JP2004322358A - Mold and mold protecting sheet - Google Patents

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JP2004322358A
JP2004322358A JP2003117046A JP2003117046A JP2004322358A JP 2004322358 A JP2004322358 A JP 2004322358A JP 2003117046 A JP2003117046 A JP 2003117046A JP 2003117046 A JP2003117046 A JP 2003117046A JP 2004322358 A JP2004322358 A JP 2004322358A
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mold
stamper
die
protection plate
molding
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JP2003117046A
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Inventor
Yasuo Suzuki
保雄 鈴木
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SONS ENGINEERING CO Ltd
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SONS ENGINEERING CO Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mold capable of reducing the molding cost of an optical disk or the like, and a mold protecting sheet. <P>SOLUTION: A stamper 150 is attached to a movable mold 110 through the mold protecting sheet 140 and a high temperature/high pressure molten resin is cast in the cavity 160 formed between the movable mold 110 and a fixed mold 120. The resin cast in the cavity enters the unevenness of the stamper 150 to be formed into a shape having the unevenness of the stamper transferred thereto and the shaped resin is cooled and solidified. In this process, radial sliding occurs in the stamper but the sliding is received by the mold protecting sheet 140 and the movable mold 110 is not abraded at all. When the mold protecting sheet 140 is abraded, it is replaced with a new one but such a work can be made extremely simple as compared with mold replacing work. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、CD、CD−R、DVD−R、シングルCD、レーザディスク、ビデオディスク等の光ディスクの成形に適した成形用金型と、この金型に使用される金型保護板に関する。
【0002】
【従来の技術】
各種のプラスチック材から光ディスクを成形する方法として、図4に示されるような成形装置を用いたものが一般的に知られている。図4に示す成形装置は、可動側金型11と固定側金型12及び外周リング状金型13とからなる金型を有し、これらの金型間にキャビティ14を形成する。可動側金型11には、光ディスクの原盤となるスタンパ15が取り付けられている。スタンパ15の外周には、外周リング状金型13が配置され、この外周リング状金型13によってキャビティ14の周壁が画定される。固定側金型12の中心には、ゲート部材16があり、その中心にゲート17が貫通形成されている。可動型金型11の中心には、ゲート部材16と対向してゲートカット部材18が設けられ、その先端縁がゲートカット部18aとなっている。外周リング状金型13と固定側金型12との間には、キャビティ14内のエア抜きをするエアベント部19がある。
【0003】
光ディスクの原盤となるスタンパ15は、次のようにして形成される。まず、厚さ6mm程度のガラス円板の表面に薄いフォトレジストを塗布する。フォトレジスト膜が形成されたガラス円板を回転させながら、光変調器からレーザ光を照射し、記録すべき情報を書き込む。フォトレジスト膜は、レーザ光の照射された部分が剥離され、ピットが形成される。この上にNiによる電鋳層を形成し、この電鋳層をガラス円板から剥がしてNiのスタンパ15とする。
【0004】
光ディスクは高精度が要求されるので、可動側金型11及び固定側金型12は鋼から製作して焼き入れし、その表面11a,12aには硬質メッキを施し、高精度に鏡面研磨したものが使用されている。
【0005】
樹脂供給口20から溶融したポリカーボネートなどの樹脂が供給され、ゲート17を通ってキャビティ14内に充填され、冷却・固化されることで、スタンパ15の凹凸とは反転した凹凸の付いた光ディスクが形成されることになる。
【0006】
前記のような金型を用いて成形を行う場合、流し込まれた樹脂がキャビティ14に充填される際に、スタンパ15には、樹脂の粘性によりスタンパ15の半径方向に働く引っ張り応力や、加熱及び冷却が繰り返される温度による熱応力が作用する。一方、可動側金型11には、前記樹脂の粘性による引っ張り応力は作用しない、また、可動側金型11に加わる熱応力はスタンパ15に比べて小さくなる。よって、これらの応力により、可動側金型11とスタンパ15との間には光ディスクの半径方向に摩擦力が発生し、スタンパ15と可動側金型11とは接触部分で摩耗が発生する。この摩耗は一般に凝着摩耗と呼ばれるもので、可動側金型11又はスタンパ15を掘り起こす摩耗である。
【0007】
前記したように、金型の表面には硬質メッキが施され、耐摩耗性を上げられるようになっているが、繰り返し成形を行うとスタンパ15は摩擦によりショット毎に損傷を受ける。損傷がある程度大きくなると、製造された光ディスクにエラーを生じる。したがって、損傷が大きくなってエラーが発生するようになると、スタンパ15の寿命ということになる。
【0008】
この問題に対し、従来は、可動側金型11の表面11aにTiN,TiCNを用いた硬質保護膜を形成し、鏡面研磨することで摩耗の影響を小さくするようにしていた。これによって、通常の硬質メッキよりも可動側金型11の寿命を伸ばし、延いてはスタンパ15の寿命をも伸ばすことが可能となる。
【0009】
しかし、これでも限度があり、光ディスク等のような量産品を製造する場合、途中で金型やスタンパを交換する必要が生じ、金型代、スタンパ代に加えて交換作業に基づく工賃も掛かり、光ディスクの製造コストが上がる原因となっていた。そのため、ランニングコストの低下、生産効率の向上を図る上から耐磨耗性に優れた保護膜を有する金型が望まれてきた。
【0010】
このような要請に対し、特許文献1(特許第2794289号)では、金型の耐磨耗性を向上させるために、ダイヤモンド状薄膜(DLC)を被覆した金型を提案している。これによって、TiNコーティングの数十倍の寿命を得ることができる。また、金型の摩耗が減少することで、スタンパの寿命も延びることになる。
【0011】
しかし、DLCは超硬合金、ステンレス鋼、鉄材、あるいはアルミニウム系材料に対する密着力が弱く、耐久性の点で問題があり、とりわけスタンパを載置する金型の表面処理に用いた場合、スタンパの寿命を延ばすことが困難であった。
【0012】
この問題に対し、特許文献2(特開平10−44160号)では、成形金型のキャビティに面する表面に所定の組成比のSi+C+H、あるいはこれにNまたはOを含有する保護膜を形成する構成を提案している。この保護膜は金型にDCバイアス電圧、あるいはセルフバイアスを印加し、プラズマCVD法、イオン化蒸着法、スパッタ法などで形成することができる。
【0013】
このようにして形成された保護膜は、TiN,TiCNを用いたものに比べ耐久性、耐磨耗性に優れ、また、ダイヤモンド状薄膜(DLC)に比較して超硬合金、ステンレス鋼、鉄材等に対する密着力が強く、金型自体の寿命を延ばすことができる。
【0014】
同時にポリカーボネート等を用い、CD−R、DVD−R、CD−ROM、DVD−ROM、レーザディスク、ビデオディスク、レコードあるいはプラスチックレンズ等々の成形に使用した場合、DLCよりも硬度が低いにもかかわらず、予想外に耐磨耗性が向上し、裏面の粗れているスタンパ(スタンパの裏面は、通常Rmax=0.5〜5μm程度である)の摩擦による劣化を抑制してスタンパの長寿命化を図ることができる。このため、コストダウンと生産効率の向上を図ることができることになった。
【0015】
【特許文献1】
特許第2794289号 公報 公報第2ページ第29〜31行
【0016】
【特許文献2】
特開平10−44160号 段落0011,0012
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記の金型は寿命は延びるが、金型に硬質保護膜を形成する表面処理に時間と費用が掛かり、コストダウンの効果が少ない。寿命がきて表面が荒れた金型は、硬質保護膜を剥離して再研磨することで再生が可能であるが、そのための作業や費用もかなり掛かる。
【0017】
本発明は、このような事情から考えられたもので、光ディスク等の成形コストを引き下げることができる成形用金型と、この金型に使用される金型保護板を提供することを目的としている。
【0018】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために本発明の成形用金型は、可動側金型と、固定側金型とを有し、これらのいずれか一方の表面にスタンパを支持可能な成形用金型において、前記スタンパを支持する金型に、金型保護板を着脱可能に設けたことを特徴としている。
【0019】
前記金型保護板に1以上の貫通孔を穿設し、金型保護板を支持する金型に前記貫通孔と重なる吸引溝を形成し、該吸引溝から空気を吸引する減圧手段を設け、前記吸引溝と貫通孔を介して前記スタンパを金型に吸着可能な構成とすることができる。
【0020】
前記吸引溝の外縁が前記金型保護板を支持する金型の外縁より内側に配置され、金型の外径より小さい径のスタンパを吸着可能とした構成としてもよい。
【0021】
前記金型保護板の少なくとも前記スタンパと接触する面に硬質保護膜を形成した構成としたり、前記金型保護板が、Siウエハである構成としたり、前記金型保護板が、SiCウエハである構成とすることができる。
【0022】
前記目的を達成するために本発明の金型保護板は、可動側金型と、固定側金型とを有し、これらのいずれか一方の表面にスタンパを支持可能な成形用金型に使用され、前記スタンパを支持する金型に着脱可能に支持されることを特徴としている。
【0023】
前記金型保護板が円板で、1以上の貫通孔を有し、金型保護板を支持する金型に形成された吸引溝から空気を吸引することによって、スタンパを金型に吸着可能とした構成としたり、前記貫通孔が金型保護板の外径より内側に設けられ、金型の外径より小さい径のスタンパを吸着可能な構成としたり、金型保護板がSiウエハ或いはSiCウエハである構成としたりすることができる。
【0024】
【作用】
可動側金型又は固定側金型に、金型保護板を挟んでスタンパを取り付ける。そして、両金型の間に形成されるキャビティに、高温・高圧の溶融した樹脂を流し込む。キャビティ内に流し込まれた樹脂は、スタンパの凹凸に入り込み、スタンパの凹凸を写し取った形状となって冷却し固化する。この過程で、スタンパには、半径方向の収縮が起こるが、この収縮による摺動は金型保護板が受けることになり、金型は全く摩耗することがなくなる。金型保護板が摩耗した場合は、新しい金型保護板と交換するが、この作業は金型の交換作業に比べ非常に簡単にできる。また、金型保護板は金型より遙かに安価なものなので、費用の負担も軽くなって、光ディスクの製造コストを引き下げることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面によって説明する。
図1は本発明の成形装置の構成を示す断面図である。本発明の成形装置100は、可動側金型110、固定側金型120、外周リング状金型130、金型保護板140、スタンパ150、キャビティ160、ゲート171を備えたゲート部材170、ゲートカット部181を有するゲートカット部材180及び樹脂供給口190とを有する。外周リング状金型130と固定側金型120との間には、キャビティ160内のエア抜きをするエアベント部161がある。金型保護板140を除く各部の構成は従来例で説明したのと共通する部分が多いので、以下では、相違する部分を中心に説明する。
【0026】
図2は、可動側金型110の表面110aの図である。可動側金型110の中央には、ゲートカット部材180が挿通される孔110bがあり、この外側には、環状の吸引溝111が形成され、吸引溝111の底には複数の吸引口112が穿設されている。この吸引口112は、可動側金型110を貫通し、図示しない真空ポンプなどの吸引装置に接続されている。
【0027】
図3は、金型保護板140の図で、(a)は平面図、(b)は(a)のIII−III断面図である。金型保護板140は円形の板状で、中央にゲートカット部材180が挿通される孔141が穿設され、その周囲に6つの貫通孔142が穿設されている。この金型保護板140は、中央の孔141が、可動側金型110の孔110bに重なるようにして表面110a上に重ねられる。そして、重ねたとき、金型保護板140の6つの貫通孔142の全てが、可動側金型110の吸引溝111と重なるような位置関係となっている。重なり方は、図1に示すように、貫通孔142の全体が吸引溝111上に重なる形態に限定されず、貫通孔142の一部が吸引溝111と重なればよい。
【0028】
この実施例では、金型保護板140に貫通孔142を穿設し、可動側金型110に吸引溝111を形成したが、逆に、貫通孔142を円弧状に細長く形成し、可動側金型110には、吸引溝111を形成せずに吸引口112だけを穿設する構成としてもよい。さらには、可動側金型110と金型保護板140の双方に貫通孔を穿設し、両貫通孔を重ねる構成としたり、双方の貫通孔を円弧状など細長い形状とし、両者を重ねることでスタンパを吸引する構成としてもよい。
【0029】
金型保護板140の材料としては特に限定されないが、重量が軽いこと、面粗さが高精度に仕上げられていることが重要である。このような観点から、この実施例では、Siウエハ又はSiCウエハを使用している。Siウエハや、SiCウエハは、上記の2つの条件に合致し、しかも、大量に供給されるものであるため、安価である。特に表面の研磨状態は、金型表面の鏡面仕上げされた精度より1桁近く高精度に仕上げられている。したがって、光ディスクの成形に用いても精度的には全く問題とならない。
【0030】
可動側金型110と固定側金型120とを離反した状態で、可動側金型110の表面110aに金型保護板140を取り付け、その外側からスタンパ150を重ねる。そして、図示しない真空装置で吸引口112内を吸引する。これによって、吸引口112→吸引溝111→金型保護板140の貫通孔142と吸引力が伝達され、スタンパ150が可動側金型110に吸着され、固定されることになる。
【0031】
図1は、可動側金型110が固定側金型120に向かって移動して所定の形状のキャビティ160を形成した状態を示す。高温、高圧の溶融樹脂は、樹脂供給口190からゲート171を通ってキャビティ160内に入り、キャビティ160内に充填される。このときキャビティ160内の空気は入れ替わりにエアベント部161から外部に排出される。この後、キャビティ160内の樹脂は冷却されて固化する。固化が完了したら、金型を開き、キャビティ160内に形成された光ディスクを取り出す。
【0032】
溶融樹脂の温度は約360℃で、圧力は40MPa程度である。したがって、スタンパ150はこの熱により膨張し、前記の圧力で押圧された状態で金型保護板140の表面110aを滑動する。金型保護板140が、SiウエハやSiCウエハからなる場合、TiN等の硬質保護膜より柔らかいことから摩耗し易い。しかしながら、金型保護板140は、簡単に交換できるので、摩耗したら予備のものと交換すればよい。
【0033】
さらには、SiウエハやSiCウエハの表面に、TiN、TiCN、DLC等の硬質保護膜を形成し、研磨して所望の面粗さにしたものを使用することもできる。硬質保護膜を形成するのは、スタンパ150と接触する面だけでもよいが、両面に形成してもよい。
【0034】
金型保護板140の板厚であるが、光ディスク成形中の温度や圧力で問題無く使用できる厚さである。たとえば、SiウエハやSiCウエハの場合、0.5〜5mm程度が望ましい。0.5mm未満では、薄すぎて割れる可能性がある。5mmを越えると、吸着力に対して重くなりすぎ、位置が不安定になるからである。実施例では3mmのものを使用した。
【0035】
金型保護板140の重さは、軽い方が望ましい。減圧手段で吸引した場合、軽いほど強く吸着固定され、位置ずれが生じないからである。逆に重いと、減圧手段による吸引では力が不足し、成形作業中に位置ずれが生じてしまうおそれがある。
【0036】
このような条件に合うものとしては、前記のSiウエハやSiCウエハを例示することができる。Siウエハは、軽量であるという特徴がある。一方、SiCウエハはSiウエハに比べて重くなるが、熱伝導性に優れており、溶融した樹脂の固化を早くすることができる。また、SiウエハやSiCウエハ以外のものとして、アモルファスカーボンを使用することもできるが、勿論これらに限定されるものではなく、多様な素材を使用することが可能である。
【0037】
光ディスクには、音楽用のCDにおける、通常のCDと、シングルCDというように径の異なるものがある。従来の製造方法では、それぞれ金型を交換して製造していた。そのため、CDからシングルCDへの切り替えや、その逆の切り替えをするために、長時間製造装置を停止して交換作業を行っていた。
【0038】
これに対し、本発明の製造装置では、金型を交換せず、スタンパのみを交換することで、CDからシングルCDへの切り替えや、その逆の切り替えが可能になった。以下にその説明をする。
【0039】
図1に示すスタンパ150が通常のCD用のものとする。このときのスタンパ150の直径は図に示すようにDである。吸引溝111の外周直径dを、シングルCDのスタンパの直径より小さくしておけば、この成形用金型は、シングルCD用のスタンパを吸着することができる。そして、キャビティ160内に溶融した樹脂を流し込めば、シングルCDが成形できることになる。ただし、キャビティ160の大きさは通常のCDの大きさになったままなので、外側の余分な部分は成形後にカットすることになる。
【0040】
従来の成形用金型で同じことを行うと、径の小さいシングルCDを成形する際、径の小さいスタンパの外周の位置で金型が摩耗して通常のCDの成形ができなくなってしまう。これに対し、図1の成形用金型であれば、金型保護板140を用いるので、金型には全く摩耗が生じず、通常のCDの成形に簡単に切り替えることが可能となる。すなわち、図1に示す成形用金型は、1つの金型で、複数サイズのCDを成形することができるのである。
【0041】
以上に示す本発明の実施例において、スタンパ150は可動側金型110に保持させたが、固定側金型120に保持させてもよい。その場合、金型保護板140は、スタンパ150と固定側金型120との間に設けられ、吸引溝111も固定側金型120に形成することになる。
【0042】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明の成形用金型は、可動側金型と、固定側金型とを有し、これらのいずれか一方の表面にスタンパを支持可能な成形用金型において、前記スタンパを支持する金型に、金型保護板を着脱可能に設けた構成なので、金型の摩耗を殆ど皆無に近くまで減少させ、金型とスタンパの寿命を延ばすことができる。金型の代わりに金型保護板が摩耗するが、金型保護板のみを新しいものと交換すればよい。この部分は安価であり、交換作業も金型の交換と比べ、格段に簡単にできる。
【0043】
前記金型保護板に1以上の貫通孔を穿設し、金型保護板を支持する金型に前記貫通孔と重なる吸引溝を形成し、該吸引溝から空気を吸引する減圧手段を設け、前記吸引溝と貫通孔を介して前記スタンパを金型に吸着可能な構成とすれば、スタンパをより強力に金型に固定することができる。
【0044】
前記金型保護板の少なくとも前記スタンパと接触する面に硬質保護膜を形成した構成とすれば、金型保護板の摩耗を減らし、寿命を延ばすことができる。
【0045】
金型保護板をSiウエハで形成すれば、軽量・安価でしかも高精度に鏡面仕上げされた金型保護板を得ることができる。
【0046】
金型保護板をSiCウエハで形成すれば、Siウエハに比べ熱伝導度のよい金型保護板を得ることができ、溶融した樹脂を早期に硬化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の成形用金型を使用した成形装置の断面図である。
【図2】可動側金型の表面を示す図である。
【図3】金型保護板を示す図で、(a)は平面図、(b)は(a)のIII−III断面図である。
【図4】従来例の成形装置を示す断面図である。
【符号の説明】
100 成形装置
110 可動側金型
111 吸引溝
120 固定側金型
140 金型保護板
142 貫通孔
150 スタンパ
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a molding die suitable for molding optical disks such as CDs, CD-Rs, DVD-Rs, single CDs, laser disks, and video disks, and a die protection plate used for the die.
[0002]
[Prior art]
As a method for molding an optical disk from various plastic materials, a method using a molding apparatus as shown in FIG. 4 is generally known. The molding apparatus shown in FIG. 4 has a mold including a movable mold 11, a fixed mold 12 and an outer peripheral mold 13, and forms a cavity 14 between these molds. The movable mold 11 is provided with a stamper 15 serving as an optical disk master. An outer peripheral ring-shaped mold 13 is arranged on the outer periphery of the stamper 15, and the outer peripheral ring-shaped mold 13 defines a peripheral wall of the cavity 14. A gate member 16 is provided at the center of the fixed mold 12, and a gate 17 is formed at the center thereof. A gate cut member 18 is provided at the center of the movable mold 11 so as to face the gate member 16, and a leading edge thereof is a gate cut portion 18 a. An air vent 19 is provided between the outer ring-shaped mold 13 and the fixed mold 12 to release air from the cavity 14.
[0003]
The stamper 15 serving as the master of the optical disk is formed as follows. First, a thin photoresist is applied to the surface of a glass disk having a thickness of about 6 mm. While rotating the glass disk on which the photoresist film is formed, laser light is emitted from the optical modulator to write information to be recorded. A portion of the photoresist film irradiated with the laser beam is peeled off, and a pit is formed. An electroformed layer of Ni is formed thereon, and the electroformed layer is peeled from the glass disk to form a Ni stamper 15.
[0004]
Since the optical disc requires high precision, the movable mold 11 and the fixed mold 12 are made of steel and quenched, and their surfaces 11a and 12a are hard-plated and mirror-polished with high precision. Is used.
[0005]
A resin such as polycarbonate, which is melted, is supplied from the resin supply port 20, filled into the cavity 14 through the gate 17, and cooled and solidified to form an optical disk having irregularities inverted from the irregularities of the stamper 15. Will be done.
[0006]
When the molding is performed using the above-described mold, when the poured resin is filled into the cavity 14, the stamper 15 has a tensile stress acting in the radial direction of the stamper 15 due to the viscosity of the resin, heat, and heat. Thermal stress due to the temperature at which cooling is repeated acts. On the other hand, no tensile stress due to the viscosity of the resin acts on the movable mold 11, and the thermal stress applied to the movable mold 11 is smaller than that of the stamper 15. Therefore, due to these stresses, a frictional force is generated between the movable die 11 and the stamper 15 in the radial direction of the optical disk, and wear occurs at the contact portion between the stamper 15 and the movable die 11. This wear is generally called adhesive wear, and is wear that digs the movable mold 11 or the stamper 15.
[0007]
As described above, the surface of the mold is hard-plated to increase the wear resistance. However, if the mold is repeatedly formed, the stamper 15 is damaged by the friction every shot. If the damage is large enough, errors will occur in the manufactured optical disc. Therefore, if an error occurs due to an increase in damage, the life of the stamper 15 is reached.
[0008]
Conventionally, a hard protective film made of TiN or TiCN is formed on the surface 11a of the movable mold 11 and mirror-polished to reduce the influence of wear. As a result, it is possible to extend the life of the movable mold 11 and the life of the stamper 15 more than usual hard plating.
[0009]
However, there is still a limit, and when manufacturing mass-produced products such as optical discs, it is necessary to replace the mold and stamper on the way, and in addition to the mold and stamper charges, labor costs based on the replacement work are required, This has caused an increase in optical disk manufacturing costs. Therefore, in order to reduce running costs and improve production efficiency, a mold having a protective film having excellent wear resistance has been desired.
[0010]
In response to such a request, Patent Document 1 (Japanese Patent No. 2794289) proposes a mold coated with a diamond-like thin film (DLC) in order to improve the wear resistance of the mold. As a result, a life several tens of times longer than that of the TiN coating can be obtained. In addition, the life of the stamper is extended by reducing the wear of the mold.
[0011]
However, DLC has low adhesion to cemented carbide, stainless steel, iron material, or aluminum-based material, and has a problem in durability. It was difficult to extend the life.
[0012]
To solve this problem, Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-44160) discloses a configuration in which Si + C + H having a predetermined composition ratio or a protective film containing N or O is formed on a surface facing a cavity of a molding die. Has been proposed. This protective film can be formed by applying a DC bias voltage or a self-bias to a mold, and by a plasma CVD method, an ionization vapor deposition method, a sputtering method, or the like.
[0013]
The protective film thus formed is superior in durability and abrasion resistance as compared with those using TiN or TiCN, and is harder than a diamond-like thin film (DLC). And the like, and the life of the mold itself can be extended.
[0014]
At the same time, when polycarbonate or the like is used for molding CD-R, DVD-R, CD-ROM, DVD-ROM, laser disk, video disk, record, plastic lens, etc., although hardness is lower than DLC, A longer life of the stamper by unexpectedly improving the abrasion resistance and suppressing the deterioration due to friction of the roughened back surface of the stamper (the back surface of the stamper is usually about Rmax = 0.5 to 5 μm). Can be achieved. Therefore, cost reduction and improvement of production efficiency can be achieved.
[0015]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 2794289 gazette gazette page 2 lines 29 to 31
[Patent Document 2]
JP-A-10-44160, paragraphs 0011, 0012
[Problems to be solved by the invention]
However, although the above-mentioned mold has a long service life, it takes time and cost to perform a surface treatment for forming a hard protective film on the mold, and the cost reduction effect is small. A mold having a roughened surface with a long service life can be regenerated by peeling off the hard protective film and re-polishing, but it requires considerable work and cost.
[0017]
The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a molding die capable of reducing the molding cost of an optical disc or the like, and a die protection plate used for the die. .
[0018]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a molding die of the present invention has a movable die and a fixed die, and a molding die capable of supporting a stamper on any one of these surfaces. A mold protecting plate is detachably provided on a mold supporting the stamper.
[0019]
One or more through holes are formed in the mold protection plate, a suction groove overlapping the through hole is formed in a mold supporting the mold protection plate, and a decompression means for sucking air from the suction groove is provided, The stamper may be configured to be able to be attracted to a mold via the suction groove and the through hole.
[0020]
An outer edge of the suction groove may be disposed inside an outer edge of the mold supporting the mold protection plate, and a stamper having a diameter smaller than the outer diameter of the mold may be adsorbed.
[0021]
A configuration in which a hard protective film is formed on at least a surface of the die protection plate that contacts the stamper, a configuration in which the die protection plate is a Si wafer, or a configuration in which the die protection plate is a SiC wafer It can be configured.
[0022]
In order to achieve the above object, the mold protection plate of the present invention has a movable mold and a fixed mold, and is used for a molding mold that can support a stamper on any one of these surfaces. It is characterized by being detachably supported by a mold supporting the stamper.
[0023]
The mold protection plate is a disk, has one or more through holes, and sucks air from a suction groove formed in a mold supporting the mold protection plate, so that the stamper can be attracted to the mold. Or the through hole is provided inside the outer diameter of the mold protection plate so that a stamper having a diameter smaller than the outer diameter of the mold can be adsorbed. Or the following configuration.
[0024]
[Action]
A stamper is attached to the movable mold or the fixed mold with a mold protection plate interposed therebetween. Then, a high-temperature and high-pressure molten resin is poured into a cavity formed between the two dies. The resin poured into the cavity enters the irregularities of the stamper, becomes a shape in which the irregularities of the stamper are copied, and cools and solidifies. In this process, the stamper shrinks in the radial direction, but the sliding caused by the shrinkage is applied to the mold protection plate, and the mold does not wear at all. When the mold protection plate is worn, it is replaced with a new mold protection plate, but this operation is much easier than the operation of replacing the mold. In addition, since the mold protection plate is much cheaper than the mold, the cost burden is reduced, and the manufacturing cost of the optical disk can be reduced.
[0025]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of the molding apparatus of the present invention. The molding apparatus 100 of the present invention includes a movable mold 110, a fixed mold 120, an outer ring mold 130, a mold protection plate 140, a stamper 150, a cavity 160, a gate member 170 having a gate 171, and a gate cut. A gate cut member 180 having a portion 181 and a resin supply port 190 are provided. An air vent 161 for bleeding air from the cavity 160 is provided between the outer ring mold 130 and the fixed mold 120. The configuration of each part other than the mold protection plate 140 has many parts in common with those described in the conventional example, and therefore, the following description will focus on the different parts.
[0026]
FIG. 2 is a diagram of the surface 110a of the movable mold 110. At the center of the movable mold 110, there is a hole 110b through which the gate cut member 180 is inserted. Outside the hole 110b, an annular suction groove 111 is formed. At the bottom of the suction groove 111, a plurality of suction ports 112 are provided. Has been drilled. The suction port 112 penetrates the movable mold 110 and is connected to a suction device (not shown) such as a vacuum pump.
[0027]
3A and 3B are diagrams of the mold protection plate 140, wherein FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. The mold protection plate 140 has a circular plate shape, and has a hole 141 at the center where the gate cut member 180 is inserted, and six through holes 142 around the hole 141. The mold protection plate 140 is overlapped on the front surface 110a such that the center hole 141 overlaps the hole 110b of the movable mold 110. Then, when they are overlapped, all of the six through holes 142 of the mold protection plate 140 have a positional relationship such that they overlap with the suction grooves 111 of the movable mold 110. As shown in FIG. 1, the manner of overlapping is not limited to a mode in which the entire through-hole 142 overlaps the suction groove 111, and it is sufficient that a part of the through-hole 142 overlaps the suction groove 111.
[0028]
In this embodiment, the through hole 142 is formed in the mold protection plate 140 and the suction groove 111 is formed in the movable mold 110. On the contrary, the through hole 142 is formed to be elongated in an arc shape, and the movable mold is formed. The mold 110 may have a configuration in which only the suction port 112 is formed without forming the suction groove 111. Further, a through-hole may be formed in both the movable mold 110 and the mold protection plate 140, and the two through-holes may be overlapped. It is good also as a structure which sucks a stamper.
[0029]
The material of the mold protection plate 140 is not particularly limited, but it is important that the weight is light and the surface roughness is finished with high precision. From such a viewpoint, in this embodiment, a Si wafer or a SiC wafer is used. Si wafers and SiC wafers are inexpensive because they meet the above two conditions and are supplied in large quantities. In particular, the polishing state of the surface is finished with a precision nearly one digit higher than the precision of the mirror finish of the mold surface. Therefore, there is no problem in terms of accuracy even when used for molding an optical disk.
[0030]
With the movable mold 110 and the fixed mold 120 separated from each other, the mold protection plate 140 is attached to the surface 110a of the movable mold 110, and the stamper 150 is stacked from the outside. Then, the inside of the suction port 112 is sucked by a vacuum device (not shown). Thereby, the suction force is transmitted to the suction port 112 → the suction groove 111 → the through hole 142 of the mold protection plate 140, and the stamper 150 is sucked and fixed to the movable mold 110.
[0031]
FIG. 1 shows a state where the movable mold 110 moves toward the fixed mold 120 to form a cavity 160 having a predetermined shape. The high-temperature, high-pressure molten resin enters the cavity 160 from the resin supply port 190 through the gate 171, and is filled in the cavity 160. At this time, the air in the cavity 160 is discharged outside from the air vent 161 instead. Thereafter, the resin in the cavity 160 is cooled and solidified. When the solidification is completed, the mold is opened, and the optical disk formed in the cavity 160 is taken out.
[0032]
The temperature of the molten resin is about 360 ° C., and the pressure is about 40 MPa. Therefore, the stamper 150 expands due to this heat, and slides on the surface 110a of the mold protection plate 140 while being pressed by the above-mentioned pressure. When the mold protection plate 140 is made of a Si wafer or a SiC wafer, it is easily worn because it is softer than a hard protection film such as TiN. However, since the mold protection plate 140 can be easily replaced, it may be replaced with a spare one when worn.
[0033]
Further, a hard protective film such as TiN, TiCN, DLC or the like may be formed on the surface of a Si wafer or SiC wafer and polished to a desired surface roughness. The hard protective film may be formed only on the surface in contact with the stamper 150, or may be formed on both surfaces.
[0034]
The thickness of the mold protection plate 140 is a thickness that can be used without any problem depending on the temperature and pressure during molding of the optical disc. For example, in the case of a Si wafer or a SiC wafer, it is desirable to be about 0.5 to 5 mm. If it is less than 0.5 mm, it may be too thin and crack. If it exceeds 5 mm, it becomes too heavy for the attraction force and the position becomes unstable. In the example, a 3 mm one was used.
[0035]
It is desirable that the weight of the mold protection plate 140 be light. This is because, when sucked by the decompression means, the lighter the lighter, the more strongly the suction is fixed, and no displacement occurs. On the other hand, if the weight is heavy, the suction by the decompression means will be insufficient, and there is a possibility that displacement will occur during the molding operation.
[0036]
The above-mentioned Si wafer and SiC wafer can be exemplified as those meeting such conditions. Si wafers are characterized by being lightweight. On the other hand, the SiC wafer is heavier than the Si wafer, but has excellent thermal conductivity, and can quickly solidify the molten resin. In addition, amorphous carbon can be used as a material other than the Si wafer or the SiC wafer, but is not limited to these, and various materials can be used.
[0037]
There are optical discs having different diameters such as a normal CD and a single CD among music CDs. In the conventional manufacturing method, the molds are replaced with each other. Therefore, in order to switch from a CD to a single CD and vice versa, the manufacturing apparatus has been stopped for a long time to perform the replacement operation.
[0038]
On the other hand, in the manufacturing apparatus of the present invention, it is possible to switch from a CD to a single CD and vice versa by replacing only the stamper without replacing the mold. The description is given below.
[0039]
The stamper 150 shown in FIG. 1 is for a normal CD. At this time, the diameter of the stamper 150 is D as shown in the figure. If the outer diameter d of the suction groove 111 is smaller than the diameter of the stamper of the single CD, the molding die can suck the stamper for the single CD. Then, if the molten resin is poured into the cavity 160, a single CD can be formed. However, since the size of the cavity 160 remains the same as the size of a normal CD, an extra portion outside is cut after molding.
[0040]
If the same operation is performed using a conventional molding die, when a single CD having a small diameter is molded, the mold is worn at a position on the outer periphery of the stamper having a small diameter, and normal CD molding cannot be performed. On the other hand, in the case of the molding die shown in FIG. 1, since the mold protection plate 140 is used, the die does not wear at all, and it is possible to easily switch to normal CD molding. That is, the molding die shown in FIG. 1 is capable of molding CDs of a plurality of sizes with one die.
[0041]
In the embodiment of the present invention described above, the stamper 150 is held by the movable mold 110, but may be held by the fixed mold 120. In this case, the mold protection plate 140 is provided between the stamper 150 and the fixed mold 120, and the suction groove 111 is also formed in the fixed mold 120.
[0042]
【The invention's effect】
As described above, the molding die of the present invention has a movable-side die and a fixed-side die, and in a molding die capable of supporting a stamper on any one of these surfaces, Since the mold supporting plate is detachably provided on the mold supporting the stamper, the wear of the mold can be reduced to almost zero and the life of the mold and the stamper can be extended. Although the mold protection plate is worn instead of the mold, only the mold protection plate needs to be replaced with a new one. This part is inexpensive, and the replacement work can be performed much easier than the replacement of the mold.
[0043]
One or more through holes are formed in the mold protection plate, a suction groove overlapping the through hole is formed in a mold supporting the mold protection plate, and a decompression means for sucking air from the suction groove is provided, If the stamper is configured to be adsorbed to the mold via the suction groove and the through hole, the stamper can be more strongly fixed to the mold.
[0044]
If a hard protective film is formed on at least the surface of the mold protection plate that contacts the stamper, the wear of the mold protection plate can be reduced, and the life can be extended.
[0045]
If the mold protection plate is formed of a Si wafer, it is possible to obtain a lightweight, inexpensive and highly accurate mirror-finished mold protection plate.
[0046]
If the mold protection plate is formed of a SiC wafer, a mold protection plate having better thermal conductivity than a Si wafer can be obtained, and the molten resin can be cured at an early stage.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view of a molding apparatus using a molding die of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a surface of a movable mold.
3A and 3B are views showing a mold protection plate, wherein FIG. 3A is a plan view and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG.
FIG. 4 is a sectional view showing a conventional molding apparatus.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 100 Molding apparatus 110 Movable mold 111 Suction groove 120 Fixed mold 140 Mold protection plate 142 Through hole 150 Stamper

Claims (8)

可動側金型(110)と、固定側金型(120)とを有し、これらのいずれか一方の表面にスタンパ(150)を支持可能な成形用金型において、前記スタンパを支持する金型に、金型保護板(140)を着脱可能に設けたことを特徴とする成形用金型。A molding die having a movable die (110) and a fixed die (120), and capable of supporting the stamper (150) on one of the surfaces thereof, wherein the die supports the stamper. A mold protecting plate (140) is provided detachably. 前記金型保護板を支持する金型に減圧手段を設け、該減圧手段により前記スタンパ(150)を金型に吸着可能としたことを特徴とする請求項1記載の成形用金型。2. The molding die according to claim 1, wherein a depressurizing means is provided in a die supporting the die protecting plate, and the depressurizing means enables the stamper (150) to be attracted to the die. 前記金型保護板に1以上の貫通孔(142)を穿設し、金型保護板を支持する金型に前記貫通孔と重なる吸引溝(111)を形成し、該吸引溝から空気を吸引する減圧手段を設け、前記吸引溝(111)と貫通孔(142)を介して前記スタンパ(150)を金型に吸着可能としたことを特徴とする請求項1又は2記載の成形用金型。One or more through holes (142) are formed in the mold protection plate, and a suction groove (111) overlapping the through hole is formed in a mold supporting the mold protection plate, and air is sucked from the suction groove. The molding die according to claim 1 or 2, wherein a pressure reducing means is provided so that the stamper (150) can be adsorbed to the die via the suction groove (111) and the through hole (142). . 前記吸引溝の外縁が前記金型保護板を支持する金型の外縁より内側に配置され、金型の外径より小さい径のスタンパを吸着可能としたことを特徴とする請求項3記載の成形用金型。4. The molding according to claim 3, wherein an outer edge of the suction groove is disposed inside an outer edge of the mold supporting the mold protection plate, and a stamper having a diameter smaller than the outer diameter of the mold can be sucked. Mold. 前記金型保護板の少なくとも前記スタンパと接触する面に硬質保護膜を形成したことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の成形用金型。The molding die according to any one of claims 1 to 4, wherein a hard protective film is formed on at least a surface of the die protection plate that contacts the stamper. 前記金型保護板が、Siウエハであることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の成形用金型。The molding die according to any one of claims 1 to 5, wherein the die protection plate is a Si wafer. 前記金型保護板が、SiCウエハであることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の成形用金型。The molding die according to any one of claims 1 to 5, wherein the die protection plate is a SiC wafer. 可動側金型(110)と、固定側金型(120)とを有し、これらのいずれか一方の表面にスタンパ(150)を支持可能な成形用金型に使用され、前記スタンパを支持する金型に着脱可能に支持されることを特徴とする金型保護板。It has a movable mold (110) and a fixed mold (120), and is used for a molding mold capable of supporting a stamper (150) on one of these surfaces, and supports the stamper. A mold protection plate which is detachably supported by a mold.
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