JP2004281595A - 固体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】励起用レーザ光供給手段5からの励起用レーザ光7を吸収して光励起させる、Ybを添加したタングステン酸カリウム系結晶1を備えた固体レーザ装置Aであって、前記タングステン酸カリウム系結晶1の励起レーザ光入射側の端面9に、発振波長における光の反射率が99.4%以上で、かつ、励起波長における光の透過率が90%以上である第1誘電体多層膜3が蒸着されている。タングステン酸カリウム系結晶のレーザ光出射側の端面10には、発振波長の光を透過し、かつ、励起波長における光の反射率が99.9%以上である第2誘電体多層膜4が蒸着されている。タングステン酸カリウム系結晶1の励起レーザ光入射側に、光透過性の放熱手段2が固定されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、加工用レーザ装置、学術研究用レーザ装置などの固体レーザ発生装置や、高密度記録媒体である光ディスク等の記録並びに再生を目的としたレーザ装置などに利用される固体レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
これまでに知られている、Nd(ネオジム)を添加したY3 Al5 O12 結晶を半導体レーザ光で励起する場合、励起波長808nmに対してレーザ発振波長は1064nmである。従って、フォトンエネルギーの比である量子効率は76%となり、当然にレーザの光−光変換効率は76%までにとどまる。これに伴って、吸収された励起パワーの24%(熱発生率)は不可逆的に熱に変換される。
【0003】
一方で、Nd以外のレーザ活性イオンを用いた波長1ミクロン帯の固体レーザの研究開発が活性化している。その中で、Yb (イッテルビウム )系の固体レーザ装置、特にYbを添加したY3 Al5O12 結晶(Yb:YAG)を用いたものは、940nmないし970nmの半導体レーザ光で励起して1030nmの発振レーザ光を出射し、前述の量子効率が90%を超えるため本質的に効率が良いことで知られている。
【0004】
しかしながら、Yb:YAG結晶はレーザ下準位に全Ybイオン数の5%ものイオンが熱励起された状態にあるため、レーザ発振に必要な反転分布を形成しにくいという不具合がある。更に、レーザ下準位が温度依存性を持つので、当然にレーザ発振閾値や出力特性も温度依存性を持つ。そのため、下記の特許文献1に示されたように、Yb:YAG結晶を−100℃で動作させる温度制御・冷却装置を備える必要がある。従って、装置が大型になり生産現場などに設置することが困難なため実用的でない。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−294520号公報
【0006】
他方で、Ybを添加したタングステン酸イットリウムカリウム結晶(Yb:KY(WO4)2)は量子効率が極めて高く蛍光幅が広いため、準四準位系の高効率レーザ媒質として期待されている。但し、励起波長981nmが発振波長1022nmと極めて近いため、レーザ光軸方向の端面間が短い結晶でのレーザ発振が困難である。
そこで、Yb:KY(WO4)2結晶の励起レーザ光入側端面に蒸着膜を蒸着し、この蒸着膜を共振器の後部鏡として利用する試みがなされている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記の蒸着膜は、図7に示した分光スペクトルのように、発振波長で高反射となっているのに対し、励起波長においては損失が20%以上あるために発振閾値が上がり、マイクロチップ化に必要な、いわゆる端面励起ができない。この問題を回避するために、従来はブリュースタ角に加工した結晶を共振器内に設置して励起を行っていたが、装置が大掛かりになるという欠点があった。
【0008】
そこで、前記のブリュースタ角に加工した結晶の使用を省くために、結晶のレーザ光出射側端面に無反射コートが蒸着される。この無反射コートは、図8の分光スペクトル中の矢印Kで示すように、励起波長(980nm)においてほとんど反射しない。そのため、レーザ光出射側に外部鏡を設けなければならず、かえって共振器の小型化を妨げる一因になっていた。
【0009】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであって、実用的な性能を有する端面励起方式の構成でありながら、共振器長が短い小型の固体レーザ装置の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る固体レーザ装置は、励起用レーザ光供給手段からの励起用レーザ光を吸収して光励起させる、Ybを添加したタングステン酸カリウム系結晶を備えた固体レーザ装置であって、前記タングステン酸カリウム系結晶の励起レーザ光入射側の端面に、発振波長における光の反射率が99.4%以上で、かつ、励起波長における光の透過率が90%以上である第1誘電体多層膜が蒸着された構成にしてある。
【0011】
また、前記構成に加えて、前記タングステン酸カリウム系結晶のレーザ光出射側の端面に、発振波長の光を部分透過し、かつ、励起波長における光の反射率が99.9%以上である第2誘電体多層膜が蒸着されたものである。
【0012】
そして、前記した各構成において、前記タングステン酸カリウム系結晶の励起レーザ光入射側に、光透過性の放熱手段を設けたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、以下に述べる実施形態は本発明を具体化した一形態に過ぎず、本発明の技術的範囲を限定するものでない。ここに、図1は本発明の一実施形態に係る固体レーザ装置の概略構成図である。
図において、この実施形態に係る固体レーザ装置Aは、結晶全体で原子数比5%のイッテルビウム(Yb)を添加したタングステン酸イットリウムカリウム結晶(5at.% Yb:KY(WO4)2、結晶1)を有して成る共振器Bと、この結晶1の後方に配置された励起用レーザ光出射手段5と、結晶1と励起用レーザ光供給手段5の間に配置されて励起用レーザ光供給手段5からの励起用レーザ光7を集光して共振器Bに供給するレンズ6とを備えている。この固体レーザ装置Aは励起レーザ光軸と出射レーザ光軸が平行(この例では同軸)な端面励起方式に構成されている。結晶1の偏光方向はE//aである。E//aは光の電場Eと結晶1のa軸が平行であることを示している。また、この結晶1は立方晶系で2回対称軸を有する結晶(C2/c)である。
【0014】
結晶1の励起レーザ光入射側の端面9には第1誘電体多層膜3が蒸着されている。この第1誘電体多層膜3は公知の真空蒸着法により高屈折率膜と低屈折率膜を交互に蒸着して積層したものである。この場合、第1誘電体多層膜3は、発振波長(1020nmから1140nm)における反射率が99.4%以上で、かつ、励起波長(980nm)における透過率が90%以上となるように、前記の高屈折率膜および低屈折率膜の膜材料、膜厚、および積層数がそれぞれ設定されている。
ここでは、例えば、高屈折率膜と低屈折率膜の積層数を合計で約80層とした。高屈折率膜は五酸化タンタル(Ta2O5)を膜材料として成膜し、低屈折率膜は酸化ケイ素(SiO2)を膜材料として成膜した。そして、高屈折率膜の膜厚はλ(設計波長)/4を目標値とし、このλ/4から微小に変えてある。また、低屈折率膜も、高屈折率膜と同様に各層の膜厚を調整してある。これらにより、前記した特徴的な反射率範囲および透過率範囲を有する第1誘電体多層膜3を得ることができた。
【0015】
前記の第1誘電体多層膜3と対向する、結晶1のレーザ光出射側の端面10には第2誘電体多層膜4が蒸着されている。この第2誘電体多層膜4も第1誘電体多層膜3と同じ成膜法(真空蒸着法)により高屈折率膜と低屈折率膜が交互に蒸着して形成されていて、発振波長(中心波長1020nm)の光を部分透過し、かつ、励起波長(980nm)における光の反射率が99.9%以上となるように、高屈折率膜および低屈折率膜の膜材料(Ta2O5/SiO2)、膜厚(λ/4を目標値として各層ごとに微小に変化させた)、および積層数(約80層)がそれぞれ設定されている。
【0016】
上記の結晶1は前後方向の長さL(すなわち、第1誘電体多層膜3と第2誘電体多層膜4間の寸法)が例えば1mmとなるように形成されている。また、励起用レーザ光供給手段5は例えば波長980.8nmのTi:サファイアレーザ光(励起用レーザ光7)を出射するようになっている。そして、誘電体多層膜3の後面には光透過性の放熱手段2が取り付けられている。この放熱手段2は例えばサファイアから成り、光学接着剤により誘電体多層膜3の後面に固定されている。
【0017】
下記の表1に、本実施形態に用いた、Ybを添加したタングステン酸イットリウムカリウム結晶(Yb:KY(WO4)2 、結晶1)の分光特性に係るパラメータを示す。従来汎用の、Ybを添加したY3 Al5 O12 (Yb:YAG)結晶の分光特性も比較して示す。
結晶1の最小励起率βminはYb:YAGと比べて高いため反転分布形成が困難になるが、高い吸収断面積を反映して励起光飽和強度が低くなる。そのため、反転分布形成に必要な最小励起強度IminはYb:YAGの数分の1となり、発振閾値を低く抑えることが可能になる。また、波長981nmでの吸収が強く、この波長における励起が実用的に可能なため、スロープ効率が高くなる。さらに、蛍光幅△λeがYb:YAGの約1.7倍と広く、超短パルス発生にも適している。
【0018】
【表1】
【0019】
続いて、上記のように構成された固体レーザ装置Aの動作を説明する。まず、励起用レーザ光供給手段5から出射された励起用レーザ光7はレンズ6により集光されたのち放熱手段2および第1誘電体多層膜3を透過しスポット径63μmで結晶1に照射される。結晶1に照射された励起用レーザ光7は第1誘電体多層膜3および第2誘電体多層膜4で反射しながら結晶1でレーザ励起されることにより、波長1020nmの出射レーザ光8として第2誘電体多層膜4から放射される。
【0020】
この実施形態の固体レーザ装置Aにおける入出力特性を図2に示す。図2によれば、発振波長1022nmのレーザ光出力が発振閾値386mW(吸収励起パワー)で得られ、最大出力が56mWであり、スロープ効率(吸収励起パワーに対する出力の比)は45%であった。
【0021】
第1誘電体多層膜3の透過率特性を図3に示す。この第1誘電体多層膜3の透過率特性および後述する第2誘電体多層膜4の透過率特性は汎用の光スペクトラムアナライザ(分光器)を用いて測定した。
図3のグラフによると、第1誘電体多層膜3は波長980nm(グラフ中の曲線上の矢印Fで示す)での光の透過率が90%であり、波長1020nm(グラフ中の曲線上の矢印Gで示す)での光の反射率が99.5%であった。
【0022】
第2誘電体多層膜4の透過率特性を図4に示す。図4のグラフによれば、波長980nm(グラフ中の曲線上の矢印Hで示す)での光の透過率がほぼ0(反射率≒100%)であった。これにより、励起用レーザ光7は100%近くが結晶1に吸収されて励起されることがわかる。一方、波長1020nm(グラフ中の曲線上の矢印Jで示す)での光の反射率は98%であるため、中心波長1020nmのレーザ光8が出射される。
【0023】
上記したように、本実施形態に係る固体レーザ装置Aにおいて、結晶1の励起レーザ光入射側の結晶端面に形成された第1誘電体多層膜3は、励起光に対して高透過で損失が小さく、1020nmの光に対して高反射の特性を有しているため、質の良い端面励起に適した後部鏡となる。これと対向するレーザ光出射側の結晶端面に形成された第2誘電体多層膜4は、励起光に対して高反射であり、出射レーザ光に対して部分透過性を有しているために効率の良い出力鏡となる。
【0024】
従って、第1誘電体多層膜3と第2誘電体多層膜4の存在により結晶1での吸収効率が一定以上に確保されるから、第1誘電体多層膜3〜第2誘電体多層膜4間の結晶1の長さLが短くて済む。これにより、結晶1の長さL(共振器長)を1mm以下とした、いわゆるマイクロチップレーザを実現できたのである。
また、本実施形態に用いた結晶1は量子効率ひいては光−光変換効率が高いために、元来、レーザ動作時の発熱が少ないが、加えてサファイア製の放熱手段2を備えているので、結晶1の熱障害を確実に抑止することができる。
【0025】
尚、上記の実施形態では放熱手段としてサファイアを例示したが、本発明の放熱手段はサファイアに限らず、熱伝導性が良く、励起波長の光に対し透過率の良い結晶を用いることができる。
【0026】
あるいは、図5に示すように、放熱手段を備えていない共振器B1を有する固体レーザ装置A1も本発明に含まれる。かかる構成の場合でも、本発明で用いた、Ybを添加したタングステン酸カリウム系結晶は、Yb:YAGなどと比べ吸収効率がよくエネルギ損失が少ないから、放熱手段を用いなくても実用化が可能である。
【0027】
更には、図6に示すように、結晶1のレーザ光出射側端面に第2誘電体多層膜4のない共振器B2を有する固体レーザ装置A2も、本発明に含まれる。かかる構成の場合には、結晶1のレーザ光出射側に光部分透過性の外部鏡11が配備される。
【0028】
そして、本発明に用いるタングステン酸カリウム系結晶としては、Ybを添加したKY(WO4)2結晶に限らない。例えば、Ybを添加したタングステン酸カリウムガドリニウム結晶(Yb:KGd(WO4)2)を用いることもできる。尚、タングステン酸カリウム系結晶の切断方向は、結晶軸のa軸,b軸,c軸のいずれであっても良い。
【0029】
他方、第1誘電体多層膜と第2誘電体多層膜における高屈折率膜と低屈折率膜を成膜する方法としては、前記した真空蒸着法に限るものでなく、他に例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、溶融法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法、電子ビーム法、イオンビーム法など、公知の方法を用いることができる。
また、第1誘電体多層膜と第2誘電体多層膜における高屈折率膜と低屈折率膜を構成する膜材料としては、既述したTa2O5/SiO2に限らない。すなわち、他の膜材料として、高屈折率膜用では例えばZrO2,TiO2,Ta2O3,Nb2O5,HfO2,CeO2などが挙げられ、低屈折率膜用では例えばAl2O3,GeO2,Y2O3,MgF2,AlF3などが挙げられる。また、第1誘電体多層膜の膜材料と第2誘電体多層膜の膜材料は、異なる種類の材料を用いても構わない。
高屈折率膜と低屈折率膜の積層数は特に限定されないが、例えば二十数層から二百数十層とすることが好ましい。積層数が二十数層を下回ると、本発明の特徴的な所定反射率と所定透過率が得られなくなるおそれがある。逆に、積層数が多すぎて二百数十層を超えると、製造コストが高騰して現実的でなくなる。
【0030】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、Ybを添加したタングステン酸カリウム系結晶のように励起波長と発振波長が極めて近いレーザ媒質(量子損失は4%未満)をマイクロチップレーザ化するにあたり、少なくとも励起レーザ光入射側端面での損失を抑えて吸収効率の良い共振器を構成したため、効率の良い小型の固体レーザ装置を実現できた。かかる本発明の固体レーザ装置を用いることにより、小型化された半導体レーザ励起の超短パルスレーザ、インジェクションシーディング、モードロックレーザへの応用が期待できる。更には、加工レーザ装置、学術研究用レーザ装置として利用される固体レーザ発生装置、高密度記録媒体である光ディスクの記録並びに再生を目的とするレーザ装置といった産業分野での応用が期待できる。
【0031】
また、前記した第1誘電体多層膜のみならず、レーザ光出射側の端面にも第2誘電体多層膜を設けた場合は、よりいっそうの小型化を図ることができる。
【0032】
そして、共振器の励起レーザ光入射側に光透過性の放熱手段を設けた場合は、高熱による結晶歪増大や結晶格子損傷などを確実に防いでレーザ性能の低下を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る固体レーザ装置の概略構成図である。
【図2】本実施形態による固体レーザ装置の入出力特性を示すグラフである。
【図3】本実施形態による第1誘電体多層膜における分光スペクトルを示すグラフである。
【図4】本実施形態による第2誘電体多層膜における分光スペクトルを示すグラフである。
【図5】本発明の別の実施形態に係る固体レーザ装置の概略構成図である。
【図6】本発明の他の実施形態に係る固体レーザ装置の概略構成図である。
【図7】従来技術による励起レーザ光側の誘電体多層膜における分光スペクトルを示すグラフである。
【図8】従来技術によるレーザ光出射側の無反射コートにおける分光スペクトルを示すグラフである。
【符号の説明】
A,A1,A2 固体レーザ装置
B,B1,B2 共振器
1 結晶
2 放熱手段
3 第1誘電体多層膜
4 第2誘電体多層膜
5 励起用レーザ光供給手段
7 励起用レーザ光
8 出射レーザ光
9 端面
10 端面
Claims (3)
- 励起用レーザ光供給手段からの励起用レーザ光を吸収して光励起させる、Ybを添加したタングステン酸カリウム系結晶を備えた固体レーザ装置であって、前記タングステン酸カリウム系結晶の励起レーザ光入射側の端面に、発振波長における光の反射率が99.4%以上で、かつ、励起波長における光の透過率が90%以上である第1誘電体多層膜が蒸着されていることを特徴とする固体レーザ装置。
- 前記タングステン酸カリウム系結晶のレーザ光出射側の端面に、発振波長の光を部分透過し、かつ、励起波長における光の反射率が99.9%以上である第2誘電体多層膜が蒸着されていることを特徴とする請求項1に記載の固体レーザ装置。
- 前記タングステン酸カリウム系結晶の励起レーザ光入射側に、光透過性の放熱手段を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体レーザ装置。
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2003
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