き換えてもよい。
【0019】
別の択一的な実施例では、例えば、”HSQ”(ハイドロゲン・シルセスキオクサン ”Hydrogen Silsesquioxan”)、Dow Corning社製、”SiLK”、Dow Chemical社製、又は、”Flare”、Allied Signal社製の他の有機又は無機材料層から絶縁層を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】
第1の本発明の製造方法を示す図
【図2】
第2の本発明の製造方法の方法ステップを示す図
【図3】
第3の本発明の製造方法を示す図
【図4】
第4の製造方法の方法ステップを示す図
【図5】
第5の製造方法の方法ステップを示す図
Claims (11)
- 薄膜構成素子、例えば、薄膜高圧センサの製造方法であって、ダイアフラム層(10,20)の非導電表面上に、測定素子、例えば、伸び測定ストリップ(30)を構成するための抵抗層が堆積されている方法において、測定素子の電気コンタクト接続のためのコンタクト層系(40,41)を当該測定素子上に、段差が生じないように、又は、当該コンタクト層の厚みに較べて小さな段差しか被覆されないように付着することを特徴とする方法。
- コンタクト層系(41)を、当該コンタクト層系の各領域とダイアフラム層(10,20)との間に測定素子(30)の領域が位置しているように、各測定素子上に付着する請求項1記載の方法。
- コンタクト層系を、スパッタリング処理又は蒸着処理を用いて、遮蔽マスクの開口を通して付着し、該開口の位置を、抵抗層上に限って前記付着が行われるように選定する請求項2記載の方法。
- 抵抗層を先ず全面に付着し、後続工程で、前記抵抗層をフォトリソグラフにより、又は、レーザ方法により構造化し、該構造化の結果、当該構造化された抵抗層乃至測定素子の横方向の拡がりを、全ての個所で、後続のコンタクト層系の付着のために使われる遮蔽マスク内の開口よりも大きくする請求項3記載の方法。
- 抵抗層を先ず全面に付着し、後続工程で、コンタクト層系を抵抗層上に堆積し、後続工程で、デバイスの全面にパッシベーション層を設け、後続して、前記抵抗層及び前記パッシベーション層をエッチングマスクだけを用いて構造化する請求項3記載の方法。
- パッシベーション層上に感光性レジスト層を付着、露光及び現像することによってエッチングマスクを形成する請求項5記載の方法。
- パッシベーション層用の材料として感光性BCBを使用して、感光性レジスト層と同時に、前記パッシベーション層を一緒に露光して一緒に現像する請求項6記載の方法。
- 抵抗層(30)用の材料として、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコンを使用する請求項1から7迄の何れか1記載の方法。
- 抵抗層用の材料として、ニッケルクロム又はニッケルクロムシリコン、及び、同時に、エッチングマスクとして使われるパッシベーション層として、BCB材料製の層を使用し、付加的に感光性レジスト層を付着しない請求項5記載の方法。
- ダイアフラム層(10,20)の非導電表面上に測定素子形成用の抵抗層、例えば、伸び測定ストリップ(30)が堆積されている薄膜構成素子において、
コンタクト層系(40,41)が測定素子の電気コンタクト接続のために当該測定素子上に、段差が生じないように、又は、コンタクト層の厚みに比較して僅かな段差しか被覆されないように堆積されていることを特徴とする薄膜構成素子。 - コンタクト層系(41)は、測定素子の電気コンタクト接続のために測定素子上に、前記コンタクト層系の各領域とダイアフラム層との間に測定素子(30)の領域が形成されるように堆積される請求項10記載の薄膜構成素子。
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