JP2004216228A

JP2004216228A - Application tool and applicator

Info

Publication number: JP2004216228A
Application number: JP2003004442A
Authority: JP
Inventors: Mutsumi Yasutake; 睦実安竹; Toshihiko Kanayama; 利彦金山; Takahiro Isoda; 孝洋磯田; Tsutomu Fukuda; 努福田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2003-01-10
Filing date: 2003-01-10
Publication date: 2004-08-05
Anticipated expiration: 2023-01-10
Also published as: JP4103596B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an application tool which can discharge a coating solution uniformly in the longitudinal direction of the application tool and an applicator having the tool. <P>SOLUTION: In the application tool, a tool main body in which a plurality of head part elements 2 are combined is provided, a pocket is partitioned by concave grooves 5 formed in the facing sides 2a of the head part element 2, the side 2a on the tip side of the tool main body from the pocket is made a slot face 4a partitioning a slot, and the coating solution supplied from a supply port 8 formed to communicate with the pocket is discharged through the slot. Polishing marks formed on the slot face 4a are formed in the longitudinal direction of the tool main body in given range in the vicinity of the supply port 8 and in a direction of 45°-135° to the longitudinal direction outside the given range. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、シート状部材またはパネル状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布工具および塗布装置に関し、とくに、スロットから均一に塗布液を吐出することのできる塗布工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シート状部材の表面に塗布液を薄く均一に塗布して、塗膜層を形成するような塗布作業を行う塗布装置に装着される塗布工具として、塗布液を通過させるスロットを有する塗布工具が用いられている。このような塗布工具として、図４に示すような塗布ヘッド（工具本体）１を備えた塗布工具があり、塗布ヘッド１は、図中に矢線Ａで示す走行方向に走行するシート状部材Ｓに対して、このシート状部材Ｓの幅方向に延びる長尺に形成されており、その先端部を上向きにしてシート状部材Ｓに摺接可能に、このシート状部材Ｓの下に配置されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００３】
この塗布ヘッド１は、一対のヘッド部構成体２，３の側面２ａ，３ａが一定の間隙を有して配設されることでスロット４を画成しており、側面２ａ，３ａの長手方向に向けて形成された凹溝５，６がポケット７を画成している。スロット４は、塗布ヘッド１の先端面に開口しており、塗布液を供給する供給口（図示せず）がポケット７に連通して設けられている。塗布作業において供給口から供給された塗布液は、ポケット７に充満することで塗布ヘッド１の長手方向に広がり、スロット４を通過して塗布ヘッド１の先端から吐出される。吐出された塗布液は、走行するシート状部材Ｓの表面（下面）に塗布されて塗膜層が形成されるようになされている。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６２−２４１５７４号公報（第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記塗布工具において、供給口の近傍の一定範囲において流量が多く、供給口の近傍から離間した範囲において流量が低下するという傾向があり、塗布工具の長手方向に渡って不均一な流量分布が生じるという問題があった。つまり、均一な間隙に形成されたスロットにおいて塗布液の流体抵抗は塗布工具の長手方向に渡って一定であり、供給口から離間した範囲においては塗布液がスロットを通過し難くなるのである。とくに塗布液が低粘度の場合、たとえば塗布液の粘度が１〜１００ｃｐｓの場合に、粘性による流体抵抗によって流量分布の不均一さが顕著に現れていた。
【０００６】
本発明は、このような背景の下になされたものであって、塗布工具の長手方向に渡って均一に塗布液を吐出することのできる塗布工具およびこの塗布工具を備えた塗布装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明に係る塗布工具は、複数のヘッド部構成体が組み合わされて構成された工具本体を備え、前記ヘッド部構成体の対向する側面に形成された凹溝によって前記工具本体の長手方向に延びるポケットが画成されているとともに、該ポケットより前記工具本体の先端側に位置する前記側面が前記工具本体の先端面に連通するスロットを画成するスロット面とされており、前記ポケットに連通して設けられた供給口から供給された塗布液が前記スロットを通過して吐出される塗布工具において、前記スロット面に形成される研磨加工痕が、前記供給口近傍の一定範囲で前記工具本体の長手方向に沿って形成されているとともに、上記一定範囲以外で長手方向に対して４５°から１３５°の方向に沿って形成されていることを特徴とする。
【０００８】
この発明の塗布工具は、ヘッド部構成体の対向する側面が成すスロット面において、供給口近傍の一定範囲で工具本体の長手方向に沿って研磨加工痕が形成されているとともに、この一定範囲以外で長手方向に対して４５°から１３５°の方向に沿って研磨加工痕が形成されているので、長手方向に沿って研磨加工痕が形成されている一定範囲において塗布液が流れ難くなり、この一定範囲以外において塗布液が流れ易くなる。つまり、長手方向に沿う研磨加工痕は塗布液の流れ方向に対して直交しているので、研磨加工痕による塗布液の流体抵抗が大きいのに対し、長手方向に対して４５°から１３５°の方向、より好ましくは６０°から１２０°の方向に沿う研磨加工痕は、塗布液の流れ方向に対して直交した研磨加工痕よりも塗布液の流体抵抗が小さいのである。これにより、供給口近傍の一定範囲において流量が多くなっていた傾向を流体抵抗を調整することにより解消することができるので、従来より塗布工具の長手方向に渡って均一に塗布液を吐出することができ、均一な厚みの塗膜層を形成することができる。
【０００９】
また、本発明に係る塗布工具は、上述した塗布工具であって、上記一定範囲の長手方向の長さ寸法が、前記工具本体の長手方向の長さ寸法に対して８０％以下とされていることを特徴とする。また、上記一定範囲の長手方向の長さ寸法が、５０ｍｍ以上とされていることを特徴とする。
【００１０】
この発明の塗布工具は、工具本体の長手方向の長さ寸法に対して８０％以下となるように一定範囲の長手方向の長さ寸法を設定することで、塗布工具の長手方向に渡って塗布液を均一に吐出する効果を良好に得ることができる。また、一定範囲の長手方向の長さ寸法を５０ｍｍ以上とすることで、確実に上記効果を得ることができる。
【００１１】
また、本発明に係る塗布装置は、被塗布部材に塗布液を吐出しながら、該被塗布部材に対して相対的に一方向に移動することで被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、上述したいずれかの塗布工具が装着されていることを特徴とする。
この発明の塗布装置は、上述したいずれかの塗布工具が装着されているので、従来より被塗布部材の表面の幅方向に渡って均一に塗布液を吐出することができ、均一な厚みの塗膜層を形成することができる。また、塗布工具の外径形状などは従来の塗布工具と同様であるので、従来より用いられている塗布装置に装着することができ、容易に上記効果を得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１は、塗布工具に使用されるヘッド部構成体２の第１の実施形態の側面図と正面図を示しており、従来例で示した塗布ヘッド１と同様の構成部品には、同一の符号を付している。ヘッド部構成体２は、ステンレス鋼材などにより形成された板状の部材で、先端側の厚みが薄くなるように塗布ヘッド１の内面となる側面２ａの反対側を向く面の先端側に傾斜面が形成され、塗布ヘッド１の先端面となるヘッド部構成体２の先端面２ｂが細く形成されている。ヘッド部構成体２の長手方向に沿って形成された凹溝５に連通するように供給口８が形成されており、供給口８は凹溝５の長手方向の中央に連通している。先端面２ｂから凹溝５までの側面は、スロット４を画成するスロット面４ａとされており、均一な間隔のスロット４を画成するために表面粗さが最大高さＲｚ０．８μｍ以下となるように研磨加工によって仕上げ加工が施されている。
【００１３】
スロット面４ａの仕上げ加工は、まずヘッド部構成体２の長手方向に沿って研磨加工痕が形成されるように一定の表面粗さとなるまで研磨加工が施され、つぎに、供給口８の近傍は同様に長手方向に沿って研磨加工痕が形成されるように仕上げの研磨加工が施されるとともに、供給口８から離れた両端部近傍は長手方向に対して９０°となる向き、つまりヘッド部構成体２の上下方向に沿って研磨加工痕が形成されるように仕上げの研磨加工が施される。このとき形成される研磨加工痕は、０．１μｍ以下の微細な溝状で略直線状に形成されるが、この微細な溝は曲線状であっても構わず、曲線状の研磨加工痕の中央における接線の方向を、上述した長手方向および上下方向に沿う研磨加工痕の向きとする。
【００１４】
また、図１において、スロット面４ａに示されている両端矢印が研磨加工痕の向きを表しており、長手方向に沿う研磨加工痕はヘッド部構成体２の中央付近の長さ寸法Ｌ２の範囲に形成されており、長さ寸法Ｌ２の範囲の両端側に上下方向に沿う研磨加工痕が形成されている。この長さ寸法Ｌ２は、ヘッド部構成体２の長手方向の長さ寸法Ｌ１の８０％以下となるように設定されており、少なくとも５０ｍｍ以上設けられている。なお、ヘッド部構成体２に対向して配置されるヘッド部構成体３にも同様に研磨加工痕が形成されている。
【００１５】
上述したように形成されたヘッド部構成体２は、供給口の設けられていない略同形状のヘッド部構成体３と組み合わされて塗布ヘッド１を構成し、塗布ヘッド１を備えた塗布工具は、塗布装置に装着されて塗布作業に用いられる。塗布作業において、塗布装置から塗布液が供給口８に供給され、塗布液はポケット７に充満することで塗布ヘッド１の長手方向に広がり、スロット４を通過して塗布ヘッド１の先端から吐出され、シート状部材Ｓ（図４参照）に塗布される。
【００１６】
このように、塗布液がスロット４を通過する際に、ヘッド部構成体２，３に形成された研磨加工痕によって塗布液の流体抵抗が調整されており、塗布ヘッド１の長手方向に渡って均一に塗布液を塗布することができる。つまり、従来は塗布液の流量が多い傾向であった供給口８の近傍において、長手方向に沿って研磨加工痕が形成されているとともに、塗布液の流量が少ない傾向であった両端部近傍において上下方向に沿って研磨加工痕が形成されていることにより、供給口８近傍よりも両端部近傍での流体抵抗が小さくなるので、供給口８近傍における塗布液の流量を従来より抑制することができ、この結果、長手方向に渡って均一に塗布液を塗布することができるのである。このように、塗布液の通過し難かった両端部において流体抵抗を小さくすることによる効果は、塗布液の粘度が１〜１００ｃｐｓ程度の低粘度の塗布液を用いた時に、良好に得ることができる。
【００１７】
とくに、長手方向に沿う研磨加工痕が形成される範囲の長さ寸法Ｌ２が、ヘッド部構成体２の長手方向の長さ寸法Ｌ１の８０％以下となるように設定されているので、良好に塗布液を塗布することができる。より好ましくは、長さ寸法Ｌ１に対して４０〜６０％の範囲となるように長さ寸法Ｌ２を設定することによって、さらに良好な効果を得ることができる。
なお、長さ寸法Ｌ２は、長さ寸法Ｌ１によって異なる寸法となるが、長さ寸法Ｌ１がどのような寸法であっても、長さ寸法Ｌ２を少なくとも５０ｍｍ以上とすることで、確実に塗布液を均一に塗布することができる。
【００１８】
たとえば、スロット４の間隙が０．０５〜０．０８ｍｍで、長さ寸法Ｌ１が１０００ｍｍで、長さ寸法Ｌ２が１００ｍｍに設定された塗布ヘッド１を備えた塗布工具が、パネル状部材に対して相対的に一方向に移動しながら塗布液を吐出する塗布装置に装着されて塗布作業を行う場合に、カラーフィルタ用レジスト液などの低粘度の塗布液を均一に塗布することができ、例えば２μｍ±２％以下の厚みの塗膜層を形成することができる。
【００１９】
また、図２に、ヘッド部構成体の第２の実施形態を示す。図に示すヘッド部構成体２Ａは、供給口８Ａが凹溝５の２箇所に設けられており、それぞれの供給口８Ａの近傍のスロット面４ａに長手方向に沿った研磨加工痕が形成されているという点で、第１の実施形態のヘッド部構成体２と異なっている。つまり、供給口８Ａの近傍の２箇所に長手方向に沿った研磨加工痕が形成され、両端部近傍と中央部との３箇所に上下方向に沿った研磨加工痕が形成されているのである。
【００２０】
また、図３に、ヘッド部構成体の第３の実施形態を示す。図に示すヘッド部構成体２Ｂは、凹溝５の両端が開口するように形成されており、この開口部が供給口８Ｂを成しており、スロット面４ａの両端部近傍に長手方向に沿った研磨加工痕が形成されているという点で、第１の実施形態のヘッド部構成体２と異なっている。つまり、供給口８Ｂの近傍となる両端部近傍に長手方向に沿った研磨加工痕が形成され、中央部に上下方向に沿った研磨加工痕が形成されているのである。なお、ヘッド部構成体２Ａ，２Ｂの長手方向の長さ寸法に対する、長手方向に沿った研磨加工痕が形成された２箇所の範囲の長さ寸法の和は、第１の実施形態と同様の関係とされている。
【００２１】
このように形成されたヘッド部構成体２Ａ，２Ｂにおいても、長手方向に渡って均一に塗布液を塗布することができる。また、供給口を３箇所以上に設けた場合においても、同様に研磨加工痕を形成することで均一に塗布液を塗布する効果が得られ、凹溝５の片端のみを開口して供給口とした場合においても、供給口側の片端部近傍のスロット面４ａに長手方向の研磨加工痕を形成することで均一に塗布液を塗布する効果が得られる。
【００２２】
なお、本実施の形態においては、ヘッド部構成体２が塗布ヘッド１の先端部から基端部までを一体で形成する構成とされているが、ヘッド部構成体２の先端部に切り欠き部を形成して、たとえば超硬合金製のエッジ部材を前記切り欠き部に取り付ける構成としてもよい。このようにエッジ部材を取り付けることにより、塗布ヘッド１の先端部の耐摩耗性を向上させることができるとともに、スロット４の開口端の真直度を向上させることができ、形成される塗膜層の厚みをより精密に制御することができる。また、３つ以上のヘッド部構成体を用いて２つ以上のスロットを有した塗布ヘッドを構成することにより、シート状部材Ｓの表面に複数の塗膜層を同時に形成可能とした塗布工具に本発明を用いてもよい。
【００２３】
また、被塗布部材はシート状部材Ｓに限られずに、たとえば電子基板などのパネル状部材に塗布液を塗布する塗布工具に本発明を用いてもよく、また、固定された状態のシート状部材やパネル状部材に対して塗布工具が移動する構成としてもよい。また、供給口８から離れた両端部近傍の範囲は上下方向に沿って研磨加工痕が形成されていると説明しているが、この範囲において図１に示す角度θ１〜θ２の範囲、つまり長手方向に対して４５°〜１３５°、より好ましくは６０°〜１２０°となるように研磨加工痕を形成することによって、従来よりも均一に塗布液を吐出することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る塗布工具によれば、供給口近傍の一定範囲で長手方向に沿い、この一定範囲以外で長手方向に対して４５°から１３５°の方向に沿う研磨加工痕がスロット面に形成されているので、供給口近傍のスロットの流体抵抗よりも供給口から離間した範囲の流体抵抗が小さくなり、塗布工具の長手方向に渡って均一に塗布液を吐出することができ、均一な厚みの塗膜層を形成することができる。
また、工具本体の長手方向の長さ寸法に対して８０％以下となるように一定範囲の長さ寸法を設定することで、より均一に塗布液を吐出することができ、一定範囲の長さ寸法を５０ｍｍ以上とすることで、確実に均一となるように塗布液を吐出することができる。
また、上記塗布工具を装着した塗布装置によって、被塗布部材の表面の幅方向に渡って均一に塗布液を吐出することができ、均一な厚みの塗膜層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の塗布工具に使用されるヘッド部構成体の第１の実施形態で、（ａ）が側面図で、（ｂ）が正面図である。
【図２】ヘッド部構成体の第２の実施形態の正面図である。
【図３】ヘッド部構成体の第３の実施形態の正面図である。
【図４】従来の塗布工具を示す斜視図である。
【符号の説明】
１塗布ヘッド（工具本体）
２，３ヘッド部構成体
２ａ，３ａ側面
４スロット
４ａスロット面
５，６凹溝
７ポケット
８供給口
Ｌ１工具本体の長手方向の長さ寸法
Ｌ２一定範囲の長手方向の長さ寸法[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a coating tool and a coating apparatus that apply a coating liquid to a surface of a member to be coated such as a sheet-shaped member or a panel-shaped member, and more particularly to a coating tool that can uniformly discharge a coating liquid from a slot.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a coating tool having a slot through which a coating liquid passes is used as a coating tool mounted on a coating apparatus that performs a coating operation such as forming a coating layer by applying a coating liquid thinly and uniformly on the surface of a sheet-like member. Is used. As such an application tool, there is an application tool provided with an application head (tool main body) 1 as shown in FIG. 4, and the application head 1 is a sheet-like member S that travels in a traveling direction indicated by an arrow A in the figure. Is formed in an elongated shape extending in the width direction of the sheet-shaped member S, and is disposed below the sheet-shaped member S so that the front end thereof can be slidably contacted with the sheet-shaped member S with its front end facing upward. I have. (For example, refer to Patent Document 1.)
[0003]
The coating head 1 defines a slot 4 by arranging the side surfaces 2a and 3a of the pair of head unit structures 2 and 3 with a certain gap, and defines the slot 4 in the longitudinal direction of the side surfaces 2a and 3a. Grooves 5 and 6 formed toward the upper surface define a pocket 7. The slot 4 is opened at the tip end surface of the coating head 1, and a supply port (not shown) for supplying a coating liquid is provided in communication with the pocket 7. The coating liquid supplied from the supply port in the coating operation spreads in the longitudinal direction of the coating head 1 by filling the pocket 7 and is discharged from the tip of the coating head 1 through the slot 4. The discharged coating liquid is applied to the surface (lower surface) of the traveling sheet member S to form a coating layer.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-62-241574 (FIG. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the above application tool, there is a tendency that the flow rate is large in a certain range near the supply port, and the flow rate tends to decrease in a range away from the vicinity of the supply port. There was a problem that occurs. That is, the fluid resistance of the application liquid in the slot formed in the uniform gap is constant in the longitudinal direction of the application tool, and the coating liquid hardly passes through the slot in a range away from the supply port. In particular, when the viscosity of the coating liquid is low, for example, when the viscosity of the coating liquid is 1 to 100 cps, the non-uniformity of the flow rate distribution is remarkably exhibited due to the fluid resistance due to the viscosity.
[0006]
The present invention has been made under such a background, and provides an application tool capable of uniformly discharging an application liquid in a longitudinal direction of the application tool, and an application apparatus including the application tool. It is aimed at.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
The application tool according to the present invention includes a tool main body configured by combining a plurality of head portion structural members, and extends in a longitudinal direction of the tool main body by a concave groove formed on an opposing side surface of the head portion structural member. A pocket is defined, and the side surface located on the distal end side of the tool main body from the pocket is a slot surface that defines a slot communicating with the distal end surface of the tool main body, and the pocket communicates with the pocket. In the application tool in which the application liquid supplied from the supply port provided is discharged through the slot, a polishing mark formed on the slot surface has a certain range near the supply port. It is formed along the longitudinal direction, and is formed along a direction of 45 ° to 135 ° with respect to the longitudinal direction outside the above-mentioned predetermined range.
[0008]
In the coating tool of the present invention, a polishing mark is formed along the longitudinal direction of the tool body in a certain range near the supply port on the slot surface formed by the opposing side surfaces of the head part constituting body. Since the polishing marks are formed along the direction from 45 ° to 135 ° with respect to the longitudinal direction, the coating liquid does not easily flow in a certain range where the polishing marks are formed along the longitudinal direction. The coating liquid easily flows outside the certain range. In other words, the polishing marks along the longitudinal direction are orthogonal to the flow direction of the coating liquid, so that the fluid resistance of the coating liquid due to the polishing marks is large. The polishing marks along the direction, more preferably the direction from 60 ° to 120 °, have smaller fluid resistance of the coating liquid than the polishing marks perpendicular to the flow direction of the coating liquid. This makes it possible to eliminate the tendency for the flow rate to increase in a certain range near the supply port by adjusting the fluid resistance, so that the coating liquid can be discharged more uniformly in the longitudinal direction of the coating tool than before. And a coating layer having a uniform thickness can be formed.
[0009]
Further, the application tool according to the present invention is the application tool described above, wherein the length in the longitudinal direction in the certain range is 80% or less of the length in the longitudinal direction of the tool body. It is characterized by the following. Further, the length in the longitudinal direction of the certain range is set to 50 mm or more.
[0010]
The coating tool according to the present invention sets the length in a certain range so as to be 80% or less of the length in the longitudinal direction of the tool body, so that the coating tool can be coated in the longitudinal direction of the coating tool. The effect of uniformly discharging the liquid can be favorably obtained. Further, by setting the length in the longitudinal direction in a certain range to be 50 mm or more, the above-mentioned effect can be surely obtained.
[0011]
Further, the coating apparatus according to the present invention is configured to apply the coating liquid to the surface of the member to be coated by moving the coating liquid to the member to be coated while moving the coating liquid in one direction relative to the member to be coated. In the apparatus, any one of the application tools described above is mounted.
Since the coating apparatus of the present invention is equipped with any of the above-described coating tools, it is possible to discharge the coating liquid uniformly in the width direction of the surface of the member to be coated, and to apply the coating with a uniform thickness. A film layer can be formed. Further, since the outer diameter and the like of the application tool are the same as those of the conventional application tool, the application tool can be mounted on a conventionally used application apparatus, and the above effects can be easily obtained.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a side view and a front view of a first embodiment of a head unit structure 2 used for a coating tool, and the same components as those of the coating head 1 shown in the conventional example have the same components. Signs are attached. The head portion structure 2 is a plate-shaped member formed of a stainless steel material or the like, and has an inclined surface on the tip end side of a surface facing the opposite side of the side surface 2a serving as the inner surface of the coating head 1 so that the thickness on the tip end side is reduced. Is formed, and the distal end surface 2b of the head portion constituting body 2 which is the distal end surface of the coating head 1 is formed thin. The supply port 8 is formed so as to communicate with the concave groove 5 formed along the longitudinal direction of the head portion constituting body 2, and the supply port 8 communicates with the longitudinal center of the concave groove 5. The side surface from the front end surface 2b to the concave groove 5 is a slot surface 4a that defines the slot 4, and has a maximum surface roughness Rz of 0.8 μm or less in order to define the slots 4 at uniform intervals. Finish processing is performed by polishing processing so as to become.
[0013]
In the finishing of the slot face 4a, first, polishing is performed until a constant surface roughness is formed so that polishing marks are formed along the longitudinal direction of the head portion constituting body 2. Then, the vicinity of the supply port 8 is formed. In the same manner, finishing polishing is performed so that polishing marks are formed along the longitudinal direction, and the vicinity of both ends away from the supply port 8 is oriented at 90 ° to the longitudinal direction, that is, the head Finish polishing is performed so that polishing marks are formed along the vertical direction of the component body 2. The polishing marks formed at this time are formed in a substantially linear shape with a fine groove shape of 0.1 μm or less. However, the fine grooves may be in a curved shape. The direction of the tangent line at the center is the direction of the polishing marks along the longitudinal direction and the vertical direction described above.
[0014]
Also, in FIG. 1, the arrows at both ends shown on the slot surface 4 a indicate the direction of the polishing marks, and the polishing marks along the longitudinal direction are in the range of the length dimension L2 near the center of the head part structure 2. And polishing marks along the vertical direction are formed at both ends of the range of the length dimension L2. The length L2 is set to be equal to or less than 80% of the length L1 in the longitudinal direction of the head portion structure 2, and is provided at least 50 mm or more. The polishing marks are also formed on the head component 3 disposed opposite the head component 2 in the same manner.
[0015]
The head component 2 formed as described above is combined with a head component 3 having substantially the same shape without a supply port to form an application head 1. An application tool including the application head 1 is Is mounted on a coating device and used for a coating operation. In the coating operation, the coating liquid is supplied from the coating device to the supply port 8, and the coating liquid fills the pocket 7 and spreads in the longitudinal direction of the coating head 1, passes through the slot 4, and is discharged from the tip of the coating head 1. Is applied to the sheet member S (see FIG. 4).
[0016]
As described above, when the coating liquid passes through the slot 4, the fluid resistance of the coating liquid is adjusted by the polishing marks formed on the head portion structures 2 and 3, and the fluid resistance is adjusted in the longitudinal direction of the coating head 1. The coating liquid can be applied uniformly. That is, in the vicinity of the supply port 8 where the flow rate of the coating liquid has conventionally tended to be large, polishing marks are formed along the longitudinal direction, and in the vicinity of both ends where the flow rate of the coating liquid tends to be small. Since the polishing marks are formed along the vertical direction, the fluid resistance in the vicinity of both ends becomes smaller than in the vicinity of the supply port 8, so that the flow rate of the coating liquid in the vicinity of the supply port 8 can be suppressed more than before. As a result, the coating liquid can be applied uniformly over the longitudinal direction. As described above, the effect of reducing the fluid resistance at both ends where the coating liquid is difficult to pass can be favorably obtained when the coating liquid has a low viscosity of about 1 to 100 cps. .
[0017]
In particular, since the length L2 of the range in which the polishing marks along the longitudinal direction are formed is set to be 80% or less of the longitudinal length L1 of the head part structure 2, it is preferable. A coating solution can be applied. More preferably, by setting the length dimension L2 so as to be in the range of 40 to 60% of the length dimension L1, an even better effect can be obtained.
The length L2 varies depending on the length L1, but no matter what the length L1, the length L2 should be at least 50 mm or more to ensure that the coating liquid Can be uniformly applied.
[0018]
For example, an application tool provided with an application head 1 in which the gap between the slots 4 is 0.05 to 0.08 mm, the length L1 is 1000 mm, and the length L2 is 100 mm is applied to a panel-like member. In the case of performing a coating operation by being mounted on a coating apparatus that discharges a coating liquid while relatively moving in one direction, a low-viscosity coating liquid such as a resist liquid for a color filter can be uniformly coated, for example, 2 μm. A coating layer having a thickness of ± 2% or less can be formed.
[0019]
FIG. 2 shows a second embodiment of the head section constituting body. In the head part structure 2A shown in the figure, supply ports 8A are provided at two places of the concave groove 5, and polishing marks along the longitudinal direction are formed on the slot surface 4a near each supply port 8A. In that it is different from the head part constituting body 2 of the first embodiment. That is, polishing marks along the longitudinal direction are formed at two places near the supply port 8A, and polishing marks along the vertical direction are formed at three places near both ends and at the center.
[0020]
FIG. 3 shows a third embodiment of the head section constituting body. The head part structure 2B shown in the figure is formed so that both ends of the concave groove 5 are open, and this opening forms a supply port 8B, and is located near both ends of the slot face 4a along the longitudinal direction. It is different from the head part constituting body 2 of the first embodiment in that the polishing marks are formed. In other words, polishing marks along the longitudinal direction are formed near both ends near the supply port 8B, and polishing marks along the vertical direction are formed at the center. Note that the sum of the lengths of the two locations where the polishing marks are formed along the longitudinal direction with respect to the longitudinal lengths of the head portion constituting bodies 2A and 2B is the same as in the first embodiment. Relationship.
[0021]
The coating liquid can be evenly applied in the longitudinal direction also in the head component members 2A and 2B formed as described above. Also in the case where the supply ports are provided at three or more locations, the effect of uniformly applying the coating liquid can be obtained by forming polishing marks in the same manner. Also in this case, the effect of uniformly applying the coating liquid can be obtained by forming the polishing marks in the longitudinal direction on the slot surface 4a near the one end on the supply port side.
[0022]
In the present embodiment, the head unit 2 is formed integrally from the distal end to the base end of the coating head 1, but a notch is formed at the distal end of the head unit 2. , And an edge member made of, for example, a cemented carbide may be attached to the notch. By attaching the edge member in this manner, the wear resistance of the tip of the coating head 1 can be improved, and the straightness of the open end of the slot 4 can be improved. The thickness can be controlled more precisely. In addition, by forming a coating head having two or more slots using three or more head part constituting bodies, a coating tool capable of simultaneously forming a plurality of coating layers on the surface of the sheet-like member S is provided. The present invention may be used.
[0023]
The member to be coated is not limited to the sheet-shaped member S. For example, the present invention may be applied to a coating tool that applies a coating liquid to a panel-shaped member such as an electronic board. Alternatively, the application tool may be configured to move with respect to the panel-like member. In addition, it is described that polishing marks are formed along the vertical direction in a range near both ends apart from the supply port 8, but in this range, a range of angles θ1 to θ2 shown in FIG. By forming the polishing marks at an angle of 45 ° to 135 °, more preferably 60 ° to 120 ° with respect to the direction, the coating liquid can be discharged more uniformly than before.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the application tool of the present invention, the polishing marks along the longitudinal direction in a certain range near the supply port and along the direction of 45 ° to 135 ° with respect to the longitudinal direction outside this certain range. Is formed on the slot surface, so that the fluid resistance in the range away from the supply port is smaller than the fluid resistance of the slot near the supply port, and the coating liquid can be uniformly discharged over the longitudinal direction of the coating tool. Thus, a coating layer having a uniform thickness can be formed.
Further, by setting the length in a certain range so as to be 80% or less of the length in the longitudinal direction of the tool body, the coating liquid can be more uniformly discharged, and the length in the certain range can be reduced. By setting the size to 50 mm or more, the coating liquid can be discharged so as to be surely uniform.
In addition, the coating device equipped with the coating tool can uniformly discharge the coating liquid in the width direction of the surface of the member to be coated, and can form a coating layer having a uniform thickness.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A and 1B are a side view and a front view, respectively, of a first embodiment of a head portion structure used in a coating tool according to the present invention.
FIG. 2 is a front view of a second embodiment of the head section constituting body.
FIG. 3 is a front view of a third embodiment of a head unit structure.
FIG. 4 is a perspective view showing a conventional application tool.
[Explanation of symbols]
1 Coating head (tool body)
2, 3 Head part constituting body 2a, 3a Side surface 4 Slot 4a Slot surface 5, 6 Concave groove 7 Pocket 8 Supply port L1 Longitudinal length L2 of the tool body L2 Longitudinal length in a certain range

Claims

複数のヘッド部構成体が組み合わされて構成された工具本体を備え、前記ヘッド部構成体の対向する側面に形成された凹溝によって前記工具本体の長手方向に延びるポケットが画成されているとともに、該ポケットより前記工具本体の先端側に位置する前記側面が前記工具本体の先端面に連通するスロットを画成するスロット面とされており、前記ポケットに連通して設けられた供給口から供給された塗布液が前記スロットを通過して吐出される塗布工具において、
前記スロット面に形成される研磨加工痕が、前記供給口近傍の一定範囲で前記工具本体の長手方向に沿って形成されているとともに、上記一定範囲以外で長手方向に対して４５°から１３５°の方向に沿って形成されていることを特徴とする塗布工具。A tool body configured by combining a plurality of head part structures, and a pocket extending in a longitudinal direction of the tool body is defined by a concave groove formed on an opposed side surface of the head part structure; The side surface located on the tip side of the tool main body from the pocket is a slot surface defining a slot communicating with the front end surface of the tool main body, and is supplied from a supply port provided in communication with the pocket. In a coating tool in which the applied coating liquid is discharged through the slot,
Grinding marks formed on the slot surface are formed along the longitudinal direction of the tool body in a certain range near the supply port, and 45 ° to 135 ° with respect to the longitudinal direction outside the certain range. A coating tool characterized by being formed along the direction of.

請求項１に記載の塗布工具であって、
上記一定範囲の長手方向の長さ寸法が、前記工具本体の長手方向の長さ寸法に対して８０％以下とされていることを特徴とする塗布工具。The application tool according to claim 1,
The application tool, wherein the length in the longitudinal direction in the certain range is 80% or less of the length in the longitudinal direction of the tool main body.

請求項１または請求項２に記載の塗布工具であって、
上記一定範囲の長手方向の長さ寸法が、５０ｍｍ以上とされていることを特徴とする塗布工具。The application tool according to claim 1 or claim 2,
The coating tool, wherein the length in the longitudinal direction of the certain range is 50 mm or more.

被塗布部材に塗布液を吐出しながら、該被塗布部材に対して相対的に一方向に移動することで被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の塗布工具が装着されていることを特徴とする塗布装置。In a coating apparatus that applies a coating liquid to a surface of a member to be coated by moving in one direction relative to the member to be coated while discharging the coating liquid to the member to be coated,
A coating apparatus, comprising the coating tool according to claim 1.