JP2004183958A

JP2004183958A - ファンフィルタユニット

Info

Publication number: JP2004183958A
Application number: JP2002350206A
Authority: JP
Inventors: Masaki Tateno; 正樹竪野
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2002-12-02
Filing date: 2002-12-02
Publication date: 2004-07-02

Abstract

【課題】塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けてエア中の塵埃と有害ガスを濾過でき、しかも比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】ファンフィルタユニット５は、吸引口１３、吹出口１６、ファン１５、フィルタ部１７、エア流路切り換え手段２０とで構成される。エア流路切り換え手段２０は、主として、回動軸２１、揺動板２３、スプリング２７、支え棒２９とで構成され、流路２４には塵埃濾過用フィルタ１８のみが配設され、流路２５には塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方が配設されている。支え棒２９によって、揺動板２３はスプリング２７の付勢力でもって流路２４側および流路２５側に揺動し、流路が形成される構造となっている。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はファンフィルタユニットに係り、特に塵埃および有害ガスを嫌う半導体工場等の生産ラインが配設されるクリーンルームに使用するファンフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体工場等においては塵埃管理が必要不可欠であり、半導体製造ラインはクリーンルームの清浄室に配設されるのが一般的であり、クリーンルームに低塵埃環境の清浄室を構成する上で、ファンフィルタユニットが多用されている。ファンフィルタユニットは清浄室の天井面に配置され、空調機からのエア、外気、清浄室から循環されるエア等をフィルタで濾過して清浄化し、清浄化したエアを清浄室に供給する装置である。
【０００３】
ところで、清浄室に半導体製造ラインを構築したクリーンルームでは、半導体製造プロセスに配したケミカルステーションなどで使用されるフッ素、塩酸などの各種類のガスは排気ラインを通じて無害化処理した上で大気中に放出されるが、清浄室内にも微量残存する。またクリーンルームの構築建材から発生する有機ガス、外気から取り込んだエアに含まれている窒素酸化物（ＮＯ_ｘ）、硫黄酸化物（ＳＯ_ｘ）等のガス、および作業員の人体から発散するアンモニアガスなどがクリーンルームのエア中に混在している。これらケミカル・コンタミネーションと呼ばれる、無機性或いは有機性のガス（以後、有害ガスと称す）が循環エアとともにクリーンルーム室内に吹き出されると、有害ガスの性質によってはクリーンルーム内作業中の従業員への人害のみならず、半導体製品への悪影響をも及ぼす。
【０００４】
そこで、濾過フィルタを有するファンフィルタユニットの設置が必要不可欠であるが、塵埃を濾過するフィルタと有害ガスを濾過するフィルタは各々機能・性質が異なるため、１つのフィルタで兼用することができない。
【０００５】
このことから、例えば特許文献１、特許文献２、および特許文献３には、１つのファンフィルタユニットに、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとの両方を設けたものが開示されている。このように、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとを重ねることによって、塵埃と有害ガスの両方を濾過できる。
【０００６】
【特許文献１】
特公平７−９６９３８号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平７−６００５６号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平１０−２７７３３９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら有害ガスは常に発生しているとは限らないのにもかかわらず、従来のファンフィルタユニットは、有害ガス濾過用フィルタに大量のエアが常時通過することになるので、比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命が短くなるという欠点がある。これにより、有害ガス濾過用フィルタの交換頻度が増すため、ランニングコストが増加するだけでなく、濾過能力の低下にもつながる。
【００１０】
塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタとを別々のファンフィルタユニットに設置することも可能であるが、別々に設置すると、それだけファンフィルタユニットの設置台数を増やさなくてはならないので、設備コストが増大するという欠点がある。また、ファンフィルタユニットの設置台数が増えると、フィルタ交換作業に手間がかかる上、メンテナンスコストおよび設備コストも大幅に増大し、且つメンテナンススペースを確保する必要があるためファンフィルタユニットの配置の制約が生じてしまう。
【００１１】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けてエア中の塵埃と有害ガスを濾過でき、しかも比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部とを備えたファンフィルタユニットにおいて、前記ケーシング内に、揺動板が揺動することにより前記吸引口から前記吹出口に至る２つの異なるエア流路に交互に切り換え可能なエア流路切り換え手段を設け、前記２つの流路のうち、一方の流路には前記フィルタ部としてエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタを配設すると共に、他方の流路には前記フィルタ部として前記塵埃濾過用フィルタとエア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタの両方を配設したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項１によれば、ファンフィルタユニットのケーシング内に吸引するエア中に有害ガスが存在しない場合には、吸引口から吸引されたエアが塵埃濾過用フィルタを配設した一方の流路に流れるように揺動板を揺動し、エア中に有害ガスが存在する場合には、吸引口から吸引されたエアが塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を配設した他方の流路に流れるように揺動板を揺動する。これにより、ファンフィルタユニットに塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタを通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができる。
【００１４】
本発明の請求項２は前記目的を達成するために、吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部を備えたファンフィルタユニットにおいて、前記ケーシング内に、前記フィルタ部として、前記吸引されたエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタと前記エア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタとの両方を配設すると共に、前記有害ガス濾過用フィルタには前記吸引口から前記吹出口に流れるエアが通過しないように退避させる退避手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項２によれば、ファンフィルタユニットのケーシング内に吸引するエア中に有害ガスが存在しない場合には、有害ガス濾過用フィルタを退避させて、吸引口から吹出口に流れるエアの流れるエアが有害ガス濾過用フィルタを通過しないようにする。また、エア中に有害ガスが存在する場合には、有害ガス濾過用フィルタを退避させないで、吸引口から吹出口に流れるエアの流れるエアが有害ガス濾過用フィルタを通過するようにする。これにより、請求項２も請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００１６】
本発明の請求項３は請求項１において、前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、前記センサーが前記有害ガスを検出したときに、前記有害ガス濾過用フィルタでエア中の有害ガスを濾過するように前記切り換え手段を切り換えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項３は、エア中の有害ガスを検出する検出センサーを設けることにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、エア流路の切り換えを確実且つ自動的に行えるようにしたものである。
【００１８】
本発明の請求項４は請求項２において、前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、前記センサーが前記有害ガスを検出しないときは、前記退避手段により前記有害ガス濾過用フィルタを退避させることを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項４は、エア中の有害ガスを検出する検出センサーを設けることにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、有害ガス濾過用フィルタの退避を確実且つ自動的に行えるようにしたものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って，本発明に係わるファンフィルタユニットの好ましい形態について詳説する。
【００２１】
図１は、本発明のファンフィルタユニットを設置する一般的なクリーンルーム１の構成を示したものである。即ち、クリーンルーム１は、例えば半導体装置等が配設される清浄室３と、清浄室３の天井裏に形成された天井チャンバ１１と、清浄室３のグレーチング床８下に形成された床下チャンバ７と、床下チャンバ７のエアを天井チャンバ１１に戻すリターン通路９とを有し、清浄室３の天井面に形成された碁盤目状の天井フレーム４の空間部にファンフィルタユニット５が配設される。また、天井チャンバ１１は、導入ダクト２を介して空調機（不図示）や外気に連通される。そして、図１の矢印６によるエアの流れに見られるように、導入ダクト２から天井チャンバ１１に導入されたエアは、ファンフィルタユニット５で濾過されてから清浄室３にダウンフローとして吹き出され、グレーチング床８を介して床下チャンバ７に流れる。床下チャンバ７に流れたエアの一部は排気ダクト１０から排気されると共に、残りのエアはリターン通路９を通って再び天井チャンバ１１に循環される。これにより、清浄室３が清浄化される。
【００２２】
図２は、本発明のファンフィルタユニットの第１の実施の形態である。
【００２３】
第１の実施の形態のファンフィルタユニット５は、主として、吸引口１３と吹出口１６とが形成されたケーシング１４内にエアを吸引して吹き出すファン１５と、該ファン１５により吸引されたエアを濾過するフィルタ部１７と、エア流路切り換え手段２０とで構成される。
【００２４】
ケーシング１４は、ケーシング本体１４Ａの上に開口部１４Ｂを介して連通するファンボックス１４Ｃが搭載された断面凸状に形成され、ファンボックス１４Ｃ内にファン１５が配設されると共に、ケーシング本体１４Ａ内にフィルタ１８が配設される。また、吸引口１３は、ファンボックス１４Ｃの上面に形成され、吹出口１６はケーシング本体１４Ａの下面に形成される。
【００２５】
エア流路切り換え手段２０は、主として、揺動板２３と、揺動板２３を揺動方向の一方側に付勢するスプリング２７と、スプリング２７の付勢力による揺動板２３の倒れ込みを防止する支え棒２９とで構成される。揺動板２３は、ケーシング１４の対向する側壁に回動自在に支持された回動軸２１に固着される。回動軸２１の位置は、揺動板２３が揺動することによりケーシング１４内を吸引口１３から吹出口１６に至る２つの異なるエア流路２４、２５に交互に切り換え可能なように、ケーシング１４内の中央部よりやや下方に設けられる。スプリング２７は、一端が揺動板２３の上部に支持されると共に他端がケーシングのエア流路２４側の側壁面に支持される。また、支え棒２９は、エア流路２４側の側壁に形成された貫通孔を貫通して設けられ、支え棒２９の一端が揺動板２３の略中央部に支持され、支え棒２９の他端には把手２９Ａが設けられる。これにより、支え棒２９をケーシング１４内に押し込むことによって、揺動板２３はスプリング２７の付勢力に抗して流路２５側に揺動し、支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張ることによって、揺動板２３はスプリング２７の付勢力によって流路２４側に揺動する。また、支え棒２９には、スプリング２７の付勢力に抗して支え棒２９をケーシング１４内に押し込んだときに、押し込んだ位置で支え棒２９がロックされるようにロック部材２８が設けられる。
【００２６】
２つの流路２４、２５のうち、一方の流路２４にはフィルタ部１７としてエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタ１８が配設され、他方の流路２５にはフィルタ部１７として塵埃濾過用フィルタ１８とエア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタ１９の両方が配設される。この場合、吹出口１６一面を塞ぐように配設した塵埃濾過用フィルタ１８の上側であって流路２５側に、塵埃濾過用フィルタの略１／２の面積の有害ガス濾過用フィルタ１９を重ねるとよい。塵埃濾過用フィルタ１８としては、例えばＨＥＰＡ（ｈｉｇｈｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅａｉｒ）フィルタやＵＬＰＡ（ｕｌｔｒａｌｏｗｐｅｎｅｔｒａｔｅａｉｒ）フィルタを好適に使用することができ、有害ガス濾過用フィルタ１９としては、例えば活性炭フィルタを使用することができ、活性炭にアルカリ液や酸液を含浸させたものも好適である。なお、フィルタ部１７と回動軸２１との間に隙間が形成される場合には、フィルタ部１７と回動軸２１の間に仕切板２２を設けるとよい。
【００２７】
次に、上記の如く構成された本発明第１の実施におけるファンフィルタユニット５の作用を説明する。
【００２８】
エア内に有害ガスが含まれていない場合、図３（ａ）に示すように、支え棒２９をケーシング１４内に押し込んで、揺動板２３を流路２５側に揺動させた状態でロック部材２８をロックする。これにより、矢印２６で示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは、ケーシング１４内の流路２４側へ流れて塵埃濾過用フィルタ１８のみにより濾過され、吹出口１６から吹き出される。また、エア内に有害ガスが含まれる場合、図３（ｂ）に示すように、支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張って、揺動板２３を流路２４側に揺動させた状態でロック部材２８をロックする。これにより、矢印２６で示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは、ケーシング１４内の流路２５側へ流れて塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方で濾過され、吹出口１６から吹き出される。
【００２９】
従って、ファンフィルタユニット５に塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタ１９を通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を延ばすことができる。
【００３０】
ところで、図２に示した一枚板状の揺動板２３の場合、揺動板２３とケーシング本体１４Ａの上面までの距離は、揺動板２３が垂直状態のときと流路２４側又は流路２５側に揺動したときとでは相違するので、揺動させたときにケーシング本体１４Ａの上面との間に隙間が形成される。従って、例えばエア中に有害ガスが存在しない場合に揺動板２３を流路２５側に揺動させて、吸引口１３、流路２４、吹出口１６のエア流れを形成しても、ファン１５により吸引されたエアの一部は流路２５側にも流れ、有害ガス濾過用フィルタ１９を通過してしまう。この対策としては、揺動板２３を伸縮可能な構成とすることが一層好ましい。
【００３１】
図４の分解図に示すように、伸縮可能な揺動板２３は、回動軸２１（図２参照）に固着された板状部材３１とカバー部材３３とが入れ子構造で嵌め合わされると共に、板状部材３１の上端部とカバー部材３３の上端内面との間にはスプリング３７が介在される。また、カバー部材３３の上端にローラ３５を設ければ、揺動板２３を揺動させたときに、ローラ３５がケーシング本体１４Ａの上面に当接しながら転がるので、揺動板２３のスムーズな揺動を助けることができる。この場合、図５に示すように、ローラ３５がケーシング本体１４Ａの上面に当接するように、カバー部材３３上端の両端位置に一対配置することが好ましい。これにより、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、揺動板２３は、カバー部材３３に設けたローラ３５がケーシング本体１４Ａ上面に当接し、揺動板２３とケーシング本体１４Ａ上面との距離の変化に応じてスプリング３７が伸縮する。従って、揺動板２３は、自らの長さを自動的に調整しながら揺動するので、揺動板２３を揺動したときに、ケーシング本体１４Ａの内面との間に隙間が形成されない。これにより、吸引口１３から吸引されたエアを流路２４又は流路２５の一方側のみに流すことができるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を一層延ばすことができる。
【００３２】
なお、回動軸２１に一枚の揺動板２３を固着する場合に限定されず、図７のように、回動軸２１に対して２枚の揺動板２３を対称的に固着してもよく、更には、図８のように、一対の回動軸２１をケーシングの上面近傍に設けて、それぞれの回動軸２１に揺動板２３を吊設した状態で設けてもよい。また、図２〜図６では、揺動板２３をスプリング２７と支え棒２９とにより手動で揺動させる例で説明したが、図７および図８のように回動軸２１に正逆回転可能なモータ４２を連結し、モータ４２で回動軸２１を回動させることにより揺動板２３を自動で揺動させるようにしてもよい。この場合、モータ４２の駆動により揺動板２３が所定の揺動位置で停止するようにリミッタスイッチ（図示せず）等を設けるとよい。
【００３３】
図９は、本発明のファンフィルタユニットの第２の実施の形態である。
【００３４】
第２の実施の形態のファンフィルタユニット５は、主として、吸引口１３と吹出口１６とが形成されたケーシング１４内にエアを吸引して吹き出すファン１５と、該ファン１５により吸引されたエアを濾過するフィルタ１８と、有害ガス濾過用フィルタ１９に吸引口１３から吹出口１６に流れるエアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させる退避手段とで構成される。
【００３５】
フィルタ部１７は、塵埃濾過用フィルタ１８の上側に有害ガス濾過用フィルタ１９が重なって設けられると共に、有害ガス濾過用フィルタ１９は真ん中で分割されている。そして、分割されたそれぞれの有害ガス濾過用フィルタ１９に退避手段が設けられる。退避手段は、主として、有害ガス濾過用フィルタ１９の基端部に固定されると共に両端がケーシング１４の対向する側壁に回動自在に支持された回動軸２１と、回動軸２１を回動する正逆回転可能なモータ４２とで構成される。そして、矢印Ｂ方向に有害ガス濾過用フィルタ１９が揺動するようにモータ４２を駆動させると、有害ガス濾過用フィルタ１９はケーシングの側壁面に当接する。また、矢印Ａ方向に有害ガス濾過用フィルタ１９が揺動するようにモータ４２を駆動させると、側壁面に当接した有害ガス濾過用フィルタ１９は塵埃濾過用フィルタ１８に当接して元の状態に戻る。この場合、モータ４２は有害ガス濾過用フィルタ１９が９０°角だけ揺動するようにリミッタスイッチ（図示せず）等を設けるとよい。
【００３６】
次に、上記の如く構成された本発明第２の実施におけるファンフィルタユニット５の作用を説明する。
【００３７】
エア内に有害ガスが含まれていない場合、図１０（ａ）に示すように、２つのモータ４２を駆動して、分割された２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を矢印Ｂ方向に揺動させる。これにより、２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９は観音開き状に開いて対向するそれぞれの側壁面に当接するので、矢印２６に示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８のみを通過して吹出口１６から吹き出される。また、エア内に有害ガスが含まれる場合、図１０（ｂ）に示すように、２つのモータ４２を駆動して、側壁面に当接した状態の２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を矢印Ａ方向に揺動させる。これにより、２枚の有害ガス濾過用フィルタ１９は再び塵埃濾過用フィルタ１８に当接して重なるので、矢印２６に示すように、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を通過して吹出口１６から吹き出される。
【００３８】
従って、本発明の第２の実施の形態の場合にも、ファンフィルタユニット５に塵埃濾過用フィルタ１８と有害ガス濾過用フィルタ１９の両方を設けても、エア中に有害ガスが存在しない場合には、エアが有害ガス濾過用フィルタ１９を通過しないようにできるので、有害ガス濾過用フィルタ１９の寿命を延ばすことができる。また、第２の実施の形態の場合には、第１の実施の形態のように、ケーシング１４内を２つの流路に分けなくてもよいので、より大きな濾過面積を確保することができる。
【００３９】
なお、有害ガス濾過用フィルタ１９は、２枚に分割して観音開き状に揺動させることに限定されるものではなく、図１１のように、一枚の有害ガス濾過用フィルタ１９を揺動させるようにしてもよい。また、有害ガス濾過用フィルタ１９と塵埃濾過用フィルタ１８とは重なった状態に配置する必要はなく、図１２に示すように、塵埃濾過用フィルタ１８を吹出口１６近傍に配置し、有害ガス濾過用フィルタ１９をファン１５近傍に配置してもよい。
【００４０】
また、退避手段としては、有害ガス濾過用フィルタ１９に吸引口１３から吹出口１６に流れるエアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させることができる手段であればよく、図１３に示すように、必要に応じて塵埃濾過用フィルタ１８や有害ガス濾過用フィルタ１９を遮蔽することができる遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを使用することもできる。即ち、図１３のように、吹出口１６一面を塞ぐように配設した塵埃濾過用フィルタ１８の上側に、塵埃濾過用フィルタ１８の略１／２の面積の有害ガス濾過用フィルタ１９を重ね、有害ガス濾過用フィルタ１９の上側に、観音開き状に開く一対の遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを配設するようにしてもよい。一対の遮蔽板４４Ａ、４４Ｂの基端部は前記したと同じ９０°角だけ遮蔽板４４Ａ、４４Ｂを揺動可能な正逆回転可能なモータ４２に連結される。そして、エア中に有害ガスが含まれない場合には、遮蔽板４４Ａを矢印Ｂ方向に揺動させると共に、遮蔽板４４Ｂを矢印Ａ方向に揺動させる。これにより、遮蔽板４４Ｂにより有害ガス濾過用フィルタ１９が覆われるので、エアが通過しないように有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させることができる。従って、ファン１５により吸引口１３から吸引されたエアは塵埃濾過用フィルタ１８のみを通過して吹出口１６から吹き出される。また、エア中に有害ガスが含まれる場合には、遮蔽板４４Ａを矢印Ａ方向に揺動させると共に、遮蔽板４４Ｂを矢印Ｂ方向に揺動させる。これにより、塵埃濾過用フィルタ１８一層側にはエアが通過しないようにでき、有害ガス濾過用フィルタ１９と塵埃濾過用フィルタ１８の２層側にエアが通過するようにできる。
【００４１】
図１４は、本発明の第３の実施の形態を説明する構成図であり、ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する有害ガスセンサー５０を設け、有害ガスセンサー５０が有害ガスを検出したときに、有害ガス濾過用フィルタ１９でエア中の有害ガスを濾過するように切り換え手段を切り換えるように構成したものである。
【００４２】
基本的な構成は図２の通りであるが、ファンフィルタユニット５の吸引口１３上部に有害ガスセンサー５０が設置され、有害ガスセンサー５０の検出結果が支え棒を駆動する駆動装置５２に送られるように構成されている。そして、有害ガスセンサー４０の検出結果に応じて駆動装置５２が支え棒２９をケーシング内に押し込む動作又は支え棒２９をケーシング１４内から引き抜く方向に引っ張る動作を行う。これにより、エア中の有害ガスの有無に応じて、エア流路２４、２５の切り換えを確実且つ自動的に行うことができる。なお、駆動装置５２としては、例えばシリンダ装置を使用することができ、シリンダ装置のピストンロッド先端に支え棒２９の把手を支持するようにすればよい。また、揺動板２３が所定の揺動位置で停止するようにシリンダのストローク長さを調整しておくとよい。
【００４３】
また、本発明の第３の実施の形態は、図８の有害ガス濾過用フィルタ１９を退避させる退避手段を備えたファンフィルタユニット５にも適用することができ、この場合には、有害ガスセンサー５０の検出結果に応じて、有害ガス濾過用フィルタ１９を揺動させるモータ４２を駆動させればよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のファンフィルタユニットによれば、塵埃濾過用フィルタと有害ガス濾過用フィルタの両方を設けてエア中の塵埃と有害ガスを濾過でき、しかも比較的高価な有害ガス濾過用フィルタの寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のファンフィルタユニットを設置する一般的なクリーンルームの構成断面図
【図２】本発明の第１の実施の形態を示した、ファンフィルタユニットの構成断面図
【図３】（ａ）エア流路として塵埃濾過用フィルタを選択した時における、ファンフィルタユニットの断面図
（ｂ）エア流路として有毒ガス濾過用フィルタおよび塵埃濾過用フィルタを選択した時における、ファンフィルタユニットの断面図
【図４】伸縮自在な揺動板を説明する分解図
【図５】伸縮自在な揺動板のローラとケーシングとの関係を説明する説明断面図
【図６】図４及び図５の伸縮自在な揺動板の動作を説明する説明図
【図７】本発明の第１の実施の形態の変形例を説明する説明図
【図８】本発明の第１の実施の形態の他の変形例を説明する説明図
【図９】本発明のファンフィルタユニットの第２の実施の形態の構成図
【図１０】本発明の第２の実施の形態におけるファンフィルタユニットの作用を説明する説明図
【図１１】本発明の第２の実施の形態の変形例を説明する説明図
【図１２】本発明の第２の実施の形態の他の変形例を説明する説明図
【図１３】本発明の第２の実施の形態の別の変形例を説明する説明図
【図１４】本発明のファンフィルタユニットの第３の実施の形態の構成図
【符号の説明】
１…クリーンルーム、２…導入ダクト、３…清浄室、４…天井フレーム、５…ファンフィルタユニット、６…矢印、７…床下チャンバ、８…グレーチング床、９…リターン通路、１０…排気ダクト、１１…天井チャンバ、１３…吸引口、１４…ケーシング、１４Ａ…ケーシング本体、１４Ｂ…開口部、１４Ｃ…ファンボックス、１５…ファン、１６…吹出口、１７…フィルタ部、１８…塵埃濾過用フィルタ、１９…有害ガス濾過用フィルタ、２０…エア流路切り換え手段、２１…回動軸、２２…仕切板、２３…揺動板、２４、２５…流路、２６…矢印、２７…スプリング、２８…ロック部材、２９…支え棒、２９Ａ…把手、３１…板状部材、３３…カバー部材、３５…ローラ、３７…スプリング、４２…モータ、４４Ａ、４４Ｂ…遮蔽板、５０…有害ガスセンサー、５２…駆動装置

Claims

吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部とを備えたファンフィルタユニットにおいて、
前記ケーシング内に、揺動板が揺動することにより前記吸引口から前記吹出口に至る２つの異なるエア流路に交互に切り換え可能なエア流路切り換え手段を設け、
前記２つの流路のうち、一方の流路には前記フィルタ部としてエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタを配設すると共に、他方の流路には前記フィルタとして前記塵埃濾過用フィルタとエア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタの両方を配設したことを特徴とするファンフィルタユニット。
吸引口と吹出口とが形成されたケーシング内にエアを吸引して吹き出すファンと、該ファンにより吸引されたエアを濾過するフィルタ部を備えたファンフィルタユニットにおいて、
前記ケーシング内に、前記フィルタ部として、前記吸引されたエア中の塵埃を濾過する塵埃濾過用フィルタと前記エア中の有害ガスを濾過する有害ガス濾過用フィルタとの両方を配設すると共に、前記有害ガス濾過用フィルタには前記吸引口から前記吹出口に流れるエアが通過しないように退避させる退避手段を設けたことを特徴とするファンフィルタユニット。
前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、
前記センサーが前記有害ガスを検出したときに、前記有害ガス濾過用フィルタでエア中の有害ガスを濾過するように前記切り換え手段を切り換えることを特徴とする請求項１のファンフィルタユニット。
前記ケーシング内に吸引されるエア中の有害ガスを検出する検出センサーを設け、
前記センサーが前記有害ガスを検出しないときは、前記退避手段により前記有害ガス濾過用フィルタを退避させることを特徴とする請求項２のファンフィルタユニット。