JP2004260214A - 現像装置および現像方法 - Google Patents
現像装置および現像方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004260214A JP2004260214A JP2004165440A JP2004165440A JP2004260214A JP 2004260214 A JP2004260214 A JP 2004260214A JP 2004165440 A JP2004165440 A JP 2004165440A JP 2004165440 A JP2004165440 A JP 2004165440A JP 2004260214 A JP2004260214 A JP 2004260214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- discharge nozzle
- nozzle
- developer
- discharging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】 現像処理時に基板100を基板保持部1により静止状態で保持する。現像液吐出ノズル11をリンス液吐出ノズル12とともに基板100外の一方側の位置から基板100上を通過して基板100外の他方側の位置へ移動させつつ現像液吐出ノズル11により現像液を基板100上に供給する。その後、現像液吐出ノズル11をリンス液吐出ノズル12とともに基板100外の一方側の位置から基板100上を通過して基板100外の他方側の位置へ移動させつつリンス液吐出ノズル16によりリンス液を基板100上に供給する。
【選択図】 図9
Description
4 内側カップ
5 外側カップ
6,7 待機スポット
8 ガイドレール
9 ノズルアーム
10 ノズル駆動部
11 現像液吐出ノズル
12 現像液供給系
13 制御部
15 スリット状吐出口
16 リンス液吐出ノズル
17 リンス液供給系
18 スリット状吐出口
30 共用ノズル
Claims (12)
- 基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、
現像液を吐出する現像液吐出ノズルと、
現像を停止させるためのリンス液を吐出するリンス液吐出ノズルと、
前記基板保持手段に静止状態で保持された基板外の一方側の位置から前記基板上を通過して前記基板外の他方側の位置まで前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする現像装置。 - 前記現像液吐出ノズルは、前記基板の直径以上の幅で前記移動手段による移動方向とほぼ垂直な方向にほぼ直線状に現像液を吐出し、
前記リンス液吐出ノズルは、前記基板の直径以上の幅で前記移動手段による移動方向とほぼ垂直な方向にほぼ直線状にリンス液を吐出することを特徴とする請求項1記載の現像装置。 - 前記移動手段により前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに前記基板上を一方向に移動させつつ前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を行った後、前記移動手段により前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに前記一方向に移動させつつ前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を行う制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2記載の現像装置。
- 前記移動手段により前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに前記基板上を一方向に移動させつつ前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を行った後、前記基板保持手段に保持された基板を鉛直方向の軸の周りで180度回転させ、前記移動手段により前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに前記一方向と逆の方向に移動させつつ前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を行う制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2記載の現像装置。
- 前記制御手段は、現像液の供給時に、前記現像液吐出ノズルが前記基板上に達する前に前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始させることを特徴とする請求項3または4記載の現像装置。
- 前記制御手段は、前記現像液吐出ノズルが前記基板上を通過した後に前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を停止させることを特徴とする請求項5記載の現像装置。
- 前記制御手段は、リンス液の供給時に、前記リンス液吐出ノズルが前記基板上に達する前に前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を開始させることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の現像装置。
- 前記制御手段は、前記リンス液吐出ノズルが前記基板上を通過した後に前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を停止させることを特徴とする請求項7記載の現像装置。
- 前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出方向が鉛直下向きから前記現像液吐出ノズルの移動方向と反対方向に傾けられたことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の現像装置。
- 前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出方向が鉛直下向きから前記リンス液吐出ノズルの移動方向と反対方向に傾けられたことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の現像装置。
- 前記現像液吐出ノズルおよび前記リンス液吐出ノズルは、水平方向に配置されたスリット状吐出口をそれぞれ有し、前記移動手段は、前記現像液吐出ノズルおよび前記リンス液吐出ノズルを前記スリット状吐出口とほぼ垂直な方向に直線状に移動させることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の現像装置。
- 基板保持手段に静止状態で保持された基板上に現像液吐出ノズルから現像液を吐出供給する現像方法であって、
前記現像液吐出ノズルから前記基板上に現像液を吐出させつつ前記現像液吐出ノズルをリンス液吐出ノズルとともに前記基板外の一方側の位置から前記基板上を通過して前記基板外の他方側の位置まで移動させる工程と、
前記リンス液吐出ノズルからリンス液を吐出させつつ前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに前記基板外の一方側または他方側の位置から前記基板上を通過して前記基板外の他方側または一方側の位置まで移動させる工程とを含むことを特徴とする現像方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004165440A JP4011040B2 (ja) | 1997-04-10 | 2004-06-03 | 現像装置および現像方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9180097 | 1997-04-10 | ||
JP2004165440A JP4011040B2 (ja) | 1997-04-10 | 2004-06-03 | 現像装置および現像方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10767197A Division JP3580664B2 (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-24 | 現像装置および現像方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004260214A true JP2004260214A (ja) | 2004-09-16 |
JP4011040B2 JP4011040B2 (ja) | 2007-11-21 |
Family
ID=33133256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004165440A Expired - Fee Related JP4011040B2 (ja) | 1997-04-10 | 2004-06-03 | 現像装置および現像方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4011040B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007103409A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成体の製造方法 |
JP2010087323A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Sokudo Co Ltd | 現像処理装置 |
JP2010186974A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 |
CN102543685A (zh) * | 2010-12-28 | 2012-07-04 | 拉碧斯半导体株式会社 | 基板处理装置以及基板处理方法 |
-
2004
- 2004-06-03 JP JP2004165440A patent/JP4011040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007103409A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成体の製造方法 |
JP4704173B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-06-15 | 大日本印刷株式会社 | 微細パターン形成体の製造方法 |
JP2010087323A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Sokudo Co Ltd | 現像処理装置 |
JP2010186974A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 |
KR101530959B1 (ko) * | 2009-02-13 | 2015-06-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액 처리 장치, 액 처리 방법 및 기억 매체 |
CN102543685A (zh) * | 2010-12-28 | 2012-07-04 | 拉碧斯半导体株式会社 | 基板处理装置以及基板处理方法 |
JP2012142396A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Lapis Semiconductor Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4011040B2 (ja) | 2007-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100224462B1 (ko) | 세정장치 및 세정방법 | |
JP2007311439A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
CN101158820A (zh) | 基板的显影处理方法及基板的显影处理装置 | |
JP3580664B2 (ja) | 現像装置および現像方法 | |
JP3612196B2 (ja) | 現像装置、現像方法および基板処理装置 | |
JP3665715B2 (ja) | 現像方法及び現像装置 | |
KR100283442B1 (ko) | 현상장치및현상방법 | |
JP5308045B2 (ja) | 現像方法 | |
JP5317504B2 (ja) | 現像装置および現像方法 | |
JPH10106918A (ja) | 処理液吐出ノズルおよび基板処理装置 | |
JP3401141B2 (ja) | 基板の現像処理方法および装置 | |
JP2008016781A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR20010078283A (ko) | 웨이퍼 표면으로 불순물의 부착을 방지하는 노광된포토레지스트 현상 처리 방법 및 장치 | |
JP3970432B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JPH10137664A (ja) | 回転式基板処理装置および処理方法 | |
JP4011040B2 (ja) | 現像装置および現像方法 | |
JPH08255776A (ja) | 洗浄装置および洗浄方法 | |
JPH10199852A (ja) | 回転式基板処理装置 | |
JPH11244760A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2000068188A (ja) | 現像装置および現像方法 | |
JP2002100556A (ja) | 基板現像装置 | |
JP3633774B2 (ja) | 処理液吐出ノズルおよび基板処理装置 | |
JP4024351B2 (ja) | 現像装置 | |
JPH1144957A (ja) | 現像装置および現像方法 | |
JP4198219B2 (ja) | 現像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040628 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040628 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070904 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110914 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110914 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120914 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120914 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130914 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |