JP2004167476A - スリットコータの予備吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 洗浄槽11上面には蓋体13,14を設け、蓋体13には循環する洗浄液を噴出する第1循環液シャワーノズル15を形成し、蓋体14には空気,窒素ガスなどの乾燥ガスを噴出するノズル16を形成し、また、円筒状プライミングローラ12の回転方向を基準として、蓋体13から蓋体14に向けて、第1スキージ17、第2循環液シャワーノズル18、ブラシローラ19、第2スキージ20および新しい洗浄液を噴出する新液シャワーノズル21を配置している。
【選択図】 図2
Description
尚、液体と空気を混合して噴出する2流体ノズルについては、特許文献2および特許文献3に記載されている。
これら回転バー23とノズル24は併用して使用しても良いし、個別に使用してもよい。
2…脚
3…テーブル
4…水平プレート
5…ピン
6…貫通穴
7…リニアモータ
8…移動部材
9…スリットノズル
11…洗浄槽
12…円筒状プライミングローラ
13,14…蓋体
15…第1循環液シャワーノズル
16…乾燥ガスを噴出するノズル
17…第1スキージ
17a、20a…ネジ部材
18…第2循環液シャワーノズル
19…ブラシローラ
20…第2スキージ
21…新液シャワーノズル
22…排気ダクト
23…回転バー
24…洗浄液または窒素ガスを噴出するノズル
25…回収路
26…ドレーン口
27…液面調整用排液部材
28…第1循環液2流体ノズル
29…第2循環液シャワーノズル
30…新液2流体ノズル
31…バブリングノズル
32…廃液通路(トラップタンク)
33…廃液通路(循環用バッファタンク)
C…塗布装置
P…予備吐出装置。
Claims (13)
- 洗浄液を保持する洗浄槽と、この洗浄槽内に配置されスリットコータの吐出ノズルからの塗布液を表面に付着せしめて取り除く回転ローラと、回転ローラの表面に向かって洗浄液を噴出するシャワーノズルとを備えたスリットコータの予備吐出装置において、前記シャワーノズルは新液を噴出する新液シャワーノズルと循環液を噴出する循環液シャワーノズルからなり、新液シャワーノズルは回転ローラの回転方向を基準として循環液シャワーノズルよりも前方に位置することを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記循環液シャワーノズルは、上部循環液シャワーノズルと下部循環液シャワーノズルからなることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1または請求項2に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズルの上方に回転ローラの表面に乾燥ガスを噴出するガス噴出ノズルが配置されていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項3に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズルまたは循環液シャワーノズルの下方には回転ローラの表面に付着している塗布液を掻き落とすスキージが調整可能に配置されていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 洗浄液を保持する洗浄槽と、この洗浄槽に配置されスイリットコータの吐出ノズルからの塗布液を表面に付着せしめて取り除く回転ローラと、回転ローラの表面に向かって洗浄液を噴出する2流体ノズルとを備えたスリットコータの予備吐出装置において、前記2流体ノズルは新液を噴出する新液2流体ノズルと循環液を噴出する循環液2流体ノズルからなり、新液2流体ノズルは回転ローラの回転方向を基準として循環液2流体ノズルよりも前方に位置することを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項5に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記循環液2流体ノズルは、上部循環液2流体ノズルと下部循環液2流体ノズルからなることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項5または請求項6に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液2流体ノズルの上方に回転ローラの表面に乾燥ガスを噴出するガス噴出ノズルが配置されていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項5乃至請求項7に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液2流体ノズルまたは循環液2流体ノズルの下方に回転ローラの表面に付着している塗布液を掻き落とすスキージが調整可能に配置されていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項8に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記洗浄槽内には回転ローラに接触するブラシローラが設けられ、このブラシローラは少なくとも一部が洗浄槽内の洗浄液中に浸漬していることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項9に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記ブラシローラの近傍にはブラシローラを洗浄する回転バーが設けられていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項9に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記ブラシローラの近傍にはブラシローラを洗浄するガスまたは洗浄液を噴出するノズルが設けられていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項8に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記洗浄槽内には回転ローラに対して洗浄液を吹き付けるバブリングノズルが設けられていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項12に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記洗浄槽内には上下位置が可変な液面調整用排液部材が設けられ、この液面調整用排液部材が最上位の位置で液面は回転ローラの下端よりも上方となり、最下位の位置で液面は回転ローラの下端よりも下方となることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
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