JP2004129181A - 水晶振動子の電極構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音叉型水晶あるいは溝付き音叉型水晶等の腕部若しくは基部に貫通孔を設け、該貫通孔の内側面に導電膜を形成し、該導電膜により腕部表裏の平面電極を接続するように構成した。
【選択図】図2
Description
【発明の属する技術分】
本発明は、屈曲振動を有する水晶振動子、例えば音叉型や三脚音叉型の小型化に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
周波数が32.768KHzの屈曲振動を有する音叉型水晶振動子は、腕時計、置き掛け時計を始め、コンピューター、家電製品、OA機器、自動車、携帯電話等の時間基準源として大量に用いられている。このような従来の音叉型の電極構造について、以下に図面を用いて説明する。
【0003】
図5は、従来の音叉型の電極構造を示し、(a)は平面図であり、(b)は電極の接続方法を示すAA断面における断面図であり、図6は、従来の溝付き音叉型の電極構造を示す断面図である。
【0004】
図5において、音叉型水晶51は基部52から突出した左腕部53及び右腕部54から構成され、左腕部53の表裏に平面電極55a、55b及び側面電極56a、56bと右腕部54の表裏に平面電極57a、57b及び側面電極58a、58bが形成されている。これらの電極は、音叉型の二つの腕が逆位相で紙面に平行に振動するように、図5(b)に示したように、端子73、74に交流電圧を印加したときに、左腕の表裏の平面電極と右腕の左右の側面電極が同電位になるように、又右腕の表裏の平面電極と左腕の左右の側面電極が同電位になるように接続されている。
【0005】
導電膜61は各腕の左右の側面電極を接続し、導電膜62は各腕の表裏の平面電極を接続するものである。基部表面の接続電極63は、側面電極58aと電圧を印加する基部電極64を接続するものであり、同様に基部裏側に、側面電極56bと接続する接続電極と電圧を印加する基部電極が設けられている。
【0006】
近年、音叉型の小型化のため図6に示すような溝付き音叉型が提案されている。これは、左腕部65の長手方向表裏に溝66a、66bと右腕部67の長手方向表裏に溝68a、68bを設けたものである。その電極構造は、左腕の溝部の全体に平面電極70a、70bとその側面に側面電極69a、69bが、右腕の溝部の全体に平面電極72a、72bとその側面に側面電極71a、71bが形成されている。このため、電界が垂直に働き、電気機械変換効率が良くなり,クリスタルインピーダンス(以下CIと記す。)の良好な小型の音叉が得られる(例えば、特許文献1あるいは特許文献2参照。)。尚各電極の接続方法は、図5(b)と同様であるので説明を省略する。
【0007】
【特許文献1】
特開昭52−61985号公報(第7−8頁、第4図)
【特許文献2】
特開2002−76827号公報(第10−11頁、図2、図3)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の電極構造においては、側面電極と基部電極を接続する接続電極が腕部の根元から基部へ配置されている。このため接続電極と平面電極間Pは0.02mm程度と非常に狭く、接続電極が、平面電極と短絡したり、側面電極と接触不良や断線を起こしたりするという問題があった。又、周波数32.768KHzの溝付き音叉型においては、その寸法が一例として、腕の長さ1.6mm腕の幅0.1mmと非常に小さいため、接続電極の幅が0.01mm、接続電極と平面電極間Pが0.01mm程度しか取れず、前記不良が多発しコストアップになるという問題もあった。
【0009】
本発明の目的は、上記課題を解決しようとするもので、従来の音叉型の電極構造に対し、小型化による電極不良の発生を防止できる電極構造を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の水晶振動子の電極構造は、以下に記した特徴を有する。
【0011】
請求項1に係わる発明の水晶振動子の電極構造は、基部電極と接続電極を有する基部から突出して形成される少なくとも一本の腕部の表裏に設けられた平面電極と該腕部の側面に設けられた側面電極とを有する水晶振動子において、前記表裏の平面電極は、腕部若しくは基部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により電気的に接続されていることを特徴とするものである。
【0012】
請求項2に係わる水晶振動子の電極構造の貫通孔は、腕部若しくは基部に少なくとも一ヶ所以上設けられていることを特徴とするものである。
【0013】
請求項3に係わる水晶振動子の貫通孔の平面形状は、円形、正方形、長方形、ひし形あるいはこれらの組み合わせの形のいずれかであることを特徴とするものである。
【0014】
請求項4に係わる水晶振動子の貫通孔は、二本の腕部を有する音叉型若しくは三本の腕部を有する三脚音叉型に設けられていることを特徴とするものである。
【0015】
請求項5に係わる音叉型の電極構造は、基部の貫通孔により、左腕部接続電極と右腕部接続電極とが基部の表裏に分離され、かつ基部の右隅及び左隅に備えられた基部電極にそれぞれ接続されていることを特徴するものである。
【0016】
請求項6に係わる水晶振動子の電極構造は、基部電極と接続電極を有する基部から突出して形成される少なくとも一本の腕部の表裏に設けられた溝に平面電極と、該腕部の側面に側面電極とを有する水晶振動子において、前記表裏の平面電極は、腕部若しくは基部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により電気的に接続されていることを特徴とするものである。
【0017】
請求項7に係わる水晶振動子の電極構造の貫通孔は、腕部若しくは基部に少なくとも一ヶ所以上設けられていることを特徴とするものである。
【0018】
請求項8に係わる水晶振動子の貫通孔の平面形状は、円形、正方形、長方形、ひし形あるいはこれらの組み合わせの形のいずれかであることを特徴とするものである。
【0019】
請求項9に係わる水晶振動子の貫通孔は、二本の腕部を有する音叉型若しくは三本の腕部を有する三脚音叉型に設けられていることを特徴とするものである。
【0020】
請求項10に係わる音叉型の電極構造は、基部の貫通孔により、左腕部接続電極と右腕部接続電極とが基部の表裏に分離され、かつ基部の右隅及び左隅に備えられた基部電極にそれぞれ接続されていることを特徴とするものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は本発明の第一の実施の形態を示し、(a)は音叉型の電極構造の平面図、(b)はAA断面における断面図である。
【0022】
図1において、音叉型水晶1は基部2から突出した左腕部3及び右腕部4から構成されている。左腕部3には左側面電極5a、右側面電極5bが形成され、これらは導電膜15により接続されている。さらに左側面電極5aは、導電膜17により基部電極11に接続されている。
【0023】
右腕部4には左側面電極6a、右側面電極6bが形成され、これらは導電膜16により接続されている。さらに右側面電極6bは、導電膜18により基部裏面の基部電極12に接続されている。尚、基部電極は本実施例において、基部の片面に設けてあるが、基部の表裏両面に設けてもよい。
【0024】
左腕部3の表裏の平面電極7aと7bは、この腕に設けられた平面形状が円形を有する貫通孔9aの内側面に形成された導電膜9bにより接続されている。同様に、右腕部4の表裏の平面電極8aと8bは、この腕に設けられた平面形状が円形を有する貫通孔10aの内側面に形成された導電膜10bにより接続されている。貫通孔の平面形状は、円形の他、正方形、長方形、ひし形あるいはこれらの組み合わせの形のいずれでも良い.
【0025】
基部電極11と平面電極8aは接続電極13により接続され、裏面の基部電極12と平面電極7bは裏面の接続電極14により接続されている。
【0026】
このように、表裏の平面電極は、腕部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により接続されている。これにより、側面電極と基部電極を接続する基部に配置される接続電極が不要となり、接続電極と平面電極との短絡や接続電極と側面電極との接触不良や断線等の電極不良が無くなった。
【0027】
尚、上記のような音叉型は、フォトリソグラフィー技術と化学エッチング技術により作られ、電極や導電膜の材料には、二層の金属膜、例えばNi−Au、Cr−Au、Ti−Pd、Ti−Au等が用いられ、膜の厚さは約1000〜2000オングストロームである。
【0028】
図2は本発明の第二の実施の形態を示し、(a)は溝付き音叉型の電極構造の平面図、(b)はAA断面における断面図、(c)はBB断面における断面図である。
【0029】
図2において、溝付き音叉型水晶19は左腕部20の表裏長手方向に沿って溝22a、22bを、同様に右腕部21に溝23a、23bを有している。左腕部20には左側面電極24a、右側面電極24bが形成され、これらは導電膜26により接続されている。さらに左側面電極24aは導電膜28により基部電極30に接続されている。
【0030】
右腕部21には左側面電極25a、右側面電極25b、が形成され、これらは導電膜27により接続されている。さらに右側面電極25bは導電膜29により基部裏側の基部電極31に接続されている。尚、基部電極は基部の表裏両面に設けてもよい。
【0031】
左腕部20の溝22a、22bの全体を覆うように設けられた平面電極33a及び33bは、音叉の基部に設けられた平面形状が長方形の貫通孔34の内側面に形成された導電膜35aにより接続され、基部裏側の接続電極36を通じて基部電極31に接続されている。
【0032】
右腕部21の溝23a、23bの全体を覆うように設けられた平面電極38a及び38bは、貫通孔34の内側面に形成された導電膜35bにより接続され、基部表側の接続電極37を通じて基部電極30に接続されている。尚、平面電極と貫通孔内導電膜は基部導電膜32a、32bにより接続されている。
【0033】
このように基部の貫通孔34により、左腕部接続電極36と右腕部接続電極37が基部の表裏に分離され、基部の右隅の基部電極31及び左隅の基部電極30に接続されている。これにより、側面電極と基部電極を接続する基部に配置される接続電極が不要となり、小型化により多発する電極不良が無くなった。
【0034】
図3は本発明の第三の実施の形態を示す溝付き音叉型の平面図で、電極構造を省略してある。溝付き音叉型水晶39は左右の腕部に溝40、41を有し、基部に縦型の長方形の貫通孔42を設けてある。
【0035】
図4は本発明の第四の実施の形態を示す溝付き三脚音叉型の平面図で、電極構造を省略してある。溝付き三脚音叉型水晶43は基部から突出した三本の腕部44、45、46を有し、それぞれの腕部に溝47、48、49及び基部に長方形の貫通孔50が設けてある。これらも前記説明と同様な効果を有していた。
【0036】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基部電極と接続電極を有する基部から突出して形成される少なくとも一本の腕部の表裏に設けられた平面電極と該腕部の側面に設けられた側面電極とを有する水晶振動子において、前記表裏の平面電極は、腕部若しくは基部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により電気的に接続されていることにより、側面電極と基部電極を接続するための腕部根元から基部に配置される接続電極が不要となり、接続電極と平面電極との短絡や接続電極と側面電極との接触不良や断線が無くなった。又、腕部に溝を有するものについても同様に電極不良が無くなり、CI値の良好な低コストの小型水晶振動子が得られ、本発明の効果は極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施の形態の(a)は音叉型の電極構造の平面図、(b)はAA断面における断面図である。
【図2】本発明の第二の実施の形態の(a)は溝付き音叉型の電極構造の平面図、(b)はAA断面における断面図、(c)はBB断面における断面図である。
【図3】本発明の第三の実施の形態の溝付き音叉型の平面図である。
【図4】本発明の第四の実施の形態の溝付き三脚音叉型の平面図である。
【図5】従来の音叉型の電極構造の(a)は平面図、(b)は電極接続方法の断面図である。
【図6】従来の溝付き音叉型の電極構造の断面図である。
【符号の説明】
1 音叉型水晶
19、39 溝付き音叉型水晶
3、20 左腕部
4、21 右腕部
22a、22b、23a、23b 溝
5a、6a、24a、25a 左側面電極
5b、6b、24b、25b 右側面電極
15、16、17、18、26、27、28、29、32a、32b 導電膜
11、12、30、31 基部電極
7a、7b、8a、8b、33a、33b、38a、38b 平面電極
9a、10a、34、42、50 貫通孔
9b、10b、35a、35b 導電膜
13、14、36、37 接続電極
43 三脚音叉型水晶
Claims (10)
- 基部電極と接続電極を有する基部から突出して形成される少なくとも一本の腕部の表裏に設けられた平面電極と該腕部の側面に設けられた側面電極とを有する水晶振動子において、前記表裏の平面電極は、腕部若しくは基部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により電気的に接続されていることを特徴とする水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔は、腕部若しくは基部に少なくとも一ヶ所以上設けられていることを特徴とする請求項1記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔の平面形状は、円形、正方形、長方形、ひし形あるいはこれらの組み合わせの形のいずれかであることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔は、二本の腕部を有する音叉型若しくは三本の腕部を有する三脚音叉型に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記音叉型の電極構造は、基部の貫通孔により、左腕部接続電極と右腕部接続電極とが基部の表裏に分離され、かつ基部の右隅及び左隅に備えられた基部電極にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項1乃至4に記載の水晶振動子の電極構造。
- 基部電極と接続電極を有する基部から突出して形成される少なくとも一本の腕部の表裏に設けられた溝に平面電極と、該腕部の側面に側面電極とを有する水晶振動子において、前記表裏の平面電極は、腕部若しくは基部に設けられた貫通孔の内側面に形成された導電膜により電気的に接続されていることを特徴とする水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔は、腕部若しくは基部に少なくとも一ヶ所以上設けられていることを特徴とする請求項6記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔の平面形状は、円形、正方形、長方形、ひし形あるいはこれらの組み合わせの形のいずれかであることを特徴とする請求項6又は7のいずれかに記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記貫通孔は、二本の腕部を有する音叉型若しくは三本の腕部を有する三脚音叉型に設けられていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の水晶振動子の電極構造。
- 前記音叉型の電極構造は、基部の貫通孔により、左腕部接続電極と右腕部接続電極とが基部の表裏に分離され、かつ基部の右隅及び左隅に備えられた基部電極にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項6乃至9に記載の水晶振動子の電極構造。
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