JP2004345193A - 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液体カートリッジ並びに画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドの長尺化により撮像装置を用いた複数視野での欠陥検査を行ったとき、各視野間で未検査エリアが発生するおそれがある。
【解決手段】ノズル連通路５、加圧液室６、インク供給路７、接着剤逃がし用肉抜き部４７で構成される液体充填領域パターン以外の領域に、液体充填領域パターンを構成する各パターンとは異なる形状のマーク６５を設けることで、撮像エリアがずれたときの画像パターンが正規の画像パターンと異なるようにした。
【選択図】 図１８

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液体カートリッジ並びに画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特許第２７１４２００号公報
【特許文献２】特開平５−１９７１３３号公報
【特許文献３】特開平１０−７６６５０号公報
【特許文献４】特開２０００−２１８７８３号公報
【０００３】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液室、加圧室、液室等とも称される。）と、このインク流路内のインクを加圧する駆動手段（圧力発生手段）とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【０００４】
インクジェットヘッドとしては、インク流路内のインクを加圧するエネルギーを発生する駆動手段として、圧電素子を用いてインク流路の壁面を形成する振動板を変形させてインク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させるいわゆる圧電型のもの、或いは、発熱抵抗体を用いてインク流路内でインクを加熱して気泡を発生させることによる圧力でインク滴を吐出させるいわゆるサーマル型のもの、インク流路の壁面を形成する振動板と電極とを対向配置し、振動板と電極との間に発生させる静電力によって振動板を変形させることで、インク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させる静電型のものなどが知られている。
【０００５】
ところで、インクジェットヘッドは記録媒体上のドットをインク滴により構成する関係上、インク滴のサイズを小さくすることにより、極めて高い解像度での記録、印刷が可能である。
【０００６】
しかしながら、効率よく記録するためには、インク開口の数を多くする（ノズル数を多くする）必要があり、圧力室（加圧液室）を大きくする必要がある。このことは、ヘッドの小型化要請とは相反することである。このような相反する問題を解消するため、通常隣り合う圧力室を区画している壁（隔壁）を薄くすると共に圧力室の形状を長手方向に大きくして容積を稼ぐことが行われている。
【０００７】
このような加圧液室は振動板とノズル板の間隔を所定の値に保持する部材である流路形成部材に形成されている（サーマル型では振動板がない。）が、上述したように極めて小さく、しかも複雑な形状を備えた加圧液室を形成する必要上、通常エッチング技術が使用されている。すなわち、比較的簡単な手法で、微細な形状を高い精度で加工が可能な、シリコン単結晶基板の異方性エッチングを用いた部品製作技術、いわゆるマイクロマシニング技術を適用してヘッド構成部品を製作するための種々な技術や手法が提案されている。
【０００８】
特に、結晶方位（１１０）の単結晶シリコン基板を流路形成部材に用いて、異方性エッチングを行い加圧液室やリザーバ室などを形成することが知られている。この単結晶シリコンを使用したスペーサは、機械的剛性が高いため、特に圧電型ヘッドのように圧電振動子を圧力発生手段として使用する場合でも、圧電振動子の変形に伴う記録ヘッド全体のたわみを小さくできるとともに、エッチングを受けた壁面が表面に対してほぼ垂直であるため圧力室を均一に微小間隔で並べて配置することができるという大きな利点を備えている。
【０００９】
このようにシリコンウエハから流路形成部材を製作する場合、流路形成部材となるウエハに形成された流路パターンの欠陥検査は、作業者が顕微鏡から得られる像を観察して良否を判定するか、顕微鏡を介してテレビカメラから得られる像を画像処理することにより検査を行っている。後者においては、良品の検査パターンを参照パターンとして予め画像メモリに登録しておき、精密なステージで位置合わせした後に被検査パターン画像を取り込み、参照パターンとの画像間の差分あるいは画像間の排他的論理和をとることにより欠陥の検出の自動化をおこなってきている。
【００１０】
なお、
【特許文献１】には、記録ヘッド検査において、吐出口が配列される吐出面に吐出口の所定の個数毎にマークを設けることにより、吐出口の特定を容易に行うことができ、上記マークを記録ヘッドの製造工程において設けることにより、インク液滴の吐出と干渉しないような位置に正確に上記マークを設けることのできるようにすることが開示されている。
【００１１】
また、
【特許文献２】には、ウェハ上に繰り返し形成されたパターンの欠陥を検査する方法において、画像読取手段により、前記ウェハ上のパターンを読取り、前記画像読取手段から出力される前記パターンに応じた画像信号に対し所定の処理を行うことにより得られるデータと前記パターンの繰返しによる規則性から前記パターンのエッジ位置を求め、求められたエッジ位置に応じて検査すべき領域を決定し、前記決定された領域内に対し欠陥の検査を行うようにした方法が開示されている。
【００１２】
さらに、
【特許文献３】には、微小な流路形成部材を用いたインクジェットプリントヘッドにおける組立性、特に位置合わせ工程を改善するため、流路形成部材に貫通穴を形成することなどが開示されている。
【００１３】
【発明が解決しようする課題】
ところが、印刷の高速化に伴ってヘッドの長尺化が進むにつれて、より多くの流路パターンが繰り返し形成されたパターン構造となり、撮像装置を用いた場合、１視野での欠陥検査が不可能となり、複数視野での欠陥検査が必要となっている。
【００１４】
このように複数視野での検査を行うようになると、視野毎での重複検査エリアが発生したり、各視野間で未検査エリアが発生したりするという課題が生じる。
【００１５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、未検査チャンネルや同じチャンネルの重複検査の発生を防止した液滴吐出ヘッド及びその製造方法、その液滴吐出ヘッドを備えた液体カートリッジ、画像形成装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、連続した２以上の流路について１つの割合で流路の形状が異なる構成とした。
【００１７】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、流路形成部材には連続する２以上の流路について１つの割合で流路とは異なるマークが設けられている構成とした。
【００１８】
ここで、マークは流路形成部材の流路よりも端部側に設けられていることが好ましい。また、マークは平面形状が多角形であることが好ましく、この場合、多角形のマークの最も長い対角線の長さが５μｍ以上であることが好ましい。さらに、複数の多角形のマークが設けられていることが好ましい。また、マークの間隔は流路の間隔よりも大きいが好ましい。
【００１９】
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、流路形成部材はシリコンのドライエッチング、異方性ウエットエッチング、又はドライエッチング及び異方性ウエットエッチングの組み合わせで形成する構成とした。
【００２０】
本発明に係る液体カートリッジは、液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化した構成とした。
【００２１】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係る液体カートリッジを備える構成とした。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。
【００２３】
このインクジェットヘッドは、単結晶シリコン基板で形成した流路形成部材である流路板１と、この流路板１の下面に接合した振動板２と、流路板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴であるインク滴を吐出するノズル４がノズル連通路（連通管）５を介して連通する加圧液室６、加圧液室６にインクを供給するための液供給室である共通液室８にインク供給口９を介して連通する加圧液室６に比して小さな断面をもつ液体供給路であるインク供給路７を形成している。このヘッドでは、連通管５、加圧液室６及びインク供給路７を「流路」とする。
【００２４】
そして、振動板２の外面側（液室と反対面側）に各加圧液室６に対応して加圧液室６内のインクを加圧するための駆動手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての積層型圧電素子１２を接合し、この圧電素子１２をベース基板１３に接合している。ベース基板１３はチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性基板を用いている。
【００２５】
また、圧電素子１２の間には加圧液室６、６間の隔壁部６ａに対応して支柱部１４を設けている。ここでは、圧電素子部材にハーフカットのダイシングによるスリット加工を施すことで櫛歯状に分割して、１つ毎に圧電素子１２と支柱部１４して形成している。支柱部１４も構成は圧電素子１２と同じであるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱となる。
【００２６】
さらに、振動板１２の外周部はフレーム部材１６にギャップ材を含む接着剤１７にて接合している。このフレーム部材１６には、共通液室８となる凹部、この共通液室８に外部からインクを供給するための図示しないインク供給穴を形成している。このフレーム部材１６は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成している。
【００２７】
ここで、流路板１は、、例えば結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を後述するようにドライエッチングによる深堀と水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）、ＴＭＡＨ液などのエッチング液を用いた異方性エッチングとを併用することで、ノズル連通路５、加圧液室６、インク供給路７となる凹部や穴部を形成したものである。
【００２８】
そして、流路板１のインクに接する面（液流路の壁面）となる加圧液室６、インク供給路７の各壁面には酸化膜、窒化チタン膜或いはポリイミドなどの有機樹脂膜からなる耐液性薄膜１０を成膜している。このような耐液性薄膜１０を形成することで、シリコン基板からなる流路板１０がインクに対して溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくく、安定した滴吐出が可能になる。
【００２９】
また、この流路板１には、ノズル板接合面側及び振動板接合面側にそれぞれ接着剤逃がし用の肉抜き部（凹部）４５、４７を形成するとともに、ノズル板接合面側に液室形状（流路形状）に似た形状の擬似液室（凹部）４６を形成することによって、ノズル板接合面の凹部以外の表面積と振動板接合面の凹部以外の表面積とが略同じになるようにしている。
【００３０】
振動板２は、ニッケルの金属プレートから形成したもので、例えばエレクトロフォーミング法（電鋳法）で作製しているが、この他の金属板や樹脂板或いは金属と樹脂板との接合部材などを用いることもできる。
【００３１】
この振動板２は加圧液室６に対応する部分に変形を容易にするための厚みが２〜１０μｍの薄肉部（ダイアフラム部）２１及び圧電素子１２と接合するための厚肉部（島状凸部）２２を形成するとともに、支柱部１４に対応する部分及びフレーム部材１６との接合部にも厚肉部２３を形成し、平坦面側を流路板１に接着剤接合し、島状凸部２２を圧電素子１２に接着剤接合し、更に厚肉部２３を支柱部１４及びフレーム部材１６に接着剤１７で接合している。なお、ここでは、振動板２を２層構造のニッケル電鋳で形成している。この場合、ダイアフラム部２１の厚みは３μｍ、幅は３５μｍ（片側）としている。
【００３２】
ノズル板３は各加圧液室６に対応して直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。ここでは、電鋳工法によるＮｉメッキ膜等で形成している。また、ノズル４の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成し、このノズル４の穴径はインク滴出口側の直径で約２０〜３５μｍとしている。さらに、各列のノズルピッチは１５０ｄｐｉとし、２列配置により３００ｄｐｉとしている。
【００３３】
また、ノズル板３のノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。撥水処理層としては、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【００３４】
圧電素子１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層３１と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層３２とを交互に積層したものであり、内部電極３２を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極３３、共通電極３４に電気的に接続したものである。この圧電常数がｄ３３である圧電素子１２の伸縮により加圧液室６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子１２に駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子１２に充電された電荷が放電すると反対方向に収縮するようになっている。
【００３５】
なお、圧電素子部材の一端面の端面電極はハーフカットによるダイシング加工で分割されて個別電極３３となり、他端面の端面電極は切り欠き等の加工による制限で分割されずにすべての圧電素子１２で導通した共通電極３４となる。
【００３６】
そして、圧電素子１２の個別電極３３には駆動信号を与えるために半田接合又はＡＣＦ（異方導電性膜）接合若しくはワイヤボンディングでＦＰＣケーブル３５を接続し、このＦＰＣケーブル３５には各圧電素子１２に選択的に駆動波形を印加するための駆動回路（ドライバＩＣ）を接続している。また、共通電極３４は、圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでＦＰＣケーブル３５のグラウンド（ＧＮＤ）電極に接続している。
【００３７】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、例えば、記録信号に応じて圧電素子１２に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、圧電素子１２に積層方向の変位が生起し、振動板２を介して加圧液室６内のインクが加圧されて圧力が上昇し、ノズル４からインク滴が吐出される。
【００３８】
その後、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室６内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室６内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、図示しないインクタンクから供給されたインクは共通液室８に流入し、共通液室８からインク供給口９を経てインク供給路７を通り、加圧液室６内に充填される。
【００３９】
なお、インク供給路（流体抵抗部）７は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗になる。このインク供給路７の流体抵抗値を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くできる。
【００４０】
そこで、流路形成部材である流路板１の詳細について図４以降をも参照して説明する。
先ず、本発明を適用する前の構成とその課題について図４ないし図１０を参照して具体的に説明する。なお、図４は流路板１の断面説明図、図５は流路板のノズル板接合面側の平面説明図、図６は流路板の振動板接合面側の平面説明図、図７及び図８は同流路板の検査時の検査エリアの説明に供する説明図、図９は同検査時の検査漏れ及び重複検査の発生の説明に供する説明図、図１０は１つの検査エリアの説明に供する説明図である。
【００４１】
流路板１のノズル板接合面側（図５）には、前述したように、ノズル連通路５、肉抜き部（凹部）４５、擬似液室４６のパターンが形成される。また、振動板接合面側（図６）には、インク供給路７、加圧液室６、ノズル連通路５、肉抜き部（凹部）４７のパターンが形成される。
【００４２】
なお、インク供給路７、加圧液室６、ノズル連通路５は、いずれも本発明でいう「流路」であり、これらのインク供給路７、加圧液室６、ノズル連通路５のパターンを「流路パターン」といい、この流路パターンに肉抜き部（凹部）４７等のパターンを含めて「液体充填領域パターン」といい、説明上２つの凹部４７については流路板１の端部側を凹部４７ａ、加圧液室側を凹部４７ｂと区別して表記する場合もある。また、１つの流路パターンを「チャンネル」とも称する。
【００４３】
ここで、この流路板１に形成した流路パターンを含む液体充填領域パターンの検査をカメラなどの撮像手段を用いて行う場合、１視野で撮像できないときには、複数視野で撮像することになる。
【００４４】
例として、１枚の流路板１を８視野で検査する場合、ノズル板接合面側については、図５のパターン配置及び数の例では、図７に示すように領域ａ−１〜ａ−８に分割して行うことになる。同様に、振動板接合面側については、図６のパターン配置及び数の例では、図８に示すように領域ｂ−１〜ｂ−８に分割して行うことになる。１視野の領域を破線で囲んで視野５１として示している。
【００４５】
このように複数視野での検査を実施した場合、例えば振動板接合面側で図９及び図１０を参照して説明すると、図１０に示すように１視野５１当たり５つのチャンネル（液体充填領域パターン）ｃｈ１〜ｃｈ５を含む画像認識で検査を実施するとき、図９に示すように、領域ｂ−１から領域ｂ−２への視野５１の移動において、１チャンネル分の移動ずれが発生すると、６番目の繰り返しチャンネルＣ６は未検査チャンネルとなり、１１番目のチャンネルＣ１１は重複検査されることになる。このとき、画像としては図１０に示す本来の画像となるために未検査或いは重複検査であるという判定はなされず、誤った検査認識とはならないことになる。
【００４６】
なお、チャンネルＣｎ（ｎ＝１〜ｎ）は、流路板１について、図９で領域ａ−１の最も下の液体充填領域パターンからチャンネルＣ１、Ｃ２……というように定義したときの用語として使用する。チャンネルｃｈｍ（ｍ＝１〜ｍ）は、予め定めた連続するｍ個の液体充填領域パターンを含む領域（以下では「１視野５１に相当する領域とし、符号としては「５１」を用いて説明する。）内における液体充填領域パターンの位置を特定するための用語として用いる。
【００４７】
そこで、本発明の原理について図１１及び図１２をも参照して説明する。
１視野５１に含まれる連続するｍ個の液体充填領域パターンに対して１つ以上の割合で、液体充填領域パターンの形状（平面形状）を他と異ならせる、あるいは、液体充填領域パターン以外とは異なるパターンを付加することで、認識すべき領域がずれた場合に得られる画像パターンが正常な画像パターンと異なることになる。
【００４８】
例えば、図１１に示すように予め定めた１視野５１に相当する領域に含まれる連続する５つのチャンネルｃｈ１〜ｃｈ５のうち、チャンネルｃｈ２とｃｈ４の液体充填領域パターンの形状を他のチャンネルｃｈ１、ｃｈ３、ｃｈ５の液体充填領域パターンの形状と異ならせている。具体的には、チャンネルｃｈ２とｃｈ４に対応する液体充填領域パターンのノズル連通路５の形状をチャンネルｃｈ１、ｃｈ３、ｃｈ５に対応する液体充填領域パターンのノズル連通路５の形状よりも大きくしている。
【００４９】
そうすると、図９に示したように領域ａ−１から領域ａ−２に移行するときに視野５１の位置ずれが生じた場合、本来は領域ａ−２の１視野５１の画像パターンは図１１と同様になるはずであるが、図１２に示すように、チャンネルＣ７（チャンネルｃｈ１に相当する）とチャンネルＣ９（チャンネルｃｈ３に相当する。）に形状（大きさ）変更が現れることになり、明らかに異なった画像パターンとなるため、誤った検査と判断することができる。
【００５０】
そこで、このような明らかに異なった画像とするための本発明の実施例について図１３以降をも参照して説明する。
図１３に示す第１実施例は１つのチャンネルの流路パターンに含まれるノズル連通路５の形状（平面形状）を異ならせたものである。すなわち、同図（ａ）はチャンネルｃｈ２のノズル連通路５の長手方向長さを他のチャンネルより長くした例、同図（ｂ）はチャンネルｃｈ２のノズル連通路５の長さをを他のチャンネルより短くした例である。なお、長手方向とは加圧液室６の長手方向の意味であり、前述したノズル４の並び方向と直交する方向である。
【００５１】
図１４に示す第２実施例は１つのチャンネルの流路パターン以外の凹部４７の形状（平面形状）を異ならせたものである。すなわち、同図（ａ）はチャンネルｃｈ２の凹部４７ａの長さを他のチャンネルのより長くした例、同図（ｂ）はチャンネルｃｈ２の凹部４７ａの形状を他のチャンネルのように平行四辺形ではなく六角形状に形成した例である。
【００５２】
図１５に示す第３実施例は１つのチャンネルの流路パターンに含まれるノズル連通路５の形状（平面形状）を異ならせたものである。すなわち、同図（ａ）はチャンネルｃｈ２のノズル連通路５の側部（ノズル配列方向の側面）に拡張部６１を形成した例、同図（ｂ）はノズル連通路５の端部６２を残した例である。
【００５３】
図１６に示す第４実施例は、１又は２つのチャンネルの液体充填領域パターンを構成するが流路パターン以外のパターンである凹部４７の個数を異ならせて平面形状を異ならせたものである。すなわち、同図（ａ）は１つのチャンネルｃｈ２について凹部４７ａを設けない構成とした例、同図（ｂ）は２つのチャンネルｃｈ２、ｃｈ４について凹部４７ａを設けない構成とした例である。なお、この第４実施例は、流路パターンを基準としたとき、流路パターン以外に流路パターンとは異なる形状のマークを設ける（凹部４７ａを設けないことがマークを設けたことになる。）例でもある。
【００５４】
この図１６（ａ）の第４実施例を流路板１に適用したときに図９に相当する振動板接合面側の平面図を図１７に示している。これにより分かるように、５つの液体充填領域パターンに対して１つの割合でパターンの形状の異なることになる。なお、その他の実施例についての全体図は省略するが、同様である。
【００５５】
このように、繰り返される液体充填領域パターンの一部について形状（大きさ、長さ、有無）を他のパターンと異ならせる。このとき、この他と異なるパターンは検査する視野エリアに含まれる２以上のパターンについて１つの割合で設ける。これにより、検査ステージ精度以上の間隔で、かつ繰り返しパターンの２以上に１つの割合で他と異なるパターンが検査エリア領域ピッチで繰り返すことになり、検査エリアを確実に認識させるようにすることができる。
【００５６】
次に、液体充填領域パターン以外にマークを設ける例について図１８以降をも参照して説明する。
図１８及び図１９に示す第６実施例は、液体充填領域パターン以外の領域に液体充填領域パターンとは異なる形状のパターン（マーク）を液体充填領域パターンの一方の外側に設けた例である。すなわち、図１８（ａ）は５つのチャンネルに対して１つのマーク６５を設けた例、図１８（ｂ）は同じく２つのマーク６５を設けた例、図１９（ａ）は同じく３つのマーク６５を設けた例、図１９（ｂ）は同じく４つのマーク６５を設けた例である。
【００５７】
ここで、マーク６５の数が増えるほど、異物、キズといった不確定なパターンとの区別がより確実となる。この場合、複数のマーク６５のノズル配列方向のピッチはノズルピッチ（液体充填領域パターンの間隔）よりも大きくすることにより、未検査エリアの発生を防止できる。
【００５８】
また、図２０及び図２１に示す第７実施例は、液体充填領域パターン以外の領域に液体充填領域パターンとは異なる形状のパターン（マーク）を液体充填パターンの両方の外側に設けた例である。すなわち、図２０（ａ）は５つのチャンネルに対して両側にそれぞれ１つのマーク６５を設けた例、図２０（ｂ）は同じく両側にそれぞれ２つのマーク６５を設けた例、図２１（ａ）は同じく両側にそれぞれ３つのマーク６５を設けた例、図２１（ｂ）は同じく両側にそれぞれ４つのマーク６５を設けた例である。
【００５９】
さらに、図２２に示す第８実施例は、液体充填領域パターン以外の領域に、液体充填領域パターンとは異なる形状のパターン（マーク）を、液体充填パターンの両方の外側及び流路パターンの隔壁間に設けた例である。すなわち、図２２（ａ）は５つのチャンネルに対して両側及び隔壁間にそれぞれ１つのマーク６５を設けた例、図２２（ｂ）は同じく両側及び隔壁間にそれぞれ２つのマーク６５を設けた例である。
【００６０】
このようにマーク６５の数を増加させることにより、更なる検査エリア分割数増加（検査倍率向上）にも対しても、検査エリアの抜け、重複なく、正確な検査が可能となり、信頼性の高いヘッドを得ることができる。
【００６１】
なお、ここでは、マーク６５を平行四辺形とした例を示しているが、形状は他の多角形でも同様の効果が得られる。また、マーク６５は多角形状とすることで、他の液体充填領域パターンを構成するノズル連通路、加圧液室などと同時に容易に形成することができ、寸法精度も向上できる。
【００６２】
また、マーク６５の大きさと誤検知の関係について図２３を参照して説明する。多角形状のマーク６５の最も長い対角線長に対する誤検知率を評価したところ、同図に示すような評価結果が得られた。これより、マーク６５の最も長い対角線長を５μｍ以上とすることで、異物、キズといった不確定なパターンの影響による誤検知がほぼなくなる。さらに、マークを１つよりも複数個にすることで、さらに誤検知確率は低下する。
【００６３】
このように、繰り返される液体充填領域パターンについてこのパターンとは異なるマークを設ける。このとき、このマークは検査する視野エリアに含まれる２以上のパターンについて１つの割合で設ける。これにより、検査ステージ精度以上の間隔で、かつ繰り返しパターンの２以上に１つの割合でマークが検査エリア領域ピッチで繰り返すことになり、検査エリアを確実に認識させるようにすることができる。そして、マークを用いることで、各チャンネルの液体充填領域パターンの形状を同じにすることができ、各チャンネル間でのバラツキを抑えることができる。
【００６４】
なお、流路板のノズル板接合面側の特にノズル連通路（連通管）パターンについての検査についても上述したと同様の構成を採用することで、検査エリアを確実に認識することができ、検査精度が向上する。
【００６５】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法について説明するが、以下では、図２４に示すようなパターンとして同図のＡ−Ａ線に沿う断面で説明する。また、ノズル板接合面側にもマーク６５を設ける例で説明する。
【００６６】
先ず、同製造方法に係る第１実施形態の製造工程について図２５及び図２６を参照して説明する。
先ず、図２５（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）１０１を用意し、このシリコン基板１０１両表面に厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜１０２ａ、１０２ｂ及び厚さ０．２μｍのシリコン窒化膜１０３ａ、１０３を形成した。なお、窒化膜１０３ａ、１０３ｂはＬＰ−ＣＶＤで形成した。
【００６７】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１０１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜１０３ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５、擬似液室４６を形成するための各開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１０４ａを形成した。
【００６８】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜１０３ａに、ノズル連通路５を形成するための開口１０５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜き部（凹部）４５を形成するための開口１０６、擬似液室４６を形成するための開口１０７、マーク６５を形成するための開口１０８をパターニングする。なお、このとき、各肉抜き部４５を連通させて接合時に大気開放を行うための連通路を設けることもできる。
【００６９】
その後、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板１０１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜１０３ａを埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口を有するレジストパターン１０４ｃ形成し、ドライエッチングを行って、ノズル連通路５を形成するための開口１０９をパターニングする。
【００７０】
次に、同図（ｄ）に示すように、シリコン基板１０１の振動板接合面側のシリコン窒化膜１０３ｂ表面に、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１０４ｂを形成した。
【００７１】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜１０３ｂに、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口１１０と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口１１１と、マーク６５を形成するための開口１１２とをパターニングする。
【００７２】
次いで、同図（ｅ）に示すように、シリコン基板１０１の振動板接合面側のシリコン窒化膜１０３ｂを埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口を有するレジストパターン１０４ｄ形成し、ドライエッチングを行って、ノズル連通路５を形成するための開口１１３をパターニングする。このときのレジストの膜厚は８μｍとした。
【００７３】
そして、図２６（ａ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板１０１にノズル連通路５を形成するための深堀１１４を形成した。ここでは、ドライエッチングによる深堀１１４の深さは３００μｍとした。
【００７４】
次いで、同図（ｂ）に示すように、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１０１の異方性エッチングを行ってノズル連通路５となる連通管１１５を貫通形成した。このとき、エッチングはノズル板接合面及び振動板接合面の両側から行った。また、連通管貫通直後は異方性エッチングによる傾斜部が発生するが、本実施例では該傾斜部をこの連通管貫通工程にて後退させて傾斜部全てのエッチングを行った。
【００７５】
その後、レジストパターン１０４ｄを除去し、同図（ｃ）に示すように、シリコン窒化膜１０３ａ、１０３ｂをマスクとして希ふっ酸によりシリコン酸化膜１０２ａ、１０２ｂのウェットエッチングを行って、シリコン窒化膜１０３ａ、１０３ｂの開口に対応する開口をシリコン酸化膜１０２ａ、１０２ｂに形成した。
【００７６】
そして、同図（ｄ）に示すように、再度水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１０１の異方性エッチングを行い、シリコン基板１０１に、加圧液室６となる凹部１１６、この凹部１１６に連続し、インク供給路７となる凹部１１７（仮想線で図示した部分）、肉抜き部（凹部）４５、４７、擬似液室４６となる各凹部、及びマーク６５となる凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【００７７】
そして、同図（ｅ）に示すように、シリコン窒化膜１０３ａ、１０３ｂ及びシリコン酸化膜１０２ａ、１０２ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【００７８】
このように、この製造工程においては、流路形成部材をシリコンから形成し、ドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して、必要なノズル連通路や加圧液室などの流路及びマークを形成したので、精度よく加圧液室を形成することが可能となり、吐出特性にばらつきのないヘッドが得られるとともに、マークを流路パターンと同時に形成することができる。
【００７９】
また、ドライエッチングのみによって形成する場合には、エッチング形状のばらつき、再現性等のエッチング特性が貫通孔（連通管）形状に顕著に影響するところであるが、異方性ウェットエッチングを併用することによって、＜１１１＞面で貫通孔が形成されることになり、寸法制御、再現性にすぐれた貫通孔の形成が可能となる。また、ドライエッチングだけでは、長時間のエッチング時間を要するが、ウェットエッチングを併用することで、生産性に優れた流路形成部材の製造が実現できる。
【００８０】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法に係る第２実施形態の製造工程について図２７及び図２８を参照して説明する。
先ず、図２７（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）１２１を用意し、このシリコン基板１２１両表面に厚さ１５０ｎｍのＬＰ−ＣＶＤ窒化膜１２３ａ、１２３ｂを形成した。
【００８１】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１２１のノズル板接合面側の窒化膜１２３ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５、擬似液室４６を形成するための各開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１２４ａを形成した。
【００８２】
そして、ドライエッチングを行って、窒化膜１２３ａに、ノズル連通路５を形成するための開口１２５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜き部（凹部）４５を形成するための開口１２７、擬似液室４６を形成するための開口１２６、マーク６５を形成するための開口１２８をパターニングする。なお、このとき、各肉抜き部４５を連通させて接合時に大気開放を行うための連通路を設けることもできる。
【００８３】
同様にして、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板１２１の振動板接合面側の窒化膜１２３ｂ表面に、ノズル連通路５、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための各開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１２４ｂを形成した。
【００８４】
そして、ドライエッチングを行って、窒化膜１２３ｂに、ノズル連通路５、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口１３０と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口１３１と、マーク６５を形成するための開口１３２とをパターニングする。
【００８５】
次いで、同図（ｄ）に示すように、高温酸化膜１３３ａ、１３３ｂを２５０ｎｍの厚さでシリコン基板１２１、窒化膜１２３ａ、１２３ｂを覆うように形成した。
【００８６】
さらに、同図（ｅ）に示すように、高温酸化膜１３３ａ、１３３ｂ表面にＬＰ−ＣＶＤ窒化膜１３４ａ、１３４ｂを１５０ｎｍの厚さで形成し、これらの窒化膜１３４ａ、１３４ｂ及び高温酸化膜１３３ａ、１３３ｂにドライエッチングでノズル連通路５の形成するための開口１３５ａ、１３５ｂを形成した。
【００８７】
そして、図２８（ａ）に示すように窒化膜１３４ｂ上にレジストパターン（膜厚８μｍとした）１３６を形成し、ＩＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板１２１にノズル連通路５を形成するための掘り込み１３７を形成した。ここでは、ＩＣＰエッチングは振動板接合面側から行っているが、ノズル板接合面側から行ってもよい。ノズル板接合面側から行う方が制御性は良い。
【００８８】
次いで、同図（ｂ）に示すように、レジストパターン１３６を除去して、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１２１の異方性エッチングを行って貫通孔１３８を形成した。
【００８９】
その後、同図（ｃ）に示すように、熱燐酸により高温酸化膜１３４ａ、１３４ｂをストップ層として窒化膜１３５ａ、１３５ｂを除去し、更に希ふっ酸により高温酸化膜１３４ａ、１３４ｂを除去した。
【００９０】
そして、同図（ｄ）に示すように、再度水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１２１の異方性エッチングを行い、シリコン基板１２１に、ノズル連通路５となる貫通孔１４５、加圧液室６となる凹部１４６、この凹部１４６に連続し、インク供給路７となる凹部１４７（仮想線で図示した部分）、肉抜き部（凹部）４５、４７、擬似液室４６となる各凹部、及びマーク６５となる凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【００９１】
そして、同図（ｅ）に示すように、窒化膜１２３ａ、１２３ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【００９２】
この実施形態では、ノズル板接合面と振動板接合面において、図２７（ｂ）及び（ｃ）において液体充填領域パターンの形成と同工程で作製することにより、同じ精度でマーク形成が可能となる。
【００９３】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法に係る第３実施形態の製造工程について図２９及び図３０を参照して説明する。
先ず、図２９（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）１５１を用意し、このシリコン基板１５１両表面に厚さ１５０ｎｍのＬＰ−ＣＶＤ窒化膜１５３ａ、１５３ｂを形成した。
【００９４】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１５１のノズル板接合面側の窒化膜１５３ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５、擬似液室４６を形成するための各開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１５４ａを形成した。
【００９５】
そして、ドライエッチングを行って、窒化膜１５３ａに、ノズル連通路５を形成するための開口１５５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜き部（凹部）４５を形成するための開口１５６、擬似液室４６を形成するための開口１５７、マーク６５を形成するための開口１５８をパターニングする。なお、このとき、各肉抜き部４５を連通させて接合時に大気開放を行うための連通路を設けることもできる。
【００９６】
同様にして、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板１５１の振動板接合面側の窒化膜１５３ｂ表面に、ノズル連通路５、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための各開口と、マーク６５を形成するための開口とを有するレジストパターン１５４ｂを形成した。
【００９７】
そして、ドライエッチングを行って、窒化膜１５３ｂに、ノズル連通路５、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口１６０と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口１６１と、マーク６５を形成するための開口１６２とをパターニングする。
【００９８】
次いで、同図（ｄ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのレジストパターン（膜厚８μｍとした）１６６を形成した。
【００９９】
その後、図３０（ａ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板１５１にノズル連通路５を形成するための掘り込み１６７を形成した。ここでは、ＩＣＰエッチングは振動板接合面側から行っているが、ノズル板接合面側から行っても良い。
【０１００】
次いで、同図（ｂ）に示すように、レジストパターン１６６を除去して、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１５１の異方性エッチングを行い、シリコン基板１５１に、ノズル連通路５となる貫通孔１７５、加圧液室６となる凹部１７６、この凹部１７６に連続し、インク供給路７となる凹部１７７（仮想線で図示した部分）、肉抜き部（凹部）４５、４７、擬似液室４６となる各凹部、及びマーク６５となる凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【０１０１】
そして、同図（ｅ）に示すように、窒化膜１５３ａ、１５３ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【０１０２】
この実施形態では、ノズル接合面と振動板接合面において、図２９（ｂ）及び（ｃ）において液体充填領域形成と同工程でマークを作製することにより、同じ精度でマーク形成が可能となる。また、窒化膜のみを加圧液室形成時のマスクとしているため、より高精度の寸法制御が可能となる。さらには、短工程のプロセスであり、低コストの流路形成部材を形成することが可能となる。
【０１０３】
以上、いずれの実施形態（製造工程）においても、液体充填領域パターンの形成とマークとを同時形成することにより、同じ精度でマークを形成することができるようになる。
【０１０４】
上記本発明に係る液滴吐出ヘッドの実施形態においては、圧力発生手段として積層型圧電素子を用いた例で説明しているがこれに限るものではなく、単層圧電素子を用いたもの、静電型ヘッド、サーマル型ヘッドのいずれにも適用することができる。
【０１０５】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドと液体タンクであるインクタンクとを一体化した液体カートリッジであるインクカートリッジについて図３１を参照して説明する。
このインクカートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）２００は、ノズル孔２０１等を有する本発明に係るインクジェットヘッド２０２と、このインクジェットヘッド２０２に対してインク（液体）を供給するインクタンク２０３とを一体化したものである。
【０１０６】
このように液体タンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの信頼性はただちに全体の信頼性につながるので、上述したように本発明に係る液滴吐出ヘッドと液体タンクとを一体化することで、高い信頼性の液体カートリッジを得ることができるようになる。
【０１０７】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載した画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一例について図３２及び図３３を参照して説明する。なお、図３２は同記録装置の斜視説明図、図３３は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【０１０８】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体２１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部２１２等を収納し、装置本体２１１の下方部には前方側から多数枚の用紙２１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）２１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙２１３を手差しで給紙するための手差しトレイ２１５を開倒することができ、給紙カセット２１４或いは手差しトレイ２１５から給送される用紙２１３を取り込み、印字機構部２１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ２１６に排紙する。
【０１０９】
印字機構部２１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド２２１と従ガイドロッド２２２とでキャリッジ２２３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ２２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド２２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ２２３にはヘッド２２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ２２５を交換可能に装着している。なお、上述したインクタンク一体型ヘッドである本発明に係るインクカートリッジ（液体カートリッジ）を搭載するようにすることもできる。
【０１１０】
インクカートリッジ２２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【０１１１】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド２２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【０１１２】
ここで、キャリッジ２２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド２２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド２２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ２２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ２２７で回転駆動される駆動プーリ２２８と従動プーリ２２９との間にタイミングベルト２３０を張装し、このタイミングベルト２３０をキャリッジ２２３に固定しており、主走査モーター２２７の正逆回転によりキャリッジ２２３が往復駆動される。
【０１１３】
一方、給紙カセット２１４にセットした用紙２１３をヘッド２２４の下方側に搬送するために、給紙カセット２１４から用紙２１３を分離給装する給紙ローラ２３１及びフリクションパッド２３２と、用紙２１３を案内するガイド部材２３３と、給紙された用紙２１３を反転させて搬送する搬送ローラ２３４と、この搬送ローラ２３４の周面に押し付けられる搬送コロ２３５及び搬送ローラ２３４からの用紙２１３の送り出し角度を規定する先端コロ２３６とを設けている。搬送ローラ２３４は副走査モータ２３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【０１１４】
そして、キャリッジ２２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ２３４から送り出された用紙２１３を記録ヘッド２２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材２３９を設けている。この印写受け部材２３９の用紙搬送方向下流側には、用紙２１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ２４１、拍車２４２を設け、さらに用紙２１３を排紙トレイ２１６に送り出す排紙ローラ２４３及び拍車２４４と、排紙経路を形成するガイド部材２４５，２４６とを配設している。
【０１１５】
記録時には、キャリッジ２２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２２４を駆動することにより、停止している用紙２１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙２１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙２１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙２１３を排紙する。
【０１１６】
また、キャリッジ２２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド２２４の吐出不良を回復するための回復装置２４７を配置している。回復装置２４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ２２３は印字待機中にはこの回復装置２４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド２２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【０１１７】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド２２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１１８】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、ノズル数を増加した高密度、高解像度記録を信頼性の良く行うことができる。
【０１１９】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。
【０１２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、連続した２以上の流路について１つの割合で流路の形状が異なる構成とし、あるいは、流路形成部材には連続する２以上の流路について１つの割合で流路とは異なるマークが設けられている構成としたので、未検査エリアの発生が防止されて信頼性が向上する。
【０１２１】
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、流路形成部材はシリコンのドライエッチング、異方性ウエットエッチング、又はドライエッチング及び異方性ウエットエッチングの組み合わせで形成する構成としたので、容易に、他のパターンと異なる形状のパターン或いはマークを形成することができる。
【０１２２】
本発明に係る液体カートリッジによれば、液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化した構成としたので、信頼性が向上し、歩留まりが向上する。
【０１２３】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係る液体カートリッジを備える構成としたので、信頼性の高い高密度ヘッドを用いた高密度、高速記録を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図３】同ヘッドの液室短手方向に沿う要部断面説明図
【図４】同ヘッドの流路板の断面説明図
【図５】同流路板の本発明を適用する前のノズル板接合面側の平面説明図
【図６】同流路板の本発明を適用する前の振動板接合面側の平面説明図
【図７】同流路板のノズル板接合面側を複数の視野で検査する場合の説明に供する平面説明図
【図８】同流路板の振動板接合面側を複数の視野で検査する場合の説明に供する平面説明図
【図９】同流路板を複数の視野で検査する場合に生じる未検査エリア、重複検査エリアの発生の説明に供する平面説明図
【図１０】１視野当たりの液体充填領域パターンの説明に供する平面説明図
【図１１】本発明の原理の説明に供する平面説明図
【図１２】図１１のパターン配置とした場合に未検査エリアが生じたときのパターン配置の説明に供する平面説明図
【図１３】本発明の第１実施例の説明に供する平面説明図
【図１４】本発明の第２実施例の説明に供する平面説明図
【図１５】本発明の第３実施例の説明に供する平面説明図
【図１６】本発明の第４実施例の説明に供する平面説明図
【図１７】本発明の第４実施例を適用した流路板の平面説明図
【図１８】本発明の第５実施例の説明に供する平面説明図
【図１９】本発明の第６実施例の説明に供する平面説明図
【図２０】本発明の第７実施例の説明に供する平面説明図
【図２１】本発明の第８実施例の説明に供する平面説明図
【図２２】本発明の第９実施例の説明に供する平面説明図
【図２３】マークの対角線長と誤検知率の測定結果の説明に供する説明図
【図２４】本発明に係る製造方法の説明に供する平面説明図
【図２５】本発明に係る製造方法の第１実施形態の製造工程を説明する説明図
【図２６】図２５に続く工程を説明する説明図
【図２７】本発明に係る製造方法の第２実施形態の製造工程を説明する説明図
【図２８】図２７に続く工程を説明する説明図
【図２９】本発明に係る製造方法の第３実施形態の製造工程を説明する説明図
【図３０】図２９に続く工程を説明する説明図
【図３１】本発明に係る液体カートリッジの説明に供する斜視説明図
【図３２】本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一例を示す斜視説明図
【図３３】同記録装置の機構部の側面説明図
【符号の説明】
１…流路板、２…振動板、３…ノズル板、４…ノズル、５…ノズル連通路（連通管）、６…加圧液室、７…インク供給路、８…共通液室、１０…耐液性薄膜、１２…圧電素子、１３…ベース基板、６５…マーク、２００…インクカートリッジ、２１４…記録ヘッド。

Claims (10)

1. 液滴を吐出するノズルが連通する流路を所要の間隔で複数並べて形成した流路形成部材を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、連続した２以上の流路について１つの割合で流路の形状が異なることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 液滴を吐出するノズルが連通する流路を所要の間隔で複数並べて形成した流路形成部材を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路形成部材には連続する２以上の前記流路について１つの割合で前記流路とは異なるマークが設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
3. 請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記マークは前記流路形成部材の流路よりも端部側に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 請求項２又は３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記マークは平面形状が多角形であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
5. 請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記多角形のマークの最も長い対角線の長さが５μｍ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 請求項２ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、複数の多角形の前記マークが設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. 請求項２ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記マークの間隔は前記流路の間隔よりも大きいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 請求項２ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記流路形成部材はシリコンのドライエッチング、異方性ウエットエッチング、又はドライエッチング及び異方性ウエットエッチングの組み合わせで形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
9. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液体カートリッジ。
10. 液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置において、請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項９に記載の液体カートリッジを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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