JP2004221221A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できるようにした加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置は、複数の加熱ゾーン1〜5を備え、パソコン12のモニター14の画面に各加熱ゾーン1〜5の現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成してある。そして、加熱ゾーン1〜5の現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成され、また、各加熱ゾーン1〜5の現在温度が、モニター14画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されるのが好ましい。
【選択図】 図1
【解決手段】加熱装置は、複数の加熱ゾーン1〜5を備え、パソコン12のモニター14の画面に各加熱ゾーン1〜5の現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成してある。そして、加熱ゾーン1〜5の現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成され、また、各加熱ゾーン1〜5の現在温度が、モニター14画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されるのが好ましい。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の加熱ゾーンを備え、これらの加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニターに表示されるように構成されているリフロー半田付け装置等の加熱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
リフロー半田付け装置は、電子部品を搭載した基板をコンベヤで搬送しながら、加熱ゾーンで加熱してクリーム半田を溶融した後、冷却ゾーンで冷却固化して、電子部品を基板上に半田付けする装置である。
【0003】
このリフロー半田付け装置は、一般に複数の予備加熱ゾーンとリフロー加熱ゾーンを備えており、各加熱ゾーンは、予め決められた所定の温度プロファイルに基づいて温度制御されている(例えば特許文献1参照。)。そして、各加熱ゾーンの温度を監視するために、パソコンのモニターに各加熱ゾーンの現在温度と設定温度が表示されるようになっている。これらの現在温度と設定温度は、従来、温度の数値のみが表示されるように構成されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−224551号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように現在温度と設定温度が数値のみで表示されている場合には、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内にあるかどうかを判断するのに、現在温度と設定温度の温度差を計算し、許容温度範囲内にあるかどうかを見なければならない。しかして、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内にあるかどうかを一見して判断できることが間違い等を少なくするために望ましい。
【0006】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであり、その課題は、加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できるようにした加熱装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、次の手段を採る。すなわち、
本発明は、複数の加熱ゾーンを備え、各加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニター画面に表示されるように構成されている加熱装置であって、前記モニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されていることを特徴とする。
【0008】
上記構成によれば、各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差がカラー表示の色で分かるので、現在温度の設定温度に対する温度誤差がどの程度かを容易に把握することができる。
【0009】
上記において、加熱ゾーンの現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成されていることが好ましい。温度異常とは、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内に一度入った後に許容温度範囲外になることをいう。これによれば、加熱ゾーンに温度異常が発生したとき、直ぐに分かる。
【0010】
また、上記において、各加熱ゾーンの現在温度が、前記モニター画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されていることが好ましい。これによれば、各加熱ゾーンの温度と、設定温度に対する温度誤差を容易に把握できる。
【0011】
また、加熱ゾーンの設定温度が、棒グラフ上に線で表示されることが好ましい。これによれば、現在温度が設定温度の状態にあるか、あるいは設定温度よりも高いか低いかを一見して判別できる。
【0012】
また、上記において、各加熱ゾーンの現在温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、加熱ゾーンの現在温度が正確に容易に分かる。
【0013】
また、上記において、各加熱ゾーンの設定温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、加熱ゾーンの設定温度が正確に容易に分かる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1〜図3を参照して説明する。
【0015】
リフロー半田付け装置は図3に示されているように、3個の予備加熱ゾーン1,2,3と、2個のリフロー加熱ゾーン4,5と、1個の冷却ゾーン6とをコンベヤ7の搬送ラインに沿って順に有している。各加熱ゾーン1〜5にはヒータ8と熱風循環装置(図示せず)が配置されている。なお、各加熱ゾーン1〜5はコンベヤ7を挟んでそれぞれ上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bとに区画されており、上部及び下部の各ゾーン1a〜5a,1b〜5bにヒータ8と熱風循環装置が設けられている。電子部品を搭載したプリント基板9はこれらのヒータ8と熱風循環装置によって加熱ガスが吹き付けられ、加熱される。
【0016】
したがって、電子部品を搭載したプリント基板9は、装置内をコンベヤ7で搬送される過程で、予備加熱ゾーン1,2,3で所定の温度に予熱され、リフロー加熱ゾーン4,5で所定の温度に加熱されてクリーム半田が溶融され、冷却ゾーン6で溶融半田が冷却固化されて半田付けが完了する。
【0017】
そして上記リフロー半田付け装置は、各加熱ゾーン1〜5が予め決められた所定の温度プロファイルに基づいて温度制御されている。図2及び図3において、温度センサ10は各加熱ゾーン1〜5に配置されており、各加熱ゾーン1〜5内の現在温度がこれらの温度センサ10で検出され、その検出信号が温度制御装置11に入力されるようにされている。温度制御装置11は、温度センサ10によって検出された加熱ゾーン1〜5内の現在温度を、予め設定された設定温度と比較して、温度差がなくなるようにヒータ8の出力を制御するように構成されている。なお、温度センサ10は各加熱ゾーン1〜5の上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bとにそれぞれ設けられており、温度制御は各加熱ゾーン1〜5の上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bのそれぞれについて行われるようになっている。
【0018】
温度制御装置11は、パソコン12の本体13に接続されており、パソコン本体13から設定温度が温度制御装置11に入力されるとともに、加熱ゾーン1〜5内の現在温度をパソコン本体13に出力するようになっている。そして、各加熱ゾーン1〜5における設定温度と現在温度とがパソコン12のモニター14に表示されるように構成されている。
【0019】
以下、パソコン12のモニター14に表示される設定温度と現在温度について説明する。
【0020】
図1はパソコン12のモニター14の画面を示している。図1において、モニター14の画面には、画面の上部及び下部に横方向に順次Zone1、Zone2、Zone3、Zone4、及びZone5の文字が表示されており、これらの上下の文字で挟まれた領域が、予備加熱ゾーン1、予備加熱ゾーン2、予備加熱ゾーン3、リフロー加熱ゾーン4、及びリフロー加熱ゾーン5を示している。また、各加熱ゾーン1〜5は上述したように上下に区画されているので、画面では、更に、上下方向中央部に表示されている太い横線15(コンベヤ7を示している。)で上下に区画され、上側の区画部分が上部ゾーン1a〜5a、下側の区画部分が下部ゾーン1b〜5bに対応している。
【0021】
各加熱ゾーン1〜5の設定温度は、Zone1〜5に対応する上下の区画部分のそれぞれ下部に数値で示される。各加熱ゾーン1〜5の現在温度は、Zone1〜5に対応する上下の区画部分のそれぞれ上部に数値で示される。そして、各加熱ゾーン1〜5の現在温度については、Zone1〜5に対応する上下の区画部分に更に棒グラフで表示され、かつ、現在温度と設定温度との温度差に基づいて設定された色で棒グラフがカラー表示されるように構成されている。
【0022】
棒グラフは次のように表示される。
(1)棒グラフの下限は0℃、上限は350℃とされ、スケールは1℃単位である。
(2)棒グラフは、加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差の値で決定される色でカラー表示される。その色を表1に示す。なお、表1では、許容温度差を上限及び下限とも10℃と設定しているが、これに限ることは無く、適宜設定されるものである。
1)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内のときは、温度差が1℃毎に異なる色に設定されている。
・現在温度が設定温度と一致したときは、緑色である。
・現在温度が設定温度よりも高いときは、緑色→黄色→橙色と、温度が高いほど橙色へ変化していく。
・現在温度が設定温度よりも低いときは、緑色→黄色→橙色と、温度が低いほど橙色へ変化していく。
2)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲の上限よりも高いときは、赤色で表示される。
3)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲の下限よりも低いときは、橙色で表示される。
4)現在温度が許容温度範囲外のときは、上記のように赤色又は橙色で棒グラフは表示されるが、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内に一度入った後、許容温度範囲外になったときは、温度異常であるので、次のように表示される。すなわち、温度異常が発生したときは、許容温度範囲の上限よりも高いときは、棒グラフが赤色で点滅し、許容温度範囲の下限よりも低いときは、棒グラフが橙色で点滅する。
【0023】
また、各加熱ゾーン1〜5の設定温度が棒グラフ上に横線16で表示されるとともに、近傍に現在温度の数値が表示される。
【0024】
【表1】
【0025】
表1において、色の右側に付いている数値は、0が原色を示しており、1以上の数値は数値が低いほど原色に近い色であることを示している。
【0026】
リフロー半田付け装置は上記のように構成されているので、温度センサ10で検出された各加熱ゾーン1〜5の現在温度は、温度制御装置11からパソコン本体13に入力される。パソコン本体13はパソコン12のキーボード17を通じて入力されている各加熱ゾーン1〜5の設定温度と、現在温度との差を演算して温度差を算出し、その温度差に応じた色を選択する。色の選択は表1に基づいて行われるように構成されている。そして、図1に示されるように、各加熱ゾーン1〜5の設定温度と現在温度の数値、設定温度を示す横線16及びその近傍に現在温度の数値、並びに各加熱ゾーン1〜5の現在温度を示す棒グラフがパソコン12のモニター14に表示され、かつ、棒グラフは現在温度と設定温度との温度差に基づいた色でカラー表示される。温度異常のときは棒グラフのカラー表示が点滅する。なお、図1では棒グラフの色を便宜的に言葉で表示しているが、勿論実際は色が付されて表示される。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の加熱装置によれば、パソコンのモニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されているので、加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示し、リフロー半田付け装置におけるパソコンのモニター画面を示す図である。
【図2】リフロー半田付け装置における温度制御部とパソコンの構成図である。
【図3】リフロー半田付け装置における加熱炉の概要を示す図である。
【符号の説明】
1,2,3 予備加熱ゾーン
4,5 リフロー加熱ゾーン
6 冷却ゾーン
7 コンベヤ
8 ヒータ
9 電子部品を搭載したプリント基板
10 温度センサ
11 温度制御装置
12 パソコン
13 パソコン本体
14 モニター
15 横線
16 横線
17 キーボード
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の加熱ゾーンを備え、これらの加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニターに表示されるように構成されているリフロー半田付け装置等の加熱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
リフロー半田付け装置は、電子部品を搭載した基板をコンベヤで搬送しながら、加熱ゾーンで加熱してクリーム半田を溶融した後、冷却ゾーンで冷却固化して、電子部品を基板上に半田付けする装置である。
【0003】
このリフロー半田付け装置は、一般に複数の予備加熱ゾーンとリフロー加熱ゾーンを備えており、各加熱ゾーンは、予め決められた所定の温度プロファイルに基づいて温度制御されている(例えば特許文献1参照。)。そして、各加熱ゾーンの温度を監視するために、パソコンのモニターに各加熱ゾーンの現在温度と設定温度が表示されるようになっている。これらの現在温度と設定温度は、従来、温度の数値のみが表示されるように構成されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−224551号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように現在温度と設定温度が数値のみで表示されている場合には、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内にあるかどうかを判断するのに、現在温度と設定温度の温度差を計算し、許容温度範囲内にあるかどうかを見なければならない。しかして、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内にあるかどうかを一見して判断できることが間違い等を少なくするために望ましい。
【0006】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであり、その課題は、加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できるようにした加熱装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、次の手段を採る。すなわち、
本発明は、複数の加熱ゾーンを備え、各加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニター画面に表示されるように構成されている加熱装置であって、前記モニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されていることを特徴とする。
【0008】
上記構成によれば、各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差がカラー表示の色で分かるので、現在温度の設定温度に対する温度誤差がどの程度かを容易に把握することができる。
【0009】
上記において、加熱ゾーンの現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成されていることが好ましい。温度異常とは、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内に一度入った後に許容温度範囲外になることをいう。これによれば、加熱ゾーンに温度異常が発生したとき、直ぐに分かる。
【0010】
また、上記において、各加熱ゾーンの現在温度が、前記モニター画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されていることが好ましい。これによれば、各加熱ゾーンの温度と、設定温度に対する温度誤差を容易に把握できる。
【0011】
また、加熱ゾーンの設定温度が、棒グラフ上に線で表示されることが好ましい。これによれば、現在温度が設定温度の状態にあるか、あるいは設定温度よりも高いか低いかを一見して判別できる。
【0012】
また、上記において、各加熱ゾーンの現在温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、加熱ゾーンの現在温度が正確に容易に分かる。
【0013】
また、上記において、各加熱ゾーンの設定温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、加熱ゾーンの設定温度が正確に容易に分かる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1〜図3を参照して説明する。
【0015】
リフロー半田付け装置は図3に示されているように、3個の予備加熱ゾーン1,2,3と、2個のリフロー加熱ゾーン4,5と、1個の冷却ゾーン6とをコンベヤ7の搬送ラインに沿って順に有している。各加熱ゾーン1〜5にはヒータ8と熱風循環装置(図示せず)が配置されている。なお、各加熱ゾーン1〜5はコンベヤ7を挟んでそれぞれ上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bとに区画されており、上部及び下部の各ゾーン1a〜5a,1b〜5bにヒータ8と熱風循環装置が設けられている。電子部品を搭載したプリント基板9はこれらのヒータ8と熱風循環装置によって加熱ガスが吹き付けられ、加熱される。
【0016】
したがって、電子部品を搭載したプリント基板9は、装置内をコンベヤ7で搬送される過程で、予備加熱ゾーン1,2,3で所定の温度に予熱され、リフロー加熱ゾーン4,5で所定の温度に加熱されてクリーム半田が溶融され、冷却ゾーン6で溶融半田が冷却固化されて半田付けが完了する。
【0017】
そして上記リフロー半田付け装置は、各加熱ゾーン1〜5が予め決められた所定の温度プロファイルに基づいて温度制御されている。図2及び図3において、温度センサ10は各加熱ゾーン1〜5に配置されており、各加熱ゾーン1〜5内の現在温度がこれらの温度センサ10で検出され、その検出信号が温度制御装置11に入力されるようにされている。温度制御装置11は、温度センサ10によって検出された加熱ゾーン1〜5内の現在温度を、予め設定された設定温度と比較して、温度差がなくなるようにヒータ8の出力を制御するように構成されている。なお、温度センサ10は各加熱ゾーン1〜5の上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bとにそれぞれ設けられており、温度制御は各加熱ゾーン1〜5の上部ゾーン1a〜5aと下部ゾーン1b〜5bのそれぞれについて行われるようになっている。
【0018】
温度制御装置11は、パソコン12の本体13に接続されており、パソコン本体13から設定温度が温度制御装置11に入力されるとともに、加熱ゾーン1〜5内の現在温度をパソコン本体13に出力するようになっている。そして、各加熱ゾーン1〜5における設定温度と現在温度とがパソコン12のモニター14に表示されるように構成されている。
【0019】
以下、パソコン12のモニター14に表示される設定温度と現在温度について説明する。
【0020】
図1はパソコン12のモニター14の画面を示している。図1において、モニター14の画面には、画面の上部及び下部に横方向に順次Zone1、Zone2、Zone3、Zone4、及びZone5の文字が表示されており、これらの上下の文字で挟まれた領域が、予備加熱ゾーン1、予備加熱ゾーン2、予備加熱ゾーン3、リフロー加熱ゾーン4、及びリフロー加熱ゾーン5を示している。また、各加熱ゾーン1〜5は上述したように上下に区画されているので、画面では、更に、上下方向中央部に表示されている太い横線15(コンベヤ7を示している。)で上下に区画され、上側の区画部分が上部ゾーン1a〜5a、下側の区画部分が下部ゾーン1b〜5bに対応している。
【0021】
各加熱ゾーン1〜5の設定温度は、Zone1〜5に対応する上下の区画部分のそれぞれ下部に数値で示される。各加熱ゾーン1〜5の現在温度は、Zone1〜5に対応する上下の区画部分のそれぞれ上部に数値で示される。そして、各加熱ゾーン1〜5の現在温度については、Zone1〜5に対応する上下の区画部分に更に棒グラフで表示され、かつ、現在温度と設定温度との温度差に基づいて設定された色で棒グラフがカラー表示されるように構成されている。
【0022】
棒グラフは次のように表示される。
(1)棒グラフの下限は0℃、上限は350℃とされ、スケールは1℃単位である。
(2)棒グラフは、加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差の値で決定される色でカラー表示される。その色を表1に示す。なお、表1では、許容温度差を上限及び下限とも10℃と設定しているが、これに限ることは無く、適宜設定されるものである。
1)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内のときは、温度差が1℃毎に異なる色に設定されている。
・現在温度が設定温度と一致したときは、緑色である。
・現在温度が設定温度よりも高いときは、緑色→黄色→橙色と、温度が高いほど橙色へ変化していく。
・現在温度が設定温度よりも低いときは、緑色→黄色→橙色と、温度が低いほど橙色へ変化していく。
2)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲の上限よりも高いときは、赤色で表示される。
3)現在温度が設定温度に対する許容温度範囲の下限よりも低いときは、橙色で表示される。
4)現在温度が許容温度範囲外のときは、上記のように赤色又は橙色で棒グラフは表示されるが、現在温度が設定温度に対する許容温度範囲内に一度入った後、許容温度範囲外になったときは、温度異常であるので、次のように表示される。すなわち、温度異常が発生したときは、許容温度範囲の上限よりも高いときは、棒グラフが赤色で点滅し、許容温度範囲の下限よりも低いときは、棒グラフが橙色で点滅する。
【0023】
また、各加熱ゾーン1〜5の設定温度が棒グラフ上に横線16で表示されるとともに、近傍に現在温度の数値が表示される。
【0024】
【表1】
【0025】
表1において、色の右側に付いている数値は、0が原色を示しており、1以上の数値は数値が低いほど原色に近い色であることを示している。
【0026】
リフロー半田付け装置は上記のように構成されているので、温度センサ10で検出された各加熱ゾーン1〜5の現在温度は、温度制御装置11からパソコン本体13に入力される。パソコン本体13はパソコン12のキーボード17を通じて入力されている各加熱ゾーン1〜5の設定温度と、現在温度との差を演算して温度差を算出し、その温度差に応じた色を選択する。色の選択は表1に基づいて行われるように構成されている。そして、図1に示されるように、各加熱ゾーン1〜5の設定温度と現在温度の数値、設定温度を示す横線16及びその近傍に現在温度の数値、並びに各加熱ゾーン1〜5の現在温度を示す棒グラフがパソコン12のモニター14に表示され、かつ、棒グラフは現在温度と設定温度との温度差に基づいた色でカラー表示される。温度異常のときは棒グラフのカラー表示が点滅する。なお、図1では棒グラフの色を便宜的に言葉で表示しているが、勿論実際は色が付されて表示される。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の加熱装置によれば、パソコンのモニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されているので、加熱ゾーンの現在温度が設定温度に対する許容温度の範囲内にあるかを容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示し、リフロー半田付け装置におけるパソコンのモニター画面を示す図である。
【図2】リフロー半田付け装置における温度制御部とパソコンの構成図である。
【図3】リフロー半田付け装置における加熱炉の概要を示す図である。
【符号の説明】
1,2,3 予備加熱ゾーン
4,5 リフロー加熱ゾーン
6 冷却ゾーン
7 コンベヤ
8 ヒータ
9 電子部品を搭載したプリント基板
10 温度センサ
11 温度制御装置
12 パソコン
13 パソコン本体
14 モニター
15 横線
16 横線
17 キーボード
Claims (7)
- 複数の加熱ゾーンを備え、各加熱ゾーンの温度情報がパソコンのモニター画面に表示されるように構成されている加熱装置であって、前記モニター画面に各加熱ゾーンの現在温度と設定温度との温度差を色で示すカラー表示が現れるように構成されていることを特徴とする加熱装置。
- 加熱ゾーンの現在温度が、設定温度に対する許容温度範囲外の温度異常になったとき、前記カラー表示が点滅するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の加熱装置。
- 各加熱ゾーンの現在温度が、前記モニター画面に棒グラフで表示され、棒グラフに前記カラー表示が現れるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の加熱装置。
- 加熱ゾーンの設定温度が、棒グラフ上に線で表示されるように構成されていることを特徴とする請求項3記載の加熱装置。
- 各加熱ゾーンの現在温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の加熱装置。
- 各加熱ゾーンの設定温度を示す数値が、前記モニター画面に表示されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記加熱装置がリフロー半田付け装置であって、前記加熱ゾーンが予備加熱ゾーンとリフロー加熱ゾーンからなっていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003005318A JP2004221221A (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003005318A JP2004221221A (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004221221A true JP2004221221A (ja) | 2004-08-05 |
Family
ID=32896000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003005318A Pending JP2004221221A (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004221221A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007088109A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Ckd Corp | 基板検査装置 |
-
2003
- 2003-01-14 JP JP2003005318A patent/JP2004221221A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007088109A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Ckd Corp | 基板検査装置 |
JP4553817B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2010-09-29 | シーケーディ株式会社 | 基板検査装置 |
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Effective date: 20080930 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |