JP2004214555A - 磁気浮上テーブル装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】少ない消費電力で、かつ、容易な制御によりテーブルを位置決めすることのできる磁気浮上ステージ、及び、それを有する露光装置を提供すること。
【解決手段】テーブルの位置や姿勢を微調整するアクチュエータユニットが、ある方向に伸びるとともに案内外表面を有する可動子(内軸)16と、前記案内外表面と対向して可動子16を空隙を介して囲む案内内表面を有する固定子(枠体)15とを備え、可動子16及び固定子15の上下及び両側方の対向表面のそれぞれに、その対向表面間で磁気反発力を発揮する永久磁石23、24及び永久磁石21、22の組が設けられるとともに、可動子16と固定子15との相対位置を制御すべく前記対向表面間の反発力を制御する電磁コイル25が固定子15に設けられている。
【選択図】 図3
【解決手段】テーブルの位置や姿勢を微調整するアクチュエータユニットが、ある方向に伸びるとともに案内外表面を有する可動子(内軸)16と、前記案内外表面と対向して可動子16を空隙を介して囲む案内内表面を有する固定子(枠体)15とを備え、可動子16及び固定子15の上下及び両側方の対向表面のそれぞれに、その対向表面間で磁気反発力を発揮する永久磁石23、24及び永久磁石21、22の組が設けられるとともに、可動子16と固定子15との相対位置を制御すべく前記対向表面間の反発力を制御する電磁コイル25が固定子15に設けられている。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気浮上テーブル装置及び露光装置に関し、詳しくは、消費電力が少なく安定かつ制御の容易な磁気浮上テーブルを備える磁気浮上テーブル装置、及び、それをそれを有する露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、対象物を載置したテーブルの位置を調整するテーブル装置が知られている。例えば、半導体デバイス等の露光技術分野では、ウェハやマスクを載置するテーブルの位置をさらに高精度・高速度で移動・位置決めするための技術開発が進められているが、その一つとして、磁気浮上・駆動を利用したテーブル装置がある。
【0003】
この種のテーブル装置は、例えば、特開平10−521号公報に記載されている。この公報に記載のテーブル装置は、テーブル周囲の3個所に、テーブルの位置決め調整をする磁気駆動支持機構が分散配置されている。この磁気駆動支持機構は、重力方向の吸引力によりテーブルを垂下して非接触支持する一対の永久磁石と、重力方向の弾性力を発揮してテーブルを支持する板バネと、重力方向にテーブルを移動させる電磁駆動手段と、により構成されている。このテーブル装置では、基本的には、永久磁石の吸引力と板バネの弾性力・テーブルの自重とがバランスしてテーブルを支持し、テーブルの位置を微調整するには、電磁駆動手段が上下方向の駆動力を付与してテーブルを微小移動させる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この特開平10−521号公報に記載のテーブル装置にあっては、浮上力はテーブルを上方向に吸引する磁石のみによって発揮される。そして、上記の電磁駆動手段の磁気回路を、一組の永久磁石と電磁コイルとで形成している。この磁気回路では、電磁コイルに供給する電力を調整して、その磁気回路に寄与する電磁力を変化させることにより、テーブル駆動力を調整している。このように、一つの磁気回路による磁気力でテーブルを支持・調整する場合には、テーブルが揺動(バウンシング)し易く、この揺動が発生しないようにするには複雑な制御が必要になる。
【0005】
また、テーブルを支持・調整する磁気力は一つの磁気回路によるものなので、電磁コイルへの供給電力や磁気回路内の空隙をパラメータとして浮上力の変化を見たときには、非直線特性になって、テーブルの位置調整に複雑な制御が必要になる。
【0006】
そこで、本発明は、少ない消費電力で、かつ、容易な制御によりテーブルを位置決めすることのできる磁気浮上テーブル装置、及び、それを有する露光装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の磁気浮上テーブル装置は、 磁気力により非接触浮上させるテーブルを備える磁気浮上テーブル装置であって、 浮上位置決め用のアクチュエータユニットが、ある方向に延びるとともに案内外表面を有する内軸と、該内軸を空隙を介して囲む前記案内外表面と対向する案内内表面を有する枠体と、を備え、 前記内軸と枠体とに、前者を後者が挟み込むような形態で、上下及び/又は両側方の対向表面間で磁気反発力または磁気吸引力を発揮する磁石の組が設けられているとともに、 前記内軸と枠体との相対位置を制御すべく前記上下及び/又は両側方の対向表面間の反発力または吸引力を制御する電磁コイルが設けられていることを特徴とする。
【0008】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、内軸と枠体との対向する表面間に働く磁石(電磁石又は永久磁石のいずれでもよい)の磁気力が浮上力として機能することにより、内軸は、空隙を介してその枠体に非接触支持されている。この磁気浮上力は、例えば前記磁石と一つの磁気回路を構成する電磁コイルへの通電量・方向を調整することにより制御することができる。このようにして、上下方向及び横方向のいずれでも、内軸と枠体とを相対的に位置決めできる。そして、内軸又は枠体に連結されたテーブルを非接触支持・位置決めすることができる。
【0009】
また、内軸が枠体に挟み込まれる構造、すなわち、内軸に上下あるいは左右逆方向の磁力を与える対をなす磁石の組が設けられている。そのため、内軸と枠体との間で働く磁気力(浮上力)を略線形特性にすることができ、容易な制御でバウンシングを起こすことなくテーブルを位置決めすることができる。さらに、磁石として永久磁石を採用したときには、電磁石に通電することなくテーブルを非接触支持することができ、微小電流を電磁コイルに供給することによりテーブルの位置を調整できる。
【0010】
ここで、磁気反発力または磁気吸引力のいずれにするかは、上下又は両側方のそれぞれで揃うように選択すればよい。ただし、磁気吸引力では、制御性に優れるが非接触状態に支持するのが不安定になり、厳密な線形化による高応答制御を用いない限り、安定化させるのは困難である。一方、磁気反発力では、非接触を維持したい方向(制御方向)には安定した変位制御を実現することができるとともに、不安定な非制御方向にも磁気反発力を発揮させるようにすることにより、2自由度制御機構が実現できる。
【0011】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記アクチュエータユニットが、前記テーブルの上下方向の中心軸の周囲に、該中心軸を中心とする周方向に沿うように3個分散配置されているものとすることができる。
【0012】
この場合、3箇所のアクチュエータユニットのそれぞれで、内軸及び枠体の相対的位置関係を、中心軸を中心とする円の周方向や径方向及び上下方向に調整可能な構成になる。このことから、この磁気浮上テーブル装置は、テーブルを所謂、X、Y、Z、θx、θy、θzの各方向に微調整することができる、いわゆる6自由度レベリング制御を実現できる。
【0013】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記磁石は、前記内軸の軸方向に離間する一対の磁石により構成されるとともに、前記対向表面の対向面には磁石の同極が現れるように固定されており、 前記電磁コイルは、前記内軸又は枠体の一方の前記一対の磁石の間に配設されるとともに、該一対の磁石による磁場と該電磁コイルによる磁場が平行になるように設けられているものとすることができる。
【0014】
この場合、一対の磁石が固定された対向表面毎に磁気回路が形成されることになり、その磁気回路は対向表面同士で鏡面の関係になる。そして、内軸又は枠体の一方に設けられた電磁コイルを含む磁気回路では、その電磁コイルの起磁力が他方の磁気回路の磁力線と平行になる。このことから、電磁コイルの起磁力の方向や大きさを制御することにより、内軸と枠体の磁気回路同士の相対的な関係を調整することができる。したがって、電磁コイルの供給電力を制御するだけで、その対向表面の間隔(空隙)を調整して内軸と枠体との相対的な位置関係を調整することができる。
【0015】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記電磁コイルが固定子側に設けられているものとすることができる。
【0016】
この場合、固定子側に電磁コイルの配線をすることになるので、可動子の動きの邪魔となる配線をする必要がない。
【0017】
前記の課題を解決するため、本発明の露光装置においては、 エネルギービームを選択的に感応基板上に照射して該基板上に所望のパターンを形成する露光装置であって、 原版ステージ及び/又は感応基板ステージとして、上記の磁気浮上テーブル装置を備えることを特徴とする。
【0018】
本発明の露光装置においては、原版ステージや感応基板ステージをバウンシングのおそれなく非接触支持しつつ、容易な制御で位置決めすることができる。また、永久磁石を採用することにより、基本的には通電なく原版ステージや感応基板ステージを非接触支持することができるとともに、その原版ステージや感応基板ステージの位置を微小電流で調整することができる。さらに、6自由度レベリング制御を実現したり、原版ステージや感応基板ステージを完全非接触支持状態にすることもできる。なお、露光に用いるエネルギービームの種類は、特に限定されず、光、紫外線、X線、荷電粒子線などを用いることができる。また、露光方式も、特に限定されず、縮小投影露光、等倍近接転写、いずれにも適用できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置を搭載した露光装置の概略構成を示す一部縦断面図である。
図2は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の概略構成を示す図であり、(a)はその平面図、(b)はその側面図である。
図3は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す分解斜視図である。
図4は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子及び可動子の端部の磁石配置を示す図、(b)は固定子及び可動子の中央部の磁石配置を示す図である。
図5は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子の磁石配置を示す図、(b)は可動子の磁石配置を示す図である。
図6(A)は図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成の磁気回路の構成及び作用を説明する位置関係図であり、図6(B)は固定子の斜視図である。
図7は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の機能を説明するモデルの立面図である。
図8は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の浮上力制御特性を説明する図であり、(a)は空隙をパラメータとしたときのグラフ、(b)は励磁電流をパラメータとしたときのグラフである。
【0020】
図1において、露光装置100は、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(所謂、スキャニング・ステッパ)である。この露光装置100は、図1の上から下に向かって、照明光学系101、レチクルステージ102、投影光学系103、及びウェハステージ104という主要部分より構成されている。
【0021】
照明光学系101は、不図示のArFエキシマレーザー光源(一例)に接続されて照度を均一化したレーザービームRを出射する。なお、照明光学系101から出射されたレーザービームRは、ミラー107が反射してレチクル105に向けられる。レチクルステージ102は、照明光学系101から出射されるレーザービームRの光路内に、回路パターンなどの原版であるレチクル105を静電吸着などにより保持して位置決めする。投影光学系103は、レチクル105を通過してパターン化されたレーザービームRを例えば1/5の投影倍率になるように縮小してウェハ(感応基板)106上に投影する。ウェハステージ104は、回路パターンを形成する基板のウェハ106を静電吸着などにより保持して位置決めする。
【0022】
また、露光装置100は、照明光学系101やステージ制御系108が主制御装置109に接続されて統括制御されている。照明光学系101は、主制御装置109からの制御信号に従って各ステージ102、104の位置調整制御に同期するレーザービームRを出射する。また、各ステージ102、104は、レチクル105やウェハ106の位置情報を入手して主制御装置109に受け渡すとともに、その主制御装置109からの制御信号に従ってステージ102、104による位置調整制御を行う。これらステージ102、104は、位置検出装置としてのレーザ干渉計111、112から出射されるレーザービームを反射するように側面にミラー113、114を固設されて、例えば0.5〜1nm程度の分解能でその位置を常時検出されている。
【0023】
この露光装置100は、このような構成を備えることにより、レチクル105を通過してパターン化されたレーザービームRをウェハ106上に縮小投影して、そのウェハ106に所望の回路パターンを高精度に形成する。
【0024】
各ステージ102、104は、公知のエアベアリング又は磁気により浮上支持されリニアモータ等により駆動される粗動ステージ110を備える。この粗動ステージ110上には、図2〜図6に示す本実施形態に係る磁気浮上テーブル装置10を微動テーブルとして搭載している。粗動ステージ110は、レチクル105やウェハ106を、X、Y方向の2方向に比較的長い距離移動させるためのものである。磁気浮上テーブル装置10は、後述するように、レチクル105やウェハ106のX、Y、Z、θx、θy、θz方向の6方向に精密な位置きめを行う。
【0025】
以下、投影光学系103内の光軸AX方向をZ軸(図1の上下方向)とし、これに直交する平面方向をX軸(図1の左右方向)とY軸(図1の紙面垂直方向)として、以下説明する。
【0026】
磁気浮上テーブル装置10は、粗動ステージ110の上でXY方向に駆動されるベース11上に固設されている。ベース11は、図2に示すように、磁気力により浮上するテーブル12を非接触支持している。テーブル12の上面には、ウェハ106を静電吸着により固定する円盤形状のチャック13が固定されている。
【0027】
この磁気浮上テーブル装置10は、図2(a)に示すように、テーブル12のZ方向中心軸Cを中心とする円周方向に沿うように、3組のアクチュエータユニット14が、120°間隔で分散配置されている。アクチュエータユニット14は、固定子15がベース11に、可動子16がテーブル12にそれぞれ連結されている。なお、固定子15が前記手段にいう枠体に相当し、可動子16が内軸に相当する。このアクチュエータユニット14は、固定子15と可動子16の相対的な位置関係を調整することにより、ベース11に対するテーブル12の位置や姿勢を変化させて、ウェハ106の位置や姿勢を微調整する。
【0028】
アクチュエータユニット14は、図2(a)に示すように、テーブル12に開口する長方形の窓17内に、固定子15及び可動子16を位置させて構成されている。
【0029】
固定子15は、図4に示すように、ベース11上に固定された四角い枠形状のものである。この固定子15は、真中の開口15aの中心軸がZ軸に直交し、かつ、中心軸Cに向かうように固定されている。固定子15の外周面とテーブル12の窓17との間には隙間Pがあって、この隙間Pの範囲内でテーブル12の動きを許容する。
【0030】
可動子16は、図2(a)に示すように、テーブル12の窓17の長手方向中央部間を短絡するように(延在方向が中心軸Cに向かうように)設けられている。この可動子16は、図3及び図4に示すように、固定子15の開口15a内に内軸として挿通可能に柱状のものとして形成されている。
【0031】
この固定子15及び可動子16は、その固定子15の外表面と可動子16の内表面とが空隙を介して対向するように(囲まれるように)寸法を設定されている。固定子15は、開口15aの内表面に、また、可動子16は、外表面に後述する磁石がついている。この対向する磁石間で反発力を働かせる。そして、固定子15の内表面と可動子16の外表面との間に隙間P´が形成されており、その隙間P´の範囲内で可動子16(テーブル12)の動きを許容する。この構成により、可動子16は、固定子15の開口15a内で上下及び横方向に移動可能な内軸として機能する。
【0032】
次に、固定子15の磁石配置について説明する。
固定子15には、その内表面(対向表面)の上下及び左右それぞれに、永久磁石21、22の組が固設されている。永久磁石21と永久磁石22とは、テーブル12の中心軸Cに向かって電磁コイル25(後述)を隔てて近接側と離隔側とに離間している。この永久磁石21、22は、同一の配列でN極及びS極が現れるように固定子15の内表面に固設されている。すなわち、例えば、中心軸Cに対する近接側または離隔側の一方の内表面にN極が現れる永久磁石21を配置し、その他方の内表面にはS極が現れる永久磁石22を配置する。
【0033】
一方、可動子16は、固定子15と同様に、固定子15の内表面に対向する外表面(対向表面)のそれぞれに、中心軸Cに対する近接側と離隔側とに離間する一対の永久磁石23、24の組が固設されている。この永久磁石23、24は、それぞれ同一の配列でN極及びS極が現れるように可動子16の外表面に固設されている。すなわち、中心軸Cに対する近接側または離隔側の一方の外表面にN極が現れる永久磁石23を配置し、その他方の外表面にはS極が現れる永久磁石24を配置する。
【0034】
そして、固定子15と可動子16は、上下及び両側方の対向表面間で、永久磁石21、23がN極同士で反発するとともに、永久磁石22、24がS極同士で反発する。したがって、固定子15は、可動子16を上下及び左右で逆向きの反発力(磁気力)で挟み込む。これにより、固定子15は、可動子16との間の対向表面間に形成される空隙P´(図4(a)参照)を介して可動子16との非接触状態を維持しつつ、可動子16をバウンシングの少ない状態で支持する。
【0035】
なお、永久磁石21〜24が互いに吸引する磁気力を発揮するように異極同士を対面させてもよいが、その対向表面間に空隙を形成・維持する調整が難しいので(厳密な線形化による高応答制御を用いる必要があるので)、本実施形態のように設定するのが好ましい。本実施形態では、1つのアクチュエータユニット14の可動子16が固定子15から抜け出る方向は、3箇所にアクチュエータユニット14を分散配置していることから、他のアクチュエータユニット14では可動子16と固定子15とが互いに反発し合う方向になっているので、抜けを防止できる。なお、永久磁石21〜24に代えて、電磁石を採用してもよいが、電力を消費することなく、非接触支持を実現することができ、また、配線も不要であることから本実施形態のように永久磁石を採用するのが好ましい。
【0036】
次に、固定子15に配置されている位置調整の電磁コイルについて説明する。固定子15の永久磁石21、22の間には、図3や図6に示すように、導電線27(図6に図示)を巻き回した電磁コイル25が介装されている。この電磁コイル25は、永久磁石21、22のN極からS極に向かう磁気力(磁力線)と平行な起磁力を発生させる。一方、可動子16の永久磁石23、24の間には、そのN極からS極に向かう磁力線を通す鉄心26が介装されている。
【0037】
すなわち、アクチュエータユニット14は、図6に示すように、固定子15では、永久磁石21、電磁コイル25、永久磁石22及び対向表面間の空隙P´を磁力線が通る磁気回路を形成する。一方、可動子16では、永久磁石23、鉄心26、永久磁石24及び対向表面間の空隙P´を通る磁気回路を形成している。つまり、固定子15と可動子16は、対向表面間同士で鏡面の関係(面対称)になる磁気回路を形成している。このことから、固定子15の磁気回路は、電磁コイル25に供給する電力量や向きを変化させることにより、永久磁石21、22による磁気力を、電磁コイル25の起磁力で加減することができる。
なお、可動子16は、媒体中の磁場と真空中(大気中)の磁場の作用により浮上するので、磁場は完全には対称ではなくなる。
【0038】
このような構成により、この磁気浮上テーブル装置10は、アクチュエータユニット14毎に、固定子15の電磁コイル25への電力供給を制御することにより、可動子16を上下左右方向に微動させることができる。そして、上述のように配置された3個のアクチュエータ14を動かすことにより、テーブル12をX、Y、Z、θx、θy、θzの各方向に微調整することができる。このとき、固定子15と可動子16とは、上下方向及び横方向のいずれについても、各方向で対をなす逆向きの反発力を使って浮上・駆動しているので、その反発力(浮上力)を線形特性として取り扱うことができ、固定子15に対する可動子16の相対的な位置関係(テーブル12の位置や姿勢)をバウンシングを起こすことなく容易に制御することができる。
【0039】
次に、本発明の実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の特性シミュレーションについて説明する。
本発明者らは、テーブル12の浮上力の特性を確認するために、図7に示すようなモデルMを仮想して、シミュレーションを行った。モデルMは、固定子に対応する枠体51、及び、可動子に対応する浮上体(内軸)52により構成されている。図示は省略されているが、枠体51は、上下の内表面53に永久磁石と電磁コイルが固設されている。浮上体52は、枠体51の内表面53の永久磁石と電磁コイルに対向するように、上下の外表面54には永久磁石と鉄心が固設されている。
【0040】
このモデルシミュレーションでは、枠体51と浮上体52との間の空隙間隔を変化させる浮上体52の移動距離Xをパラメータとした場合に、浮上体52に加えられる反発力(押上力又は押下力)と、その合力である浮上力をグラフ化した。また、電磁コイルへの励磁電流Iをパラメータとした場合についてもグラフ化した。
【0041】
モデルの各種パラメータ条件は、次の通りである。
○ 形状等のパラメータ
モデルMの長さL:40mm
モデルMの高さH:20mm
モデルMの幅Li:30mm
浮上体の質量:30kg
重力加速度g:9800mm/sec2
電磁コイルのターン数:392
gap1の間隔:4.8mm
gap2の間隔:10mm
○ 物性のパラメータ
真空透磁率μo:4π・10−7(H/m)
永久磁石の保磁力Hc:1058000(A/m)
永久磁石の比透磁率μm:1.05
ヨークの比透磁率μs:2000(空隙磁束密度の関数で固定とする)
○ 磁気回路の空隙磁束密度の計算式
【数1】
【0042】
図8(a)、(b)において、横軸は上記移動距離Xや励磁電流Iの変化量を示し、縦軸は浮上体52に加えられる浮上力(押上力又は押下力)を示している。原点(0、0)は、枠体51と浮上体52との間の空隙間隔が永久磁石による磁気力のみで上記パラメータの位置となる無負荷状態時(移動距離X=0、励磁電流=0)を示している。
【0043】
電磁コイル25に電流Iを供給することなく、浮上体52の移動距離Xを、上記パラメータ位置の無負荷状態で安定する原点から、上下方向の「−5.0mm」〜「5.0mm」まで「0.5mm」ステップで変化させる。この場合、図8(a)に示すように、浮上体52の下側の反発力は、押上力Fm1として現れる一方、浮上体52の上側の反発力は、押下力Fm2として現れる。そして、この押上力Fm1と押下力Fm2の合力の浮上力Fmは、図示のように、Flinearとして擬似的に1次線形化することができる。
【0044】
また、上記原点に固定して、電磁コイル25に供給する電流Iを、「−30A」〜「30A」まで「1A」ステップで変化させる。この場合、図8(b)に示すように、電磁コイル25は、マイナス電流Iの供給時には永久磁石による磁気力を補強する起磁力を発生する一方、プラス電流Iの供給時には永久磁石による磁気力を弱める起磁力を発生する。この結果、浮上体52の下側の押上力Fm1及び上側の押下力Fm2は図示のような特性となって、これらの合力の浮上力FmはFlinearとして擬似的に1次線形化することができる。
【0045】
このように本実施形態においては、3組のアクチュエータユニット14のそれぞれが、固定子15と可動子16の対向表面に設けた永久磁石21〜24間の反発力によりその対向表面間に空隙を形成するので、電力供給することなく、ベース11に対してテーブル12を非接触支持することができる。この3組のアクチュエータユニット14は、固定子15に配設した電磁コイル25に微小電力を供給することにより、その固定子15と可動子16の間の上下及び両側方の対向表面間に発生させる反発力の相対関係を調整することができる。したがって、アクチュエータユニット14毎に固定子15に対する可動子16の位置を調整して、粗動ステージ110によりラフ調整されたウェハ106などの位置や姿勢をX、Y、Z、θx、θy、θzの各方向の6自由度をもって微調整することができる。
【0046】
また、このアクチュエータユニット14は、固定子15と可動子16の上下及び両側方の対向表面間で、その可動子16を挟み込むように逆向きの反発力を発生させているので、その合力(浮上力)が略線形特性になって、バウンシングを起こすことなく、容易に制御することができる。また、固定子15に電磁コイル25を配設しているので、可動部分に配線することを省いて、可動子16の位置などを高精度に調整することができる。
【0047】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、少ない消費電力で、かつ、容易な制御によりテーブルを位置決めすることのできる磁気浮上テーブル装置、及び、それを有する露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置を搭載した露光装置の概略構成を示す一部縦断面図である。
【図2】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の概略構成を示す図であり、(a)はその平面図、(b)はその側面図である。
【図3】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す分解斜視図である。
【図4】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子及び可動子の端部の磁石配置を示す図、(b)は固定子及び可動子の中央部の磁石配置を示す図である。
【図5】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子の磁石配置を示す図、(b)は可動子の磁石配置を示す図である。
【図6】(A)は図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成の磁気回路の構成及び作用を説明する位置関係図であり、(B)は固定子の斜視図である。
【図7】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の機能を説明するモデルの立面図である。
【図8】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の浮上力制御特性を説明する図であり、(a)は空隙をパラメータとしたときのグラフ、(b)は励磁電流をパラメータとしたときのグラフである。
【符号の説明】
10 磁気浮上テーブル装置 12 テーブル
13 チャック 14 アクチュエータユニット
15 固定子 16 可動子
17 窓 21〜24 永久磁石
25 電磁コイル 26 鉄心
100 露光装置 101 照明光学系
102 レチクルステージ 103 投影光学系
104 ウェハステージ 105 レチクル
106 ウェハ
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気浮上テーブル装置及び露光装置に関し、詳しくは、消費電力が少なく安定かつ制御の容易な磁気浮上テーブルを備える磁気浮上テーブル装置、及び、それをそれを有する露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、対象物を載置したテーブルの位置を調整するテーブル装置が知られている。例えば、半導体デバイス等の露光技術分野では、ウェハやマスクを載置するテーブルの位置をさらに高精度・高速度で移動・位置決めするための技術開発が進められているが、その一つとして、磁気浮上・駆動を利用したテーブル装置がある。
【0003】
この種のテーブル装置は、例えば、特開平10−521号公報に記載されている。この公報に記載のテーブル装置は、テーブル周囲の3個所に、テーブルの位置決め調整をする磁気駆動支持機構が分散配置されている。この磁気駆動支持機構は、重力方向の吸引力によりテーブルを垂下して非接触支持する一対の永久磁石と、重力方向の弾性力を発揮してテーブルを支持する板バネと、重力方向にテーブルを移動させる電磁駆動手段と、により構成されている。このテーブル装置では、基本的には、永久磁石の吸引力と板バネの弾性力・テーブルの自重とがバランスしてテーブルを支持し、テーブルの位置を微調整するには、電磁駆動手段が上下方向の駆動力を付与してテーブルを微小移動させる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この特開平10−521号公報に記載のテーブル装置にあっては、浮上力はテーブルを上方向に吸引する磁石のみによって発揮される。そして、上記の電磁駆動手段の磁気回路を、一組の永久磁石と電磁コイルとで形成している。この磁気回路では、電磁コイルに供給する電力を調整して、その磁気回路に寄与する電磁力を変化させることにより、テーブル駆動力を調整している。このように、一つの磁気回路による磁気力でテーブルを支持・調整する場合には、テーブルが揺動(バウンシング)し易く、この揺動が発生しないようにするには複雑な制御が必要になる。
【0005】
また、テーブルを支持・調整する磁気力は一つの磁気回路によるものなので、電磁コイルへの供給電力や磁気回路内の空隙をパラメータとして浮上力の変化を見たときには、非直線特性になって、テーブルの位置調整に複雑な制御が必要になる。
【0006】
そこで、本発明は、少ない消費電力で、かつ、容易な制御によりテーブルを位置決めすることのできる磁気浮上テーブル装置、及び、それを有する露光装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の磁気浮上テーブル装置は、 磁気力により非接触浮上させるテーブルを備える磁気浮上テーブル装置であって、 浮上位置決め用のアクチュエータユニットが、ある方向に延びるとともに案内外表面を有する内軸と、該内軸を空隙を介して囲む前記案内外表面と対向する案内内表面を有する枠体と、を備え、 前記内軸と枠体とに、前者を後者が挟み込むような形態で、上下及び/又は両側方の対向表面間で磁気反発力または磁気吸引力を発揮する磁石の組が設けられているとともに、 前記内軸と枠体との相対位置を制御すべく前記上下及び/又は両側方の対向表面間の反発力または吸引力を制御する電磁コイルが設けられていることを特徴とする。
【0008】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、内軸と枠体との対向する表面間に働く磁石(電磁石又は永久磁石のいずれでもよい)の磁気力が浮上力として機能することにより、内軸は、空隙を介してその枠体に非接触支持されている。この磁気浮上力は、例えば前記磁石と一つの磁気回路を構成する電磁コイルへの通電量・方向を調整することにより制御することができる。このようにして、上下方向及び横方向のいずれでも、内軸と枠体とを相対的に位置決めできる。そして、内軸又は枠体に連結されたテーブルを非接触支持・位置決めすることができる。
【0009】
また、内軸が枠体に挟み込まれる構造、すなわち、内軸に上下あるいは左右逆方向の磁力を与える対をなす磁石の組が設けられている。そのため、内軸と枠体との間で働く磁気力(浮上力)を略線形特性にすることができ、容易な制御でバウンシングを起こすことなくテーブルを位置決めすることができる。さらに、磁石として永久磁石を採用したときには、電磁石に通電することなくテーブルを非接触支持することができ、微小電流を電磁コイルに供給することによりテーブルの位置を調整できる。
【0010】
ここで、磁気反発力または磁気吸引力のいずれにするかは、上下又は両側方のそれぞれで揃うように選択すればよい。ただし、磁気吸引力では、制御性に優れるが非接触状態に支持するのが不安定になり、厳密な線形化による高応答制御を用いない限り、安定化させるのは困難である。一方、磁気反発力では、非接触を維持したい方向(制御方向)には安定した変位制御を実現することができるとともに、不安定な非制御方向にも磁気反発力を発揮させるようにすることにより、2自由度制御機構が実現できる。
【0011】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記アクチュエータユニットが、前記テーブルの上下方向の中心軸の周囲に、該中心軸を中心とする周方向に沿うように3個分散配置されているものとすることができる。
【0012】
この場合、3箇所のアクチュエータユニットのそれぞれで、内軸及び枠体の相対的位置関係を、中心軸を中心とする円の周方向や径方向及び上下方向に調整可能な構成になる。このことから、この磁気浮上テーブル装置は、テーブルを所謂、X、Y、Z、θx、θy、θzの各方向に微調整することができる、いわゆる6自由度レベリング制御を実現できる。
【0013】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記磁石は、前記内軸の軸方向に離間する一対の磁石により構成されるとともに、前記対向表面の対向面には磁石の同極が現れるように固定されており、 前記電磁コイルは、前記内軸又は枠体の一方の前記一対の磁石の間に配設されるとともに、該一対の磁石による磁場と該電磁コイルによる磁場が平行になるように設けられているものとすることができる。
【0014】
この場合、一対の磁石が固定された対向表面毎に磁気回路が形成されることになり、その磁気回路は対向表面同士で鏡面の関係になる。そして、内軸又は枠体の一方に設けられた電磁コイルを含む磁気回路では、その電磁コイルの起磁力が他方の磁気回路の磁力線と平行になる。このことから、電磁コイルの起磁力の方向や大きさを制御することにより、内軸と枠体の磁気回路同士の相対的な関係を調整することができる。したがって、電磁コイルの供給電力を制御するだけで、その対向表面の間隔(空隙)を調整して内軸と枠体との相対的な位置関係を調整することができる。
【0015】
本発明の磁気浮上テーブル装置においては、 前記電磁コイルが固定子側に設けられているものとすることができる。
【0016】
この場合、固定子側に電磁コイルの配線をすることになるので、可動子の動きの邪魔となる配線をする必要がない。
【0017】
前記の課題を解決するため、本発明の露光装置においては、 エネルギービームを選択的に感応基板上に照射して該基板上に所望のパターンを形成する露光装置であって、 原版ステージ及び/又は感応基板ステージとして、上記の磁気浮上テーブル装置を備えることを特徴とする。
【0018】
本発明の露光装置においては、原版ステージや感応基板ステージをバウンシングのおそれなく非接触支持しつつ、容易な制御で位置決めすることができる。また、永久磁石を採用することにより、基本的には通電なく原版ステージや感応基板ステージを非接触支持することができるとともに、その原版ステージや感応基板ステージの位置を微小電流で調整することができる。さらに、6自由度レベリング制御を実現したり、原版ステージや感応基板ステージを完全非接触支持状態にすることもできる。なお、露光に用いるエネルギービームの種類は、特に限定されず、光、紫外線、X線、荷電粒子線などを用いることができる。また、露光方式も、特に限定されず、縮小投影露光、等倍近接転写、いずれにも適用できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置を搭載した露光装置の概略構成を示す一部縦断面図である。
図2は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の概略構成を示す図であり、(a)はその平面図、(b)はその側面図である。
図3は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す分解斜視図である。
図4は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子及び可動子の端部の磁石配置を示す図、(b)は固定子及び可動子の中央部の磁石配置を示す図である。
図5は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子の磁石配置を示す図、(b)は可動子の磁石配置を示す図である。
図6(A)は図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成の磁気回路の構成及び作用を説明する位置関係図であり、図6(B)は固定子の斜視図である。
図7は、図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の機能を説明するモデルの立面図である。
図8は、本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の浮上力制御特性を説明する図であり、(a)は空隙をパラメータとしたときのグラフ、(b)は励磁電流をパラメータとしたときのグラフである。
【0020】
図1において、露光装置100は、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(所謂、スキャニング・ステッパ)である。この露光装置100は、図1の上から下に向かって、照明光学系101、レチクルステージ102、投影光学系103、及びウェハステージ104という主要部分より構成されている。
【0021】
照明光学系101は、不図示のArFエキシマレーザー光源(一例)に接続されて照度を均一化したレーザービームRを出射する。なお、照明光学系101から出射されたレーザービームRは、ミラー107が反射してレチクル105に向けられる。レチクルステージ102は、照明光学系101から出射されるレーザービームRの光路内に、回路パターンなどの原版であるレチクル105を静電吸着などにより保持して位置決めする。投影光学系103は、レチクル105を通過してパターン化されたレーザービームRを例えば1/5の投影倍率になるように縮小してウェハ(感応基板)106上に投影する。ウェハステージ104は、回路パターンを形成する基板のウェハ106を静電吸着などにより保持して位置決めする。
【0022】
また、露光装置100は、照明光学系101やステージ制御系108が主制御装置109に接続されて統括制御されている。照明光学系101は、主制御装置109からの制御信号に従って各ステージ102、104の位置調整制御に同期するレーザービームRを出射する。また、各ステージ102、104は、レチクル105やウェハ106の位置情報を入手して主制御装置109に受け渡すとともに、その主制御装置109からの制御信号に従ってステージ102、104による位置調整制御を行う。これらステージ102、104は、位置検出装置としてのレーザ干渉計111、112から出射されるレーザービームを反射するように側面にミラー113、114を固設されて、例えば0.5〜1nm程度の分解能でその位置を常時検出されている。
【0023】
この露光装置100は、このような構成を備えることにより、レチクル105を通過してパターン化されたレーザービームRをウェハ106上に縮小投影して、そのウェハ106に所望の回路パターンを高精度に形成する。
【0024】
各ステージ102、104は、公知のエアベアリング又は磁気により浮上支持されリニアモータ等により駆動される粗動ステージ110を備える。この粗動ステージ110上には、図2〜図6に示す本実施形態に係る磁気浮上テーブル装置10を微動テーブルとして搭載している。粗動ステージ110は、レチクル105やウェハ106を、X、Y方向の2方向に比較的長い距離移動させるためのものである。磁気浮上テーブル装置10は、後述するように、レチクル105やウェハ106のX、Y、Z、θx、θy、θz方向の6方向に精密な位置きめを行う。
【0025】
以下、投影光学系103内の光軸AX方向をZ軸(図1の上下方向)とし、これに直交する平面方向をX軸(図1の左右方向)とY軸(図1の紙面垂直方向)として、以下説明する。
【0026】
磁気浮上テーブル装置10は、粗動ステージ110の上でXY方向に駆動されるベース11上に固設されている。ベース11は、図2に示すように、磁気力により浮上するテーブル12を非接触支持している。テーブル12の上面には、ウェハ106を静電吸着により固定する円盤形状のチャック13が固定されている。
【0027】
この磁気浮上テーブル装置10は、図2(a)に示すように、テーブル12のZ方向中心軸Cを中心とする円周方向に沿うように、3組のアクチュエータユニット14が、120°間隔で分散配置されている。アクチュエータユニット14は、固定子15がベース11に、可動子16がテーブル12にそれぞれ連結されている。なお、固定子15が前記手段にいう枠体に相当し、可動子16が内軸に相当する。このアクチュエータユニット14は、固定子15と可動子16の相対的な位置関係を調整することにより、ベース11に対するテーブル12の位置や姿勢を変化させて、ウェハ106の位置や姿勢を微調整する。
【0028】
アクチュエータユニット14は、図2(a)に示すように、テーブル12に開口する長方形の窓17内に、固定子15及び可動子16を位置させて構成されている。
【0029】
固定子15は、図4に示すように、ベース11上に固定された四角い枠形状のものである。この固定子15は、真中の開口15aの中心軸がZ軸に直交し、かつ、中心軸Cに向かうように固定されている。固定子15の外周面とテーブル12の窓17との間には隙間Pがあって、この隙間Pの範囲内でテーブル12の動きを許容する。
【0030】
可動子16は、図2(a)に示すように、テーブル12の窓17の長手方向中央部間を短絡するように(延在方向が中心軸Cに向かうように)設けられている。この可動子16は、図3及び図4に示すように、固定子15の開口15a内に内軸として挿通可能に柱状のものとして形成されている。
【0031】
この固定子15及び可動子16は、その固定子15の外表面と可動子16の内表面とが空隙を介して対向するように(囲まれるように)寸法を設定されている。固定子15は、開口15aの内表面に、また、可動子16は、外表面に後述する磁石がついている。この対向する磁石間で反発力を働かせる。そして、固定子15の内表面と可動子16の外表面との間に隙間P´が形成されており、その隙間P´の範囲内で可動子16(テーブル12)の動きを許容する。この構成により、可動子16は、固定子15の開口15a内で上下及び横方向に移動可能な内軸として機能する。
【0032】
次に、固定子15の磁石配置について説明する。
固定子15には、その内表面(対向表面)の上下及び左右それぞれに、永久磁石21、22の組が固設されている。永久磁石21と永久磁石22とは、テーブル12の中心軸Cに向かって電磁コイル25(後述)を隔てて近接側と離隔側とに離間している。この永久磁石21、22は、同一の配列でN極及びS極が現れるように固定子15の内表面に固設されている。すなわち、例えば、中心軸Cに対する近接側または離隔側の一方の内表面にN極が現れる永久磁石21を配置し、その他方の内表面にはS極が現れる永久磁石22を配置する。
【0033】
一方、可動子16は、固定子15と同様に、固定子15の内表面に対向する外表面(対向表面)のそれぞれに、中心軸Cに対する近接側と離隔側とに離間する一対の永久磁石23、24の組が固設されている。この永久磁石23、24は、それぞれ同一の配列でN極及びS極が現れるように可動子16の外表面に固設されている。すなわち、中心軸Cに対する近接側または離隔側の一方の外表面にN極が現れる永久磁石23を配置し、その他方の外表面にはS極が現れる永久磁石24を配置する。
【0034】
そして、固定子15と可動子16は、上下及び両側方の対向表面間で、永久磁石21、23がN極同士で反発するとともに、永久磁石22、24がS極同士で反発する。したがって、固定子15は、可動子16を上下及び左右で逆向きの反発力(磁気力)で挟み込む。これにより、固定子15は、可動子16との間の対向表面間に形成される空隙P´(図4(a)参照)を介して可動子16との非接触状態を維持しつつ、可動子16をバウンシングの少ない状態で支持する。
【0035】
なお、永久磁石21〜24が互いに吸引する磁気力を発揮するように異極同士を対面させてもよいが、その対向表面間に空隙を形成・維持する調整が難しいので(厳密な線形化による高応答制御を用いる必要があるので)、本実施形態のように設定するのが好ましい。本実施形態では、1つのアクチュエータユニット14の可動子16が固定子15から抜け出る方向は、3箇所にアクチュエータユニット14を分散配置していることから、他のアクチュエータユニット14では可動子16と固定子15とが互いに反発し合う方向になっているので、抜けを防止できる。なお、永久磁石21〜24に代えて、電磁石を採用してもよいが、電力を消費することなく、非接触支持を実現することができ、また、配線も不要であることから本実施形態のように永久磁石を採用するのが好ましい。
【0036】
次に、固定子15に配置されている位置調整の電磁コイルについて説明する。固定子15の永久磁石21、22の間には、図3や図6に示すように、導電線27(図6に図示)を巻き回した電磁コイル25が介装されている。この電磁コイル25は、永久磁石21、22のN極からS極に向かう磁気力(磁力線)と平行な起磁力を発生させる。一方、可動子16の永久磁石23、24の間には、そのN極からS極に向かう磁力線を通す鉄心26が介装されている。
【0037】
すなわち、アクチュエータユニット14は、図6に示すように、固定子15では、永久磁石21、電磁コイル25、永久磁石22及び対向表面間の空隙P´を磁力線が通る磁気回路を形成する。一方、可動子16では、永久磁石23、鉄心26、永久磁石24及び対向表面間の空隙P´を通る磁気回路を形成している。つまり、固定子15と可動子16は、対向表面間同士で鏡面の関係(面対称)になる磁気回路を形成している。このことから、固定子15の磁気回路は、電磁コイル25に供給する電力量や向きを変化させることにより、永久磁石21、22による磁気力を、電磁コイル25の起磁力で加減することができる。
なお、可動子16は、媒体中の磁場と真空中(大気中)の磁場の作用により浮上するので、磁場は完全には対称ではなくなる。
【0038】
このような構成により、この磁気浮上テーブル装置10は、アクチュエータユニット14毎に、固定子15の電磁コイル25への電力供給を制御することにより、可動子16を上下左右方向に微動させることができる。そして、上述のように配置された3個のアクチュエータ14を動かすことにより、テーブル12をX、Y、Z、θx、θy、θzの各方向に微調整することができる。このとき、固定子15と可動子16とは、上下方向及び横方向のいずれについても、各方向で対をなす逆向きの反発力を使って浮上・駆動しているので、その反発力(浮上力)を線形特性として取り扱うことができ、固定子15に対する可動子16の相対的な位置関係(テーブル12の位置や姿勢)をバウンシングを起こすことなく容易に制御することができる。
【0039】
次に、本発明の実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の特性シミュレーションについて説明する。
本発明者らは、テーブル12の浮上力の特性を確認するために、図7に示すようなモデルMを仮想して、シミュレーションを行った。モデルMは、固定子に対応する枠体51、及び、可動子に対応する浮上体(内軸)52により構成されている。図示は省略されているが、枠体51は、上下の内表面53に永久磁石と電磁コイルが固設されている。浮上体52は、枠体51の内表面53の永久磁石と電磁コイルに対向するように、上下の外表面54には永久磁石と鉄心が固設されている。
【0040】
このモデルシミュレーションでは、枠体51と浮上体52との間の空隙間隔を変化させる浮上体52の移動距離Xをパラメータとした場合に、浮上体52に加えられる反発力(押上力又は押下力)と、その合力である浮上力をグラフ化した。また、電磁コイルへの励磁電流Iをパラメータとした場合についてもグラフ化した。
【0041】
モデルの各種パラメータ条件は、次の通りである。
○ 形状等のパラメータ
モデルMの長さL:40mm
モデルMの高さH:20mm
モデルMの幅Li:30mm
浮上体の質量:30kg
重力加速度g:9800mm/sec2
電磁コイルのターン数:392
gap1の間隔:4.8mm
gap2の間隔:10mm
○ 物性のパラメータ
真空透磁率μo:4π・10−7(H/m)
永久磁石の保磁力Hc:1058000(A/m)
永久磁石の比透磁率μm:1.05
ヨークの比透磁率μs:2000(空隙磁束密度の関数で固定とする)
○ 磁気回路の空隙磁束密度の計算式
【数1】
【0042】
図8(a)、(b)において、横軸は上記移動距離Xや励磁電流Iの変化量を示し、縦軸は浮上体52に加えられる浮上力(押上力又は押下力)を示している。原点(0、0)は、枠体51と浮上体52との間の空隙間隔が永久磁石による磁気力のみで上記パラメータの位置となる無負荷状態時(移動距離X=0、励磁電流=0)を示している。
【0043】
電磁コイル25に電流Iを供給することなく、浮上体52の移動距離Xを、上記パラメータ位置の無負荷状態で安定する原点から、上下方向の「−5.0mm」〜「5.0mm」まで「0.5mm」ステップで変化させる。この場合、図8(a)に示すように、浮上体52の下側の反発力は、押上力Fm1として現れる一方、浮上体52の上側の反発力は、押下力Fm2として現れる。そして、この押上力Fm1と押下力Fm2の合力の浮上力Fmは、図示のように、Flinearとして擬似的に1次線形化することができる。
【0044】
また、上記原点に固定して、電磁コイル25に供給する電流Iを、「−30A」〜「30A」まで「1A」ステップで変化させる。この場合、図8(b)に示すように、電磁コイル25は、マイナス電流Iの供給時には永久磁石による磁気力を補強する起磁力を発生する一方、プラス電流Iの供給時には永久磁石による磁気力を弱める起磁力を発生する。この結果、浮上体52の下側の押上力Fm1及び上側の押下力Fm2は図示のような特性となって、これらの合力の浮上力FmはFlinearとして擬似的に1次線形化することができる。
【0045】
このように本実施形態においては、3組のアクチュエータユニット14のそれぞれが、固定子15と可動子16の対向表面に設けた永久磁石21〜24間の反発力によりその対向表面間に空隙を形成するので、電力供給することなく、ベース11に対してテーブル12を非接触支持することができる。この3組のアクチュエータユニット14は、固定子15に配設した電磁コイル25に微小電力を供給することにより、その固定子15と可動子16の間の上下及び両側方の対向表面間に発生させる反発力の相対関係を調整することができる。したがって、アクチュエータユニット14毎に固定子15に対する可動子16の位置を調整して、粗動ステージ110によりラフ調整されたウェハ106などの位置や姿勢をX、Y、Z、θx、θy、θzの各方向の6自由度をもって微調整することができる。
【0046】
また、このアクチュエータユニット14は、固定子15と可動子16の上下及び両側方の対向表面間で、その可動子16を挟み込むように逆向きの反発力を発生させているので、その合力(浮上力)が略線形特性になって、バウンシングを起こすことなく、容易に制御することができる。また、固定子15に電磁コイル25を配設しているので、可動部分に配線することを省いて、可動子16の位置などを高精度に調整することができる。
【0047】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、少ない消費電力で、かつ、容易な制御によりテーブルを位置決めすることのできる磁気浮上テーブル装置、及び、それを有する露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置を搭載した露光装置の概略構成を示す一部縦断面図である。
【図2】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の概略構成を示す図であり、(a)はその平面図、(b)はその側面図である。
【図3】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す分解斜視図である。
【図4】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子及び可動子の端部の磁石配置を示す図、(b)は固定子及び可動子の中央部の磁石配置を示す図である。
【図5】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成を示す図であり、(a)は固定子の磁石配置を示す図、(b)は可動子の磁石配置を示す図である。
【図6】(A)は図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の構成の磁気回路の構成及び作用を説明する位置関係図であり、(B)は固定子の斜視図である。
【図7】図2のテーブル装置の磁気浮上・位置決め機構の機能を説明するモデルの立面図である。
【図8】本発明の一実施の形態に係る磁気浮上テーブル装置の浮上力制御特性を説明する図であり、(a)は空隙をパラメータとしたときのグラフ、(b)は励磁電流をパラメータとしたときのグラフである。
【符号の説明】
10 磁気浮上テーブル装置 12 テーブル
13 チャック 14 アクチュエータユニット
15 固定子 16 可動子
17 窓 21〜24 永久磁石
25 電磁コイル 26 鉄心
100 露光装置 101 照明光学系
102 レチクルステージ 103 投影光学系
104 ウェハステージ 105 レチクル
106 ウェハ
Claims (5)
- 磁気力により非接触浮上させるテーブルを備える磁気浮上テーブル装置であって、
浮上位置決め用のアクチュエータユニットが、ある方向に延びるとともに案内外表面を有する内軸と、該内軸を空隙を介して囲む前記案内外表面と対向する案内内表面を有する枠体と、を備え、
前記内軸と枠体とに、前者を後者が挟み込むような形態で、上下及び/又は両側方の対向表面間で磁気反発力または磁気吸引力を発揮する磁石の組が設けられているとともに、
前記内軸と枠体との相対位置を制御すべく前記上下及び/又は両側方の対向表面間の反発力または吸引力を制御する電磁コイルが設けられていることを特徴とする磁気浮上テーブル装置。 - 前記アクチュエータユニットが、前記テーブルの上下方向の中心軸の周囲に、該中心軸を中心とする周方向に沿うように3個分散配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気浮上テーブル装置。
- 前記磁石は、前記内軸の軸方向に離間する一対の磁石により構成されるとともに、前記対向表面の対向面には磁石の同極が現れるように固定されており、
前記電磁コイルは、前記内軸又は枠体の一方の前記一対の磁石の間に配設されるとともに、該一対の磁石による磁場と該電磁コイルによる磁場が平行になるように設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気浮上テーブル装置。 - 前記電磁コイルが固定子側に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の磁気浮上テーブル装置。
- エネルギービームを選択的に感応基板上に照射して該基板上に所望のパターンを形成する露光装置であって、
原版ステージ及び/又は感応基板ステージとして、上記請求項1から4のいずれかに記載の磁気浮上テーブル装置を備えることを特徴とする露光装置。
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