JP2004362818A - Manufacturing method of thin film pattern, manufacturing method of organic electroluminescent element, manufacturing method of color filter, manufacturing method of plasma display panel, manufacturing method of liquid crystal display panel, and electronic apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出方式を用いた薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、有機電界発光素子を用いた表示パネルが考え出されている。有機電界発光素子の基本構成は、蛍光性有機分子を含む固体薄膜（発光層）を２枚電極（陰極と陽極）で挟んだものである。その電極に電圧を印加すると、陽極から正孔が陰極から電子が発光層に注入され、その発光層から蛍光が放出される。
【０００３】
ところで、発光層のみからなる単層型構造素子では発光効率が低く、耐久性に問題があるため、陽極と発光層間に密着性の良い正孔注入層（正孔注入輸送層）を設けた二層構造型素子が提案されている。この積層構造を採用することで、キャリアの注入／輸送バランスおよびキャリアの再結合部位の制御により、有機電界発光素子の発光効率及び耐久性を向上させることができる。また、この積層構造によれば、発光、注入／輸送といった機能を別々の材料に分担させることができるため、材料及び素子の最適設計が可能になるという利点がある。
【０００４】
従来、有機電界発光素子の正孔注入輸送層化合物としては、ポルフィリン化合物、アニリンやピリジンおよびそれらの誘導体低分子、あるいはカーボン層用いた正孔注入輸送層などが提案されている。これらの低分子系材料を用いた正孔注入輸送層形成には、真空蒸着やスパッタによる成膜法が一般的である。高分子材料としてはポリアニリンなどが知られ、スピンコートなどの湿式法で成膜される。
【０００５】
ところで、真空蒸着やスパッタによる成膜法はバッチ処理であり長時間を有するため量産効率が悪い。また低分子材料の場合には成膜後結晶化しやすく、素子の信頼性が低下するといった課題を有する。一方、高分子材料の場合は分子設計上の自由度が高く、湿式のため材料の最適化がしやすいという利点を有するが、スピンコートなどの成膜法は材料の殆どを浪費するという大きな問題がある。
【０００６】
さらに、フルカラーディスプレイなど材料の微細パターンニングが必要とされる場合、蒸着法では高精度のパターニングが困難であり、またフォトリソグラフィーによるパターニング工程では材料に耐性がないという問題がある。これは高分子材料においても同様な問題である。また、正孔注入層あるいはバッファ層として用いられる材料は導電性を有するものであるから完全なパターニングが実現できなければ同一基板上に設けられた隣の画素間での漏電を引き起こす原因となる。
【０００７】
一方、上記問題点を解決するため、すなわち材料や素子設計の最適化を行うことができ、かつ簡便、短時間及び低コストで精度の高いパターニング成膜を行うために、液滴吐出方式を用いた正孔注入層及び発光層などの製造方法が考え出されている。その液滴吐出方式を用いた製造方法は、インクジェットノズルから正孔注入層の成分と溶媒からなる液滴を所望領域に吐出して薄膜パターンを形成するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−１０６２７８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の液滴吐出方式を用いた薄膜パターンの製造方法では、基板に対して仮想的な走査ラインを平行に複数設定し、その走査線に沿ってインクジェットノズルを移動させながら液滴を順次吐出していた。このようにして、液滴を吐出して薄膜パターンを形成すると、その薄膜パターンには走査線と平行な方向に筋形状のムラ（スジムラ）が生じてしまう。
【００１０】
このスジムラが発生する原因は、液滴吐出装置のノズルヘッドには複数のインクジェットノズルが備えられておりインクジェットノズル毎に吐出量が若干異なることにあると考えられる。また、平行に複数設定された走査線に沿って液滴を吐出していくので、各インクジェットノズルに吐出量が殆ど同一であっても、隣り合う走査線の中間部分の膜厚が薄くなりことによりスジムラが発生すると考えられる。
【００１１】
このようなスジムラが発生すると、薄膜パターンの膜厚が不均一となっているので、その薄膜パターンを例えば画素をなす正孔注入層、発光層又はカラーフィルタとして用いると筋状の発光むらが生じてしまう。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、液滴吐出方式を用いて薄膜パターンを形成したときに、その薄膜パターンにスジムラが生じることを低減することができる又はそのスジムラを分散させることができる薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器の提供を目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明の薄膜パターンの製造方法は、薄膜パターンの形成対象となる基板に対して、液滴吐出装置のノズルヘッドの移動位置を規定する仮想的な第１走査線を規定し、該ノズルヘッドを該第１走査線に沿って移動させて液滴を吐出する第１方向吐出処理と、前記第１走査線に対して略直角に交わる仮想的な第２走査線を規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査線に沿って移動させて液滴を吐出する第２方向吐出処理とを有することを特徴とする。本発明によれば、第１方向吐出処理において第１走査線にそってノズルヘッドを移動させて液滴の吐出を行い、第２方向吐出処理においては第１走査線に対して略９０度の角度で交わる第２走査線にそってノズルヘッドを移動させて液滴の吐出を行う。換言すれば、ある一定方向にノズルヘッドを走査させて液滴の吐出を行い、その後、その方向に対して略９０度異なる方向にノズルヘッドを走査させて液滴の吐出を行う。このようにすると、形成しようとする薄膜パターン領域には、互いに直交する２つの走査線に沿って移動するノズルヘッドのノズルから液滴が吐出されるので、薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを抑えることができる。
「スジムラ」が発生するのは、走査毎にノズルからの吐出量などに差が生じること、すなわち走査毎に吐出状態が異なることが主要原因である。そこで、本発明によれば、互いに方向が略９０度異なる２つの走査方向を用いて液滴を吐出するので、各走査線間の吐出状態の差が分散されて吐出状態を均一化することができるので、薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを抑えることができ、膜厚などを均一化することができる。したがって、本発明の液状体材料の塗布方法を用いて画素などを形成することで、発光ムラなどを低減するこができる。
【００１４】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記基板において前記薄膜パターン形成領域は複数設定されており、前記薄膜パターン形成領域毎に、前記第１方向吐出処理及び前記第２方向吐出処理が行われることが好ましい。
本発明によれば、複数の薄膜パターン形成領域それぞれに第１方向吐出処理及び第２方向吐出処理が行われるので、各薄膜パターン形成領域内における液滴の吐出量などの差を分散でき、また薄膜パターン形成領域同士間における液滴の吐出量などの差も分散することができる。そこで、本発明によれば、各薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減でき、複数の薄膜パターンを全体的に見た場合にも「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００１５】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記基板において前記薄膜パターン形成領域は複数設定されており、該複数の薄膜パターン形成領域は、前記第１方向吐出処理が行われる領域と、前記第２方向吐出処理が行われる領域とを少なくとも有することが好ましい。
本発明によれば、基板上には第１方向吐出処理が行われる領域と第２方向吐出処理が行われる領域とがあるので、例えば第１方向吐出処理が行われる領域と第２方向吐出処理とを混在させることにより、その基板全体を見た場合に、各液滴吐出状態の差を分散させることができ、「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００１６】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記基板の全体について前記第１方向吐出処理を行い、その後、該基板の全体について前記第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
本発明によれば、基板全体について、液滴吐出量などの液滴吐出状態の差を分散させることができ、「スジムラ」が生じることを低減することができる。また本発明によれば、走査毎に第１方向吐出処理と第２方向吐出処理とを交互に繰り返す方法よりも、ノズルヘッドの総合的な移動距離を低減することができ、均一な膜厚の薄膜パターンを高速に形成することができる。
【００１７】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、１本の前記第１走査線及び第２走査線毎に、前記第１方向吐出処理と前記第２方向吐出処理とを交互に繰り返すことが好ましい。
本発明によれば、例えば第１方向吐出処理で形成したドット薄膜が乾燥する前に、そのドット薄膜の一部又は全部に重なるように第２方向吐出処理による新たなドット薄膜を形成することができる。これにより、薄膜パターンの膜厚などをさらに均一化させることができ、「スジムラ」が生じることをさらに低減することができる。
【００１８】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記基板が同一材料からなる前記液滴を１つの薄膜パターン形成領域に複数回吐出して１つの薄膜パターンを形成する領域を有し、該複数回吐出において、少なくとも１回は前記第１方向吐出処理を行うとともに、少なくとも１回は前記第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
本発明によれば、ある薄膜パターン形成領域に同じ材料を複数回吐出して薄膜パターンを形成する場合に、その領域に対して第１方向吐出処理と第２方向吐出処理とを行う。これにより、薄膜パターン形成領域に対する同じ材料による複数回の液滴吐出において、各吐出状態の差が分散されるので、同じ材料からなる薄膜の厚みなどが均一な薄膜パターンを形成することができ、その薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００１９】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記液滴吐出装置のノズルヘッドが液滴を吐出する複数のノズルを備えており、前記第１方向吐出処理を行う前記ノズルと前記第２方向吐出処理を行う前記ノズルとは、別のものとすることが好ましい。
本発明によれば、第１方向吐出処理で使用するノズルと第２方向吐出処理で使用するノズルとを別のものとするので、各ノズル間で吐出量などの差があってもその吐出量の差を分散させることができる。そこで、本発明によれば、薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００２０】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記液滴吐出装置のノズルヘッドが液滴を吐出する複数のノズルを備えており、前記第１方向吐出処理及び前記第２方法吐出処理の少なくとも一方は、１つの薄膜パターン形成領域に対して、複数の前記ノズルにて同時又は逐次的に液滴を塗布する処理を有することが好ましい。
本発明によれば、１つの薄膜パターン形成領域（例えば画素など）に対して複数のノズルで略同時に液滴を吐出することができるので、高速に薄膜パターンを形成でき、かつ、ノズル間の吐出量などの差を分散することができる。そこで、本発明によれば、「スジムラ」が少ない薄膜パターンを高速に形成することができる。
【００２１】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記第１方向吐出処理を行った後であって、該第１方向吐出処理で形成された液状体からなる薄膜が略完全に乾燥する前に、前記第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
本発明によれば、例えば第１方向吐出処理で形成されたドット薄膜が完全に乾燥する前に、その薄膜ドットの全部又は一部と重なるように、第２方向吐出処理で新たなドット薄膜を形成することができる。そこで、本発明によれば、第１方向吐出処理で形成されたドット薄膜と第２方向吐出処理で形成されたドット薄膜との境界をなじませで平坦化することができるので、膜厚などがより均一な薄膜パターンを形成することができる。
【００２２】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記第１方向吐出処理で吐出された液滴によって形成された薄膜の一部と、前記第２方向吐出処理で吐出された液滴によって形成された薄膜の一部とが重なるように、該第１方向吐出処理及び第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
本発明によれば、第１方向吐出処理で形成されたドット薄膜と第２方向吐出処理で形成されたドット薄膜とで、薄膜パターン形成領域の全体に隙間無く薄膜を形成することができる。そこで、本発明によれば、薄膜パターン形成領域の全体について塗り残しなく、かつ「スジムラ」が少ない高精度な薄膜パターンを形成することができる。
【００２３】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記第１方向吐出処理における１回の吐出量と、前記第２方向吐出処理における１回の吐出量とを異なる量にすることが好ましい。
本発明によれば、例えばノズルヘッドの走査方向の相違による吐出状態の違い又は液滴の着弾状態の違いを低減することができ、均一な薄膜パターンを形成することができる。また、本発明によれば、例えば薄膜パターン形成領域が細長い形状の場合、その領域の長手方向に走査するときは吐出量を多くし、短手方向に走査するときは吐出量を少なくするなどして、より高速に均一な薄膜パターンを形成することができる。
【００２４】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記第１方向吐出処理における液滴の粘度、濃度、表面張力及びインク組成比のいちの少なくとも１つと、該少なくとも１つに対応する前記第２吐出処理における液滴の粘度、濃度、表面張力及びインク組成比のいちの少なくとも１つとを、異なる値にすることが好ましい。
本発明によれば、例えばノズルヘッドの走査方向の相違による吐出状態の違い又は液滴の着弾状態の違いを低減することができ、均一な薄膜パターンを形成することができる。
【００２５】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記薄膜パターンが画素であることが好ましい。
本発明によれば、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイパネル又は液晶表示装置などの画素について液滴吐出方式で薄膜パターンを形成する場合に、その薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができ、「発光ムラ」が少ない高品位な画素を製造することができる。
【００２６】
また、本発明の有機電界発光素子の製造方法は、電極間に発光層と正孔注入輸送層とを有する発光素子が基板に形成されてなる有機電界発光素子の製造方法であって、前記正孔注入輸送層を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することに伴い前記ノズルから正孔注入輸送材料を吐出することによって前記正孔注入輸送層を形成し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記発光層に仮想的な第１走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記正孔注入輸送層を形成することを特徴とする。
本発明によれば、有機電界発光素子における正孔注入層について液滴吐出方式で薄膜パターンを形成する場合にその正孔注入層に「スジムラ」が生じることを低減することができ、「発光ムラ」が少ない高品位な有機電界発光素子を製造することができる。
【００２７】
また、本発明の有機電界発光素子の製造方法は、電極間に発光層と正孔注入輸送層とを有する発光素子が基板に形成されてなる有機電界発光素子の製造方法であって、前記発光層を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することに伴い前記ノズルから発光層形成材料を吐出することによって前記発光層を形成し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記発光層に仮想的な第１走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記発光層を形成することを特徴とする。
本発明によれば、有機電界発光素子における発光層について液滴吐出方式で薄膜パターンを形成する場合にその発光層に「スジムラ」が生じることを低減することができ、「発光ムラ」が少ない高品位な有機電界発光素子を製造することができる。
【００２８】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、電極間に発光層と正孔注入輸送層とを有する発光素子が基板に形成されてなり、発光方向側にカラーフィルタが形成されてなるカラーフィルタの製造方法であって、前記カラーフィルタを、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記発光層を形成し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記カラーフィルタに仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記カラーフィルタを形成することを特徴とする。
本発明によれば、例えば有機電界発光素子の発光層から白色光を放射させ、その白色光をカラーフィルタを介して外部に出射させる有機電界発光素子においてそのカラーフィルタをなす薄膜パターンを「スジムラ」を生じさせずに均一に形成することができる。そこで、本発明によればカラーフィルタを備える有機電界発光素子からなる表示パネルについて、色むらなどを大幅に低減させることができる。
【００２９】
また、本発明の液状体材料の塗布方法は、基板に形成された電極を有してなるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記電極を形成し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記電極に仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記電極を形成することを特徴とする。
本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの電極をなす薄膜パターンを液滴吐出方式で形成する場合に、その薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができ、高精度にプラズマディスプレイパネルの電極を形成することができる。
【００３０】
また、本発明の液状体材料の塗布方法は、基板に形成されたカラーフィルタを有してなる液晶表示パネルの製造方法であって、前記カラーフィルタを、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記カラーフィルタを形成し、前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記カラーフィルタに仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記カラーフィルタを形成することを特徴とする。
本発明によれば、液晶表示パネルのカラーフィルタをなす薄膜パターンを液滴吐出方式で形成する場合に、その薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができ、液晶表示パネルにおける色むらなどを大幅に低減させることができる。
【００３１】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記薄膜パターンがフォトレジスト膜であることが好ましい。
本発明によれば、例えばフォトリソグラフィ法を用いて基板に各種パターンを転写形成するときに形成するフォトレジスト膜を、液滴吐出方式を用いた上記薄膜パターンの製造方法で形成することができる。そして、本発明によれば、フォトレジスト膜に「スジムラ」が生じることを低減することができるので、フォトリソグラフィ法及び液滴吐出方式を用いて各種薄膜パターンを高精度に形成することができる。
【００３２】
また、本発明の薄膜パターンの製造方法は、前記薄膜パターンが基板上に複数形成されるものであり、前記第１走査線及び第２走査線は、複数の前記薄膜パターンの領域を横断するように設定され、該第１走査線及び第２走査線それぞれにおける１回の走査で横断される該複数の薄膜パターンの領域それぞれについて、少なくとも１つの液滴を着弾させることが好ましい。
本発明によれば、基板に対してノズルを一方に移動させることで１回の走査を行い、その走査で第１方向吐出処理又は第２方向吐出処理を行い、複数のパターンそれぞれに液滴を着弾させるので、高速に高精度なパターンを形成することができる。
【００３３】
本発明の電子機器は、前記薄膜パターンの製造方法を用いて製造された薄膜パターンを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、「スジムラ」の少ない薄膜パターンを構成要素とした電子機器を提供することができるので、例えばその薄膜パターンを画素として用いることにより、発光むらの少なく表示部を備えた電子機器を提供することができる。また、例えば上記「スジムラ」の少ない薄膜パターンを半導体集積回路などの構成要素とすることにより、コンパクトでありながら高性能であって不具合の発生確率が低い電子機器を提供することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る液状体材料の塗布方法について図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態に係る液状体材料の塗布方法を示す説明図である。図２は図１に示す塗布方法が適用される基板の状態を示す模式断面図である。本実施形態では、フラットパネルディスプレイの一つである有機ＥＬ装置の画素部分の製造に、本発明に係る液状体材料の塗布方法を適用した例について説明する。
【００３５】
本実施形態の液状体材料の塗布方法を用いるためには、先ず図２に示すように基板１０上に、陽極１１、隔壁１２及びカソードセパレータ１３を形成する。具体的にはガラスなどからなる基板１０の上面に、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）からなる陽極１１の層を形成する。次いで、陽極１１の上面の所定位置にインク垂れ防止壁（バンク）として機能する隔壁１２を形成する。したがって隔壁１２によって各画素の領域が区分けされている。隔壁１２の形成は、例えば非感光性ポリイミドをフォトリソグラフィーによって所定形状とすることで行う。次いで、隔壁１２の中央付近にカソードセパレータ１３を形成する。
【００３６】
このように、基板１０上に、陽極１１、隔壁１２及びカソードセパレータ１３を形成した後に、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いて正孔注入層及び発光層を形成する。具体的には、液滴吐出装置のノズルヘッドに設けられたインクジェットノズル１から正孔注入材料（正孔輸送材料：ＰＥＤＯＴ）と溶媒などからなる液滴２を吐出することで、隔壁１２で囲まれた領域（薄膜パターン形成領域）に所望形状の薄膜パターン３０を形成する。ここで、図２に示す隔壁１２で区分けされた各画素の領域（薄膜パターン形成領域）は、基板１０の全体に規則的に分散配置されているものとする。
【００３７】
そして、インクジェットノズル１を図１の矢印付線２１，２２に示すように行うことで、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法が行われる。具体的には、図１（ａ）に示すように、液滴吐出方式による薄膜パターンの形成対象となる基板１０に対して、液滴吐出装置のノズルヘッド（インクジェットノズル１）の移動位置を規定する仮想的な第１走査線として、矢印付線２１を規定する。基板１０の全体に複数の画素領域を分散配置する場合は、互いに平行な矢印付線２１を所定間隔で基板１０の全体に複数設定する。
【００３８】
そして、インクジェットノズル１を、矢印付線２１に沿って（すなわち図面の縦方向に）、かつその矢印付線２１の指す向きに移動させながら、液滴２を吐出させる。このように矢印付線２１に沿ってインクジェットノズル１を移動させながら液滴２を吐出する処理を、第１（以下同じ）吐出処理とする。
【００３９】
この第１方向吐出処理を行うと、図１（ｂ）に示すように、薄膜パターン（ドット薄膜）３１が基板１０の上面全体に分散されて形成される。各薄膜パターン３１は、各画素の正孔注入層又は発光層をなすものである。
【００４０】
従来においては、図１（ｂ）に示すように、インクジェットノズル１を一方向に走査して薄膜パターン３１を形成し乾燥させることで正孔注入層を設け、その後に、再度図１（ｂ）に示すように、インクジェットノズル１を一方向に走査して薄膜パターン３１を形成し乾燥させることで発光層を設けていた。その後、真空蒸着法によって陰極を形成して有機ＥＬ素子を完成させる。
【００４１】
このようにして形成された従来の有機ＥＬ素子では、陽極と陰極間に電圧を印加して発光させると、矢印付線２１に沿う方向にスジムラが観測される。このスジムラは、薄膜パターン３１の膜厚が不均一となっていることを示しており、表示品質を低下させるものである。
【００４２】
そこで、本実施形態では、図１（ａ）に示すように第１方向吐出処理を行って図１（ｂ）に示すように薄膜パターン３１を形成した後に、次に述べる第２方向吐出処理の塗布動作を行う。第２方向吐出処理は、第１方向吐出処理で形成された薄膜パターン３１が完全に乾燥する前に行うのが好ましい。また、第１方向吐出処理で形成された薄膜パターン３１に対して、完全乾燥には到らないほどの乾燥処理（中間乾燥処理）を施すことで薄膜パターン３１の体積を減らし、次いで第２方向吐出処理の塗布動作を行うものとしてもよい。このようにすることにより、上記スジムラを低減又は分散させることができる。
【００４３】
第２方向吐出処理では、図１（ｃ）に示すように、上記第１方向吐出処理で用いた矢印付線（第１走査線）２１に対して略直角に交わる仮想的な第２走査線として、矢印付線２２を規定する。ここで、矢印付線２１と矢印付線２２とは、９０度以外の角度で交わるものとしてもよい。例えば基板１０の全体に複数の画素領域を分散配置する場合は、互いに平行な矢印付線２２を所定間隔で基板１０の全体に複数設定する。
【００４４】
そして、インクジェットノズル１を、矢印付線２２に沿って（すなわち図面の横方向に）、かつその矢印付線２２の指す向きに移動させながら、液滴２を吐出させる。このように矢印付線２２に沿ってインクジェットノズル１を移動させながら液滴２を吐出する処理を、第２（以下同じ）吐出処理とする。
【００４５】
この第２方向吐出処理を行うと、図１（ｄ）に示すように、薄膜パターン（ドット薄膜）３２が基板１０の上面全体に分散されて形成される。この各薄膜パターン３２も、薄膜パターン３１と同様に、各画素の正孔注入層又は発光層をなすものである。これらにより、各画素の正孔注入層又は発光層は、第１方向吐出処理で形成された薄膜パターン３２と第２方向吐出処理で形成された薄膜パターン３２とで形成されることとなる。
【００４６】
これらの処理において用いられる液滴吐出装置のノズルヘッドには複数のインクジェットノズル１が設けられている。そして、各画素に対して、第１方向吐出処理で使用されたインクジェットノズル１と、第２方向吐出処理で使用されたインクジェットノズル１とは、別のもとなる確率が高い。これは意識的に別のものとしてもよい。また、各画素に対して、第１方向吐出処理の吐出状態（吐出液滴の吐出量、インク物性値、吐出速度など）と第２方向吐出処理の吐出状態とは異なるものとなる。
【００４７】
そこで、本実施形態によれば、第１方向吐出処理と第２方向吐出処理とを行うことで、隣り合う走査線同士の吐出状態の差を分散させることができ、薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを抑えることができ、膜厚などを均一化することができる。したがって、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いて各画素の構成要素となる正孔注入層及び発光層などを形成することで、有機ＥＬ装置における発光ムラなどを低減させるこができる。
【００４８】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法は、有機ＥＬ装置におけるカラーフィルタをなす薄膜パターンの形成に適用してもよい。例えば発光層から白色光を放射させ、その白色光をカラーフィルタを介して外部に出射させる有機ＥＬ装置において、カラーフィルタをなす薄膜パターンの形成に本実施形態の塗布方法を適用する。このようにすると、そのカラーフィルタをなす薄膜パターンを「スジムラ」を生じさせずに均一に形成することができる。そこで、本実施形態によれば、カラーフィルタを備える有機ＥＬ装置について、色むらなどを大幅に低減させることができる。
【００４９】
上記の本実施形態に係る液状体材料の塗布方法では、基板１０の全体に複数設定された薄膜パターン形成領域である画素領域毎に、第１方向吐出処理及び第２方向吐出処理を行うことが好ましい。このようにすると、複数の画素領域それぞれに第１方向吐出処理及び第２方向吐出処理が行われるので、１つの画素に複数吐出された液滴同士の吐出量などの差を分散させることができ、また画素薄膜パターン形成領域同士間における液滴の吐出量などの差も分散させることができる。そこで、本塗布方法によれば、各画素を形成する正孔注入層及び発光層などの薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減でき、基板１０について全体的に見た場合でも複数の画素に「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００５０】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法では、基板１０に複数設定された薄膜パターン形成領域である画素領域が、第１方向吐出処理が行われる画素領域と、第２方向吐出処理が行われる画素領域とに分けられるものとしてもよい。例えば、基板１０の上面全体において、第１方向吐出処理が行われる画素領域と第２方向吐出処理が行われる画素領域とが混在するようにする。このようにすると、基板１０の全体を見た場合に、複数の画素領域に対する液滴吐出状態の差を分散させることができ、「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００５１】
また、上記実施形態に係る液状体材料の塗布方法では、図１（ａ）に示すように基板１０の全体について第１方向吐出処理を行い、その後、図１（ｃ）に示すように基板１０の全体について第２方向吐出処理を行っている。このような塗布順序ではなく、ある１本の矢印付線２１について第１方向吐出処理を行い、次いで、ある１本の矢印付線２２について第２方向吐出処理をするというように、第１方向吐出処理と第２方向吐出処理とを交互に繰り返すものとしてもよい。
【００５２】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、薄膜パターン形成領域である各画素領域には同一材料（例えば正孔注入輸送材料）からなる液滴が複数回吐出される。このように各薄膜パターン形成領域に同一材料の液滴を複数回吐出する場合、少なくとも１回は第１方向吐出処理を行い、また少なくとも１回は第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
【００５３】
このようにすると、薄膜パターン形成領域（画素領域）に対する同じ材料による複数回の液滴吐出において、各吐出状態の差が分散されるので、同じ材料からなる薄膜の厚みなどが均一な薄膜パターンを形成することができ、その薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを低減することができる。
【００５４】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、ノズルヘッドに複数のインクジェットノズル１が設けられた液滴吐出装置を使用し、薄膜パターン形成領域（画素領域）毎に、第１方向吐出処理で使用するインクジェットノズル１と第２方向吐出処理で使用するインクジェットノズル１とを、別のものとすることが好ましい。このようにすると、各インクジェットノズル１間で吐出量などに差があってもその吐出量の差を分散させることができる。そこで、この塗布方法によれば、上記「スジムラ」が生じることをより低減することができる。
【００５５】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、ノズルヘッドに複数のインクジェットノズル１が設けられた液滴吐出装置を使用し、１つの薄膜パターン形成領域（画素領域）に対して、隣り合う２個以上のインクジェットノズル１にて同時に又は逐次的に液滴を吐出させるようにしてもよい。この２個以上のインクジェットノズル１による液滴吐出は、上記第１方向吐出処理又は第２方向吐出処理として行う。
【００５６】
このようにすると、１つの薄膜パターン形成領域（例えば画素領域）に対して複数のインクジェットノズル１で略同時に液滴を吐出することができるので、高速に薄膜パターンを形成でき、かつ、ノズル間の吐出量などの差を分散することができる。そこで、本塗布方法によれば、「スジムラ」が少ない薄膜パターンを高速に形成することができる。
【００５７】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、第１方向吐出処理で吐出された液滴によって形成された薄膜パターン３１の一部と、第２方向吐出処理で吐出された液滴によって形成された薄膜パターン３２の一部とが重なるように第１方向吐出処理及び第２方向吐出処理を行うことが好ましい。
【００５８】
このようにすると、第１方向吐出処理における１つの吐出液滴で形成されたドット薄膜（薄膜パターン３１）と第２方向吐出処理における１つの吐出液滴で形成されたドット薄膜（薄膜パターン３２）とで、薄膜パターン形成領域の全体に隙間無く薄膜を形成することができる。そこで、この塗布方法によれば、薄膜パターン形成領域（例えば画素領域）の全体について塗り残しなく、かつ「スジムラ」が少ない高精度な薄膜パターンを形成することができる。
【００５９】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、第１方向吐出処理における１つの液滴の吐出量と、第２方向吐出処理における１つの液滴の吐出量とを異なる値にしてもよい。このようにすると、液滴吐出装置におけるノズルヘッドの走査方向の相違に関連づけられたインクジェットノズル１の吐出状態の違い又は液滴の着弾状態の違いを低減するように、吐出量を制御することができる。したがって、この塗布方法によれば、より均一な薄膜パターンを形成することができ、「スジムラ」が少ない高精度な薄膜パターンを形成することができる。
【００６０】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法においては、第１方向吐出処理における液滴の粘度、表面張力、濃度、インク組成比と、第２方向吐出処理における液滴の粘度、表面張力、濃度、インク組成比とを異なる値にしてもよい。この方法は、例えば第１方向吐出処理で使用するインクジェットノズル１（第１ノズル）と第２方向吐出処理で使用するインクジェットノズル１（第２ノズル）とを別のものとして、第１ノズルに供給する液状体と第２ノズルに供給する液状体とを異なるものにすることで実現できる。
【００６１】
このようにすることにより、ノズルヘッドの走査方向の相違による吐出状態の違い又は液滴の着弾状態の違いを低減することができる。したがって、この塗布方法によれば、より均一な薄膜パターンを形成することができ、「スジムラ」が少ない高精度な薄膜パターンを形成することができる。
【００６２】
また、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法は、フォトレジスト膜を構成する薄膜パターンの形成に適用してもよい。例えば図２における隔壁１２の形成に、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いてもよい。このようにすると、各種パターンを転写形成するときに形成するフォトレジスト膜を、液滴吐出方式を用いた上記実施形態の塗布方法で形成することができる。そして、本塗布方法によればフォトレジスト膜に「スジムラ」が生じることを低減することができるので、フォトリソグラフィ法及び液滴吐出方式を用いて各種薄膜パターンを低コストでかつ高精度に形成することができる。
【００６３】
＜有機ＥＬ装置の製造方法＞
次に、上記実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法について、図３を参照して具体的に説明ずる。本製造方法では、有機ＥＬ装置における正孔注入輸送層を上記実施形態の液状体材料の塗布方法で形成する。
【００６４】
正孔注入輸送層用組成物は、主として正孔注入輸送層を形成する導電性化合物、分散溶媒、湿潤剤を含み、液滴吐出方式によるパターン成膜に用いられる。この正孔注入輸送層を形成する導電性化合物は陽極よりイオン化ポテンシャルが低い化合物が望ましい。例えば、陽電極としてインジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いた場合、低分子系材料としては、銅フタロシアニン等のポルフィリン化合物が挙げられる。
【００６５】
なお、その他の添加剤、被膜安定化材料を添加してもよく、例えば、粘度調製剤、老化防止剤、ｐＨ調製剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を用いることができる。
【００６６】
導電性化合物（正孔注入輸送層成分）として、銅フタロシアニンを用いた場合の、正孔注入輸送層用組成物の物性的特性について検討した。試料は表１乃至表１０に示す組成物イ乃至組成物ヌを調整した。
【００６７】
組成物イ
【表１】
組成物ロ
【表２】
組成物ハ
【表３】
組成物ニ
【表４】
組成物ホ
【表５】
組成物ヘ
【表６】
組成物ト
【表７】
組成物チ
【表８】
組成物リ
【表９】
組成物ヌ
【表１０】
（吐出評価）表１〜表８に示す組成物イ〜組成物チのインクジェットヘッドを構成するノズル面構成材料に対する接触角、粘度および表面張力を測定し、それらの吐出性を評価した。吐出評価はインクジェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−５００Ｃ）を用いて行った。
【００７８】
なお、粘度は２０℃での測定値である。これらの結果を表１１に示す。
【００７９】
【表１１】
【００８０】
また、湿潤剤としてグリセリンが混入されている組成物イ乃至組成物ハは、湿潤剤が混入されていない組成物ヘ乃至組成物チと比較すると、吐出性に優れていることがわかる。従って、インク組成物中に湿潤剤が含まれていることが好ましい。湿潤剤を混入することで、インク組成物がノズル口で乾燥・凝固することを有効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、例えば、グリセリン、ジエチレングリコール等の多価アルコール類が挙げられるが、グリセリンが特に好ましい。
【００８１】
（正孔注入輸送層用組成物の製法）表１乃至表３、及び、表９、表１０にそれぞれ示す組成物イ乃至組成物ハ、及び、組成物リ、組成物ヌを製造し、超音波処理前後の正孔注入輸送層形成化合物（銅フタロシアニン）の粒度分布を測定した。さらに、超音波処理後、濾過工程を経た上記正孔注入輸送層用組成物を用い液滴吐出方式のパターニングにより形成された正孔注入輸送層の成膜性を評価した。
【００８２】
これらの結果を表１２に示す。超音波処理の効果は１μｍ以下の粒度分布の割合で示した。なお、スチレンアクリル樹脂分散液での粒径は１μｍ以上である。
【００８３】
【表１２】
【００８４】
（有機電界発光素子の製造工程）表１乃至表３に示す組成物イ乃至組成物ハを用いて、以下に示す手順で液滴吐出方式による正孔注入輸送層のパターニング成膜を行い、有機電界発光素子（発光層）を製造した。
【００８５】
陽極形成工程（図３（Ａ））
本工程はガラス基板１０２上に陽極１０１を形成する工程である。ガラス基板１０２としては、酸やアルカリ等の薬品に侵されにくく、量産可能であるものが好ましい。ＩＴＯ透明電極を基板１０２上に０．１μｍの厚さで成膜し、例えば１００μｍピッチでパターニングする。
【００８６】
仕切部材形成工程（同図（Ｂ））
本工程は、ガラス基板１０２上に仕切部材１０３を形成する工程である。具体的には、陽極（ＩＴＯ電極）１０１間を埋め、インク垂れ防止壁（バンク）を兼ねた非感光性ポリイミド（仕切部材）をフォトリソグラフィーにより形成した。ここで、仕切部材１０３の形成には、図１に示す本実施形態の液状体材料の塗布方法を用いてもよい。仕切部材１０３は例えば幅２０μｍ、厚さ２．０μｍとした。
【００８７】
正孔注入輸送層用組成物吐出工程（同図（Ｃ））
さらに、インクジェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−８００Ｃ）１０４のヘッド１０５から正孔注入輸送層用組成物イ乃至ハ（図中１０６）を吐出し、正孔注入輸送層１０７をパターンニング成膜した。この成膜では、図１に示す本実施形態の液状体材料の塗布方法を用いた。パターン成膜後、２００℃１０分の乾燥処理により正孔注入輸送層を形成した。正孔注入輸送層用組成物吐出時において、バンク越しの塗布は見られず、「スジムラ」の少ない、高精度の正孔注入輸送層パターンが得られた。
【００８８】
発光層組成物充填工程（同図（Ｄ））
次いで、緑色発光層としてＰＰＶ前駆体（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））組成物を製造した。液滴吐出方式により発光層組成物１０８を吐出し、発光層１０９をパターンニング成膜した。この成膜でも、図１に示す本実施形態の液状体材料の塗布方法を用いた。発光層１０９としては赤色発光を示すローダミンＢをドープしたＰＰＶや青色発光を示すクマリンをドープしたＰＰＶを用いても良い。赤、緑、青の３原色発光を示す発光層を正孔注入輸送層上に更にパターニングすることにより、色ムラがない高品位なフルカラー有機ＥＬディスプレイの製造が可能となる。
【００８９】
陰極形成工程（同図（Ｅ））
最後に、発光層１０９を覆うように陰電極１１０を蒸着して有機電界発光素子を形成した。
【００９０】
本有機ＥＬ装置の製造方法によれば、スジ形状の色ムラなどがない有機ＥＬ装置を簡便に短時間かつ低コストで実現できる。
【００９１】
＜プラズマディスプレイパネルの製造方法＞
次に、上記実施形態の薄膜パターン形成方法を用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図４を参照して具体的に説明する。本製造方法では、プラズマディスプレイパネルにおける電極配線パターンを上記実施形態の液状体材料の塗布方法で形成する。図４は本実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いて製造されたプラズマディスプレイパネルの一例を示す断面図である。
【００９２】
プラズマディスプレイパネル１２０は、２枚のガラス基板１２１，１２９が張り合わせられ、両基板により形成される空間に不活性ガスが充填されたものである。ガラス基板１２１，１２９には、それぞれ、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法で形成された電極（透明電極１２２、バス電極１２３、アドレス電極１２７）などが設けられている。次に、プラズマディスプレイパネル１２０の構成について具体的に説明する。
【００９３】
プラズマディスプレイパネル１２０において、放電空間１２５を挟む基板対のうち観察側のガラス基板１２１の内面には、画面の水平方向のセル列であるライン毎にサステイン電極が配列されている。サステイン電極は、透明導電膜である透明電極１２２と、抵抗値を低減するための金属膜であるバス電極１２３とからなる。透明電極１２２とバス電極１２３は、上述の図１に示す液状体材料の塗布方法で設けられたものである。すなわち、透明電極１２２は、図１に示す液滴吐出方式で形成されたインジウム錫酸化物であり、バス電極１２３も図１に示す液滴吐出方式で形成されている。
【００９４】
透明電極１２２とバス電極１２３は、交流駆動のための誘電体層１２４で被覆されている。誘電体層１２４は、透光性を有している。背面側のガラス基板１２９の内側には、アドレス電極１２７、隔壁１２８及びカラー表示のための３色（赤Ｒ，緑Ｇ，青Ｂ）の蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂが設けられている。隔壁１２８によって、放電空間１２５がライン方向に単位発光領域毎に区画されている。放電空間１２５には、アルゴン又はネオンなどからなる放電ガスが充填されている。蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂは、放電で生じた紫外線で局部的に励起されて所定色の可視光を放つ。表示における１単位の発光領域は、ライン方向に並ぶ３つの単位発光領域で構成される。各単位発光領域の範囲内の構造体がセルである。
【００９５】
次に、上記の構造を有するプラズマディスプレイパネル１２０の製造工程について説明する。なお、２枚のガラス基板１２１，１２９のうち観察側（表示面側）のガラス基板１２１を観察面側基板構造体と呼び、ガラス基板１２１と反対側（背面側）のガラス基板２９を背面側基板構造体と呼ぶ。
先ず、観察面側基板構造体としては、光透過性のガラス基板１２１の上に透明電極１２２を形成する。透明電極１２２の形成は、図１に示すようにインジウム錫酸化物を塗布する方式で行う。次いで、透明電極１２２の上にバス電極１２３を形成する。バス電極１２３の形成も図１に示すように導電性材料を塗布する方式で行う。次いで、透明電極１２２及びバス電極を被覆する誘電体層１２４を形成することで、観察面側基板構造体が完成する。
【００９６】
一方、背面側基板構造体としては、先ず、ガラス基板１２９上にアドレス電極１２７を形成する。このアドレス電極１２７の形成も、図１に示すように導電性材料を塗布する方式で行う。次いで、隔壁１２８を形成した後、隔壁１２８で仕切られた空間に蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂがスクリーン印刷法などで形成される。この蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂは、例えば、所定発光色の蛍光体粉末と、セルロース系又はアクリル系の増粘剤樹脂とアルコール系又はエステル系等の有機溶剤とからなるビヒクルとを混合した蛍光体ペーストを、スクリーン印刷法により形成する。赤色の光を発する蛍光体１２６Ｒ、緑色の光を発する蛍光体１２６Ｇ、青色の光を発する蛍光体１２６Ｂは、アドレス電極１２７方向に、交互に形成される。次いで、蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂは、大気圧の空気中雰囲気で熱処理が施され、ビヒクルの揮発成分を蒸発させる。この熱処理が蛍光体の焼成工程と呼ばれるものである。
蛍光体１２６Ｒ，１２６Ｇ，１２６Ｂの焼成が終わると、観察面側基板構造体と背面側基板構造体を張り合わせ、内部を真空排気した後、不活性ガスを充填することで、プラズマディスプレイパネル１２０が完成する。
【００９７】
これらにより本実施形態のプラズマディスプレイパネル１２０の製造方法では、透明電極１２２、バス電極１２３及びアドレス電極１２７の形成に、本実施形態に係る液状体材料の塗布方法（液滴吐出方式）を使用しているので、フォトリソグラフィやエッチングで製造した場合に比べて、インジウム錫酸化物及び導電性材料の無駄となる量を大幅に低減することができる。また、本実施形態のプラズマディスプレイパネル１２０の製造方法では、透明電極１２２、バス電極１２３及びアドレス電極１２７を形成するときに、フォトマスクを作る必要がないので、製造期間を短縮することができるとともに、製造コストを低減することができる。
【００９８】
さらに、本実施形態のプラズマディスプレイパネル１２０では、バス電極１２３に断線があったとしても、その導電性パターンの下にはインジウム錫酸化物からなる透明電極１２３が形成されているので、基板上の配線としては繋がっており、プラズマディスプレイパネル１２０における所定の機能を発揮することができる。
【００９９】
さらに、本実施形態のプラズマディスプレイパネル１２０では、透明電極１２２、バス電極１２３及びアドレス電極１２７を液滴吐出方式で形成するときに、図１に示すように、ノズルの走査線を交差させるようにして液滴を塗布させるので、透明電極１２２、バス電極１２３及びアドレス電極１２７をなす薄膜パターンに「スジムラ」が生じることを抑えることができる。そこで、本製造方法によれば、プラズマディスプレイパネル１２０の透明電極１２２、バス電極１２３及びアドレス電極１２７を高精度に形成することができるので、高品位な画像を表示することができ、電流リークなどの不具合の発生確率が低いプラズマディスプレイパネル１２０を提供することができる。
【０１００】
＜液晶装置の製造方法＞
次に、上記実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いた液晶装置の製造方法について、図５を参照して具体的に説明する。本製造方法では、液晶装置における電極配線パターン及びカラーフィルタを上記実施形態の塗布方法で形成する。図５は本実施形態に係る液状体材料の塗布方法を用いて製造された液晶装置２００の一例を示す断面図である。
【０１０１】
図５に示すように、下側基板２０１の液晶層２０３側表面上には、カラーフィルター２０５、有機膜などからなる平坦化膜２０６、透明電極２０７、配向膜２０９が順次積層形成されている。一方、上側基板２０２の液晶層２０３側表面上には、インジウム錫酸化物からなる透明電極２０８と配向膜２１０とが順次積層形成されている。また、液晶層２０３内には多数の球状のスペーサー２１３が配置されている。
【０１０２】
カラーフィルター２０５は、所定のパターンに形成された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の着色層２０５ａと隣接する着色層２０５ａ間を遮光する遮光層（ブラックマトリクス）２０５ｂとからなっている。また、配向膜２０９、２１０はポリイミドなどの配向性高分子からなり、電界を印加しないときの液晶層２０３の配向状態に合わせて、その表面は布などを用いて所定の方向にラビングされている。カラーフィルター２０５及び平坦化膜２０６は、少なくとも表示領域内に形成され、かつシール材２０４よりも内側にのみ形成されている。
【０１０３】
次に、上記構造の液晶装置２００の製造方法について説明する。
先ず、下側基板２０１の表面に、カラーフィルター２０５、平坦化膜２０６、透明電極２０７、配向膜２０９を順次形成する。ここで、カラーフィルタ２０５及び透明電極２０７は、それぞれ図１に示す液状体材料の塗布方法で形成する。
【０１０４】
また、上側基板２０２の表面に、透明電極２０８と配向膜２１０とを順次形成する。ここで、透明電極２０８も図１に示す液状体材料の塗布方法で形成する。すなわち基板２０２の表面にインジウム錫酸化物を液滴吐出装置で液滴吐出させることで透明電極２０８を形成する。
【０１０５】
次いで、表面にカラーフィルター２０５、平坦化膜２０６、透明電極２０７、配向膜２０９が順次積層形成された下側基板２０１と、透明電極２０８及び配向膜２１０を順次積層形成された上側基板２０２とを、未硬化のシール材２０４を介して貼着した後、未硬化のシール材２０４を、液晶の注入口を形成するように硬化し、液晶セルを形成する。
次いで、真空注入法により液晶セル内に液晶を吸引して液晶層２０３を形成することにより上記構造の液晶装置２００が製造される。
【０１０６】
これらにより、本実施形態の液晶装置２００の製造方法では、インジウム錫酸化物などからなる透明電極２０７，２０８を液滴吐出方式で形成するので、フォトリソグラフィやエッチングで製造した場合に比べて、インジウム錫酸化物などの無駄となる量を大幅に低減することができる。
また、本実施形態の液晶装置２００の製造方法では、透明電極２０７，２０８を形成するときに、フォトマスクを作る必要がないので、製造期間を短縮することができるとともに、製造コストを低減することができる。
【０１０７】
さらに、本実施形態の液晶装置２００の製造方法では、カラーフィルター２０５及び透明電極２０７，２０８を液滴吐出方式で形成するときに、図１に示すような順序で液滴を塗布するので、筋形状の発光ムラが少ない高品位な液晶装置２００を製造することができる。
【０１０８】
（電子機器）
上記実施形態の薄膜パターン形成方法を用いて製造された電気光学装置（有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイパネル又は液晶装置）を備えた電子機器の例について説明する。
図６は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図６において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記電気光学装置を用いた表示部を示している。
【０１０９】
図７は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図７において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記電気光学装置を用いた表示部を示している。
【０１１０】
図８は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図８において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記電気光学装置を用いた表示部を示している。
【０１１１】
図６から図８に示す電子機器は、上記実施形態の電気光学装置を備えているので、表示部などにおける発光むら及び電流リークなどを低減させた高品位な電子機器を低コストで提供することができる。
【０１１２】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の液状体材料の塗布方法の説明図である。
【図２】同上実施形態が適用される基板の状態を示す模式断面図である。
【図３】有機ＥＬ装置の製造方法を示す断面図である。
【図４】プラズマディスプレイパネルの製造方法を示す断面図である。
【図５】液晶装置の製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【図７】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
１…インクジェットノズル、２…液滴、１０…基板、１１…陽極、１２…隔壁、１３…カソードセパレータ、２１，２２…矢印付線、３０，３１，３２…薄膜パターン[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a thin film pattern using a droplet discharge method, a method for manufacturing an organic electroluminescent device, a method for manufacturing a color filter, a method for manufacturing a plasma display panel, a method for manufacturing a liquid crystal display panel, and electronic equipment.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a display panel using an organic electroluminescent element has been devised. The basic configuration of an organic electroluminescent device is such that a solid thin film (light emitting layer) containing fluorescent organic molecules is sandwiched between two electrodes (a cathode and an anode). When a voltage is applied to the electrode, holes are injected from the anode, electrons are injected from the cathode into the light emitting layer, and fluorescence is emitted from the light emitting layer.
[0003]
By the way, since a single-layer structure element composed of only a light-emitting layer has low luminous efficiency and has a problem in durability, a two-layer structure in which a positive hole injection layer (hole injection transport layer) having good adhesion is provided between the anode and the light-emitting layer. Layered devices have been proposed. By employing this laminated structure, the luminous efficiency and durability of the organic electroluminescent device can be improved by controlling the carrier injection / transport balance and the carrier recombination site. In addition, according to this laminated structure, functions such as light emission and injection / transport can be assigned to different materials, so that there is an advantage that optimal design of materials and elements becomes possible.
[0004]
Conventionally, porphyrin compounds, aniline, pyridine and derivatives thereof, low molecular weight compounds, hole injection / transport layers using carbon layers, and the like have been proposed as hole injection / transport layer compounds for organic electroluminescent devices. For forming a hole injection transport layer using these low molecular materials, a film forming method by vacuum evaporation or sputtering is generally used. Polyaniline or the like is known as a polymer material, and is formed by a wet method such as spin coating.
[0005]
By the way, the film formation method by vacuum evaporation or sputtering is a batch process and has a long time, so that mass production efficiency is poor. Further, in the case of a low molecular material, there is a problem that the film is easily crystallized after film formation, and the reliability of the device is reduced. On the other hand, polymer materials have a high degree of freedom in molecular design, and have the advantage of being easy to optimize materials because of the wet process. However, film formation methods such as spin coating waste most of the material. There is.
[0006]
Further, when fine patterning of a material is required, such as in a full-color display, it is difficult to perform high-precision patterning by a vapor deposition method, and there is a problem that the material is not resistant in a patterning step by photolithography. This is a similar problem for polymer materials. Further, since the material used as the hole injection layer or the buffer layer has conductivity, if complete patterning cannot be realized, it may cause a leakage between adjacent pixels provided on the same substrate.
[0007]
On the other hand, in order to solve the above-mentioned problems, that is, to optimize the material and element design, and to perform simple, short-time, low-cost, and highly accurate patterning film formation, a droplet discharge method is used. A method for manufacturing a hole injection layer, a light emitting layer, and the like has been devised. The manufacturing method using the droplet discharge method is to form a thin film pattern by discharging droplets composed of a component of a hole injection layer and a solvent from an inkjet nozzle to a desired region (for example, see Patent Document 1). .
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-2000-106278
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional method of manufacturing a thin film pattern using the droplet discharge method, a plurality of virtual scanning lines are set in parallel with the substrate, and the droplets are sequentially moved while moving the inkjet nozzles along the scanning lines. It was discharging. When a thin film pattern is formed by discharging droplets in this manner, stripe-shaped unevenness (streaks) occurs in the thin film pattern in a direction parallel to the scanning line.
[0010]
It is considered that the cause of the streaks is that the nozzle head of the droplet discharge device is provided with a plurality of ink jet nozzles, and the discharge amount is slightly different for each ink jet nozzle. In addition, since droplets are ejected along a plurality of scanning lines set in parallel, even if the ejection amount is almost the same for each inkjet nozzle, the film thickness in the middle part of adjacent scanning lines may be reduced. It is considered that uneven streaks occur due to this.
[0011]
When such uneven streaks occur, the thickness of the thin film pattern becomes non-uniform. If the thin film pattern is used as, for example, a hole injection layer, a light emitting layer, or a color filter that forms a pixel, streak-like uneven light emission occurs. Would.
[0012]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and when a thin film pattern is formed by using a droplet discharge method, it is possible to reduce the occurrence of streaks in the thin film pattern or to disperse the streaks. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a thin film pattern, a method of manufacturing an organic electroluminescent device, a method of manufacturing a color filter, a method of manufacturing a plasma display panel, a method of manufacturing a liquid crystal display panel, and an electronic device.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a thin film pattern according to the present invention provides a virtual first scan for defining a movement position of a nozzle head of a droplet discharge device with respect to a substrate on which a thin film pattern is formed. A first direction ejection process that defines a line and moves the nozzle head along the first scanning line to eject droplets; and a virtual second scan that intersects at a substantially right angle to the first scanning line. A second direction discharge process for defining a line and moving the nozzle head along the second scanning line to discharge droplets. According to the present invention, in the first direction discharge processing, the nozzle head is moved along the first scanning line to discharge droplets, and in the second direction discharge processing, the liquid droplet is ejected by approximately 90 degrees with respect to the first scanning line. Droplets are ejected by moving the nozzle head along the second scanning line intersecting at an angle. In other words, the droplets are ejected by scanning the nozzle head in a certain direction, and thereafter, the droplets are ejected by scanning the nozzle head in a direction substantially 90 degrees different from the direction. In this way, droplets are ejected from the nozzles of the nozzle head that moves along two scanning lines that are orthogonal to each other in the thin film pattern region to be formed. Can be suppressed.
The occurrence of “streaks” is mainly caused by a difference in the ejection amount from the nozzles in each scan, that is, a different ejection state in each scan. Therefore, according to the present invention, droplets are ejected using two scanning directions having directions substantially different from each other by 90 degrees, so that a difference in ejection state between each scanning line is dispersed and the ejection state can be made uniform. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of “streaks” in the thin film pattern, and to make the film thickness uniform. Therefore, by forming pixels and the like using the liquid material application method of the present invention, emission unevenness and the like can be reduced.
[0014]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, a plurality of the thin film pattern forming regions are set on the substrate, and the first direction discharging process and the second direction discharging process are performed for each of the thin film pattern forming regions. Preferably.
According to the present invention, since the first direction discharge process and the second direction discharge process are performed on each of the plurality of thin film pattern formation regions, it is possible to disperse the difference in the droplet discharge amount and the like in each thin film pattern formation region, It is also possible to disperse the difference in the amount of discharged droplets between the thin film pattern formation regions. Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the occurrence of “streaks” in each thin film pattern, and to reduce the occurrence of “streaks” even when a plurality of thin film patterns are viewed as a whole.
[0015]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, a plurality of the thin film pattern forming regions are set on the substrate, and the plurality of thin film pattern forming regions are a region where the first direction discharge process is performed, and It is preferable to have at least a region where a two-way ejection process is performed.
According to the present invention, since the substrate includes the region where the first direction discharge process is performed and the region where the second direction discharge process is performed, for example, the region where the first direction discharge process is performed and the region where the first direction discharge process is performed. By mixing the above, it is possible to disperse the difference between the droplet discharge states when the entire substrate is viewed, and it is possible to reduce the occurrence of “streaks”.
[0016]
In the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, it is preferable that the first direction discharge process is performed on the entire substrate, and then the second direction discharge process is performed on the entire substrate.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the difference of the droplet discharge state, such as a droplet discharge amount, can be disperse | distributed with respect to the whole board | substrate, and it can reduce that "streaks" generate | occur | produce. Further, according to the present invention, the total moving distance of the nozzle head can be reduced and a uniform film thickness can be obtained, as compared with a method in which the first direction discharge processing and the second direction discharge processing are alternately repeated for each scan. A thin film pattern can be formed at a high speed.
[0017]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, it is preferable that the first direction discharge process and the second direction discharge process are alternately repeated for each of the first scanning line and the second scanning line.
According to the present invention, for example, before the dot thin film formed in the first direction discharge process is dried, a new dot thin film is formed by the second direction discharge process so as to partially or entirely overlap the dot thin film. it can. As a result, the thickness of the thin film pattern can be made more uniform, and the occurrence of "streaks" can be further reduced.
[0018]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, the substrate includes a region in which the substrate is formed by discharging the droplets made of the same material a plurality of times to one thin film pattern formation region to form one thin film pattern. In the ejection, it is preferable that the first direction ejection process is performed at least once and the second direction ejection process is performed at least once.
According to the present invention, when a thin film pattern is formed by discharging the same material to a certain thin film pattern formation region a plurality of times, the first direction discharge process and the second direction discharge process are performed on the region. With this, in a plurality of droplet discharges of the same material with respect to the thin film pattern formation region, the difference in each discharge state is dispersed, so that a thin film pattern with a uniform thickness of a thin film made of the same material can be formed, The occurrence of “streaks” in the thin film pattern can be reduced.
[0019]
Further, in the method for manufacturing a thin film pattern according to the present invention, the nozzle head of the droplet discharge device includes a plurality of nozzles for discharging droplets, and the nozzle for performing the first direction discharge processing and the second direction discharge It is preferable that the nozzle for performing the processing is different from the nozzle for performing the processing.
According to the present invention, since the nozzles used in the first direction discharge process and the nozzles used in the second direction discharge process are different, even if there is a difference in the discharge amount between the nozzles, the discharge amount Can be dispersed. Thus, according to the present invention, it is possible to reduce the occurrence of "streaks" in the thin film pattern.
[0020]
Also, the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention includes a plurality of nozzles from which a nozzle head of the droplet discharge device discharges droplets, and at least one of the first direction discharge process and the second method discharge process. Preferably, the method preferably includes a process of simultaneously or sequentially applying droplets to one thin film pattern formation region using the plurality of nozzles.
According to the present invention, since a plurality of nozzles can discharge droplets to a single thin film pattern formation region (for example, a pixel or the like) substantially simultaneously, a thin film pattern can be formed at a high speed, and the discharge between nozzles can be performed. Differences such as amounts can be dispersed. Therefore, according to the present invention, it is possible to form a thin film pattern with less "streaks" at a high speed.
[0021]
Further, the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, after performing the first direction discharge process, and before the thin film made of the liquid material formed in the first direction discharge process is almost completely dried, It is preferable to perform the second direction discharge processing.
According to the present invention, for example, before the dot thin film formed in the first direction ejection process is completely dried, a new dot thin film is formed in the second direction ejection process so as to overlap all or a part of the thin film dot. Can be formed. Therefore, according to the present invention, the boundary between the dot thin film formed in the first direction discharge process and the dot thin film formed in the second direction discharge process can be flattened by blending. A more uniform thin film pattern can be formed.
[0022]
In the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, a part of the thin film formed by the droplets discharged in the first direction discharge process and the droplets formed by the second direction discharge process are formed. It is preferable to perform the first direction discharge processing and the second direction discharge processing so that a part of the thin film overlaps.
According to the present invention, a thin film can be formed without gaps over the entire thin film pattern formation region by the dot thin film formed by the first direction discharge process and the dot thin film formed by the second direction discharge process. Therefore, according to the present invention, it is possible to form a high-precision thin-film pattern without leaving unpainted over the entire thin-film pattern forming region and with less "streaks".
[0023]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, it is preferable that a single discharge amount in the first direction discharge process and a single discharge amount in the second direction discharge process be different.
According to the present invention, for example, it is possible to reduce the difference in the ejection state or the difference in the landing state of the droplet due to the difference in the scanning direction of the nozzle head, and it is possible to form a uniform thin film pattern. Further, according to the present invention, for example, when the thin film pattern formation region has an elongated shape, the ejection amount is increased when scanning in the longitudinal direction of the region, and the ejection amount is decreased when scanning in the short direction. Thus, a uniform thin film pattern can be formed at a higher speed.
[0024]
Further, in the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, at least one of a viscosity, a concentration, a surface tension, and an ink composition ratio of a droplet in the first direction discharge processing and the second discharge corresponding to the at least one of the droplets may be used. It is preferable that at least one of the viscosity, the concentration, the surface tension, and the ink composition ratio of the droplet in the processing is set to a different value.
According to the present invention, for example, it is possible to reduce the difference in the ejection state or the difference in the landing state of the droplet due to the difference in the scanning direction of the nozzle head, and it is possible to form a uniform thin film pattern.
[0025]
In the method for manufacturing a thin film pattern according to the present invention, it is preferable that the thin film pattern is a pixel.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming a thin film pattern by the droplet discharge method about the pixel of an organic EL device, a plasma display panel, or a liquid crystal display device, it can reduce the occurrence of "streaks" in the thin film pattern. Thus, a high-quality pixel with less "light emission unevenness" can be manufactured.
[0026]
Further, the method of manufacturing an organic electroluminescent device of the present invention is a method of manufacturing an organic electroluminescent device, wherein a light emitting device having a light emitting layer and a hole injection / transport layer between electrodes is formed on a substrate. Forming a hole injecting and transporting layer by discharging droplets with an ink jet head formed in a liquid drop discharging device, wherein the ink jet head and a stage holding the substrate are relatively moved. The hole injection transport layer is formed by discharging a hole injection transport material from the nozzle, and when the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual Defining a first scanning line, moving the nozzle head along the first scanning line to eject a droplet, and intersecting the first scanning line at a substantially right angle to the first scanning line. A second injection line is defined by defining a virtual second scan line and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets, thereby forming the hole injection transport layer. And
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming a thin film pattern by the droplet discharge method about the hole injection layer in an organic electroluminescent element, it can reduce that "streaks" generate | occur | produce in the hole injection layer, ”And a high-quality organic electroluminescent device with a small amount of
[0027]
The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention is a method for manufacturing an organic electroluminescent device, wherein a light emitting device having a light emitting layer and a hole injection / transport layer between electrodes is formed on a substrate. Forming a layer by ejecting droplets by an inkjet head formed in a droplet ejection device, wherein the nozzle is moved in accordance with relative movement of the inkjet head and a stage holding the substrate. The light emitting layer is formed by discharging the light emitting layer forming material from, and when the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scanning line is defined in the light emitting layer. A first ejection process for ejecting liquid droplets by moving the nozzle head along the first scan line, and a virtual second scan which intersects the first scan line at a substantially right angle. Defining a line, and forming a light emitting layer between the second discharge process for discharging the liquid droplet by moving the nozzle head along a second scan line.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming a thin film pattern by the droplet discharge method about the light emitting layer in an organic electroluminescent element, it can reduce that "streaks" generate | occur | produce in the light emitting layer, and the "light emission unevenness" is small. A high-quality organic electroluminescent device can be manufactured.
[0028]
Further, the method for producing a color filter of the present invention is directed to a color filter in which a light emitting element having a light emitting layer and a hole injection / transport layer between electrodes is formed on a substrate, and a color filter is formed on a light emitting direction side. A manufacturing method, comprising a step of forming the color filter by discharging droplets with an inkjet head formed in a droplet discharge device, wherein the inkjet head and a stage holding the substrate are relatively positioned. When the inkjet head and the stage holding the substrate move relative to each other, a virtual first scan line is defined in the color filter, A first ejection process for ejecting liquid droplets by moving along the first scanning line, and a virtual ejection process intersecting the first scanning line at a substantially right angle. Defining a second scan line, and forming the color filter in the second discharge process for discharging the liquid droplet by moving the nozzle head along a second scan line.
According to the present invention, for example, a thin film pattern forming a color filter in an organic electroluminescent element that emits white light from a light emitting layer of the organic electroluminescent element and emits the white light to the outside through a color filter is referred to as a “smear streak”. Can be formed uniformly without causing the occurrence of. Therefore, according to the present invention, it is possible to greatly reduce color unevenness and the like in a display panel including an organic electroluminescent element having a color filter.
[0029]
Further, the method for applying a liquid material according to the present invention is a method for manufacturing a plasma display panel having electrodes formed on a substrate, wherein the electrodes are formed by an inkjet head formed in a droplet discharge device. Forming an electrode by ejecting droplets, wherein the inkjet head and the stage holding the substrate are relatively moved to form the electrode, and the inkjet head and the stage holding the substrate are A first discharge process of defining a virtual first scan line on the electrode when moving relatively, and moving a nozzle head along the first scan line to discharge droplets; A virtual second scanning line that intersects the scanning line at a substantially right angle is defined, and the nozzle head is moved along the second scanning line to discharge a droplet. And forming said electrode by the output processing.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming the thin film pattern which forms the electrode of a plasma display panel by the droplet discharge method, it can reduce that "streaks" generate | occur | produce in the thin film pattern, and the plasma display panel can be formed with high precision. Electrodes can be formed.
[0030]
The method for applying a liquid material according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal display panel having a color filter formed on a substrate, wherein the color filter is formed in a droplet discharge device. Forming a color filter by relatively moving the ink jet head and the stage holding the substrate, and holding the ink jet head and the substrate. A first discharge process of defining a virtual first scan line on the color filter when the stage relatively moves, and moving the nozzle head along the first scan line to discharge droplets; Defining a virtual second scanning line that intersects the first scanning line at a substantially right angle, and moves the nozzle head along the second scanning line. By moving and forming the color filter in the second discharge process for discharging liquid droplets.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when forming the thin film pattern which forms the color filter of a liquid crystal display panel by a droplet discharge method, it can reduce that "streaks" generate | occur | produce in the thin film pattern, and the color unevenness in a liquid crystal display panel can be reduced. Etc. can be greatly reduced.
[0031]
In the method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention, it is preferable that the thin film pattern is a photoresist film.
According to the present invention, for example, a photoresist film formed when various patterns are transferred and formed on a substrate by using a photolithography method can be formed by the above-described method for manufacturing a thin film pattern using a droplet discharge method. According to the present invention, the occurrence of "streaks" in the photoresist film can be reduced, so that various thin film patterns can be formed with high precision using the photolithography method and the droplet discharge method.
[0032]
Further, in the method for manufacturing a thin film pattern according to the present invention, a plurality of the thin film patterns are formed on a substrate, and the first scanning line and the second scanning line cross the regions of the plurality of the thin film patterns. It is preferable that at least one droplet lands in each of the regions of the plurality of thin film patterns that are traversed by one scan in each of the first scan line and the second scan line.
According to the present invention, a single scan is performed by moving a nozzle to one side with respect to a substrate, and a first direction discharge process or a second direction discharge process is performed by the scan, and droplets are applied to a plurality of patterns, respectively. Since it is landed, a high-precision pattern can be formed at high speed.
[0033]
An electronic apparatus according to another aspect of the invention includes a thin film pattern manufactured using the method for manufacturing a thin film pattern.
According to the present invention, it is possible to provide an electronic device having a thin-film pattern with less “streaks” as a component. For example, by using the thin-film pattern as a pixel, an electronic device having a display unit with less uneven light emission is provided. Can be provided. Further, for example, by using a thin film pattern with less “streaks” as a component of a semiconductor integrated circuit or the like, it is possible to provide an electronic device that is compact, has high performance, and has a low probability of occurrence of a defect.
[0034]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a method for applying a liquid material according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view showing a method for applying a liquid material according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view showing a state of a substrate to which the coating method shown in FIG. 1 is applied. In the present embodiment, an example will be described in which the method of applying a liquid material according to the present invention is applied to manufacture of a pixel portion of an organic EL device that is one of flat panel displays.
[0035]
In order to use the method for applying a liquid material according to the present embodiment, first, an
[0036]
After the
[0037]
Then, the application method of the liquid material according to the present embodiment is performed by performing the inkjet nozzle 1 as shown by
[0038]
Then, the
[0039]
When this first-direction ejection process is performed, as shown in FIG. 1B, thin film patterns (dot thin films) 31 are dispersedly formed on the entire upper surface of the
[0040]
Conventionally, as shown in FIG. 1B, a hole injection layer is provided by scanning the ink jet nozzle 1 in one direction to form a
[0041]
In the conventional organic EL device thus formed, when a voltage is applied between the anode and the cathode to emit light, stripes are observed in the direction along the
[0042]
Therefore, in the present embodiment, after performing the first direction discharge process as shown in FIG. 1A and forming the
[0043]
In the second direction ejection process, as shown in FIG. 1C, a virtual second scanning line that intersects at a substantially right angle with the arrowed line (first scanning line) 21 used in the first direction ejection process. Is defined as a
[0044]
Then, the
[0045]
When this second-direction ejection process is performed, as shown in FIG. 1D, a thin film pattern (dot thin film) 32 is dispersedly formed on the entire upper surface of the
[0046]
A plurality of inkjet nozzles 1 are provided in a nozzle head of a droplet discharge device used in these processes. Then, for each pixel, there is a high probability that the ink jet nozzle 1 used in the first direction discharge process and the ink jet nozzle 1 used in the second direction discharge process are different from each other. This may be intentionally different. For each pixel, the ejection state of the first-direction ejection process (the ejection amount of ejected droplets, ink physical properties, ejection speed, etc.) is different from the ejection state of the second-direction ejection process.
[0047]
Therefore, according to the present embodiment, by performing the first direction discharge processing and the second direction discharge processing, it is possible to disperse the difference between the discharge states of the adjacent scanning lines, and “smear streaks” appear in the thin film pattern. It is possible to suppress the occurrence and to make the film thickness and the like uniform. Therefore, by forming the hole injection layer, the light emitting layer, and the like which are the components of each pixel by using the liquid material application method according to the present embodiment, it is possible to reduce uneven light emission in the organic EL device. .
[0048]
Further, the method for applying a liquid material according to the present embodiment may be applied to the formation of a thin film pattern forming a color filter in an organic EL device. For example, in an organic EL device that emits white light from a light emitting layer and emits the white light to the outside through a color filter, the coating method of the present embodiment is applied to the formation of a thin film pattern forming a color filter. In this way, the thin film pattern forming the color filter can be formed uniformly without causing "streaks". Thus, according to the present embodiment, it is possible to greatly reduce color unevenness and the like in an organic EL device including a color filter.
[0049]
In the method of applying a liquid material according to the above-described embodiment, the first-direction ejection process and the second-direction ejection process can be performed for each pixel region that is a plurality of thin film pattern formation regions set on the
[0050]
Further, in the method for applying a liquid material according to the present embodiment, a plurality of pixel regions, which are thin film pattern forming regions set on the
[0051]
Further, in the method for applying a liquid material according to the above-described embodiment, a first direction discharge process is performed on the
[0052]
In the method for applying a liquid material according to the present embodiment, a plurality of droplets made of the same material (for example, a hole injection transport material) are ejected to each pixel region that is a thin film pattern formation region. When a plurality of droplets of the same material are ejected to each thin film pattern formation region in this manner, it is preferable to perform the first-direction ejection process at least once and to perform the second-direction ejection process at least once.
[0053]
In this way, in a plurality of droplet discharges of the same material with respect to the thin film pattern formation region (pixel region), the difference in each discharge state is dispersed, so that a thin film pattern of the same material having a uniform thickness and the like can be formed. This can reduce the occurrence of “streaks” in the thin film pattern.
[0054]
Further, in the method for applying a liquid material according to the present embodiment, a droplet discharge device in which a plurality of inkjet nozzles 1 are provided in a nozzle head is used, and a thin film pattern forming region (pixel region) is provided in a first direction. It is preferable that the inkjet nozzle 1 used in the ejection process and the inkjet nozzle 1 used in the second direction ejection process are different. In this way, even if there is a difference in the ejection amount between the inkjet nozzles 1, the difference in the ejection amount can be dispersed. Thus, according to this coating method, the occurrence of the above-mentioned "streaks" can be further reduced.
[0055]
Further, in the method for applying a liquid material according to the present embodiment, a droplet discharge device in which a plurality of inkjet nozzles 1 are provided in a nozzle head is used, and one thin film pattern formation region (pixel region) is used. Droplets may be ejected simultaneously or sequentially by two or more adjacent inkjet nozzles 1. The droplet discharge by the two or more inkjet nozzles 1 is performed as the above-described first direction discharge processing or second direction discharge processing.
[0056]
In this way, a plurality of inkjet nozzles 1 can discharge droplets substantially simultaneously to one thin film pattern formation region (for example, a pixel region), so that a thin film pattern can be formed at a high speed, It is possible to disperse the difference in the discharge amount and the like. Therefore, according to the present coating method, a thin film pattern with less “streaks” can be formed at a high speed.
[0057]
In the method for applying a liquid material according to the present embodiment, a part of the
[0058]
Thus, the dot thin film (thin film pattern 31) formed by one ejection droplet in the first direction ejection process and the dot thin film (thin film pattern 32) formed by one ejection droplet in the second direction ejection process Thus, a thin film can be formed without gaps over the entire thin film pattern formation region. Therefore, according to this coating method, it is possible to form a high-precision thin-film pattern without leaving unpainted over the entire thin-film pattern forming region (for example, a pixel region) and with little "streaks".
[0059]
In the method of applying a liquid material according to the present embodiment, the ejection amount of one droplet in the first direction ejection process and the ejection amount of one droplet in the second direction ejection process are set to different values. Is also good. By doing so, it is possible to control the ejection amount so as to reduce the difference in the ejection state of the ink jet nozzle 1 or the difference in the landing state of the droplet associated with the difference in the scanning direction of the nozzle head in the droplet ejection device. it can. Therefore, according to this coating method, a more uniform thin film pattern can be formed, and a high-precision thin film pattern with less "streaks" can be formed.
[0060]
Further, in the method for applying a liquid material according to the present embodiment, the viscosity, surface tension, concentration, and ink composition ratio of the droplet in the first direction discharge process, and the viscosity and surface tension of the droplet in the second direction discharge process , Density, and ink composition ratio may be different values. In this method, for example, the inkjet nozzle 1 (first nozzle) used in the first direction ejection process and the inkjet nozzle 1 (second nozzle) used in the second direction ejection process are supplied to the first nozzle separately. This can be realized by making the liquid material to be supplied and the liquid material supplied to the second nozzle different from each other.
[0061]
By doing so, it is possible to reduce the difference in the ejection state or the difference in the landing state of the droplet due to the difference in the scanning direction of the nozzle head. Therefore, according to this coating method, a more uniform thin film pattern can be formed, and a high-precision thin film pattern with less "streaks" can be formed.
[0062]
Further, the method for applying a liquid material according to the present embodiment may be applied to the formation of a thin film pattern constituting a photoresist film. For example, the method of applying a liquid material according to the present embodiment may be used to form the
[0063]
<Method of Manufacturing Organic EL Device>
Next, a method for manufacturing an organic EL device using the method for applying a liquid material according to the above embodiment will be specifically described with reference to FIG. In this manufacturing method, the hole injection / transport layer in the organic EL device is formed by the method for applying a liquid material of the above embodiment.
[0064]
The composition for a hole injecting and transporting layer mainly contains a conductive compound for forming the hole injecting and transporting layer, a dispersion solvent and a wetting agent, and is used for pattern formation by a droplet discharging method. The conductive compound forming the hole injection transport layer is preferably a compound having an ionization potential lower than that of the anode. For example, when indium tin oxide (ITO: Indium Tin Oxide) is used as the positive electrode, a porphyrin compound such as copper phthalocyanine is used as the low-molecular material.
[0065]
In addition, other additives and a film stabilizing material may be added. For example, a viscosity adjuster, an antioxidant, a pH adjuster, a preservative, a resin emulsion, a leveling agent and the like can be used.
[0066]
The physical properties of the composition for the hole injection transport layer when copper phthalocyanine was used as the conductive compound (component of the hole injection transport layer) were examined. Samples were prepared from compositions A to N shown in Tables 1 to 10.
[0067]
Composition i
[Table 1]
Composition b
[Table 2]
Composition c
[Table 3]
Composition D
[Table 4]
Composition e
[Table 5]
Composition
[Table 6]
Composition
[Table 7]
Composition
[Table 8]
Composition
[Table 9]
Composition Nu
[Table 10]
(Ejection Evaluation) The contact angles, viscosities, and surface tensions of the compositions A to H shown in Tables 1 to 8 with respect to the material constituting the nozzle surface of the ink jet head were measured, and their ejection properties were evaluated. The ejection evaluation was performed using an inkjet printing apparatus (MJ-500C manufactured by Epson).
[0078]
The viscosity is a value measured at 20 ° C. Table 11 shows the results.
[0079]
[Table 11]
[0080]
Further, it can be seen that the compositions A to C in which glycerin is mixed as a wetting agent are superior in ejection property as compared with the compositions F to H in which no wetting agent is mixed. Therefore, it is preferable that the ink composition contains a wetting agent. By mixing the wetting agent, it is possible to effectively prevent the ink composition from drying and solidifying at the nozzle opening. Examples of such a wetting agent include polyhydric alcohols such as glycerin and diethylene glycol, and glycerin is particularly preferred.
[0081]
(Preparation of Composition for Hole Injection and Transport Layer) Compositions 1 to 3 shown in Tables 1 to 3 and Tables 9 and 10, respectively, and
[0082]
Table 12 shows the results. The effect of the ultrasonic treatment was shown by the ratio of the particle size distribution of 1 μm or less. The particle size of the styrene acrylic resin dispersion is 1 μm or more.
[0083]
[Table 12]
[0084]
(Manufacturing process of organic electroluminescent element) Using compositions A to C shown in Tables 1 to 3, patterning and film formation of a hole injection / transport layer by a droplet discharge method were performed according to the following procedure. An electroluminescent device (light emitting layer) was manufactured.
[0085]
Anode formation process (FIG. 3A)
This step is a step of forming the
[0086]
Partition member forming process (FIG. (B))
This step is a step of forming the
[0087]
Step of discharging composition for hole injecting and transporting layer (Fig. (C))
Furthermore, hole injection transport layer compositions A to C (106 in the figure) were ejected from the
[0088]
Light emitting layer composition filling step (FIG. (D))
Next, a PPV precursor (poly (para-phenylenevinylene)) composition was produced as a green light-emitting layer. The light-emitting
[0089]
Cathode forming process (Fig. (E))
Finally, a
[0090]
According to the method for manufacturing an organic EL device, an organic EL device free from streak-like color unevenness can be easily realized in a short time and at low cost.
[0091]
<Method of manufacturing plasma display panel>
Next, a method for manufacturing a plasma display panel using the thin film pattern forming method of the above embodiment will be specifically described with reference to FIG. In the present manufacturing method, the electrode wiring pattern in the plasma display panel is formed by the method of applying the liquid material of the above embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a plasma display panel manufactured by using the liquid material application method according to the present embodiment.
[0092]
The
[0093]
In the
[0094]
The
[0095]
Next, a manufacturing process of the
First, as an observation surface side substrate structure, a
[0096]
On the other hand, as the rear substrate structure, first, an
After the firing of the
[0097]
Accordingly, in the manufacturing method of the
[0098]
Further, in the
[0099]
Further, in the
[0100]
<Manufacturing method of liquid crystal device>
Next, a method for manufacturing a liquid crystal device using the method for applying a liquid material according to the above embodiment will be specifically described with reference to FIG. In this manufacturing method, an electrode wiring pattern and a color filter in a liquid crystal device are formed by the coating method of the above embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an example of a
[0101]
As shown in FIG. 5, a
[0102]
The
[0103]
Next, a method for manufacturing the
First, a
[0104]
Further, a transparent electrode 208 and an alignment film 210 are sequentially formed on the surface of the
[0105]
Next, a
Next, the liquid crystal is sucked into the liquid crystal cell by a vacuum injection method to form the
[0106]
Thus, in the method of manufacturing the
Further, in the method of manufacturing the
[0107]
Further, in the method of manufacturing the
[0108]
(Electronics)
An example of an electronic apparatus including an electro-optical device (organic EL device, plasma display panel, or liquid crystal device) manufactured using the thin film pattern forming method of the above embodiment will be described.
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a mobile phone. In FIG. 6,
[0109]
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a wristwatch-type electronic device. 7,
[0110]
FIG. 8 is a perspective view showing an example of a portable information processing device such as a word processor or a personal computer. 8,
[0111]
Since the electronic apparatus shown in FIGS. 6 to 8 includes the electro-optical device of the above embodiment, it is possible to provide a high-quality electronic apparatus with reduced light emission unevenness and current leakage in a display unit or the like at low cost. Can be.
[0112]
Note that the technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention. The configuration and the like are merely examples, and can be appropriately changed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for applying a liquid material according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a state of a substrate to which the embodiment is applied.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing an organic EL device.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a plasma display panel.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a liquid crystal device.
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus according to an embodiment of the invention.
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus according to an embodiment of the invention.
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus according to an embodiment of the invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink jet nozzle, 2 ... Droplet, 10 ... Substrate, 11 ... Anode, 12 ... Partition wall, 13 ... Cathode separator, 21, 22 ... Line with arrow, 30, 31, 32 ... Thin film pattern
Claims (19)
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することに伴い前記ノズルから液滴を吐出することよってパターンを形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、仮想的な第１走査ラインを規定し、前記インクジェットヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とを有することを特徴とする薄膜パターンの製造方法。A method of manufacturing a thin film pattern for discharging droplets from a plurality of nozzles formed in an inkjet head and forming a predetermined pattern on a substrate,
Forming a pattern by discharging droplets from the nozzles as the inkjet head and the stage holding the substrate move relative to each other,
When the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scan line is defined, and the inkjet head is moved along the first scan line to discharge droplets. A first ejection process;
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets. A method for producing a thin film pattern, comprising:
前記薄膜パターン形成領域毎に、前記第１吐出処理及び前記第２吐出処理が行われることを特徴とする請求項１に記載の薄膜パターンの製造方法。A plurality of thin film pattern forming regions are set on the substrate,
The method according to claim 1, wherein the first ejection process and the second ejection process are performed for each of the thin film pattern formation regions.
該複数の薄膜パターン形成領域は、前記第１吐出処理が行われる領域と、前記第２吐出処理が行われる領域とを少なくとも有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜パターンの製造方法。A plurality of the thin film pattern forming regions are set on the substrate,
2. The method according to claim 1, wherein the plurality of thin film pattern forming regions include at least a region where the first ejection process is performed and a region where the second ejection process is performed. 3.
該複数回吐出において、少なくとも１回は前記第１吐出処理を行うとともに、少なくとも１回は前記第２吐出処理を行うことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の薄膜パターンの製造方法。The substrate has a region where a single thin film pattern is formed by discharging the droplets of the same material to a single thin film pattern formation region a plurality of times,
6. The thin film pattern according to claim 1, wherein in the multiple ejections, the first ejection processing is performed at least once, and the second ejection processing is performed at least once. 7. Manufacturing method.
前記正孔注入輸送層を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することに伴い前記ノズルから正孔注入輸送材料を吐出することによって前記正孔注入輸送層を形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記発光層に仮想的な第１走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記正孔注入輸送層を形成することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。A method for manufacturing an organic electroluminescent device, wherein a light emitting device having a light emitting layer and a hole injection transport layer between electrodes is formed on a substrate,
Forming a hole injection transport layer by discharging droplets with an inkjet head formed in a droplet discharge device,
Forming the hole injecting and transporting layer by discharging a hole injecting and transporting material from the nozzle with the relative movement of the inkjet head and the stage holding the substrate,
When the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scan line is defined on the light emitting layer, and the nozzle head is moved along the first scan line to move the liquid. A first ejection process for ejecting droplets;
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets is performed. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising forming a hole injection transport layer.
前記発光層を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することに伴い前記ノズルから発光層形成材料を吐出することによって前記発光層を形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記発光層に仮想的な第１走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記発光層を形成することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。A method for manufacturing an organic electroluminescent device, wherein a light emitting device having a light emitting layer and a hole injection transport layer between electrodes is formed on a substrate,
A step of forming the light emitting layer by discharging droplets with an inkjet head formed in a droplet discharge device,
Forming the light emitting layer by discharging the light emitting layer forming material from the nozzle with the relative movement of the stage holding the inkjet head and the substrate,
When the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scan line is defined on the light emitting layer, and the nozzle head is moved along the first scan line to move the liquid. A first ejection process for ejecting droplets;
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets is performed. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising forming a light emitting layer.
前記カラーフィルタを、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記発光層を形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記カラーフィルタに仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記カラーフィルタを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。A method for manufacturing a color filter, wherein a light emitting element having a light emitting layer and a hole injection transport layer between electrodes is formed on a substrate, and a color filter is formed on a light emitting direction side,
Forming a color filter by discharging droplets by an inkjet head formed in a droplet discharge device,
Forming the light emitting layer by relatively moving the inkjet head and the stage holding the substrate,
When the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scan line is defined in the color filter, and the nozzle head is moved along the first scan line to move the liquid. A first ejection process for ejecting droplets;
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets is performed. A method for manufacturing a color filter, comprising forming a color filter.
前記電極を、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記電極を形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記電極に仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。A method for manufacturing a plasma display panel having electrodes formed on a substrate,
A step of forming the electrodes by discharging droplets with an inkjet head formed in a droplet discharge device,
Forming the electrodes by relatively moving the inkjet head and the stage holding the substrate,
When the inkjet head and the stage holding the substrate relatively move, a virtual first scan line is defined on the electrode, and the nozzle head is moved along the first scan line to form a droplet. A first discharge process for discharging
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets is performed. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising forming electrodes.
前記カラーフィルタを、液滴吐出装置に形成されるインクジェットヘッドにより液滴を吐出することにより形成する工程を有し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動することによって前記カラーフィルタを形成し、
前記インクジェットヘッドと前記基板を保持するステージとが相対的に移動する際、前記カラーフィルタに仮想的な第１走査ラインを規定し、前期ノズルヘッドを該第１走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第１吐出処理と、
前記第１走査ラインに対して略直角に交わる仮想的な第２走査ラインを規定し、前記ノズルヘッドを該第２走査ラインに沿って移動させて液滴を吐出する第２吐出処理とで前記カラーフィルタを形成することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。A method for manufacturing a liquid crystal display panel having a color filter formed on a substrate,
Forming a color filter by discharging droplets by an inkjet head formed in a droplet discharge device,
Forming the color filter by relatively moving the stage holding the inkjet head and the substrate,
When the inkjet head and the stage holding the substrate move relatively, a virtual first scan line is defined in the color filter, and the nozzle head is moved along the first scan line to move the liquid. A first ejection process for ejecting droplets;
A second discharge process of defining a virtual second scan line that intersects the first scan line at a substantially right angle and moving the nozzle head along the second scan line to discharge droplets is performed. A method for manufacturing a liquid crystal display panel, comprising forming a color filter.
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