JP2004301821A - X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 - Google Patents
X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004301821A JP2004301821A JP2003351751A JP2003351751A JP2004301821A JP 2004301821 A JP2004301821 A JP 2004301821A JP 2003351751 A JP2003351751 A JP 2003351751A JP 2003351751 A JP2003351751 A JP 2003351751A JP 2004301821 A JP2004301821 A JP 2004301821A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- target
- substrate
- rays
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のX線および高エネルギー粒子発生装置は、高出力短パルスレーザ装置1と、レーザ光入射用透明窓3と出射用真空ポート9とを有し内部に集光レンズ4とターゲット5とターゲット駆動装置8とが配置され真空排気された真空容器7とから構成されており、ターゲット5がナノメートルサイズの隙間を形成する多数のカーボンナノチューブで構成され、これらのカーボンナノチューブは、レーザ光が侵入可能な表皮厚の2倍以下の外径を有する。
【選択図】 図1
Description
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
さらに、炭素繊維を配設する基板を構成する物質を換えることで、基板を構成する原子の種類に応じた様々な波長の特性X線が得られ、使用目的に合わせて高強度X線パルスの波長を選択することができる。
さらに、カーボンナノチューブを構成する炭素は、X線顕微鏡への利用で重要な「水の窓」X線領域に強い発光線を有するので、本発明によるX線及び高エネルギー粒子発生装置は、変換効率の向上によるX線強度の大幅な向上と相まって、容易にX線顕微鏡用のX線源として利用できるという効果が得られる。
図1は、本発明にかかるX線及び高エネルギー粒子発生装置の実施の形態を示す構成図である。図1に示すように、本実施の形態のX線及び高エネルギー粒子発生装置は、高出力短パルスレーザ装置1と、レーザ光入射用透明窓3と出射用真空ポート9とを有し内部に集光レンズ4とターゲット5とターゲット駆動装置8とが配置され真空排気された真空容器7とから構成されている。なお、ターゲット5は真空容器7内に設置されているが、これは軟X線の空気による減衰を防ぐためであり、硬X線や高エネルギー粒子を発生させる場合には、真空容器7は必ずしも必要としない。また、集光レンズの代わりに集光ミラーを用いることもできる。
図6は、図1のX線及び高エネルギー粒子発生装置によって発生したシリコン特性KαX線のスペクトル強度を示すグラフである。ここで、図6に示すグラフは、基板にシリコンを用いた垂直配向ターゲットと、カーボンナノチューブを形成しない裸のシリコン基板とからなるターゲットについて、シリコン特性のKαX線の強度を比較したものであり、実線が垂直配向ターゲットのデータを示し、点線がシリコン基板のみからなるターゲットのデータを示す。この測定は、図1で示したX線及び高エネルギー粒子発生装置の真空容器内で発生したX線から、図示しないベリリウムフィルタで1KeV以下のエネルギーを持つ光を除去し、球面マイカ結晶にて1.74KeVのエネルギーを持つシリコンの特性KαX線を分光してX線CCDカメラにて観測することにより行った。
レーザ光をシリコン基板の表面にカーボンナノチューブが配設されたターゲットに照射すると、カーボンナノチューブから高エネルギー電子が大量に発生し、この高エネルギー電子がカーボンナノチューブで被覆されたシリコン基板を構成するシリコン原子と衝突する。すると、そのシリコン原子からは、カーボンナノチューブから大量に発生した高エネルギー電子の作用により、より増強されたシリコン特性X線が発生する。したがって、上述したように、シリコン基板の表面にカーボンナノチューブを形成したターゲットにレーザ光を照射すると、裸のシリコン基板のターゲットよりも増強されたシリコン特性KαX線が発生すると考えられる。
また、炭素繊維は、基板上において少なくともレーザが照射される範囲に形成されていればよい。
さらに、基板サイズは、製造装置の反応室の大きさで決定される。
ここで、電着法とは、例えば、アーク放電等の方法で生成したカーボンナノチューブを、硝酸中で還流して触媒金属等の不純物を取り除き、イソプロピルアルコール(IPA)等の溶媒中に入れ、超音波や界面活性剤を用いてIPA中に均一に分散させた電着溶液を作製し、基板とステンレスからなる対向電極とを、所定の間隔を空けて平行になるように電着溶液中に設置し、所定のVの電圧を所定時間加えた後、基板を電着溶液から引き出し、乾燥させることにより、基板にカーボンナノチューブを被覆させる方法である。
また、スプレー法は、例えば、電着法の場合と同様、カーボンナノチューブをIPA等の溶媒中に均一に分散させた溶液を作製し、この溶液をエアブラシにより、所定のエア圧力でエアブラシの吹きだし口から所定の距離だけ離間した基板に吹き付けることにより基板にカーボンナノチューブを被覆させる方法である。ここで、あらかじめ基板を加熱しておいて、溶液が蒸発し易くしておいてもよい。すると、基板上には、上述した電着法や熱CVD法の場合と同様の被膜が生成される。
さらに、スピンコーティング法は、例えば、カーボンナノチューブを分散させた有機溶媒を、高速で回転する基板に滴下させて基板上に一様に塗布した後、紫外線、電子線、赤外線(熱)等を基板に照射して有機溶媒を蒸発させることにより、基板上にカーボンナノチューブを被覆させる方法である。
表皮厚の2倍を超えるものがあってもよい。
Claims (16)
- ターゲットにレーザ光を照射してプラズマ化させX線及び高エネルギー粒子を発生させるX線及び高エネルギー粒子発生装置において、
前記ターゲットは、
ナノメートルサイズの隙間を形成する多数の炭素繊維で構成されている
ことを特徴とするX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記ターゲットは、前記炭素繊維により被覆された基板を備える
ことを特徴とする請求項1記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記炭素繊維は、
前記レーザ光が侵入可能な表皮厚の2倍以下の外径を有する
ことを特徴とする請求項1または2記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記炭素繊維は、
カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記カーボンナノチューブは、
基板上に無配向で形成されている
ことを特徴とする請求項4記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記カーボンナノチューブは、
基板上に形成され、かつこの基板に対して垂直配向した多層カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項4記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記炭素繊維は、50nm〜1000nmの範囲の間隔で前記ナノメートルサイズの隙間を形成する
ことを特徴とする請求項1記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - 前記基板は、シリコンである
ことを特徴とする請求項2記載のX線及び高エネルギー粒子発生装置。 - ターゲットにレーザ光を照射してプラズマ化させX線及び高エネルギー粒子を発生させるX線及び高エネルギー粒子発生方法であって、
前記ターゲットとして、ナノメートルサイズの隙間を形成する多数の炭素繊維で構成されているターゲットを用いる
ことを特徴とするX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記ターゲットは、前記炭素繊維により被覆された基板を備える
ことを特徴とする請求項9記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記炭素繊維は、
前記レーザ光が侵入可能な表皮厚の2倍以下の外径を有する
ことを特徴とする請求項9または10記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記炭素繊維は、
カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記カーボンナノチューブは、
基板上に無配向で形成されている
ことを特徴とする請求項12記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記カーボンナノチューブは、
基板上に形成され、かつこの基板に対して垂直配向した多層カーボンナノチューブである
ことを特徴とする請求項12記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記炭素繊維は、50nm〜1000nmの範囲の間隔で前記ナノメートルサイズの隙間を形成する
ことを特徴とする請求項9記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。 - 前記基板は、シリコンである
ことを特徴とする請求項10記載のX線及び高エネルギー粒子発生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003351751A JP4005551B2 (ja) | 2003-03-19 | 2003-10-10 | X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003075651 | 2003-03-19 | ||
JP2003351751A JP4005551B2 (ja) | 2003-03-19 | 2003-10-10 | X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004301821A true JP2004301821A (ja) | 2004-10-28 |
JP4005551B2 JP4005551B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=33421862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003351751A Expired - Fee Related JP4005551B2 (ja) | 2003-03-19 | 2003-10-10 | X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4005551B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006242647A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 高エネルギー粒子発生方法及び高エネルギー粒子発生装置 |
JP2009014671A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザプラズマイオン源用ターゲットおよびレーザプラズマイオン発生装置 |
JP2011108641A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-06-02 | Japan Atomic Energy Agency | プラズマシャッター形成装置および形成方法 |
KR101223811B1 (ko) | 2010-12-31 | 2013-01-17 | 부산대학교 산학협력단 | 급격하게 세기가 증가하는 레이저 펄스를 이용한 고출력 극초단 엑스선 펄스의 발생 방법 |
WO2022217450A1 (zh) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 激光等离子体加速机制产生软x射线的碳固体靶及应用 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6946692B2 (ja) * | 2017-03-29 | 2021-10-06 | 株式会社Ihi | X線発生装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117246A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 高輝度x線発生用標的 |
JPS63128536A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-06-01 | Seiko Epson Corp | X線源 |
JPH07306300A (ja) * | 1994-05-11 | 1995-11-21 | Rikagaku Kenkyusho | X線源 |
JPH08213191A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線変調装置およびその変調方法 |
JPH11281597A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Agency Of Ind Science & Technol | 光電子分光装置及び表面分析法 |
JP2000277292A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線発生用ターゲット |
JP2002107499A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 高エネルギー粒子の発生方法およびこれを利用した放射化分析方法と、高エネルギー粒子発生装置および放射化分析装置 |
-
2003
- 2003-10-10 JP JP2003351751A patent/JP4005551B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117246A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 高輝度x線発生用標的 |
JPS63128536A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-06-01 | Seiko Epson Corp | X線源 |
JPH07306300A (ja) * | 1994-05-11 | 1995-11-21 | Rikagaku Kenkyusho | X線源 |
JPH08213191A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線変調装置およびその変調方法 |
JPH11281597A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Agency Of Ind Science & Technol | 光電子分光装置及び表面分析法 |
JP2000277292A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線発生用ターゲット |
JP2002107499A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 高エネルギー粒子の発生方法およびこれを利用した放射化分析方法と、高エネルギー粒子発生装置および放射化分析装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006242647A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 高エネルギー粒子発生方法及び高エネルギー粒子発生装置 |
JP2009014671A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザプラズマイオン源用ターゲットおよびレーザプラズマイオン発生装置 |
JP2011108641A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-06-02 | Japan Atomic Energy Agency | プラズマシャッター形成装置および形成方法 |
KR101223811B1 (ko) | 2010-12-31 | 2013-01-17 | 부산대학교 산학협력단 | 급격하게 세기가 증가하는 레이저 펄스를 이용한 고출력 극초단 엑스선 펄스의 발생 방법 |
WO2022217450A1 (zh) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 激光等离子体加速机制产生软x射线的碳固体靶及应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4005551B2 (ja) | 2007-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20120228523A1 (en) | Biological laser plasma x-ray point source | |
Baum | On the physics of ultrashort single-electron pulses for time-resolved microscopy and diffraction | |
JP5073146B2 (ja) | X線発生方法および装置 | |
US8009350B2 (en) | Laptop-size high-order harmonic generation apparatus using near field enhancement | |
JP2012513085A (ja) | 高速イオンを発生させるためのシステム及び方法 | |
Ishino et al. | Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse | |
Nishikawa et al. | Efficient water-window X-ray pulse generation from femtosecond-laser-produced plasma by using a carbon nanotube target | |
Gheorghiu et al. | Fabrication of micrometre-sized periodic gratings in free-standing metallic foils for laser–plasma experiments | |
Vinokhodov et al. | Droplet-based, high-brightness extreme ultraviolet laser plasma source for metrology | |
JP4005551B2 (ja) | X線及び高エネルギー粒子発生装置とその発生方法 | |
Bartnik et al. | Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10 Hz laser-plasma radiation source | |
Vogt et al. | Scaling-up a liquid water jet laser plasma source to high average power for extreme-ultraviolet lithography | |
CN114624959A (zh) | 一种高效率极紫外辐射产生方法及*** | |
Kozlov et al. | Effect of Pressing on Luminescence Spectra of Fumed Silica | |
JP3480695B2 (ja) | X線発生用ターゲット | |
Nishikawa et al. | Enhanced water-window x-ray pulse generation from femtosecond-laser-produced plasma with a carbon nanotube target | |
Zhang et al. | Enhancement of 6.7 nm EUV emission from laser-produced Gd plasma with micro-structured target | |
KR100557754B1 (ko) | 나노분말을 함유하는 하이브리드 타겟을 이용한 연질엑스선 발생 장치 | |
Vallières et al. | Laser-driven proton acceleration with nanostructured targets | |
Fiedorowicz et al. | Application of laser plasma sources of soft x-rays and extreme ultraviolet (EUV) in imaging, processing materials and photoionization studies | |
JP2006172898A (ja) | レーザープラズマx線発生装置 | |
Barte et al. | Enhancement of extreme ultraviolet emission from laser irradiated targets by surface nanostructures | |
JP2023544682A (ja) | 超流動体ヘリウム液滴のレーザ照射によってx線を発生させる装置及び方法 | |
Gordienko et al. | Femtosecond plasma in dense nanostructured targets: new approaches and prospects | |
Bugrov et al. | Experimental Study of Laser Interaction with Fibrous and Foam‐Like Materials |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060406 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070529 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070823 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |