JP2004338023A

JP2004338023A - Wire tool and its manufacturing method

Info

Publication number: JP2004338023A
Application number: JP2003136470A
Authority: JP
Inventors: Tsuyoshi Fujii; 剛志藤井; Michiharu Komori; 理晴小森
Original assignee: Noritake Co Ltd; Noritake Super Abrasive Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd; Noritake Super Abrasive Co Ltd
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-12-02
Anticipated expiration: 2023-05-14
Also published as: JP4203353B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wire tool having high sharpness and suitable for polishing the inner surface of a hole, and its manufacturing method. <P>SOLUTION: Recesses and projections are periodically formed on an outer peripheral surface 18 by changing the thickness of a plated layer 14 for sticking abrasive grains 16, so that the recessed parts 22 can suitably function as flow passages of a machining fluid and chips. The machining fluid is thereby supplied sufficiently to machining point, and plugging caused by the chips is relieved to acquire high sharpness. Moreover, since the recesses and projections of the outer peripheral surface 18 are provided by changing the plating thickness, there is no lowering of strength like the case of using a wire formed by stranding thin element wires, and the wire tool has strength equivalent to a conventional wire saw provided with the same degree of wire diameter. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤーの外周面に砥粒が電着されたワイヤー工具およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
種々の加工分野でワイヤーを工具として用いることが行われている。例えば、各種の半導体デバイス等を製造するに際しては、単結晶、多結晶、或いはアモルファスのシリコン、水晶、石英、ガラス、サファイア、炭化珪素等から成る例えば柱状の素材インゴットが、スライシング加工により所定の厚さ寸法の薄板（ウェハ）に切断加工される。このような高脆性材料を高精度且つ低価格で切断するための加工方法として、ワイヤーの外周面に砥粒、例えばダイヤモンドやＣＢＮ等の超砥粒を固着した固定砥粒型ワイヤーソーを用いることが試みられている。
【０００３】
従来、上記のような高脆性材料の切断加工は、内周部に砥粒の固着された内周刃や、遊離砥粒を用いたワイヤーソーで行われていた。上記の内周刃は、固定砥粒であることから高い加工能率が得られるが、その内径寸法および内外径の差がインゴット径よりも大きい必要があるため、インゴットの大口径化に対応することが困難である。また、多数の工具を用いて同時に多数枚の薄板を切り出そうとしても、外周を支持する構造上、マルチソーを実現することも困難である。一方、遊離砥粒によるワイヤーソーは、インゴットの大口径化に容易に対応でき、且つ多数本のワイヤーを多溝プーリー間に巻き掛けることによって容易にマルチソーを実現できるが、ワイヤー１本当たりの加工能率が低く、また、砥粒および被加工物の切り粉を含む研削油廃液が大量に生じるため環境負荷が高い問題がある。しかも、大口径のインゴットでは内周側になるほど遊離砥粒の供給が困難になるため、加工能率が一層低下する問題もある。
【０００４】
これらに対して、固定砥粒型ワイヤーソーは、砥粒が工具に固着されている内周刃の長所と、ワイヤーを用いて加工する遊離砥粒型ワイヤーソーの長所とを兼ね備えたものであって、高い切断能率を有し且つ大口径のインゴットであっても切断可能な利点があり、精密且つ低ダメージを要求される被加工物や、サファイヤ等の難削材の切断加工にも好適に用いられる。また、遊離砥粒の場合に比較してワイヤーの線径に対して砥粒径を大きくできる特徴もある。
【０００５】
特に、複数の素線を縒り合わせたワイヤーの表面に砥粒を電着したワイヤーソーによれば、それら素線間に形成される隙間がチップポケットとして機能すると共に、その隙間を通して加工液や切り粉が容易に流通させられる。そのため、一本のワイヤーの外周面に砥粒が一層程度の厚みで電着されたワイヤーソーの場合のような加工点に略密着させられることに起因する加工液の供給不足や切り粉の排出不良等の不都合が好適に解消される（例えば特許文献１参照）。なお、ワイヤーの外周面に螺旋状に砥粒を固着することによって加工液や切り粉の流通を促進したワイヤーソーも提案されているが、製造工程が複雑化して著しく価格が高くなると共に、一層程度の厚みに固着されているに過ぎない砥粒による凹凸では十分な大きさの流通経路は確保できない。
【０００６】
また、ワイヤー工具は微小孔研磨にも用いられている。例えば、光ファイバのコネクタ部品であるフェルールには、その軸心方向に貫通するファイバ挿入孔が備えられているが、このファイバ挿入孔は、２本の光ファイバを軸心が一致した状態で相互に接続できるように、直径および真円度に高い精度が要求される。そのため、例えばワイヤー工具をそのファイバー挿入孔内に刺し通して、遊離砥粒を供給しつつその軸心方向に相対移動させることにより、そのファイバー挿入孔が所望の直径および真円度に研磨加工される（例えば特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２７７３９８号公報
【特許文献２】
特開平１０−３２８９８５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような縒り線を用いたワイヤーソーでは、単線のものに比べて素線が著しく細くなるため、機械的強度例えば引張り強度が低下し、使用中の捩り等に起因する応力で切れ易くなる不都合があった。
【０００９】
また、微小孔研磨加工においては、予めワイヤー工具を微小孔内に刺し通す必要があることから、ワイヤー工具の直径が加工前の微小孔の内径よりも小さくされる必要があるので、上記固定砥粒型ワイヤーソーのような外周面に砥粒が固定された工具を適用することは困難である。そのため、遊離砥粒が用いられるワイヤーソーの場合と同様に、砥粒や切り粉を含む研削油廃液が大量に生じるため環境負荷が高い問題があった。
【００１０】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、切れ味が良く且つ孔内面の研磨加工にも好適なワイヤー工具およびその製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための第１の手段】
斯かる目的を達成するため、第１発明の要旨とするところは、ワイヤーの外周面に砥粒が鍍金層によって固着されたワイヤー工具であって、（ａ）前記鍍金層の厚みが前記ワイヤーの長手方向において周期的に変化させられることにより外周面にその長手方向に沿って凹凸が形成されていることにある。
【００１２】
【第１発明の効果】
このようにすれば、砥粒を固着するための鍍金層厚みが変化させられることによってワイヤー工具の外周面に周期的に凹凸が形成されていることから、その凹み部分が加工液や切り粉の流通経路或いはチップポケットとして好適に機能し得る。そのため、加工点に加工液が十分に供給されると共に、切り粉による目詰りが緩和されるので、切断工具として用いられた場合には良好な切れ味が得られる。また、孔内面の研磨工具として用いられた場合には、例えば相対的に小径の部分を加工前の孔径より小さく、且つ相対的に大径の部分を形成しようとする孔径に応じた大きさとすることにより、ワイヤー工具をその小径部分から孔内に挿入し且つ加工前の孔径よりも大径の部分でその孔内面が研磨加工される。ワイヤー工具の大径部は当初は孔を通過できないが、例えばその長手方向に往復移動を繰り返すと孔内面が僅かに研磨されると共に砥粒が脱落することで工具径が細くなるので孔を通過できるようになり、その過程で孔内面が所定の内径に研磨される。したがって、遊離砥粒を用いること無く孔内面を研磨することができる。このとき、ワイヤー工具表面の凹凸は鍍金厚みを変化させることで設けられているため、細い素線を縒ったワイヤーを用いる場合のような強度低下は生じない。なお、本願において「周期的」とは、ワイヤーの長手方向において凹部および凸部が繰り返されることを意味するものであり、その周期が一定値である場合に限られない。
【００１３】
【第１発明の他の態様】
ここで、好適には、（ｂ）前記凹凸は前記ワイヤーの長手方向に沿った断面において鋸歯状を成すものである。このようにすれば、鋸歯状を成す外周面の傾斜面において孔内面の研磨が一層容易に行われ、且つワイヤー工具の最大径に応じた高精度で内径の形状および寸法が得られる。すなわち、このような断面形状を備えたワイヤー工具は、孔内面研磨に特に好適である。
【００１４】
また、好適には、前記凹凸は前記ワイヤーの長手方向においてなだらかに高さが変化するものである。
【００１５】
【課題を解決するための第２の手段】
また、前記目的を達成するための第２発明の要旨とするところは、ワイヤーの外周面に下地鍍金層を設ける下地鍍金工程と、その下地鍍金層上に砥粒を鍍金によって固着する砥粒固着工程とを含むワイヤー工具の製造方法であって、（ａ）前記下地鍍金工程は、鍍金槽内で前記ワイヤーをその長手方向に間歇的に送りつつ電気鍍金を施すことにある。
【００１６】
【第２発明の効果】
このようにすれば、ワイヤーと他の電極（一般にワイヤーが負極、他の電極が陽極となる）との間に通電されることにより為される電気鍍金では、ワイヤー外周面のうち電極に近い位置ほど形成される下地鍍金層が厚くなるため、鍍金槽内でワイヤーが間歇的に送られると、ワイヤーの長手方向においてその送り長さに応じた中心間隔を以て周期的に厚さの変化する下地鍍金層が形成される。そのため、鍍金層の厚みがワイヤーの長手方向において周期的に変化させられることにより外周面にその長手方向に沿って凹凸が形成されたワイヤー工具を得ることができる。
【００１７】
【第２発明の他の態様】
ここで、好適には、（ｂ）前記下地鍍金工程は、下地鍍金槽内で他の部分から電気的に遮蔽されると共に電極が設けられた鍍金領域内に備えられ且つ長手方向における位置に関連して開口面積が分布させられた複数の鍍金液流通口を有する鍍金管内をその長手方向に通しつつ前記ワイヤーに電気鍍金を施すものである。このようにすれば、ワイヤーのうち電極が設けられた鍍金領域内に位置する部分に専ら下地鍍金層が形成されるが、そのワイヤーは複数の鍍金液流通口を有する鍍金管内を通されることから、その鍍金厚みは、その鍍金液流通口を通って鍍金管内に入った鍍金金属イオン量に応じた厚さになる。このとき、その鍍金液流通口は鍍金管の長手方向における位置に関連して開口面積が分布させられているため、その長手方向において、その開口面積分布に従った鍍金厚み分布が形成される。したがって、開口面積分布を適宜定めることにより、所望の大きさの凹凸が所望の周期で形成されたワイヤー工具を得ることができる。
【００１８】
また、好適には、上記のように鍍金槽内に鍍金領域および鍍金管が備えられる場合において、前記鍍金液流通口の開口面積は、前記ワイヤーの長手方向に沿って連続的または段階的に大きくなるように設けられる。このようにすれば、前記鋸歯状の凹凸が好適に形成される。
【００１９】
また、好適には、前記鍍金液流通口の開口面積は、前記ワイヤーの長手方向の中央部から両端部に向かうに従って対称的に、且つ連続的または段階的に、増加しまたは減少するように設けられる。このようにすれば、前記のなだらかに変化する凹凸が好適に形成される。
【００２０】
また、前記第１，第２発明において、好適には、前記砥粒は、１（μｍ）乃至１００（μｍ）の範囲内の平均粒径を有するものである。１（μｍ）未満では十分な研削力が得られず、一方、１００（μｍ）を越えると鍍金液中に分散させ或いは液中で循環させることが困難になり延いては鍍金によってワイヤー外周面に固着することが困難になる。一層好適には、６０（μｍ）以下が好ましく、更に好ましくは、５５（μｍ）以下、更に好ましくは５０（μｍ）以下である。また、好適には、２（μｍ）以上が好ましく、更に好ましくは３（μｍ）以上である。
【００２１】
また、前記第１，第２発明において、好適には、前記砥粒は、１０（μｍ）乃至１００（μｍ）の範囲内の平均粒径を有するものである。このようにすれば、比較的大径の砥粒が備えられていることから、例えば切断用途に一層好適なワイヤー工具が得られる。砥粒径は、一層好適には、６０（μｍ）以下であり、更に好適には、５５（μｍ）以下、更に好適には５０（μｍ）以下である。
【００２２】
また、好適には、前記砥粒は、１（μｍ）乃至１０（μｍ）の範囲内の平均粒径を備えたものである。このようにすれば、比較的小径の砥粒が備えられていることから、例えば孔研磨用途に一層好適なワイヤー工具が得られる。砥粒径は、一層好適には、２（μｍ）以上であり、更に好適には、３（μｍ）以上である。
【００２３】
また、好適には、前記ワイヤーは線径が１（ｍｍ）以下である。このようにすれば、線径が十分に細いため、例えば切断加工に用いられた場合の切断代を小さくできる利点がある。なお、ワイヤーの線径の下限値は、例えば、加工上要求される機械的強度、例えば引張り強度を確保し得るように用途等に応じて定められる。また、上記のワイヤー線径は、砥粒の平均粒径が１０（μｍ）乃至１００（μｍ）の範囲内とされる場合等に一層有効である。
【００２４】
また、好適には、前記凹凸は高低差が５（μｍ）以上である。すなわち、ワイヤー工具の直径の最小値と最大値との差は１０（μｍ）以上である。このようにすれば、ワイヤー工具と加工点との間に十分に大きな隙間が形成されることから、加工液や切り粉等の流通が一層容易になるため、例えば切断加工に用いられた場合において、一層良い切れ味が得られる利点がある。なお、凹凸の高低差の上限は、例えば、ワイヤー工具に要求される線径の下限値と、許容される切断代の大きさの上限値等に基づいて、ワイヤー工具の用途等に応じて定められる。また、上記の高低差は、例えば、凹凸がなだらかに変化する場合、砥粒の平均粒径が１０（μｍ）乃至１００（μｍ）の範囲内とされる場合、ワイヤー線径が１（ｍｍ）以下とされる場合等に一層有効である。
【００２５】
また、好適には、前記凹凸は高低差が前記砥粒の平均粒径以上の値である。すなわち、ワイヤー工具の直径の最小値と最大値との差は砥粒の平均粒径の２倍以上である。このようにすれば、高低差が十分に大きくされることから、例えば、孔研磨に用いられた場合に高い研磨効率を得ることができる。なお、上記の高低差は、例えば、凹凸が前記のように鋸歯状を成す場合、砥粒の平均粒径が１（μｍ）乃至１０（μｍ）の範囲内とされる場合等に一層有効である。
【００２６】
また、好適には、前記凹凸は、その凸部が５０（ｍｍ）以上の中心間隔で備えられる。このようにすれば、凹凸の周期が十分に長くされることから、例えば切断加工に用いられる場合においては、加工液や切り粉等の流通経路が一層確実に確保され、孔研磨に用いられる場合、一層好適には、鋸歯状断面とされる場合においては、凹凸間の傾斜面が十分に長くなることによって一層高い加工精度が得られる。
【００２７】
また、好適には、前記凹凸は、その凸部がワイヤー工具を使用する際にこれを案内するために用いられるプーリの直径寸法以上の中心間隔で備えられる。このようにすれば、使用時の曲げに対する十分な耐久性が得られる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２９】
図１は、本発明のワイヤー工具の一実施例である砥粒固定型ワイヤーソー１０の長手方向における一部分を抜き出して示す斜視図である。図において、ワイヤーソー１０は、ワイヤー１２の外周面に鍍金層１４によって多数の砥粒１６が固着されたものであって、その外周面１８は長手方向においてなだらかに高さの変化する凹凸面となっている。
【００３０】
図２および図３は、上記ワイヤーソー１０の長手方向に垂直な断面およびその長手方向に沿った断面をそれぞれ示す図である。これらの図において、上記のワイヤー１２は、例えばピアノ線等の鋼線から成り、例えば０．０５〜０．３０（ｍｍ）程度の範囲内、例えば０．１６（ｍｍ）程度の全長に亘って一様な線径を備えたものである。また、砥粒１６は、例えば１０〜１００（μｍ）の範囲内、例えば３５（μｍ）程度の平均粒径を備えた単結晶ダイヤモンド砥粒であって、その表面はニッケル等から成る金属層２０で覆われている。この金属層２０は、例えば鍍金やＣＶＤ法等で設けられたものであって、例えば数（μｍ）（例えば１〜５（μｍ）の範囲内）、例えば２．５（μｍ）程度の厚さ寸法を有する。
【００３１】
また、前記鍍金層１４は、ワイヤー１２の長手方向においてその厚さ寸法がなだらかに繰り返し（すなわち周期的に）増減する断面形状を備えたものである。この鍍金層１４の最小厚みｔ１すなわち凹部２２の底部の厚さ寸法は、例えば３〜６０（μｍ）の範囲内、例えば２０（μｍ）程度、最大厚みｔ２すなわち凸部２４の頂上の厚さ寸法は、例えば８〜８０（μｍ）の範囲内、例えば２８（μｍ）程度であって、それらの差は例えば５〜２０（μｍ）の範囲内、例えば８（μｍ）程度である。すなわち、ワイヤーソー１０の外周面１８の凹凸は、この鍍金層１４の厚さ寸法が長手方向において変化させられることによって形成されており、埋め込まれている砥粒１６による凹凸を除いたその最小径が例えば０．１６６〜０．２８０（ｍｍ）の範囲内、例えば０．２００（ｍｍ）程度で、最大径が０．１７６〜０．３２０（ｍｍ）の範囲内、例えば０．２１６（ｍｍ）程度になっている。繰り返しの周期すなわち凸部２４の中心間隔ｐは、例えば５０〜５００（ｍｍ）の範囲内、例えば１００（ｍｍ）程度である。上記砥粒１６は、このような鍍金層１４上にその一部が突き出して設けられることにより切れ刃を構成している。
【００３２】
また、両図に示されるように、鍍金層１４は、その表層部を構成する砥粒固着層２６と、その内周部を構成する下地鍍金層２８とが積層されたものである。これら砥粒固着層２６および下地鍍金層２８は、例えば何れもニッケル等で構成されている。下地鍍金層２８は、その表面３０が外周面１８と同様な凹凸形状に構成されており、その厚さ寸法は、凹部２２において例えば１〜５（μｍ）の範囲内、例えば２（μｍ）程度、凸部２４において例えば６〜２５（μｍ）の範囲内、例えば１０（μｍ）程度であって、それらの差は例えば５〜２０（μｍ）の範囲内、例えば８（μｍ）程度である。一方、砥粒固着層２６は、このような凹凸面を成す下地鍍金層２８上に、その表面形状に倣って、例えば３〜６０（μｍ）の範囲内、例えば１８（μｍ）程度の一様な厚さ寸法で設けられている。なお、ワイヤー１２には、下地鍍金層２８の下に錆防止等の目的のブラス（真鍮）鍍金が１（μｍ）程度の厚さで備えられてもよい。
【００３３】
このため、本実施例においては、ワイヤー１２がその全長に亘って一様な線径を備えることによってその外周面３２を断面形状の平坦な円筒面に保ちながら、鍍金層１４の厚さ寸法がワイヤー１２の長手方向において変化させられることにより、ワイヤーソー１０の外周面１８が高低差８（μｍ）程度の凹凸面に構成されている。なお、砥粒１６は、上記の下地鍍金層２８上において、砥粒固着層２６に例えば２０〜８０（％）の範囲内、例えば５０（％）程度の埋込率（すなわち砥粒１６の差渡し寸法に対する鍍金厚み）を以て固着されている。なお、実際に砥粒固着に寄与する砥粒固着層２６の鍍金厚みは比較的薄くされているが、本実施例においては砥粒１６の外周面に金属層２０が設けられており、その金属層２０と砥粒固着層２６とが強固に結合させられるため特に支障はない。
【００３４】
以上のように構成されたワイヤーソー１０によれば、砥粒１６を固着するための鍍金層１４の厚みが変化させられることによって外周面１８に周期的に凹凸が形成されていることから、その凹部２２が加工液や切り粉の流通経路として好適に機能し得る。そのため、加工点に加工液が十分に供給されると共に、切り粉による目詰りが緩和されるので良好な切れ味が得られる。しかも、外周面１８の凹凸は鍍金厚みを変化させることで設けられているため、細い素線を縒ったワイヤーを用いる場合のような強度低下は生じ得ず、従来の同程度の線径を備えたワイヤーソーと同等の強度を有している。因みに、下記の表１に示されるように、縒り線が用いられる場合には、単線の場合に比較して直径が半分程度のものが用いられる結果、総断面積が単線の場合の１／２になる。そのため、同材質で構成される場合には引張り強度も１／２と低くなることから、使用時に必要なテンションを掛けることができないのである。
【００３５】
［表１］

【００３６】
また、本実施例によれば、ワイヤー１２の線径が０．１６（ｍｍ）程度と細くされることにより、ワイヤーソー１０の最大径が０．２１６（ｍｍ）程度と十分に細い値に留められているため、切断代を極めて小さくできる。
【００３７】
また、本実施例によれば、外周面１８の凹凸の高低差が８（μｍ）程度と十分に大きくされることにより、ワイヤーソー１０の直径の最小値と最大値との差が１６（μｍ）程度になっているため、ワイヤーソー１０と加工点との間に十分に大きな隙間が形成される。そのため、加工液や切り粉等の流通が一層容易になり、一層良い切れ味が得られる。
【００３８】
また、本実施例においては、外周面１８の凹凸は、その凸部２４が１００（ｍｍ）程度の十分に長い中心間隔で備えられることから、加工液や切り粉等の流通経路が一層確実に確保される。また、ワイヤーソー１０を使用するに際しては、プーリ等を用いてこれを所望の方向に案内するが、このプーリは一般に５０（ｍｍ）程度の直径を備えたものであることから、凹凸の繰り返し周期がこれよりも十分にながいため、プーリの案内溝内で湾曲させられることに起因する断線が好適に抑制される利点もある。
【００３９】
ところで、上記のワイヤーソー１０は、例えば図４に示されるワイヤー工具製造装置４０を用いて製造される。図において、工具製造装置４０には、ワイヤー１２の供給源となるロール４２が備えられており、そのロール４２側から順に、脱脂槽４４，第１水洗槽４６，酸洗槽４８，第２水洗槽５０，下地鍍金槽５２，第１電着槽５４，第２電着槽５６，砥粒埋込槽５８，および第３水洗槽６０が相互に隣接して設けられている。各槽４４乃至６０の槽内および上方には複数個のガイド・プーリ６２がそれぞれ備えられており、ワイヤー１２は、そのプーリ６２で案内されることにより各槽４４乃至６０内を順次に通過させられる。
【００４０】
上記脱脂槽４４は、例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液が蓄えられたものであり、ワイヤー１２の表面に付着している油分等の汚れがここで除去される。また、第１水洗槽４６は、油分が除去されたワイヤー１２に付着している水酸化ナトリウム水溶液を洗い流すためのものである。また、酸洗槽４８は、例えば塩酸（ＨＣｌ水溶液）が蓄えられたものであり、ワイヤー１２表面の酸化物層（すなわち錆等）がここで除去される。第２水洗層５０は、ここで付着した塩酸を洗い流すためのものである。
【００４１】
また、下地鍍金槽５２は、ワイヤー１２に砥粒固着層２６を構成するためのニッケル鍍金が乗り易くなるように前記のニッケル鍍金から成る下地鍍金層２８を形成するためのものである。この槽内には、ニッケル・イオンを含む電着液（鍍金液）が蓄えられており、ワイヤー１２の移動方向における長さ寸法は例えば１（ｍ）程度である。この下地鍍金槽５２内の電着液すなわち鍍金浴は、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、および硼酸から成るワット浴であり、例えば３．０〜６．０程度の範囲内のｐＨに調製されている。また、鍍金浴の温度は例えば３０〜５０（℃）程度の範囲内である。
【００４２】
図５は、上記の下地鍍金槽５２の構成を詳細に説明する図である。下地鍍金槽５２内には、そのワイヤー１２の進行方向の中間部に一対の遮蔽板６４，６４が備えられており、その中間部に槽内の他の部分から電気的に遮蔽された領域が形成されている。遮蔽板６４，６４の相互間隔すなわち遮蔽領域６６の長さ寸法は例えば５０〜５００（ｍｍ）の範囲内、例えば１００（ｍｍ）程度である。遮蔽板６４には、ワイヤー１２が容易に通過し得る程度の大きさの厚み方向に貫通する貫通孔６８が備えられている。本実施例においては、この遮蔽板６４，６４間の遮蔽領域６６が鍍金領域に相当する。
【００４３】
また、上記鍍金領域６６内には上記の遮蔽板６４，６４で両端部が閉じられた筒状治具７０が配置されており、ワイヤー１２は、その筒状治具７０内をその軸心方向に沿って通されている。この筒状治具７０には、例えば直径８（ｍｍ）程度の相対的に開口面積の大きい複数個の鍍金液流通孔７２と、例えば直径３（ｍｍ）程度の相対的に開口面積の小さい複数個の鍍金液流通孔７４とが設けられている。これら孔７２，７４は、鍍金領域６６内において筒状治具７０の外部と内部との間の鍍金液の流通を可能とするものである。また、鍍金液流通孔７２が設けられている中央部領域７６は、鍍金液流通孔７４が設けられている両端部領域７８，７８の各々よりも開口面積の総和が大きく、例えば２〜３倍程度の大きさとされている。すなわち、筒状治具７０には、その長手方向における位置に関連して開口面積が分布させられた複数の鍍金液流通口が備えられている。
【００４４】
なお、図においては、中央部領域７６に１つの孔７２を、両端部領域７８に３つの孔７４を描いているが、これは開口面積の相違を表すために便宜上そのようにしたものであり、実際の孔数は所望の開口面積比が得られるように適宜定められる。また、上記中央部領域７６および両端部領域７８，７８は、例えば相互に同様な長さ寸法に構成される。また、図において８０は、後述する陰極電極８４との間に電圧を印加するための陽極電極である。本実施例においては、上記の筒状治具７０が鍍金管に相当する。
【００４５】
図４に戻って、第１電着槽５４は、下地鍍金層２８が設けられたワイヤー１２にニッケル鍍金によって砥粒１６を固着（電着）するためのものである。槽内にはニッケル・イオンを含む電着液が蓄えられており、ワイヤー１２の移動方向における長さ寸法は例えば１（ｍ）程度である。この第１電着槽５４内の電着液すなわち鍍金浴も、前記の下地鍍金槽５２と同様なワット浴である。
【００４６】
また、上記第１電着槽５４のうち下地鍍金槽５２側の一部すなわちワイヤー１２の送り方向後方側には、砥粒沈降領域８２が設けられている。この砥粒沈降領域８２では、砥粒１６を水等の分散媒に分散させた鍍金液が電着液中のワイヤー１２に向かって供給される。鍍金液中に含まれる砥粒１６は、例えば粒径が３５（μｍ）で前記の金属層２０が数（μｍ）（例えば２．５（μｍ））程度の厚さ寸法で予め設けられたダイヤ砥粒（例えば東名ダイヤ製ＩＲＭ−ＮＰ３０Ｍ３０／４０）である。ここには、その鍍金液の供給装置や、沈降した余剰の砥粒１６を回収するための回収装置等が適宜備えられている。
【００４７】
また、第２電着槽５６は、ワイヤー１２の第１電着槽５４を通過した部分がプーリ６２によって案内される過程でその上下が反転させられた後に通過させられるものであり、上記の第１電着槽５４と同様に構成されている。但し、この第２電着槽５６では、ワイヤー１２が上下の反転した状態で送られることから、その槽内を通過する過程で上方から沈降する砥粒１６が外周面１４のうち上側に位置する部分すなわち第１電着槽５４における半周部分とは反対側に付着させられ且つ鍍金層１４によって固着される。すなわち、本実施例においては、鍍金層１４は、これら２つの第１電着槽５４および第２電着槽５６で２回に分けて形成されることとなる。なお、このようにニッケル鍍金処理が２回行われると、１回目の鍍金処理で砥粒１６が固着された半周部分では残りの半周部分に比較して鍍金厚みが厚くなる傾向がある。この厚さ寸法の相違が加工性能上の問題となる場合には、例えば、第２電着槽５６内にワイヤー１２の下半分を覆うための遮蔽等を設けることにより、鍍金厚みの相違が緩和される。
【００４８】
また、上記の第１電着槽５４および第２電着槽５６では、例えば砥粒径の５〜２５（％）の厚さで鍍金が成されることにより、プーリ６２を通過した際に落ちない程度に砥粒１６が仮固着される。砥粒埋込槽５８では、これら第１電着槽５４および第２電着槽５６で仮固着された砥粒１６が、例えば２０〜８０（％）程度の範囲内で予め定められた埋込率まで埋め込まれる。これにより、砥粒１６がワイヤー１２に確実に固着される。
【００４９】
また、ワイヤー１２の進行経路のうち、下地鍍金槽５２、第１電着槽５４、第２電着槽５６、および埋込槽５８の前後５箇所には、そのワイヤー１２に接触する陰極電極８４が備えられており、それら槽５２，５４，５６，５８内に備えられている陽極電極８０（前記の図５参照）との間で通電させられるようになっている。電流密度は例えば０．５〜１５（Ａ／ｄｍ^２）の範囲内となるように調節される。
【００５０】
また、第３水洗槽６０では、上記の埋込槽５８を通過したワイヤー１２から電着液を洗い流すためのものである。すなわち、第３水洗槽６０において、ワイヤー１２に付着している電着液が水で置換される。
【００５１】
このような工具製造装置４０を用いてワイヤーソー１０を製造するに際しては、先ず、鍍金工程（砥粒電着工程）において、プーリ６２で案内されることにより脱脂槽４４乃至第３水洗槽６０内を順次に通されているワイヤー１２を、その第３水洗槽６０の先に備えられたモータ等の図示しない適宜の巻取り装置で巻き取ることにより、矢印Ｒ方向に断続的に送る。すなわち、例えば５０〜５００（ｍｍ）の範囲内、例えば１００（ｍｍ）程度の所定長さ（すなわち前記の鍍金管７０の長さ寸法に等しい長さ）だけ送った後、例えば０．５〜５分の範囲内、例えば３分程度の所定時間だけその位置で停止させ、再び所定長さだけ送って所定時間だけ停止させる動作を繰り返す。ワイヤー送り速度は、例えば５０〜５０００（ｍｍ／ｍｉｎ）程度に設定される。
【００５２】
上記のワイヤー送り過程において、脱脂槽４４乃至第２水洗槽５０でワイヤー外周面１８の油膜や酸化物等が除去された後、先ず、下地鍍金槽５２では、ワイヤー１２に１〜１０（μｍ）程度の厚さ寸法でニッケル鍍金が施される。この下地鍍金工程では、陰極電極８４によって負極にされたワイヤー１２と陽極電極８０との間の電位差に基づき、鍍金液内の金属（ニッケル）イオンがワイヤー１２の外周面に固着されるのであるが、前述したように下地鍍金槽５２内には遮蔽板６４で遮蔽された鍍金領域６６が設けられると共に、その遮蔽領域６６内に開口面積が長手方向における位置に関連して分布させられた複数の鍍金液流通孔７２，７４を有する鍍金管７０が備えられている。
【００５３】
そのため、ワイヤー１２のうち鍍金領域６６外に位置する部分は、負極とされていても陽極電極８０との間の電位差に基づいて金属イオンがその部分に向かって移動させられることが無いので、ワイヤー１２の鍍金は、専ら鍍金領域６６内だけで行われる。しかも、鍍金液延いてはその液中の金属イオンは、上記流通孔７２，７４を通る経路で鍍金管７０内に流入することになるため、前述した開口面積分布に従い、中央部領域７６では相対的に多量の金属イオンがワイヤー１２に向かって移動させられる一方、両端部領域７８では相対的に少量の金属イオンがワイヤー１２に向かって移動させられる。そして、このような金属イオンの移動すなわち鍍金は、間歇的に送られるワイヤー１２の専ら停止中に成されることから、両端部領域７８から中央部領域７６に向かうに従って厚くなる鍍金厚み分布が形成される。前記の図５において下方に示した図は、このように形成される鍍金厚み分布を表したものである。
【００５４】
また、ワイヤー１２の間歇送りの間隔は、前述したように１００（ｍｍ）程度すなわち鍍金管７０の長さ寸法（すなわち一回の停止中に鍍金されるワイヤー１２の長さ寸法）に略一致させられていることから、上記のような厚み分布はその送り間隔で以て形成される。このように、本実施例においては、遮蔽板６４および筒状治具７０によって鍍金液の流通が制御されることにより、前記のような厚さ寸法が周期的に変化させられる下地鍍金層２８が形成されるのである。
【００５５】
次いで、第１電着槽５４内および第２電着槽５６内では、その砥粒沈降領域８２においてワイヤー１２に向かって上方から砥粒１６を含む鍍金液が供給されるので、陰極電極８４が接触させられることで負極となっているワイヤー１２の外周面３２に、分散状態で沈降するその砥粒１６が付着させられ、且つ電着液中の金属イオン（ニッケル・イオン）がその外周面に引き寄せられて鍍金層１４を形成する。これにより、砥粒１６がニッケル鍍金（砥粒固着層２６）によってワイヤー外周面３２に固着される。このとき、砥粒１６には金属層２０が設けられていることから正に帯電するため、その砥粒１６自身も電気的にワイヤー１２に引き寄せられる。このような電気的作用によって、ワイヤー１２の外周面３２の周方向の全長に亘って砥粒１６が一様に分布し、且つ鍍金による固着力が発揮されるまでの間に脱落することが好適に抑制される。また、砥粒１６は専ら沈降過程でワイヤー１２に付着させられることから、その外周面３２における付着厚みは砥粒１６の一層程度の厚みに留まる。
【００５６】
なお、砥粒沈降領域８２は、第１電着槽５４および第２電着槽５６のうちワイヤー１２の進行方向後方側の一部に設けられているので、それら第１電着槽５４内および第２電着槽５６内において、ワイヤー１２はその外周面３２に砥粒１６が付着させられたまま水平方向に移動させられる。本実施例においては、このように砥粒１６を乗せたまま移動させられる過程でワイヤー１２にニッケル鍍金が施されて、砥粒１６が固着されるのである。
【００５７】
また、ワイヤー１２上における砥粒１６の固着密度すなわち分布は、砥粒沈降領域８２における砥粒１６（鍍金液）の供給量で決定される。そのため、前述したようにワイヤー１２の長手方向において高密度領域と低密度領域とが交互に設けられたワイヤーソー１０を製造するに際しては、ワイヤー１２の移動速度に関連して、供給する砥粒量（鍍金液量或いは鍍金液の砥粒濃度）を経時的に変化させればよい。
【００５８】
このようにして砥粒１６がワイヤー１２の全周に仮固着された後、埋込槽５８にワイヤー１２が送られると、その表面に重ねてニッケル鍍金が施されることにより、前記の砥粒固着層２６が形成される。このとき、埋込槽５８では鍍金液の流通が何ら制限されていないことから、砥粒固着層２６は下地鍍金層２８上に略一様な厚みで形成されることになる。この結果、ワイヤー１２の表面に電着された砥粒１６が略一様な埋込率を以て埋没させられ、前記のワイヤーソー１０が得られる。ワイヤーソー１０は、続く第３水洗槽６０内で電着液を洗浄除去された後、ロール４２と同様なロールに巻き取られて回収される。
【００５９】
次に、本発明の他の実施例を説明する。なお、以下の実施例において前述した実施例と共通する部分は説明を省略する。
【００６０】
図６は、他の実施例の孔研磨工具９０の長さ方向の一部を示す斜視図であり、図７は、その長手方向に沿った断面を示す図である。図において、孔研磨工具９０は、ワイヤーソー１０と同様にワイヤー１２の外周面に鍍金層９２によって砥粒１６を固着したものである。この孔研磨工具９０の外周面９４は、長手方向に沿った一方向において直径の直線的に増加する傾斜面が例えば５０〜５００（ｍｍ）の範囲内、例えば１００（ｍｍ）程度の中心間隔ｐで繰り返し設けられることにより、その長手方向に沿って周期的な凹凸が備えられている。
【００６１】
断面を表した図７に示されるように、この孔研磨工具９０においても、上記の周期的な凹凸は、ワイヤー１２の円筒面を成す外周面３２上にその長手方向において鍍金層９２の厚さ寸法が周期的に変化させられることによって形成されたものである。このため、孔研磨工具９０は、その外周面９４が長手方向に沿った断面において鋸歯状を成すものとなっている。なお、鍍金層９２の厚さ寸法の最小値ｔ１すなわち凹部９６の底部における厚さ寸法は、例えば２〜１５（μｍ）の範囲内、例えば４（μｍ）程度、最大厚みｔ２すなわち凸部９８の頂上における厚さ寸法は、例えば４〜２５（μｍ）の範囲内、例えば１２（μｍ）程度である。本実施例においてはワイヤー１２の線径が例えば０．０８（ｍｍ）程度であるので、砥粒１６による凹凸を除外した孔研磨工具９０の最小径は例えば０．０８４〜０．１１０（ｍｍ）の範囲内、例えば０．０８８（ｍｍ）程度で、最大径は例えば０．０８８〜０．１３０（ｍｍ）の範囲内、例えば０．１０４（ｍｍ）程度である。なお、最小径は研磨しようとする孔の加工前の内径よりも僅かに小さい大きさに定められており、最大径は加工後に得ようとする孔内径に定められている。
【００６２】
また、上記の鍍金層９２も、例えばそれぞれニッケルから成る下地鍍金層１００および砥粒固着層１０２の二層構成とされているが、下地鍍金層１００は、その表面１０４が外周面９４と同様な凹凸形状すなわち鋸歯状に構成されており、その厚さ寸法は、凹部９６において例えば１〜５（μｍ）の範囲内、例えば２（μｍ）程度、凸部９８において例えば３〜１５（μｍ）の範囲内、例えば１０（μｍ）程度であって、それらの差は例えば２〜１０（μｍ）の範囲内、例えば８（μｍ）程度である。一方、砥粒固着層１０２は、このような凹凸面を成す下地鍍金層１００上に、その表面形状に倣って、例えば１〜５（μｍ）の範囲内、例えば２（μｍ）程度の一様な厚さ寸法で設けられている。
【００６３】
なお、本実施例においては、砥粒１６は、例えば平均粒径が３（μｍ）程度のダイヤモンド砥粒であり、その表面にはニッケル等の金属層は何ら設けられていない。そのため、上記のような砥粒固着層１０２内に、砥粒１６は例えば５０（％）程度の埋込率を以て固着されている。また、上述した各数値から明らかなように、本実施例においては、孔研磨工具９０の凹凸の高低差が８（μｍ）程度、すなわち砥粒１６の平均粒径よりも十分に大きい値に設定されている。
【００６４】
以上のように構成された孔研磨工具９０においても、砥粒１６を固着するための鍍金層９２の厚みが変化させられることによって外周面９４に周期的に凹凸が形成されていることから、加工対象である孔内に孔研磨工具９０をその小径部分から挿入して往復移動させることにより、小径部分と大径部分との中間部およびその大径部分でその孔内面が好適に研磨加工される。したがって、遊離砥粒を用いること無く孔内面を研磨することができる利点がある。このとき、ワイヤー工具表面の凹凸は鍍金厚みを変化させることで設けられているため、細い素線を縒ったワイヤーを用いる場合のような強度低下は生じない。
【００６５】
なお、上記のような孔研磨加工において、孔研磨工具９０がその全長に亘って図示のような凹凸形状にされていると、加工対象である孔内への挿入や往復移動が困難な場合がある。そのような場合には、例えば両端部に小径部と同程度の直径を備えた部分を適当な長さ寸法で設ければよい。
【００６６】
また、本実施例によれば、工具外周面９４の凹凸の高低差が砥粒１６の平均粒径よりも大きくされているため、孔研磨において高い研磨効率を得ることができる。
【００６７】
なお、上記のような孔研磨工具９０も、前述した図４に示されるような工具製造装置４０を用いて製造されるが、下地鍍金層１００の厚み分布がワイヤーソー１０とは異なるものとされているため、前記の図５に示されていた下地鍍金槽５２に代えて図８に示される下地鍍金槽１０６が用いられる。
【００６８】
図８において、下地鍍金槽１０６は、下地鍍金槽５２と概略同様に構成されたものであるが、鍍金領域６６内に備えられている鍍金管１０８の構成が鍍金管７０とは異なるものとなっている。この鍍金管１０８は、その長手方向においてワイヤー１２の送り方向の後方側（図における左方）から前方側（図における右方）に向かって順に、例えば直径が８（ｍｍ）程度の鍍金液流通孔１１０、直径が５（ｍｍ）程度の鍍金液流通孔１１２、および直径が３（ｍｍ）程度の鍍金液流通孔１１４を備えたものである。また、鍍金管１０８の後端部領域１１６，中間部領域１１８、および前端部領域１２０の各々における開口面積の総和は、例えば４：２：１程度の比に設定されている。すなわち、各領域１１６，１１８，１２０の各々における鍍金液流通孔１１０，１１２，１１４の開口面積の総和は、ワイヤー１２の長手方向において段階的に大きくなる。
【００６９】
上記のような下地鍍金槽１０６が備えられた工具製造装置４０によれば、その下地鍍金槽１０６において、間歇的に送られるワイヤー１２の専ら停止中に、図８において下方に示すように上記の開口面積分布に従った一方向に沿って次第に小さくなる鍍金厚み分布、例えば後端部領域１１６で１２（μｍ）程度、中間部領域１１８で６（μｍ）程度、前端部領域１２０で３（μｍ）程度の厚み分布が形成される。このとき、ワイヤー１２の間歇送りの送り間隔は、例えば鍍金管１０８の長さ寸法に略一致させられているので、上記のような厚み分布がその送り間隔で以て形成されることになる。そのため、前述したような断面において鋸歯状を成す下地鍍金層１００が形成されことから、これに砥粒１６を鍍金によって固着し且つ埋め込むことにより、前記の孔研磨工具９０が得られるのである。
【００７０】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００７１】
例えば、実施例においては、外周面１８がなだらかな凹凸面であるワイヤーソー１０や、外周面９４が断面において鋸歯状を成す孔研磨工具９０に本発明が適用された場合について説明したが、外周面１８，９４の形状はこれらに限られない。例えば、ワイヤーソー１０の外周面１８を鋸歯状に構成してもよく、孔研磨工具９０の外周面９４をなだらかな凹凸面に構成してもよい。また、切断用途においては加工液や切り粉等の流通が好適に行われ、孔研磨用途においては適当な斜面が備えられるのであれば、これらの形状に限られず、外周面は様々な凹凸形状とすることができる。
【００７２】
また、実施例においては、外周面１８，９４の凹凸の中心間隔が１００（ｍｍ）程度に設定されていたが、この大きさは、用途や加工負荷、更には製造の容易さ等に応じて適宜の値とすることができる。
【００７３】
また、実施例においては、砥粒１６がダイヤモンドである場合について説明したが、砥粒１６の材質は切断対象に応じて適宜選択される。例えば、立方晶窒化硼素（ＣＢＮ）等の他の超砥粒や、アルミナや炭化珪素等の普通砥粒が用いられるワイヤー工具にも本発明は同様に適用される。
【００７４】
また、実施例においては、砥粒固着層２６、１０２、下地鍍金層２８，１００、および金属層２０が何れもニッケルで構成されていたが、一部または全てを例えばＮｉ−Ｃｏ等のニッケル合金や銅、ブラス等の他の金属材料をこれらに代えて用いてもよい。
【００７５】
また、実施例においては、第１電着槽５４および第２電着槽５６で砥粒１６をワイヤー１２の外周面３２に仮固着した後、埋込槽５８において鍍金厚みを十分に厚くしていたが、第１電着槽５４および第２電着槽５６において十分な鍍金厚みを確保できる場合には、埋込槽５８は設けなくとも良い。
【００７６】
また、実施例においては、第１電着槽５４および第２電着槽５６を設けることにより、各槽においてワイヤー１２の半面に砥粒１６を電着していたが、例えば第１電着槽５４の直前に磁石を設けてワイヤー１２を磁化するように構成すれば、砥粒１６がその磁力によってもワイヤー１２に向かわせられることにより、槽内において下側に位置する半面にも砥粒１６が電着されるので、その場合には第２電着槽５６は設ける必要がない。
【００７７】
また、実施例においては、砥粒１６の埋込率が５０（％）とされていたが、埋込率は、工具の用途や砥粒１６の大きさ、砥粒１６を覆う金属層２０の有無等に応じて、例えば、２０〜８０（％）の範囲内、好適には、２５〜７５（％）の範囲内、一層好適に３０〜７０（％）の範囲内において適宜定められる。
【００７８】
また、ワイヤーソー１０および孔研磨工具９０の各部の寸法や、製造する際の各工程における条件は、実施例に記載されたものに限定されず、工具の用途や工程の規模等に応じて適宜変更される。例えば、ワイヤー送り速度は、製造効率の面では速い方が好ましいが、設定する電流密度や鍍金槽の大きさ等に応じて適当な値が選定される。
【００７９】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のワイヤーソーの長手方向の一部を示す斜視図である。
【図２】図１のワイヤーソーの長手方向に垂直な断面を示す図である。
【図３】図１のワイヤーソーの長手方向に沿った断面を示す図である。
【図４】図１のワイヤーソーを製造するための製造装置の構成を説明する模式図である。
【図５】図４の製造装置に備えられた下地鍍金槽の詳細な構成と形成され得る鍍金厚み分布とを説明する図である。
【図６】本発明の他の実施例の孔研磨用ワイヤーの長手方向における一部を示す斜視図である。
【図７】図６の孔研磨用ワイヤーの長手方向に沿った断面を示す図である。
【図８】図６のワイヤーの製造に用いられる下地鍍金槽の構成を説明するための図５に対応する図である。
【符号の説明】
１０：ワイヤーソー
１２：ワイヤー
１４：鍍金層
１６：砥粒
１８：外周面
２２：凹部
２４：凸部
２８：下地鍍金層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a wire tool in which abrasive grains are electrodeposited on an outer peripheral surface of a wire, and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Wire is used as a tool in various processing fields. For example, when manufacturing various semiconductor devices and the like, for example, a columnar material ingot made of single crystal, polycrystal, or amorphous silicon, quartz, quartz, glass, sapphire, silicon carbide, or the like is formed to a predetermined thickness by slicing. It is cut into a thin plate (wafer) of the same size. As a processing method for cutting such a highly brittle material with high accuracy and at a low price, use of a fixed abrasive type wire saw in which abrasive grains, for example, super abrasive grains such as diamond and CBN are fixed to the outer peripheral surface of the wire. Have been tried.
[0003]
Conventionally, cutting of a highly brittle material as described above has been performed with an inner peripheral blade having abrasive grains fixed to an inner peripheral portion or a wire saw using loose abrasive grains. The above-mentioned inner peripheral blade can obtain high machining efficiency because it is a fixed abrasive, but since the difference between the inner diameter and the inner and outer diameters needs to be larger than the ingot diameter, it is necessary to cope with an increase in the diameter of the ingot. Is difficult. Further, even if a large number of thin plates are cut out at the same time using a large number of tools, it is difficult to realize a multi-saw due to the structure for supporting the outer periphery. On the other hand, a wire saw using loose abrasives can easily cope with a large diameter ingot, and a multi-saw can be easily realized by winding a large number of wires between multi-groove pulleys. There is a problem that the efficiency is low, and a large amount of grinding oil waste liquid containing abrasive grains and cuttings of a workpiece is generated, resulting in a high environmental load. In addition, in the case of a large-diameter ingot, the supply of loose abrasive grains becomes more difficult toward the inner peripheral side, so that there is a problem that the processing efficiency is further reduced.
[0004]
On the other hand, the fixed abrasive type wire saw has both the advantages of the inner peripheral blade where the abrasive grains are fixed to the tool and the advantages of the loose abrasive type wire saw which is processed using a wire. It has a high cutting efficiency and has the advantage of being able to cut even large-diameter ingots, and is also suitable for cutting workpieces requiring precision and low damage or difficult-to-cut materials such as sapphire. Used. Another feature is that the abrasive grain size can be increased relative to the wire diameter of the wire as compared with the case of loose abrasive grains.
[0005]
In particular, according to a wire saw in which abrasive grains are electrodeposited on the surface of a wire in which a plurality of strands are twisted, a gap formed between the strands functions as a tip pocket, and a machining liquid or a cutting fluid is cut through the gap. The powder is easily distributed. For this reason, insufficient supply of machining fluid and discharge of cutting chips due to the fact that the abrasive grains are brought into substantially close contact with the processing point as in the case of a wire saw in which abrasive grains are electrodeposited with a thickness of about one layer on the outer peripheral surface of one wire Inconveniences such as defects are suitably eliminated (for example, see Patent Document 1). In addition, a wire saw has been proposed in which the distribution of machining fluid and cutting powder is promoted by fixing abrasive grains in a spiral shape on the outer peripheral surface of the wire, but the manufacturing process is complicated and the price is significantly increased. A sufficiently large distribution channel cannot be ensured by the irregularities formed by the abrasive grains that are only fixed to a thickness of the order of magnitude.
[0006]
Wire tools are also used for micro-hole polishing. For example, a ferrule, which is a connector part of an optical fiber, is provided with a fiber insertion hole that penetrates in the axial direction of the ferrule. High precision is required for the diameter and roundness so that they can be connected. Therefore, for example, a wire tool is pierced into the fiber insertion hole, and the fiber insertion hole is polished to a desired diameter and roundness by supplying loose abrasive particles and relatively moving in the axial direction. (For example, see Patent Document 2).
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-11-277398
[Patent Document 2]
JP-A-10-328985
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in a wire saw using a stranded wire as described above, the strand is significantly thinner than that of a single wire, so the mechanical strength, for example, the tensile strength decreases, and the wire saw breaks due to stress caused by torsion during use. There was an inconvenience.
[0009]
Also, in the micro-hole polishing, it is necessary to pierce the wire tool into the micro-hole in advance, so the diameter of the wire tool needs to be smaller than the inner diameter of the micro-hole before processing. It is difficult to apply a tool having abrasive grains fixed to the outer peripheral surface, such as a granular wire saw. Therefore, as in the case of a wire saw using free abrasive grains, a large amount of grinding oil wastewater containing abrasive grains and cuttings is generated, which has a problem of high environmental load.
[0010]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a wire tool which has good sharpness and is suitable for polishing the inner surface of a hole, and a method of manufacturing the same.
[0011]
[First means for solving the problem]
In order to achieve such an object, the gist of the first invention is a wire tool in which abrasive grains are fixed to an outer peripheral surface of a wire by a plating layer, and (a) the plating layer has a thickness of the wire. The reason is that irregularities are formed on the outer peripheral surface along the longitudinal direction by being periodically changed in the longitudinal direction.
[0012]
[Effect of the first invention]
With this configuration, since the thickness of the plating layer for fixing the abrasive grains is changed, irregularities are periodically formed on the outer peripheral surface of the wire tool. It can suitably function as a distribution channel or chip pocket. Therefore, the working fluid is sufficiently supplied to the working point, and clogging due to the cutting powder is alleviated, so that when used as a cutting tool, good sharpness is obtained. Further, when used as a polishing tool for the inner surface of a hole, for example, a relatively small diameter portion is smaller than the hole diameter before processing, and has a size corresponding to the hole diameter to form a relatively large diameter portion. Thus, the wire tool is inserted into the hole from the small diameter portion, and the inner surface of the hole is polished at the portion having a larger diameter than the hole diameter before processing. The large diameter part of the wire tool cannot pass through the hole at first, but for example, if the reciprocating movement is repeated in the longitudinal direction, the inner surface of the hole will be slightly polished and the abrasive grains will fall off, so the tool diameter will be thinner, so it will pass In the process, the inner surface of the hole is polished to a predetermined inner diameter. Therefore, the inner surface of the hole can be polished without using free abrasive grains. At this time, since the unevenness on the surface of the wire tool is provided by changing the plating thickness, the strength does not decrease as in the case of using a wire in which a thin strand is twisted. In the present application, “periodically” means that the concave portions and the convex portions are repeated in the longitudinal direction of the wire, and is not limited to the case where the period is a constant value.
[0013]
[Other aspects of the first invention]
Here, (b) preferably, the unevenness has a sawtooth shape in a cross section along the longitudinal direction of the wire. In this way, the inner surface of the hole can be more easily polished on the inclined surface of the outer peripheral surface having the sawtooth shape, and the shape and dimensions of the inner diameter can be obtained with high accuracy according to the maximum diameter of the wire tool. That is, a wire tool having such a cross-sectional shape is particularly suitable for hole inner surface polishing.
[0014]
Preferably, the height of the irregularities changes gradually in the longitudinal direction of the wire.
[0015]
[Second means for solving the problem]
Further, the gist of the second invention for achieving the above object is to provide a base plating step of providing a base plating layer on the outer peripheral surface of a wire, and to fix abrasive grains on the base plating layer by plating. And (a) the underplating step is to perform electroplating while intermittently feeding the wire in a plating tank in a longitudinal direction thereof.
[0016]
[Effect of the second invention]
In this way, in the electroplating performed by applying a current between the wire and another electrode (generally, the wire serves as a negative electrode and the other electrode serves as an anode), a position near the electrode on the outer peripheral surface of the wire is used. The thickness of the underlying plating layer becomes thicker, so when the wire is sent intermittently in the plating tank, the thickness of the underlying plating changes periodically with a center interval corresponding to the feed length in the longitudinal direction of the wire. A layer is formed. Therefore, it is possible to obtain a wire tool in which the thickness of the plating layer is periodically changed in the longitudinal direction of the wire, so that the outer peripheral surface has irregularities formed along the longitudinal direction.
[0017]
[Another aspect of the second invention]
Here, preferably, (b) the underplating step is provided in a plating area where electrodes are provided while being electrically shielded from other parts in the underplating tank and related to a position in the longitudinal direction. The wire is electroplated while passing in a longitudinal direction through a plating tube having a plurality of plating solution distribution ports having an opening area distributed. By doing so, the base plating layer is formed exclusively on the portion of the wire located in the plating area where the electrode is provided, but the wire is passed through a plating tube having a plurality of plating solution circulation ports. Therefore, the plating thickness becomes a thickness corresponding to the amount of plating metal ions that have entered the plating tube through the plating solution flow port. At this time, since the plating solution flow port has an opening area distributed in relation to the position in the longitudinal direction of the plating tube, a plating thickness distribution according to the opening area distribution is formed in the longitudinal direction. Therefore, by appropriately determining the opening area distribution, it is possible to obtain a wire tool in which irregularities of a desired size are formed at a desired period.
[0018]
Further, preferably, in the case where the plating area and the plating tube are provided in the plating tank as described above, the opening area of the plating solution flow port is increased continuously or stepwise along the longitudinal direction of the wire. It is provided so that it becomes. In this case, the saw-toothed irregularities are suitably formed.
[0019]
Preferably, the opening area of the plating solution flow port is provided so as to increase or decrease symmetrically and continuously or stepwise from the center in the longitudinal direction of the wire toward both ends. Can be In this way, the above-mentioned smoothly changing unevenness is suitably formed.
[0020]
Further, in the first and second inventions, preferably, the abrasive grains have an average particle diameter in a range of 1 (μm) to 100 (μm). If it is less than 1 (μm), a sufficient grinding force cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 100 (μm), it becomes difficult to disperse or circulate in the plating solution, and the plating is applied to the outer peripheral surface of the wire by plating. It becomes difficult to fix. More preferably, it is 60 (μm) or less, more preferably 55 (μm) or less, further preferably 50 (μm) or less. Further, it is preferably 2 (μm) or more, more preferably 3 (μm) or more.
[0021]
In the first and second aspects of the invention, preferably, the abrasive grains have an average particle diameter in a range of 10 (μm) to 100 (μm). In this way, since the abrasive grains having a relatively large diameter are provided, a wire tool more suitable for, for example, a cutting application can be obtained. The abrasive particle size is more preferably 60 (μm) or less, more preferably 55 (μm) or less, and still more preferably 50 (μm) or less.
[0022]
Preferably, the abrasive has an average particle diameter in the range of 1 (μm) to 10 (μm). In this case, since the abrasive grains having a relatively small diameter are provided, a wire tool more suitable for, for example, hole polishing can be obtained. The abrasive particle size is more preferably 2 (μm) or more, and still more preferably 3 (μm) or more.
[0023]
Preferably, the wire has a wire diameter of 1 (mm) or less. In this case, since the wire diameter is sufficiently small, there is an advantage that the cutting margin when used for cutting, for example, can be reduced. In addition, the lower limit of the wire diameter of the wire is determined according to the use or the like so as to secure, for example, mechanical strength required for processing, for example, tensile strength. The above wire diameter is more effective when the average grain diameter of the abrasive grains is in the range of 10 (μm) to 100 (μm).
[0024]
Preferably, the unevenness has a height difference of 5 (μm) or more. That is, the difference between the minimum value and the maximum value of the diameter of the wire tool is 10 (μm) or more. In this case, a sufficiently large gap is formed between the wire tool and the processing point, so that the flow of the working fluid, the cutting powder, and the like is further facilitated. There is an advantage that better sharpness can be obtained. The upper limit of the height difference of the unevenness is determined, for example, based on the lower limit value of the wire diameter required for the wire tool, the upper limit value of the size of the allowable cutting allowance, and the like, according to the use of the wire tool. Can be In addition, the above-mentioned height difference is, for example, when the unevenness changes smoothly, when the average particle diameter of the abrasive grains is in the range of 10 (μm) to 100 (μm), the wire diameter is 1 (mm). It is more effective in the following cases.
[0025]
Preferably, the height difference of the irregularities is equal to or more than the average particle size of the abrasive grains. That is, the difference between the minimum value and the maximum value of the diameter of the wire tool is at least twice the average particle size of the abrasive grains. In this case, since the height difference is made sufficiently large, for example, when used for hole polishing, high polishing efficiency can be obtained. The above difference in height is more effective when, for example, the irregularities have a sawtooth shape as described above, or when the average grain size of the abrasive grains is in the range of 1 (μm) to 10 (μm). is there.
[0026]
Also, preferably, the protrusions and recesses are provided at a center interval of 50 (mm) or more. In this case, since the period of the irregularities is sufficiently long, for example, in the case of being used for cutting, a flow path of a working fluid, cutting powder, and the like is more reliably secured, and in the case of being used for hole polishing. More preferably, in the case of a saw-toothed cross section, higher processing accuracy can be obtained by making the slope between the irregularities sufficiently long.
[0027]
Preferably, the irregularities are provided at a center interval equal to or larger than the diameter of a pulley used to guide the wire tool when the wire tool is used. In this way, sufficient durability against bending during use can be obtained.
[0028]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0029]
FIG. 1 is a perspective view showing a part of a fixed-abrasive wire saw 10 in the longitudinal direction, which is an embodiment of a wire tool of the present invention. In the drawing, a wire saw 10 has a large number of abrasive grains 16 fixed to an outer peripheral surface of a wire 12 by a plating layer 14, and an outer peripheral surface 18 has an uneven surface whose height changes gradually in the longitudinal direction. Has become.
[0030]
2 and 3 are views showing a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the wire saw 10 and a cross section along the longitudinal direction, respectively. In these figures, the wire 12 is made of a steel wire such as a piano wire, for example, and extends in a range of about 0.05 to 0.30 (mm), for example, over a total length of about 0.16 (mm). It has a uniform wire diameter. The abrasive grains 16 are single crystal diamond abrasive grains having an average particle diameter of, for example, about 10 (μm), for example, about 35 (μm), and the surface thereof is a metal layer 20 made of nickel or the like. Covered with. The metal layer 20 is provided by, for example, plating or a CVD method, and has a thickness of, for example, several (μm) (for example, in a range of 1 to 5 (μm)), for example, about 2.5 (μm). Has dimensions.
[0031]
The plating layer 14 has a cross-sectional shape in which the thickness dimension of the wire 12 increases and decreases smoothly (ie, periodically) in the longitudinal direction. The minimum thickness t1 of the plating layer 14, that is, the thickness of the bottom of the recess 22 is, for example, in the range of 3 to 60 (μm), for example, about 20 (μm), and the maximum thickness t2, that is, the thickness of the top of the projection 24. Is, for example, in the range of 8 to 80 (μm), for example, about 28 (μm), and their difference is, for example, in the range of 5 to 20 (μm), for example, about 8 (μm). That is, the unevenness of the outer peripheral surface 18 of the wire saw 10 is formed by changing the thickness dimension of the plating layer 14 in the longitudinal direction, and its minimum diameter excluding the unevenness due to the embedded abrasive grains 16. Is, for example, in the range of 0.166 to 0.280 (mm), for example, about 0.200 (mm), and the maximum diameter is in the range of 0.176 to 0.320 (mm), for example, 0.216 (mm). It is about. The repetition period, that is, the center interval p of the protrusions 24 is, for example, in the range of 50 to 500 (mm), for example, about 100 (mm). The abrasive grain 16 constitutes a cutting edge when a part thereof is provided so as to protrude on the plating layer 14.
[0032]
Further, as shown in both figures, the plating layer 14 is formed by laminating an abrasive fixing layer 26 constituting a surface portion thereof and a base plating layer 28 constituting an inner peripheral portion thereof. Each of the abrasive grain fixing layer 26 and the base plating layer 28 is made of, for example, nickel or the like. The underplating layer 28 has a surface 30 formed in an uneven shape similar to the outer peripheral surface 18, and has a thickness dimension in the recess 22 of, for example, 1 to 5 (μm), for example, about 2 (μm). For example, the protrusion 24 has a range of 6 to 25 (μm), for example, about 10 (μm), and the difference between them is, for example, 5 to 20 (μm), for example, about 8 (μm). On the other hand, the abrasive grain fixing layer 26 is formed on the underlying plating layer 28 having such an uneven surface in a range of, for example, 3 to 60 (μm), for example, about 18 (μm) according to the surface shape. It is provided with various thickness dimensions. The wire 12 may be provided with a brass (brass) plating with a thickness of about 1 (μm) under the base plating layer 28 for the purpose of preventing rust or the like.
[0033]
For this reason, in the present embodiment, the thickness of the plating layer 14 is reduced while keeping the outer peripheral surface 32 of the wire 12 having a uniform wire diameter over the entire length thereof, thereby keeping the outer peripheral surface 32 of the wire 12 flat. By being changed in the longitudinal direction of the wire 12, the outer peripheral surface 18 of the wire saw 10 is formed into an uneven surface having a height difference of about 8 (μm). The abrasive grains 16 are embedded in the abrasive grain fixing layer 26 on the base plating layer 28, for example, in a range of 20 to 80 (%), for example, about 50 (%). (Plating thickness with respect to the crossover dimension). Although the plating thickness of the abrasive grain fixing layer 26 actually contributing to the abrasive grain fixing is relatively thin, in the present embodiment, the metal layer 20 is provided on the outer peripheral surface of the abrasive grains 16 and the metal layer 20 is provided. There is no particular problem because the layer 20 and the abrasive grain fixing layer 26 are firmly bonded.
[0034]
According to the wire saw 10 configured as described above, the irregularities are periodically formed on the outer peripheral surface 18 by changing the thickness of the plating layer 14 for fixing the abrasive grains 16. The recess 22 can suitably function as a flow path for the working fluid and the cutting powder. Therefore, the working fluid is sufficiently supplied to the working point, and the clogging due to the cutting powder is alleviated, so that good sharpness can be obtained. In addition, since the unevenness of the outer peripheral surface 18 is provided by changing the plating thickness, the strength cannot be reduced as in the case of using a wire in which a thin strand is twisted. It has the same strength as the equipped wire saw. Incidentally, as shown in Table 1 below, when a stranded wire is used, a wire having a diameter about half that of a single wire is used. As a result, the total cross-sectional area is １／ of that of a single wire. become. Therefore, in the case of being made of the same material, the tensile strength is reduced to １／, so that it is impossible to apply a necessary tension at the time of use.
[0035]
[Table 1]

[0036]
According to the present embodiment, the wire diameter of the wire 12 is reduced to about 0.16 (mm), so that the maximum diameter of the wire saw 10 is kept at a sufficiently small value of about 0.216 (mm). As a result, the cutting margin can be extremely reduced.
[0037]
Further, according to the present embodiment, the difference between the minimum value and the maximum value of the diameter of the wire saw 10 is 16 (μm) by making the height difference of the unevenness of the outer peripheral surface 18 sufficiently large to be about 8 (μm). ), A sufficiently large gap is formed between the wire saw 10 and the processing point. For this reason, the distribution of the processing liquid, the cutting powder, and the like is further facilitated, and a better sharpness is obtained.
[0038]
Further, in the present embodiment, the unevenness of the outer peripheral surface 18 is such that the protruding portions 24 are provided at a sufficiently long center interval of about 100 (mm). Secured. In using the wire saw 10, a pulley or the like is used to guide the wire saw 10 in a desired direction. However, since the pulley generally has a diameter of about 50 (mm), the cycle of irregularities However, there is also an advantage that the disconnection due to being bent in the guide groove of the pulley is suitably suppressed because the length is not longer than this.
[0039]
Incidentally, the above-described wire saw 10 is manufactured using, for example, a wire tool manufacturing apparatus 40 shown in FIG. In the figure, a tool manufacturing apparatus 40 is provided with a roll 42 serving as a supply source of the wire 12, and in order from the roll 42 side, a degreasing tank 44, a first washing tank 46, an pickling tank 48, and a second washing tank. A tank 50, a base plating tank 52, a first electrodeposition tank 54, a second electrodeposition tank 56, an abrasive grain embedding tank 58, and a third washing tank 60 are provided adjacent to each other. A plurality of guide pulleys 62 are provided in and above the tanks 44 to 60, respectively. The wire 12 is guided by the pulleys 62 to sequentially pass through the tanks 44 to 60. Can be
[0040]
The degreasing tank 44 stores, for example, an aqueous solution of sodium hydroxide (NaOH), and dirt such as oil adhering to the surface of the wire 12 is removed here. The first washing tank 46 is for washing away the aqueous sodium hydroxide solution adhered to the wire 12 from which the oil has been removed. The pickling tank 48 stores, for example, hydrochloric acid (HCl aqueous solution), and an oxide layer (ie, rust or the like) on the surface of the wire 12 is removed here. The second washing layer 50 is for washing away the hydrochloric acid adhered here.
[0041]
The base plating tank 52 is for forming the base plating layer 28 made of the above-mentioned nickel plating so that nickel plating for forming the abrasive grain fixing layer 26 on the wire 12 can be easily carried. An electrodeposition solution (plating solution) containing nickel ions is stored in this tank, and the length of the wire 12 in the moving direction is, for example, about 1 (m). The electrodeposition solution or plating bath in the base plating tank 52 is a watt bath composed of nickel sulfate, nickel chloride, and boric acid, and is adjusted to a pH in the range of, for example, about 3.0 to 6.0. The temperature of the plating bath is, for example, in a range of about 30 to 50 (° C.).
[0042]
FIG. 5 is a diagram for explaining the configuration of the undercoating tank 52 in detail. In the base plating tank 52, a pair of shielding

plates

64, 64 are provided at an intermediate part in the traveling direction of the wire 12, and a region electrically shielded from other parts in the tank is provided at the intermediate part. Is formed. The distance between the shielding

plates

64, 64, that is, the length dimension of the shielding region 66 is, for example, in the range of 50 to 500 (mm), for example, about 100 (mm). The shielding plate 64 is provided with a through hole 68 that penetrates in the thickness direction of a size that allows the wire 12 to easily pass. In this embodiment, the shielding area 66 between the shielding plates 64 corresponds to a plating area.
[0043]
In the plating area 66, a cylindrical jig 70 whose both ends are closed by the shielding

plates

64, 64 is disposed, and the wire 12 moves in the cylindrical jig 70 in the axial direction. Is passed along. The cylindrical jig 70 has a plurality of plating solution flow holes 72 having a relatively large opening area of, for example, about 8 (mm) in diameter, and a plurality of plating solutions having a relatively small opening area of, for example, about 3 (mm) in diameter. A plurality of plating solution flow holes 74 are provided. The

holes

72 and 74 allow the plating solution to flow between the outside and the inside of the cylindrical jig 70 in the plating area 66. In addition, the central area 76 where the plating liquid flow holes 72 are provided has a larger total opening area than each of the both

end areas

78 and 78 where the plating liquid flow holes 74 are provided, for example, two to three times. It is of the order of magnitude. That is, the cylindrical jig 70 is provided with a plurality of plating solution distribution ports whose opening areas are distributed in relation to the position in the longitudinal direction.
[0044]
In the drawing, one hole 72 is drawn in the central region 76 and three holes 74 are drawn in both end regions 78. However, this is done for the sake of convenience in order to show the difference in the opening area. The actual number of holes is appropriately determined so that a desired opening area ratio is obtained. The central region 76 and both

end regions

78, 78 have, for example, the same length dimension. In the figure, reference numeral 80 denotes an anode electrode for applying a voltage between the cathode electrode 84 described later. In the present embodiment, the cylindrical jig 70 corresponds to a plating tube.
[0045]
Returning to FIG. 4, the first electrodeposition tank 54 is for fixing (electrodepositing) the abrasive grains 16 to the wire 12 provided with the base plating layer 28 by nickel plating. An electrodeposition solution containing nickel ions is stored in the tank, and the length of the wire 12 in the moving direction is, for example, about 1 (m). The electrodeposition solution in the first electrodeposition tank 54, that is, the plating bath is also a watt bath similar to the above-described base plating tank 52.
[0046]
An abrasive sedimentation area 82 is provided in a part of the first electrodeposition tank 54 on the base plating tank 52 side, that is, on the rear side in the feed direction of the wire 12. In the abrasive grain sedimentation region 82, a plating solution in which the abrasive grains 16 are dispersed in a dispersion medium such as water is supplied toward the wires 12 in the electrodeposition liquid. The abrasive grains 16 contained in the plating solution are, for example, diamonds having a particle size of 35 (μm) and the metal layer 20 provided in advance with a thickness of about several (μm) (for example, 2.5 (μm)). It is an abrasive (for example, IRM-NP30 M30 / 40 manufactured by Tomei Diamond). Here, an apparatus for supplying the plating solution, a recovery apparatus for recovering the settled surplus abrasive grains 16, and the like are appropriately provided.
[0047]
The second electrodeposition tank 56 is passed through after the part of the wire 12 that has passed through the first electrodeposition tank 54 is turned upside down in the process of being guided by the pulley 62, and It has the same configuration as the one electrodeposition tank 54. However, in the second electrodeposition tank 56, since the wire 12 is sent upside down, the abrasive grains 16 that settle from above during the passage through the tank are located above the outer peripheral surface 14. A portion, that is, a half-circumferential portion of the first electrodeposition tank 54 is attached to the opposite side and fixed by the plating layer 14. That is, in the present embodiment, the plating layer 14 is formed in two parts by the two first electrodeposition tanks 54 and the second electrodeposition tank 56. When the nickel plating process is performed twice in this manner, the plating thickness tends to be thicker in the half-peripheral portion where the abrasive grains 16 are fixed in the first plating process than in the remaining half-peripheral portion. When the difference in the thickness dimension causes a problem in processing performance, for example, a difference in plating thickness is reduced by providing a shield or the like for covering the lower half of the wire 12 in the second electrodeposition tank 56. Is done.
[0048]
In addition, in the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56, plating is performed at a thickness of, for example, 5 to 25 (%) of the abrasive grain size, so that the plating falls when passing through the pulley 62. The abrasive grains 16 are temporarily fixed to such an extent that they do not exist. In the abrasive grain embedding tank 58, the abrasive grains 16 temporarily fixed in the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56 are embedded in a predetermined range, for example, within a range of about 20 to 80 (%). Embedded up to the rate. Thereby, the abrasive grains 16 are securely fixed to the wire 12.
[0049]
In the traveling path of the wire 12, the cathode electrode 84 contacting the wire 12 is provided at five places before and after the base plating tank 52, the first electrodeposition tank 54, the second electrodeposition tank 56, and the embedding tank 58. Is provided, and electricity is supplied to the anode electrode 80 (see FIG. 5) provided in the

tanks

52, 54, 56, 58. The current density is, for example, 0.5 to 15 (A / dm ² ) Is adjusted within the range.
[0050]
The third washing tank 60 is for washing off the electrodeposition liquid from the wire 12 passing through the embedding tank 58. That is, in the third washing tank 60, the electrodeposition liquid attached to the wire 12 is replaced with water.
[0051]
When manufacturing the wire saw 10 using such a tool manufacturing apparatus 40, first, in the plating step (abrasive electrodeposition step), the inside of the degreasing tank 44 to the third washing tank 60 is guided by the pulley 62. Is sequentially intermittently fed in the direction of the arrow R by winding the wire 12 through an appropriate winding device (not shown) such as a motor provided at the end of the third washing tank 60. That is, for example, after being sent within a range of 50 to 500 (mm), for example, a predetermined length of about 100 (mm) (that is, a length equal to the length of the plating tube 70), for example, 0.5 to 5 The operation of stopping at the position within a range of minutes, for example, a predetermined time of, for example, about 3 minutes, feeding the predetermined length again, and stopping for a predetermined time is repeated. The wire feed speed is set to, for example, about 50 to 5000 (mm / min).
[0052]
In the above-described wire feeding process, after the oil film, oxides, and the like on the wire outer peripheral surface 18 are removed in the degreasing tank 44 to the second washing tank 50, first, in the base plating tank 52, 1 to 10 (μm) Nickel plating is applied in a thickness dimension of the order. In this base plating step, metal (nickel) ions in the plating solution are fixed to the outer peripheral surface of the wire 12 based on the potential difference between the wire 12 made negative by the cathode electrode 84 and the anode electrode 80. As described above, the plating area 66 shielded by the shielding plate 64 is provided in the base plating tank 52, and a plurality of aperture areas are distributed in the shielding area 66 in relation to the positions in the longitudinal direction. A plating tube 70 having plating solution flow holes 72 and 74 is provided.
[0053]
Therefore, even if the portion of the wire 12 located outside the plating region 66 is a negative electrode, the metal ions are not moved toward that portion based on the potential difference between the anode electrode 80 and the negative electrode. Twelve platings are performed exclusively in the plating area 66. In addition, since the plating solution and the metal ions in the solution flow into the plating tube 70 through the

passages

72 and 74, the metal ions in the central region 76 follow the opening area distribution described above. A relatively large amount of metal ions are moved toward the wire 12, while a relatively small amount of metal ions are moved toward the wire 12 in the end regions 78. Since such movement of metal ions, that is, plating, is performed only when the wire 12 that is intermittently fed is stopped, a plating thickness distribution that becomes thicker from both end regions 78 toward the central region 76 is formed. Is done. The lower part of FIG. 5 shows the plating thickness distribution thus formed.
[0054]
The interval of the intermittent feeding of the wire 12 is approximately 100 (mm) as described above, that is, approximately equal to the length of the plating tube 70 (that is, the length of the wire 12 plated during one stop). Therefore, the thickness distribution as described above is formed at the feed interval. As described above, in the present embodiment, by controlling the flow of the plating solution by the shielding plate 64 and the cylindrical jig 70, the base plating layer 28 whose thickness dimension is periodically changed as described above is formed. It is formed.
[0055]
Next, in the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56, the plating solution containing the abrasive 16 is supplied from above toward the wire 12 in the abrasive sedimentation area 82, so that the cathode electrode 84 The abrasive grains 16 that settle in a dispersed state are attached to the outer peripheral surface 32 of the wire 12 that has been brought into contact with the negative electrode, and metal ions (nickel ions) in the electrodeposition liquid are applied to the outer peripheral surface. It is drawn to form a plating layer 14. Thus, the abrasive grains 16 are fixed to the wire outer peripheral surface 32 by nickel plating (the abrasive grain fixing layer 26). At this time, since the abrasive grains 16 are provided with the metal layer 20 and are positively charged, the abrasive grains 16 themselves are also electrically attracted to the wire 12. By such an electric action, it is preferable that the abrasive grains 16 are uniformly distributed over the entire length of the outer peripheral surface 32 of the wire 12 in the circumferential direction, and that the abrasive grains 16 fall off before the fixing force by plating is exerted. Is suppressed. Further, since the abrasive grains 16 are mainly attached to the wire 12 in the sedimentation process, the thickness of the abrasive grains 16 attached to the outer peripheral surface 32 is only about one thickness of the abrasive grains 16.
[0056]
Since the abrasive sedimentation area 82 is provided in a part of the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56 on the rear side in the traveling direction of the wire 12, the inside of the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56 In the second electrodeposition bath 56, the wire 12 is moved in the horizontal direction while the abrasive grains 16 are adhered to the outer peripheral surface 32. In the present embodiment, the nickel plating is applied to the wire 12 in the process in which the abrasive grains 16 are moved with the abrasive grains 16 placed thereon, so that the abrasive grains 16 are fixed.
[0057]
The fixed density, that is, the distribution of the abrasive grains 16 on the wire 12 is determined by the supply amount of the abrasive grains 16 (plating solution) in the abrasive grain sedimentation region 82. Therefore, when manufacturing the wire saw 10 in which the high-density regions and the low-density regions are alternately provided in the longitudinal direction of the wire 12 as described above, the amount of abrasive particles to be supplied is related to the moving speed of the wire 12. (Amount of plating solution or concentration of abrasive grains in plating solution) may be changed with time.
[0058]
After the abrasive grains 16 are temporarily fixed to the entire circumference of the wire 12 in this manner, when the wire 12 is sent to the embedding tank 58, the surface of the wire 12 is nickel-plated so that the abrasive grains 16 The fixing layer 26 is formed. At this time, since the flow of the plating solution in the embedding tank 58 is not restricted at all, the abrasive grain fixing layer 26 is formed with a substantially uniform thickness on the base plating layer 28. As a result, the abrasive grains 16 electrodeposited on the surface of the wire 12 are buried with a substantially uniform embedding rate, and the wire saw 10 is obtained. After the wire saw 10 is cleaned and removed of the electrodeposition liquid in the subsequent third washing tank 60, the wire saw 10 is wound around a roll similar to the roll 42 and collected.
[0059]
Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, the description of the parts common to the above-described embodiments will be omitted.
[0060]
FIG. 6 is a perspective view showing a part of the length direction of the hole polishing tool 90 of another embodiment, and FIG. 7 is a view showing a cross section along the longitudinal direction. In the figure, a hole polishing tool 90 has abrasive grains 16 fixed to the outer peripheral surface of a wire 12 by a plating layer 92, similarly to the wire saw 10. The outer peripheral surface 94 of the hole polishing tool 90 has an inclined surface having a linearly increasing diameter in one direction along the longitudinal direction within a range of, for example, 50 to 500 (mm), for example, a center interval p of about 100 (mm). , Are provided with periodic irregularities along its longitudinal direction.
[0061]
As shown in FIG. 7 showing a cross section, in the hole polishing tool 90 as well, the above-mentioned periodic unevenness is caused by the thickness of the plating layer 92 on the outer peripheral surface 32 forming the cylindrical surface of the wire 12 in the longitudinal direction. It is formed by changing the dimensions periodically. For this reason, the outer peripheral surface 94 of the hole polishing tool 90 has a sawtooth shape in a cross section along the longitudinal direction. The minimum value t1 of the thickness of the plating layer 92, that is, the thickness at the bottom of the concave portion 96 is, for example, in the range of 2 to 15 (μm), for example, about 4 (μm), and the maximum thickness t2, The thickness at the top is, for example, in the range of 4 to 25 (μm), for example, about 12 (μm). In this embodiment, since the wire diameter of the wire 12 is, for example, about 0.08 (mm), the minimum diameter of the hole polishing tool 90 excluding irregularities due to the abrasive grains 16 is, for example, 0.084 to 0.110 (mm). , For example, about 0.088 (mm), and the maximum diameter is, for example, in the range of 0.088 to 0.130 (mm), for example, about 0.104 (mm). The minimum diameter is set to be slightly smaller than the inner diameter of the hole to be polished before processing, and the maximum diameter is set to the inner diameter of the hole to be obtained after processing.
[0062]
The above-mentioned plating layer 92 also has a two-layer structure of, for example, a base plating layer 100 made of nickel and an abrasive fixing layer 102, respectively. The thickness of the concave portion 96 is, for example, in the range of 1 to 5 (μm), for example, about 2 (μm), and the thickness of the convex portion 98 is, for example, 3 to 15 (μm). The range is, for example, about 10 (μm), and the difference therebetween is, for example, in the range of 2 to 10 (μm), for example, about 8 (μm). On the other hand, the abrasive grain fixing layer 102 is formed on the underlying plating layer 100 having such an uneven surface, for example, in a range of 1 to 5 (μm), for example, about 2 (μm), according to the surface shape. It is provided with various thickness dimensions.
[0063]
In this embodiment, the abrasive grains 16 are, for example, diamond abrasive grains having an average particle size of about 3 (μm), and no metal layer such as nickel is provided on the surface thereof. Therefore, the abrasive grains 16 are fixed in the abrasive fixed layer 102 as described above with an embedding rate of, for example, about 50 (%). In addition, as is apparent from the above-described numerical values, in this embodiment, the height difference between the irregularities of the hole polishing tool 90 is set to about 8 (μm), that is, a value sufficiently larger than the average particle diameter of the abrasive grains 16. Have been.
[0064]
In the hole polishing tool 90 configured as described above, the irregularities are periodically formed on the outer peripheral surface 94 by changing the thickness of the plating layer 92 for fixing the abrasive grains 16. By inserting the hole polishing tool 90 from the small diameter portion into the target hole and reciprocating the same, the inner surface of the hole is suitably polished at the intermediate portion between the small diameter portion and the large diameter portion and at the large diameter portion. . Therefore, there is an advantage that the inner surface of the hole can be polished without using free abrasive grains. At this time, since the unevenness on the surface of the wire tool is provided by changing the plating thickness, the strength does not decrease as in the case of using a wire in which a thin strand is twisted.
[0065]
In the above hole polishing process, if the hole polishing tool 90 is formed in an uneven shape as shown in the figure over its entire length, it may be difficult to insert or reciprocate in the hole to be processed. is there. In such a case, for example, portions having the same diameter as the small-diameter portion at both ends may be provided with appropriate length dimensions.
[0066]
Further, according to the present embodiment, since the difference in height of the irregularities on the tool outer peripheral surface 94 is made larger than the average particle size of the abrasive grains 16, high polishing efficiency can be obtained in hole polishing.
[0067]
The above-described hole polishing tool 90 is also manufactured using the tool manufacturing apparatus 40 as shown in FIG. 4 described above, but the thickness distribution of the base plating layer 100 is different from that of the wire saw 10. Therefore, a base plating tank 106 shown in FIG. 8 is used instead of the base plating tank 52 shown in FIG.
[0068]
In FIG. 8, the base plating tank 106 is configured substantially the same as the base plating tank 52, but the configuration of the plating tube 108 provided in the plating region 66 is different from that of the plating tube 70. ing. The plating tube 108 flows in a longitudinal direction from the rear side (left side in the drawing) of the feeding direction of the wire 12 to the front side (right side in the drawing) in order, for example, with a plating solution having a diameter of about 8 (mm). It has a hole 110, a plating solution flow hole 112 having a diameter of about 5 (mm), and a plating solution flow hole 114 having a diameter of about 3 (mm). The sum of the opening areas in the rear end region 116, the intermediate region 118, and the front end region 120 of the plating tube 108 is set to a ratio of, for example, about 4: 2: 1. That is, the sum of the opening areas of the plating solution flow holes 110, 112, 114 in each of the

regions

116, 118, 120 gradually increases in the longitudinal direction of the wire 12.
[0069]
According to the tool manufacturing apparatus 40 provided with the undercoating tank 106 as described above, in the undercoating tank 106, while the intermittently sent wire 12 is exclusively stopped, as shown in FIG. The plating thickness distribution gradually decreases along one direction according to the opening area distribution, for example, about 12 (μm) in the rear end area 116, about 6 (μm) in the middle area 118, and 3 (μm) in the front end area 120. ) Thickness distribution is formed. At this time, since the feed interval of the intermittent feed of the wire 12 is made substantially coincident with, for example, the length of the plating tube 108, the above-described thickness distribution is formed by the feed interval. Therefore, since the underlying plating layer 100 having a saw-tooth shape in the cross section as described above is formed, the above-mentioned hole polishing tool 90 is obtained by fixing and embedding the abrasive grains 16 by plating.
[0070]
As described above, the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in other embodiments.
[0071]
For example, in the embodiment, the case where the present invention is applied to the wire saw 10 in which the outer peripheral surface 18 is a smooth uneven surface and the hole polishing tool 90 in which the outer peripheral surface 94 has a saw-tooth shape in cross section has been described. The shapes of the

surfaces

18 and 94 are not limited to these. For example, the outer peripheral surface 18 of the wire saw 10 may be formed in a sawtooth shape, and the outer peripheral surface 94 of the hole polishing tool 90 may be formed in a gentle uneven surface. In addition, in the case of cutting, the flow of a working fluid or cutting powder is preferably performed, and in the case of hole polishing, if an appropriate slope is provided, the shape is not limited to these shapes. can do.
[0072]
Further, in the embodiment, the center distance between the irregularities of the outer

peripheral surfaces

18 and 94 is set to about 100 (mm). However, this size depends on the use, processing load, ease of manufacturing, and the like. It can be an appropriate value.
[0073]
Further, in the embodiment, the case where the abrasive grains 16 are diamond is described, but the material of the abrasive grains 16 is appropriately selected according to the cutting target. For example, the present invention is similarly applied to wire tools using other super-abrasive grains such as cubic boron nitride (CBN) and ordinary abrasive grains such as alumina and silicon carbide.
[0074]
Further, in the embodiment, the abrasive grain fixing layers 26 and 102, the base plating layers 28 and 100, and the metal layer 20 are all made of nickel, but a part or all of them is made of nickel alloy such as Ni-Co. Alternatively, other metal materials such as copper and brass may be used instead.
[0075]
In the embodiment, after the abrasive grains 16 are temporarily fixed to the outer peripheral surface 32 of the wire 12 in the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56, the plating thickness in the embedding tank 58 is sufficiently increased. However, when a sufficient plating thickness can be ensured in the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56, the embedding tank 58 may not be provided.
[0076]
In the embodiment, the abrasive grains 16 are electrodeposited on the half surface of the wire 12 in each of the tanks by providing the first electrodeposition tank 54 and the second electrodeposition tank 56. If the magnet 12 is provided just before the magnet 54 to magnetize the wire 12, the abrasive 16 can be directed toward the wire 12 by its magnetic force, so that the abrasive 16 can be positioned on the lower half surface in the tank. Is electrodeposited, so that it is not necessary to provide the second electrodeposition tank 56 in that case.
[0077]
In the embodiment, the embedding rate of the abrasive grains 16 is set to 50 (%). However, the embedding rate depends on the use of the tool, the size of the abrasive grains 16, and the metal layer 20 covering the abrasive grains 16. Depending on the presence or absence, for example, it is appropriately determined within the range of 20 to 80 (%), preferably within the range of 25 to 75 (%), and more preferably within the range of 30 to 70 (%).
[0078]
Further, the dimensions of each part of the wire saw 10 and the hole polishing tool 90 and the conditions in each step of manufacturing are not limited to those described in the examples, and may be appropriately determined according to the use of the tool, the scale of the step, and the like. Be changed. For example, the wire feed speed is preferably high in terms of manufacturing efficiency, but an appropriate value is selected according to the current density to be set, the size of the plating tank, and the like.
[0079]
Although not specifically exemplified, the present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a part of a wire saw according to an embodiment of the present invention in a longitudinal direction.
FIG. 2 is a diagram showing a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the wire saw of FIG.
FIG. 3 is a view showing a cross section along a longitudinal direction of the wire saw of FIG. 1;
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration of a manufacturing apparatus for manufacturing the wire saw of FIG.
FIG. 5 is a diagram illustrating a detailed configuration of a base plating tank provided in the manufacturing apparatus of FIG. 4 and a distribution of a plating thickness that can be formed.
FIG. 6 is a perspective view showing a part in a longitudinal direction of a hole polishing wire according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view showing a cross section along a longitudinal direction of the hole polishing wire of FIG. 6;
FIG. 8 is a view corresponding to FIG. 5 for explaining a configuration of a base plating tank used for manufacturing the wire of FIG. 6;
[Explanation of symbols]
10: Wire saw
12: Wire
14: Plating layer
16: abrasive
18: Outer peripheral surface
22: recess
24: convex part
28: Base plating layer

Claims

ワイヤーの外周面に砥粒が鍍金層によって固着されたワイヤー工具であって、
前記鍍金層の厚みが前記ワイヤーの長手方向において周期的に変化させられることにより外周面にその長手方向に沿って凹凸が形成されていることを特徴とするワイヤー工具。A wire tool in which abrasive grains are fixed to the outer peripheral surface of the wire by a plating layer,
A wire tool, wherein the thickness of the plating layer is periodically changed in the longitudinal direction of the wire to form irregularities on the outer peripheral surface along the longitudinal direction.

前記凹凸は前記ワイヤーの長手方向に沿った断面において鋸歯状を成すものである請求項１のワイヤー工具。The wire tool according to claim 1, wherein the unevenness has a sawtooth shape in a cross section along a longitudinal direction of the wire.

ワイヤーの外周面に下地鍍金層を設ける下地鍍金工程と、その下地鍍金層上に砥粒を鍍金によって固着する砥粒固着工程とを含むワイヤー工具の製造方法であって、
前記下地鍍金工程は、鍍金槽内で前記ワイヤーをその長手方向に間歇的に送りつつ電気鍍金を施すことを特徴とするワイヤー工具の製造方法。A wire tool manufacturing method including a base plating step of providing a base plating layer on the outer peripheral surface of a wire, and an abrasive grain fixing step of fixing abrasive grains on the base plating layer by plating,
The method of manufacturing a wire tool, wherein the underplating is performed by electroplating while intermittently feeding the wire in a longitudinal direction in a plating tank.

前記下地鍍金工程は、下地鍍金槽内で他の部分から電気的に遮蔽されると共に電極が設けられた鍍金領域内に備えられ且つ長手方向における位置に関連して開口面積が分布させられた複数の鍍金液流通口を有する鍍金管内をその長手方向に通しつつ前記ワイヤーに電気鍍金を施すものである請求項３のワイヤー工具の製造方法。The underplating step includes a step of electrically shielding from other parts in the underlayer plating tank, providing a plurality of openings provided in a plating region provided with electrodes, and having an opening area distributed in relation to a position in a longitudinal direction. 4. The method for manufacturing a wire tool according to claim 3, wherein the wire is electroplated while passing through a plating tube having a plating solution flowing port in the longitudinal direction.