JP2004319518A - 走査型電子顕微鏡装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004319518A JP2004319518A JP2004214292A JP2004214292A JP2004319518A JP 2004319518 A JP2004319518 A JP 2004319518A JP 2004214292 A JP2004214292 A JP 2004214292A JP 2004214292 A JP2004214292 A JP 2004214292A JP 2004319518 A JP2004319518 A JP 2004319518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning electron
- optical microscope
- electron microscope
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用する様にすると共に、レーザ光線により走査型電子顕微鏡の走査中心位置を示し、観察部位の特定作業を容易にする。
【解決手段】
走査型電子顕微鏡3に設けられた試料室4の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料5上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡19を設け、長焦点距離光学顕微鏡による画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段36を設けた。
【選択図】 図1
Description
図2により、光学顕微鏡像と走査型電子顕微鏡像との関係を説明する。
光学顕微鏡の取付位置は、図2の条件を施せばどこでもよいかというと、そうではなく、以下の制約を満たす為には、所定の取付位置が決定される。
CCDカメラを180°回転させて取付け、光学顕微鏡像の天地左右を走査型電子顕微鏡像に一致させることができる。
(B)走査型電子顕微鏡の走査軸を回転させる
走査型電子顕微鏡のもつ走査軸回転機能(スキャンローテーション)により、180°走査軸を回転させ、光学顕微鏡像と合わせる。
3 走査型電子顕微鏡
4 試料室
5 試料
7 2次電子検出器
16 試料台
17 反射電子検出器
19 光学顕微鏡
21 同軸照明ユニット
22 冷光照明光源
23 ファイバケーブル
24 カラーCCDカメラ
25 カラーモニタ
26 画像処理装置
27 スイッチング回路
29 CRT
31 3角スライドブロック
32 凹面スライド座
35 可動ミラー
36 レーザ光線発光手段
Claims (1)
- 走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡を設け、長焦点距離光学顕微鏡による画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214292A JP4004490B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 走査型電子顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214292A JP4004490B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 走査型電子顕微鏡装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7097802A Division JPH08273578A (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 走査型電子顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004319518A true JP2004319518A (ja) | 2004-11-11 |
JP4004490B2 JP4004490B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=33475813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004214292A Expired - Lifetime JP4004490B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 走査型電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4004490B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1979926A2 (de) * | 2006-02-03 | 2008-10-15 | Carl Zeiss NTS GmbH | Fokussier- und positionierhilfseinrichtung für ein teilchenoptisches rastermikroskop |
JP2012015029A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
JP2012015028A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
US8351115B2 (en) | 2008-10-15 | 2013-01-08 | Kabushiki Kaisha Topcon | Complex type microscopic device |
DE112010005353T5 (de) | 2010-03-05 | 2013-01-24 | Hitachi High-Technologies Corporation | Verfahren zum Überlagern und Anzeigen einer elektronenoptischen Abbildung und einer optischen Abbildung |
WO2013035866A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 生物試料をそのままの姿で観察するための電子顕微鏡による観察方法とそれに用いられる真空下での蒸発抑制用組成物、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡 |
CN109745006A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-14 | 北京超维景生物科技有限公司 | 分离式吸附装置、显微镜探测装置及激光扫描显微镜 |
WO2024051009A1 (zh) * | 2022-09-06 | 2024-03-14 | 纳克微束(北京)有限公司 | 一种基于多重扫描的三维成像*** |
-
2004
- 2004-07-22 JP JP2004214292A patent/JP4004490B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009525571A (ja) * | 2006-02-03 | 2009-07-09 | カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー | 粒子光学式走査顕微鏡のための焦点合わせおよび位置決め補助装置 |
US7888643B2 (en) | 2006-02-03 | 2011-02-15 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Focusing and positioning device for a particle-optical raster microscope |
EP1979926A2 (de) * | 2006-02-03 | 2008-10-15 | Carl Zeiss NTS GmbH | Fokussier- und positionierhilfseinrichtung für ein teilchenoptisches rastermikroskop |
US8351115B2 (en) | 2008-10-15 | 2013-01-08 | Kabushiki Kaisha Topcon | Complex type microscopic device |
DE112010005353T5 (de) | 2010-03-05 | 2013-01-24 | Hitachi High-Technologies Corporation | Verfahren zum Überlagern und Anzeigen einer elektronenoptischen Abbildung und einer optischen Abbildung |
JP2012015029A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
JP2012015028A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
WO2013035866A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 生物試料をそのままの姿で観察するための電子顕微鏡による観察方法とそれに用いられる真空下での蒸発抑制用組成物、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡 |
JPWO2013035866A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2015-03-23 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 生物試料をそのままの姿で観察するための電子顕微鏡による観察方法とそれに用いられる真空下での蒸発抑制用組成物、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡 |
US9557253B2 (en) | 2011-09-09 | 2017-01-31 | Japan Science And Technology Agency | Electron microscopic observation method for observing biological sample in shape as it is, and composition for evaporation suppression under vacuum, scanning electron microscope, and transmission electron microscope used in the method |
CN109745006A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-14 | 北京超维景生物科技有限公司 | 分离式吸附装置、显微镜探测装置及激光扫描显微镜 |
CN109745006B (zh) * | 2019-01-31 | 2024-03-15 | 北京超维景生物科技有限公司 | 分离式吸附装置、显微镜探测装置及激光扫描显微镜 |
WO2024051009A1 (zh) * | 2022-09-06 | 2024-03-14 | 纳克微束(北京)有限公司 | 一种基于多重扫描的三维成像*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4004490B2 (ja) | 2007-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101241087B (zh) | 用于通过粒子束和光学显微镜观测样品的设备 | |
US7285776B2 (en) | Scanning transmission electron microscope and electron energy loss spectroscopy | |
JP5205306B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
US7888643B2 (en) | Focusing and positioning device for a particle-optical raster microscope | |
JP6462188B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
EP1882967B1 (en) | Scanning examination apparatus | |
JP4004490B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡装置 | |
US10720303B2 (en) | Charged particle beam apparatus and alignment adjustment method of sample stage | |
JPH08273578A (ja) | 走査型電子顕微鏡装置 | |
US6800853B2 (en) | Electron microscope and method of photographing TEM images | |
US6031230A (en) | Reflected electron detector and a scanning electron microscope device using it | |
JP4574758B2 (ja) | 顕微鏡画像観察装置 | |
US6573502B2 (en) | Combined electron microscope | |
JP6255305B2 (ja) | 光学顕微装置 | |
JP2007052972A (ja) | 荷電粒子線装置システム | |
JP4456962B2 (ja) | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
JP2002122552A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP3573508B2 (ja) | 共焦点走査型光学顕微鏡 | |
JP2005173561A (ja) | カラー画像取得方法及び共焦点レーザ顕微鏡 | |
JP3270627B2 (ja) | 電子ビームマイクロアナライザーにおける試料の高さ表示方法 | |
JPH0756788B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2002279926A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
JP2011076960A (ja) | 電子顕微鏡における薄膜試料位置認識装置 | |
JP2913807B2 (ja) | 電子線照射型分析装置 | |
JP2003207469A (ja) | 電子プローブマイクロアナライザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070807 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |