JP2004186226A - Soiウエーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成し、他方のウエーハと接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるウエーハを用いるようにした。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエーハの製造方法に関し、特にイオン注入剥離法などで得られるSOI層、絶縁層、支持基板で形成されたSOI(Silicon on Insulator)ウエーハの製造方法に関する。
【0002】
【関連技術】
近年、集積回路はその集積度を著しく増し、それに伴い鏡面研磨された半導体単結晶ウエーハ表面の平坦度や平滑度のような加工精度もより厳しい条件が課されるようになった。しかも、性能・信頼性・歩留まりの高い集積回路を得る為には、機械的な精度だけではなく、電気的な特性についても高いことが要請されるようになった。中でもSOIウエーハについて言えば、理想的な誘電体分離基板なので、主に移動通信機器や医療機器関係で高周波、高速系デバイスとして利用され、今後の大幅な需要拡大が予想されている。
【0003】
SOIウエーハは、図13に示すように単結晶シリコン層のような素子を形成するためのSOI層52(半導体層や活性層ともいう)が、シリコン酸化膜のような絶縁層54〔埋め込み(BOX)酸化膜層や単に酸化膜層ともいう〕の上に形成された構造をもつ。また絶縁層54は支持基板56(基板層ともいう)上に形成され、SOI層52、絶縁層54、支持基板56が順次形成された構造となっている。なお、図13において、60は未結合領域及び62はテラスであり、これらについては後述する。
【0004】
従来、SOI層52及び支持基板56が、例えば、シリコン、及び絶縁層54が、例えば、シリコン酸化膜からなる上記SOI構造を持つSOIウエーハ50の製造方法としては、酸素イオンをシリコン単結晶に高濃度で打ち込んだ後に、高温で熱処理を行い、酸化膜を形成するSIMOX(Separation by implanted oxygen)法によるものと、2枚の鏡面研磨したウエーハを、接着剤を用いることなく結合し、片方のウエーハを薄膜化する結合法(貼り合わせ法)がある。
【0005】
SIMOX法は、デバイス活性領域となる活性層部(SOI層)52の膜厚を、酸素イオン打ち込み時の加速電圧で決定、制御できるために、薄層でかつ膜厚均一性の高い活性層を容易に得る事ができる利点があるが、埋め込み(BOX)酸化膜(絶縁層)54の信頼性や、活性層52の結晶性等問題が多い。
【0006】
一方、ウエーハ結合法は、単結晶のシリコン鏡面ウエーハ2枚のうち少なくとも一方に酸化膜(絶縁層)54を形成し、接着剤を用いずに貼り合わせ、次いで熱処理(通常は1100℃〜1200℃)を加えることで結合を強化し、その後片方のウエーハを研削や湿式エッチングにより薄膜化した後、薄膜の表面を鏡面研磨してSOI層を形成するものであるので、埋め込み(BOX)酸化膜(絶縁層)54の信頼性が高くSOI層52の結晶性も良好であるという利点がある。しかし、このようにして貼り合わされたSOIウエーハ50は研削や研磨により機械的な加工を行い薄膜化しているため、得られるSOI層52の膜厚およびその均一性に限界がある。
【0007】
また最近SOIウエーハ50の製造方法として、イオン注入したウエーハを結合及び分離してSOIウエーハを作製する方法が新たに注目され始めている。この方法はイオン注入剥離法などとも言われ、2枚のシリコンウエーハのうち、少なくとも一方に酸化膜(絶縁層)を形成すると共に、一方のシリコンウエーハの上面から水素イオンまたは希ガスイオンを注入し、該ウエーハ内部に微小気泡層(封入層)を形成させた後、該イオンを注入した方の面を、酸化膜を介して他方のシリコンウエーハと密着させ、その後熱処理を加えて微小気泡層を劈開面として一方のウエーハを薄膜状に分離し、さらに熱処理を加えて、強固に結合してSOIウエーハとする技術(特開平5−211128号参照)である。この方法によれば、上記劈開面は良好な鏡面であり、SOI層52の膜厚の均一性も高いSOIウエーハ50が比較的容易に得られる。
【0008】
このイオン注入剥離法について、図14にその主な工程の1例を示してさらに詳細に説明する。まず、2枚の原料ウエーハとして支持基板56となるベースウエーハ56aとSOI層52となるボンドウエーハ52aを準備する(図14(a)、ステップ100)。これらのウエーハとしては、例えば鏡面研磨されたシリコン単結晶ウエーハが用いられる。
【0009】
このボンドウエーハ52aの表面には後に埋め込み(BOX)酸化膜(絶縁層)となる酸化膜54aを形成する〔図14(b)、ステップ102〕。これは例えばシリコン単結晶ウエーハであるボンドウエーハ52aに対して熱酸化を施すことによりボンドウエーハ52aの表面にシリコン酸化膜を形成すればよい。なお、酸化膜の形成はボンドウエーハ52aの表面ではなく、ベースウエーハ56aの表面に行っても良い。図示例ではボンドウエーハ52a側に酸化膜54aを形成した例で説明する。
【0010】
次に該酸化膜54aの上からボンドウエーハ52aに水素イオンを注入し、微小気泡層(封入層)58を形成する〔図14(c)、ステップ104〕。
【0011】
その後、H2SO4−H2O2混合液等により洗浄を実施しても良い(ステップ105)。H2SO4−H2O2混合液は、ウェット洗浄の分野ではSPM(Surfuric acid−Hydrogen Peroxide Mixture)の略称で知られ、有機汚染物質の除去に用いられる洗浄液である。
【0012】
次に、微小気泡層(封入層)58を形成したボンドウエーハ52aのイオン注入をした方の面の酸化膜を介して、ベースウエーハ56aと室温で密着させる〔図14(d)、ステップ106〕。
【0013】
次に500℃以上の熱処理(剥離熱処理)を加えることによりボンドウエーハ52aの一部分を封入層58より剥離することによってボンドウエーハ52aを薄膜化し〔図14(e)、ステップ108〕、次いで結合熱処理〔図14(f)、ステップ110〕を施して該薄膜化したボンドウエーハ52aとベースウエーハ56aとを該酸化膜54aを介して強固に結合することによってSOI構造を持つウエーハ50が作製される。
【0014】
上記した貼り合わせ法を用いて製造されたSOIウエーハ50は、この段階では支持基板56の一主表面に絶縁膜(層)54とSOI層52がそれぞれ分離して順次積層された構造の断面形状を有する。
【0015】
また、絶縁層54とSOI層52は、図13に示すように支持基板56に対して数mm程度、通常3mm程度小径となるのが一般的である(この部分を以下未結合領域60という)。
【0016】
また、更に上記SOI構造を有するウエーハ50のSOI層52の表面を改質及びSOI層52の厚さを制御することがある〔図14(g)、ステップ112〕。例えば、得られたSOI構造を持つウエーハ50のSOI層52表面(剥離面)には水素イオン注入によるダメージが残留しているので、通常はタッチポリッシュと呼ばれる研磨代の少ない研磨を行ってダメージ層を除去する。また、タッチポリッシュの代替として、アルゴンガス雰囲気下での熱処理を行ったり、SOI層52の膜厚を薄くするため熱酸化と酸化膜除去をおこなう犠牲酸化処理を行ったり、あるいはこれらを適宜組み合わせることによって、表面にダメージのない薄膜のSOI層52を有するSOIウエーハ50を作製する場合もある。
【0017】
このようなSOIウエーハ50を用いデバイスを製造するにあたり、デバイスの歩留まりが低下するという問題があった。これは、SOI層52及び酸化膜54にボイドと呼ばれる欠陥が発生するのが原因の一つと考えられている。
【0018】
ボイドの発生要因としては、例えば、結合法(貼り合わせ法)では、SOIウエーハ製造工程中の有機物やパーティクルが貼り合わせ界面で悪影響を及ぼし、歩留まりの低下につながると考えられる。また他の要因としてベースウエーハやボンドウエーハに存在する欠陥等の影響であると考えられる。
【0019】
有機物やパーティクルの問題は、貼りあわせ前にRCA洗浄や有機物除去洗浄を行えばある程度改善される。RCA洗浄は、SC−1(NH4OH/H2O2/H2O混合液)及びSC−2(HCl/H2O2/H2O混合液)の2種類の洗浄液をベースとした、半導体プロセスにおける代表的な洗浄方法であり、主にパーティクル、有機物、金属汚染等の不純物を除去することができる。また、SPM洗浄と呼ばれる有機物除去洗浄が行われることもある。
【0020】
ベースウエーハやボンドウエーハに存在する欠陥等は、主にCOPと呼ばれる結晶起因の欠陥や加工起因の欠陥などが問題となる。このような欠陥は製造条件を管理することで、ある程度減少でき、このような欠陥の少ないウエーハを用いればボイドの発生も低減できる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにウエーハを貼りあわせる際の有機物やパーティクルの管理やベースウエーハやボンドウエーハ表面の欠陥を管理しSOIウエーハの製造を行うことによってボイドの発生は低減することができたが、新たに別な原因と思われるボイドの発生が観察された。即ち、図15に示すように、SOIウエーハ50の外周部の特定位置にボイドが頻繁に発生する傾向が観察された。図15はコンフォーカル光学系のレーザー顕微鏡によってSOIウエーハ50の外周部の一部を観察したものである。未結合領域60(SOI層52側から観察した時に支持基板56が見える部分)とSOI層52の境界をテラス62といっている。このテラス62から一定距離入った部分に円形上のボイド70が観察されている。特にベースウエーハ外周部を基準にするとウエーハ外周から5mm(直径300mmのウエーハの場合、中心から145mm)程度の位置にボイド70が発生していた。図15において、(b)は中心から145.1mm、(c)は中心から145.4mm、(d)は中心から144.9mmにおけるボイド70の発生を示している。
【0022】
本発明は、上記した問題に鑑みてなされたもので、SOIウエーハに生じるボイド、特にSOIウエーハ外周部に発生するボイドの発生を抑え、生産性の高いSOIウエーハの製造方法を提供することを主たる目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】
SOIウエーハの外周部の特定位置にボイドが頻繁に発生する原因について鋭意調査したところ、原料となるウエーハ形状及び洗浄などの処理が影響することが明らかになった。特にウエーハ外周部の形状について管理することでボイドの発生を著しく低減することができることが明らかとなった。
【0024】
そこで本発明のSOIウエーハの製造方法の第1の態様は、原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハ(ボンドウエーハ)に絶縁層を形成し、他方のウエーハ(ベースウエーハ)と接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるウエーハを用いることを特徴とする。
【0025】
このようにすることで、ウエーハ外周部の特定位置(ウエーハ外周5mm程度の位置)に発生したボイドを減少することができる。なお、従来、未結合領域の幅を低減する為、ウエーハ外周の形状についても検討されている。未結合領域を低減するには外周形状の落ち込み(ダレ)の少ないウエーハを用いることが望まれており外周まで平らなウエーハが好ましいことはある程度推測されていたが、現実にそのような平らなウエーハを製造することは困難である。従って、面取り形状を工夫するなどして外周ダレを改善し、未結合領域を低減することがなされていた。しかしこのような領域の形状を改善しても、これとは関係なくボイドの発生が観察された。つまり、外周ダレが比較的少ないウエーハであってもボイドの発生がある。外周の未結合領域とボイドの発生には直接関係ないことがわかる。この原因を調査したところボイドの発生には外周より若干内側の領域(外周10mm〜3mm程度)の形状が特に影響することが明らかになった。
【0026】
この原因は明らかではないが、貼りあわせる際にこの領域の形状によって空気等が残存しやすくなり、その状態で貼り合わせることでその接着力が小さくなり、さらにそれを剥がすことからこの部分でボイドが発生しやすいと考えられる。
【0027】
また、本発明のSOIウエーハの製造方法の第2の態様は、原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハ(ボンドウエーハ)に絶縁層を形成し、他方のウエーハ(ベースウエーハ)と接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周5mmでスロープが0.002%以下であるウエーハを用いることを特徴とする。このような構成とすることによっても同様にボイドの発生を抑制することができる。
【0028】
更には、本発明のSOIウエーハの製造方法の第3の態様は、原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハ(ボンドウエーハ)に絶縁層を形成し、他方のウエーハ(ベースウエーハ)と接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるとともにウエーハ外周5mmでスロープが0.002%以下であるウエーハを用いることを特徴とする。
【0029】
上記原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハ(ボンドウエーハ)に絶縁層を形成し、他方のウエーハ(ベースウエーハ)と接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法としては、原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハ(ボンドウエーハ)に絶縁層を形成すると共に、該ウエーハ(ボンドウエーハ)の上面から水素イオンまたは希ガスイオンを注入し、該ウエーハ内部に微小気泡層を形成させた後、該イオンを注入した方の面を、絶縁層を介して他方のウエーハ(ベースウエーハ)と密着させ、その後熱処理を加えて微小気泡層を劈開面として一方のウエーハを薄膜状に分離し、さらに熱処理を加えて、強固に結合することによってSOIウエーハを製造する方法を用いることができる。
【0030】
図15に示したように、ウエーハ外周部のやや内側に急激な形状の変化がある付近にボイドが発生しやすいことが明らかとなった。この部分の形状変化が緩いウエーハを用い貼りあわせることでボイドの発生が低減した。
【0031】
特にイオン注入剥離法などでは剥離工程でウエーハ外周部にボイドが発生すると考えられる。この剥離工程でボイドが発生しないようにするには原材料となるウエーハ形状が特に重要である。
【0032】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第4の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下となるようにウエーハ加工することを特徴とする。
【0033】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第5の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下となるようにウエーハ加工することを特徴とする。
【0034】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第6の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下となるとともに外周5mmの位置でスロープが0.002%以下となるようにウエーハ加工することを特徴とする。ウエーハ形状はウエーハ加工工程で決まるが、例えば研磨工程において研磨ヘッドの構造を工夫することによってこのような形状のウエーハが製造できる。
【0035】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第7の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とする。
【0036】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第8の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とする。
【0037】
本発明のSOIウエーハの製造方法の第9の態様は、少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるとともに外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とする。
【0038】
ウエーハ加工工程で上記特性のウエーハを完全に製造できれば好ましいが、ウエーハ工程には種々の工程があるため、必ずしも同様の形状が得られない場合がある。そのような場合は、SOIウエーハを製造する前に、ウエーハ形状を評価し好ましいウエーハを選別し使用することでボイドの発生を低減することができる。
【0039】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【0040】
図1は本発明のSOIウエーハの製造方法の工程順を示す概略フローチャートである。図14は、前述したように、従来の貼り合わせ法(イオン注入剥離法)によりSOI構造を形成したSOIウエーハの製造工程を示した例である。本発明では、図14に示した従来のSOIウエーハの製造工程において、特に貼り合わせに用いるボンドウエーハやベースウエーハの原材料となるウエーハの外周形状を管理し貼り合わせを行うものである。
【0041】
まず初めに原料ウエーハとなる鏡面研磨ウエーハの製造方法について説明する。鏡面研磨ウエーハは、図1に示すように一般にチョクラルスキー(Czochralski;CZ)法等を使用して単結晶インゴットを製造する単結晶成長工程(ステップ200)と、この単結晶インゴットをスライスしてウエーハとし、このウエーハの少なくとも一主面を鏡面状に加工して鏡面研磨ウエーハとするウエーハ加工工程(ステップ202)とを経て製造される。このウエーハ加工工程(ステップ202)において、ウエーハ外周部3mm〜7mmの範囲の領域の形状変化を0.1mm以下に加工して鏡面研磨が行われる。
【0042】
更に詳しくいえば、ウエーハ加工工程(ステップ202)は図2に示すように、単結晶インゴットをスライスして薄円板状のウエーハを得るスライス工程(ステップ202a)と、該スライス工程によって得られたウエーハの割れ、欠けを防止するためにその外周部を面取りする面取り工程(ステップ202b)と、このウエーハを平坦化するラッピング工程(ステップ202c)と、面取り及びラッピングされたウエーハに残留する加工歪みを除去するエッチング工程(ステップ202d)と、そのウエーハ表面を鏡面化する研磨(ポリッシング)工程(ステップ202e)と、研磨されたウエーハを洗浄して、これに付着した研磨剤や異物を除去する洗浄工程(ステップ202f)を有している。上記ウエーハ加工工程(ステップ202)は、主な工程を示したもので、他に熱処理工程や平面研削工程等の工程が加わったり、同じ工程を多段で行ったり、工程順が入れ換えられたりする。このような工程を工夫し高平坦度なウエーハが製造されている。
【0043】
本発明では、上記ウエーハ加工工程で製造されたウエーハ形状、特にウエーハ外周部の形状を更に詳細に管理して製造し、必要によりウエーハ形状を評価して好適なウエーハのみを選別処理(ステップ204)し、SOIウエーハの原料ウエーハとしてSOIウエーハを製造する(ステップ206)。
【0044】
SOIウエーハを製造するには図14に示した従来工程と同様に、まず、支持基板56となるベースウエーハ56aとボンドウエーハ52aを用意する(図14(a))。これらは上記したようないずれも鏡面研磨されたシリコン単結晶ウエーハである。このウエーハの形状は、ウエーハ外周部に急激な形状変化をする場所がないウエーハを用いる。
【0045】
このウエーハ形状の評価方法について説明する。図3に示すように一般にウエーハ外周部にはウエーハWのカケ等を防止するため面取りが施され、面取り部Wmが形成されている。通常この面取り部分Wmのウエーハ形状は無視され評価されるものであり測定対象外となっている。面取り部Wmの幅はおよそ500μm(0.5mm)である。また、実際の形状評価では更に面取り部分Wmより3mm又は2mm程度、更には1mm程度、主面側までを除外した領域、即ち測定除外領域Rを除いた領域で評価されることが多い。図3において、F1はウエーハ主面(表面)、F2はウエーハ主面(裏面)、Rは測定除外領域、Weはウエーハ有効領域、Xは外周Xmmという場合のXmmの距離をそれぞれ示す。
【0046】
ウエーハの形状評価装置は特に限定するものではないが、例えば図4に示すようなものが使用できる。所定の間隔でウエーハ面内を操作し、測定された形状を順次記憶するものが好ましい。ウエーハ面内における所定の測定間隔は、1mm間隔以内であることが好ましい。0mmを越える間隔であることは当然であるが、できるだけ細かい間隔で評価する事でより正確な形状を定量化できる。現状0.05mm間隔程度で測定されている。
【0047】
上述したように、ウエーハ形状は図4に示すようなウエーハの形状評価装置30を用いて評価される。この形状評価装置30は、ウエーハ保持具に載置されたウエーハWの表面及び裏面に対して垂直な方向の変位をウエーハ面内で測定し、変位データ又は厚さデータとして求めることができる。このような評価装置に限らず、非吸着の状態で試験台に載置されたウエーハWの表面又は裏面の該試験台表面に対して垂直な方向の変位をウエーハ面内で測定し、変位データとして求めたり、(理想的な)吸着の状態で試験台に載置されたウエーハ表面の該試験台表面に対して垂直な方向の変位をウエーハ面内で測定し厚さデータとして求めることなどができる。図4において、28はコンピュータ(解析手段)、32は厚さ計、32aは静電容量型上センサー、32bは静電容量型下センサー、34は厚さ測定手段、36はウエーハ保持具である。このような装置、方法で、表面及び/又は裏面の変位データ、厚さデータ(形状プロファイル)を求める。
【0048】
このようにして、得られた形状プロファイルを解析するが、ウエーハ外周部の形状をより正確に確認する為、図5に示すようにウエーハ中心部側の一定範囲(ウエーハ外周7mm程度〜ウエーハ中心側まで)はほぼ平坦であり、この一部の領域をリファレンスゾーン(基準値)とし、このリファレンスゾーンからの変化を確認した。例えば、図5の例では、ウエーハ外周7mm〜10mmの範囲が一定になるように基準を設け(リファレンスゾーンとし)、外周3mm〜7mmの範囲での形状変化の割合を管理する。特にこのような範囲で0.1μm以下の変化である形状のウエーハを用いることが好ましい。
【0049】
原料ウエーハの形状としてはSOIウエーハ形成後の結合領域部分での形状が重要であり、通常3mm程度まで未結合領域であるため、外周3mmより主面側の領域で測定することが好ましい。特に3mm〜10mm程度の領域で判断するとボイドが発生しやすいかどうかが推測できる。この範囲をある程度変更しても推測は可能であるものの範囲を狭くすると現状の高平坦度なウエーハではその形状変化の幅が小さくなってしまい測定誤差等との区別がしにくくなり精度が悪くなってしまう。またこれより広い範囲で測定した場合、おおきなうねり成分を拾ってしまい誤判定してしまうことがある。またウエーハの外周に近い部分、例えば2mm〜などにも設定できるが、この領域は急激に形状が変化してしまい、この形状変化はボイドの発生より未結合領域に影響する領域である為、本発明の範囲にすることが好ましい。
【0050】
このように本発明では一定範囲内での形状変化を一定値以下に管理したウエーハをSOIウエーハの原材料とする。なお、ウエーハ外周部は主にダレている(外周が薄い)のが一般的だが、鏡面ウエーハの製造方法によっては、ハネている(外周が厚い)場合もあり、この値は絶対値で求めている。
【0051】
さらに別な評価(選別)方法としては、ウエーハ外周部に急激な形状変化を調べる為には、形状プロファイルを一旦微分し、そのスロープ(傾き)の大きさから判断しても良い。ウエーハの面内で所定の間隔をおいてウエーハの形状データを測定し、この測定されたウエーハ形状データを微分処理し、得られたプロファイル(微分処理したウエーハ形状データ)を解析する。このように測定したウエーハ形状をそのまま使用するのではなく、微分処理してウエーハ形状を解析することでウエーハ外周部の形状を正確に評価することができる。特に局所的な形状の変化点や傾きの大きさを正確に評価できる。
【0052】
本発明方法を更に詳しく説明すると、例えば、直径300mmのウエーハ外周から周辺10mmまでの範囲の形状(本例では厚さ)を評価すると図6に示すような形状が得られる(但し、外周1mmは除外範囲とした)。このような形状プロファイルについて、任意の間隔で差分を取り、その中点にデータをプロットすることで微分プロファイルを作成する。この間隔は500μm〜1mm間隔程度で処理すると好ましい。
【0053】
つまり、厚さデータのうち、i+1番目の厚さデータ(yi+1)と、このyi+1の直前のi番目の厚さデータ(yi)との差を前記所定の測定間隔(xi+1−xi)で除した値を微分値(dyi)として求め、(xi+1−xi)の中間点にデータをプロットする。例えば、図6の形状プロファイルは微分することで図7及び図8に示すように微分プロファイルとなる。この図では、500μmの間隔での厚さの変位量を調べ、%表示でスロープを表している。例えば、500μmで0.01μm厚さが変化している場合、0.01/500×100=0.002%となる。
【0054】
このような形でウエーハ形状を評価すると、ボイドの発生しやすいウエーハ(及びボイドが発生しやすい部分)で形状変化が急激に起こっていることがわかる。図6〜図8において、実線はボイドの発生しやすいウエーハ、点線はボイドの発生が少なかったウエーハを示す。特に図8の拡大図に示すようにボイドの発生が見られるウエーハではウエーハ外周より5mmの位置でおよそ0.004%程度の傾きであった。この位置は特に限定するものではないが、外周4mmより内側の領域においてこの程度の形状変化が起こるウエーハを原料とするとウエーハ外周部にボイドが発生しやすく。このような形状変化を管理したウエーハを使用しSOIウエーハを製造する。ウエーハの製造はこのような形状になるようにあらかじめウエーハ加工工程で作りこんでも良いし、またウエーハを評価し選別してもよい。このような形状を作る為には、研磨工程において一般的に研磨ヘッドの工夫や研磨布の硬度、研磨圧力などを制御することで作りこむことができる。
【0055】
(BOX酸化膜の形成)
このようにして準備したウエーハを用いSOIウエーハを製造する。SOIウエーハの製造条件等は特に限定するものではないが、一例として以下のようなイオン注入剥離法によるSOIウエーハの製造方法を図14のフローチャートを用いて説明する。SOIウエーハの製造は、まず、ボンドウエーハ52aの表面(全面)には後に埋め込み酸化膜54(絶縁層)となる酸化膜54aを形成する(図14(b)、ステップ102)。これは、例えば、熱酸化によりシリコン酸化膜を形成する。なお、ボンドウエーハ52a(イオン注入する側のウエーハ)には酸化膜を形成せず、ベースウエーハ56a側に酸化膜を形成する場合もある。
【0056】
(イオン注入)
次にボンドウエーハ52aに水素イオンを注入し、微小気泡層58(封入層)を形成する(図14(c)、ステップ104)。
【0057】
(洗浄)
次にRCA洗浄や有機物除去のためのSPM洗浄を行う(ステップ105)。
【0058】
(貼り合わせ)
次に微小気泡層58(封入層)を形成したボンドウエーハ52aのイオン注入をした面の酸化膜54aを介して、ベースウエーハ56aと室温で密着させる(図14(d)、ステップ106)。
【0059】
(剥離)
次に500℃以上の熱処理(剥離熱処理)を加えることによりボンドウエーハ52aを封入層58より剥離することによって薄膜化し(図14(e)、ステップ108)、次いで結合熱処理(図14(f)、ステップ110)を施して強固に結合することによってSOI構造を持つウエーハ50が作製される。
【0060】
上記した貼り合わせ法を用いて製造されたSOIウエーハは、この段階では支持基板の一主表面に絶縁膜(層)とSOI層がそれぞれ分離して順次積層された構造の断面形状を有する。また、貼り合わせられる2枚の鏡面研磨ウエーハ表面の外周部には研磨ダレと呼ばれる領域が存在し、その部分は結合が不十分となるため除去されるため、絶縁層とSOI層は、支持基板に対して数mm程度、通常3mm程度小径となるのが一般的である。
【0061】
また、更に上記SOI構造を有するウエーハのSOI層の表面を改質及びSOI層の厚さを制御することがある(図14(g)、ステップ112)。例えば、得られたSOI構造を持つウエーハのSOI層表面(剥離面)には水素イオン注入によるダメージが残留しているので、通常はタッチポリッシュと呼ばれる研磨代の少ない研磨を行ってダメージ層を除去する。また、タッチポリッシュの代替として、アルゴンガス雰囲気下での熱処理を行ったり、SOI層の膜厚を薄くするため熱酸化と酸化膜除去をおこなう犠牲酸化処理を行ったり、あるいはこれらを適宜組み合わせることによって、表面にダメージのない薄膜のSOI層を有するSOIウエーハを作製する場合もある。
【0062】
【実施例】
以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので、限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
【0063】
(実験例1)
まず、CZ法で作製された直径300mm、p型、方位〈100〉、抵抗率10Ω・cmの鏡面研磨されたシリコンウエーハを原材料(ベースウエーハ及びボンドウエーハ)として異なるウエーハ製造条件で鏡面研磨されたウエーハで複数水準用意した。これらのウエーハ外周部は形状が若干異なる。これらの水準のウエーハの外周形状の測定はウエーハ形状評価装置(黒田精工社製商品名ナノメトロ)を用いて行った。
【0064】
得られたウエーハ形状の測定結果をウエーハ外周7mm〜10mmの範囲を基準(零)となるように補正しプロットした。この時、得られた形状プロファイルの一例を図5に示す。
【0065】
本実験例では、ウエーハ外周10mm〜3mmの範囲の形状の変化を確認(数値化)した。以下、この値をTC3−10という。同様にウエーハ外周3mm〜1mmの範囲の形状変化をTC1−3で示す。
【0066】
次に各水準のボンドウエーハの表面に熱酸化により膜厚150nmの酸化膜を形成した。更に水素イオンを注入し封入層を形成した。次に有機物除去のためにSPM洗浄、及びRCA洗浄を行った。
【0067】
次にボンドウエーハのイオン注入をした面と同じ水準のベースウエーハとを室温で密着させた。更に窒素雰囲気下で500℃、30分間の剥離熱処理を加えて、ボンドウエーハを剥離・薄膜化し、厚さ約250nmのSOI層を得た。
【0068】
その後、窒素雰囲気下で1100℃、2時間の結合熱処理を加えてSOI層を強固に結合し、SOI構造を有するウエーハを作製した。
【0069】
得られたSOIウエーハのボイドを確認した。一部のウエーハでボイドが著しく発生した。特にウエーハ外周5mm付近に多く発生した。
【0070】
このボイドの発生状況と(TC3−10)の関係をプロットすると図9に示したように(TC3−10)=0.1μm以下ではボイドの発生が著しく低減した。一方0.15μm以上ではボイドが多く発生した。
【0071】
なお、図6に示すような、形状プロファイルからわかるように、例えばTC1−3の領域が小さい(外周ダレが小さい)にも関わらず、ボイドの発生が顕著であるウエーハが存在する。
【0072】
参考として、TC1−3と未結合領域の幅の関係を図10に示す。この値が小さい程、SOI層(テラス部分)が基板の外周部分まで形成されることがわかる。基板とSOI層(絶縁層)の未結合領域はこのような最外周(1〜3mm程度)の形状変化に影響することがわかる。一方ボイドの発生する領域は3mmよりウエーハの中心側の形状が影響することがわかる。つまりボイドを低減するには外周ダレの中でも決まったエリア、例えば3mm〜10mm程度の範囲の形状が特に問題であることがわかった。
【0073】
(実験例2)
別な形状の評価法として、得られた結果(形状プロファイル)を微分処理し、その傾きを判断した。複数の研磨工程で研磨したウエーハを原料ウエーハとし、実験例1と同様にSOIウエーハを製造し、微分プロファイルとボイドの発生状況を確認したところ、ボイドの発生が顕著なウエーハは図8に示すようにボイドの発生が少ないウエーハに比べ、例えば外周5mmの位置のスロープが大きい。図8において、太線はボイドの発生しやすいウエーハ、点線はボイドの発生が少なかったウエーハを示す。また傾きの発生する位置がウエーハ内部から始まっている。
【0074】
本実験例では、特にウエーハ外周5mmの位置(中心から145mm)でのスロープの値とボイドの発生率を確認した。この関係をプロットすると図11のような結果が得られた。500μmあたりの形状変化が0.01μm程度(又は1mmあたりの形状変化が0.02μm程度、スロープで0.002%)であれば、ボイドの発生が著しく低減でき、これ以上であるとボイドの発生が増えた。つまり急激な形状変化が存在するとボイドの発生が多いことが確認される。
【0075】
(実施例1)
CZ法で作製された直径300mm、p型、方位〈100〉、抵抗率10Ω・cmの鏡面研磨されたシリコンウエーハで(TC3−10)=0.05μmのウエーハ(4.5mm〜5.5mmの範囲のスロープは0.001%)を原料としSOIウエーハを製造した。このボンドウエーハの表面(全面)に、熱酸化によりシリコン酸化膜を150nm形成した。次いでボンドウエーハに水素イオンを注入し、微小気泡層(封入層)を形成する。更にRCA洗浄や有機物除去のためのSPM洗浄を行った。次に微小気泡層(封入層)を形成したボンドウエーハのイオン注入をした面の酸化膜を介して、ベースウエーハと室温で密着させた。
【0076】
次に500℃以上の熱処理(剥離熱処理)を加えることによりボンドウエーハを封入層より剥離することによって薄膜化し、次いで結合熱処理を施して強固に結合することによってSOI構造を持つウエーハが作製された。更にSOI層の面粗さや歪みを除去するため、アルゴンガス雰囲気による熱処理を行った。これは縦型のヒーター加熱式熱処理装置(バッチ炉)を用いアルゴンガス雰囲気下で1200℃、1時間の熱処理を行っている。これによりイオン注入で生じたダメージやSOI層表面の粗さがある程度改善される。次に更にSOI層の表面の品質を改善するため、CMP研磨装置によりSOI層を研磨した。更にSOI層を犠牲酸化し、SOI層中のシリコンを酸化し、それをフッ酸により処理することで、最終的にSOI層が約150nm程度の薄膜SOIウエーハを製造した。
【0077】
このような方法で20枚のSOIウエーハを製造した。ほとんどのウエーハで図12に示すようにウエーハ外周部にボイドの発生は見られなかった。図12はコンフォーカル光学系のレーザー顕微鏡によって本実施例において製造したSOIウエーハの外周部を観察した結果を示すものである。特に、当該SOIウエーハ50のSOI層52と支持基板56の境界(テラス部分)62を拡大して観察したものである。図15に示した従来のSOIウエーハ50においては、SOI層52から一定距離入った部分にボイド70が観察されていたが、本例ではほとんど観察されなかった。ウエーハ外周部にボイドが観察されたウエーハは4枚であるが、ボイドの数も5個以下と大変少なかった。
【0078】
(比較例1)
(TC3−10)=0.18μmのウエーハ(4.5mm〜5.5mmの範囲のスロープは0.0045%)を原料とし、あとは実施例1と同様にSOIウエーハを製造した。このような方法で20枚のSOIウエーハを製造した。図15はコンフォーカル光学系のレーザー顕微鏡によって本比較例において製造したSOIウエーハの外周部を観察した結果を示すものである。特に、当該SOIウエーハ50のSOI層52と支持基板56の境界(テラス部分)62を拡大して観察したものである。SOI層52から一定距離入った部分、例えばウエーハ外周部(外周5mm程度の位置、図15(b):中心から145.1mm、図15(c)中心から145.4mm、図15(d):中心から144.9mm)にボイド70が観察され、ボイドの数も20個以上及びノッチと反対位置に密集して観察されるウエーハが多かった。
【0079】
以上のようにウエーハ外周部のボイドの発生については、単なる外周形状のダレ等が問題ではなく特定領域の形状が特に聞いていることがわかる。
【0080】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【0081】
例えば、上記実施例で示した製造工程は1例を例示したにとどまり、イオン注入工程工程及び貼り合わせ工程を有するSOIの製造方法であれば、特に他に洗浄、熱処理等種々の工程が付加されたものでもよく、また、SOI構造を形成後のSOI層の厚さを調整する為の工程については、その工程順の一部変更、更にはCMP研磨などの工程の一部を省略した工程など目的に応じ適宜工程は変更使用することができる。
【0082】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のSOIウエーハの製造方法によれば、ウエーハ外周部のボイドの発生が著しく少なくなり歩留まりの良いSOIウエーハを高い生産性で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のSOIウエーハの製造方法の工程順の1例を示す概略フローチャートである。
【図2】本発明のSOIウエーハの製造方法の工程順の他の例を示すフローチャートである。
【図3】ウエーハの外周部形状の1例を示す模式的説明図である。
【図4】ウエーハの形状評価装置の1例を示す概略説明図である。
【図5】実験例1において得られたウエーハの外周部における形状変化の1例を示すグラフである。
【図6】ウエーハの外周部における形状プロファイル(厚さ変化)の1例を示す
【図7】図6の形状プロファイルを微分して得られた微分プロファイル示すグラフである。
【図8】図7の拡大図である。
【図9】実験例1におけるボイドの発生状況とTC−10の関係を示すグラフである。
【図10】実験例1におけるTC1−3と未結合領域の幅の関係を示すグラフである。
【図11】実験例2におけるウエーハ外周5mmの位置(中心から145mm)でのスロープの値とボイドの個数との関係を示すグラフである。
【図12】コンフォーカル光学系のレーザー顕微鏡によって実施例1のSOIウエーハの外周部を観察した結果を示す模式図で、(a)はSOIウエーハ、(b)は(a)の401部分の拡大図、(c)は(a)の402部分の拡大図、(d)は(b)の403部分の拡大図、(e)は(c)の404部分の拡大図である。
【図13】SOIウエーハの構造の1例を示す説明図であって、(a)は上面説明図、(b)は断面説明図である。
【図14】従来のSOIウエーハの製造方法の工程順の一例を模式図とともに示すフローチャートである。
【図15】コンフォーカル光学系のレーザー顕微鏡によって比較例1、即ち従来のSOIウエーハの外周部を観察した結果を示す模式図で、(a)はSOIウエーハの周辺部の拡大図、(b)は(a)の301部分の拡大図、(c)は(a)の302部分の拡大図、(d)は(a)の303部分の拡大図、(e)は(a)の304部分の拡大図である。
【符号の説明】
28:コンピュータ(解析手段)、30:形状評価装置、32:厚さ計、32a:静電容量型上センサー、32b:静電容量型下センサー、34:厚さ測定手段、36:ウエーハ保持具、50:SOIウエーハ、52:活性層、52a:ボンドウエーハ、54:酸化膜(絶縁層)、54a:酸化膜、56:支持基板、56a:ベースウエーハ、58:微小気泡層(封入層)、60:未結合領域、62:テラス、70:ボイド、F1:ウエーハ主面(表面)、F2:ウエーハ主面(裏面)、R:測定除外領域、W:ウエーハ、We:ウエーハ有効領域、Wm:面取り部。
Claims (10)
- 原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成し、他方のウエーハと接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるウエーハを用いることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成し、他方のウエーハと接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを用いることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成し、他方のウエーハと接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法において、前記原料ウエーハとしてウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるとともにウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを用いることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成し、他方のウエーハと接着剤を用いずに貼り合わせるSOIウエーハの製造方法が、原料ウエーハとなる2枚のウエーハのうち、少なくとも一方のウエーハに絶縁層を形成すると共に、該ウエーハの上面から水素イオンまたは希ガスイオンを注入し、該ウエーハ内部に微小気泡層を形成させた後、該イオンを注入した方の面を、絶縁層を介して他方のウエーハと密着させ、その後熱処理を加えて微小気泡層を劈開面として一方のウエーハを薄膜状に分離し、さらに熱処理を加えて、強固に結合することによって製造するSOIウエーハの製造方法であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下となるようにウエーハ加工することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下となるようにウエーハ加工することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程でウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下となるとともに外周5mmの位置でスロープが0.002%以下となるようにウエーハ加工することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくともウエーハの一主面を鏡面化する研磨工程を有するウエーハ加工工程と、該鏡面研磨されたウエーハを貼りあわせることによりSOI構造を有するウエーハを製造するSOIウエーハ製造工程とを有するSOIウエーハの製造方法において、該ウエーハ加工工程で得られたウエーハの形状を評価し、ウエーハ外周部形状が外周10mm〜3mmの範囲で形状変化幅が0.1μm以下であるとともに外周5mmの位置でスロープが0.002%以下であるウエーハを選別し、該選別したウエーハを用いSOIウエーハを製造することを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
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