JP2004243468A - タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】タッチプロ−ブセンサの位置検出機能を高め、面粗度の良好な研削加工ワ−クを与える表面研削装置。
【解決手段】平面研削装置1にはタッチプロ−ブセンサ90のスタイラス91を先端に支えるプロ−ブ92の垂下している軸89が砥石車24の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−25前面側に取り付けられる。砥石主軸とセンサ間の距離が小さいので、砥石頭22の熱変位や砥石車振動のモ−メントの影響が小さいので面粗度が向上する。
【選択図】 図1
【解決手段】平面研削装置1にはタッチプロ−ブセンサ90のスタイラス91を先端に支えるプロ−ブ92の垂下している軸89が砥石車24の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−25前面側に取り付けられる。砥石主軸とセンサ間の距離が小さいので、砥石頭22の熱変位や砥石車振動のモ−メントの影響が小さいので面粗度が向上する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工されるワ−クの位置やワ−クの厚みを検出するタッチプロ−ブセンサを備えた平面研削装置に関する。平面研削装置としては、ワ−クを載置するテ−ブルが左右方向に往復移動するコラム型またはサドル型平面研削装置、ワ−クを載置するロ−タリ−テ−ブルが回転移動するロ−タリ−平面研削装置が挙げられる。
【0002】
【従来の技術】
左右移動テ−ブルまたはロ−タリ−テ−ブル上に載置されたワ−クの位置を確認するため、或いは、加工ワ−クの寸法精度を高めるため、研削装置に位置センサであるタッチプロ−ブセンサがコラム支持部または砥石頭の側面に取り付けられ、使用されている。
例えば、コラム支持部の側面であって、砥石車の直径方向の延長線上にプロ−ブの先端にあるスタイラス(検出器)を垂下させたタッチプロ−ブセンサを固定したウエ−ハボ−ド研削装置を用い、研削加工前にスタイラスをウエ−ハボ−ドの支持棒に接触させ、この支持棒の位置デ−タに基づいて砥石車のウエ−ハボ−ド上の移動経路を補正しながらウエ−ハボ−ドを研削するウエ−ハボ−ド研削装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
また、図5に示すように、砥石頭22の安全カバ−25側面であって、砥石車24の直径方向の延長線上にスタイラス91を先端に有するプロ−ブを垂下させたタッチプロ−ブセンサ90を固定した平面研削装置1を用い、移動テ−ブル11上に置かれた基準ブロック100上面にスタイラス91を接触させて得た位置デ−タHと、ワ−クw上面にスタイラス91を接触させて得た位置デ−タhとから加工中のワ−クの厚みを算出するNC制御装置を備えた平面研削装置も提案されている(例えば、特許文献2および特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開5−38675号公報(第3−4頁および図1参照。)
【特許文献2】
特開2002−52444号公報(第2−4頁および図1、図2参照。)
【特許文献3】
特開2002−127006号公報(第4−6頁および図2参照。)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記位置センサであるタッチプロ−ブセンサをコラム支持部、砥石車の安全カバ−、または砥石頭の側面に取り付けた研削装置は、砥石車の直径方向の延長上の面側で垂下してスタイラスが取り付けられている故にワ−ク加工時にワ−クwと回転砥石車24の接触点(加工点)に吹き付けられる研削液が位置を確認するレ−ザ光を利用するスタイラスを汚染しない利点を有しているが、砥石車の主軸とスタイラスが垂下している距離間が大きく、砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントを大きく受け易いので、平面研削加工ワ−クの加工精度(面粗度)が損なわれ、0.1〜0.06μmがせいぜいであった。
【0006】
本発明は、ワ−クの加工精度を更に向上させるために砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントの影響をより小さく受ける位置に位置検出センサを取り付けた平面研作装置を提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、砥石主軸に取り付けられた回転砥石車と、ワ−クとの相対的な移動によりワ−ク表面を研削する平面研削装置であって、該平面研削装置には位置センサであるタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられていることを特徴とする、タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置を提供するものである。
【0008】
砥石車の安全カバ−前面側にタッチプロ−ブセンサが取り付けられるので砥石車主軸とタッチプロ−ブの最短距離が、安全カバ−側面や砥石軸側面にタッチプロ−ブセンサが取り付けられた従来の砥石車主軸とタッチプロ−ブの最短距離よりも短くでき、砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントの影響を受ける度合いがより小さくなり、0.06〜0.01μmの面粗度まで出すことが可能となる。
【0009】
請求項2に記載の発明は、上記タッチプロ−ブセンサ付研削装置には、ワ−クの研削時はタッチプロ−ブセンサのスタイラス先端とワ−ク間を遮断し、スタイラスがワ−クに触れるときはスタイラス垂直方向より遠ざかる移動型遮蔽板が取り付けられていることを特徴とする。
【0010】
ワ−クの研削時はタッチプロ−ブセンサのスタイラス先端とワ−ク間が遮蔽板で遮られるので研削液がスタイラスを汚す機会が減少する。ワ−クの位置検出時は、研削液の供給を止め、遮蔽板を横方向へ移動または回転移動させてスタイラスとワ−ク間を遮断しないようにし、ついでスタイラスを下降させてワ−クに接触させることによりワ−クの位置を検出できる。
【0011】
請求項3に記載の発明は、前記タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置において、プロ−ブの垂下している軸が砥石主軸の延長軸線上にある交点Oを横方向に移動できるように、砥石車の安全カバ−に横方向にプロ−ブが移動できるスライド機構が設けられていることを特徴とする。
【0012】
砥石車交換時にタッチプロ−ブを左側へ移動することができ、砥石車の交換作業を容易とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図1は平面研削装置の砥石頭部分を示す正面図、図2はその砥石頭部分を示す平面図、図3はその砥石頭部分を示す側面図、および図4はタッチプロ−ブセンサの正面図である。
【0014】
図1、図2および図3において、1は平面研削装置、11は移動テ−ブル、12は研削液供給フレキシブルノズル、13は回転駆動型遮蔽板、14は回転駆動軸、15はシリンダ、16はプロ−ブスライド機構、17はプロ−ブスライドレ−ル、18はポリウレタン製ストッパ、19はクランプレバ−、22は砥石頭、23は砥石軸、24は砥石車、Oは砥石主軸23の延長線とスタイラスを垂下するプロ−ブ軸線89との交点、25は安全カバ−、26はタッチプロ−ブ上下スライド機構、27はエア−スライドテ−ブル、28は案内レ−ル、29はキャップ付きコインロック、30はコインロックカバ−、31は研削液抜き用傾斜、32は固定ボルト、33はマイクロバランサ、90はタッチプロ−ブセンサ、91はスタイラス、92はプロ−ブ、99は空気吹き付けノズル、及び100は基準ブロックである。
【0015】
タッチプロ−ブセンサ90のスタイラス91を垂下するプロ−ブ92は、砥石車交換時、プロ−ブスライド機構16のクランプレバ−19を前側に引き出し、左側へ引っ張ってスライドレ−ル17上を移動させ、ポリウレタン製ストッパ18に当ったらクランプレバ−19を後へ押し倒すことによりプロ−ブ92を定位置に固定できる。逆に砥石主軸23の延長線上の交点Oへ移動させるには、クランプレバ−19を前側に引き出し、右側へ引っ張ってスライドレ−ル17上を移動させ、プロ−ブ軸線89が交点Oに来たらクランプレバ−19を後へ押し倒すことによりプロ−ブ92を定位置に固定できる。
【0016】
スタイラス91の昇降は、タッチプロ−ブ上下スライド機構26を用いエア−スライドテ−ブル27を案内レ−ル28上に滑走することにより行われる。
【0017】
ワ−クの研削時、検出部であるスタイラス91の研削液による汚れがひどくなって位置測定精度が低下しないように回転駆動型遮蔽板13をシリンダ15のピストンを押し下げて回転駆動軸14回りに回転駆動させてスタイラス91とワ−ク間wを遮断し、ワ−ク表面に吹き付けられ、反射してスタイラス91柄へ飛び散って来る研削液を遮る。ワ−クwや基準ブロック100にスタイラスを接触させて位置デ−タを入手するときは、回転駆動型遮蔽板13をシリンダ15のピストンを押し上げて回転駆動軸14回りに逆回転駆動させてスタイラス91とワ−ク間wの遮蔽をなくす。
【0018】
図4に示すタッチプロ−ブセンサユニット90において、91はスタイラス、92はプロ−ブ、93はモジュ−ル、94はジャンク、95はスピンドル、96は配線、97はインタ−フェ−ス、98は平面研削装置の制御機構、99は吹き付けノズルで、スタイラス91先端がワ−クに触れている部分に0.4〜0.6Mpaの乾燥空気を吹き付ける。
【0019】
接触検知手段であるタッチプロ−ブセンサユニット90は、砥石軸の軸芯からスタイラス先端が接触した被検査物(ワ−クwまたは基準ブロック100)表面間の距離を測定する。制御機構98は、記憶部、演算部、記録部を備える。
【0020】
以上、既述した平面研削装置は、タッチプロ−ブを横方向にスライドできる例を挙げたが、本発明においては位置センサであるタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられていることが重要であって、タッチプロ−ブ92を安全カバ−上に取り付けられた回転軸を中心に砥石車の直径方向の面に対し平行な面上を回転移動できるようにし、スタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう設計変更することも可能である。
【0021】
【発明の効果】
本発明のタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられている平面研削装置を用いてワ−クの位置を検出する方法は、例えば、SUS440ワ−クを300mm直径、幅55mmの砥石車でトラバ−ス研削する場合に面粗度0.05〜0.01μmの加工ワ−クが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】平面研削装置の平面研削装置の砥石頭部分を示す正面図である。
【図2】平面研削装置の砥石頭部分を示す平面図である。
【図3】平面研削装置の砥石頭部分を示す側面図である。
【図4】タッチプロ−ブセンサの正面図である。(公知)
【図5】研削ワ−クの高さを測定する平面研削装置の正面図である。(公知)
【符号の説明】
1 平面研削装置
w ワ−ク
O 交点
11 テ−ブル
13 遮蔽板
16 プロ−ブスライド機構
20 左右移動テ−ブル
22 砥石頭
23 砥石主軸
24 砥石車
25 安全カバ−
89 プロ−ブ軸
90 タッチプロ−ブセンサ
91 スタイラス
92 プロ−ブ
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工されるワ−クの位置やワ−クの厚みを検出するタッチプロ−ブセンサを備えた平面研削装置に関する。平面研削装置としては、ワ−クを載置するテ−ブルが左右方向に往復移動するコラム型またはサドル型平面研削装置、ワ−クを載置するロ−タリ−テ−ブルが回転移動するロ−タリ−平面研削装置が挙げられる。
【0002】
【従来の技術】
左右移動テ−ブルまたはロ−タリ−テ−ブル上に載置されたワ−クの位置を確認するため、或いは、加工ワ−クの寸法精度を高めるため、研削装置に位置センサであるタッチプロ−ブセンサがコラム支持部または砥石頭の側面に取り付けられ、使用されている。
例えば、コラム支持部の側面であって、砥石車の直径方向の延長線上にプロ−ブの先端にあるスタイラス(検出器)を垂下させたタッチプロ−ブセンサを固定したウエ−ハボ−ド研削装置を用い、研削加工前にスタイラスをウエ−ハボ−ドの支持棒に接触させ、この支持棒の位置デ−タに基づいて砥石車のウエ−ハボ−ド上の移動経路を補正しながらウエ−ハボ−ドを研削するウエ−ハボ−ド研削装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
また、図5に示すように、砥石頭22の安全カバ−25側面であって、砥石車24の直径方向の延長線上にスタイラス91を先端に有するプロ−ブを垂下させたタッチプロ−ブセンサ90を固定した平面研削装置1を用い、移動テ−ブル11上に置かれた基準ブロック100上面にスタイラス91を接触させて得た位置デ−タHと、ワ−クw上面にスタイラス91を接触させて得た位置デ−タhとから加工中のワ−クの厚みを算出するNC制御装置を備えた平面研削装置も提案されている(例えば、特許文献2および特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開5−38675号公報(第3−4頁および図1参照。)
【特許文献2】
特開2002−52444号公報(第2−4頁および図1、図2参照。)
【特許文献3】
特開2002−127006号公報(第4−6頁および図2参照。)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記位置センサであるタッチプロ−ブセンサをコラム支持部、砥石車の安全カバ−、または砥石頭の側面に取り付けた研削装置は、砥石車の直径方向の延長上の面側で垂下してスタイラスが取り付けられている故にワ−ク加工時にワ−クwと回転砥石車24の接触点(加工点)に吹き付けられる研削液が位置を確認するレ−ザ光を利用するスタイラスを汚染しない利点を有しているが、砥石車の主軸とスタイラスが垂下している距離間が大きく、砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントを大きく受け易いので、平面研削加工ワ−クの加工精度(面粗度)が損なわれ、0.1〜0.06μmがせいぜいであった。
【0006】
本発明は、ワ−クの加工精度を更に向上させるために砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントの影響をより小さく受ける位置に位置検出センサを取り付けた平面研作装置を提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、砥石主軸に取り付けられた回転砥石車と、ワ−クとの相対的な移動によりワ−ク表面を研削する平面研削装置であって、該平面研削装置には位置センサであるタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられていることを特徴とする、タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置を提供するものである。
【0008】
砥石車の安全カバ−前面側にタッチプロ−ブセンサが取り付けられるので砥石車主軸とタッチプロ−ブの最短距離が、安全カバ−側面や砥石軸側面にタッチプロ−ブセンサが取り付けられた従来の砥石車主軸とタッチプロ−ブの最短距離よりも短くでき、砥石頭の熱変位や砥石車回転振動のモ−メントの影響を受ける度合いがより小さくなり、0.06〜0.01μmの面粗度まで出すことが可能となる。
【0009】
請求項2に記載の発明は、上記タッチプロ−ブセンサ付研削装置には、ワ−クの研削時はタッチプロ−ブセンサのスタイラス先端とワ−ク間を遮断し、スタイラスがワ−クに触れるときはスタイラス垂直方向より遠ざかる移動型遮蔽板が取り付けられていることを特徴とする。
【0010】
ワ−クの研削時はタッチプロ−ブセンサのスタイラス先端とワ−ク間が遮蔽板で遮られるので研削液がスタイラスを汚す機会が減少する。ワ−クの位置検出時は、研削液の供給を止め、遮蔽板を横方向へ移動または回転移動させてスタイラスとワ−ク間を遮断しないようにし、ついでスタイラスを下降させてワ−クに接触させることによりワ−クの位置を検出できる。
【0011】
請求項3に記載の発明は、前記タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置において、プロ−ブの垂下している軸が砥石主軸の延長軸線上にある交点Oを横方向に移動できるように、砥石車の安全カバ−に横方向にプロ−ブが移動できるスライド機構が設けられていることを特徴とする。
【0012】
砥石車交換時にタッチプロ−ブを左側へ移動することができ、砥石車の交換作業を容易とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図1は平面研削装置の砥石頭部分を示す正面図、図2はその砥石頭部分を示す平面図、図3はその砥石頭部分を示す側面図、および図4はタッチプロ−ブセンサの正面図である。
【0014】
図1、図2および図3において、1は平面研削装置、11は移動テ−ブル、12は研削液供給フレキシブルノズル、13は回転駆動型遮蔽板、14は回転駆動軸、15はシリンダ、16はプロ−ブスライド機構、17はプロ−ブスライドレ−ル、18はポリウレタン製ストッパ、19はクランプレバ−、22は砥石頭、23は砥石軸、24は砥石車、Oは砥石主軸23の延長線とスタイラスを垂下するプロ−ブ軸線89との交点、25は安全カバ−、26はタッチプロ−ブ上下スライド機構、27はエア−スライドテ−ブル、28は案内レ−ル、29はキャップ付きコインロック、30はコインロックカバ−、31は研削液抜き用傾斜、32は固定ボルト、33はマイクロバランサ、90はタッチプロ−ブセンサ、91はスタイラス、92はプロ−ブ、99は空気吹き付けノズル、及び100は基準ブロックである。
【0015】
タッチプロ−ブセンサ90のスタイラス91を垂下するプロ−ブ92は、砥石車交換時、プロ−ブスライド機構16のクランプレバ−19を前側に引き出し、左側へ引っ張ってスライドレ−ル17上を移動させ、ポリウレタン製ストッパ18に当ったらクランプレバ−19を後へ押し倒すことによりプロ−ブ92を定位置に固定できる。逆に砥石主軸23の延長線上の交点Oへ移動させるには、クランプレバ−19を前側に引き出し、右側へ引っ張ってスライドレ−ル17上を移動させ、プロ−ブ軸線89が交点Oに来たらクランプレバ−19を後へ押し倒すことによりプロ−ブ92を定位置に固定できる。
【0016】
スタイラス91の昇降は、タッチプロ−ブ上下スライド機構26を用いエア−スライドテ−ブル27を案内レ−ル28上に滑走することにより行われる。
【0017】
ワ−クの研削時、検出部であるスタイラス91の研削液による汚れがひどくなって位置測定精度が低下しないように回転駆動型遮蔽板13をシリンダ15のピストンを押し下げて回転駆動軸14回りに回転駆動させてスタイラス91とワ−ク間wを遮断し、ワ−ク表面に吹き付けられ、反射してスタイラス91柄へ飛び散って来る研削液を遮る。ワ−クwや基準ブロック100にスタイラスを接触させて位置デ−タを入手するときは、回転駆動型遮蔽板13をシリンダ15のピストンを押し上げて回転駆動軸14回りに逆回転駆動させてスタイラス91とワ−ク間wの遮蔽をなくす。
【0018】
図4に示すタッチプロ−ブセンサユニット90において、91はスタイラス、92はプロ−ブ、93はモジュ−ル、94はジャンク、95はスピンドル、96は配線、97はインタ−フェ−ス、98は平面研削装置の制御機構、99は吹き付けノズルで、スタイラス91先端がワ−クに触れている部分に0.4〜0.6Mpaの乾燥空気を吹き付ける。
【0019】
接触検知手段であるタッチプロ−ブセンサユニット90は、砥石軸の軸芯からスタイラス先端が接触した被検査物(ワ−クwまたは基準ブロック100)表面間の距離を測定する。制御機構98は、記憶部、演算部、記録部を備える。
【0020】
以上、既述した平面研削装置は、タッチプロ−ブを横方向にスライドできる例を挙げたが、本発明においては位置センサであるタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられていることが重要であって、タッチプロ−ブ92を安全カバ−上に取り付けられた回転軸を中心に砥石車の直径方向の面に対し平行な面上を回転移動できるようにし、スタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう設計変更することも可能である。
【0021】
【発明の効果】
本発明のタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられている平面研削装置を用いてワ−クの位置を検出する方法は、例えば、SUS440ワ−クを300mm直径、幅55mmの砥石車でトラバ−ス研削する場合に面粗度0.05〜0.01μmの加工ワ−クが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】平面研削装置の平面研削装置の砥石頭部分を示す正面図である。
【図2】平面研削装置の砥石頭部分を示す平面図である。
【図3】平面研削装置の砥石頭部分を示す側面図である。
【図4】タッチプロ−ブセンサの正面図である。(公知)
【図5】研削ワ−クの高さを測定する平面研削装置の正面図である。(公知)
【符号の説明】
1 平面研削装置
w ワ−ク
O 交点
11 テ−ブル
13 遮蔽板
16 プロ−ブスライド機構
20 左右移動テ−ブル
22 砥石頭
23 砥石主軸
24 砥石車
25 安全カバ−
89 プロ−ブ軸
90 タッチプロ−ブセンサ
91 スタイラス
92 プロ−ブ
Claims (3)
- 砥石主軸に取り付けられた回転砥石車と、ワ−クとの相対的な移動によりワ−ク表面を研削する平面研削装置であって、該平面研削装置には位置センサであるタッチプロ−ブセンサのスタイラスを先端に支えるプロ−ブの垂下している軸が砥石車の直径方向の面に対し平行面であって前記砥石主軸の延長軸線上にある交点Oに位置するよう砥石車の安全カバ−前面側に取り付けられていることを特徴とする、タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置。
- 平面研削装置には、ワ−クの研削時はタッチプロ−ブセンサのプロ−ブ先端のスタイラスとワ−ク間を遮断し、スタイラスがワ−クに触れるときはプロ−ブ軸垂直方向より遠ざかる移動型遮蔽板が取り付けられていることを特徴とする、請求項1に記載のタッチプロ−ブセンサ付平面研削装置。
- プロ−ブの垂下している軸が砥石主軸の延長軸線上にある交点Oを横方向に移動できるように、砥石車の安全カバ−に横方向にプロ−ブが移動できるスライド機構が設けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載のタッチプロ−ブセンサ付平面研削装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003036110A JP2004243468A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2003036110A JP2004243468A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004243468A true JP2004243468A (ja) | 2004-09-02 |
Family
ID=33021302
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003036110A Pending JP2004243468A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | タッチプロ−ブセンサ付平面研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004243468A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007319965A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Canon Inc | 加工方法及び加工装置 |
CN106483273A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-03-08 | 重庆华耀混凝土有限公司 | 一种异常工作环境中的混凝土检测装置 |
CN112775720A (zh) * | 2019-11-06 | 2021-05-11 | 大隈株式会社 | 机床的对象物的位置测量方法及位置测量***、计算机可读记录介质 |
US11344993B2 (en) * | 2019-01-16 | 2022-05-31 | Okamoto Machine Tool Works, Ltd. | Automatic grinding apparatus |
WO2023063166A1 (ja) | 2021-10-15 | 2023-04-20 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 研削装置 |
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2003
- 2003-02-14 JP JP2003036110A patent/JP2004243468A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007319965A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Canon Inc | 加工方法及び加工装置 |
CN106483273A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-03-08 | 重庆华耀混凝土有限公司 | 一种异常工作环境中的混凝土检测装置 |
US11344993B2 (en) * | 2019-01-16 | 2022-05-31 | Okamoto Machine Tool Works, Ltd. | Automatic grinding apparatus |
CN112775720A (zh) * | 2019-11-06 | 2021-05-11 | 大隈株式会社 | 机床的对象物的位置测量方法及位置测量***、计算机可读记录介质 |
CN112775720B (zh) * | 2019-11-06 | 2024-05-14 | 大隈株式会社 | 机床的对象物的位置测量方法及位置测量***、计算机可读记录介质 |
WO2023063166A1 (ja) | 2021-10-15 | 2023-04-20 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 研削装置 |
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