JP2004363124A - 容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】クロスポイント型のFeRAMにおけるメモリ部周辺回路への電気的接続やメモリ部の特性保護に関し高信頼性をもたらす容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板11に素子分離絶縁膜12、隣接する素子領域にはMOS型素子13が形成されている。素子分離絶縁膜12上方の絶縁膜14上に下部電極15が形成され、層間の絶縁膜16が形成されている。トレンチ17に強誘電体膜18が埋め込まれ底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上にある。強誘電体膜18上に上部電極19が形成されその上及び周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20及び絶縁膜16上に層間の絶縁膜21が形成されている。絶縁膜21上に各接続孔H1〜H3が形成され、各配線部材22が引き出されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基板11に素子分離絶縁膜12、隣接する素子領域にはMOS型素子13が形成されている。素子分離絶縁膜12上方の絶縁膜14上に下部電極15が形成され、層間の絶縁膜16が形成されている。トレンチ17に強誘電体膜18が埋め込まれ底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上にある。強誘電体膜18上に上部電極19が形成されその上及び周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20及び絶縁膜16上に層間の絶縁膜21が形成されている。絶縁膜21上に各接続孔H1〜H3が形成され、各配線部材22が引き出されている。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にFeRAM(Ferroelectric Random Access Memory)セルを有する半導体集積回路を含む半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
FeRAM、いわゆる強誘電体メモリは、高速性、低消費電力、高集積性、耐書き換え特性に優れた不揮発性メモリの一つである。強誘電体メモリは、強誘電体膜のヒステリシス特性、すなわち高速分極反転とその残留分極を利用した高速書き換えが可能である。特にクロスポイント型のFeRAMは、下部電極と上部電極の間に強誘電体膜を介した容量素子がマトリクス状に配列されるメモリセル構成を有し、高集積性に優れている。
【0003】
図9は、従来のクロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。半導体基板101上に素子分離絶縁膜102が形成され、隣接する素子領域にはメモリ部の周辺回路、選択トランジスタとして働くMOS型素子103が形成されている。MOS型素子103上を含め全面に層間絶縁膜104が形成されている。
【0004】
所定領域における素子分離絶縁膜102上方の層間の絶縁膜104上に下部電極105が一方向に伸びるように形成されている。下部電極105上方には上部電極107に繋がる上部配線110が上記一方向に交差するように伸長し形成されている。下部電極105と上部電極107の間に強誘電体膜106を配している。両電極105,107、その間の強誘電体膜106によって形成される容量素子が各メモリセル構造となってマトリクス状に配列され、これにより、メモリ部M10を構成している。
【0005】
メモリ部M10には保護膜108が形成されている。保護膜108は水素バリア膜であり、トランジスタ特性向上、安定化のための水素シンター処理(水素雰囲気中の熱処理)に関係し、水素を侵入し難くして容量素子を保護する機能を有する。保護膜108は、例えばAlxOyやSixNy等で構成される。このようなメモリ部M10、MOS型素子103上の絶縁膜104を覆うように層間の絶縁膜109が形成されている。絶縁膜109に各接続孔H1〜H3が形成され、各接続配線が引き出されている。上部配線110は、ワード線となる。配線111は、MOS型素子103の選択トランジスタと下部電極105の副ビット線を繋ぐ配線である。配線112は主ビット線に繋がる配線である。
【0006】
クロスポイント型のFeRAMにおいては、下部電極105の副ビット線電位と上部配線110のワード線電位の関係を制御して、それぞれ強誘電体膜106を有する強誘電体キャパシタを所定の印加電界方向に分極させる。選択されたメモリセルは、強電体キャパシタの分極状態に応じた副ビット線電位となり、選択トランジスタ103及び主ビット線に伝達される。このようなプログラム制御を開示するクロスポイント型のFeRAMは例えば特許文献1に開示されている。
【0007】
【特許文献1】
特開平9−116107(第5−10頁)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図9において、MOS型素子103、すなわち選択トランジスタ等から引き出される配線111,112の接続孔H2,3のアスペクト比がメモリ部M10にある接続孔H1のそれと比較して非常に大きい。よって、エレクトロマイグレーションの信頼性に欠け、部分的に高抵抗化する懸念がある。
【0009】
また、接続孔H1〜3にはCVD(化学気相成長)技術を利用してW(タングステン)プラグを埋め込むことがある。その場合、CVD−Wの埋め込み不十分によるスリット発生を避けるため、接続孔H1〜3サイズはチップ内部すべて同じデザインルールにされる。そうなると、接続孔H1〜3は、メモリ部M10における小さな接続孔H1のサイズに合わせられる。結果、W配線抵抗に依存して応答速度等、電気特性的な制約を受ける。
【0010】
また、メモリ部M10における上部電極104及び下部電極102はPt等、化学反応エッチングが困難な部材で形成され、強誘電体膜106の加工が例えば上部電極104のパターニングと同時に行われる。このため、物理的にエッチングされる傾向が高く、強誘電体膜106のダメージが懸念される。特にエッチ面を含めて結晶構造が変わる可能性があり、データ保持特性の劣化等、信頼性を損なう恐れがある。
【0011】
また、メモリ部M10を覆う保護膜108は、下部電極105上から強誘電体膜106と上部電極107の側部、及び上部電極107の上部を被覆している。これにより、保護膜108は段差被覆性を損なう恐れがある。これにより、容量素子の特性の劣化、ひいてはメモリの信頼性の低下が懸念される。
【0012】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、クロスポイント型のFeRAMにおけるメモリ部周辺回路への電気的接続やメモリ部の特性保護に関し高信頼性をもたらす容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法を提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る容量素子は、第1絶縁膜上の第1電極部材と、前記第1電極部材上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、前記強誘電体膜上の第2電極部材と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、を具備したことを特徴とする。
【0014】
上記本発明に係る容量素子によれば、強誘電体膜が第2絶縁膜の平坦化同一面上にある。これにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆できればよく、段差被覆の信頼性は向上する。
なお、保護膜は少なくとも水素バリアとして機能する膜であることを特徴とする。強誘電体膜の特性劣化を招く還元雰囲気での酸素欠損を防ぐために設けられる。
また、第2電極部材の上部に接続される配線部材をさらに含むことを特徴とする。配線の引き回しや加工の容易性が得られる。
【0015】
本発明に係る容量素子の製造方法は、第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、前記第1電極部材上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜に前記第1電極部材の一部が露出するトレンチを形成する工程と、前記トレンチ内を埋める強誘電体膜を形成する工程と、前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同時に平坦化する工程と、前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第1絶縁膜上を保護膜で覆う工程と、を具備したことを特徴とする。
【0016】
上記本発明に係る容量素子の製造方法によれば、第2絶縁膜のトレンチによって強誘電体膜が形作られる。これにより、強誘電体膜の微細加工が容易で、制御性もよく、かつダメージが抑えられるので信頼性が得られる。強誘電体膜及び第2絶縁膜を同時に平坦化することにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。
【0017】
また、上記本発明に係る容量素子の製造方法において、前記保護膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、前記第3絶縁膜上に前記強誘電体膜上の前記保護膜を露出させる開孔部を形成する工程と、前記開孔部底部の前記保護膜を除去する工程と、前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材の上部に接続される配線部材を形成する工程と、をさらに含むことを特徴とする。これにより、配線の引き回しや加工の容易性が得られる。
【0018】
なお、上記本発明に係る容量素子の製造方法において、前記保護膜は少なくとも水素バリアとして設けることを特徴とする。また、前記強誘電体膜を形成する工程における強誘電体膜の形成方法は、溶液塗布法、CVD法及びスパッタ法のうちいずれかの方法を用いることを特徴とする。
【0019】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板に形成されたトランジスタと、前記トランジスタを含む前記半導体基板上の所定領域を覆う第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上に選択的に形成された第1電極部材と、前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上方を覆う平坦化された第2絶縁膜と、前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、前記強誘電体膜上の第2電極部材と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、前記保護膜を覆う前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜と、前記第3絶縁膜上に形成され前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材と、を具備したことを特徴とする。
【0020】
上記本発明に係る半導体装置によれば、強誘電体膜が第2絶縁膜の平坦化同一面上にある。これにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆できればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、第3絶縁膜上の配線部材は、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0021】
また、上記本発明に係る半導体装置において、前記第1電極部材は所定方向に伸びる複数本設けられ、前記強誘電体膜はそれぞれ所定ピッチで複数箇所配置されていることを特徴とする。強誘電体メモリとして信頼性が得られる構成が期待できる。
【0022】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、前記第2電極部材との接続部に伴うホール径より前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホール径の方が大きいことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現する。
【0023】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、前記第2電極部材との接続部に伴うホールを埋める導電材料と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホールを埋める導電材料は異なることを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適な構成を選ぶことができる。
【0024】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、少なくとも前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第2絶縁膜内の第1の導電材料と、前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第3絶縁膜内の第2の導電材料とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適な構成となる。
【0025】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板にトランジスタを形成する工程と、前記半導体基板上に第1絶縁膜を形成する工程と、前記第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上を覆う第2絶縁膜を形成する工程と、前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜を選択的に除去する複数のトレンチを形成する工程と、前記トレンチ内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触する強誘電体膜を形成する工程と、前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同一平面にする平坦化工程と、前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、少なくとも前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜を形成する工程と、前記保護膜上及び前記第2絶縁膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材を形成する工程と、を具備したことを特徴とする。
【0026】
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、第2絶縁膜のトレンチによって強誘電体膜が形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜を複数配する微細加工の制御性、容易性が得られ、かつダメージが抑えられるので信頼性が得られる。強誘電体膜及び第2絶縁膜を同時に平坦化することにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、第3絶縁膜上の配線部材は、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0027】
上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適なホール径を選ぶことができる。
【0028】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う少なくとも等方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う少なくとも異方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適なエッチング方法を選ぶことができる。
【0029】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1、第2のコンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含み、前記第1、第2のコンタクトホールに埋め込む導電材料はそれぞれ少なくとも一部が異なる工程を経て異なる導電材料が用いられ、かつ前記第3絶縁膜上には同じ導電材料が配されることを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するより効率的な方法が適用される。
【0030】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記保護膜を形成する前または後の段階で、予め前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部に伴う所定ホールを形成する工程と、前記所定ホールに所定の導電材料を埋め込む工程と、を具備したことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するより効率的な方法が適用される。
【0031】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図2、図3は、図1の構成を実現するための途中工程を順に示す断面図である。
【0032】
図1において、シリコンでなる半導体基板11に素子分離絶縁膜12が形成され、隣接する素子領域にはメモリ部の周辺回路、選択トランジスタとして働くMOS型素子13が形成されている。MOS型素子13上を含め全面に層間の絶縁膜14が形成されている。所定領域における素子分離絶縁膜12上方の絶縁膜14上に下部電極15が一方向に伸びるように形成されている。下部電極15上を含む全面に層間の絶縁膜16が形成されている。絶縁膜16は平坦化されている。下部電極15上の絶縁膜16には選択的な除去部、例えばトレンチ17が形成されている。このトレンチ17に強誘電体膜18が埋め込まれている。強誘電体膜18は底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上にある。強誘電体膜18上に上部電極19が形成されている。この上部電極19及びその周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20及び絶縁膜16上に層間の絶縁膜21が形成されている。絶縁膜21上に各接続孔H1〜H3が形成され、各配線部材22が引き出されている。上部配線221は、ワード線となる。配線222は、MOS型素子13のソース領域Sと下部電極15(副ビ
ット線)を繋ぐ配線である。配線223はMOS型素子13のドレイン領域Dに繋がる配線であり、主ビット線に繋がる。
【0033】
下部電極15と上部電極19の間に強誘電体膜18を配し、容量素子が構成されている。容量素子は、強誘電体膜18をトレンチ17に埋め込んだ形態となっており、上部電極19及びその周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20は強誘電体膜18の特性劣化を招く酸素欠損を防ぐための水素バリア膜である。保護膜20は例えばAlxOyやTi−Al−N等で構成され、水素シンター処理における強誘電体膜18への水素侵入を阻止する。なお、Ti−Al−N系合金は導電性があるため、ホール開孔する際同時に電極間を分離する必要がある。このような容量素子が各メモリセル構造となってマトリクス状に配列され、これにより、メモリ部M1を構成している。
【0034】
次に、図2、図3を参照して図1の構成を実現する工程について説明する。
図2に示すように、シリコンでなる半導体基板11にLOCOS(選択酸化分離)法を用いて素子分離絶縁膜12を形成する。素子分離絶縁膜12相互間の素子領域にMOS型素子13を形成する。すなわち、ゲート絶縁膜131、ポリシリコン層を順次形成してゲート電極132をパターニングする。その後、ゲート電極132の領域をマスクに、LDD(Lightly Doped Drain )構造いわゆるエクステンション領域のためのソース/ドレインの低濃度領域133を不純物イオン注入により形成する。次に、CVD(Chemical Vapor Deposition )法によりゲート電極132上を覆うように絶縁膜、例えばシリコン酸化膜を堆積し、異方性のドライエッチングを実施することによりシリコン酸化膜のスペーサ134を形成する。次に、ゲート電極132の領域及びスペーサ134をマスクにしてソース/ドレインの高濃度領域135を不純物イオン注入により形成する。その後、所定の熱処理等を経る。図示しないが、ゲート電極132上部をシリサイド化するポリサイド構造、または、ゲート電極132及びソース/ドレイン領域(135)を自己整合的にシリサイド化するサリサイド構造を実現するためのプロセスを経ることも可能である。
【0035】
次に、MOS型素子13上を含め全面に層間の絶縁膜14を形成する。絶縁膜14はリフロー法等の実施可能な段差被覆性に優れた膜が適用される。次に、スパッタ法を用いて絶縁膜14上にPt(白金)等、貴金属を含む導電膜を100〜300nm程度形成する。この導電膜をパターニングすることにより、下部電極15を形成する。次に、CVD法により下部電極15上及び前記MOS型素子13上を覆う層間の絶縁膜16を形成する。フォトリソグラフィ技術、異方性エッチング技術を利用して下部電極15上の絶縁膜16には選択的な除去部、例えばトレンチ17が形成される。このトレンチ17内に強誘電体膜18を埋め込む。強誘電体膜18は様々考えられ、ペロブスカイト構造のPb系酸化物であるPZT(Pb(ZrxTi1−x)O3)系や、Bi層状酸化物であるSBT(SrBi2Ta2O9)系が用いられる。また、比較的誘電率の大きい常誘電体材料としてBST((Ba,Sr)TiO3)やSTO(SrTiO3)などを利用することも考えられる。強誘電体膜18は、ゾル・ゲル法等の溶液塗布法(Chemical Solution Deposition)、スパッタ法やCVD法、MOCVD(Metal Organic CVD)法等を用いて形成する。その後、結晶化の熱処理(急速熱アニール)を行う。
【0036】
次に、CMP(Chemical Mechanical Polishing )法を用い、強誘電体膜18を所定の厚さにするべく、絶縁膜16と共に平坦化する。これにより、強誘電体膜18は100〜300nmの範囲の所定厚さにされ、底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上に配されるようになる。
【0037】
次に、図3に示すように、スパッタ法を用いて強誘電体膜18上を覆うPt(白金)等、貴金属を含む導電膜を100〜300nm程度形成し、パターニングする。これにより、上部電極19を形成する。次に、スパッタ法やCVD法を用いて上部電極19上及び絶縁膜16上に保護膜20を形成する。保護膜20は上述したように強誘電体膜18の特性劣化を招く酸素欠損を防ぐための水素バリア膜であり、例えばAl2O3等を所定の厚さで被覆する。保護膜20は上部電極19上及びその周辺の絶縁膜16上を被膜するようパターニングされる。次に、保護膜20上及び絶縁膜16上を含む全面に層間の絶縁膜21を形成する。
【0038】
次に、絶縁膜21に対してフォトリソグラフィ工程、エッチング工程を経てホールH1〜H3を形成する。ホールH1〜H3は同時に形成してもよい。初めのうちは層間の絶縁膜(21,16,14)を、選択性のあるフレオン(クロロフルオロカーボン)系ガスを主体とした異方性エッチングで除去し、その後、保護膜20をエッチングするため、塩素系ガスを主体とした異方性エッチングを行う。各ホールについて、間口を大きくするテーパーエッチング技術を設けてもよい。また、一番浅いホールH1を別工程で形成することも考えられる。また、ホールH1〜H3は、異なる径をもって形成してもよい。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできないとする。このホールH1に合わせることなく、より深いホールH2,H3の径をホールH1の径より大きくすることもできる。
【0039】
その後、ホールH1〜H3に、CVD法またはスパッタ法によるTiNやTaN等のバリア膜(図示せず)の被覆を経て、CVD法等によりAl合金またはW等を充填し各配線部材22を形成する。これにより、図1に示すような構成が実現される。
【0040】
上記第1実施形態及び方法によれば、強誘電体膜18は、層間の絶縁膜16に形成したトレンチ17によって形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜18を複数配するうえで微細加工の制御性、容易性が得られる。埋め込み形態の強誘電体膜18によって、結晶化のアニールを含む熱処理工程では低融点金属物質(例えばPZTならPb)が横方向へ流出するのを少なく抑えることができ、特性制御が容易となる。また、強誘電体膜18の配列ピッチもより狭めることができ、高集積化に寄与する。
また、埋め込み形態の強誘電体膜18によって、ダメージが抑えられるので信頼性が得られる。すなわち、強誘電体膜18はエッチング加工をしないので、ダメージ回復のためのリカバリー酸化工程を低温化または不要化する方向にプロセス改善できる。例えば、上部電極19を形成後にリカバリー酸化工程が導入される場合、低温化または不要化する傾向に改善できる。これにより、メモリセル以外のトランジスタ特性の劣化防止に寄与する。
また、保護膜20は上部電極19の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。
これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1〜H3を伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0041】
なお、配線部材22中でWプラグを用いる場合、ホールH2,H3内はWで充填する。一方、ホールH1は絶縁膜21上の上部配線221と共にAl合金で構成するとよい。さらに、絶縁膜21上に配される配線222,223もAl合金を形成してパターニングする。
【0042】
図4は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図5は、図4の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
【0043】
この実施形態では、配線部材22に関し、接続プラグ22pを用いることを示している。前記図2で説明したような工程を経て層間の絶縁膜21までを形成する。次に、異方性エッチング技術を用いてホールH2,H3を形成する。ホールH2,H3内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整える。これにより、接続プラグ22pが形成される。より深いホールH2,H3の径を後述するホールH1の径より大きくし、コンタクトの信頼性を向上させることもできる。(図5)。次に、ホールH1を形成する。浅いホールH1は、ここでは等方性の傾向のあるエッチングを施し等方ホールとする。次に、バリアTiN(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1を埋める上部配線221を形成すると共に絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図4の構成が実現される。
【0044】
上記第2実施形態及び方法によれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、埋め込み形態の強誘電体膜18による微細加工の制御性、容易性、特性制御性、信頼性、高集積性が得られ、かつ、保護膜20の段差被覆の信頼性は向上する。図示しないが、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。また、ホールH1〜H3は、異なる径をもって形成することができる。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできない場合、このホールH1に合わせることなく、より深いホールH2,H3の径をホールH1の径より大きくする。そして、一番浅いホールH1を別工程で形成し、しかも異方性と等方性を組み合わせたホールエッチにより、ホール間口を大きくすることができる。これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1〜H3を伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなり、かつ埋め込み易くなるよう改善される。
【0045】
図6は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図7は、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
【0046】
この実施形態では、配線部材22に関し、接続プラグ22pを用いることを示している。前記図2で説明したような工程を経て保護膜20までを形成する。次に、絶縁膜16に対し、異方性エッチング技術を用いてホールH2a,H3aを形成する。ホールH2a,H3a内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整える。これにより、接続プラグ22pが形成される。ホールH2a,H3aは、後述するホールH2b,H3bより径が大きく、これにより合わせ余裕を設けることができる(図7)。次に、絶縁膜21を形成する。次に、ホールH1,H2b,H3bを同時に形成する。各ホールH1,H2b,H3bは一様に浅く、ここでは異方性と等方性の傾向のあるエッチングを組み合わせ、間口付近を等方ホールとする。ここでの等方エッチング手法は、いわゆるドライエッチャー、もしくはフッ酸系水溶液によるウェットエッチャー等に限定されない。次に、TiやTiN等のバリア(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1,H2b,H3bを埋める上部配線221、絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図6の構成が実現される。
【0047】
図8は、上記第3実施形態の方法に係る変形例であり、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
前記図2で説明したような工程を経て上部電極19までを形成する。次に、絶縁膜16に対し、異方性エッチング技術を用いてホールH2a,H3aを形成する。ホールH2a,H3a内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整え、接続プラグ22pを構成する(図8)。次に、保護膜20を形成し、さらに、絶縁膜21を形成する。次に、前記図7と同様に等方ホールH1,H2b,H3bを同時に形成する。次に、TiやTiN等のバリア(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1,H2b,H3bを埋める上部配線221、絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図6の構成が実現される。
【0048】
上記第3実施形態及び方法、また、その変形例によれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、埋め込み形態の強誘電体膜18による微細加工の制御性、容易性、特性制御性、信頼性、高集積性が得られ、かつ、保護膜20の段差被覆の信頼性は向上する。図示しないが、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。また、ホールH2a,H3aは、ホールH1,H2b,H3bよりも大きな径で形成してコンタクト余裕を設けることができる。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできない場合、このホールH1に合わせることなく、より余裕のあるホールH2a,H3aの径をホールH1の径より大きくする。そして、ホール径がより狭く、一様に浅くなったH1,H2b,H3bは、等方ホールの傾向でホール間口を大きくすることができる。これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1,H2a,H3a,H2b,H3bを伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなり、かつ埋め込み易くなるよう改善される。
【0049】
なお、上記各実施形態及び方法において、絶縁膜14上に下部電極15が形成されるが、絶縁膜14上にTi,Ta,Ir,W等を含む高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜を形成し、この膜の上に下部電極15が形成されるようにしてもよい。また、強誘電体膜18上に上部電極19が形成されるが、強誘電体膜18上にTi,Ta,Ir,W等を含む高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜を形成し、この膜の上に上部電極19が形成されるようにしてもよい。このような高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜は、下部電極15とその下層との密着性または上部電極19とその下層との密着性の向上や、酸素トラップとして寄与する。
【0050】
下部電極15及び上部電極19は、特に熱、化学的安定性の優れた材料が要求され、Pt等貴金属がベースになっている。熱、化学的安定性が増せば、反応性のエッチングが難しくなってくる。よって、下部電極15及び上部電極19のパターニングはバイアスによる物理的なエッチングに頼る傾向が強い。その点、下部電極15及び上部電極19のパターニングは、強誘電体膜18の形成に関係なくそれぞれ独立して行われるので強誘電体膜18の信頼性を劣化させない。
【0051】
以上説明したように、本発明によれば、容量素子の容量絶縁膜として用いられる強誘電体膜は、平坦化同一面上にある層間の絶縁膜に形成したトレンチによって形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜を複数配するうえで微細加工の制御性、容易性、容量素子特性制御の容易性、高集積性が得られる。また、エッチング加工をしない埋め込み形態の強誘電体膜によって、ダメージが抑えられるのでリカバリー酸化工程を低温化または不要化する方向にプロセス改善できる。これにより、メモリセル以外のトランジスタ特性の劣化防止に寄与する。また、水素バリアとしての保護膜は、上部電極の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。これら総合的な構成によれば、メモリ部の領域の高さは、隣接する層間の絶縁膜との膜厚差をより小さくする方向に改善される。これにより、周辺回路との配線部材に関し、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。この結果、クロスポイント型のFeRAMにおけるメモリ部周辺回路への電気的接続やメモリ部の特性保護に関し高信頼性をもたらす容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法を提供することができる。なお、実施例では、クロスポイント型に関して説明したが、いわゆるスタック型やプレナー型と称するFeRAMを構成する半導体装置及びその製造にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図2】図1の構成を実現するための途中工程を示す第1断面図。
【図3】図1の構成を実現するための途中工程を示す第2断面図。
【図4】本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図5】図4の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図6】本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図7】図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図8】第3実施形態に係る変形例であり、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図9】従来のクロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【符号の説明】
11,101…半導体基板、12,102…素子分離絶縁膜、13,103…MOS型素子、131…ゲート絶縁膜、132…ゲート電極、133…ソース/ドレインの低濃度領域、134…スペーサ、135…ソース/ドレインの高濃度領域、14,16,21,104…絶縁膜、15,105…下部電極、17…トレンチ、18,106…強誘電体膜、19,107…上部電極、20,108…保護膜、22…配線部材、22p…接続プラグ、221,110…上部配線、222,223,111,112…配線、H1〜H3,H2a,H2b,H3a,H3b…ホール、M1,M10…メモリ部。
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にFeRAM(Ferroelectric Random Access Memory)セルを有する半導体集積回路を含む半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
FeRAM、いわゆる強誘電体メモリは、高速性、低消費電力、高集積性、耐書き換え特性に優れた不揮発性メモリの一つである。強誘電体メモリは、強誘電体膜のヒステリシス特性、すなわち高速分極反転とその残留分極を利用した高速書き換えが可能である。特にクロスポイント型のFeRAMは、下部電極と上部電極の間に強誘電体膜を介した容量素子がマトリクス状に配列されるメモリセル構成を有し、高集積性に優れている。
【0003】
図9は、従来のクロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。半導体基板101上に素子分離絶縁膜102が形成され、隣接する素子領域にはメモリ部の周辺回路、選択トランジスタとして働くMOS型素子103が形成されている。MOS型素子103上を含め全面に層間絶縁膜104が形成されている。
【0004】
所定領域における素子分離絶縁膜102上方の層間の絶縁膜104上に下部電極105が一方向に伸びるように形成されている。下部電極105上方には上部電極107に繋がる上部配線110が上記一方向に交差するように伸長し形成されている。下部電極105と上部電極107の間に強誘電体膜106を配している。両電極105,107、その間の強誘電体膜106によって形成される容量素子が各メモリセル構造となってマトリクス状に配列され、これにより、メモリ部M10を構成している。
【0005】
メモリ部M10には保護膜108が形成されている。保護膜108は水素バリア膜であり、トランジスタ特性向上、安定化のための水素シンター処理(水素雰囲気中の熱処理)に関係し、水素を侵入し難くして容量素子を保護する機能を有する。保護膜108は、例えばAlxOyやSixNy等で構成される。このようなメモリ部M10、MOS型素子103上の絶縁膜104を覆うように層間の絶縁膜109が形成されている。絶縁膜109に各接続孔H1〜H3が形成され、各接続配線が引き出されている。上部配線110は、ワード線となる。配線111は、MOS型素子103の選択トランジスタと下部電極105の副ビット線を繋ぐ配線である。配線112は主ビット線に繋がる配線である。
【0006】
クロスポイント型のFeRAMにおいては、下部電極105の副ビット線電位と上部配線110のワード線電位の関係を制御して、それぞれ強誘電体膜106を有する強誘電体キャパシタを所定の印加電界方向に分極させる。選択されたメモリセルは、強電体キャパシタの分極状態に応じた副ビット線電位となり、選択トランジスタ103及び主ビット線に伝達される。このようなプログラム制御を開示するクロスポイント型のFeRAMは例えば特許文献1に開示されている。
【0007】
【特許文献1】
特開平9−116107(第5−10頁)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図9において、MOS型素子103、すなわち選択トランジスタ等から引き出される配線111,112の接続孔H2,3のアスペクト比がメモリ部M10にある接続孔H1のそれと比較して非常に大きい。よって、エレクトロマイグレーションの信頼性に欠け、部分的に高抵抗化する懸念がある。
【0009】
また、接続孔H1〜3にはCVD(化学気相成長)技術を利用してW(タングステン)プラグを埋め込むことがある。その場合、CVD−Wの埋め込み不十分によるスリット発生を避けるため、接続孔H1〜3サイズはチップ内部すべて同じデザインルールにされる。そうなると、接続孔H1〜3は、メモリ部M10における小さな接続孔H1のサイズに合わせられる。結果、W配線抵抗に依存して応答速度等、電気特性的な制約を受ける。
【0010】
また、メモリ部M10における上部電極104及び下部電極102はPt等、化学反応エッチングが困難な部材で形成され、強誘電体膜106の加工が例えば上部電極104のパターニングと同時に行われる。このため、物理的にエッチングされる傾向が高く、強誘電体膜106のダメージが懸念される。特にエッチ面を含めて結晶構造が変わる可能性があり、データ保持特性の劣化等、信頼性を損なう恐れがある。
【0011】
また、メモリ部M10を覆う保護膜108は、下部電極105上から強誘電体膜106と上部電極107の側部、及び上部電極107の上部を被覆している。これにより、保護膜108は段差被覆性を損なう恐れがある。これにより、容量素子の特性の劣化、ひいてはメモリの信頼性の低下が懸念される。
【0012】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、クロスポイント型のFeRAMにおけるメモリ部周辺回路への電気的接続やメモリ部の特性保護に関し高信頼性をもたらす容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法を提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る容量素子は、第1絶縁膜上の第1電極部材と、前記第1電極部材上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、前記強誘電体膜上の第2電極部材と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、を具備したことを特徴とする。
【0014】
上記本発明に係る容量素子によれば、強誘電体膜が第2絶縁膜の平坦化同一面上にある。これにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆できればよく、段差被覆の信頼性は向上する。
なお、保護膜は少なくとも水素バリアとして機能する膜であることを特徴とする。強誘電体膜の特性劣化を招く還元雰囲気での酸素欠損を防ぐために設けられる。
また、第2電極部材の上部に接続される配線部材をさらに含むことを特徴とする。配線の引き回しや加工の容易性が得られる。
【0015】
本発明に係る容量素子の製造方法は、第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、前記第1電極部材上に第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜に前記第1電極部材の一部が露出するトレンチを形成する工程と、前記トレンチ内を埋める強誘電体膜を形成する工程と、前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同時に平坦化する工程と、前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第1絶縁膜上を保護膜で覆う工程と、を具備したことを特徴とする。
【0016】
上記本発明に係る容量素子の製造方法によれば、第2絶縁膜のトレンチによって強誘電体膜が形作られる。これにより、強誘電体膜の微細加工が容易で、制御性もよく、かつダメージが抑えられるので信頼性が得られる。強誘電体膜及び第2絶縁膜を同時に平坦化することにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。
【0017】
また、上記本発明に係る容量素子の製造方法において、前記保護膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、前記第3絶縁膜上に前記強誘電体膜上の前記保護膜を露出させる開孔部を形成する工程と、前記開孔部底部の前記保護膜を除去する工程と、前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材の上部に接続される配線部材を形成する工程と、をさらに含むことを特徴とする。これにより、配線の引き回しや加工の容易性が得られる。
【0018】
なお、上記本発明に係る容量素子の製造方法において、前記保護膜は少なくとも水素バリアとして設けることを特徴とする。また、前記強誘電体膜を形成する工程における強誘電体膜の形成方法は、溶液塗布法、CVD法及びスパッタ法のうちいずれかの方法を用いることを特徴とする。
【0019】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板に形成されたトランジスタと、前記トランジスタを含む前記半導体基板上の所定領域を覆う第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上に選択的に形成された第1電極部材と、前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上方を覆う平坦化された第2絶縁膜と、前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、前記強誘電体膜上の第2電極部材と、前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、前記保護膜を覆う前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜と、前記第3絶縁膜上に形成され前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材と、を具備したことを特徴とする。
【0020】
上記本発明に係る半導体装置によれば、強誘電体膜が第2絶縁膜の平坦化同一面上にある。これにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆できればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、第3絶縁膜上の配線部材は、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0021】
また、上記本発明に係る半導体装置において、前記第1電極部材は所定方向に伸びる複数本設けられ、前記強誘電体膜はそれぞれ所定ピッチで複数箇所配置されていることを特徴とする。強誘電体メモリとして信頼性が得られる構成が期待できる。
【0022】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、前記第2電極部材との接続部に伴うホール径より前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホール径の方が大きいことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現する。
【0023】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、前記第2電極部材との接続部に伴うホールを埋める導電材料と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホールを埋める導電材料は異なることを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適な構成を選ぶことができる。
【0024】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置において、少なくとも前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第2絶縁膜内の第1の導電材料と、前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第3絶縁膜内の第2の導電材料とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適な構成となる。
【0025】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板にトランジスタを形成する工程と、前記半導体基板上に第1絶縁膜を形成する工程と、前記第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上を覆う第2絶縁膜を形成する工程と、前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜を選択的に除去する複数のトレンチを形成する工程と、前記トレンチ内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触する強誘電体膜を形成する工程と、前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同一平面にする平坦化工程と、前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、少なくとも前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜を形成する工程と、前記保護膜上及び前記第2絶縁膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材を形成する工程と、を具備したことを特徴とする。
【0026】
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、第2絶縁膜のトレンチによって強誘電体膜が形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜を複数配する微細加工の制御性、容易性が得られ、かつダメージが抑えられるので信頼性が得られる。強誘電体膜及び第2絶縁膜を同時に平坦化することにより、保護膜は第2電極部材の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、第3絶縁膜上の配線部材は、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0027】
上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適なホール径を選ぶことができる。
【0028】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う少なくとも等方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う少なくとも異方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するための好適なエッチング方法を選ぶことができる。
【0029】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1、第2のコンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含み、前記第1、第2のコンタクトホールに埋め込む導電材料はそれぞれ少なくとも一部が異なる工程を経て異なる導電材料が用いられ、かつ前記第3絶縁膜上には同じ導電材料が配されることを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するより効率的な方法が適用される。
【0030】
上記いずれかの本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記配線部材を形成する工程において、前記保護膜を形成する前または後の段階で、予め前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部に伴う所定ホールを形成する工程と、前記所定ホールに所定の導電材料を埋め込む工程と、を具備したことを特徴とする。より深いホールに対する接続部の確実な引き出し配線を実現するより効率的な方法が適用される。
【0031】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図2、図3は、図1の構成を実現するための途中工程を順に示す断面図である。
【0032】
図1において、シリコンでなる半導体基板11に素子分離絶縁膜12が形成され、隣接する素子領域にはメモリ部の周辺回路、選択トランジスタとして働くMOS型素子13が形成されている。MOS型素子13上を含め全面に層間の絶縁膜14が形成されている。所定領域における素子分離絶縁膜12上方の絶縁膜14上に下部電極15が一方向に伸びるように形成されている。下部電極15上を含む全面に層間の絶縁膜16が形成されている。絶縁膜16は平坦化されている。下部電極15上の絶縁膜16には選択的な除去部、例えばトレンチ17が形成されている。このトレンチ17に強誘電体膜18が埋め込まれている。強誘電体膜18は底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上にある。強誘電体膜18上に上部電極19が形成されている。この上部電極19及びその周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20及び絶縁膜16上に層間の絶縁膜21が形成されている。絶縁膜21上に各接続孔H1〜H3が形成され、各配線部材22が引き出されている。上部配線221は、ワード線となる。配線222は、MOS型素子13のソース領域Sと下部電極15(副ビ
ット線)を繋ぐ配線である。配線223はMOS型素子13のドレイン領域Dに繋がる配線であり、主ビット線に繋がる。
【0033】
下部電極15と上部電極19の間に強誘電体膜18を配し、容量素子が構成されている。容量素子は、強誘電体膜18をトレンチ17に埋め込んだ形態となっており、上部電極19及びその周辺の絶縁膜16上は保護膜20で覆われている。保護膜20は強誘電体膜18の特性劣化を招く酸素欠損を防ぐための水素バリア膜である。保護膜20は例えばAlxOyやTi−Al−N等で構成され、水素シンター処理における強誘電体膜18への水素侵入を阻止する。なお、Ti−Al−N系合金は導電性があるため、ホール開孔する際同時に電極間を分離する必要がある。このような容量素子が各メモリセル構造となってマトリクス状に配列され、これにより、メモリ部M1を構成している。
【0034】
次に、図2、図3を参照して図1の構成を実現する工程について説明する。
図2に示すように、シリコンでなる半導体基板11にLOCOS(選択酸化分離)法を用いて素子分離絶縁膜12を形成する。素子分離絶縁膜12相互間の素子領域にMOS型素子13を形成する。すなわち、ゲート絶縁膜131、ポリシリコン層を順次形成してゲート電極132をパターニングする。その後、ゲート電極132の領域をマスクに、LDD(Lightly Doped Drain )構造いわゆるエクステンション領域のためのソース/ドレインの低濃度領域133を不純物イオン注入により形成する。次に、CVD(Chemical Vapor Deposition )法によりゲート電極132上を覆うように絶縁膜、例えばシリコン酸化膜を堆積し、異方性のドライエッチングを実施することによりシリコン酸化膜のスペーサ134を形成する。次に、ゲート電極132の領域及びスペーサ134をマスクにしてソース/ドレインの高濃度領域135を不純物イオン注入により形成する。その後、所定の熱処理等を経る。図示しないが、ゲート電極132上部をシリサイド化するポリサイド構造、または、ゲート電極132及びソース/ドレイン領域(135)を自己整合的にシリサイド化するサリサイド構造を実現するためのプロセスを経ることも可能である。
【0035】
次に、MOS型素子13上を含め全面に層間の絶縁膜14を形成する。絶縁膜14はリフロー法等の実施可能な段差被覆性に優れた膜が適用される。次に、スパッタ法を用いて絶縁膜14上にPt(白金)等、貴金属を含む導電膜を100〜300nm程度形成する。この導電膜をパターニングすることにより、下部電極15を形成する。次に、CVD法により下部電極15上及び前記MOS型素子13上を覆う層間の絶縁膜16を形成する。フォトリソグラフィ技術、異方性エッチング技術を利用して下部電極15上の絶縁膜16には選択的な除去部、例えばトレンチ17が形成される。このトレンチ17内に強誘電体膜18を埋め込む。強誘電体膜18は様々考えられ、ペロブスカイト構造のPb系酸化物であるPZT(Pb(ZrxTi1−x)O3)系や、Bi層状酸化物であるSBT(SrBi2Ta2O9)系が用いられる。また、比較的誘電率の大きい常誘電体材料としてBST((Ba,Sr)TiO3)やSTO(SrTiO3)などを利用することも考えられる。強誘電体膜18は、ゾル・ゲル法等の溶液塗布法(Chemical Solution Deposition)、スパッタ法やCVD法、MOCVD(Metal Organic CVD)法等を用いて形成する。その後、結晶化の熱処理(急速熱アニール)を行う。
【0036】
次に、CMP(Chemical Mechanical Polishing )法を用い、強誘電体膜18を所定の厚さにするべく、絶縁膜16と共に平坦化する。これにより、強誘電体膜18は100〜300nmの範囲の所定厚さにされ、底部が下部電極15と接触し上部が絶縁膜16の平坦化同一面上に配されるようになる。
【0037】
次に、図3に示すように、スパッタ法を用いて強誘電体膜18上を覆うPt(白金)等、貴金属を含む導電膜を100〜300nm程度形成し、パターニングする。これにより、上部電極19を形成する。次に、スパッタ法やCVD法を用いて上部電極19上及び絶縁膜16上に保護膜20を形成する。保護膜20は上述したように強誘電体膜18の特性劣化を招く酸素欠損を防ぐための水素バリア膜であり、例えばAl2O3等を所定の厚さで被覆する。保護膜20は上部電極19上及びその周辺の絶縁膜16上を被膜するようパターニングされる。次に、保護膜20上及び絶縁膜16上を含む全面に層間の絶縁膜21を形成する。
【0038】
次に、絶縁膜21に対してフォトリソグラフィ工程、エッチング工程を経てホールH1〜H3を形成する。ホールH1〜H3は同時に形成してもよい。初めのうちは層間の絶縁膜(21,16,14)を、選択性のあるフレオン(クロロフルオロカーボン)系ガスを主体とした異方性エッチングで除去し、その後、保護膜20をエッチングするため、塩素系ガスを主体とした異方性エッチングを行う。各ホールについて、間口を大きくするテーパーエッチング技術を設けてもよい。また、一番浅いホールH1を別工程で形成することも考えられる。また、ホールH1〜H3は、異なる径をもって形成してもよい。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできないとする。このホールH1に合わせることなく、より深いホールH2,H3の径をホールH1の径より大きくすることもできる。
【0039】
その後、ホールH1〜H3に、CVD法またはスパッタ法によるTiNやTaN等のバリア膜(図示せず)の被覆を経て、CVD法等によりAl合金またはW等を充填し各配線部材22を形成する。これにより、図1に示すような構成が実現される。
【0040】
上記第1実施形態及び方法によれば、強誘電体膜18は、層間の絶縁膜16に形成したトレンチ17によって形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜18を複数配するうえで微細加工の制御性、容易性が得られる。埋め込み形態の強誘電体膜18によって、結晶化のアニールを含む熱処理工程では低融点金属物質(例えばPZTならPb)が横方向へ流出するのを少なく抑えることができ、特性制御が容易となる。また、強誘電体膜18の配列ピッチもより狭めることができ、高集積化に寄与する。
また、埋め込み形態の強誘電体膜18によって、ダメージが抑えられるので信頼性が得られる。すなわち、強誘電体膜18はエッチング加工をしないので、ダメージ回復のためのリカバリー酸化工程を低温化または不要化する方向にプロセス改善できる。例えば、上部電極19を形成後にリカバリー酸化工程が導入される場合、低温化または不要化する傾向に改善できる。これにより、メモリセル以外のトランジスタ特性の劣化防止に寄与する。
また、保護膜20は上部電極19の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。また、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。
これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1〜H3を伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。
【0041】
なお、配線部材22中でWプラグを用いる場合、ホールH2,H3内はWで充填する。一方、ホールH1は絶縁膜21上の上部配線221と共にAl合金で構成するとよい。さらに、絶縁膜21上に配される配線222,223もAl合金を形成してパターニングする。
【0042】
図4は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図5は、図4の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
【0043】
この実施形態では、配線部材22に関し、接続プラグ22pを用いることを示している。前記図2で説明したような工程を経て層間の絶縁膜21までを形成する。次に、異方性エッチング技術を用いてホールH2,H3を形成する。ホールH2,H3内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整える。これにより、接続プラグ22pが形成される。より深いホールH2,H3の径を後述するホールH1の径より大きくし、コンタクトの信頼性を向上させることもできる。(図5)。次に、ホールH1を形成する。浅いホールH1は、ここでは等方性の傾向のあるエッチングを施し等方ホールとする。次に、バリアTiN(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1を埋める上部配線221を形成すると共に絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図4の構成が実現される。
【0044】
上記第2実施形態及び方法によれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、埋め込み形態の強誘電体膜18による微細加工の制御性、容易性、特性制御性、信頼性、高集積性が得られ、かつ、保護膜20の段差被覆の信頼性は向上する。図示しないが、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。また、ホールH1〜H3は、異なる径をもって形成することができる。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできない場合、このホールH1に合わせることなく、より深いホールH2,H3の径をホールH1の径より大きくする。そして、一番浅いホールH1を別工程で形成し、しかも異方性と等方性を組み合わせたホールエッチにより、ホール間口を大きくすることができる。これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1〜H3を伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなり、かつ埋め込み易くなるよう改善される。
【0045】
図6は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図である。また、図7は、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
【0046】
この実施形態では、配線部材22に関し、接続プラグ22pを用いることを示している。前記図2で説明したような工程を経て保護膜20までを形成する。次に、絶縁膜16に対し、異方性エッチング技術を用いてホールH2a,H3aを形成する。ホールH2a,H3a内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整える。これにより、接続プラグ22pが形成される。ホールH2a,H3aは、後述するホールH2b,H3bより径が大きく、これにより合わせ余裕を設けることができる(図7)。次に、絶縁膜21を形成する。次に、ホールH1,H2b,H3bを同時に形成する。各ホールH1,H2b,H3bは一様に浅く、ここでは異方性と等方性の傾向のあるエッチングを組み合わせ、間口付近を等方ホールとする。ここでの等方エッチング手法は、いわゆるドライエッチャー、もしくはフッ酸系水溶液によるウェットエッチャー等に限定されない。次に、TiやTiN等のバリア(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1,H2b,H3bを埋める上部配線221、絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図6の構成が実現される。
【0047】
図8は、上記第3実施形態の方法に係る変形例であり、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。
前記図2で説明したような工程を経て上部電極19までを形成する。次に、絶縁膜16に対し、異方性エッチング技術を用いてホールH2a,H3aを形成する。ホールH2a,H3a内は図示しないTi,Ta,Ir,W等から選ばれる高融点金属の窒化膜で構成されるバリア膜の被覆を経てWで充填する。エッチバック法等でWの充填形態を整え、接続プラグ22pを構成する(図8)。次に、保護膜20を形成し、さらに、絶縁膜21を形成する。次に、前記図7と同様に等方ホールH1,H2b,H3bを同時に形成する。次に、TiやTiN等のバリア(図示せず)、Al合金のスパッタリング、パターニングによって、絶縁膜21上にホールH1,H2b,H3bを埋める上部配線221、絶縁膜21上に配される配線222,223を形成する。これにより、図6の構成が実現される。
【0048】
上記第3実施形態及び方法、また、その変形例によれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、埋め込み形態の強誘電体膜18による微細加工の制御性、容易性、特性制御性、信頼性、高集積性が得られ、かつ、保護膜20の段差被覆の信頼性は向上する。図示しないが、保護膜20は絶縁膜16上全面に形成したまま絶縁膜21を形成してもよい。これにより、平坦性向上に寄与する。また、ホールH2a,H3aは、ホールH1,H2b,H3bよりも大きな径で形成してコンタクト余裕を設けることができる。例えば、メモリ部M1におけるホールH1は制約があって大きくできない場合、このホールH1に合わせることなく、より余裕のあるホールH2a,H3aの径をホールH1の径より大きくする。そして、ホール径がより狭く、一様に浅くなったH1,H2b,H3bは、等方ホールの傾向でホール間口を大きくすることができる。これら総合的な構成によれば、配線部材22に関し、ホールH1,H2a,H3a,H2b,H3bを伴う各接続部のアスペクト比の差が小さくなり、かつ埋め込み易くなるよう改善される。
【0049】
なお、上記各実施形態及び方法において、絶縁膜14上に下部電極15が形成されるが、絶縁膜14上にTi,Ta,Ir,W等を含む高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜を形成し、この膜の上に下部電極15が形成されるようにしてもよい。また、強誘電体膜18上に上部電極19が形成されるが、強誘電体膜18上にTi,Ta,Ir,W等を含む高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜を形成し、この膜の上に上部電極19が形成されるようにしてもよい。このような高融点金属膜、その窒化膜及びその酸化膜のいずれかの膜は、下部電極15とその下層との密着性または上部電極19とその下層との密着性の向上や、酸素トラップとして寄与する。
【0050】
下部電極15及び上部電極19は、特に熱、化学的安定性の優れた材料が要求され、Pt等貴金属がベースになっている。熱、化学的安定性が増せば、反応性のエッチングが難しくなってくる。よって、下部電極15及び上部電極19のパターニングはバイアスによる物理的なエッチングに頼る傾向が強い。その点、下部電極15及び上部電極19のパターニングは、強誘電体膜18の形成に関係なくそれぞれ独立して行われるので強誘電体膜18の信頼性を劣化させない。
【0051】
以上説明したように、本発明によれば、容量素子の容量絶縁膜として用いられる強誘電体膜は、平坦化同一面上にある層間の絶縁膜に形成したトレンチによって形作られる。これにより、同じ大きさの強誘電体膜を複数配するうえで微細加工の制御性、容易性、容量素子特性制御の容易性、高集積性が得られる。また、エッチング加工をしない埋め込み形態の強誘電体膜によって、ダメージが抑えられるのでリカバリー酸化工程を低温化または不要化する方向にプロセス改善できる。これにより、メモリセル以外のトランジスタ特性の劣化防止に寄与する。また、水素バリアとしての保護膜は、上部電極の段差を被覆すればよく、段差被覆の信頼性は向上する。これら総合的な構成によれば、メモリ部の領域の高さは、隣接する層間の絶縁膜との膜厚差をより小さくする方向に改善される。これにより、周辺回路との配線部材に関し、各接続部のアスペクト比の差が小さくなるよう改善される。この結果、クロスポイント型のFeRAMにおけるメモリ部周辺回路への電気的接続やメモリ部の特性保護に関し高信頼性をもたらす容量素子及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法を提供することができる。なお、実施例では、クロスポイント型に関して説明したが、いわゆるスタック型やプレナー型と称するFeRAMを構成する半導体装置及びその製造にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図2】図1の構成を実現するための途中工程を示す第1断面図。
【図3】図1の構成を実現するための途中工程を示す第2断面図。
【図4】本発明の第2実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図5】図4の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図6】本発明の第3実施形態に係る半導体装置の要部構成であり、クロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【図7】図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図8】第3実施形態に係る変形例であり、図6の構成を実現するための途中工程を示す断面図。
【図9】従来のクロスポイント型のFeRAMにおける一部のメモリ部及びその周辺を示す断面図。
【符号の説明】
11,101…半導体基板、12,102…素子分離絶縁膜、13,103…MOS型素子、131…ゲート絶縁膜、132…ゲート電極、133…ソース/ドレインの低濃度領域、134…スペーサ、135…ソース/ドレインの高濃度領域、14,16,21,104…絶縁膜、15,105…下部電極、17…トレンチ、18,106…強誘電体膜、19,107…上部電極、20,108…保護膜、22…配線部材、22p…接続プラグ、221,110…上部配線、222,223,111,112…配線、H1〜H3,H2a,H2b,H3a,H3b…ホール、M1,M10…メモリ部。
Claims (17)
- 第1絶縁膜上の第1電極部材と、
前記第1電極部材上の第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、
前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、
前記強誘電体膜上の第2電極部材と、
前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、
を具備したことを特徴とする容量素子。 - 前記保護膜は少なくとも水素バリアとして機能する膜であることを特徴とする請求項1記載の容量素子。
- 前記第2電極部材の上部に接続される配線部材をさらに含むことを特徴とする請求項1または2記載の容量素子。
- 第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、
前記第1電極部材上に第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜に前記第1電極部材の一部が露出するトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内を埋める強誘電体膜を形成する工程と、
前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同時に平坦化する工程と、
前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、
前記第2電極部材及びその周辺の前記第1絶縁膜上を保護膜で覆う工程と、
を具備したことを特徴とする容量素子の製造方法。 - 前記保護膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3絶縁膜上に前記強誘電体膜上の前記保護膜を露出させる開孔部を形成する工程と、
前記開孔部底部の前記保護膜を除去する工程と、
前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材の上部に接続される配線部材を形成する工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項4記載の容量素子の製造方法。 - 前記保護膜は少なくとも水素バリアとして設けることを特徴とする請求項1または2記載の容量素子の製造方法。
- 前記強誘電体膜を形成する工程における強誘電体膜の形成方法は、溶液塗布法、CVD法及びスパッタ法のうちいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項4〜6いずれか一つに記載の容量素子の製造方法。
- 半導体基板に形成されたトランジスタと、
前記トランジスタを含む前記半導体基板上の所定領域を覆う第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に選択的に形成された第1電極部材と、
前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上方を覆う平坦化された第2絶縁膜と、
前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜の選択的な除去部と、
前記除去部内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触し上部が前記第2絶縁膜の平坦化同一面上にある強誘電体膜と、
前記強誘電体膜上の第2電極部材と、
前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜と、
前記保護膜を覆う前記第2絶縁膜上の第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜上に形成され前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材と、
を具備したことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1電極部材は所定方向に伸びる複数本設けられ、前記強誘電体膜はそれぞれ所定ピッチで複数箇所配置されていることを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
- 前記配線部材において、前記第2電極部材との接続部に伴うホール径より前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホール径の方が大きいことを特徴とする請求項8または9記載の半導体装置。
- 前記配線部材において、前記第2電極部材との接続部に伴うホールを埋める導電材料と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴うホールを埋める導電材料は異なることを特徴とする請求項8〜10いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記配線部材において、少なくとも前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第2絶縁膜内の第1の導電材料と、前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う各ホールを埋める前記第3絶縁膜内の第2の導電材料とを含むことを特徴とする請求項8〜10いずれか一つに記載の半導体装置。
- 半導体基板にトランジスタを形成する工程と、
前記半導体基板上に第1絶縁膜を形成する工程と、
前記第1絶縁膜上に第1電極部材を形成する工程と、
前記第1電極部材上及び前記トランジスタ上を覆う第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第1電極部材上における前記第2絶縁膜を選択的に除去する複数のトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内に埋め込まれ、底部が前記第1電極部材と接触する強誘電体膜を形成する工程と、
前記強誘電体膜及び前記第2絶縁膜を同一平面にする平坦化工程と、
前記強誘電体膜上に第2電極部材を形成する工程と、
少なくとも前記第2電極部材及びその周辺の前記第2絶縁膜上を覆う保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上及び前記第2絶縁膜上に第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3絶縁膜上に前記第2電極部材との接続部、前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部を含む配線部材を形成する工程と、
を具備したことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のホール径を有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする請求項13記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う少なくとも等方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う少なくとも異方性のホールを有するコンタクトホールを形成する工程と、前記各コンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含むことを特徴とする請求項13または14記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線部材を形成する工程において、前記第2電極部材との接続部に伴う第1のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1電極部材との接続部または前記トランジスタの活性領域との接続部に伴う第2のコンタクトホールを形成する工程と、前記第1、第2のコンタクトホールに導電材料を埋め込む工程とを含み、
前記第1、第2のコンタクトホールに埋め込む導電材料はそれぞれ少なくとも一部が異なる工程を経て異なる導電材料が用いられ、かつ前記第3絶縁膜上には同じ導電材料が配されることを特徴とする請求項13〜15いずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線部材を形成する工程において、前記保護膜を形成する前または後の段階で、予め前記第1電極部材との接続部及び前記トランジスタの活性領域との少なくとも電気的な接続部に伴う所定ホールを形成する工程と、前記所定ホールに所定の導電材料を埋め込む工程と、を具備したことを特徴とする請求項13〜16いずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
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