JP2004238246A - フォトニッククリスタルファイバの製造方法及びそれに用いられる製造装置 - Google Patents

フォトニッククリスタルファイバの製造方法及びそれに用いられる製造装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ファイバ長さ方向にファイバ内部構造が調整できるフォトニッククリスタルファイバの製造方法及びそれに用いられる製造装置を提供する。
【解決手段】サポート管2内に、中実のコア部13となるコアロッド10及びクラッド部11となる複数のキャピラリ1、又は、中空のコア部13となるコア部形成空間を形成し且つクラッド部11となる複数のキャピラリ1を充填してプリフォーム15を作製するプリフォーム作製工程と、そのプリフォーム15を加熱及び延伸してファイバ状に延伸する線引き工程と、を備えるフォトニッククリスタルファイバの製造方法の線引き工程において、サポート管2内の複数のキャピラリ1の外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリ1の内部圧力を制御する。
【選択図】図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトニッククリスタルファイバ(以下、「PCF(Photonic Crystal Fiber)」と称する)の製造方法及びそれに用いられる製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
PCFは、ファイバ中心に中実又は中空に形成されたコア部と、コア部を囲うように設けられ、コア部に沿って延びる多数の細孔を有するクラッド部とを備えている。このPCFは、クラッド部に囲われたコア部に光を閉じこめて伝送するものであるが、クラッド部の細孔の径や間隔を変えることにより光の波長分散を自由に制御できる。そのため従来の光ファイバでは実現できなかった新しい波長域での通信が可能となり、通信の高速化やコストダウンが期待されている。
【0003】
このPCFの製造方法としては、クラッド部となる複数本のキャピラリをキャピラリ孔(細孔)が横断面において格子配列を形成するように束ねると共に、中実のコア部となるコアロッドを中心軸位置に配置して又は中空のコア部となるコア空間を中心軸位置に形成して作製したプリフォームを線引き加工により細径化するというものがある。ところで、一般にPCFではクラッド部の細孔の内面に水酸基が形成されると、それが信号光の特定波長を吸収して伝送損失が発生することになる。特許文献1及び2では、この伝送損失の低減に着目したPCFの製造方法が開示されている。
【0004】
特許文献1では、クラッド部を形成するキャピラリの両端を封止することが開示されている。これにより、キャピラリ内への新しい空気の浸入が阻止されるため、線引き工程中における空気中の水分との反応によるキャピラリ内面への水酸基の形成が抑制され、得られるPCFは従来に比べて伝送損失の少ないものになると記載されている。
【0005】
また、特許文献2では、キャピラリ内へ乾燥性を有する気体を供給しながらプリフォームを加熱することが示されている。これにより、キャピラリ内面の水酸基が水分子となり外部に排出されるため、キャピラリ内面の水酸基濃度が低下し、得られるPCFは従来に比べて水酸基に起因する伝送損失が低減されると記載されている。また、乾燥性を有する気体の供給圧力を調整することにより、クラッド部の細孔占有率を調節することができるとも記載されている。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−211941号公報
【特許文献2】
特開2002−249335号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、PCFの伝送損失を低減する方法はいくつか検討がなされている。しかしながら、PCFのファイバ長さ方向に安定した内部構造(クラッド部の細孔の径及び間隔の揃った構造)を形成する技術は、ほとんど確立されていない。また、特許文献2において、乾燥性を有する気体の供給圧力を調整することによりクラッド部の細孔占有率を調節することができるという記載はあるが、PCFのファイバ長さ方向において連続的にクラッド部の細孔の径d及び間隔Λが均一になるものではなく、d/Λ(細孔の径/間隔)が変化し、伝送ロスの増加や設計通りの特性が得られないという不具合が発生する。
【0008】
次に従来のPCFの製造方法における線引き工程について説明する。
【0009】
図6は、従来のPCFの製造装置を示す。このPCFの製造装置では、キャピラリ1の外部圧力を低下させるために、サポート管2の上端に吸引用チャンバー22を取り付けるようになっている。この吸引用チャンバー22に接続する真空ポンプによって、プリフォームの上端側から気体を排出しキャピラリー1の間の隙間を減圧状態に保持しながら、プリフォームの下端側を加熱しファイバ状に線引きすることによりPCFを製造する。しかしながら、特許文献1に記載されているように、キャピラリ1の両端が封止されているため、線引き工程中にキャピラリ1の内部圧力が上昇し、キャピラリ1が部分的に膨張して断線してしまうという問題がある。
【0010】
図7は、この従来の方法によってPCFの外径を125μmに揃えて製造されたPCFのクラッド部の細孔の径及び間隔のそれぞれのファイバ長さ方向の推移を示す。クラッド部の細孔の径dは、線引き加工長が約6000mのとき1.88μmであるが、その後、線引きの進行と共に徐々に小さくなり、線引き加工長が約44000mのとき0.7μmとなり、この間で元の約40%の径になってしまっている。一方、クラッド部の細孔の間隔Λは、線引き加工長が約6000mのとき2.7μmであるが、その後、線引きの進行と共に徐々に小さくなり、線引き加工長が約44000mのとき1.89μmとなり、この間で元の約70%の間隔になってしまっている。このように、PCFの外径は揃っていても、線引き最初と線引き最後とでは細孔の径d及び間隔Λに大きな差があり、PCFの内部構造がファイバ長さ方向に沿って安定していない。
【0011】
また、線引き工程の加工温度が高い場合、キャピラリ1を構成するガラスの粘度が低くなり、キャピラリ内面のガラスの表面張力が大きくなる。そのため、その加工温度を過度に高くすると、キャピラリ1の細孔がその表面張力によって消失してしまう。このようなことを考慮すると、線引き工程の加工温度はどうしても低温にせざるを得ない。この場合、線引きに十分なガラスの粘性が得られない状態で線引きを行うこととなってしまい、微小なクラックがファイバ内に内在することとなり、結果として、得られるPCFの強度が弱くなってしまうという問題もある。
【0012】
上記の問題の原因は、線引き工程の進行と共にプリフォームの残量が徐々に減っていくため、一定の条件でプリフォームを加熱していても、プリフォームへの熱の加わり方が変化するからであると考えられる。
【0013】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造を調整できるPCFの製造方法及びそれに用いられる製造装置、特に、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造が安定したPCFの製造方法及びそれに用いられる製造装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成する本発明のPCFの製造方法は、中実又は中空のコア部と、該コア部を被覆するように設けられ該コア部に沿って延びる複数の細孔が該コアを囲うように形成されたクラッド部と、を有するPCFの製造方法であって、サポート管内に、中実のコア部となるコアロッド及びクラッド部となる複数のキャピラリ、又は、中空のコア部となるコア部形成空間を形成し且つクラッド部となる複数のキャピラリを充填してプリフォームを作製するプリフォーム作製工程と、上記プリフォームを加熱及び延伸してファイバ状に延伸する線引き工程と、を備え、上記線引き工程において、上記サポート管内の上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、該複数のキャピラリの内部圧力を、制御することを特徴とする。
【0015】
上記の方法によれば、複数のキャピラリ外部圧力及び/又は複数のキャピラリ内部圧力を制御しながら線引きすることになる。これにより、線引き中にPCFのクラッド部の細孔の径及び間隔を自在に調整することができ、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造を調整することができる。さらに、上述のような圧力の制御により、クラッド部の細孔が消失しないように線引き中のキャピラリの内部圧力を高めるようにすれば、内部圧力による細孔を拡大させる力が高温の線引きで大きくなるガラスの表面張力による細孔を縮小させる力を上回ることができ、クラッド部の細孔の消失を考慮せずに高温で線引きを行うことができる。これにより、線引きに十分なガラスの粘性で線引きを行うことができ、ファイバ内のクラックの発生が抑止されPCFの強度を保持することができる。
【0016】
本発明のPCFの製造方法は、上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、上記複数のキャピラリの内部圧力を、形成されるクラッド部の細孔の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように制御してもよい。
【0017】
上記の方法によれば、クラッド部の細孔の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように、複数のキャピラリ外部圧力及び/又は複数のキャピラリ内部圧力を制御しながら線引きすることになる。これにより、PCFのファイバ長さ方向に沿ってクラッド部の細孔の径及び間隔が所定の大きさに揃い安定した内部構造を有するPCFを製造することができる。
【0018】
本発明のPCFの製造方法は、上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、上記複数のキャピラリの内部圧力の制御を、真空ポンプによる排気と、空気、ヘリウム、アルゴン及び窒素からなる群から選択される少なくとも1種類のガスの供給とによって行ってもよい。
【0019】
上記の方法によれば、複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリの内部圧力の制御を一般的な方法で調整することができる。
【0020】
本発明のPCFの製造装置は、サポート管内に、中実のコア部となるコアロッド及びクラッド部となる複数のキャピラリ、又は、中空のコア部となるコア部形成空間を形成し且つクラッド部となる複数のキャピラリを充填して作製したプリフォームを加熱及び延伸してファイバ状に延伸するPCFの製造装置であって、上記サポート管内の複数のキャピラリの外部圧力を制御するキャピラリ外部圧力制御手段、及び/又は、複数のキャピラリの内部圧力を制御するキャピラリ内部圧力制御手段を、備えたことを特徴とする。
【0021】
上記の装置によれば、複数のキャピラリ外部の圧力及び/又は複数のキャピラリ内部の圧力を制御しながら線引きすることが可能になる。これにより、線引き中にPCFのクラッド部の細孔の径及び間隔を所定の目標値に調整することができ、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造が調整できる。さらに、クラッド部の細孔の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように、複数のキャピラリ外部圧力及び/又は複数のキャピラリ内部圧力を制御しながら線引きすれば、PCFのファイバ長さ方向に沿ってクラッド部の細孔の径及び間隔が所定の大きさに揃い安定した内部構造を有するPCFを製造することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るPCFの製造方法及びそれに用いられる製造装置について説明する。以下の実施形態ではコア部が中実である場合を例に説明するが、本発明のPCFの製造方法は、コア部が中空である場合にも適用できる。
【0023】
図1は、本実施形態のPCF製造装置100を示す。
【0024】
このPCF製造装置100は、プリフォーム送り出し装置16、プリフォーム圧力制御ユニット17、溶融炉18、線径制御部19及び巻き取り部21を備えている。
【0025】
プリフォーム送り出し装置16は、上下方向に延びる支柱部16a、支柱部16aに上下移動可能に設けられた移動部16b、移動部16bから側方に延びるように設けられたプリフォーム保持部16cを有する。そのプリフォーム送り出し装置16では、プリフォーム保持部16cによりプリフォーム15を鉛直状態に保持し、移動部16bが支柱部16a上を上から下へ移動して、プリフォーム15をその溶融炉18に所定の速度で送るようになっている。
【0026】
図2及び3はプリフォーム圧力制御ユニット17を示す。
【0027】
このプリフォーム圧力制御ユニット17は、複数のキャピラリ1の外部の圧力と、複数のキャピラリ1の内部の圧力とを個別に制御するものである。そして、このプリフォーム圧力制御ユニット17は、キャピラリ外部圧力制御用チャンバー3、キャピラリ内部圧力制御用チャンバー4、圧力モニター5、開閉弁6、電子式真空レギュレーター7、圧力制御装置8、圧力設定器9及び真空ポンプ23で構成されている。
【0028】
キャピラリ外部圧力制御用チャンバー3は、上面を有する円筒状に形成されており、後述のプリフォーム15のサポート管2の上側から外嵌めするように設けられている。キャピラリ外部圧力制御用チャンバー3の側面からは排気系配管6aが延びている。その排気系配管6aは開閉弁6を介して真空ポンプ23に接続している。そして、真空ポンプ23によってキャピラリ外部圧力制御用チャンバー3及びサポート管2内、つまり、キャピラリ1の外部を減圧し、開閉弁6を開閉することにより、キャピラリ1の外部圧力の制御がなされるようになっている。
【0029】
キャピラリ内部圧力制御用チャンバー4は、上面を有する円筒状に形成されており、キャピラリ外部圧力制御用チャンバー3の上面を貫通して後述するプリフォーム15のキャピラリ束1aの上側から外嵌めするように設けられている。キャピラリ内部圧力制御用チャンバー4の上面からは排気系配管7aと吸気系配管8aとが延びている。その排気系配管7aは電子式真空レギュレーター7を介して真空ポンプ23に接続している。吸気系配管8aは圧力制御装置8を介して窒素ガス源に接続されている。その圧力制御装置8は圧力設定器9に接続されている。キャピラリ内部圧力制御用チャンバー4の側面からは圧力検知管5aが延びている。その圧力検知管5aは圧力モニター5に接続している。そして、キャピラリ内部圧力制御用チャンバー3内、つまり、キャピラリ1の内部を、真空ポンプ23によって減圧し、窒素ガスを供給することによって加圧し、電子式真空レギュレーター7及び圧力制御装置8によってキャピラリ1の内部圧力の制御がなされるようになっている。
【0030】
さらに、キャピラリ外部圧力制御用チャンバー3は、キャピラリ内部圧力制御用チャンバー4の構成と同様に、吸気系配管8a、圧力制御装置8、圧力設定器9及び圧力モニター5を設けてそれらと接続してもよい。
【0031】
溶融炉18は、ヒーター18aを備えており、プリフォーム15の下部をその内部に取り込み、プリフォーム15を加熱溶融するものである。
【0032】
線径制御ユニット19は、線径測定器19a、線径制御部19b及びキャプスタン19cを備えており、線径測定器19aにより非接触で得られたPCF20の外径を測定し、線径制御部19bを介して、プリフォーム送り出し装置16のプリフォーム15の送り速度や、キャプスタン19cの回転速度にフィードバックして、PCF20の外径を所定値に合わせるものである。
【0033】
巻き取り部21は、ボビン21a、ローラー21b及びダンサーローラー21cを備えており、得られたPCF20の張力を一定に保持しながらPCF20をボビン21aに巻き取るものである。
【0034】
次に、上述のPCF製造装置100を用いるPCF20の製造方法の一例を工程追って説明する。
【0035】
<準備工程>
石英製のキャピラリ1を複数本と、キャピラリ1と同外径で同長さの石英製のコアロッドを1本と、キャピラリ1及びコアロッド10より短尺で石英製の円筒状のサポート管2と、を準備する。
【0036】
<プリフォーム作製工程>
図4に示すように、複数本のキャピラリ1及びコアロッド10を貫通状態にサポート管2内に充填する。このとき、横断面においてキャピラリ1が三角格子を形成するようにキャピラリ1を最密状に充填すると共に、サポート管2の中心軸位置にコアロッド10が配置され、且つ、複数本のキャピラリ1、コアロッド10及びサポート管2の片側の端面が揃うようにする。これによって、各キャピラリ1及びコアロッド10の移動がサポート管2により規制されることとなる。以上のようにして、最密状に充填された複数本のキャピラリ1と、その中心軸位置に配設されたコアロッド10と、複数本のキャピラリ1及びコアロッド10を保持するサポート管2と、から構成されるプリフォーム15を作製する。
【0037】
<プリフォーム封止工程>
プリフォーム作製工程で作製したプリフォーム15の端面を揃えた側の端面を加熱して、複数本のキャピラリ1及びサポート管2を封止する。これによって、その端面の片側が封止され、その反対側が開口しているプリフォーム15を準備する。
【0038】
<線引き工程>
プリフォーム封止工程で片側の端面を封止したプリフォーム15を、その封止側が溶融炉18になるように上述のプリフォーム送り出し装置16のプリフォーム保持部16cにセットする。さらに、プリフォーム15のサポート管2の上端をキャピラリ外部圧力制御用チャンバー3に、プリフォーム15のキャピラリ束1aをキャピラリ内部圧力制御用チャンバー4に、それぞれ嵌めこむようにしてプリフォーム15をプリフォーム圧力制御ユニット17にセットする。
【0039】
次いで、プリフォーム15の下部を溶融炉18によって加熱し、プリフォーム15の封止側からファイバ状に線引きする。このとき、隣接するキャピラリ1同士、キャピラリ1とサポート管2、キャピラリ1とコアロッド10は相互に融着一体化することとなる。そうして、図5に示すように、ファイバ中心に中実に形成されたコア部13と、コア部13を囲うように設けられ且つコア部に沿って延びる多数の細孔12を有するクラッド部11と、これらを被覆するように設けられたサポート部14とを備えたPCF20が製造される。
【0040】
さらに、真空ポンプ23による排気と、窒素ガスの供給とによって、複数のキャピラリ1の外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリ1の内部圧力の制御を工程の進度に応じて行うことにより、製造されるクラッド部11の細孔12の径及び間隔を所定の目標値に近づける。具体的には、線引き加工開始時には複数のキャピラリ1の内部圧力を負圧側に設定し、線引き速度が所定の速度に近づいたら複数のキャピラリ1の内部圧力をやや正圧にし、線引き加工が進むに従い、複数のキャピラリ1の内部圧力を上げていくような制御をする。このとき、キャピラリ1の外部圧力も同時に制御することにより、より精度の高いPCF20を製造することができる。
【0041】
次いで、線径制御ユニット19の線径測定器19aによって線引き直後のPCF20の外径を測定し、線径制御部19bによってその外径の測定値を基に、プリフォーム送り出し装置16のプリフォーム15の送り速度及びキャプスタン19cの回転速度を制御し、PCF20の外径を所定値に調整する。
【0042】
次いで、外径が所定値に調整されたPCF20を巻き取り部21のローラー21b及びダンサーローラー21cを経由させ、同時にダンサーローラー21cによって一定の張力をかけながら、ボビン21aに巻き取る。
【0043】
また、上記実施形態では、供給するガスとして窒素ガスを用いてPCF20を製造したが、特にこれに限定されるものではなく、ヘリウム及びアルゴンのような不活性のガスや、HF、F、Cl及びCOのような乾燥性のあるガスや、F、CF、CHF、C、C、C、NF及びSFのようなエッチングガスといった機能性のガスでもよい。特に上述の乾燥性のあるガスやエッチングガスといった機能性のガスを用いることにより、線引きと同時にキャピラリ内面の水酸基濃度が低下し、水酸基に起因する伝送損失が低減される。
【0044】
線引き時に複数のキャピラリ1の外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリ1の内部圧力を制御しても、プリフォーム15の送り速度が遅い場合は、プリフォーム15の溶融炉18内での滞留時間が長くなり、キャピラリ1が部分的に膨張し径の変動が大きくなり、限度を超えるとPCF20が断線してしまうことが考えられる。そのため、このような径の変動要因を排除するために、プリフォーム15の送り速度に下限値を設定することが望ましい。
【0045】
以上のようなPCF20の製造方法によれば、複数のキャピラリ1の外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリ1の内部圧力を制御しながら線引きすることになる。これにより、線引き中にPCF20のクラッド部11の細孔12の径及び間隔を自在に調整することができ、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造が調整できる。さらに、クラッド部11の細孔12の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように、複数のキャピラリ1の外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリ1の内部圧力を制御しながら線引きすることにより、PCF20のファイバ長さ方向においてクラッド部11の細孔12の径及び間隔が所定の大きさに揃い安定した内部構造を有するPCF20を製造できる。しかも、圧力を制御により、クラッド部11の細孔12が消失しないように線引き中のキャピラリ1の内部圧力を高めるようにすれば、内部圧力による細孔12を拡大させる力が高温の線引きで大きくなるガラスの表面張力による細孔を縮小させる力を上回ることができ、クラッド部11の細孔12の消失を考慮せずに高温で線引きをすることが可能になり得られるPCF20の強度を保持でき、また、PCF20のクラッド部11の細孔12の径がファイバ長さ方向の途中から異なるPCF20を製造することも可能である。
【0046】
なお、本発明は本実施形態に限定されるものではなく、他の構成のものであってもよい。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の製造方法によれば、複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、複数のキャピラリの内部圧力を制御しながら線引きすることになるので、線引き中にPCFのクラッド部の細孔の径及び間隔を自在に調整することができ、ファイバ長さ方向に沿ってファイバの内部構造が調整できる。さらに、クラッド部の細孔の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように、複数のキャピラリ外部圧力及び/又は複数のキャピラリ内部圧力を制御しながら線引きすることにより、PCFのファイバ長さ方向に沿ってクラッド部の細孔の径及び間隔が所定の大きさに揃い安定した内部構造を有するPCFを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係るPCFの製造装置の概略構成図である。
【図2】実施形態に係る線引き工程の説明図である。
【図3】実施形態に係る線引き工程に用いる装置の概略構成図である。
【図4】実施形態に係るプリフォームの断面図である。
【図5】実施形態に係るPCFの斜視図である。
【図6】従来の線引き工程の説明図である。
【図7】従来の製造方法によって製造されたPCFのクラッド部の細孔の径及び間隔のそれぞれのファイバ長さ方向の推移を示す図である。
【符号の説明】
1 キャピラリ
1a キャピラリ束
2 サポート管
3 キャピラリ外部圧力制御用チャンバー
4 キャピラリ内部圧力制御用チャンバー
5 圧力モニター
6 開閉弁
6a 排気系配管
7 電子式真空レギュレーター
7a 排気系配管
8 圧力制御装置
9 圧力設定器
10 コアロッド
11 クラッド部
12 細孔
13 コア部
14 サポート部
15 プリフォーム
16 プリフォーム送り出し装置
16a 支柱部
16b 移動部
16c プリフォーム保持部
17 プリフォーム圧力制御ユニット
18 溶融炉
18a ヒーター
19 線径制御ユニット
19a 線径測定器
19b 線径制御部
19c キャプスタン
20 PCF
21 巻き取り部
21a ボビン
21b ローラー
21c ダンサーローラー
22 吸引用チャンバー
100 PCF製造装置

Claims (4)

  1. 中実又は中空のコア部と、該コア部を被覆するように設けられ該コア部に沿って延びる複数の細孔が該コアを囲うように形成されたクラッド部と、を有するフォトニッククリスタルファイバの製造方法であって、
    サポート管内に、中実のコア部となるコアロッド及びクラッド部となる複数のキャピラリ、又は、中空のコア部となるコア部形成空間を形成し且つクラッド部となる複数のキャピラリを充填してプリフォームを作製するプリフォーム作製工程と、
    上記プリフォームを加熱及び延伸してファイバ状に延伸する線引き工程と、
    を備え、
    上記線引き工程において、上記サポート管内の上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、該複数のキャピラリの内部圧力を、制御することを特徴とするフォトニッククリスタルファイバの製造方法。
  2. 請求項1に記載されたフォトニッククリスタルファイバの製造方法において、
    上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、上記複数のキャピラリの内部圧力を、形成されるクラッド部の細孔の径及び間隔がファイバ長さ方向に沿って略均一となるように制御することを特徴とするフォトニッククリスタルファイバの製造方法。
  3. 請求項1又は2に記載されたフォトニッククリスタルファイバの製造方法において、
    上記複数のキャピラリの外部圧力、及び/又は、上記複数のキャピラリの内部圧力の制御を、真空ポンプによる排気と、空気、ヘリウム、アルゴン及び窒素からなる群から選択される少なくとも1種類のガスの供給とによって行うことを特徴とするフォトニッククリスタルファイバの製造方法。
  4. サポート管内に、中実のコア部となるコアロッド及びクラッド部となる複数のキャピラリ、又は、中空のコア部となるコア部形成空間を形成し且つクラッド部となる複数のキャピラリを充填して作製したプリフォームを加熱及び延伸してファイバ状に延伸するフォトニッククリスタルファイバの製造装置であって、
    サポート管内の複数のキャピラリの外部圧力を制御するキャピラリ外部圧力制御手段、及び/又は、複数のキャピラリの内部圧力を制御するキャピラリ内部圧力制御手段を、備えたことを特徴とするフォトニッククリスタルファイバの製造装置。
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