JP2004045067A - Fluorescent x-ray analyzer - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料における任意の部位について分析できる蛍光X線分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば特開2002−39972に示されるように、試料にX線源から1次X線を照射し、任意の位置の試料表面およびその深さ方向における近傍(以下、試料の部位という)から発生する蛍光X線の強度を検出手段で測定して、強度分布測定(マッピング測定)を行う蛍光X線分析装置がある。
【0003】
このような装置においては、試料を収納した試料ホルダに基準識別部(基準マーク)として側面の溝などが設けられており、撮像位置において、基準識別部を基準に試料の位置が初期化され(試料が所定の回転位置にされ)、試料の表面および基準識別部の画像が参照されて、測定すべき部位が指定される。そして、試料は測定のために測定位置に搬送され、部位が指定されたときと同様に初期化され(同じ回転位置にされ)、指定された部位が測定されるように、X線源および検出手段に対して試料がrθステージなどにより移動される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、撮像位置にある試料について、基準識別部の位置を検出して試料の位置を初期化するために、レーザー変位計などの検出器およびθステージなどの移動機構を用いるので、装置の構成が複雑になり、コストも増大する。
【0005】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、試料における任意の部位について分析できる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、まず、撮像位置にある試料の表面の画像に基づいて試料の測定すべき部位が指定され、測定位置に搬送された試料の前記指定された部位に1次X線を照射して、発生する蛍光X線の強度を測定する蛍光X線分析装置であって、試料を収納した試料ホルダまたは試料に前記指定の基準となる基準識別部が設けられている。そして、以下の撮像手段、画像処理手段、表示手段および指定手段を備えている。撮像手段は、前記撮像位置にある試料の表面および基準識別部を撮像して画像を生成する。画像処理手段は、撮像手段により生成された試料表面および基準識別部の画像が、表示される画面中で所定の位置および方向になるように調整する。表示手段は、画像処理手段により調整された試料表面および基準識別部の画像を表示する。指定手段は、表示手段により表示された試料表面および基準識別部の画像に基づいた試料の測定すべき部位が指定される。
【0007】
本発明の装置によれば、撮像位置にある試料の表面および基準識別部の画像が、初期化されたように画像処理されて表示され、操作者は、その画像に基づいて試料の測定すべき部位を指定できる。つまり、撮像位置において、試料の位置を実際に初期化するためのレーザー変位計などの検出器やθステージなどの移動機構が不要であり、装置の構成が複雑にならず、コストも増大しない。したがって、簡単な構成で、試料における任意の部位について分析できる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、第1実施形態の装置を図面にしたがって説明する。まず、この装置の構成について説明する。図1に示すように、この装置は、撮像位置Cにある試料1の表面1aの画像に基づいて試料1の測定すべき部位が指定され、測定位置Mに搬送された試料1の前記指定された部位にX線源4から1次X線24を照射して、発生する蛍光X線25の強度を検出手段5で測定する蛍光X線分析装置であって、試料1を収納した試料ホルダ3に前記指定の基準となる基準識別部2が設けられている。X線源4は、X線管4a、そのX線管4aから発生するX線を絞る1次X線スリット4bを含み、検出手段5は、X線検出器5a、そのX線検出器5aへ入射する蛍光X線25を絞る視野制限スリット5bのほか、図示しないソーラースリットや分光素子を含む。スリット4b,5bは、いずれか一方のみ備えてもよい。
【0009】
試料ホルダ3は、板状試料1の表面1a(バルク試料の平坦な表面でもよい)の周辺部を覆う輪状のマスク3a、そのマスク3aが開口部に取り付けられる底付き円筒状のホルダ本体3b、試料1の裏面に当接する支持板3c、その支持板3cを介して試料表面1aの周辺部をマスク3aの裏に押し当てるスプリング3dを含む。また、前記基準識別部2は、例えばマスク3aの表面で黒く塗られた直径2mm程度の円形の部分である。なお、試料ホルダ3には、従来技術で基準識別部(基準マーク)として利用されたホルダ本体3b側面の上下方向に延びる溝3eも設けられており、基準識別部2と側面の溝3eは、上方から見て、試料ホルダ3の中心軸回りで同じ回転位置にある。
【0010】
そして、この装置は、以下の撮像手段8、画像処理手段15、表示手段9、指定手段13、搬送手段7および位置検出手段14を備えている。撮像手段8は、例えばCCDカメラであって、撮像位置Cにある試料1の表面1aおよび基準識別部2を撮像して画像を生成する。画像処理手段15は、撮像手段8により生成された試料表面1aおよび基準識別部2の画像が、表示される画面9a中で所定の位置および方向になるように調整する。表示手段9は、例えばCRTであって、画像処理手段15により調整された試料表面1aおよび基準識別部2の画像を画面9aに表示する。指定手段13は、表示手段9により表示された試料表面1aおよび基準識別部2の画像に基づいて操作者が試料1の測定すべき部位を指定するために用いられる。
【0011】
搬送手段7は、試料ホルダ3を支持して回転する円板状のターレットやロボットハンドであって、試料1の方向が撮像位置Cと測定位置Mで一定の関係にあるように試料1を撮像位置Cから測定位置Mに搬送する。位置検出手段14は、画像処理手段15で得られた基準識別部2の位置情報に基づく検出範囲で、測定位置Mに搬送された試料1について基準識別部2の位置を検出する。画像処理手段15、指定手段13および位置検出手段14は、この装置の制御手段10に含まれるプログラムなどである。この装置の他の構成については、次述の動作の説明とともに説明する。
【0012】
次に、この装置の動作について説明する。図1に示すように、まず、撮像位置Cにおいて試料1を収納した試料ホルダ3が撮像台16に載置され、撮像手段8により試料表面1a(マスク3aに覆われていない部分)および基準識別部2が撮像される。
【0013】
ここで、従来は、所定の座標で試料1の測定すべき部位を指定するために、撮像されて表示手段9に表示される画像において、試料表面1aの中心が画面9aの中心にあり、側面の溝3e(画面9aには現れない)が0時の方向(画面9aでの上方向)にあるように、試料ホルダ3が位置調整された。例えば、図2のように表示されたとすると(ただし、従来技術では、基準識別部2は設けられていないので表示されない)、まず、試料表面1aの中心が画面9aの中心にくるように、すなわち図3のような状態になるように、操作者の手動により試料ホルダ3が撮像台であるθステージ上で位置調整される。次に、θステージで試料ホルダ3を回転させて、例えばレーザー変位計で側面の溝3eの回転方向の位置を検出し、0時の方向にくるように、θステージを停止させる。つまり、撮像位置Cにおける、側面の溝3eを基準とする試料1の位置の初期化を行うために、側面の溝3eを検出するレーザー変位計などの検出器やθステージなどの移動機構が必要であった。
【0014】
これに対し、この実施形態の装置では、図1の画像処理手段15により、まず、撮像手段8で生成された試料表面1aおよび基準識別部2の画像、例えば図2において、試料表面1aの外周および基準識別部2が認識され、試料表面1aの中心の位置およびそれに対する基準識別部2の方向(回転位置)が算出される。この基準識別部2の方向(回転位置)は、基準識別部2の位置情報として位置検出手段14に送られる。そして、撮像手段8で生成された試料表面1aおよび基準識別部2の画像が、図2のような状態から、表示される画面9a中で所定の位置および方向になるように調整される。つまり、撮像されて表示手段9に表示される画像において、試料表面1aの中心が画面9aの中心にあり、基準識別部2が0時の方向(画面9aでの上方向)にあるように、すなわち図4のように画像処理される。
【0015】
この初期化されたように処理された画像に基づいて、次述するように、操作者は、試料1の測定すべき部位を指定できる。つまり、撮像位置Cにおいて、試料1の位置を実際に(物理的に)初期化するためのレーザー変位計などの検出器やθステージなどの移動機構が不要であり、装置の構成が複雑にならず、コストも増大しない。したがって、簡単な構成で、試料1における任意の部位について分析できる。
【0016】
なお、図示の容易のため、図1で撮像位置Cにある試料ホルダ3の断面図においては、基準識別部2および側面の溝3eを、上方から見た場合の9時の方向(図1での左方向)に表している。また、本発明または従来技術において、例えば撮像台16(従来技術ではθステージ)の上面に試料ホルダ3の底部が嵌入する凹部が設けられ、試料ホルダ3が撮像台16の凹部に嵌入するように載置されると、そのままで試料表面1aの中心が画面9aの中心に合致するような場合には、両者を合致させる画像処理または位置調整は、不要である。
【0017】
画像処理手段15で調整された試料表面1aおよび基準識別部2の画像が図4のように表示手段9の画面9aに表示されると、操作者により、その表示された画像に基づいて、試料1の測定すべき部位が指定される。この指定は、図1において、この装置の制御手段10に含まれる指定手段13を用いて、例えばマウス13aで画面上9aのポインタ13bを所望の部位まで移動させ、そこでクリックすることにより行われる。指定された部位のデータは、画像処理手段15で調整された状態での試料表面1aの中心(画面9aの中心でもある)を原点とする座標値(rθ座標値やXY座標値)として指定手段13に記憶される。
【0018】
部位の指定後、試料ホルダ3は、測定のために測定位置Mに搬送手段7により搬送され、移動手段(rθステージ)6上に載置される。この際、試料1の方向が撮像位置Cと測定位置Mで一定の関係にあるように搬送される。例えば、搬送手段7が、試料ホルダ3を支持して180度回転する円板状のターレットである場合には、測定位置Mでの試料1の方向は、撮像位置Cでの方向から180度回転した方向になる。ここでは、簡単のために、搬送手段7をロボットハンドとし、撮像位置Cでの試料1の方向が、測定位置Mへ搬送されたときに維持されるものとする。また、例えばθステージ6aの上面に試料ホルダ3の底部が嵌入する凹部を設けておくことにより、試料ホルダ3がθステージ6aに載置される際、つまり移動手段6の初期状態において、移動手段6の回転軸と試料ホルダ3の中心軸つまり試料表面1a(マスク3aに覆われていない部分)の中心とが合致するように載置されるものとする。
【0019】
さて、制御手段10で移動手段6を制御し、指定された部位が測定されるように、X線源4および検出手段5に対して試料1を移動させるためには、指定したときの座標と測定するときの座標とが同じでなければならない。つまり、測定のための移動の前に、部位が指定されたときと同様に(画像処理手段15による調整後の画像(図4)と同様に)、試料1の位置が初期化されなければならないが、この装置では、以下のように行われる。
【0020】
前述したように、移動手段6の初期状態において、移動手段6の回転軸と試料表面1aの中心とは合致している。したがって、部位が指定されたときと同様に試料1の位置を初期化するには、試料1の回転位置を、基準識別部2が上方から見て0時の方向(図1での紙面奥方向)にくるように調整すればよい。そのためには、試料ホルダ3がθステージ6aに載置された直後における基準識別部2または側面の溝3eの回転方向の位置を知る必要がある。なお、図示の容易のため、図1で測定位置Mにある試料ホルダ3の断面図においては、基準識別部2および側面の溝3eを、上方から見た場合の9時の方向(図1での左方向)に表している。
【0021】
そこで、位置検出手段14により、θステージ6aで試料ホルダ3を回転させて、レーザー変位計17で側面の溝3eの回転方向の位置を検出する。この際、従来は、試料ホルダ3を1回転させていたが、この実施形態の装置では、画像処理手段15から送られた基準識別部2の位置情報、つまり図2における試料表面1aの中心に対する基準識別部2の方向(回転位置)に基づく範囲で、試料ホルダ3を回転させて、側面の溝3eの回転方向の位置を検出する。具体的には、図1のように、レーザー変位計17が、上方から見て9時の方向(図1での左方向)から側面の溝3eを検出するのであれば、側面の溝3eがレーザー変位計17のちょうど右に来る回転角度(図2のθ2 )を含む所定の限られた範囲(例えばθ2 ±5度)で、試料ホルダ3を回転させれば検出できる。したがって、試料ホルダ3を1回転させる必要がなく、従来よりも短時間で側面の溝3eの位置を検出できる。この効果は、レーザー変位計を用いず、試料ホルダまたは試料から発生する蛍光X線の強度を測定して基準識別部の位置を検出する場合(本願出願人による別出願の特願2002−199527参照)に、特に大きい。
【0022】
側面の溝3eの回転方向の位置が検出されれば、側面の溝3eおよび基準識別部2が0時の方向にくるように、θステージ6aで試料ホルダ3を回転させる。これで、部位が指定されたときと同様に(画像処理手段15による調整後の画像(図4)と同様に)、試料1の位置が初期化される(同じ回転位置にされる)。続いて、初期化された状態から、X線源4および検出手段5に対して試料1が移動手段6により適切に移動され、指定された部位が測定される。移動、測定は、制御手段10により自動的に行われる。
【0023】
次に、本発明の第2実施形態の蛍光X線分析装置について説明する。第2実施形態の蛍光X線分析装置では、図5に示すように、分析対象の試料が、円板状のウエハ11A、例えばシリコンウエハであり、試料ホルダは用いられず、ウエハ11Aが、撮像台16や移動手段6上に直接載置される。また、撮像位置Cから測定位置Mへは、ウエハ搬送用のロボットハンドである搬送手段7により搬送される。ウエハ11Aには、結晶方位を示すための切欠き部、いわゆるオリフラ12Aが形成されており、これを基準識別部として利用する。オリフラ12Aのかわりに、図6に示すようなノッチ12Bを基準識別部として利用してもよい。なお、本発明においては、基準識別部が直接設けられた試料は、シリコンウエハなどの円板状のウエハに限定されず、寸法形状が統一されている試料であって、その形状の一部が基準識別部として利用できるものであればよい。
【0024】
この実施形態の装置では、図1の画像処理手段15により、撮像手段8で生成された試料表面11Aa,11Baおよび基準識別部12A,12Bの画像、例えば図5、6でいうと、試料表面11Aa,11Baの縁の円周部分および基準識別部12A,12Bを構成する縁12Aa,12Baが認識され、試料表面1aの中心の位置およびそれに対する基準識別部12A,12Bの方向(回転位置)が算出される。また、図1の測定位置Mにおいて、第1実施形態における側面の溝3eに代えて、基準識別部つまりオリフラ12Aまたはノッチ12B(図5、6)を検出すべく、レーザー変位計17は、側方からではなく、上方または下方から試料表面11Aa,11Baの周辺部を臨んでいる。他の構成は、第2実施形態の蛍光X線分析装置と同様であるので説明を省略する。第2実施形態の蛍光X線分析装置によれば、第1実施形態の蛍光X線分析装置と同様の効果がある。
【0025】
なお、以上においては、試料に上方から1次X線を照射する上面照射型の蛍光X線分析装置を例にとったが、本発明は、試料に下方から1次X線を照射する下面照射型の蛍光X線分析装置にも適用できる。
【0026】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の蛍光X線分析装置によれば、撮像位置にある試料の表面および基準識別部の画像が、初期化されたように画像処理されて表示され、操作者は、その画像に基づいて試料の測定すべき部位を指定できる。つまり、撮像位置において、試料の位置を実際に初期化するためのレーザー変位計などの検出器やθステージなどの移動機構が不要であり、装置の構成が複雑にならず、コストも増大しない。したがって、簡単な構成で、試料における任意の部位について分析できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1、第2実施形態の蛍光X線分析装置を示す概略図である。
【図2】同装置の撮像手段により生成された試料表面および基準識別部の画像を示す図である。
【図3】同装置の画像処理手段により調整中の試料表面および基準識別部の画像を示す図である。
【図4】同装置の画像処理手段により調整された試料表面および基準識別部の画像を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態の蛍光X線分析装置が分析対象とする試料を示す平面図である。
【図6】同装置が分析対象とする別の試料を示す平面図である。
【符号の説明】
1,11A,11B…試料、1a,11Aa,11Ba…試料の表面、2,12A,12B…基準識別部、3…試料ホルダ、7…搬送手段、8…撮像手段、9…表示手段、13…指定手段、14…位置検出手段、15…画像処理手段、24…1次X線、25…蛍光X線、C…撮像位置、M…測定位置。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray fluorescence spectrometer capable of analyzing an arbitrary site in a sample.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as shown in, for example, JP-A-2002-39972, a sample is irradiated with primary X-rays from an X-ray source, and the sample is irradiated from an arbitrary position on the sample surface and its vicinity in the depth direction (hereinafter referred to as a sample portion). There is an X-ray fluorescence analyzer that measures the intensity of the generated fluorescent X-rays by a detection unit and performs intensity distribution measurement (mapping measurement).
[0003]
In such an apparatus, a groove on a side surface or the like is provided as a reference identification portion (reference mark) in a sample holder that stores a sample, and the position of the sample is initialized at an imaging position with reference to the reference identification portion ( The sample is set at a predetermined rotational position), and the site to be measured is designated by referring to the image of the sample surface and the reference identification unit. Then, the sample is transported to the measurement position for measurement, initialized (the same rotational position) as when the site is specified, and the X-ray source and the detection are measured so that the specified site is measured. The sample is moved with respect to the means by an rθ stage or the like.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, a detector such as a laser displacement meter and a moving mechanism such as a θ stage are used to detect the position of the reference identification unit and initialize the position of the sample at the sample at the imaging position. The complexity and cost increase.
[0005]
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and has as its object to provide a fluorescent X-ray analyzer that can analyze an arbitrary portion of a sample with a simple configuration.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention firstly specifies a portion to be measured of a sample based on an image of the surface of the sample at an imaging position, and specifies the portion to be measured of the sample transported to the measurement position. An X-ray fluorescence analyzer for irradiating primary X-rays and measuring the intensity of generated fluorescent X-rays, wherein a reference identification unit serving as the specified reference is provided on a sample holder or a sample containing a sample. I have. And it has the following imaging means, image processing means, display means and designation means. The imaging unit captures an image of the surface of the sample at the imaging position and the reference identification unit to generate an image. The image processing unit adjusts the images of the sample surface and the reference identification unit generated by the imaging unit so as to be at predetermined positions and directions in the displayed screen. The display unit displays the image of the sample surface and the reference identification unit adjusted by the image processing unit. The designating means designates a portion of the sample to be measured based on the image of the sample surface and the reference identification unit displayed by the display means.
[0007]
According to the apparatus of the present invention, the image of the surface of the sample at the imaging position and the image of the reference identification unit are processed and displayed as initialized, and the operator should measure the sample based on the image. You can specify the part. That is, a detector such as a laser displacement meter and a moving mechanism such as a θ stage for actually initializing the position of the sample at the imaging position are not required, and the configuration of the apparatus is not complicated and the cost does not increase. Therefore, it is possible to analyze an arbitrary portion of the sample with a simple configuration.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the device of the first embodiment will be described with reference to the drawings. First, the configuration of this device will be described. As shown in FIG. 1, this device specifies a site to be measured of the
[0009]
The
[0010]
This apparatus includes the following imaging means 8, image processing means 15, display means 9, designation means 13, transport means 7, and position detection means 14. The
[0011]
The transfer means 7 is a disk-shaped turret or a robot hand which rotates while supporting the
[0012]
Next, the operation of this device will be described. As shown in FIG. 1, first, a
[0013]
Here, conventionally, the center of the
[0014]
On the other hand, in the apparatus according to this embodiment, the
[0015]
As described below, the operator can specify a portion of the
[0016]
For ease of illustration, in the cross-sectional view of the
[0017]
When the images of the
[0018]
After the designation of the site, the
[0019]
Now, in order to move the
[0020]
As described above, in the initial state of the moving
[0021]
Then, the
[0022]
When the position of the
[0023]
Next, an X-ray fluorescence analyzer according to the second embodiment of the present invention will be described. In the X-ray fluorescence spectrometer of the second embodiment, as shown in FIG. 5, the sample to be analyzed is a disk-shaped
[0024]
In the apparatus of this embodiment, images of the sample surfaces 11Aa, 11Ba and the
[0025]
In the above description, an upper-surface irradiation type fluorescent X-ray analyzer that irradiates a sample with primary X-rays from above has been described as an example. Type X-ray fluorescence analyzer.
[0026]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the X-ray fluorescence spectrometer of the present invention, the image of the surface of the sample at the imaging position and the image of the reference identifying unit are displayed after being subjected to image processing as if initialized. Can specify a portion of the sample to be measured based on the image. That is, a detector such as a laser displacement meter and a moving mechanism such as a θ stage for actually initializing the position of the sample at the imaging position are not required, and the configuration of the apparatus is not complicated and the cost does not increase. Therefore, it is possible to analyze an arbitrary portion of the sample with a simple configuration.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing an X-ray fluorescence analyzer according to first and second embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an image of a sample surface and a reference identification unit generated by an imaging unit of the apparatus.
FIG. 3 is a diagram showing an image of a sample surface and a reference identification unit being adjusted by an image processing unit of the apparatus.
FIG. 4 is a diagram showing an image of a sample surface and a reference identification unit adjusted by an image processing unit of the apparatus.
FIG. 5 is a plan view showing a sample to be analyzed by a fluorescent X-ray analyzer according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a plan view showing another sample to be analyzed by the apparatus.
[Explanation of symbols]
1, 11A, 11B: sample, 1a, 11Aa, 11Ba: surface of sample, 2, 12A, 12B: reference identification unit, 3: sample holder, 7: transport means, 8: imaging means, 9: display means, 13 ... Designating means, 14: Position detecting means, 15: Image processing means, 24: Primary X-ray, 25: Fluorescent X-ray, C: Imaging position, M: Measurement position.
Claims (2)
試料を収納した試料ホルダまたは試料に前記指定の基準となる基準識別部が設けられ、
前記撮像位置にある試料の表面および基準識別部を撮像して画像を生成する撮像手段と、
その撮像手段により生成された試料表面および基準識別部の画像が、表示される画面中で所定の位置および方向になるように調整する画像処理手段と、
その画像処理手段により調整された試料表面および基準識別部の画像を表示する表示手段と、
その表示手段により表示された試料表面および基準識別部の画像に基づいた試料の測定すべき部位が指定される指定手段とを備えた蛍光X線分析装置。A site to be measured of the sample is designated based on an image of the surface of the sample at the imaging position, and the designated region of the sample transported to the measurement position is irradiated with primary X-rays to generate fluorescent X-rays X-ray fluorescence analyzer for measuring the intensity of
A reference identification unit serving as the specified reference is provided on the sample holder or the sample containing the sample,
Imaging means for generating an image by imaging the surface of the sample and the reference identification unit at the imaging position,
Image processing means for adjusting the image of the sample surface and the reference identification unit generated by the imaging means to be at a predetermined position and direction in the displayed screen;
Display means for displaying an image of the sample surface and the reference identification unit adjusted by the image processing means,
An X-ray fluorescence spectrometer comprising: a designating unit for designating a portion of the sample to be measured based on the image of the sample surface and the reference identification unit displayed by the display unit.
試料の方向が前記撮像位置と測定位置で一定の関係にあるように試料を撮像位置から測定位置に搬送する搬送手段と、
前記画像処理手段で得られた基準識別部の位置情報に基づく検出範囲で、前記測定位置に搬送された試料について前記基準識別部の位置を検出する位置検出手段とを備えた蛍光X線分析装置。In claim 1,
Transport means for transporting the sample from the imaging position to the measurement position so that the direction of the sample has a fixed relationship between the imaging position and the measurement position,
An X-ray fluorescence analyzer comprising: a position detection unit that detects the position of the reference identification unit with respect to the sample transported to the measurement position in a detection range based on the position information of the reference identification unit obtained by the image processing unit. .
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041214 |