JP2004186167A - アラーム管理方法およびその装置 - Google Patents
アラーム管理方法およびその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004186167A JP2004186167A JP2002347559A JP2002347559A JP2004186167A JP 2004186167 A JP2004186167 A JP 2004186167A JP 2002347559 A JP2002347559 A JP 2002347559A JP 2002347559 A JP2002347559 A JP 2002347559A JP 2004186167 A JP2004186167 A JP 2004186167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alarm
- data
- managed
- statistics
- generated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 87
- 238000013480 data collection Methods 0.000 claims description 23
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 14
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 7
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000003442 weekly effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]
- G05B23/0272—Presentation of monitored results, e.g. selection of status reports to be displayed; Filtering information to the user
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B23/00—Alarms responsive to unspecified undesired or abnormal conditions
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B25/00—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems
- G08B25/14—Central alarm receiver or annunciator arrangements
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B29/00—Checking or monitoring of signalling or alarm systems; Prevention or correction of operating errors, e.g. preventing unauthorised operation
- G08B29/02—Monitoring continuously signalling or alarm systems
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07C—TIME OR ATTENDANCE REGISTERS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; GENERATING RANDOM NUMBERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS; ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- G07C3/00—Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Computer Security & Cryptography (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Alarm Systems (AREA)
- Maintenance And Management Of Digital Transmission (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Data Exchanges In Wide-Area Networks (AREA)
Abstract
【解決手段】アラーム管理装置20は、管理対象装置10が発するアラームデータを収集するデータ収集装置22と、それで収集したアラームデータを格納するデータベース装置24と、それに格納されたアラームデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置26とを備えている。アラーム統計装置26は、各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段と、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段と、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段とを備えている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、管理対象装置から発するアラームの統計を作成すること等によって当該アラームを管理する方法および装置に関する。管理対象装置は、例えば、半導体の製造や検査用の半導体製造装置、液晶ディスプレイの製造や検査用の液晶ディスプレイ製造装置、これら装置用のイオンビーム照射装置等である。
【0002】
【従来の技術】
上記のような管理対象装置が発するアラームを管理する場合、従来は、アラーム発生件数を単純に積算して、発生件数の多い順にアラームを並べたリスト(いわゆるワーストリスト)を作成したり、百分率グラフやパレート図等の解析用図表を作成したりしていた。
【0003】
また、アラーム発生件数統計の対象となるデータを指定(換言すれば抽出)するフィルタリング方法としては、通常は、日付や時刻範囲によるフィルタリングが行われていたが、その他、ロットID(ロット識別情報)によってフィルタリングを行うという技術も提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−332910号公報(段落番号0008、0012、図1)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来のアラーム管理技術には、次の(1)および(2)に示すような課題がある。
【0006】
(1)アラーム統計の取り方が目的とマッチしていない
アラーム統計を取る目的は、主に、当該統計を利用して管理対象装置の利用効率を向上させることである。利用効率を下げる原因となる様々なトラブル、故障、不具合等は、装置利用者や装置納入者には、アラームとして認知される。そして、装置利用者や装置納入者は、アラーム統計を解析して、重大と思われるものから順次対策を講じることによって、装置の利用効率を向上させようとする。従って、アラーム統計は、各アラームの装置利用効率に対する影響度をできるだけ正確に反映したものである必要がある。
【0007】
ところが、従来のアラーム統計では、アラーム1件ごとの影響度が考慮されていないので、単純に「最も数が多いアラームが最も重大である」と解釈されてしまう。そして、この解釈は往々にして正しくないことがある。以下にその一例を挙げる。
【0008】
例えば、ある一定の期間において、あるアラーム(例えばアラームIDが1001)の発生件数が20件で、当該アラーム1回当たりの平均装置停止時間が1時間、他のアラーム(例えばアラームIDが3050)の発生件数が5件で、当該アラーム1回当たりの平均装置停止時間が10時間であったとする。従来のアラーム統計によれば、アラームID=1001のアラームの方が4倍重大であると解釈されるが、期間中の各アラームによる装置停止時間は、アラームID=1001のアラームによるものが20時間、アラームID=3050のアラームによるものが50時間であるから、管理対象装置の利用効率に対する影響度という観点から見ると、アラームID=3050のアラームの方が、アラームID=1001のアラームの2.5倍も大きい。
【0009】
上記例では、管理対象装置の利用効率の向上を目的としたアラーム統計解析について述べたが、他にも、管理対象装置の保守費用の削減、保守人員の工数低減といった様々な目的が考えられ、それぞれの目的に応じて適切な影響度評価の方法があれば良いのであるが、上記のようなアラーム統計を行う従来のアラーム管理方法ではそのような評価を行うことはできない。
【0010】
(2)アラーム統計がアラーム発生原因の追及に使えない
従来のアラーム管理技術の別の問題として、管理対象装置の状態を表す装置データとのリンク(結合)機能の貧弱さが挙げられる。対策を講じるべき重大アラームが特定されたら、アラーム統計の役割はそれで終り、という訳ではない。アラーム統計を、アラーム発生原因の特定に役立てることができれば良いのであるが、従来のアラーム統計ではそれは困難である。これは、アラームのデータと、上記装置データとのリンクがうまく取れていないからである。
【0011】
この点に関しては、上記特許文献1に示した、アラームをロットIDでフィルタリングするという技術でも十分ではない。なぜなら、ロットIDは複数の装置データと関連しており、しかもロットIDとこの複数の装置データとは必ずしも一意には結びつかないからである。即ち、ロットIDが同じだからといって、そのロットを処理したときの装置の運転パラメータがいつも同じとは限らないのである。詳述すると、ロットIDから当該ロットを処理したときの処理条件であるプロセスレシピを特定できたとしても、当該プロセスレシピは複数の装置運転パラメータ(これは装置データと見ることもできる)によって実現されるものであり、その内の幾つかの運転パラメータがアラーム発生原因に関係していると思われても、それらの運転パラメータは異なるプロセスレシピの中で同じ値をとることがあるため、ロットIDによるプロセスレシピ単位のフィルタリングでは精度が低過ぎて、アラーム発生原因となっている運転パラメータを特定することが困難な場合がある。
【0012】
そこでこの発明は、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができるようにすることを一つの目的としている。また、アラーム発生の原因究明を容易にすることを他の目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るアラーム管理方法の一つは、管理対象装置が発する各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付し、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求め、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求め、かつ各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成することを特徴としている(請求項1に対応)。
【0014】
このアラーム管理方法によれば、管理対象装置が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【0015】
この発明に係るアラーム管理方法の他の一つは、管理対象装置が発するアラームと当該管理対象装置の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキー(手がかりとなるもの)として互いにリンクさせておき、管理対象装置から取得される装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成し、かつ前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示することを特徴としている(請求項6に対応)。
【0016】
このアラーム管理方法によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【0017】
この発明に係るアラーム管理方法の更に他の一つは、管理対象装置が発するアラームの統計を作成する際に、管理対象装置から取得されるものであって当該装置の状態を表す装置データの内の所定の装置データが、予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とすることを特徴としている(請求項7に対応)。
【0018】
このアラーム管理方法によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【0019】
この発明に係るアラーム管理装置の一つは、管理対象装置が発するアラームデータを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したアラームデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたアラームデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段と、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段と、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴としている(請求項9に対応)。
【0020】
このアラーム管理装置によれば、管理対象装置が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【0021】
この発明に係るアラーム管理装置の他の一つは、管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、管理対象装置が発するアラームと当該管理対象装置の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴としている(請求項14に対応)。
【0022】
このアラーム管理装置によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【0023】
この発明に係るアラーム管理装置の更に他の一つは、管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴としている(請求項15に対応)。
【0024】
このアラーム管理装置によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【0025】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。管理対象装置10に、信号伝送路18を介して、アラーム管理装置20が接続されている。
【0026】
管理対象装置10は、この例では、当該管理対象装置10を構成する各種機器(図示省略)を制御する幾つかのサブコントローラ13〜16、これらのサブコントローラ13〜16の統括制御を行うメインコントローラ12、および、これらのコントローラ12〜16間を結ぶループ状の信号伝送路18を備えており、これらでネットワークを構成している。
【0027】
管理対象装置10が、イオンビーム照射装置の一種であるイオン注入装置の場合を例にとると、各サブコントローラ13〜16は、例えば次のようなものである。
【0028】
サブコントローラ13は、注入対象のウェーハの機械的走査、イオンビームの走査、ドーズ量の管理等の、ウェーハに対するイオン注入動作を制御する注入コントローラである。
【0029】
サブコントローラ14は、イオンビームを発生させてそれをウェーハまで輸送するための各種機器用の各種電源の制御を行うビームコントローラである。
【0030】
サブコントローラ15は、ウェーハの搬送の制御を行うエンドステーションコントローラである。
【0031】
サブコントローラ16は、上記電源以外の各種機器の制御や真空排気の制御を行うシステムコントローラである。
【0032】
この管理対象装置10が発する各アラームは、当該アラームの内容を直接表すテキスト形式で管理しても良いけれども、この例では、各アラームを識別する識別情報であるアラームIDで管理するようにしている。そのようにする方が、取り扱うデータ容量を小さくすることができるので好ましい。また、アラームの表示も簡素になる。従って、この例では、管理対象装置10内および管理対象装置10からアラーム管理装置20へは、アラームIDが伝送される。アラームIDとそれが表すアラーム内容とは一意に結び付いている。両者の関係を把握しやすくするために、アラームIDとそれが表すテキスト形式のアラーム内容とを結び付けるリストを例えばメインコントローラ12内に格納しておき、それを必要に応じて読み出して使うようにしても良い。
【0033】
メインコントローラ12は、この例では、上記機能に加えて、自分自身またはサブコントローラ13〜16がアラームを発すると、当該アラームのアラームIDおよび発生日時から成るアラームデータを、アラーム管理装置20を構成するデータ収集装置22に送信する機能を有している。また、オペレータがアラーム原因を取り除いた上でメインコントローラ12のアラーム解除ボタン(図示省略)を押すと、メインコントローラ12は、アラームを解除し、当該アラームのアラームIDおよび解除日時から成るアラームデータをデータ収集装置22に送信する機能も有している。即ち、管理対象装置10が(より具体的にはこの例ではメインコントローラ12が)発するアラームデータの中身は、アラーム発生時にはアラームIDとその発生日時、アラーム解除時にはアラームIDとその解除日時である。
【0034】
アラーム管理装置20は、この例では、データ収集装置22、データベース装置24およびアラーム統計装置26を備えており、これらは相互に信号伝送路19で接続されている。
【0035】
データ収集装置22は、管理対象装置10が発する上記アラームデータを収集する。更に、管理対象装置10の状態を表す装置データとアラームとのリンク(これについては後述する)を実現する場合は、管理対象装置10が発する装置データも収集する。装置データは、例えば、前述したプロセスレシピ、装置運転パラメータの設定値、装置運転パラメータのモニタ値等を含むものである。データ収集装置22は、これらのデータを収集し、それをデータベース装置24に格納させる制御を行う。また、アラームデータを受信したことをアラーム統計装置26に通知する機能も有している。
【0036】
データベース装置24は、データ収集装置22で収集した上記アラームデータをデータベースに格納する。このデータベース装置24に格納されるアラームデータADの一つの例を図2に示す。このアラームデータADは、アラームID、発生日時および解除日時から成る。重み係数については後述する。このデータベース装置24は、上記リンクを実現する場合は、データ収集装置22で収集した上記装置データもデータベースに格納する。
【0037】
アラーム統計装置26は、データベース装置24に格納された上記アラームデータを用いて、あるいは上記アラームデータおよび上記装置データを用いて、アラーム統計を作成する。その手段等を、(A)アラームごとに重みを付ける場合と、(B)アラームと装置データとをリンクさせる場合とに分けて、以下に詳述する。
【0038】
まず、上記(A)のアラームごとに重みを付ける場合について説明する。
【0039】
この場合のアラーム統計装置26は、図3に示す例のように、各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段30と、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段32と、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段34と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段36とを備えている。
【0040】
このアラーム統計装置26は、この例では、設けるのが好ましいものとして、統計作成手段36で作成した統計等を表示する表示手段38、必要な入出力を行う入出力手段39、各種データを保存する記憶手段40ならびに後述する重み係数設定手段42および重み係数決定手段44を更に備えている。これらの各手段は、この例では、信号伝送路54によって相互に接続されている。表示手段38は、例えばディスプレイである。
【0041】
上記1種類以上の重み係数は、各アラームの属性として取り扱われ、アラームIDごとにアラームデータADに付与されて、アラームデータADと一緒に、この例ではデータベース装置24に保存される。重み係数が付与されたアラームデータADの一例を図2に示す。なお、図2では、一例として重み係数を二つ図示しているけれども、それに限られるものではない。図8についても同様である。
【0042】
上記重み係数は、次の二つに大きく分類することができる。
【0043】
(1)アラームの種別ごとに一意に決まる重み係数
この例では、前述したように、アラームをアラームIDで管理しているので、この重み係数は、アラームIDごとに一意に決まる重み係数、と言うこともできる。詳細は以下に説明する。
【0044】
(2)アラームの発生ごとに一意に決まる重み係数
ここで言う「アラームの発生ごと」というのは、アラームの発生や解除のタイミングに限定されるものではない。アラームID以外で決まる重み係数と言うこともできる。即ち、アラームIDが同じアラームでも、発生の度ごとに重み係数が異なる可能性がある。詳細は以下に説明する。
【0045】
上記(1)の重み係数は、アラームの種別ごとに(即ちアラームIDごとに)固有の値としてユーザーが設定することができる。重み係数設定手段42はこの設定を行うものである。この重み係数設定手段42は、例えば、表示手段38を構成するディスプレイの前面に設けられたタッチパネルでも良いし、キーボード等でも良い。この重み係数設定手段42で設定された重み係数は、対応するアラームIDと共に、例えばテーブルとして、記憶手段40に保存される。そして、アラーム統計装置26は、アラーム解除時に、アラームIDをキーとしてこのテーブルを検索して、当該アラームの重み係数を決定して、それをデータベース装置24内のアラームデータADに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図2である。
【0046】
上記(1)の重み係数の使用例としては、アラーム統計から特定のアラームを排除することが挙げられる。例えば、メンテナンスや故障修理の際には、管理対象装置10の収納容器のドアが開いたというアラームが頻繁に発生する場合がある。これらのアラームは、現場での作業時には勿論重要なものであるが、管理対象装置10の例えば利用効率を上げるためのアラーム統計には不要なものである。そこで、これらのアラームIDに対して、その重み係数を0に設定し、その他のアラーム統計に必要なアラームIDには、目的に応じて0以外の(例えば1以上の)任意の値を設定しておくことによって、アラーム統計から不要なアラームを簡単に排除することができる。
【0047】
上記(2)の重み係数は、アラームの発生ごとにユーザーが設定することができる。この設定も、この例では上記重み係数設定手段42によって行う。即ち、重み係数設定手段42は、この例では、上記(1)の重み係数を設定する手段と、上記(2)の重み係数を設定する手段とを兼ねている。上記(2)の重み係数の設定は、例えば、アラームの発生後にそのアラームが解除されるときに行う。より具体的には、例えば、当該アラームが解除されるときに、表示手段38に表示される制御画面のダイアログに従って設定(入力)することができる。アラーム統計装置26は、このようにして設定された重み係数を、アラームIDをキーとして、データベース装置24内のアラームデータADに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図2である。
【0048】
但し、アラーム解除時にいつもアラーム統計装置26の所に人がいて重み係数を入力することができるとは限らないので、アラーム統計装置26に、後でまとめて重み係数を入力する機能を持たせておいても良い。その方法としては、例えば、(a)表示手段38に表示される制御画面に従って、アラームIDとアラーム解除日時とを指定して、必要な重み係数を重み係数設定手段42から入力する方法と、(b)アラーム統計装置26から入出力手段39によってアラーム解除リストをファイルの形式で出力させ、このファイルに必要な重み係数を付加してアラーム統計装置26に入出力手段39によって読み込ませることによって入力する方法、とがある。(b)の場合は、重み係数を付加したファイルを読み込ませる入出力手段39が、重み係数設定手段であると言うことができる。
【0049】
この(a)または(b)の機能を使用する場合の例としては、当該アラームに伴って発生する作業工数や作業費用等を使ってアラームの重み係数を決めてそれを入力する場合が挙げられる。例えば、オペレータがこれらの作業工数や作業費用等の値を集計して重み係数を求めておき、それをアラーム解除時に入力しても良い。また、オペレータが集計したこれらの値を管理者に報告し、管理者が週単位、月単位等のある程度まとまった単位で重み係数を入力しても良い。
【0050】
上記(2)の重み係数の中には、アラーム統計装置26が予め設定された所定の規則に基づいて自動的に決定することができるものも存在する。重み係数決定手段44はこの決定を行うものである。この重み係数決定手段44は、アラーム解除時に所定の規則に基づいて自動で重み係数を決定し、重み係数付与手段30はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置24内のアラームデータADに付加する。これによって、人手を介さずに重み係数を決定することができるので、省力化を図ることができる。
【0051】
この機能を利用する例としては、当該アラームに伴う管理対象装置10の停止時間に対応する時間を重み係数として採用する例が挙げられる。アラーム解除時、重み係数決定手段44は当該アラームの発生時刻をデータベース装置24からアラームIDをキーとして検索し、アラーム解除の現在時刻からアラーム発生時刻を引き算することによって、対象としているアラームが発生してから解除されるまでの時間を求めることができる。重み係数決定手段44は、この時間に応じた重み係数を決定し、重み係数付与手段30はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置24内のアラームデータADに付加する。これによって、管理対象装置10の利用効率に対する影響度をアラーム統計に加味することができる。
【0052】
アラーム統計装置26は、統計作成手段36においてアラーム統計を作成する際に、上述した1種類以上の重み係数についてそれぞれ有効/無効を切り換えることができる機能を有しているのが好ましい。この例では、この機能を重み係数付与手段30に持たせている。総合重み係数演算手段32は、重み係数付与手段30で有効とされた重み係数を互いに掛け合わせて、各アラームについて一つの総合重み係数を求める。重み付き件数演算手段34は、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数を求める。例えば、総合重み係数が2.5とすると、重み付き件数は1×2.5=2.5[件]となる。統計作成手段36は、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する。
【0053】
この重み付きのアラーム発生件数の統計の様式は、例えば、発生件数の多い順にアラームを並べた、いわゆるワーストリストでも良いし、百分率グラフやパレート図等の解析用図表の形にして視覚化しても良い。その場合、各アラームを表す方法としては、アラームIDを用いるのが簡素で好ましいけれども、それに対応する内容のテキストを用いても良い。
【0054】
このアラーム管理装置20は、上記アラーム統計装置26を用いて、管理対象装置10が発する各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付し、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求め、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求め、かつ各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成するというアラーム管理方法を実施することができる。
【0055】
上記アラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置20によれば、従来のようなアラーム発生件数の単純な積算ではなく、重み係数を採用したことによって、価値判断を含んだアラーム統計を作成することができる。即ち、管理対象装置10が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【0056】
次に、上記(B)のアラームと装置データとをリンクさせる場合について説明する。
【0057】
この場合のアラーム統計装置26は、図4に示す例のように、管理対象装置10が発するアラームと当該管理対象装置10の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段46と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段48と、このトレンドグラフ作成手段48で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段38とを備えている。トレンドグラフとは、横軸が時間、縦軸がある値であり、このある値の時間的な動向・推移を表したグラフである。表示手段38の例は前述のとおりである。
【0058】
このアラーム統計装置26は、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した入出力手段39および記憶手段40を更に備えている。信号伝送路54による接続は前述のとおりである。
【0059】
このようなアラーム統計装置26を備えるアラーム管理装置20は、管理対象装置10が発するアラームと当該管理対象装置10の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせておき、管理対象装置10から取得される装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成し、かつ前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するというアラーム管理方法を実施することができる。
【0060】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置20によれば、管理対象装置10が発するアラームと前記装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【0061】
例えば、「注入イオン質量数異常(例えばアラームID=3025)」というアラームが発生したとする。リンク手段46で、このアラームIDにリンクさせるデータとして、「注入イオン質量数設定値」という装置データを指定する。また、通常は、リンクさせる時間も指定する。トレンドグラフ作成手段48は、例えばトレンドグラフ作成の指示を受けて、データベース装置24にアクセスして、指定された期間内の当該装置データ(注入イオン質量数設定値)を検索して、当該装置データのトレンドグラフを作成する。その一例を図5に示す。
【0062】
表示手段38は、このトレンドグラフ作成手段48で作成した図5のようなトレンドグラフを表示する。また、前記リンクに基づいて、このトレンドグラフ上に、予め指定した(例えばアラームID=3025および3026の)アラームが発生した日時を、アイコン64等の手段で表示する。換言すれば、当該アラームが発生した日時の所に、当該アラーム発生を表すアイコン64等を表示する。図5は、アラームID=3025のアイコン64が表示されている状態の例を示す。なお、図5の例では、その横軸を時刻としているので、日付表示部60に日付を表示するようにしている。この横軸と日付表示部60とによって、アラームが発生した日時を表示することができる。但し、横軸を日時にしても良い。アイコン64と共にそのアラームIDを表示しても良いけれども、その代わりに、この例のように、アイコン64とアラームIDとの対応を表示する凡例表示部62を設けておく方が好ましい。そのようにすれば、アイコン64の周りの表示が簡素になり見やすくなる。
【0063】
この図5の例では、注入イオン質量数設定値が40のときに、アラームID=3025のアラームがよく発生する、という傾向を容易に知ることができるので、これをアラーム発生の原因究明の一助とすることができる。
【0064】
他のリンク機能として、アラームデータのフィルタリング機能を採用しても良い。この場合のアラーム統計装置26は、図6に示す例のように、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段50と、このフィルタリング手段50によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段52とを備えている。フィルタリング手段50には、上記所定の装置データの指定、および、上記指定した値または値の範囲を設定することができる。
【0065】
このアラーム統計装置26も、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した表示手段38、入出力手段39および記憶手段40を更に備えている。信号伝送路54による接続は前述のとおりである。
【0066】
このようなアラーム統計装置26を備えるアラーム管理装置20は、管理対象装置10が発するアラームの統計を作成する際に、管理対象装置10から取得されるものであって当該装置10の状態を表す装置データの内の所定の装置データが、予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするというアラーム管理方法を実施することができる。
【0067】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置20によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置10が特定の運転状態にあるときのアラーム発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【0068】
例えば、フィルタリング手段50に、「注入イオン質量数設定値」という装置データの、特定の値(例えば11)をフィルタとして指定する。これによって、注入イオン質量数が11のときに発生したアラームだけを使ったアラーム統計を作成することができる。それによって、注入イオン質量数が11という特定の状況でのアラーム発生状況を知ることができ、これは当該特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等に有用である。
【0069】
ところで、図1は、1台の管理対象装置10が発するアラームを1台のアラーム管理装置20で管理する場合の例であるが、複数台の管理対象装置10が発するアラームを1台のアラーム管理装置20で管理することもできる。その場合の例を図7に示す。
【0070】
図7の例は、5台の管理対象装置10a〜10eを管理の対象とするものである。各管理対象装置10a〜10eの構成は、それぞれ、例えば図1に示した管理対象装置10と同様のものである。アラーム管理装置20内には、この例では、各管理対象装置10a〜10eからのデータをそれぞれ収集する5台のデータ収集装置22a〜22eを設けている。各データ収集装置22a〜22eの機能は、それぞれ、図1に示したデータ収集装置22と同様のものである。データベース装置24およびアラーム統計装置26は、それぞれ1台で共用することができる。
【0071】
この場合は、各アラームが5台の管理対象装置10a〜10eの内のどの管理対象装置から発せられたものであるかを識別することができれば、後は、管理対象装置が1台の場合と同様にアラームを管理することができる。そのためには、図8に示す例のように、前述したアラームデータADに、管理対象装置を識別する識別情報である装置IDを付加すれば良い。アラームIDは、5台の管理対象装置10a〜10eで皆同じものを使えば良い。このようにすれば、装置IDとアラームIDとによってアラームを特定することができるので、図3、図4および図6に示したアラーム統計装置26をほぼそのまま使用することができると共に、前述した各アラーム管理方法を実施することができる。
【0072】
また、現在は管理対象装置は例えば図1に示す例のように1台しかないけれども、将来複数台に増やす可能性がある場合も、図8に示すようなデータを扱うことができるようにしておいて、装置IDには一つの値(例えば1)を入れておいても良い。そのようにすれば、将来、管理対象装置を増やす場合にも容易に対応することができる。
【0073】
なお、上記各実施例のアラーム管理装置20は、コンピュータを用いて実現しても良い。
【0074】
【発明の効果】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【0075】
請求項1および9に記載の発明によれば、管理対象装置が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【0076】
請求項2および10に記載の発明によれば、上記アラームの種別ごとの固有の値として設定する重み係数を用いて、アラーム統計から不要なアラームを簡単に排除することができる等の更なる効果を奏する。
【0077】
請求項3および11に記載の発明によれば、各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ自由に付与することができるという更なる効果を奏する。
【0078】
請求項4および12に記載の発明によれば、人手を介さずに重み係数を付与することができるので、省力化を図ることができるという更なる効果を奏する。
【0079】
請求項5および13に記載の発明によれば、管理対象装置の利用効率に対する影響度をアラーム統計に加味することができるという更なる効果を奏する。
【0080】
請求項6および14に記載の発明によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【0081】
請求項7および15に記載の発明によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【0082】
請求項8および16に記載の発明によれば、取り扱うデータ容量を小さくすることができ、またアラームの表示も簡素になるという更なる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。
【図2】アラームデータに重み係数を付与したデータの一例を示す概念図である。
【図3】アラーム統計装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図4】アラーム統計装置の構成の他の例を示すブロック図である。
【図5】トレンドグラフの一例を示す図である。
【図6】アラーム統計装置の構成の更に他の例を示すブロック図である。
【図7】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の他の例を示すブロック図である。
【図8】アラームデータに重み係数を付与したデータの他の例を示す概念図である。
【符号の説明】
10 管理対象装置
20 アラーム管理装置
22 データ収集装置
24 データベース装置
26 アラーム統計装置
30 重み係数付与手段
32 総合重み係数演算手段
34 重み付き件数演算手段
36 統計作成手段
38 表示手段
42 重み係数設定手段
44 重み係数決定手段
46 リンク手段
48 トレンドグラフ作成手段
50 フィルタリング手段
52 統計作成手段
Claims (16)
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、管理対象装置が発する各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付し、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求め、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求め、かつ各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成することを特徴とするアラーム管理方法。
- 前記1種類以上の重み係数には、アラームの種別ごとに固有の値としてユーザーが設定する重み係数が含まれている請求項1記載のアラーム管理方法。
- 前記1種類以上の重み係数には、アラームの発生ごとにユーザーが設定する重み係数が含まれている請求項1または2記載のアラーム管理方法。
- 前記1種類以上の重み係数には、所定の規則に基づいて自動的に決定される重み係数が含まれている請求項1、2または3記載のアラーム管理方法。
- 前記自動的に決定される重み係数は、管理対象装置において、対象としているアラームが発生してから解除されるまでの時間に応じて決定されるものである請求項4記載のアラーム管理方法。
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、管理対象装置が発するアラームと当該管理対象装置の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせておき、管理対象装置から取得される装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成し、かつ前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示することを特徴とするアラーム管理方法。
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、管理対象装置が発するアラームの統計を作成する際に、管理対象装置から取得されるものであって当該装置の状態を表す装置データの内の所定の装置データが、予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とすることを特徴とするアラーム管理方法。
- 前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームIDによって管理する請求項1ないし7のいずれかに記載のアラーム管理方法。
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、管理対象装置が発するアラームデータを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したアラームデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたアラームデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、各アラームに1種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段と、各アラームについてこの1種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段と、各アラーム1件についてその件数を表す1にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
- 前記アラーム統計装置は、前記1種類以上の重み係数の一つとして、アラームの種別ごとに固有の重み係数を設定する重み係数設定手段を備えている請求項9記載のアラーム管理装置。
- 前記アラーム統計装置は、前記1種類以上の重み係数の一つとして、アラームの発生ごとに重み係数を設定する重み係数設定手段を備えている請求項9または10記載のアラーム管理装置。
- 前記アラーム統計装置は、前記1種類以上の重み係数の一つとして、所定の規則に基づいて重み係数を自動的に決定する重み係数決定手段を備えている請求項9、10または11記載のアラーム管理装置。
- 前記重み係数決定手段は、管理対象装置において、対象としているアラームが発生してから解除されるまでの時間に応じて重み係数を決定するものである請求項12記載のアラーム管理装置。
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、管理対象装置が発するアラームと当該管理対象装置の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
- 管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
- 前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームIDによって管理する請求項9ないし15のいずれかに記載のアラーム管理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002347559A JP4239574B2 (ja) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | アラーム管理方法およびその装置 |
US10/721,084 US7085674B2 (en) | 2002-11-29 | 2003-11-26 | Alarm management method and apparatus therefor |
GB0327813A GB2395831B (en) | 2002-11-29 | 2003-11-28 | Alarm management method and apparatus therefor |
KR10-2003-0085357A KR100525846B1 (ko) | 2002-11-29 | 2003-11-28 | 알람관리방법 및 그 장치 |
GB0526091A GB2419723A (en) | 2002-11-29 | 2003-11-28 | Graphically correlating alarms with apparatus data |
TW092133470A TWI282949B (en) | 2002-11-29 | 2003-11-28 | Alarm management method and apparatus therefor |
CNB2003101188698A CN1296848C (zh) | 2002-11-29 | 2003-12-01 | 报警管理方法及其设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002347559A JP4239574B2 (ja) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | アラーム管理方法およびその装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008189385A Division JP2008263237A (ja) | 2008-07-23 | 2008-07-23 | アラーム管理方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004186167A true JP2004186167A (ja) | 2004-07-02 |
JP4239574B2 JP4239574B2 (ja) | 2009-03-18 |
Family
ID=29997316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002347559A Expired - Fee Related JP4239574B2 (ja) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | アラーム管理方法およびその装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7085674B2 (ja) |
JP (1) | JP4239574B2 (ja) |
KR (1) | KR100525846B1 (ja) |
CN (1) | CN1296848C (ja) |
GB (2) | GB2419723A (ja) |
TW (1) | TWI282949B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100916140B1 (ko) | 2007-11-09 | 2009-09-08 | 세메스 주식회사 | 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 그 방법 |
JP2012028787A (ja) * | 2006-06-19 | 2012-02-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理システム、検証装置および検証装置の動作検証方法 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7408440B2 (en) * | 2004-10-25 | 2008-08-05 | Electronics Data Systems Corporation | System and method for analyzing message information from diverse network devices |
US20060168170A1 (en) * | 2004-10-25 | 2006-07-27 | Korzeniowski Richard W | System and method for analyzing information relating to network devices |
US7408441B2 (en) * | 2004-10-25 | 2008-08-05 | Electronic Data Systems Corporation | System and method for analyzing user-generated event information and message information from network devices |
KR100727466B1 (ko) | 2005-02-07 | 2007-06-13 | 주식회사 잉크테크 | 유기 은 착체 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용한박막형성방법 |
JP4466859B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2010-05-26 | 横河電機株式会社 | アラーム管理装置 |
CN101772742B (zh) * | 2007-08-08 | 2013-09-11 | Abb公司 | 用于提供与来自过程控制***的告警有关的统计的告警分析***和方法 |
US8719385B2 (en) * | 2008-10-28 | 2014-05-06 | Honeywell International Inc. | Site controller discovery and import system |
US20110093493A1 (en) * | 2008-10-28 | 2011-04-21 | Honeywell International Inc. | Building management system site categories |
US20100106543A1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Honeywell International Inc. | Building management configuration system |
US8819562B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-08-26 | Honeywell International Inc. | Quick connect and disconnect, base line configuration, and style configurator |
US8850347B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | User interface list control system |
US9471202B2 (en) * | 2008-11-21 | 2016-10-18 | Honeywell International Inc. | Building control system user interface with pinned display feature |
US8572502B2 (en) * | 2008-11-21 | 2013-10-29 | Honeywell International Inc. | Building control system user interface with docking feature |
US8269620B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-18 | Honeywell Internatonal Inc. | Alarm trend summary display system and method |
US8554714B2 (en) * | 2009-05-11 | 2013-10-08 | Honeywell International Inc. | High volume alarm management system |
US8224763B2 (en) | 2009-05-11 | 2012-07-17 | Honeywell International Inc. | Signal management system for building systems |
US8352047B2 (en) | 2009-12-21 | 2013-01-08 | Honeywell International Inc. | Approaches for shifting a schedule |
US20110196539A1 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Honeywell International Inc. | Multi-site controller batch update system |
EP2541382A4 (en) * | 2010-02-26 | 2015-04-15 | Nec Corp | DEVICE FOR DISPLAYING A MONITORING STATUS, METHOD FOR DISPLAYING A MONITORING STATUS AND A PROGRAM FOR DISPLAYING A MONITORING STATUS |
US8640098B2 (en) * | 2010-03-11 | 2014-01-28 | Honeywell International Inc. | Offline configuration and download approach |
US8890675B2 (en) | 2010-06-02 | 2014-11-18 | Honeywell International Inc. | Site and alarm prioritization system |
US8648706B2 (en) | 2010-06-24 | 2014-02-11 | Honeywell International Inc. | Alarm management system having an escalation strategy |
US9213539B2 (en) | 2010-12-23 | 2015-12-15 | Honeywell International Inc. | System having a building control device with on-demand outside server functionality |
US9355477B2 (en) | 2011-06-28 | 2016-05-31 | Honeywell International Inc. | Historical alarm analysis apparatus and method |
US8779916B2 (en) * | 2011-10-24 | 2014-07-15 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Timeline presentations of process control system alarms |
CN102566546B (zh) * | 2012-01-13 | 2013-07-31 | 冶金自动化研究设计院 | 过程数据的报警统计及辅助调度*** |
US9223839B2 (en) | 2012-02-22 | 2015-12-29 | Honeywell International Inc. | Supervisor history view wizard |
US9529349B2 (en) | 2012-10-22 | 2016-12-27 | Honeywell International Inc. | Supervisor user management system |
US9971977B2 (en) | 2013-10-21 | 2018-05-15 | Honeywell International Inc. | Opus enterprise report system |
US9933762B2 (en) | 2014-07-09 | 2018-04-03 | Honeywell International Inc. | Multisite version and upgrade management system |
CN104571057B (zh) * | 2015-01-21 | 2017-03-22 | 山东大学 | 一种告警***数据库的设计方法 |
WO2016141007A1 (en) * | 2015-03-02 | 2016-09-09 | Abb Technology Ag | Alarm management using hiding rules |
US10362104B2 (en) | 2015-09-23 | 2019-07-23 | Honeywell International Inc. | Data manager |
US10209689B2 (en) | 2015-09-23 | 2019-02-19 | Honeywell International Inc. | Supervisor history service import manager |
CN106292496B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-01-11 | 浙江浙大中控信息技术有限公司 | 一种地铁监控***报警管理方法 |
US10635096B2 (en) | 2017-05-05 | 2020-04-28 | Honeywell International Inc. | Methods for analytics-driven alarm rationalization, assessment of operator response, and incident diagnosis and related systems |
US10911465B1 (en) * | 2018-03-29 | 2021-02-02 | United State Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Multi-stage intrusion detection system alarm ranking system |
US10747207B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-08-18 | Honeywell International Inc. | System and method for accurate automatic determination of “alarm-operator action” linkage for operator assessment and alarm guidance using custom graphics and control charts |
CN109087490B (zh) * | 2018-09-03 | 2019-09-03 | 山东科技大学 | 一种基于报警持续时间特征的干扰报警识别方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2083258B (en) | 1980-09-03 | 1984-07-25 | Nuclear Power Co Ltd | Alarm systems |
FR2583191B1 (fr) | 1985-06-07 | 1987-09-04 | Quarin Alain | Procede d'exploitation d'un reseau de surveillance a alarmes multiples |
JPS6332910A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | 北陸電気工業株式会社 | チツプ形電子部品の製造方法 |
US4749985A (en) | 1987-04-13 | 1988-06-07 | United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Functional relationship-based alarm processing |
JPH04269626A (ja) | 1991-02-26 | 1992-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | プラント監視装置 |
US5257206A (en) * | 1991-04-08 | 1993-10-26 | Praxair Technology, Inc. | Statistical process control for air separation process |
US5339257A (en) | 1991-05-15 | 1994-08-16 | Automated Technology Associates Inc. | Real-time statistical process monitoring system |
JPH06332910A (ja) | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Toshiba Corp | ホストコントローラのアラーム情報管理方法及び同装置 |
US5642296A (en) | 1993-07-29 | 1997-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Method of diagnosing malfunctions in semiconductor manufacturing equipment |
JP3277442B2 (ja) * | 1995-02-22 | 2002-04-22 | 日本電信電話株式会社 | 故障検出装置 |
JPH11119960A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-30 | Kokusai Electric Co Ltd | アラームロギングデータ表示装置 |
JPH11134154A (ja) | 1997-10-28 | 1999-05-21 | Yamatake Corp | プロセスイベント情報の表示方法 |
JPH11143744A (ja) | 1997-11-06 | 1999-05-28 | Sekisui Chem Co Ltd | データ送信システム |
EP0932194A1 (en) | 1997-12-30 | 1999-07-28 | International Business Machines Corporation | Method and system for semiconductor wafer fabrication process real-time in-situ interactive supervision |
KR100269941B1 (ko) * | 1998-01-14 | 2001-01-15 | 윤종용 | 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태관리방법 |
US7023440B1 (en) | 1998-09-14 | 2006-04-04 | Fisher Rosemount Systems, Inc. | Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data |
JP3408752B2 (ja) | 1998-09-22 | 2003-05-19 | 三菱電機株式会社 | 故障予知整備装置 |
JP2000269108A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Sharp Corp | 半導体製造装置の管理システム |
JP2000317775A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-21 | Mitsutoyo Corp | 加工システム |
JP2001014025A (ja) | 1999-06-29 | 2001-01-19 | Toshiba Corp | プラント監視制御装置 |
US6502409B1 (en) * | 2000-05-03 | 2003-01-07 | Computer Process Controls, Inc. | Wireless method and apparatus for monitoring and controlling food temperature |
KR100357636B1 (ko) | 2000-12-01 | 2002-10-25 | 삼성전자 주식회사 | 망 관리장치에서 경보정보 관리방법 |
TWI286785B (en) | 2002-03-29 | 2007-09-11 | Tokyo Electron Ltd | Method for interaction with status and control apparatus |
-
2002
- 2002-11-29 JP JP2002347559A patent/JP4239574B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-11-26 US US10/721,084 patent/US7085674B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-28 TW TW092133470A patent/TWI282949B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-11-28 GB GB0526091A patent/GB2419723A/en not_active Withdrawn
- 2003-11-28 KR KR10-2003-0085357A patent/KR100525846B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-11-28 GB GB0327813A patent/GB2395831B/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-12-01 CN CNB2003101188698A patent/CN1296848C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012028787A (ja) * | 2006-06-19 | 2012-02-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理システム、検証装置および検証装置の動作検証方法 |
KR100916140B1 (ko) | 2007-11-09 | 2009-09-08 | 세메스 주식회사 | 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 그 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1296848C (zh) | 2007-01-24 |
GB2395831A (en) | 2004-06-02 |
KR100525846B1 (ko) | 2005-11-02 |
CN1506896A (zh) | 2004-06-23 |
TWI282949B (en) | 2007-06-21 |
KR20040047711A (ko) | 2004-06-05 |
JP4239574B2 (ja) | 2009-03-18 |
GB0526091D0 (en) | 2006-02-01 |
TW200417945A (en) | 2004-09-16 |
US7085674B2 (en) | 2006-08-01 |
US20040133402A1 (en) | 2004-07-08 |
GB0327813D0 (en) | 2003-12-31 |
GB2395831B (en) | 2006-08-30 |
GB2419723A (en) | 2006-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004186167A (ja) | アラーム管理方法およびその装置 | |
US8314694B2 (en) | System and method for suppressing redundant alarms | |
CN100407215C (zh) | 用于监视和控制半导体生产过程的方法和装置 | |
CN102460529B (zh) | 装置异常监视方法以及*** | |
CN100524608C (zh) | 用于监视工具性能的方法和设备 | |
CN110069051A (zh) | 家电故障处理方法和装置 | |
CN110347124A (zh) | 利用了网络的诊断服务***以及诊断方法 | |
KR20070064259A (ko) | 프로세스 이상 분석 장치 및 프로그램 | |
JP7221644B2 (ja) | 機器故障診断支援システムおよび機器故障診断支援方法 | |
TWI494727B (zh) | 用於實行第三方支援裝備之預防維護的電腦實施方法、非暫態電腦可讀取記憶體媒體、及電腦化系統 | |
CN103189849B (zh) | 显示处理***、显示处理方法和程序 | |
WO2009018859A1 (en) | An alarm analysis system and a method for providing statistics on alarms from a process control system | |
CN100435052C (zh) | 工序管理装置及其控制方法、工序管理程序及记录介质 | |
JP3766232B2 (ja) | 機器カルテ管理評価装置および同装置を用いた機器カルテ管理評価方法 | |
KR20130065800A (ko) | 예지 보전 기반의 실시간 협업 기업 자산 관리 시스템 및 방법 | |
CN100535810C (zh) | 制造工序评价装置以及制造工序评价方法 | |
JP2008263237A (ja) | アラーム管理方法およびその装置 | |
JP2007157018A (ja) | 家電機器管理システムおよびそのプログラム | |
JP2004170225A (ja) | プラントのライフサイクル保全計画立案システム | |
JP2006204567A (ja) | 遊技設備機器監視システム | |
CN117193240A (zh) | 一种电化铝生产电气控制柜故障预警*** | |
JP5204075B2 (ja) | 運転状況分析方法および運転状況分析システム | |
CN103189848A (zh) | 显示处理***、显示处理方法和程序 | |
JP2005071200A (ja) | 製造情報管理プログラム | |
Savić et al. | Business intelligence in managing of technical-information system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081215 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |