JP2004108285A - マイクロ流体デバイス - Google Patents
マイクロ流体デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004108285A JP2004108285A JP2002273237A JP2002273237A JP2004108285A JP 2004108285 A JP2004108285 A JP 2004108285A JP 2002273237 A JP2002273237 A JP 2002273237A JP 2002273237 A JP2002273237 A JP 2002273237A JP 2004108285 A JP2004108285 A JP 2004108285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- microfluidic device
- chip
- joint surface
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title abstract description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 16
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 10
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 39
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 34
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- -1 Polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007876 drug discovery Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003891 environmental analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
【解決手段】第1接合面12a、ポンプ機構MP、およびポンプ機構MPに連通しかつ第1接合面12aに開口する流路131,132が設けられたポンプユニット11および12と、第1接合面12aと接離可能に接合するための第2接合面13b、および第2接合面13bに開口してポンプユニット12の流路131,132に接続可能な流路142,143,145,146が設けられた流路ユニット13とを有し、第1接合面12aを構成する材料および第2接合面13bを構成する材料の少なくとも一方が自己シール性を有する弾性材料からなる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学分析や化学合成などを行うために用いられるマイクロ流体デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年において、マイクロマシン技術を応用し、化学分析や化学合成などのための機器や手法を微細化して行うμ−TAS(Micro Total Analysis System)が注目されている。微細化されたμ−TASによると、従来の装置と比べて試料の必要量が少ない、反応時間が短い、廃棄物が少ない、などのメリットがある。また、医療分野に使用した場合には、血液など検体の量を少なくすることで患者の負担を軽減でき、また、試薬の量を少なくすることで検査のコストを下げることができる。さらに、検体および試薬の量が少ないことから、反応時間が大幅に短縮され検査の効率化が図れる。そして携帯性にも優れるため、医療分野、環境分析など、広い範囲でその応用が期待されている。
【0003】
さて、マイクロ流体システムを用いた化学分析、環境計測などでは、デバイス(チップ)上で送液、混合、検出を行うために、マイクロポンプやシリンジポンブなどの送液手段を必要とする。チップと送液手段とが切り離されて構成される場合には、両者を何らかのインタフェースで接続する必要があるが、その接続時に気泡が混入するといった問題が発生する。また、接続部分のデッドボリュームが大きくなるため、レスポンスが悪くなって精密な送液制御が困難であったり、無駄な検体や試薬を必要とすることになる。シリンジポンプなど外付けの送液手段をチップに接続した場合には、装置の全体が大きくなり、マイクロ流体システムの利点が生かせない。
【0004】
シリコンマイクロマシニングを用いたマイクロポンプについては、特開平10−299659、特開平10−110681、特開2001−322099など、数々の報告がなされている。
【0005】
【特許文献】
特開平10−299659
特開平10−110681
特開2001−322099
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上に述べたように、従来において、マイクロポンプ単体の構造、またはマイクロポンプと流路基板とを一体化したマイクロ流体デバイスなどが提案されている。
【0007】
しかし、従来に提案されているそれらのマイクロ流体デバイスでは、内容の異なる分析または合成を行う場合に、それらの内容に応じて個々にマイクロ流体デバイスを構成しなければならなかった。すなわち、種々の分析または合成を行おうとする場合に、それらの内容に合わせて流路を変更することが容易ではなかった。
【0008】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、デッドボリュームが小さくてレスポンスが良好であり、分析または合成などの用途に応じて流路を容易に変更することのできるマイクロ流体デバイスを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のマイクロ流体デバイスは、第1接合面、ポンプ機構、および前記ポンプ機構に連通しかつ前記第1接合面に開口する流路が設けられたポンプユニットと、前記第1接合面と接離可能に接合するための第2接合面、および前記第2接合面に開口して前記ポンプユニットの流路に接続可能な流路が設けられた流路ユニットと、を有し、前記第1接合面を構成する材料および前記第2接合面を構成する材料の少なくとも一方が自己シール性を有する弾性材料からなる。
【0010】
また、第1接合面、ポンプ機構、および前記ポンプ機構に連通しかつ前記第1接合面に開口する第1流路が設けられたポンプユニットと、第2接合面および前記第2接合面に開口する第2流路が設けられた流路ユニットと、前記第1接合面と接合する第3接合面および前記第2接合面と接合する第4接合面を有し、かつ前記第1流路と前記第2流路とを互いに接続するための連通孔が設けられたシート状体と、を有し、前記シート状体は、自己シール性を有する弾性材料で構成され、前記流路ユニットおよび前記ポンプユニットの少なくとも一方に対して接離可能に接合するように構成する。
【0011】
好ましくは、前記シート状体が、PDMSで構成される。また、前記シート状体が、透光性を有する。前記ポンプユニットおよび前記流路ユニットの少なくとも一方をシート状とする。
【0012】
本発明において、自己シール性とは、外力を加えなくとも漏液を生じない程度に接触対象面と密着しこれを維持する性質をいう。また、弾性材料には、人の素手の力によって弾性的な変形を生じさせることのできる程度の弾性を有する材料を含む。
【0013】
【発明の実施の形態】
〔第1の実施形態〕
図1は本発明に係る第1の実施形態のマイクロ流体デバイス1の分解斜視図、図2はマイクロ流体デバイス1の正面断面図、図3はマイクロポンプチップ11の平面図、図4は流路チップ13の平面図、図5は流路チップ13を製作する工程の一部を説明する図、図6は圧電素子112の駆動電圧の波形の例を示す図である。
【0014】
なお、図1において、流路チップ13に設けられた流路141および穴142,143が図の上面に露出しているかのように描かれているが、流路チップ13が透明であるためにそのように見えるだけであり、実際には以下に説明するようにそれらは流路チップ13の下面に設けられている。
【0015】
図1および図2において、マイクロ流体デバイス1は、マイクロポンプチップ11、ガラス基板12、および流路チップ13からなる。
【0016】
マイクロポンプチップ11は、シリコン基板111、圧電素子(PZT)112、および図示しないフレキシブル配線からなる。図の例では、マイクロポンプチップ11には、ディフューザー型の2つのマイクロポンプMP1,MP2が形成されている。これらのマイクロポンプMP1,MP2は互いに同じ構造であるから、以下においては一方のみについてその構造を説明する。
【0017】
シリコン基板111は、例えば17×35×0.2mmの大きさの長方形のシート状である。シリコン基板111は、シリコンウエハを公知のフォトリソグラフィー工程で所定の形状に加工して形成したものである。つまり、例えば、パターニングされたシリコン基板をICPドライエッチング装置を用いて所定の深さまでエッチングする。シリコン基板111に形成された各マイクロポンプMPは、ポンプ室121、ダイヤフラム122、第1絞り流路123、第1流路124、第2絞り流路125、および第2流路126を有する。第1流路124の先端にはポート124Pが、第2流路126の先端にはポート126Pが、それぞれ設けられる。
【0018】
第1絞り流路123は、その流入側と流出側との差圧が零に近いときは流路抵抗が低いが、差圧が大きくなると流路抵抗が大きくなる。つまり圧力依存性が大きい。第2絞り流路125は、差圧が零に近いときの流路抵抗は第1絞り流路123の場合よりも大きいが、圧力依存性がほとんどなく、差圧が大きくなっても流路抵抗は余り変化せず、差圧が大きい場合に流路抵抗が第1絞り流路123よりも小さくなる。
【0019】
このような流路抵抗特性は、流路を流れる液体(流体)が、差圧の大きさに応じて乱流となるようにするか、または差圧にかかわりなく常に層流となるようにするか、によって得ることが可能である。具体的には、例えば、第1絞り流路123を流路長の短いオリフィスとし、第2絞り流路125を第1絞り流路123と内径が同じで流路長の長いノズルとすることによって実現することが可能である。
【0020】
第1絞り流路123と第2絞り流路125のこのような流路抵抗特性を利用して、ポンプ室121に圧力を発生させるとともに、その圧力の変化の割合を制御することによって、流路抵抗の低い方に液体を吐出するようなポンプ作用を実現することができる。
【0021】
つまり、ポンプ室121の圧力を上昇させるとともに、その変化の割合を小さくしておけば、差圧は余り大きくならないため第1絞り流路123の流路抵抗の方が第2絞り流路125の流路抵抗よりも小さく維持され、ポンプ室121内の液体は第1絞り流路123から吐出する(吐出工程)。そして、ポンプ室121の圧力を下降させるとともに、その変化の割合を大きくすれば、差圧が大きくなって第1絞り流路123の流路抵抗の方が第2絞り流路125の流路抵抗よりも大きくなり、第2絞り流路125からポンプ室121内に液体が流入する(吸入工程)。
【0022】
これとは逆に、ポンプ室121の圧力を上昇させるとともに、その変化の割合を大きくすれば、差圧が大きくなって第1絞り流路123の流路抵抗の方が第2絞り流路125の流路抵抗よりも高くなり、ポンプ室121内の液体は第2絞り流路125から吐出する(吐出工程)。そして、ポンプ室121の圧力を下降させるとともに、その変化の割合を小さくすれば、差圧が小さくなって第1絞り流路123の流路抵抗の方が第2絞り流路125の流路抵抗よりも小さくなり、第1絞り流路123からポンプ室121内に液体が流入する(吸入工程)。
【0023】
このようなポンプ室121の圧力制御は、圧電素子112に供給する駆動電圧を制御し、ダイヤフラム122の変形の量およびタイミングを制御することによって実現される。例えば、圧電素子112に図6(A)に示す波形の駆動電圧を印加することによってポート124Pの側から吐出し、図6(B)に示す波形の駆動電圧を印加することによってポート126Pの側から吐出する。
【0024】
図6において、印加する最大電圧e1 は、数ボルトから数十ボルト程度、最大で100ボルト程度である。また、時間T1,T7は60μs程度、時間T2,T6は数μs程度、時間T3,T5は20μs程度である。駆動電圧の周波数は11KHz程度である。
【0025】
なお、図3によく示されるように、第1流路124および第2流路126には、ポート124Pおよびポート126Pに接続する部分において、幅1mm、長さ4mm、深さ0.2mm程度の長方八角形状の液溜めがそれぞれ設けられている。この液溜めは、液体の反射成分を吸収するダンパーとして作用し、マイクロポンプMPの性能の向上を図るものである。
【0026】
マイクロポンプMPにおける液体との接触面には、熱酸化を施して親水化処理が行われている。これら2つのマイクロポンプMP1,2は、フォトリソグラフィー工程において一括して加工されるので、寸法などのバラツキが少なく、送液特性の誤差が生じ難い。
【0027】
ダイヤフラム122の外側の面には、上に述べた圧電素子112がはりつけられている。圧電素子112の駆動のための2つの電極は、圧電素子112の両側の表面に引き出され、図示しないフレキシブル配線と接続される。つまり、フレキシブル配線との接続のために、ダイヤフラム122の表面に透明電極膜であるITO膜が形成されており、ITO膜の上に接着剤で圧電素子112の片方の面を接着する。これによって圧電素子112の片方の電極がITO膜と電気的に接続され、そのITO膜とフレキシブル配線とが接続される。また、圧電素子112の他の片方の面には金メッキが施され、その金メッキ部分にフレキシブル配線を直接に接続する。フレキシブル配線自体も、シリコン基板111に接着剤で接着され、これによって電極との接続部に無理な力がかからないようになっている。
【0028】
ガラス基板12は、例えば、50×76×1mmの大きさの長方形の板状であり、表面12a,12bは滑らかであり、全体が透明である。ガラス基板12として、例えば、パイレックスガラス(Pyrex はCorning Glass Warks 社の登録商標)、テンパックスガラス(Tempax は Schott Glaswerk社の登録商標)などが用いられる。これらは熱膨張率がマイクロポンプチップ11の材料とほぼ同じである。ガラス基板12には、ポート124P,126Pと対応する位置に、直径が1.2mm程度の貫通孔131,132が設けられている。なお、マイクロポンプMPが2つあるので、実際にはこれら貫通孔131,132が2組設けられている。
【0029】
上に述べたマイクロポンプチップ11は、ガラス基板12の裏面(表面12b)において2つの辺が一致する位置で陽極接合により接合されている。
【0030】
これら、マイクロポンプチップ11とガラス基板12との接合体は、マイクロポンプユニットMUを構成する。マイクロポンプユニットMUは、上に述べたマイクロポンプMPの作動によって、一方の貫通孔132から液体を吸い込み、他方の貫通孔131から液体を吐出する。また、圧電素子112に印加する駆動電圧を制御することによって、液体の吸入と吐出の方向を逆にすることができる。なお、マイクロポンプチップ11それ自体の構造については、従来の技術の項で述べた特開2001−322099を参照することができる。
【0031】
流路チップ13は、例えば、50×76×3mmの大きさの長方形の板状であり、自己シール性を有する弾性材料からなり、透明または半透明であって透光性を有する。流路チップ13は、自己シール性を有するので、ガラス基板12の表面12aに載せるだけで、外力を加えなくともまた接着剤を用いなくとも自己吸着し、下側の表面13bがガラス基板12の表面12aに密着する。そして、それらの間にシール性が発揮され、かつ維持され、内部の液体は外部に漏れない。このような性質を有する材料として、例えば、シリコンゴムの一種であるPDMS(Polydimethylsiloxane)が用いられる。PDMSの市販品の例として、例えばDowCorning社製の「Sylgardl84」がある。
【0032】
流路チップ13には、表面13bの側に、化学分析用または化学合成用の流路141がパターニングされている。図の例では、流路141は、二股になった流路141a,141bと、それらが合流して1つになった流路141cとからなる。流路141の寸法形状の例を挙げると、幅が100μm程度、深さが100μm程度の断面矩形の溝である。流路141cの方が2つの流路141a,141bよりも断面積が大きくなっている。
【0033】
流路チップ13には、2つの流路141a,141bの始端位置に、ガラス基板12の2つの貫通孔131に対応して、表面13aに貫通しない穴142,143がそれぞれ設けられる。また、流路141cの終端位置に、表面13aに貫通する穴144が設けられる。穴144は、流路141を通過して不要になった液体を排出するためのものであり、他の穴よりも大きな径に形成されている。また、流路チップ13には、ガラス基板12の2つの貫通孔132に対応する位置に、内径が4mm程度の大きな穴145,146が設けられる。穴145,146は、マイクロ流体デバイス1の使用に際して、分析用の液体の液溜めとなる。これらの穴144,145,146は、例えば、パンチまたはドリルを用いて容易にあけることが可能である。
【0034】
流路チップ13は、上に述べたように自己シール性を有するので、ガラス基板12の表面12aに載せるだけで密着してシールされ、極めて簡単にかつ容易にマイクロ流体デバイス1を構成することができる。また、ガラス基板12から流路チップ13を引き剥がすことによってそれらが容易に分離するので、流路チップ13の洗浄を行ったり、他の流路構成の流路チップ13に容易に交換することができる。また、流路チップ13の厚さは数mm程度と薄く、携帯性、作業性が良い。さらに、流路チップ13を用いたマイクロ流体デバイス1を検出用の種々の装置などに搭載する際にも殆どスペースを取らないというメリットもある。
【0035】
このような流路チップ13は次のようにして製作することができる。つまり、図5に示すように、シリコン基板151上に厚膜レジスト152をスピンコートし、フォトリソグラフィー工程によって流路141の部分が凸になった母型BKを作成する。その母型BKに、PDMSを流し込み、加熱硬化させる。硬化したチップ153を母型BKから剥離することにより完成する。母型BKは繰り返して使用できるので、流路チップ13を容易に安価に大量生産することができる。なお、厚膜レジスト152の材料として、例えばMicroChem 社製のSU−8を用いることができる。
【0036】
上にように構成されたマイクロ流体デバイス1は、次のように動作する。
【0037】
すなわち、分析用または合成用の二種類の液体を穴145,146から供給する。液体は、穴145,146から貫通孔132,132を経てポート126P,126Pに導入される。マイクロポンプMP1,2によってポート124P,124Pから吐出され、貫通孔131,131を経て穴142,143に流入する。穴142,143から、流路141a,141bを通り、二種類の液体は合流点GTで合流し、流路141cに入って層流状の流れとなる。二種類の液体は、流路141cを流れている間に、自発的な拡散によって次第に混合し、所定の反応を行う。流路141の下流において、その反応に応じた検出、例えば、発光の検出、蛍光の検出、比色、比濁、散乱光の検出などを行う。液体は最終的には穴144から排出される。
【0038】
なお、上に述べたように液体をポート124Pから送り出す場合には、圧電素子112に図6(A)に示すような駆動電圧を印加する。また、ポート124Pから送り出した液体を逆流させたい場合には、圧電素子112に図6(B)に示すような駆動電圧を印加する。逆流を行わせるのは、例えば、一種類の液体のみを用いる場合に可逆変化を何回も観察する場合に有効である。
【0039】
上のように構成したマイクロ流体デバイス1は、極めて小型であり、携帯性、作業性に優れる。マイクロポンプチップ11とガラス基板12とが一体であり、かつガラス基板12の表面12aに流路チップ13が直接に密着するので、液体中に気泡が混入するといった問題の発生するおそれがない。マイクロポンプユニットMUと流路チップ13との接続の相性が非常に良く、接続部品を用いることなく1つの分析ユニットまたは実験ユニットを構成することができる。また、マイクロポンプMPと流路チップ13の流路141との間のデッドボリュームが極めて小さいので、マイクロポンプMPの動作が流路141の液体の動きに直接に反映されてレスポンスが良好であり、精密な送液制御が容易である。例えば、流路141に液体を送り出すタイミング、液量、液量の変化率、送り方向などを容易に正確に制御することができる。無駄な検体や試薬を必要としない。
【0040】
そして、分析または合成などの内容に応じて、流路チップ13を容易に取り替えることができる。したがって、流路の構成を容易に変更することができる。また、使用した流路チップ13を容易に取り外し、エタノールなどで洗浄して再使用することができ、その作業が容易である。マイクロ流体デバイス1に使用する液体は、水溶性でなくてもよく、液体の種類を選ばない。
【0041】
また、マイクロポンプチップ11を駆動するために数十ボルトの低い電圧を印加すればよいので、例えば従来に用いられている電気泳動チップが数KVの電圧を要するのと比較すると、その駆動、制御、取り扱いが容易である。
【0042】
流路チップ13の材料として用いたPDMSは、光透過性に優れており、流路141を流れる液体の観察、液体による透過光または反射光の検出にも都合が良い。しかし、必ずしもPDMSである必要はない。例えばシリコン系のゴムのように、自己シールが可能な弾性体(軟弾性体)であればよい。
【0043】
図7は流路141の合流点GTの近辺における液体の状態を示す図である。
【0044】
マイクロポンプMP1,MP2の各圧電素子112は、互いに独立して制御することができる。例えば、駆動電圧、波形、周波数などを別個に変化させることにより、各マイクロポンプMP1,MP2で送り出される二種類の液体A,Bの送液バランスを制御することができる。
【0045】
図7(A)(B)(C)は、送液割合A対Bが、それぞれ、1対1、1対4、4対1の場合を示す。これは、例えば、圧電素子112に印加する駆動電圧の大きさの割合A対Bを、それぞれ、1対1、1対2、2対1とすることにより実現することができる。実際の電圧として、例えば、10ボルト対10ボルト、10ボルト対20ボルト、20ボルト対10ボルトとする。マイクロポンプMPの吐出量は、通常、駆動電圧の大きさに比例するが、各流路141a,141bから合流点GTに流れ込む液体の勢いによって実際の流量が影響されるので、吐出量の比が送液割合と一致しないことが多い。
【0046】
また、各マイクロポンプMP1,MP2によって送液を行いながら、送液割合A対Bを変化させることができる。例えば、図7(D)に示すように、送液割合A対Bを直線状に変化させ、二種類の液体A,Bの混合液に濃度勾配やpH勾配をつけることもできる。
【0047】
いずれにしても、駆動電圧の制御によって、二種類の液体A,Bの量を制御し、流路141における所望の反応を得ることができる。
【0048】
また、2つの流路141a,141bの合流点GTにおける交差角度を種々選択することによって、送液割合を調整することが可能である。
〔第1の実施形態における変形例〕
次に、上の実施形態における変形例のマイクロ流体デバイスについて説明する。
【0049】
上に述べたマイクロ流体デバイス1においては、マイクロポンプチップ11に2つのマイクロポンプMP1,MP2を設けたが、1つまたは3つ以上のマイクロポンプMPを設けてもよい。また、各マイクロポンプMPの吐出量、吐出圧力などの仕様を異ならせてもよい。
【0050】
図8は、1つのマイクロポンプMP3を設けたマイクロポンプチップ11Bを用い、これに、ガラス基板12B、流路チップ13Bを組み合わせたマイクロ流体デバイス1Bの斜視図である。
【0051】
図9は、マイクロ流体デバイス1Bの流路チップ13Bを取り除いた状態を示す斜視図である。
【0052】
図8に示すように、流路チップ13Bの流路141Bは、多数回にわたって蛇行し、流路の全長が長くなるように構成される。流路が長いため、穴145Bから注入された液体が排出用の穴144に達するまでに数分〜数十分の時間を要する。
【0053】
図9に示すように、ガラス基板12Bの表面12Baには、種々の幅寸法を有したITO膜133がパターニングされている。ITO膜133の上面には、保護層としてPDMSがコーティングされている。ITO膜133には電流が供給され、その幅寸法に応じて発熱する。例えば、各ITO膜133に同じ大きさの電流を流すことによって、幅寸法の大きさに応じた発熱量が得られる。例えば、各ITO膜133によって、流路141Bが、92°C、74°C、53°Cなどとなるように加熱することができる。このような状態で、流路141Bにサンプル液を流すと、サンプル液は熱サイクルを繰り返しながら排出用の穴144に達する。その際に、サンプル液にDNAを加えて送液すると、PCR(Polymerase Chain Reaction)により、穴144からはDNAが増幅された液を取り出すことができる。
【0054】
また、上に述べたマイクロ流体デバイス1は、1枚のガラス基板12に1枚のマイクロポンプチップ11を接合したが、2枚以上のマイクロポンプチップ11を接合してもよい。
【0055】
図10は、1枚のガラス基板12Cに2つのマイクロポンプチップ11Ca,11Cbを接合して構成したマイクロ流体デバイス1Cを示す図、図11は、同様に2つのマイクロポンプチップ11Da,11Dbを接合して構成したマイクロ流体デバイス1Dを示す図である。
【0056】
これらのマイクロ流体デバイス1C,1Dは、種々の液体による種々の反応シーケンスに応じた送液を行うことができる。
【0057】
また、マイクロポンプMPの方式として、上に述べた以外の種々の方式のものを採用することが可能である。例えば、形状の異なる第1絞り流路123と第2絞り流路125とを設ける代わりに、弁の働きをする能動部材をそれぞれ設けたマイクロポンプ、その他の構造のマイクロポンプを用いることができる。
〔第2の実施形態〕
次に第2の実施形態のマイクロ流体デバイスについて説明する。
【0058】
図12は第2の実施形態のマイクロ流体デバイス1Eの正面断面図である。
【0059】
第1の実施形態においては、マイクロポンプチップ11とガラス基板12とで構成されるマイクロポンプユニットMUの上に、自己シール性を有する流路チップ13を自己吸着させた。これに対して、第2の実施形態のマイクロ流体デバイス1Eは、図12に示すように、マイクロポンプチップ11とガラス基板12とで構成されるマイクロポンプユニットMUと流路チップ13との間に、自己シール性を有するシート14を挟んで構成する。シート14は、例えばPDMSからなる。シート14には、ガラス基板12に設けられた貫通孔131と流路チップ13に設けられた穴142、143とを互いに接続するための連通孔161、および貫通孔132と穴145とを互いに接続するための連通孔162が設けられる。
【0060】
シート14の表面14a,14bは滑らかであり、全体が透明または半透明であって透光性を有する。上側の表面14aは流路チップ13の表面13bと接合し、下側の表面14bはガラス基板12の表面13aと接合する。上に述べた連通孔161,162は、これら表面14a,14bに開口する。
【0061】
このように構成されたマイクロ流体デバイス1Eによると、シート14が自己シール性を有するので、シート14とガラス基板12との接合が容易であるとともに、流路チップ13が自己シール性を有していなくても、流路チップ13をシート14に容易に接合することができる。つまり、流路チップ13の材料として、PMMA、PC、POM、他のプラスチック、ガラス、シリコン、セラミックス、ポリマーなどの硬質な材料を用いることができる。種々の型成形によって大量生産することが可能である。なお、流路チップ13の表面13bはシート14の表面14aと接合可能なように滑らかにしておく必要がある。
〔第2の実施形態における変形例〕
図13は変形例のマイクロ流体デバイス1Fを示す斜視図である。
【0062】
マイクロ流体デバイス1Fは、マイクロポンプチップ11、ガラス基板12、および自己シール性を有するシート14から構成されている。つまり、上に述べたマイクロ流体デバイス1Eから流路チップ13を取り除いたものである。
【0063】
このマイクロ流体デバイス1Fは、流路チップ13が設けられていないので、マイクロ流体デバイスとしては未完成であるが、流路チップ13を取り付けることによってマイクロ流体デバイスを完成させることのできるマイクロポンプユニットとして機能する。つまり、マイクロ流体デバイス1Fによると、任意の流路141を有する流路チップ13を容易に取り付けることができ、種々の回路のマイクロ流体デバイスを容易に構成することができる。
【0064】
図14は他の変形例のマイクロ流体デバイス1Gを示す正面断面図、図15は図14のマイクロ流体デバイス1Gの斜視図、図16はさらに他の変形例のマイクロ流体デバイス1Hを示す正面断面図、図17および図18はさらに他の変形例のマイクロ流体デバイス1J,1Kを示す斜視図である。
【0065】
図14および図15に示すマイクロ流体デバイス1Gは、上に述べた他のマイクロ流体デバイス1〜1Fのようにガラス基板が大きくなく、ガラス基板12G、シート14G、および流路チップ13Gが、マイクロポンプチップ11Gと同じ大きさである。つまり、それらが全部同じ大きさであり、表面積が小さい。したがって、マイクロ流体デバイス1Gはその全体がさらにコンパクトである。マイクロ流体デバイス1H〜1Kについても同様である。
【0066】
また、マイクロ流体デバイス1Gでは、マイクロポンプチップ11G、ガラス基板12G、およびシート14Gで構成されるマイクロポンプユニットMUに対して、流路チップ13Gを取り付ける際の位置決めが容易に確実に行えるようになっている。
【0067】
すなわち、シート14Gには、連通孔161,162の設けられた位置と同心位置に、円柱状のザグリ穴163,164が設けられており、流路チップ13Gには、ザグリ穴163,164に嵌合するボス171,172が設けられている。
【0068】
したがって、流路チップ13GをマイクロポンプユニットMUに取り付ける場合に、流路チップ13Gのボス171,172をシート14Gのザグリ穴163,164に嵌入させることによって、シート14Gの自己シール性によって自己吸着する。これによって、流路チップ13Gの取り付けが一層容易にかつ確実になり、位置合わせが確実に行われることからマイクロ流体デバイス1Gの動作が一層安定する。また、運搬時においてもそれらの位置がずれることがないから、持ち運びや取り扱いが容易になる。
【0069】
図16に示すマイクロ流体デバイス1Hでは、ザグリ穴163H,164Hおよびボス171H,172Hが、円錐台状になっている。この例では、ザグリ穴163H,164Hがテーパ状に拡がっているので、挿入が一層容易である。
【0070】
図17に示すマイクロ流体デバイス1Jでは、マイクロポンプチップ11J、ガラス基板12J、およびシート14Jで構成されるマイクロポンプユニットMUには位置決め用の円柱状の長い穴165,165を設け、流路チップ13Jには、穴165,165に嵌入するピン173,173を設ける。各ピン173をこれら穴165に差し込むことにより、マイクロポンプユニットMUと流路チップ13Jとの位置決めを行う。
【0071】
図18に示すマイクロ流体デバイス1Kでは、マイクロポンプチップ11K、ガラス基板12K、およびシート14Kで構成されるマイクロポンプユニットMUの側面に、位置決め用の直方体状の切り欠き部166,166を設け、流路チップ13Kには、切り欠き部166,166に嵌合する突起174,174を設ける。突起174を切り欠き部166に嵌め込むことにより位置決めを行う。
【0072】
これらによっても、マイクロポンプユニットMUと流路チップ13J,13Kとの位置決めが容易に確実に行える。
【0073】
なお、図17および図18に示すマイクロ流体デバイス1J,1Kにおいて、図15のマイクロ流体デバイス1Gで説明したボス171,172およびザグリ穴163,164はなくてもよい。
【0074】
上に述べた実施形態において、マイクロ流体デバイス1〜1KまたはマイクロポンプユニットMUが本発明のマイクロ流体デバイスに相当する。また、マイクロポンプユニットMUは本発明のポンプユニットにも相当し、マイクロポンプユニットMUにおいて、例えば、ガラス基板12の表面12aが本発明の第1接合面に、マイクロポンプチップ11またはマイクロポンプMPが本発明のポンプ機構に、貫通孔131,132が本発明の流路または第1の流路に、それぞれ相当する。
【0075】
また、流路チップ13,13Bなどが本発明の流路ユニットに相当し、例えば流路チップ13において、表面13bが本発明の第2接合面に、穴142〜146が本発明の流路または第2流路に相当する。
【0076】
また、シート14G,14Jなどが本発明のシート状体に相当し、例えば、その一方の表面14aが本発明の第4接合面に、他方の表面14bが本発明の第3接合面に、連通孔161,162が本発明の連通孔に相当する。
【0077】
上に述べた種々の実施形態および変形例において、マイクロ流体デバイスの平面形状として、正方形、長方形、多角形、円形、楕円形、その他の種々の形状とすることが可能である。流路チップの構造、構成、材質、流路の構成、パターン、長さ、断面の形状および寸法などは、種々のものを用いることができる。マイクロポンプチップのマイクロポンプMPの構成、構造、原理、方式、形状、寸法、駆動方法などは、上に述べた以外の種々のものとすることができる。その他、マイクロ流体デバイスの全体または各部の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【0078】
本発明に係るマイクロ流体デバイスは、環境、食品、生化学、免疫学、血液学、這伝子分析、合成、創薬など、さまざまな分野の反応に適用することができる。
【0079】
また、本発明の実施形態には、次のマイクロ流体デバイスが含まれる。なお、括弧内の要素は、各括弧の直前の要素に対応する請求項に記載の要素を示す。
(1) 流路が形成され、第1接合面(第2接合面)を有する流路ユニットと、ポンプ機構および当該ポンプ機構に連通する流路が設けられ、前記第1接合面と接離可能に接合するための第2接合面(第1接合面)を有するポンプユニットと、を有し、前記流路ユニットと前記ポンプユニットとのうち少なくとも一方に、接合時の位置決め手段が設けられているマイクロ流体デバイス。
(2) 第1接合面(第2接合面)を有し、当該第1接合面に望む第1流路(第2流路)が形成された流路ユニットと、第2接合面(第1接合面)を有するとともに、ポンプ機構および当該ポンプ機構に連通しかつ前記第2接合面に望む第2流路(第1流路)が設けられたポンプユニットと、前記第1流路と前記第2流路とを接続するための連通孔が設けられ、前記第1接合面と接合する第3接合面(第4接合面)と前記第2接合面と接合する第4接合面(第3接合面)とを有した弾性部材(シート状体)と、を有し、前記流路ユニット、前記ポンプユニット、および前記弾性部材のうち少なくとも1つに、接合時の位置決め手段が設けられているマイクロ流体デバイス。
【0080】
【発明の効果】
本発明によると、デッドボリュームが小さくてレスポンスが良好であり、分析または合成などの用途に応じて流路を容易に変更することのできるマイクロ流体デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の実施形態のマイクロ流体デバイスの分解斜視図である。
【図2】マイクロ流体デバイスの正面断面図である。
【図3】マイクロポンプチップの平面図である。
【図4】流路チップの平面図である。
【図5】流路チップを製作する工程の一部を説明する図である。
【図6】圧電素子の駆動電圧の波形の例を示す図である。
【図7】流路の合流点の近辺における液体の状態を示す図である。
【図8】変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図9】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図10】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図11】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図12】第2の実施形態のマイクロ流体デバイスの正面断面図である。
【図13】変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図14】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す正面断面図である。
【図15】図14のマイクロ流体デバイスの斜視図である。
【図16】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す正面断面図である。
【図17】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【図18】他の変形例のマイクロ流体デバイスを示す斜視図である。
【符号の説明】
1,1B〜1K マイクロ流体デバイス
11 マイクロポンプチップ(ポンプ機構)
12 ガラス基板
12a 表面(第1接合面)
13,13B 流路チップ(流路ユニット)
131,132 貫通孔(流路、第1の流路)
13b 表面(第2接合面)
142〜146 穴(流路、第2流路)
14G,14J シート(シート状体)
14a 表面(第4接合面)
14b 表面(第3接合面)
161,162 連通孔
MU マイクロポンプユニット(マイクロ流体デバイス、ポンプユニット)
MP マイクロポンプ(ポンプ機構)
Claims (5)
- 第1接合面、ポンプ機構、および前記ポンプ機構に連通しかつ前記第1接合面に開口する流路が設けられたポンプユニットと、
前記第1接合面と接離可能に接合するための第2接合面、および前記第2接合面に開口して前記ポンプユニットの流路に接続可能な流路が設けられた流路ユニットと、を有し、
前記第1接合面を構成する材料および前記第2接合面を構成する材料の少なくとも一方が自己シール性を有する弾性材料である、
ことを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 第1接合面、ポンプ機構、および前記ポンプ機構に連通しかつ前記第1接合面に開口する第1流路が設けられたポンプユニットと、
第2接合面および前記第2接合面に開口する第2流路が設けられた流路ユニットと、
前記第1接合面と接合する第3接合面および前記第2接合面と接合する第4接合面を有し、かつ前記第1流路と前記第2流路とを互いに接続するための連通孔が設けられたシート状体と、を有し、
前記シート状体は、自己シール性を有する弾性材料で構成され、前記流路ユニットおよび前記ポンプユニットの少なくとも一方に対して接離可能に接合する、
ことを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 前記シート状体が、PDMSで構成されている、請求項1または2記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記シート状体が、透光性を有する、請求項1乃至3のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記ポンプユニットおよび前記流路ユニットの少なくとも一方はシート状である、請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002273237A JP3725109B2 (ja) | 2002-09-19 | 2002-09-19 | マイクロ流体デバイス |
US10/664,436 US20040200724A1 (en) | 2002-09-19 | 2003-09-17 | Microfluidic device |
DE60301180T DE60301180T2 (de) | 2002-09-19 | 2003-09-18 | Mikrofluidische Vorrichtung bestehend zumindest teilweise aus elastischem Material |
EP03020594A EP1403518B1 (en) | 2002-09-19 | 2003-09-18 | Microfluidic device made at least partially of an elastic material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002273237A JP3725109B2 (ja) | 2002-09-19 | 2002-09-19 | マイクロ流体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004108285A true JP2004108285A (ja) | 2004-04-08 |
JP3725109B2 JP3725109B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=31973213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002273237A Expired - Fee Related JP3725109B2 (ja) | 2002-09-19 | 2002-09-19 | マイクロ流体デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20040200724A1 (ja) |
EP (1) | EP1403518B1 (ja) |
JP (1) | JP3725109B2 (ja) |
DE (1) | DE60301180T2 (ja) |
Cited By (57)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005121308A1 (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 液体混合および反応を効率化したマイクロリアクタ |
JP2006004834A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 送液装置及び燃料電池装置 |
JP2006026791A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Fluidware Technologies Kk | マイクロ流体チップ |
WO2006046433A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 遺伝子検査用マイクロリアクタ |
JP2006142242A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Olympus Corp | マイクロ液体制御デバイス |
EP1704921A1 (en) | 2005-03-24 | 2006-09-27 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc. | Testing microchip and testing apparatus using the same |
EP1705543A2 (en) | 2005-03-24 | 2006-09-27 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro total analysis system |
JP2006266926A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
JP2006267038A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
JP2006284451A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 検体中の標的物質を分析するためのマイクロ総合分析システム |
JP2006292472A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
JP2007071555A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | タンパク質が固定化された基材およびこれを用いるマイクロリアクタ |
JP2007083190A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロリアクタ |
JP2007092746A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-04-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 流体輸送システム |
WO2007052471A1 (ja) | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロリアクタおよびそれを用いた送液方法 |
JP2007117883A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロリアクタおよびマイクロ分析システム |
WO2007055165A1 (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-18 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 核酸の分離方法、核酸検査用マイクロリアクタ、核酸検査システム |
WO2007055151A1 (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-18 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロリアクタおよびマイクロ分析システム |
WO2007058077A1 (ja) * | 2005-11-18 | 2007-05-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 遺伝子検査方法、遺伝子検査用マイクロリアクタ、および遺伝子検査システム |
JP2007139500A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップおよびマイクロ総合分析システム |
JP2007139501A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップへの試薬の充填方法 |
WO2007099736A1 (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロ検査チップ、光学的検出装置およびマイクロ総合分析システム |
WO2007145040A1 (ja) | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 液漏れ防止機構を備えたマイクロ総合分析システム |
WO2008047533A1 (fr) | 2006-10-18 | 2008-04-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Système de détection de réaction de puce, et procédé de réaction de puce dans un trajet d'écoulement |
WO2008050562A1 (fr) | 2006-10-26 | 2008-05-02 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micropuce et procédé de fabrication de micropuces |
WO2008075501A1 (ja) | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 回転式抽出容器、それを用いた細胞種の同定方法、遺伝子検出方法、及び自動核酸抽出装置 |
EP1944368A1 (en) | 2007-01-15 | 2008-07-16 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Nucleic acid isolation method by heating on magnetic support |
JP2009019891A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ検査チップおよび検査装置 |
JP2009019890A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ検査チップおよび検査装置 |
JPWO2007052377A1 (ja) * | 2005-11-02 | 2009-04-30 | 株式会社新潟Tlo | マイクロポンプ及びマイクロ流体チップ |
JP2009525728A (ja) * | 2006-02-03 | 2009-07-16 | マイクロチップ バイオテクノロジーズ, インコーポレイテッド | マイクロ流体デバイス |
US7820109B2 (en) | 2005-04-20 | 2010-10-26 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc. | Testing chip and micro analysis system |
US8021629B2 (en) | 2005-03-24 | 2011-09-20 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Analyzer |
US8257974B2 (en) | 2006-03-29 | 2012-09-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Method of reaction in flow channel of microchip and analysis device |
JP2012196599A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Kobe Steel Ltd | 流路構造体、流体の混合方法、抽出方法及び反応方法 |
KR101197208B1 (ko) | 2011-06-29 | 2012-11-02 | 한국과학기술원 | 마이크로 펌프 및 그 구동 방법 |
KR101202442B1 (ko) | 2010-04-29 | 2012-11-16 | 강원대학교산학협력단 | 탄성체의 복원력을 이용한 흡입형 미세유체펌프 |
US8388908B2 (en) | 2009-06-02 | 2013-03-05 | Integenx Inc. | Fluidic devices with diaphragm valves |
US8394642B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-03-12 | Integenx Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
US8431340B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-04-30 | Integenx Inc. | Methods for processing and analyzing nucleic acid samples |
EP2597472A2 (en) | 2005-04-01 | 2013-05-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro integrated analysis system, testing chip, and testing method |
JP2013524219A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | アボット ポイント オブ ケア インコーポレイテッド | サンプルモーションを有する生体体液分析システム |
US8512538B2 (en) | 2010-05-28 | 2013-08-20 | Integenx Inc. | Capillary electrophoresis device |
US8557518B2 (en) | 2007-02-05 | 2013-10-15 | Integenx Inc. | Microfluidic and nanofluidic devices, systems, and applications |
US8584703B2 (en) | 2009-12-01 | 2013-11-19 | Integenx Inc. | Device with diaphragm valve |
US8672532B2 (en) | 2008-12-31 | 2014-03-18 | Integenx Inc. | Microfluidic methods |
US8748165B2 (en) | 2008-01-22 | 2014-06-10 | Integenx Inc. | Methods for generating short tandem repeat (STR) profiles |
US8763642B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-07-01 | Integenx Inc. | Microfluidic devices with mechanically-sealed diaphragm valves |
JPWO2013027393A1 (ja) * | 2011-08-22 | 2015-03-05 | パナソニック株式会社 | マイクロ流体デバイス |
US9121058B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-09-01 | Integenx Inc. | Linear valve arrays |
JP2017023141A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | 積水化学工業株式会社 | 核酸増幅反応用マイクロチップ及び核酸増幅反応方法 |
CN106438339A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-02-22 | 海南大学 | 一种无阀型往复式微泵 |
US10191071B2 (en) | 2013-11-18 | 2019-01-29 | IntegenX, Inc. | Cartridges and instruments for sample analysis |
US10208332B2 (en) | 2014-05-21 | 2019-02-19 | Integenx Inc. | Fluidic cartridge with valve mechanism |
US10525467B2 (en) | 2011-10-21 | 2020-01-07 | Integenx Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US10690627B2 (en) | 2014-10-22 | 2020-06-23 | IntegenX, Inc. | Systems and methods for sample preparation, processing and analysis |
US10865440B2 (en) | 2011-10-21 | 2020-12-15 | IntegenX, Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6432290B1 (en) | 1999-11-26 | 2002-08-13 | The Governors Of The University Of Alberta | Apparatus and method for trapping bead based reagents within microfluidic analysis systems |
CA2467131C (en) * | 2003-05-13 | 2013-12-10 | Becton, Dickinson & Company | Method and apparatus for processing biological and chemical samples |
US7744738B1 (en) | 2003-10-16 | 2010-06-29 | The University Of Notre Dame | Method and apparatus for rapid particle manipulation and characterization |
JP3952036B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2007-08-01 | コニカミノルタセンシング株式会社 | マイクロ流体デバイス並びに試液の試験方法および試験システム |
JP3969404B2 (ja) * | 2004-06-16 | 2007-09-05 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 燃料電池装置 |
US20060024206A1 (en) * | 2004-07-29 | 2006-02-02 | Sinha Naveen N | Non-invasive acoustic technique for mixing and segregation of fluid suspensions in microfluidic applications |
US7361315B2 (en) | 2004-10-26 | 2008-04-22 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro-reactor for biological substance inspection and biological substance inspection device |
US8985547B2 (en) * | 2005-01-31 | 2015-03-24 | President And Fellows Of Harvard College | Valves and reservoirs for microfluidic systems |
AU2007247841B2 (en) * | 2006-05-02 | 2013-07-11 | Royal Melbourne Institute Of Technology | Concentration and dispersion of small particles in small fluid volumes using acousting energy |
US20080245740A1 (en) * | 2007-01-29 | 2008-10-09 | Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware | Fluidic methods |
WO2011146069A1 (en) | 2010-05-21 | 2011-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device including recirculation system |
CN102985261B (zh) * | 2010-05-21 | 2016-02-03 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 具有循环泵的流体喷射设备 |
JP5426476B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-02-26 | 株式会社エンプラス | 分析用具及びマイクロ分析システム |
US9963739B2 (en) | 2010-05-21 | 2018-05-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Polymerase chain reaction systems |
US9518977B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-12-13 | University Of Washington Through Its Center For Commercialization | Microfluidic assay apparatus and methods of use |
TWI579551B (zh) * | 2014-07-02 | 2017-04-21 | 國立臺灣大學 | 收集元件與具有該元件之樣本處理套組 |
EP3230748B1 (en) * | 2015-01-30 | 2020-03-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Diagnostic chip |
WO2018151461A1 (en) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | Korea University Research And Business Foundation | Method for manufacturing microfluidic device and the microfluidic device |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4252664A (en) * | 1978-10-30 | 1981-02-24 | Colgate-Palmolive Company | Effervescent granules |
US6176962B1 (en) * | 1990-02-28 | 2001-01-23 | Aclara Biosciences, Inc. | Methods for fabricating enclosed microchannel structures |
GB2266751A (en) * | 1992-05-02 | 1993-11-10 | Westonbridge Int Ltd | Piezoelectric micropump excitation voltage control. |
DE4402119C2 (de) * | 1994-01-25 | 1998-07-23 | Karlsruhe Forschzent | Verfahren zur Herstellung von Mikromembranpumpen |
US5658413A (en) * | 1994-10-19 | 1997-08-19 | Hewlett-Packard Company | Miniaturized planar columns in novel support media for liquid phase analysis |
CA2204912C (en) * | 1994-11-10 | 2005-01-04 | David Sarnoff Research Center, Inc. | Liquid distribution system |
CA2276251A1 (en) * | 1996-11-20 | 1998-05-28 | The Regents Of The University Of Michigan | Microfabricated isothermal nucleic acid amplification devices and methods |
DE19648695C2 (de) * | 1996-11-25 | 1999-07-22 | Abb Patent Gmbh | Vorrichtung zur automatischen und kontinuierlichen Analyse von Flüssigkeitsproben |
WO1998049548A1 (en) * | 1997-04-25 | 1998-11-05 | Caliper Technologies Corporation | Microfluidic devices incorporating improved channel geometries |
DE69839709D1 (de) * | 1997-12-24 | 2008-08-21 | Cepheid | Vorrichtung und Verfahren zur Lyse |
US6251343B1 (en) * | 1998-02-24 | 2001-06-26 | Caliper Technologies Corp. | Microfluidic devices and systems incorporating cover layers |
EP0977030B1 (en) * | 1998-07-29 | 2001-03-21 | Hewlett-Packard Company | Chip for performing an electrophoretic separation of molecules and method using same |
US6149787A (en) * | 1998-10-14 | 2000-11-21 | Caliper Technologies Corp. | External material accession systems and methods |
JP3629405B2 (ja) * | 2000-05-16 | 2005-03-16 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | マイクロポンプ |
AU2001284700B2 (en) * | 2000-08-03 | 2005-12-08 | Caliper Life Sciences, Inc. | Methods and devices for high throughput fluid delivery |
US6827095B2 (en) * | 2000-10-12 | 2004-12-07 | Nanostream, Inc. | Modular microfluidic systems |
JP2002214241A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-07-31 | Minolta Co Ltd | マイクロチップ |
WO2002053290A2 (en) * | 2001-01-08 | 2002-07-11 | President And Fellows Of Harvard College | Valves and pumps for microfluidic systems and method for making microfluidic systems |
US20020155010A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-24 | Karp Christoph D. | Microfluidic valve with partially restrained element |
US6602791B2 (en) * | 2001-04-27 | 2003-08-05 | Dalsa Semiconductor Inc. | Manufacture of integrated fluidic devices |
US6734424B2 (en) * | 2002-05-16 | 2004-05-11 | Large Scale Proteomics Corporation | Method for microdispensing of fluids from a pipette |
US7459128B2 (en) * | 2002-08-13 | 2008-12-02 | Molecular Bioproducts, Inc. | Microfluidic mixing and dispensing |
US7449679B2 (en) * | 2003-10-28 | 2008-11-11 | Arryx, Inc. | System and method for manipulating and processing materials using holographic optical trapping |
-
2002
- 2002-09-19 JP JP2002273237A patent/JP3725109B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-09-17 US US10/664,436 patent/US20040200724A1/en not_active Abandoned
- 2003-09-18 DE DE60301180T patent/DE60301180T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-18 EP EP03020594A patent/EP1403518B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (81)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005121308A1 (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 液体混合および反応を効率化したマイクロリアクタ |
JPWO2005121308A1 (ja) * | 2004-06-08 | 2008-04-10 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 液体混合および反応を効率化したマイクロリアクタ |
JP2006004834A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 送液装置及び燃料電池装置 |
JP2006026791A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Fluidware Technologies Kk | マイクロ流体チップ |
US8431340B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-04-30 | Integenx Inc. | Methods for processing and analyzing nucleic acid samples |
US8551714B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-10-08 | Integenx Inc. | Microfluidic devices |
US8476063B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-07-02 | Integenx Inc. | Microfluidic devices |
US9752185B2 (en) | 2004-09-15 | 2017-09-05 | Integenx Inc. | Microfluidic devices |
US8431390B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-04-30 | Integenx Inc. | Systems of sample processing having a macro-micro interface |
WO2006046433A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 遺伝子検査用マイクロリアクタ |
JP2006142242A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Olympus Corp | マイクロ液体制御デバイス |
JP2006266926A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
US8021629B2 (en) | 2005-03-24 | 2011-09-20 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Analyzer |
JP4543986B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2010-09-15 | コニカミノルタエムジー株式会社 | マイクロ総合分析システム |
US7727478B2 (en) | 2005-03-24 | 2010-06-01 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro total analysis system |
JP4517909B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2010-08-04 | コニカミノルタエムジー株式会社 | マイクロ総合分析システム |
JP2006266923A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
EP1705543A2 (en) | 2005-03-24 | 2006-09-27 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro total analysis system |
EP1704921A1 (en) | 2005-03-24 | 2006-09-27 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc. | Testing microchip and testing apparatus using the same |
JP2006267038A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
EP2597471A2 (en) | 2005-04-01 | 2013-05-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro integrated analysis system, testing chip, and testing method |
JP2006284451A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 検体中の標的物質を分析するためのマイクロ総合分析システム |
EP2597472A2 (en) | 2005-04-01 | 2013-05-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micro integrated analysis system, testing chip, and testing method |
JP2006292472A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ総合分析システム |
US7820109B2 (en) | 2005-04-20 | 2010-10-26 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc. | Testing chip and micro analysis system |
JP2007092746A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-04-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 流体輸送システム |
JP2007071555A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | タンパク質が固定化された基材およびこれを用いるマイクロリアクタ |
JP2007083190A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロリアクタ |
JP2007117883A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロリアクタおよびマイクロ分析システム |
JPWO2007052377A1 (ja) * | 2005-11-02 | 2009-04-30 | 株式会社新潟Tlo | マイクロポンプ及びマイクロ流体チップ |
JP4528330B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2010-08-18 | 株式会社新潟Tlo | マイクロポンプ及びマイクロ流体チップ |
US8133456B2 (en) | 2005-11-07 | 2012-03-13 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Microreactor and method of liquid feeding making use of the same |
WO2007052471A1 (ja) | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロリアクタおよびそれを用いた送液方法 |
JPWO2007055151A1 (ja) * | 2005-11-11 | 2009-04-30 | コニカミノルタエムジー株式会社 | マイクロリアクタおよびマイクロ分析システム |
WO2007055151A1 (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-18 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロリアクタおよびマイクロ分析システム |
WO2007055165A1 (ja) * | 2005-11-11 | 2007-05-18 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 核酸の分離方法、核酸検査用マイクロリアクタ、核酸検査システム |
JP2007139501A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップへの試薬の充填方法 |
JP4687413B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-05-25 | コニカミノルタエムジー株式会社 | マイクロチップにおける2種類以上の液体の混合方法およびマイクロ総合分析システム |
JP2007139500A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップおよびマイクロ総合分析システム |
WO2007058077A1 (ja) * | 2005-11-18 | 2007-05-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 遺伝子検査方法、遺伝子検査用マイクロリアクタ、および遺伝子検査システム |
JP2009525728A (ja) * | 2006-02-03 | 2009-07-16 | マイクロチップ バイオテクノロジーズ, インコーポレイテッド | マイクロ流体デバイス |
WO2007099736A1 (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | マイクロ検査チップ、光学的検出装置およびマイクロ総合分析システム |
US8257974B2 (en) | 2006-03-29 | 2012-09-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Method of reaction in flow channel of microchip and analysis device |
WO2007145040A1 (ja) | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 液漏れ防止機構を備えたマイクロ総合分析システム |
WO2008047533A1 (fr) | 2006-10-18 | 2008-04-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Système de détection de réaction de puce, et procédé de réaction de puce dans un trajet d'écoulement |
WO2008050562A1 (fr) | 2006-10-26 | 2008-05-02 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Micropuce et procédé de fabrication de micropuces |
WO2008075501A1 (ja) | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 回転式抽出容器、それを用いた細胞種の同定方法、遺伝子検出方法、及び自動核酸抽出装置 |
EP1944368A1 (en) | 2007-01-15 | 2008-07-16 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Nucleic acid isolation method by heating on magnetic support |
US8557518B2 (en) | 2007-02-05 | 2013-10-15 | Integenx Inc. | Microfluidic and nanofluidic devices, systems, and applications |
JP2009019890A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ検査チップおよび検査装置 |
JP2009019891A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロ検査チップおよび検査装置 |
US8748165B2 (en) | 2008-01-22 | 2014-06-10 | Integenx Inc. | Methods for generating short tandem repeat (STR) profiles |
US8672532B2 (en) | 2008-12-31 | 2014-03-18 | Integenx Inc. | Microfluidic methods |
US8388908B2 (en) | 2009-06-02 | 2013-03-05 | Integenx Inc. | Fluidic devices with diaphragm valves |
US8394642B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-03-12 | Integenx Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
US9012236B2 (en) | 2009-06-05 | 2015-04-21 | Integenx Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
US8562918B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-10-22 | Integenx Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
US8584703B2 (en) | 2009-12-01 | 2013-11-19 | Integenx Inc. | Device with diaphragm valve |
JP2013524219A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | アボット ポイント オブ ケア インコーポレイテッド | サンプルモーションを有する生体体液分析システム |
KR101202442B1 (ko) | 2010-04-29 | 2012-11-16 | 강원대학교산학협력단 | 탄성체의 복원력을 이용한 흡입형 미세유체펌프 |
US8512538B2 (en) | 2010-05-28 | 2013-08-20 | Integenx Inc. | Capillary electrophoresis device |
US9121058B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-09-01 | Integenx Inc. | Linear valve arrays |
US9731266B2 (en) | 2010-08-20 | 2017-08-15 | Integenx Inc. | Linear valve arrays |
US8763642B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-07-01 | Integenx Inc. | Microfluidic devices with mechanically-sealed diaphragm valves |
US8986546B2 (en) | 2011-03-18 | 2015-03-24 | Kobe Steel, Ltd. | Flow channel structure, and mixing method, extraction method, and reaction method for fluids |
JP2012196599A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Kobe Steel Ltd | 流路構造体、流体の混合方法、抽出方法及び反応方法 |
US8979510B2 (en) | 2011-06-29 | 2015-03-17 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Micropump and driving method thereof |
KR101197208B1 (ko) | 2011-06-29 | 2012-11-02 | 한국과학기술원 | 마이크로 펌프 및 그 구동 방법 |
JPWO2013027393A1 (ja) * | 2011-08-22 | 2015-03-05 | パナソニック株式会社 | マイクロ流体デバイス |
US10865440B2 (en) | 2011-10-21 | 2020-12-15 | IntegenX, Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US10525467B2 (en) | 2011-10-21 | 2020-01-07 | Integenx Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US11684918B2 (en) | 2011-10-21 | 2023-06-27 | IntegenX, Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US10191071B2 (en) | 2013-11-18 | 2019-01-29 | IntegenX, Inc. | Cartridges and instruments for sample analysis |
US10989723B2 (en) | 2013-11-18 | 2021-04-27 | IntegenX, Inc. | Cartridges and instruments for sample analysis |
US10208332B2 (en) | 2014-05-21 | 2019-02-19 | Integenx Inc. | Fluidic cartridge with valve mechanism |
US10961561B2 (en) | 2014-05-21 | 2021-03-30 | IntegenX, Inc. | Fluidic cartridge with valve mechanism |
US11891650B2 (en) | 2014-05-21 | 2024-02-06 | IntegenX, Inc. | Fluid cartridge with valve mechanism |
US10690627B2 (en) | 2014-10-22 | 2020-06-23 | IntegenX, Inc. | Systems and methods for sample preparation, processing and analysis |
JP2017023141A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | 積水化学工業株式会社 | 核酸増幅反応用マイクロチップ及び核酸増幅反応方法 |
CN106438339A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-02-22 | 海南大学 | 一种无阀型往复式微泵 |
CN106438339B (zh) * | 2016-12-20 | 2018-09-11 | 海南大学 | 一种无阀型往复式微泵 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040200724A1 (en) | 2004-10-14 |
EP1403518A2 (en) | 2004-03-31 |
EP1403518A3 (en) | 2004-04-28 |
DE60301180D1 (de) | 2005-09-08 |
JP3725109B2 (ja) | 2005-12-07 |
EP1403518B1 (en) | 2005-08-03 |
DE60301180T2 (de) | 2006-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3725109B2 (ja) | マイクロ流体デバイス | |
Shoji | Fluids for sensor systems | |
US7374332B2 (en) | Method, device and system for mixing liquids | |
US6767194B2 (en) | Valves and pumps for microfluidic systems and method for making microfluidic systems | |
JP4543986B2 (ja) | マイクロ総合分析システム | |
Fujii et al. | A plug and play microfluidic device | |
Wang et al. | Pneumatically driven peristaltic micropumps utilizing serpentine-shape channels | |
Aracil et al. | Portable Lab-on-PCB platform for autonomous micromixing | |
JP4372616B2 (ja) | マイクロバルブ、マイクロポンプ及びこれらを内蔵するマイクロチップ | |
US20110301535A1 (en) | Microfluidic control systems | |
JPWO2009008236A1 (ja) | マイクロ検査チップの液体混合方法および検査装置 | |
JP2003220322A (ja) | 液体混合機構 | |
US20080160603A1 (en) | Flow stabilization in micro-and nanofluidic devices | |
JP2007322284A (ja) | マイクロチップおよびマイクロチップへの試薬の充填方法 | |
JP2008128869A (ja) | マイクロチップ検査システム、およびマイクロチップ検査システムに用いるプログラム | |
JP4059073B2 (ja) | 合流装置における液体の圧送方法および合流装置 | |
JP2009062911A (ja) | 反応検出装置 | |
Ahn et al. | Microfluidic devices and their applications to lab-on-a-chip | |
WO2008053660A1 (fr) | Unité de micro-pompe, et système d'inspection de micro-puce | |
Howitz | Components and systems for microliquid handling | |
Ra et al. | Microfabricated in-channel structured polydimethylsiloxane microfluidic system for a lab-on-a-chip | |
KR20150135613A (ko) | 미세유체 구동을 위한 마이크로 펌프 | |
Meng et al. | Polymer MEMS for micro fluid delivery systems | |
JP3705266B2 (ja) | マイクロ流体システム | |
Perdigones | Lab-on-PCB and Flow Driving: A Critical Review. Micromachines 2021, 12, 175 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040903 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040924 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041227 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080930 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130930 Year of fee payment: 8 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |