JP2004227796A - プラズマ処理方法,プラズマ処理の改善方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロ波を利用したプラズマ処理装置を使用してプラズマ処理する際に,スロットアンテナと下方の誘電体窓との間のギャップを最適にして,整合を取りやすくし,またプラズマに対する電力の投入効率を改善する。
【解決手段】マイクロ波供給装置36から同軸導波管35に対してマイクロ波が供給され,アンテナ部材31のスロットアンテナ32からリークした電磁界が誘電体窓22を透過して処理容器2内にプラズマを発生させる。スロットアンテナ32と誘電体窓22間のギャップGの長さdを,マイクロ波がギャップGを通過する波長の1/4程度にする。
【選択図】 図3
【解決手段】マイクロ波供給装置36から同軸導波管35に対してマイクロ波が供給され,アンテナ部材31のスロットアンテナ32からリークした電磁界が誘電体窓22を透過して処理容器2内にプラズマを発生させる。スロットアンテナ32と誘電体窓22間のギャップGの長さdを,マイクロ波がギャップGを通過する波長の1/4程度にする。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は,プラズマ処理方法,プラズマ処理の改善方法及びプラズマ処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から,RF(ラジオ高周波)よりも高い周波数のマイクロ波を用い,処理容器内にプラズマを発生させて処理容器内の基板に対してエッチング,アッシング,成膜等の処理を施す技術が開示されている。かかる場合,封止体とも称される石英ガラス等の誘電体窓を処理容器の上部開口に設け,その上方に平板状のスロットアンテナを持つアンテナ部材を配置し,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を円筒導波管によって前記アンテナ部材に伝搬させて,前記スロットアンテナのスロットからリークさせたマイクロ波によって処理容器内にプラズマを発生する装置が使用されている(例えば,特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
国際公開WO−01−76329号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,前記従来のプラズマ処理装置は,誘電体窓とアンテナ部材との間のギャップについては,何ら考慮されていない。この点に関し,発明者らの検証によれば,前記ギャップを変化させると,VSWR(Voltage Standing Wave Ratio),あるいは反射係数Γに変化が認められることが確認できた(VSWR=(1+Γ)/(1−Γ))。このVSWRが大きいと,整合がとりづらくなり,また発生したプラズマに対する電力の投入効率が悪くなってしまう。
【0005】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり,誘電体窓とアンテナ部材との間のギャップを最適にして,整合を取りやすくし,またプラズマに対する電力の投入効率を改善することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,本発明のプラズマ処理方法は,処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状や凸状になった傘形アンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置を用いると共に,前記誘電体窓の厚さを,前記マイクロ波の前記誘電体窓を通過する際の波長の約1/2とし,さらに前記ギャップの長さをdとしたとき,2<d<6mmとなるように,前記ギャップの長さを設定してプラズマ処理を施すことを特徴としている。かかる場合,前記処理空間の圧力を50×1.33Pa(50mTorr)以下とすることが好ましい。
なお本発明で言うところの前記誘電体窓の厚さを,前記マイクロ波の前記誘電体窓を通過する際の波長の約1/2とは,(1/2)±(1/8)程度のものをいう。また導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を使用することができる。
【0007】
発明者らの実験によれば,かかる条件でVSWR特性あるいは反射係数Γの特性を調べた結果,図1に示したように,ギャップの長さが2mm〜6mmの間では,他よりもVSWRが低くなっていることが確認できた。
【0008】
このような特性が出た理由は,現時点では次のようなことが考えられる。すなわち,この種のスロットアンテナにおけるスロットの長さは,共振を防止するため,マイクロ波がアンテナ部材中で伝搬する際の波長λcの1/2より小さいところで使用している。ところが前記ギャップを短くしていくと,誘電体窓がスロットアンテナ近づくためギャップ中の雰囲気の誘電率が変化し,そのためたとえばλc/10に設定していたものが,実際はλc/8というように少し大きくなって,結果的にプラズマに投入される電力としてはプラズマに対してリークしやすい方向にシフトしていると考えられる。そのためVSWRが小さくなると考えられる。ただし,さらにギャップを0に近づけていった場合にVSWRが再び上昇する理由については,未だ不明である。
【0009】
したがって,前記ギャップの長さをdとしたとき,2<d<6mmとなるように,前記ギャップの長さを設定してプラズマ処理を施すようにすれば,プラズマに対する電力の投入効率が改善され,反射も少ないので整合も取りやすくなる。
【0010】
したがって,以上のようなことから,本発明によれば,処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状若しくは凸状の傘形アンテナを有して前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置において,前記ギャップの長さを変化させることで,前記プラズマに対して投入される電力効率を改善することを特徴とする,プラズマ処理の改善方法も提案できる。なお導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を用いることができる。
【0011】
前記したように,前記した圧力条件の下でギャップを小さくしていくと,ある程度の範囲でVSWR特性が小さくなることができたが,圧力条件を考慮せず,たとえば大気中において前記ギャップの長さを変化させていくと,後述したように,前記マイクロ波のギャップを通過する際の波長をλgとしたとき,このλgとギャップの長さとの関係でも,やはりVSWR特性が変化することが確認できた。したがってこれらのことから,本発明のように,前記ギャップの長さを変化させれば,VSWRを小さくし,その結果マイクロ波によって処理容器内で発生したプラズマに対して投入される電力効率を改善することが可能になる。
【0012】
以上のことから,前記ギャップの長さを波長λgで表してVSWRとの間の関係について,発明者らがさらに実験したところ,図2に示したような特性が得られた。これによれば,前記ギャップdの長さを,波長λgとの関係で表したとき,ギャップdの長さが,d=λg/8のところでVSWRが次第に低下し,d=2λg/8,すなわちλg/4の辺りで最も低くなり,また次第に上昇し,3λg/8の辺りで元の値に戻るという特性が得られた。
【0013】
このような特性になった理由としては,現時点では,次のように考えられれる。すなわちスロットアンテナから放出されたマイクロ波による電磁界の波は,ギャップ長がλg/4に設定されていると,誘電体窓上面からの反射波がアンテナ面に戻ってきた時に,およそ位相が180゜変化しているので,アンテナ面で電磁界が一部キャンセルされる。従って反射電力が減少し,VSWRが小さくなる。そして(λg/4)から離れるとその効果が小さくなるものと思われる。反射波が打ち消されると,その分電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなる。
【0014】
以上のような結果から鑑みれば,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置であって,前記処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,前記ギャップの長さをd,前記マイクロ波の前記ギャップを通過する際の波長をλgとしたとき,d=λg/8〜3λg/8となるように,前記ギャップの長さを設定すれば,ギャップdが当該範囲外の場合よりも,電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなる。なお導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を用いることができる。もちろん平板状のスロットアンテナに代えて,中心部が凹状若しくは凸状に形成された傘形アンテナを使用してもよい。
【0015】
またd=λg/4のところでVSWRが最も小さくなるのであるから,波の周期性を考えれば,d=(2n−1)λg/4 というように,ギャップdの長さを設定すれば,同様にdがそれ以外の値の場合よりも,電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなると考えられる。但し,実際に装置として構成した場合,各部材の特性や取り付け精度,その他の誤差により,あるいは複数のモードが発生し,各モードに応じて波長が異なるので,誤差が生ずる。したがって必ずしもd=(2n−1)λg/4のときにVSWRが最も小さくなるとは限らないので,実機の使用上はかかる点を考慮して,d={(2n−1)λg/4}±(λg/8)の範囲にギャップの長さを設定すれば,実用上好ましいと考えられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の好ましい実施の形態について説明する。図3は,本実施の形態にかかるプラズマ処理装置1の縦断面の様子を示しており,このプラズマ処理装置1は例えばアルミニウムからなる,上部が開口した有底円筒状の処理容器2を備えている。なお前記処理容器2は接地されている。この処理容器2の底部には,基板として例えば半導体ウエハ(以下ウエハという)Wを載置するためのサセプタ3が設けられている。このサセプタ3は例えばアルミニウムからなり,処理容器2の外部に設けられた交流電源4から,バイアス用の高周波が供給されるようになっている。
【0017】
処理容器2の底部には,真空ポンプなどの排気装置11によって処理容器2内の雰囲気を排気するための排気管12が設けられている。また処理容器2の側壁には,処理ガス供給源13からの処理ガスを供給するための供給管14が設けられている。
【0018】
処理容器2の上部開口には,気密性を確保するためのOリングなどのシール材21を介して,たとえば石英ガラスからなる誘電体窓22が設けられている。石英ガラスに代えて,他の誘電体材料,たとえばセラミックスを使用してもよい。この誘電体窓22によって,処理容器2内に,処理空間Sが形成される。誘電体窓22は,平面形態が円形である。
【0019】
誘電体窓22の上方には,ギャップGを介してアンテナ部材31が設けられている。本実施の形態において,アンテナ部材31は,たとえば最下面に位置するスロットアンテナ32,その上部に位置する遅波板33,遅波板33を覆うアンテナカバー38によって構成されている。
【0020】
スロットアンテナ32は,図4に示したように,導電性を有する材質,たとえば銅の薄い円板からなり,一のスロット32aの端部付近に対して直角に近い鋭角をもって他のスロット32bの端部が接近して1対をなす組が,同心円状に整列して形成されている。
【0021】
遅波板33の中心には,導電性を有する材質,たとえば金属によって構成された円錐形の一部を構成するバンプ34が配置されている。このバンプ34は,内側導体35aと外管35bとによって構成される同軸導波管35の当該内側導体35aと電気的に導通している。同軸導波管35は,マイクロ波供給装置36で発生させた,たとえば2.45GHzのマイクロ波を,負荷整合器37を介して同軸導波管35を通じ,前記アンテナ部材31に伝搬させるようになっている。
【0022】
本実施の形態にかかるプラズマ処理装置1は,以上の構成を有しており,プラズマ処理する際には,処理容器2内のサセプタ3上にウエハWを載置し,供給管14から所定の処理ガスを処理容器2内に供給しつつ,排気管12から排気することで,処理空間S内を所定の圧力にする。そして交流電源4によってウエハWにバイアス高周波を印加すると共に,マイクロ波供給装置36によってマイクロ波を発生させて,これを同軸導波管35によってアンテナ部材31に伝搬させると,処理空間Sにおいてプラズマが発生して,処理ガスの種類等を選択することで,ウエハWに対して所定のプラズマ処理,エッチング,アッシング,成膜等の各種のプラズマ処理が実施できる。
【0023】
ところで,本実施の形態にかかるプラズマ装置1においては,アンテナ部材31下面のスロットアンテナ32と誘電体窓22との間には,ギャップGが介在しており,このギャップGの長さdをマイクロ波の波長に応じて,適宜設定することで,前記プラズマに対する電力投入効率を改善させることができる。以下,幾つかの例を挙げる。
【0024】
(第1実施例:圧力と共に調整する例)
(1)処理容器2内の圧力を50×1.33Pa(50mTorr)以下に設定する。これは排気装置11からの排気量と処理ガス供給源13からの処理ガス供給量によって調整する。
(2)誘電体窓22の厚さをマイクロ波が誘電体窓22を通過する際の波長λcのおよそ1/2とする。たとえばマイクロ波供給装置36から供給されるマイクロ波の波長が2.45GHzの場合,誘電体窓22の厚さを30mm以上とする。
(3)ギャップGの長さdを2<d<6mmとなるように設定する。
以上の条件下でプラズマ処理を実施すれば,発生するプラズマに対して電力投入効率が向上し,また負荷整合器37での整合がとりやすくなる。
なお傘形アンテナの場合には,図5に示したように,傘形アンテナ41の外周部と誘電体窓22の上面との間のギャップGの長さをdとする。この傘形アンテナ41は傘の帆に似た形状を有することからそのように呼称されており,外形が略円錐台形状をなし,中央部が上方に凸に盛り上がった形状を有しているそして,導電性の部材からなるアンテナ本体41aには,前出スロット32a,32bがたとえば環状,渦巻状に形成されている。なおバンプ34は,アンテナ本体41aの頂上部に形成された平坦部に配置される。
また図6に示したように,図5の傘形アンテナ41を上下に逆さまにした形状の傘形アンテナ45を使用する場合にも,図6に示したように,傘形アンテナ45の外周部と誘電体窓22の上面との間のギャップGの長さをdとする。この傘形アンテナ45のアンテナ本体45aにも,前出スロット32a,32bがたとえば環状,渦巻状に形成されている。そしてバンプ34は,アンテナ本体45aの窪みの部分の中心に形成された平坦部に配置される。
【0025】
(第2実施例:波長との関係でギャップを調整する例)
(1)ギャップGの長さdを,マイクロ波がギャップGを通過する際の波長λgのλg/8〜3λg/8となるように調整する。たとえばマイクロ波供給装置36から供給されるマイクロ波の波長が2.45GHz,ギャップGの長さdをλg/4として設定する場合,15mm〜45mmの間に設定する。好ましくは30mm,及びその前後の20〜40mmがよい。
以上の条件下でプラズマ処理を実施すれば,発生するプラズマに対して電力投入効率が向上し,また負荷整合器37での整合がとりやすくなる。
【0026】
また以上のことから,本発明によれば,ギャップGの長さを変化させることで,処理容器2内に発生したプラズマに対して投入される電力効率を改善することが可能であり,また負荷整合器37での整合がとりやすくなるという効果が得られる。
【0027】
なおアンテナ部材31の導波路となる遅波板33は,これを設けず,導波路自体を単なる空間にしてもよい。また該空間は大気側に通じていても良い。さらに遅波板33の材料自体は,誘電体(たとえば発泡スチロール,石英ガラス,Al2O3,AlN等)を用いることができる。遅波板33の設置についても,遅波板33が占めている空間の一部あるいは全部に設置されていてもよい。
【0028】
なお以上の例では,マイクロ波の波長が2.45GHzの場合であったが,もちろんこれ限らず,種々のマイクロ波に対して適用できる。また処理対象である基板も半導体ウエハに限らず,LCDガラス基板などの各種基板に対しても適用可能である。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば,マイクロ波の供給によってプラズマを発生させてプラズマ処理する際に,プラズマ側からの反射波との整合をとりやすくでき,またプラズマに対する電力の投入効率を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にしたがって,ギャップを調整したときのVSWR特性を示すグラフ図である。
【図2】本発明にしたがって,マイクロ波の波長に依拠してギャップを調整したときのVSWR特性を示すグラフ図である。
【図3】本実施の形態にかかるプラズマ処理装置の縦断面図である。
【図4】図1のプラズマ処理装置に使用したスロットアンテナの底面図である。
【図5】傘形アンテナの側面断面図である。
【図6】他の傘形アンテナの側面断面図である。
【符号の説明】
1 プラズマ処理装置
2 処理容器
3 サセプタ
22 誘電体窓
31 アンテナ部材
32 スロットアンテナ
32a,32b スロット
35 同軸導波管
36 マイクロ波供給装置
37 負荷整合器
G ギャップ
S 処理空間
d ギャップの長さ
W ウエハ
【発明の属する技術分野】
本発明は,プラズマ処理方法,プラズマ処理の改善方法及びプラズマ処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から,RF(ラジオ高周波)よりも高い周波数のマイクロ波を用い,処理容器内にプラズマを発生させて処理容器内の基板に対してエッチング,アッシング,成膜等の処理を施す技術が開示されている。かかる場合,封止体とも称される石英ガラス等の誘電体窓を処理容器の上部開口に設け,その上方に平板状のスロットアンテナを持つアンテナ部材を配置し,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を円筒導波管によって前記アンテナ部材に伝搬させて,前記スロットアンテナのスロットからリークさせたマイクロ波によって処理容器内にプラズマを発生する装置が使用されている(例えば,特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
国際公開WO−01−76329号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,前記従来のプラズマ処理装置は,誘電体窓とアンテナ部材との間のギャップについては,何ら考慮されていない。この点に関し,発明者らの検証によれば,前記ギャップを変化させると,VSWR(Voltage Standing Wave Ratio),あるいは反射係数Γに変化が認められることが確認できた(VSWR=(1+Γ)/(1−Γ))。このVSWRが大きいと,整合がとりづらくなり,また発生したプラズマに対する電力の投入効率が悪くなってしまう。
【0005】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり,誘電体窓とアンテナ部材との間のギャップを最適にして,整合を取りやすくし,またプラズマに対する電力の投入効率を改善することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,本発明のプラズマ処理方法は,処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状や凸状になった傘形アンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置を用いると共に,前記誘電体窓の厚さを,前記マイクロ波の前記誘電体窓を通過する際の波長の約1/2とし,さらに前記ギャップの長さをdとしたとき,2<d<6mmとなるように,前記ギャップの長さを設定してプラズマ処理を施すことを特徴としている。かかる場合,前記処理空間の圧力を50×1.33Pa(50mTorr)以下とすることが好ましい。
なお本発明で言うところの前記誘電体窓の厚さを,前記マイクロ波の前記誘電体窓を通過する際の波長の約1/2とは,(1/2)±(1/8)程度のものをいう。また導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を使用することができる。
【0007】
発明者らの実験によれば,かかる条件でVSWR特性あるいは反射係数Γの特性を調べた結果,図1に示したように,ギャップの長さが2mm〜6mmの間では,他よりもVSWRが低くなっていることが確認できた。
【0008】
このような特性が出た理由は,現時点では次のようなことが考えられる。すなわち,この種のスロットアンテナにおけるスロットの長さは,共振を防止するため,マイクロ波がアンテナ部材中で伝搬する際の波長λcの1/2より小さいところで使用している。ところが前記ギャップを短くしていくと,誘電体窓がスロットアンテナ近づくためギャップ中の雰囲気の誘電率が変化し,そのためたとえばλc/10に設定していたものが,実際はλc/8というように少し大きくなって,結果的にプラズマに投入される電力としてはプラズマに対してリークしやすい方向にシフトしていると考えられる。そのためVSWRが小さくなると考えられる。ただし,さらにギャップを0に近づけていった場合にVSWRが再び上昇する理由については,未だ不明である。
【0009】
したがって,前記ギャップの長さをdとしたとき,2<d<6mmとなるように,前記ギャップの長さを設定してプラズマ処理を施すようにすれば,プラズマに対する電力の投入効率が改善され,反射も少ないので整合も取りやすくなる。
【0010】
したがって,以上のようなことから,本発明によれば,処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状若しくは凸状の傘形アンテナを有して前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置において,前記ギャップの長さを変化させることで,前記プラズマに対して投入される電力効率を改善することを特徴とする,プラズマ処理の改善方法も提案できる。なお導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を用いることができる。
【0011】
前記したように,前記した圧力条件の下でギャップを小さくしていくと,ある程度の範囲でVSWR特性が小さくなることができたが,圧力条件を考慮せず,たとえば大気中において前記ギャップの長さを変化させていくと,後述したように,前記マイクロ波のギャップを通過する際の波長をλgとしたとき,このλgとギャップの長さとの関係でも,やはりVSWR特性が変化することが確認できた。したがってこれらのことから,本発明のように,前記ギャップの長さを変化させれば,VSWRを小さくし,その結果マイクロ波によって処理容器内で発生したプラズマに対して投入される電力効率を改善することが可能になる。
【0012】
以上のことから,前記ギャップの長さを波長λgで表してVSWRとの間の関係について,発明者らがさらに実験したところ,図2に示したような特性が得られた。これによれば,前記ギャップdの長さを,波長λgとの関係で表したとき,ギャップdの長さが,d=λg/8のところでVSWRが次第に低下し,d=2λg/8,すなわちλg/4の辺りで最も低くなり,また次第に上昇し,3λg/8の辺りで元の値に戻るという特性が得られた。
【0013】
このような特性になった理由としては,現時点では,次のように考えられれる。すなわちスロットアンテナから放出されたマイクロ波による電磁界の波は,ギャップ長がλg/4に設定されていると,誘電体窓上面からの反射波がアンテナ面に戻ってきた時に,およそ位相が180゜変化しているので,アンテナ面で電磁界が一部キャンセルされる。従って反射電力が減少し,VSWRが小さくなる。そして(λg/4)から離れるとその効果が小さくなるものと思われる。反射波が打ち消されると,その分電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなる。
【0014】
以上のような結果から鑑みれば,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置であって,前記処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,前記ギャップの長さをd,前記マイクロ波の前記ギャップを通過する際の波長をλgとしたとき,d=λg/8〜3λg/8となるように,前記ギャップの長さを設定すれば,ギャップdが当該範囲外の場合よりも,電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなる。なお導波管としては,円筒導波管,同軸導波管を用いることができる。もちろん平板状のスロットアンテナに代えて,中心部が凹状若しくは凸状に形成された傘形アンテナを使用してもよい。
【0015】
またd=λg/4のところでVSWRが最も小さくなるのであるから,波の周期性を考えれば,d=(2n−1)λg/4 というように,ギャップdの長さを設定すれば,同様にdがそれ以外の値の場合よりも,電力のプラズマへの投入効率が上昇し,また整合もとりやすくなると考えられる。但し,実際に装置として構成した場合,各部材の特性や取り付け精度,その他の誤差により,あるいは複数のモードが発生し,各モードに応じて波長が異なるので,誤差が生ずる。したがって必ずしもd=(2n−1)λg/4のときにVSWRが最も小さくなるとは限らないので,実機の使用上はかかる点を考慮して,d={(2n−1)λg/4}±(λg/8)の範囲にギャップの長さを設定すれば,実用上好ましいと考えられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の好ましい実施の形態について説明する。図3は,本実施の形態にかかるプラズマ処理装置1の縦断面の様子を示しており,このプラズマ処理装置1は例えばアルミニウムからなる,上部が開口した有底円筒状の処理容器2を備えている。なお前記処理容器2は接地されている。この処理容器2の底部には,基板として例えば半導体ウエハ(以下ウエハという)Wを載置するためのサセプタ3が設けられている。このサセプタ3は例えばアルミニウムからなり,処理容器2の外部に設けられた交流電源4から,バイアス用の高周波が供給されるようになっている。
【0017】
処理容器2の底部には,真空ポンプなどの排気装置11によって処理容器2内の雰囲気を排気するための排気管12が設けられている。また処理容器2の側壁には,処理ガス供給源13からの処理ガスを供給するための供給管14が設けられている。
【0018】
処理容器2の上部開口には,気密性を確保するためのOリングなどのシール材21を介して,たとえば石英ガラスからなる誘電体窓22が設けられている。石英ガラスに代えて,他の誘電体材料,たとえばセラミックスを使用してもよい。この誘電体窓22によって,処理容器2内に,処理空間Sが形成される。誘電体窓22は,平面形態が円形である。
【0019】
誘電体窓22の上方には,ギャップGを介してアンテナ部材31が設けられている。本実施の形態において,アンテナ部材31は,たとえば最下面に位置するスロットアンテナ32,その上部に位置する遅波板33,遅波板33を覆うアンテナカバー38によって構成されている。
【0020】
スロットアンテナ32は,図4に示したように,導電性を有する材質,たとえば銅の薄い円板からなり,一のスロット32aの端部付近に対して直角に近い鋭角をもって他のスロット32bの端部が接近して1対をなす組が,同心円状に整列して形成されている。
【0021】
遅波板33の中心には,導電性を有する材質,たとえば金属によって構成された円錐形の一部を構成するバンプ34が配置されている。このバンプ34は,内側導体35aと外管35bとによって構成される同軸導波管35の当該内側導体35aと電気的に導通している。同軸導波管35は,マイクロ波供給装置36で発生させた,たとえば2.45GHzのマイクロ波を,負荷整合器37を介して同軸導波管35を通じ,前記アンテナ部材31に伝搬させるようになっている。
【0022】
本実施の形態にかかるプラズマ処理装置1は,以上の構成を有しており,プラズマ処理する際には,処理容器2内のサセプタ3上にウエハWを載置し,供給管14から所定の処理ガスを処理容器2内に供給しつつ,排気管12から排気することで,処理空間S内を所定の圧力にする。そして交流電源4によってウエハWにバイアス高周波を印加すると共に,マイクロ波供給装置36によってマイクロ波を発生させて,これを同軸導波管35によってアンテナ部材31に伝搬させると,処理空間Sにおいてプラズマが発生して,処理ガスの種類等を選択することで,ウエハWに対して所定のプラズマ処理,エッチング,アッシング,成膜等の各種のプラズマ処理が実施できる。
【0023】
ところで,本実施の形態にかかるプラズマ装置1においては,アンテナ部材31下面のスロットアンテナ32と誘電体窓22との間には,ギャップGが介在しており,このギャップGの長さdをマイクロ波の波長に応じて,適宜設定することで,前記プラズマに対する電力投入効率を改善させることができる。以下,幾つかの例を挙げる。
【0024】
(第1実施例:圧力と共に調整する例)
(1)処理容器2内の圧力を50×1.33Pa(50mTorr)以下に設定する。これは排気装置11からの排気量と処理ガス供給源13からの処理ガス供給量によって調整する。
(2)誘電体窓22の厚さをマイクロ波が誘電体窓22を通過する際の波長λcのおよそ1/2とする。たとえばマイクロ波供給装置36から供給されるマイクロ波の波長が2.45GHzの場合,誘電体窓22の厚さを30mm以上とする。
(3)ギャップGの長さdを2<d<6mmとなるように設定する。
以上の条件下でプラズマ処理を実施すれば,発生するプラズマに対して電力投入効率が向上し,また負荷整合器37での整合がとりやすくなる。
なお傘形アンテナの場合には,図5に示したように,傘形アンテナ41の外周部と誘電体窓22の上面との間のギャップGの長さをdとする。この傘形アンテナ41は傘の帆に似た形状を有することからそのように呼称されており,外形が略円錐台形状をなし,中央部が上方に凸に盛り上がった形状を有しているそして,導電性の部材からなるアンテナ本体41aには,前出スロット32a,32bがたとえば環状,渦巻状に形成されている。なおバンプ34は,アンテナ本体41aの頂上部に形成された平坦部に配置される。
また図6に示したように,図5の傘形アンテナ41を上下に逆さまにした形状の傘形アンテナ45を使用する場合にも,図6に示したように,傘形アンテナ45の外周部と誘電体窓22の上面との間のギャップGの長さをdとする。この傘形アンテナ45のアンテナ本体45aにも,前出スロット32a,32bがたとえば環状,渦巻状に形成されている。そしてバンプ34は,アンテナ本体45aの窪みの部分の中心に形成された平坦部に配置される。
【0025】
(第2実施例:波長との関係でギャップを調整する例)
(1)ギャップGの長さdを,マイクロ波がギャップGを通過する際の波長λgのλg/8〜3λg/8となるように調整する。たとえばマイクロ波供給装置36から供給されるマイクロ波の波長が2.45GHz,ギャップGの長さdをλg/4として設定する場合,15mm〜45mmの間に設定する。好ましくは30mm,及びその前後の20〜40mmがよい。
以上の条件下でプラズマ処理を実施すれば,発生するプラズマに対して電力投入効率が向上し,また負荷整合器37での整合がとりやすくなる。
【0026】
また以上のことから,本発明によれば,ギャップGの長さを変化させることで,処理容器2内に発生したプラズマに対して投入される電力効率を改善することが可能であり,また負荷整合器37での整合がとりやすくなるという効果が得られる。
【0027】
なおアンテナ部材31の導波路となる遅波板33は,これを設けず,導波路自体を単なる空間にしてもよい。また該空間は大気側に通じていても良い。さらに遅波板33の材料自体は,誘電体(たとえば発泡スチロール,石英ガラス,Al2O3,AlN等)を用いることができる。遅波板33の設置についても,遅波板33が占めている空間の一部あるいは全部に設置されていてもよい。
【0028】
なお以上の例では,マイクロ波の波長が2.45GHzの場合であったが,もちろんこれ限らず,種々のマイクロ波に対して適用できる。また処理対象である基板も半導体ウエハに限らず,LCDガラス基板などの各種基板に対しても適用可能である。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば,マイクロ波の供給によってプラズマを発生させてプラズマ処理する際に,プラズマ側からの反射波との整合をとりやすくでき,またプラズマに対する電力の投入効率を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にしたがって,ギャップを調整したときのVSWR特性を示すグラフ図である。
【図2】本発明にしたがって,マイクロ波の波長に依拠してギャップを調整したときのVSWR特性を示すグラフ図である。
【図3】本実施の形態にかかるプラズマ処理装置の縦断面図である。
【図4】図1のプラズマ処理装置に使用したスロットアンテナの底面図である。
【図5】傘形アンテナの側面断面図である。
【図6】他の傘形アンテナの側面断面図である。
【符号の説明】
1 プラズマ処理装置
2 処理容器
3 サセプタ
22 誘電体窓
31 アンテナ部材
32 スロットアンテナ
32a,32b スロット
35 同軸導波管
36 マイクロ波供給装置
37 負荷整合器
G ギャップ
S 処理空間
d ギャップの長さ
W ウエハ
Claims (6)
- 処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状若しくは凸状の傘形アンテナを有して前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置を用い,
前記誘電体窓の厚さを,前記マイクロ波の前記誘電体窓を通過する際の波長の約1/2とし,
さらに前記ギャップの長さをdとしたとき,
2<d<6mmとなるように,前記ギャップの長さを設定してプラズマ処理を施すことを特徴とする,プラズマ処理方法。 - 前記処理空間の圧力を50×0.133Pa以下としたことを特徴とする,請求項1に記載のプラズマ処理方法。
- 処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,下面に平板状のスロットアンテナ又は中心部が凹状若しくは凸状の傘形アンテナを有して前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置において,
前記ギャップの長さを変化させることで,前記プラズマに対して投入される電力効率を改善することを特徴とする,プラズマ処理の改善方法。 - マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置であって,
前記処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,
下面に平板状のスロットアンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,
マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,
前記ギャップの長さをd,前記マイクロ波の前記ギャップを通過する際の波長をλgとしたとき,
d=λg/8〜3λg/8となるように,前記ギャップの長さが設定されていることを特徴とする,プラズマ処理装置。 - マイクロ波の供給によって発生したプラズマによって,処理容器内の基板に対して処理を施すプラズマ処理装置であって,
前記処理容器の上部開口部を気密に覆う誘電体窓と,
下面に平板状のスロットアンテナを有し,前記誘電体窓の上方にギャップをおいて配置されたアンテナ部材と,
マイクロ波供給装置からのマイクロ波を前記アンテナ部材に伝搬させる導波管とを有し,
前記ギャップの長さをd,前記マイクロ波の前記ギャップを通過する際の波長をλg,自然数をnとしたとき,
ほぼd=(2n−1)λg/4となるように,前記ギャップの長さが設定されていることを特徴とする,プラズマ処理装置。 - 前記平板状のスロットアンテナに代えて,中心部が凹状若しくは凸状の傘形アンテナを用いたことを特徴とする,請求項5又は6に記載のプラズマ処理装置。
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JP2003010750A JP2004227796A (ja) | 2003-01-20 | 2003-01-20 | プラズマ処理方法,プラズマ処理の改善方法及びプラズマ処理装置 |
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JP2010170974A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-08-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ源およびプラズマ処理装置 |
JP5444218B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2014-03-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置および誘電体窓の温度調節機構 |
CN111048392A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-04-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种等离子工艺设备 |
-
2003
- 2003-01-20 JP JP2003010750A patent/JP2004227796A/ja not_active Withdrawn
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