JP2004216436A - レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができるレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】テープ基材8と、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標との相対位置を基に、テープ基材8の傾きを認識する傾き認識ステップと、認識されたテープ基材8の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正する位置補正ステップと、レーザ光を用い、補正された位置に基づいて、テープ基材8のパターン加工を行うとともに、次のパターン加工ステップにおいてレーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークA1、A2、A3、A4・・をテープ基材8上に形成するパターン加工ステップとを有する。
【選択図】 図5
【解決手段】テープ基材8と、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標との相対位置を基に、テープ基材8の傾きを認識する傾き認識ステップと、認識されたテープ基材8の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正する位置補正ステップと、レーザ光を用い、補正された位置に基づいて、テープ基材8のパターン加工を行うとともに、次のパターン加工ステップにおいてレーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークA1、A2、A3、A4・・をテープ基材8上に形成するパターン加工ステップとを有する。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置に関し、より詳しくは、テープ状又はフィルム状の被加工体(ワーク)のレーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のテープ基材のレーザ加工方法においては、テープ基材のX、Y軸をレーザ照射装置のX、Y軸に一致させた上で、テープ基材に予め配置形成された貫通孔、若しくは印刷や露光技術によってテープ基材に予め配置形成された基準マークを位置決め起点としてテープ基材上の加工位置を決定している。
【0003】
或いは、テープ基材に基準マークなどを形成しない場合、テープ基材の搬送距離を精密に制御してテープ状基材上の加工位置を決定している。
【0004】
例えば、特許文献1では、予め基板の四隅にターゲットマークを形成した上で、レーザにより穴あけ加工を行う多層プリント基板の製造方法が開示されている。特許文献2では、予め基板の四隅にターゲットマークを形成した上でレーザ光により穴あけ加工を行うレーザ加工装置が開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−150279号公報
【特許文献2】
特開平10−200270号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、テープ基材に予め貫通孔を形成し、或いは基準マークを形成することは製造コストの上昇を生じる。
【0007】
また、基準マークなどを形成しない場合、テープ基材上の加工位置精度はテープ基材の搬送装置の搬送精度に依存することになるが、将来、より精密な加工精度が要求されるようになると、現状では、それに応じた十分な加工位置精度を出すことが困難になってきている。
【0008】
本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて創作されたものであり、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができるレーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、レーザ加工方法に係り、テープ基材と、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標との相対位置を基に、前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識ステップと、前記認識されたテープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正する位置補正ステップと、レーザ光を用い、前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、次のパターン加工ステップにおいてレーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工ステップとを有することを特徴とし、
請求項2記載の発明は、請求項1記載のレーザ加工方法に係り、前記加工基準マークに基づき、レーザ加工の位置誤差を補正しつつ前記テープ基材を連続搬送することを特徴とし、
請求項3記載の発明は、請求項2記載のレーザ加工方法に係り、前記基準座標の一つの軸の方向は前記テープ基材の搬送方向と一致していることを特徴とし、請求項4記載の発明は、請求項2又は3記載のレーザ加工方法に係り、前記傾き認識ステップにおいて、前記テープ基材のエッジ部に形成した前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを検出することを特徴とし、
請求項5記載の発明は、請求項1乃至4の何れか一に記載のレーザ加工方法に係り、前記テープ基材の傾き及び前記加工基準マークのうち少なくとも1つを画像処理システムによって認識することを特徴とし、
請求項6記載の発明は、請求項1乃至5の何れか一に記載のレーザ加工方法に係り、前記加工基準マークは、任意の形状の貫通孔又は前記テープ基材に描画した任意の形状の図形であることを特徴とし、
請求項7記載の発明は、レーザ加工位置の補正方法に係り、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークをテープ基材に形成することにより、該加工基準マークに基づいてテープ搬送の角度成分を検出し、前記検出された角度成分に基づいてレーザ加工の位置を補正することを特徴とし、
請求項8記載の発明は、レーザ加工装置に係り、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標を記憶する手段と、前記テープ基材と、前記基準座標との相対位置に基づいて前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識手段と、前記認識されたテープ基材の傾きに基づいて、レーザ加工の位置誤差を補正する位置補正手段と、前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工手段とを備えることを特徴とし、
請求項9記載の発明は、請求項8記載のレーザ加工装置に係り、前記傾き認識手段は、前記テープ基材上に形成された前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを認識する手段であることを特徴としている。
【0010】
以下に、上記本発明の構成により奏される作用を説明する。
【0011】
この発明によれば、テープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正し、その補正された位置に基づいてレーザ光によりテープ基材に対して実際の加工パターンを形成するととともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを形成している。加工基準マークは、例えば被加工部を画定するように形成され、かつテープ基材を連続搬送する際に、レーザ加工の位置誤差を補正するために用いられる。
【0012】
従って、加工位置に精度良くテープ基材の被加工部をセットするため、テープ基材に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいテープ基材の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0014】
(レーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の説明)
まず、この発明の実施の形態であるレーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の構成について図面を参照して説明する。
【0015】
図1は、この発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の構成について示す模式図である。
【0016】
この発明の実施の形態に係るレーザ加工装置は、図1に示すように、テープ状又はフィルム状のワーク(テープ基材)を支持する加工ステージ2と、レーザ加工手段1と、画像認識/処理手段3と、装置全体を制御する制御手段4とを備えている。
【0017】
レーザ加工手段1は、レーザ光源1aとレーザ光集光レンズシステム1b、1cとを備え、画像認識/処理手段3はCCDカメラ(画像読取り手段)3bと、CCDカメラ3bに接続された、画像データを処理する画像処理システム3aとを備えている。制御手段4は、加工ステージ2の駆動手段、レーザ加工手段1、画像認識/処理手段3、及び以下に説明するワークの送出手段と収納手段に対して、レーザ加工手段1の加工原点P及び登録座標点Q,R、加工単位長L及び搬送単位長などの基準データを記憶し、また、ワークの位置データ、ワーク上の基準マークの位置データなどのデータを記憶し、また、ワークの位置調整、レーザ光の照射位置の調整及びワークの送りや巻き取りなどの動作、及びそれらの動作相互のタイミングを制御する。
【0018】
次に、ワークの搬送手段について図2を参照して説明する。
【0019】
図2に示すように、ワーク8の搬送手段は、テープ状又はフィルム状のワーク8を送り出す送出手段6と、ワーク8の送り方向に又はその逆方向に移動し得る加工ステージ2と、加工済みのワーク8を収納する収納手段7とで構成される。
送出手段6は送出リール6aを備え、収納手段7は巻取りリール7aを備えている。さらに、加工ステージ2と送出手段6の間、及び加工ステージ2と収納手段7の間にそれぞれ設けられたワーク8を支持し、搬送を補助する第1及び第2のループ制御ユニット(第1及び第2の送り機構)6b、7bを備えている。送出手段6の第1のループ制御ユニット6a、及び収納手段7の第2のループ制御ユニット7aは、それぞれ3つのローラで構成されている。
【0020】
なお、図1及び図2において、ワーク8の送り方向及びその逆方向を基準座標のy軸に沿う方向(y軸方向)とし、y軸に垂直な方向を基準座標のx軸に沿う方向(x軸方向)とする。
【0021】
加工ステージ2には、加工ステージ2をワーク8の送り方向に移動させ、及びその逆方向に移動させる図示しないリニアモータ(駆動手段)が設けられている。そして、加工ステージ2に備えられた真空チャックによりワーク8を加工ステージ2に固定して移動させるようになっている。
【0022】
上記のレーザ加工装置では、レーザ光の照射位置を調整するレーザ光集光レンズシステム1cと、CCDカメラ(画像読取り手段)3とは加工ステージ2の上方に配置され、加工ステージ2上のワーク8に対してレーザ光による加工が施されるようになっている。ワーク8の加工位置の調整は加工ステージ2及びレーザ光集光レンズシステム1cのうち少なくとも何れか一の移動により行われる。
【0023】
(レーザ加工方法)
次に、図面を参照して上記のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法について説明する。
【0024】
まず、ワーク8の送出手段6の送出リールから未加工のワーク8を引出し、第1のループ制御ユニットのローラ6a、6b、6c群に未加工のワーク8をセットする。次いで、加工ステージ2上に載せてさらにワーク8を引き出す。さらに、収納手段7の第2のループ制御ユニットのローラ7a、7b、7c群にワーク8をセットし、ワーク8の先端を巻取りリールに固定する。これにより、ワーク8の加工を開始するための準備が完了する。
【0025】
次いで、加工ステージ2にワーク8の被加工部を固定し、リニアモータにより加工ステージ2を送り方向に移動させてワーク8の被加工部がレーザ光集光レンズシステム1cのほぼ真下にくるように位置させる。
【0026】
続いて、この位置で加工ステージ2及びレーザ光の位置を微調整して、加工すべき正確な位置にワーク8の被加工部をセットする。以下に、加工すべき正確な位置にワーク8をセットする方法について詳細に説明する。
【0027】
加工原点Pと、点Q及びRはレーザ加工装置の座標(レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標)上に予め登録されているものとする。例えば、点Q及びRはワークの搬送方向に平行なy軸上に載っており、その距離も一定に設定されている。また、加工原点Pと点Qはx軸上に載っており、その距離も一定に設定されている。加工原点Pと、点Q及びRの位置座標は基準座標に基づき、制御手段4に記憶されている。加工原点Pと、点Q及びRの位置座標は、制御手段4に基づき、画像認識/処理手段3内に設定されるようにしてもよいし、加工ステージ2に印を付けて明示しておいてもよい。以下の説明では、加工原点Pと、点Q及びRは画像認識/処理手段3内に設定されているとする。
【0028】
そして、加工ステージ2上のワーク8は搬送誤差により、図3に示すように、y軸方向に対して角度θだけ傾いているものとする。
【0029】
このような状態で、まず、加工原点Pの凡その位置に加工ステージ2を移動する。レーザ加工装置は、画像認識/処理手段3によりワーク8のエッジを認識し、点Qにエッジを一致させる。ワーク8のエッジの認識は、例えばワーク8と加工ステージ2の明度の違いにより行う。なお、ワーク8のエッジの認識は、ワーク8と加工ステージ2の明度の他に彩度や色の違いにより行うこともできる。
【0030】
次に、点Rとワーク8のエッジのずれに基づき、y軸からのワーク8の傾きの角度θを測定する。続いて、加工原点Pを補正し、x軸方向から角度θだけ傾いた方向に点Qから所定距離離れた位置、即ち点Qに一致するワーク8のエッジからワーク8のエッジに垂直な方向に所定距離離れた位置をワーク8上の加工原点Pa(補正された加工原点)とする。
【0031】
次いで、図3に示すように、加工原点Paを基準としてレーザ光集光レンズシステム1cを基準マークA1の位置に移動させて、レーザ光照射によりワーク8を熱変化させて、ワーク8のエッジ部に最初の基準マークA1を形成する。続いて、ワーク8の傾きの角度θに基づき、レーザ光集光レンズシステム1cをワークの長手方向に沿って加工単位長Lだけ移動させた後、レーザ照射によりワーク8のエッジ部に次の基準マークA2を形成する。基準マークA1、A2が第1の加工基準マークを構成する。
【0032】
基準マークA1、A2の形状は、図4に示すように、ワーク8のエッジに接する位置に配置されたワーク8のエッジに垂直な直線形状の図形9であり、画像処理システム4の基準マークの登録領域10に一部でも収まるものであればよい。
基準マークA1とA2の間の加工単位長Lは、ワーク8の搬送単位長と同じにすることが望ましい。加工単位長Lは、加工パターン11がワーク8上に繰り返し形成される繰り返しパターンである場合の繰り返しの周期(間隔)である。
【0033】
次いで、図5(a)に示すように、ワーク8の被加工部に対してレーザ加工を行い、基準マークA1とA2に基づき、ワーク8の被加工部の所定の位置に実際の加工パターン11を形成する。このとき、基準マークA2から距離Lのワーク8のエッジに接する位置に、基準マークA1、A2と同じ形状の基準マークA3を形成する。基準マークA2とA3の間の領域、即ちワーク8の長手方向で長さLの領域が次の被加工部を示す。基準マークA2、A3が第2の加工基準マークを構成する。
【0034】
その後、送出手段6、収納手段7、及び加工ステージ2により、加工が終わったワーク8の被加工部を送り方向に送るとともに、ワーク8の次の被加工部をレーザ光集光レンズシステム1cの下に位置させる。
【0035】
次に、基準マークA2及びA3に基づいて、ワーク8の長手方向の補正を行う。その補正方法を以下に説明する。基準マークA2及びA3は、ワーク8のエッジに垂直であり、基準座標のx軸に対して角度θだけ傾いている。画像認識/処理手段3により基準マークA2又はA3の傾きを認識し、制御手段4に記憶された基準座標のx軸のデータと比較することで基準マークA2又はA3の傾きの角度θを測定する。これにより、ワーク8の長手方向の傾きが検出されるので、それに従ってレーザ加工位置を補正する。その補正データは制御手段4に記憶され、レーザ光集光レンズシステム1cのレーザ加工位置の補正に反映される。
【0036】
続いて、図5(b)に示すように、レーザ加工手段1により、加工パターン11を形成するとともに、基準マークA3からワーク8の長手方向に沿ってLだけ離れた位置に基準マークA4を形成する。基準マークA3、A4が第3の加工基準マークを構成する。
【0037】
このようにして、ワーク8の送り出し、加工、巻き取りを繰り返し行い、ワーク8に対してレーザ加工を行う。
【0038】
以上のように、この発明の実施の形態によれば、テープ状又はフィルム状のワーク8に対して実際の加工パターン11を形成するととともに、当該被加工部を画定する基準マークA1、A2、A3・・を基に次の被加工部を画定する基準マークA3、A4・・を形成している。さらに、それらの基準マークA1乃至A4・・を基に実際の加工パターン11を形成している。
【0039】
従って、加工位置に精度良くワーク8の被加工部をセットするため、ワーク8に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいワーク8の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、ワーク8に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【0040】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【0041】
例えば、上記実施の形態では、基準マークA1、A2、A3、A4・・として直線形状の図形を用いているが、これに限られない。レーザ光により加工し得る、三角形状、その他任意形状の描画パターンを用いてもよい。また、基準マークA1、A2、A3、A4・・ワーク8に直接描いているが、ワーク8に開けた貫通孔でもよい。
【0042】
また、上記レーザ加工方法では、基準マークA1、A2、A3、A4・・をワーク8のエッジに形成しているが、それに限られない。ワーク8のエッジに接しないワーク8の中心部寄りに形成してもよい。
【0043】
また、加工原点Pと、点Q及びRは、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標上に載っている点として、画像認識/処理手段3に設定されているとしているが、加工ステージ2に直に印を付けて加工原点Pと、点Q及びRを明示しておいてもよい。この場合、画像認識/処理手段3により加工ステージ2上の点Q及びRとワーク8のエッジを実際に観察しながら、y軸方向とワークの長手方向の傾きの角度を測定することになる。
【0044】
【発明の効果】
以上のように、本発明のレーザ加工方法においては、テープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正し、その補正された位置に基づいてレーザ光によりテープ基材に対して実際の加工パターンを形成するととともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを形成している。加工基準マークは、例えば被加工部を画定するように形成され、かつテープ基材を連続搬送する際に、レーザ加工の位置誤差を補正するために用いられる。
【0045】
従って、加工位置に精度良くテープ基材の被加工部をセットするため、テープ基材に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいテープ基材の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の構成を示す模式図である。
【図2】本発明の実施の形態であるレーザ加工装置のワーク搬送手段の構成を示す模式図である。
【図3】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す上面図である。
【図4】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す基準マーク付近の上面図である。
【図5】(a)、(b)は、本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す上面図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工手段
1a レーザ光源
1b、1c レンズシステム
2 加工ステージ
3 画像認識/処理手段
3a 画像処理システム
3b CCDカメラ
4 制御手段
6 送出手段
6a 送出リール
6b 第1のループ制御ユニット
7 収納手段
7a 巻取りリール
7b 第2のループ制御ユニット
8 テープ状又はフィルム状のワーク(テープ基材)
9 直線形状の図形
10 基準マーク登録領域
11 加工パターン
A1、A2、A3、A4 基準マーク
P 加工原点
Pa 補正された加工原点
Q、R 登録された点
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置に関し、より詳しくは、テープ状又はフィルム状の被加工体(ワーク)のレーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のテープ基材のレーザ加工方法においては、テープ基材のX、Y軸をレーザ照射装置のX、Y軸に一致させた上で、テープ基材に予め配置形成された貫通孔、若しくは印刷や露光技術によってテープ基材に予め配置形成された基準マークを位置決め起点としてテープ基材上の加工位置を決定している。
【0003】
或いは、テープ基材に基準マークなどを形成しない場合、テープ基材の搬送距離を精密に制御してテープ状基材上の加工位置を決定している。
【0004】
例えば、特許文献1では、予め基板の四隅にターゲットマークを形成した上で、レーザにより穴あけ加工を行う多層プリント基板の製造方法が開示されている。特許文献2では、予め基板の四隅にターゲットマークを形成した上でレーザ光により穴あけ加工を行うレーザ加工装置が開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−150279号公報
【特許文献2】
特開平10−200270号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、テープ基材に予め貫通孔を形成し、或いは基準マークを形成することは製造コストの上昇を生じる。
【0007】
また、基準マークなどを形成しない場合、テープ基材上の加工位置精度はテープ基材の搬送装置の搬送精度に依存することになるが、将来、より精密な加工精度が要求されるようになると、現状では、それに応じた十分な加工位置精度を出すことが困難になってきている。
【0008】
本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて創作されたものであり、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができるレーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、レーザ加工方法に係り、テープ基材と、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標との相対位置を基に、前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識ステップと、前記認識されたテープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正する位置補正ステップと、レーザ光を用い、前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、次のパターン加工ステップにおいてレーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工ステップとを有することを特徴とし、
請求項2記載の発明は、請求項1記載のレーザ加工方法に係り、前記加工基準マークに基づき、レーザ加工の位置誤差を補正しつつ前記テープ基材を連続搬送することを特徴とし、
請求項3記載の発明は、請求項2記載のレーザ加工方法に係り、前記基準座標の一つの軸の方向は前記テープ基材の搬送方向と一致していることを特徴とし、請求項4記載の発明は、請求項2又は3記載のレーザ加工方法に係り、前記傾き認識ステップにおいて、前記テープ基材のエッジ部に形成した前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを検出することを特徴とし、
請求項5記載の発明は、請求項1乃至4の何れか一に記載のレーザ加工方法に係り、前記テープ基材の傾き及び前記加工基準マークのうち少なくとも1つを画像処理システムによって認識することを特徴とし、
請求項6記載の発明は、請求項1乃至5の何れか一に記載のレーザ加工方法に係り、前記加工基準マークは、任意の形状の貫通孔又は前記テープ基材に描画した任意の形状の図形であることを特徴とし、
請求項7記載の発明は、レーザ加工位置の補正方法に係り、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークをテープ基材に形成することにより、該加工基準マークに基づいてテープ搬送の角度成分を検出し、前記検出された角度成分に基づいてレーザ加工の位置を補正することを特徴とし、
請求項8記載の発明は、レーザ加工装置に係り、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標を記憶する手段と、前記テープ基材と、前記基準座標との相対位置に基づいて前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識手段と、前記認識されたテープ基材の傾きに基づいて、レーザ加工の位置誤差を補正する位置補正手段と、前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工手段とを備えることを特徴とし、
請求項9記載の発明は、請求項8記載のレーザ加工装置に係り、前記傾き認識手段は、前記テープ基材上に形成された前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを認識する手段であることを特徴としている。
【0010】
以下に、上記本発明の構成により奏される作用を説明する。
【0011】
この発明によれば、テープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正し、その補正された位置に基づいてレーザ光によりテープ基材に対して実際の加工パターンを形成するととともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを形成している。加工基準マークは、例えば被加工部を画定するように形成され、かつテープ基材を連続搬送する際に、レーザ加工の位置誤差を補正するために用いられる。
【0012】
従って、加工位置に精度良くテープ基材の被加工部をセットするため、テープ基材に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいテープ基材の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0014】
(レーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の説明)
まず、この発明の実施の形態であるレーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の構成について図面を参照して説明する。
【0015】
図1は、この発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の構成について示す模式図である。
【0016】
この発明の実施の形態に係るレーザ加工装置は、図1に示すように、テープ状又はフィルム状のワーク(テープ基材)を支持する加工ステージ2と、レーザ加工手段1と、画像認識/処理手段3と、装置全体を制御する制御手段4とを備えている。
【0017】
レーザ加工手段1は、レーザ光源1aとレーザ光集光レンズシステム1b、1cとを備え、画像認識/処理手段3はCCDカメラ(画像読取り手段)3bと、CCDカメラ3bに接続された、画像データを処理する画像処理システム3aとを備えている。制御手段4は、加工ステージ2の駆動手段、レーザ加工手段1、画像認識/処理手段3、及び以下に説明するワークの送出手段と収納手段に対して、レーザ加工手段1の加工原点P及び登録座標点Q,R、加工単位長L及び搬送単位長などの基準データを記憶し、また、ワークの位置データ、ワーク上の基準マークの位置データなどのデータを記憶し、また、ワークの位置調整、レーザ光の照射位置の調整及びワークの送りや巻き取りなどの動作、及びそれらの動作相互のタイミングを制御する。
【0018】
次に、ワークの搬送手段について図2を参照して説明する。
【0019】
図2に示すように、ワーク8の搬送手段は、テープ状又はフィルム状のワーク8を送り出す送出手段6と、ワーク8の送り方向に又はその逆方向に移動し得る加工ステージ2と、加工済みのワーク8を収納する収納手段7とで構成される。
送出手段6は送出リール6aを備え、収納手段7は巻取りリール7aを備えている。さらに、加工ステージ2と送出手段6の間、及び加工ステージ2と収納手段7の間にそれぞれ設けられたワーク8を支持し、搬送を補助する第1及び第2のループ制御ユニット(第1及び第2の送り機構)6b、7bを備えている。送出手段6の第1のループ制御ユニット6a、及び収納手段7の第2のループ制御ユニット7aは、それぞれ3つのローラで構成されている。
【0020】
なお、図1及び図2において、ワーク8の送り方向及びその逆方向を基準座標のy軸に沿う方向(y軸方向)とし、y軸に垂直な方向を基準座標のx軸に沿う方向(x軸方向)とする。
【0021】
加工ステージ2には、加工ステージ2をワーク8の送り方向に移動させ、及びその逆方向に移動させる図示しないリニアモータ(駆動手段)が設けられている。そして、加工ステージ2に備えられた真空チャックによりワーク8を加工ステージ2に固定して移動させるようになっている。
【0022】
上記のレーザ加工装置では、レーザ光の照射位置を調整するレーザ光集光レンズシステム1cと、CCDカメラ(画像読取り手段)3とは加工ステージ2の上方に配置され、加工ステージ2上のワーク8に対してレーザ光による加工が施されるようになっている。ワーク8の加工位置の調整は加工ステージ2及びレーザ光集光レンズシステム1cのうち少なくとも何れか一の移動により行われる。
【0023】
(レーザ加工方法)
次に、図面を参照して上記のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法について説明する。
【0024】
まず、ワーク8の送出手段6の送出リールから未加工のワーク8を引出し、第1のループ制御ユニットのローラ6a、6b、6c群に未加工のワーク8をセットする。次いで、加工ステージ2上に載せてさらにワーク8を引き出す。さらに、収納手段7の第2のループ制御ユニットのローラ7a、7b、7c群にワーク8をセットし、ワーク8の先端を巻取りリールに固定する。これにより、ワーク8の加工を開始するための準備が完了する。
【0025】
次いで、加工ステージ2にワーク8の被加工部を固定し、リニアモータにより加工ステージ2を送り方向に移動させてワーク8の被加工部がレーザ光集光レンズシステム1cのほぼ真下にくるように位置させる。
【0026】
続いて、この位置で加工ステージ2及びレーザ光の位置を微調整して、加工すべき正確な位置にワーク8の被加工部をセットする。以下に、加工すべき正確な位置にワーク8をセットする方法について詳細に説明する。
【0027】
加工原点Pと、点Q及びRはレーザ加工装置の座標(レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標)上に予め登録されているものとする。例えば、点Q及びRはワークの搬送方向に平行なy軸上に載っており、その距離も一定に設定されている。また、加工原点Pと点Qはx軸上に載っており、その距離も一定に設定されている。加工原点Pと、点Q及びRの位置座標は基準座標に基づき、制御手段4に記憶されている。加工原点Pと、点Q及びRの位置座標は、制御手段4に基づき、画像認識/処理手段3内に設定されるようにしてもよいし、加工ステージ2に印を付けて明示しておいてもよい。以下の説明では、加工原点Pと、点Q及びRは画像認識/処理手段3内に設定されているとする。
【0028】
そして、加工ステージ2上のワーク8は搬送誤差により、図3に示すように、y軸方向に対して角度θだけ傾いているものとする。
【0029】
このような状態で、まず、加工原点Pの凡その位置に加工ステージ2を移動する。レーザ加工装置は、画像認識/処理手段3によりワーク8のエッジを認識し、点Qにエッジを一致させる。ワーク8のエッジの認識は、例えばワーク8と加工ステージ2の明度の違いにより行う。なお、ワーク8のエッジの認識は、ワーク8と加工ステージ2の明度の他に彩度や色の違いにより行うこともできる。
【0030】
次に、点Rとワーク8のエッジのずれに基づき、y軸からのワーク8の傾きの角度θを測定する。続いて、加工原点Pを補正し、x軸方向から角度θだけ傾いた方向に点Qから所定距離離れた位置、即ち点Qに一致するワーク8のエッジからワーク8のエッジに垂直な方向に所定距離離れた位置をワーク8上の加工原点Pa(補正された加工原点)とする。
【0031】
次いで、図3に示すように、加工原点Paを基準としてレーザ光集光レンズシステム1cを基準マークA1の位置に移動させて、レーザ光照射によりワーク8を熱変化させて、ワーク8のエッジ部に最初の基準マークA1を形成する。続いて、ワーク8の傾きの角度θに基づき、レーザ光集光レンズシステム1cをワークの長手方向に沿って加工単位長Lだけ移動させた後、レーザ照射によりワーク8のエッジ部に次の基準マークA2を形成する。基準マークA1、A2が第1の加工基準マークを構成する。
【0032】
基準マークA1、A2の形状は、図4に示すように、ワーク8のエッジに接する位置に配置されたワーク8のエッジに垂直な直線形状の図形9であり、画像処理システム4の基準マークの登録領域10に一部でも収まるものであればよい。
基準マークA1とA2の間の加工単位長Lは、ワーク8の搬送単位長と同じにすることが望ましい。加工単位長Lは、加工パターン11がワーク8上に繰り返し形成される繰り返しパターンである場合の繰り返しの周期(間隔)である。
【0033】
次いで、図5(a)に示すように、ワーク8の被加工部に対してレーザ加工を行い、基準マークA1とA2に基づき、ワーク8の被加工部の所定の位置に実際の加工パターン11を形成する。このとき、基準マークA2から距離Lのワーク8のエッジに接する位置に、基準マークA1、A2と同じ形状の基準マークA3を形成する。基準マークA2とA3の間の領域、即ちワーク8の長手方向で長さLの領域が次の被加工部を示す。基準マークA2、A3が第2の加工基準マークを構成する。
【0034】
その後、送出手段6、収納手段7、及び加工ステージ2により、加工が終わったワーク8の被加工部を送り方向に送るとともに、ワーク8の次の被加工部をレーザ光集光レンズシステム1cの下に位置させる。
【0035】
次に、基準マークA2及びA3に基づいて、ワーク8の長手方向の補正を行う。その補正方法を以下に説明する。基準マークA2及びA3は、ワーク8のエッジに垂直であり、基準座標のx軸に対して角度θだけ傾いている。画像認識/処理手段3により基準マークA2又はA3の傾きを認識し、制御手段4に記憶された基準座標のx軸のデータと比較することで基準マークA2又はA3の傾きの角度θを測定する。これにより、ワーク8の長手方向の傾きが検出されるので、それに従ってレーザ加工位置を補正する。その補正データは制御手段4に記憶され、レーザ光集光レンズシステム1cのレーザ加工位置の補正に反映される。
【0036】
続いて、図5(b)に示すように、レーザ加工手段1により、加工パターン11を形成するとともに、基準マークA3からワーク8の長手方向に沿ってLだけ離れた位置に基準マークA4を形成する。基準マークA3、A4が第3の加工基準マークを構成する。
【0037】
このようにして、ワーク8の送り出し、加工、巻き取りを繰り返し行い、ワーク8に対してレーザ加工を行う。
【0038】
以上のように、この発明の実施の形態によれば、テープ状又はフィルム状のワーク8に対して実際の加工パターン11を形成するととともに、当該被加工部を画定する基準マークA1、A2、A3・・を基に次の被加工部を画定する基準マークA3、A4・・を形成している。さらに、それらの基準マークA1乃至A4・・を基に実際の加工パターン11を形成している。
【0039】
従って、加工位置に精度良くワーク8の被加工部をセットするため、ワーク8に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいワーク8の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、ワーク8に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【0040】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【0041】
例えば、上記実施の形態では、基準マークA1、A2、A3、A4・・として直線形状の図形を用いているが、これに限られない。レーザ光により加工し得る、三角形状、その他任意形状の描画パターンを用いてもよい。また、基準マークA1、A2、A3、A4・・ワーク8に直接描いているが、ワーク8に開けた貫通孔でもよい。
【0042】
また、上記レーザ加工方法では、基準マークA1、A2、A3、A4・・をワーク8のエッジに形成しているが、それに限られない。ワーク8のエッジに接しないワーク8の中心部寄りに形成してもよい。
【0043】
また、加工原点Pと、点Q及びRは、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標上に載っている点として、画像認識/処理手段3に設定されているとしているが、加工ステージ2に直に印を付けて加工原点Pと、点Q及びRを明示しておいてもよい。この場合、画像認識/処理手段3により加工ステージ2上の点Q及びRとワーク8のエッジを実際に観察しながら、y軸方向とワークの長手方向の傾きの角度を測定することになる。
【0044】
【発明の効果】
以上のように、本発明のレーザ加工方法においては、テープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正し、その補正された位置に基づいてレーザ光によりテープ基材に対して実際の加工パターンを形成するととともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを形成している。加工基準マークは、例えば被加工部を画定するように形成され、かつテープ基材を連続搬送する際に、レーザ加工の位置誤差を補正するために用いられる。
【0045】
従って、加工位置に精度良くテープ基材の被加工部をセットするため、テープ基材に予め基準マークを形成しておく必要もなく、或いは、必ずしも精度のよいテープ基材の搬送も必要としない。これにより、加工精度を維持しつつ、テープ基材に起因する製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法に用いられるレーザ加工装置の構成を示す模式図である。
【図2】本発明の実施の形態であるレーザ加工装置のワーク搬送手段の構成を示す模式図である。
【図3】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す上面図である。
【図4】本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す基準マーク付近の上面図である。
【図5】(a)、(b)は、本発明の実施の形態であるレーザ加工方法について示す上面図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工手段
1a レーザ光源
1b、1c レンズシステム
2 加工ステージ
3 画像認識/処理手段
3a 画像処理システム
3b CCDカメラ
4 制御手段
6 送出手段
6a 送出リール
6b 第1のループ制御ユニット
7 収納手段
7a 巻取りリール
7b 第2のループ制御ユニット
8 テープ状又はフィルム状のワーク(テープ基材)
9 直線形状の図形
10 基準マーク登録領域
11 加工パターン
A1、A2、A3、A4 基準マーク
P 加工原点
Pa 補正された加工原点
Q、R 登録された点
Claims (9)
- テープ基材と、レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標との相対位置を基に、前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識ステップと、前記認識されたテープ基材の傾きに基づいてレーザ加工の位置誤差を補正する位置補正ステップと、
レーザ光を用い、前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、次のパターン加工ステップにおいてレーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工ステップとを有することを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記加工基準マークに基づき、レーザ加工の位置誤差を補正しつつ前記テープ基材を連続搬送することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。
- 前記基準座標の一つの軸の方向は前記テープ基材の搬送方向と一致していることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工方法。
- 前記傾き認識ステップにおいて、前記テープ基材のエッジ部に形成した前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを検出することを特徴とする請求項2又は3記載のレーザ加工方法。
- 前記テープ基材の傾き及び前記加工基準マークのうち少なくとも1つを画像処理システムによって認識することを特徴とする請求項1乃至4の何れか一に記載のレーザ加工方法。
- 前記加工基準マークは、任意の形状の貫通孔又は前記テープ基材に描画した任意の形状の図形であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一に記載のレーザ加工方法。
- レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークをテープ基材上に形成することにより、該加工基準マークに基づいてテープ搬送の角度成分を検出し、前記検出された角度成分に基づいてレーザ加工の位置を補正することを特徴とするレーザ加工位置の補正方法。
- レーザ加工位置を決める予め設定された基準座標を記憶する手段と、
前記テープ基材と、前記基準座標との相対位置に基づいて前記テープ基材の傾きを認識する傾き認識手段と、
前記認識されたテープ基材の傾きに基づいて、レーザ加工の位置誤差を補正する位置補正手段と、
前記補正された位置に基づいて、前記テープ基材のパターン加工を行うとともに、レーザ加工の位置誤差を補正するための加工基準マークを前記テープ基材上に形成するパターン加工手段とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記傾き認識手段は、前記テープ基材上に形成された前記加工基準マークにより前記テープ基材の傾きを認識する手段であることを特徴とする請求項8記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003008556A JP2004216436A (ja) | 2003-01-16 | 2003-01-16 | レーザ加工方法、レーザ加工位置の補正方法及びレーザ加工装置 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004216436A true JP2004216436A (ja) | 2004-08-05 |
Family
ID=32898317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004216436A (ja) |
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