JP6661391B2 - Radiation imaging equipment - Google Patents

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本発明は、放射線画像撮影装置に関する。 The present invention relates to a radiation image capturing equipment.

測定物を回転させながら測定物に放射線を照射するとともに、測定物を透過した放射線を検出し、所定回転位置ごとの放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置がある。この放射線画像撮影装置は、撮影により得られた各回転位置の放射線画像から測定物の３次元画像や断層面画像を生成する。これらの３次元画像等は、測定物や測定物の内部構造、測定物の内部に生じた欠陥等の寸法計測に利用される。計測寸法は撮影倍率等の撮影条件を加味して導かれるため、寸法を精度良く計測するには撮影条件を正確に把握することが重要となる。   There is a radiation image capturing apparatus that irradiates a measurement object with radiation while rotating the measurement object, detects radiation transmitted through the measurement object, and captures a radiation image at each predetermined rotation position. This radiation image capturing apparatus generates a three-dimensional image and a tomographic plane image of a measured object from a radiation image at each rotational position obtained by imaging. These three-dimensional images and the like are used for dimensional measurement of the measured object, the internal structure of the measured object, and defects generated inside the measured object. Since the measurement dimensions are derived in consideration of imaging conditions such as the imaging magnification, it is important to accurately understand the imaging conditions in order to measure the dimensions with high accuracy.

例えば、特許文献１には、寸法が既知の基準物に放射線を照射して放射線画像を撮影するとともに、その放射線画像から基準物の寸法を計測し、計測寸法値と基準物の実寸とに基づいて撮影条件を把握する放射線画像撮影装置が開示されている。   For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-157, a radiation image is taken by irradiating a reference object having a known size, a dimension of the reference object is measured from the radiation image, and the measurement is performed based on the measured dimension value and the actual size of the reference object. There has been disclosed a radiation image capturing apparatus for grasping the capturing conditions by using the radiographic image capturing apparatus.

しかしながら、上記従来の放射線画像撮影装置では、測定物の撮影とは独立して基準物の撮影を行うため、例えば、測定物を回転撮影している間に放射線源の温度が上昇して放射線に揺らぎが生じるなど、測定物の撮影中に撮影条件が変化した場合に対処することができない。   However, in the above-mentioned conventional radiographic imaging apparatus, since the reference object is photographed independently of the photographing of the object, for example, the temperature of the radiation source rises while rotating and photographing the object, and the radiation source is exposed to radiation. It is not possible to cope with a case where the photographing condition changes during photographing of the measurement object, such as fluctuation.

特開２０１０−１８５８５９号公報JP 2010-185859 A

上記問題に鑑み、例えば測定物の回転撮影を行う際の撮影可能空間内に基準物を配置し、基準物と測定物とを同時に撮影することが考えられる。このような構成の下、基準物の放射線画像から撮影条件の変化を把握することで、その把握内容に基づいて測定物の３次元画像や計測寸法値を補正等することが可能になる。   In view of the above problem, for example, it is conceivable to arrange a reference object in a photographable space when performing rotational imaging of the measurement object, and to simultaneously photograph the reference object and the measurement object. With such a configuration, by grasping the change in the imaging condition from the radiation image of the reference object, it becomes possible to correct the three-dimensional image and the measured dimension value of the measured object based on the grasped contents.

しかしながら、基準物を測定物とともに撮影可能空間内に配置した場合には、測定物が回転する際に測定物と基準物とが接触し、測定物や基準物の位置が変化したり、測定物の損傷を招いたりするおそれがある。   However, when the reference object is placed in the photographable space together with the measurement object, when the measurement object rotates, the measurement object comes into contact with the reference object, and the position of the measurement object or the reference object changes, May cause damage.

この場合、測定物が回転しても基準物に届かないように基準物を測定物から遠ざけて配置することで、基準物と測定物との接触を回避することが考えられる。   In this case, it is conceivable to avoid contact between the reference object and the measurement object by arranging the reference object away from the measurement object so that the reference object does not reach the reference object even when rotated.

しかしながら、基準物を測定物から遠ざけて配置した場合、基準物及び測定物の両方を撮影可能空間内に含ませるには、撮影可能空間を拡大する必要が生じる。その結果、放射線画像における１画素当たりの実空間上の寸法が大きくなるとともに、放射線画像に占める測定物の割合が低下し、放射線画像における測定物の分解能が低下する。   However, when the reference object is placed away from the measurement object, it is necessary to enlarge the photographable space in order to include both the reference object and the measurement object in the photographable space. As a result, the size of the radiation image in the real space per pixel increases, and the proportion of the measurement object in the radiation image decreases, and the resolution of the measurement object in the radiation image decreases.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基準物と測定物とを同時に撮影可能としながら、基準物と測定物との接触を回避するとともに、分解能の低下を抑制することが可能な放射線画像撮影装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to simultaneously photograph a reference object and a measurement object, avoid contact between the reference object and the measurement object, and suppress a decrease in resolution. and to provide a a radiation image capturing equipment.

本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は、前記設置部の設置面の上方に前記基準物を配置可能に構成されており、前記調整部は、前記設置面の上方において前記基準物の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする。 The radiation image capturing apparatus according to the present invention includes an installation unit on which a measurement object is installed, a radiation source that irradiates the measurement object with radiation, and imaging that captures a radiation image based on the radiation transmitted through the measurement object. Unit, and a rotation mechanism that relatively rotates the measurement object and the radiation, and a radiation image capturing apparatus that captures the radiation image at each rotation position by the imaging unit while performing the rotation by the rotation mechanism. Wherein the reference object and the reference object are movably supported so that the reference object is included in each radiation image, and the reference object is irrespective of the rotation of the rotating mechanism during the imaging period of each radiation image. A support unit capable of fixing a relative position between the object and the measurement object, and an adjustment unit that adjusts a position of the reference object with respect to the measurement object, wherein the support unit is provided on the adjustment unit. Ri at the position of the adjusted the reference product Ri fixable der the relative position between the said reference object the measurement object, wherein the support portion is arranged configured to enable the reference object above the installation surface of the installation part The adjustment unit is configured to be capable of adjusting the position of the reference object above the installation surface .

また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、前記調整部は、前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、を備えていることを特徴とする。
また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、前記調整部は、前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、を備え、前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする。
また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部を前記設置部の周方向に移動可能な移動手段と、前記移動手段により移動された前記支持部の位置を保持する保持手段と、を備えていることを特徴とする。 In addition, the radiation image capturing apparatus of the present invention captures a radiation image based on the installation unit on which the measurement object is installed, a radiation source that irradiates the measurement object with radiation, and the radiation transmitted through the measurement object. A radiographic image comprising: a radiographing unit that performs relative rotation of the measurement object and the radiation; and a radiographic image that captures the radiographic image at each rotation position by the radiographing unit while performing the rotation by the rotary mechanism. In the imaging device, the reference object and the reference object are supported so that the reference object can be arranged so as to be included in each radiation image, regardless of the rotation of the rotating mechanism during the imaging period of each radiation image. A support unit that can fix the relative position between the reference object and the measurement object; and an adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object. The relative position between the reference object and the measurement object can be fixed at the position of the reference object adjusted by the unit, the support unit includes a support arm that supports the reference object, and the adjustment unit includes the installation unit. Turning means for turning the support arm in a plane intersecting the installation surface of the part, and changing means for changing the distance between the reference object and the rotation axis of the support arm. It is characterized by being.
In addition, the radiation image capturing apparatus of the present invention captures a radiation image based on the installation unit on which the measurement object is installed, a radiation source that irradiates the measurement object with radiation, and the radiation transmitted through the measurement object. A radiographic image comprising: a radiographing unit that performs relative rotation of the measurement object and the radiation; and a radiographic image that captures the radiographic image at each rotation position by the radiographing unit while performing the rotation by the rotary mechanism. In the imaging device, the reference object and the reference object are supported so that the reference object can be arranged so as to be included in each radiation image, regardless of the rotation of the rotating mechanism during the imaging period of each radiation image. A support unit that can fix the relative position between the reference object and the measurement object; and an adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object. The relative position between the reference object and the measurement object can be fixed at the position of the reference object adjusted by the unit, the support unit includes a support arm that supports the reference object, and the adjustment unit includes the support unit. A first support for supporting the arm so as to be able to advance and retreat in the longitudinal direction; and a second support for rotatably supporting the first support, wherein the first support clamps the support arm. And a clamp portion capable of holding the advancing / retreating position of the support arm, wherein the second support member clamps the first support member and holds a pair of pressing portions capable of holding the rotation angle of the first support member. And the first support is disposed between the pair of pressing portions of the second support so that the tightening force of the pair of pressing portions acts in the clamping direction of the clamp. It is characterized by the following.
In addition, the radiation image capturing apparatus of the present invention captures a radiation image based on the installation unit on which the measurement object is installed, a radiation source that irradiates the measurement object with radiation, and the radiation transmitted through the measurement object. A radiographic image comprising: a radiographing unit that performs relative rotation of the measurement object and the radiation; and a radiographic image that captures the radiographic image at each rotation position by the radiographing unit while performing the rotation by the rotary mechanism. In the imaging device, the reference object and the reference object are supported so that the reference object can be arranged so as to be included in each radiation image, regardless of the rotation of the rotating mechanism during the imaging period of each radiation image. A support unit that can fix the relative position between the reference object and the measurement object; and an adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object. A relative position between the reference object and the measurement object can be fixed at the position of the reference object adjusted by the unit, and a moving unit that can move the support unit in a circumferential direction of the installation unit; and the moving unit. Holding means for holding the moved position of the support portion.

本発明の放射線画像撮影装置によれば、基準物が各放射線画像に含まれるように配置可能に支持されるため、基準物と測定物とを同時に撮影することができるとともに、回転機構の回転にかかわらず基準物と測定物との相対位置が固定可能であるため、基準物と測定物との接触を回避することができる。基準物と測定物との接触を回避できることから、基準物を測定物に近づけて配置することができ、分解能の低下を抑制することが可能になる。さらに、基準物の位置を調整可能であるため、利便性を向上させることが可能になる。   According to the radiographic image capturing apparatus of the present invention, the reference object is supported so as to be included in each of the radiation images, so that the reference object and the measurement object can be simultaneously imaged, and the rotation of the rotation mechanism can be performed. Regardless, the relative position between the reference object and the measurement object can be fixed, so that contact between the reference object and the measurement object can be avoided. Since the contact between the reference object and the measurement object can be avoided, the reference object can be arranged closer to the measurement object, and a decrease in resolution can be suppressed. Furthermore, since the position of the reference object can be adjusted, convenience can be improved.

放射線画像撮影装置の全体構成図。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a radiographic image capturing apparatus. （ａ）ステージ装置の平面図、（ｂ）ステージ装置の正面図、（ｃ）Ａ部の拡大図。(A) The top view of a stage apparatus, (b) The front view of a stage apparatus, (c) The enlarged view of the A section. （ａ）基準物の位置調整を説明するための図、（ｂ）比較例を示す図。(A) The figure for demonstrating position adjustment of a reference | standard object, (b) The figure which shows a comparative example. Ｘ線画像の撮影方法を示すフローチャート。9 is a flowchart illustrating a method of capturing an X-ray image. 基準物の位置調整を説明するための図。FIG. 4 is a diagram for explaining position adjustment of a reference object.

以下、本実施形態に係る放射線画像撮影装置１０について図面を参照しながら説明する。図１は、放射線画像撮影装置１０の全体構成図である。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、図１における左右方向をＸ軸方向、図１における前後方向をＹ軸方向、図１における上下方向をＺ軸方向とする。   Hereinafter, the radiation image capturing apparatus 10 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall configuration diagram of the radiographic image capturing apparatus 10. In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set, the left-right direction in FIG. 1 is the X-axis direction, the front-rear direction in FIG. 1 is the Y-axis direction, and the up-down direction in FIG. 1 is the Z-axis direction.

本実施形態に係る放射線画像撮影装置１０は、測定物１１の内部構造や測定物１１の内部に生じた欠陥等の情報を取得したり、それらの寸法を計測したりするＸ線ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置として構成されている。   The radiation image capturing apparatus 10 according to the present embodiment acquires information such as the internal structure of the measurement object 11 and a defect generated inside the measurement object 11 and measures the dimensions of the X-ray CT (Computed Tomography). ) Is configured as a device.

図１に示すように、放射線画像撮影装置１０は、ステージ装置１４と、Ｘ線照射器１５と、Ｘ線検出器１６と、駆動機構１７と、制御装置１８と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the radiation image capturing apparatus 10 includes a stage device 14, an X-ray irradiator 15, an X-ray detector 16, a driving mechanism 17, and a control device 18.

ステージ装置１４は、測定物１１が設置される設置部として機能するものである。測定物１１としては、例えば機械部品や電気部品等の産業部品が用いられる。ステージ装置１４には、基準物１２を支持する支持部としての支持機構５２が設けられている。なお、ステージ装置１４及び支持機構５２の詳細は後述する。   The stage device 14 functions as an installation section on which the measurement object 11 is installed. As the measurement object 11, for example, industrial parts such as mechanical parts and electric parts are used. The stage device 14 is provided with a support mechanism 52 as a support unit that supports the reference object 12. The details of the stage device 14 and the support mechanism 52 will be described later.

基準物１２は、寸法が既知の物体であり、２〜３ｍｍの直径を有する球体である。基準物１２は、測定物１１と同程度のＸ線吸収率を有することが好ましく、例えば測定物１１がアルミ製である場合には、サファイア等によって形成することができる。   The reference object 12 is an object having a known size and is a sphere having a diameter of 2 to 3 mm. The reference object 12 preferably has the same X-ray absorptivity as the measurement object 11. For example, when the measurement object 11 is made of aluminum, it can be formed of sapphire or the like.

Ｘ線照射器１５は、測定物１１及び基準物１２に向けてＸ線を照射するものである。Ｘ線照射器１５は、例えばＸ線管等のＸ線源によって構成され、フィラメントから放出される電子をターゲットに衝突させて波長１ｐｍ〜３０ｎｍのＸ線を発生する。Ｘ線としては、約５０ｅＶの超軟Ｘ線、約０．１〜２ｋｅＶの軟Ｘ線、約２〜２０ｋｅＶのＸ線及び約２０〜１００ｋｅＶの硬Ｘ線等を用いることができる。   The X-ray irradiator 15 irradiates the measurement object 11 and the reference object 12 with X-rays. The X-ray irradiator 15 is configured by, for example, an X-ray source such as an X-ray tube, and collides electrons emitted from a filament with a target to generate X-rays having a wavelength of 1 pm to 30 nm. As the X-ray, ultra soft X-ray of about 50 eV, soft X-ray of about 0.1 to 2 keV, X-ray of about 2 to 20 keV, hard X-ray of about 20 to 100 keV, and the like can be used.

Ｘ線照射器１５は、測定物１１及び基準物１２に対して略円錐状に広がるコーンビームＸ線を照射するように構成されている。なお、コーンビームＸ線に限らず、扇状に広がるファンビームＸ線や線状のペンシルビームＸ線を照射してもよい。   The X-ray irradiator 15 is configured to irradiate the measurement object 11 and the reference object 12 with cone beam X-rays that spread in a substantially conical shape. In addition, not only the cone beam X-ray but also a fan beam X-ray spreading in a fan shape or a linear pencil beam X-ray may be applied.

Ｘ線検出器１６は、測定物１１及び基準物１２を透過したＸ線を検出するものであり、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像（透視画像）を撮影する撮影部として機能する。Ｘ線検出器１６には、測定物１１及び基準物１２を透過したＸ線が入射されるシンチレータ部１６ａと、シンチレータ部１６ａの出力に基づいて画像信号を生成する受光部１６ｂとが設けられている。シンチレータ部１６ａは、Ｘ線を可視光に変換する蛍光物質を備えて構成されており、受光部１６ｂは、シンチレータ部１６ａによって変換された可視光を受光して光電変換し、電気信号の画像信号を出力する。   The X-ray detector 16 detects X-rays transmitted through the measurement object 11 and the reference object 12, and functions as an imaging unit that captures X-ray images (perspective images) of the measurement object 11 and the reference object 12. The X-ray detector 16 is provided with a scintillator section 16a into which X-rays transmitted through the measurement object 11 and the reference object 12 are incident, and a light receiving section 16b that generates an image signal based on an output of the scintillator section 16a. I have. The scintillator unit 16a includes a fluorescent substance that converts X-rays into visible light, and the light receiving unit 16b receives the visible light converted by the scintillator unit 16a, photoelectrically converts the visible light, and generates an image signal of an electric signal. Is output.

駆動機構１７は、ステージ装置１４を回転させたり、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させたりするものであり、回転駆動部２１と、第１駆動部２２と、第２駆動部２３と、第３駆動部２４と、を備えている。   The drive mechanism 17 rotates the stage device 14 and moves the stage device 14 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. The rotation drive unit 21, the first drive unit 22, and the second drive unit 23 and a third drive unit 24.

回転駆動部２１は、ステージ装置１４を回転させる回転機構として機能するものである。回転駆動部２１は、回転盤２１ａ（図２（ｂ）参照）と、回転盤２１ａを回転させる駆動源（例えばモータ）２１ｂと、駆動源２１ｂを駆動するドライバ回路２１ｃ等を備え、Ｚ軸方向に延びる軸線Ｏを中心としてステージ装置１４を回転させる。回転駆動部２１には、ステージ装置１４の回転位置（回転角）を検出するためのロータリエンコーダ２１ｄが設けられており、ロータリエンコーダ２１ｄの検出値は制御装置１８に出力される。   The rotation drive unit 21 functions as a rotation mechanism that rotates the stage device 14. The rotation drive unit 21 includes a turntable 21a (see FIG. 2B), a drive source (for example, a motor) 21b for rotating the turntable 21a, a driver circuit 21c for driving the drive source 21b, and the like, and a Z-axis direction. The stage device 14 is rotated about an axis O extending to the center. The rotation drive unit 21 is provided with a rotary encoder 21d for detecting a rotation position (rotation angle) of the stage device 14, and a detection value of the rotary encoder 21d is output to the control device 18.

第１駆動部２２は、ステージ装置１４をＸ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２２ａやドライバ回路２２ｂ、ステージ装置１４をＸ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第１駆動部２２には、Ｘ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２２ｃが設けられており、リニアエンコーダ２２ｃの検出値は制御装置１８に出力される。   The first drive unit 22 moves the stage device 14 in the X-axis direction, and includes a drive source (for example, a motor) 22a, a driver circuit 22b, and a guide unit (not shown) for guiding the stage device 14 in the X-axis direction. Have. The first drive unit 22 is provided with a linear encoder 22c for detecting the position of the stage device 14 in the X-axis direction, and a detection value of the linear encoder 22c is output to the control device 18.

第２駆動部２３は、ステージ装置１４をＹ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２３ａやドライバ回路２３ｂ、ステージ装置１４をＹ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第２駆動部２３には、Ｙ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２３ｃが設けられており、リニアエンコーダ２３ｃの検出値は制御装置１８に出力される。   The second drive unit 23 moves the stage device 14 in the Y-axis direction, and includes a drive source (for example, a motor) 23a, a driver circuit 23b, and a guide unit (not shown) for guiding the stage device 14 in the Y-axis direction. Have. The second drive unit 23 is provided with a linear encoder 23c for detecting the position of the stage device 14 in the Y-axis direction, and a detection value of the linear encoder 23c is output to the control device 18.

第３駆動部２４は、ステージ装置１４をＺ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２４ａやドライバ回路２４ｂ、ステージ装置１４をＺ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第３駆動部２４には、Ｚ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２４ｃが設けられており、リニアエンコーダ２４ｃの検出値は制御装置１８に出力される。   The third drive unit 24 moves the stage device 14 in the Z-axis direction, and includes a drive source (for example, a motor) 24a, a driver circuit 24b, and a guide unit (not shown) for guiding the stage device 14 in the Z-axis direction. Have. The third drive unit 24 is provided with a linear encoder 24c for detecting the position of the stage device 14 in the Z-axis direction, and a detection value of the linear encoder 24c is output to the control device 18.

制御装置１８は、放射線画像撮影装置１０の動作を統括的に制御するものである。制御装置１８には、Ｘ線照射器１５、Ｘ線検出器１６及び駆動機構１７を制御して測定物１１及び基準物１２のＸ線画像を取得する撮影制御部３１と、撮影制御部３１により取得されたＸ線画像にエッジ処理や再構成等の信号処理を施して測定物１１及び基準物１２の３次元画像や断層面画像を生成する画像処理部３２と、画像処理部３２により生成された３次元画像から測定物１１及び基準物１２の寸法を計測する寸法計測部３３と、寸法計測部３３により計測された基準物１２の寸法に基づいて測定物１１の３次元画像を補正する画像補正部３４と、が設けられている。制御装置１８は、ＲＯＭ３５及びＲＡＭ３６を搭載しており、ＲＯＭ３５には撮影処理プログラム、画像処理プログラム及び補正処理プログラム等が記憶され、ＲＡＭ３６は画像処理や補正処理の際の作業メモリとして使用される。   The control device 18 controls the operation of the radiation image capturing device 10 in a comprehensive manner. The control device 18 includes an imaging control unit 31 that controls the X-ray irradiator 15, the X-ray detector 16, and the driving mechanism 17 to obtain X-ray images of the measurement object 11 and the reference object 12, and an imaging control unit 31. An image processing unit 32 that performs signal processing such as edge processing and reconstruction on the acquired X-ray image to generate a three-dimensional image and a tomographic plane image of the measurement object 11 and the reference object 12, and an image processing unit 32 A dimension measurement unit 33 that measures the dimensions of the measured object 11 and the reference object 12 from the three-dimensional image obtained by the measurement, and an image that corrects the three-dimensional image of the measured object 11 based on the dimensions of the reference object 12 measured by the dimension measurement unit 33 And a correction unit 34. The control device 18 includes a ROM 35 and a RAM 36. The ROM 35 stores a photographing processing program, an image processing program, a correction processing program, and the like, and the RAM 36 is used as a working memory for image processing and correction processing.

制御装置１８には、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像や３次元画像等が表示される表示部３７と、オペレータが入力操作するための入力部３８とが接続されている。   The control unit 18 is connected to a display unit 37 on which an X-ray image, a three-dimensional image, and the like of the measurement object 11 and the reference object 12 are displayed, and an input unit 38 for an operator to perform an input operation.

放射線画像撮影装置１０では、Ｘ線照射器１５とＸ線検出器１６とがＸ軸方向に対向配置され、それらの間に測定物１１及び基準物１２が位置するようにステージ装置１４が配置されている。そして、第２駆動部２３及び第３駆動部２４によりステージ装置１４のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置調整がなされることで、測定物１１及び基準物１２が撮影可能空間４０（図２参照）内に配置される。その状態で、回転駆動部２１によりステージ装置１４が回転駆動され、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像が撮影される。   In the radiographic image capturing apparatus 10, an X-ray irradiator 15 and an X-ray detector 16 are arranged to face each other in the X-axis direction, and a stage device 14 is arranged so that a measurement object 11 and a reference object 12 are located therebetween. ing. Then, the position of the stage device 14 in the Y-axis direction and the Z-axis direction is adjusted by the second driving unit 23 and the third driving unit 24, so that the measurement object 11 and the reference object 12 can be photographed in the space 40 (see FIG. 2). ). In this state, the stage device 14 is driven to rotate by the rotation drive unit 21, and X-ray images of the measurement object 11 and the reference object 12 are captured.

ここで、撮影可能空間４０とは軸線Ｏを中心軸とする円柱状の空間であり、回転撮影により得られる各回転位置のＸ線画像から３次元画像を生成することが可能な範囲である。撮影可能空間４０の大きさ（直径及び高さ）は、ステージ装置１４をＸ軸方向に移動させてＸ線照射器１５と測定物１１との距離を変更することで調整することができる。   Here, the photographable space 40 is a cylindrical space having the axis O as a central axis, and is a range in which a three-dimensional image can be generated from an X-ray image at each rotational position obtained by rotational photographing. The size (diameter and height) of the photographable space 40 can be adjusted by moving the stage device 14 in the X-axis direction and changing the distance between the X-ray irradiator 15 and the object 11.

＜ステージ装置１４の構成について＞
次に、図２を参照しながらステージ装置１４の構成について説明する。図２（ａ）はステージ装置１４の平面図、図２（ｂ）はステージ装置１４の正面図、図２（ｃ）はＡ部の拡大図である。 <About the configuration of the stage device 14>
Next, the configuration of the stage device 14 will be described with reference to FIG. 2A is a plan view of the stage device 14, FIG. 2B is a front view of the stage device 14, and FIG. 2C is an enlarged view of a portion A.

ステージ装置１４は、大別して、ステージ本体５１と、支持機構５２と、スペーサ５３と、を備えている。   The stage device 14 roughly includes a stage main body 51, a support mechanism 52, and a spacer 53.

図２（ｂ）に示すように、ステージ本体５１には、ステージ装置１４を回転駆動部２１の回転盤２１ａに取り付けるための取付板６１が設けられている。取付板６１は、複数の取付ねじ６２によって回転盤２１ａにねじ止めされ、これにより、ステージ本体５１が回転盤２１ａに固定される。   As shown in FIG. 2B, the stage main body 51 is provided with a mounting plate 61 for mounting the stage device 14 to the turntable 21 a of the rotary drive unit 21. The mounting plate 61 is screwed to the turntable 21a by a plurality of mounting screws 62, whereby the stage body 51 is fixed to the turntable 21a.

取付板６１の上面には円柱状の支柱６３が設けられており、支柱６３の上面には支柱６３よりも大径に形成された円盤状の拡径部６４が設けられている。拡径部６４の上面には拡径部６４よりも小径に形成された円柱状の小径部６５が設けられている。これら取付板６１、支柱６３、拡径部６４及び小径部６５は、金属によって一体形成されており、それぞれの中心軸線が軸線Ｏと一致するように配置されている。   A columnar column 63 is provided on an upper surface of the mounting plate 61, and a disk-shaped enlarged portion 64 having a larger diameter than the column 63 is provided on an upper surface of the column 63. On the upper surface of the enlarged diameter portion 64, a columnar small diameter portion 65 formed to have a smaller diameter than the enlarged diameter portion 64 is provided. The mounting plate 61, the support 63, the large-diameter portion 64, and the small-diameter portion 65 are integrally formed of metal, and are arranged so that their respective central axes coincide with the axis O.

拡径部６４の上面には環状に形成された金属製の回転リング部６７が配置されている。回転リング部６７の外周面には支持機構５２が連結されている。なお、支持機構５２の詳細は後述する。   On the upper surface of the enlarged diameter portion 64, an annular metal rotating ring portion 67 is arranged. The support mechanism 52 is connected to the outer peripheral surface of the rotating ring 67. The details of the support mechanism 52 will be described later.

回転リング部６７の中央部には、回転リング部６７を厚さ方向に貫通する貫通孔６８が設けられている。貫通孔６８の径は小径部６５の径よりも僅かに大きく設定されており、貫通孔６８には小径部６５が挿通されている。   A through hole 68 is provided at the center of the rotating ring 67 so as to penetrate the rotating ring 67 in the thickness direction. The diameter of the through hole 68 is set slightly larger than the diameter of the small diameter portion 65, and the small diameter portion 65 is inserted through the through hole 68.

小径部６５の上面には、スペーサ５３が設置される台座部７１が配置されている。台座部７１は、小径部６５よりも大径に形成された金属製の円盤状部材であり、その中心軸が軸線Ｏと一致するように配置されている。台座部７１には、台座部７１を厚さ方向に貫通する位置決め孔７２が設けられている。位置決め孔７２は、小径部６５の上面に設けられた位置決め凹部６６と連通しており、位置決め孔７２及び位置決め凹部６６には、その上部が台座部７１の上面よりも上方に突出するようにして位置決めピン７３が挿入されている。さらに、台座部７１の上面には、中心軸から径方向に離間した位置に位置決め凹部７４が設けられている。   On the upper surface of the small diameter portion 65, a pedestal portion 71 on which the spacer 53 is installed is arranged. The pedestal portion 71 is a metal disc-shaped member formed to have a larger diameter than the small-diameter portion 65, and is arranged such that the central axis thereof coincides with the axis O. The pedestal 71 is provided with a positioning hole 72 penetrating the pedestal 71 in the thickness direction. The positioning hole 72 communicates with a positioning recess 66 provided on the upper surface of the small-diameter portion 65, and the positioning hole 72 and the positioning recess 66 have their upper portions protruding above the upper surface of the pedestal portion 71. The positioning pin 73 is inserted. Further, a positioning recess 74 is provided on the upper surface of the pedestal 71 at a position radially separated from the central axis.

台座部７１は、複数の取付ねじ７５によって小径部６５の上面にねじ止めされているが、回転リング部６７とはねじ止め等の連結がなされていない。このため、回転リング部６７は、台座部７１と拡径部６４とにより挟まれた状態で、小径部６５の周面に沿って回転可能となっている。つまり、回転リング部６７は、台座部７１に対して軸線Ｏ回りに回転可能となっている。   The pedestal portion 71 is screwed to the upper surface of the small-diameter portion 65 by a plurality of mounting screws 75, but is not connected to the rotating ring portion 67 by screwing or the like. For this reason, the rotating ring portion 67 is rotatable along the peripheral surface of the small diameter portion 65 while being sandwiched between the pedestal portion 71 and the enlarged diameter portion 64. That is, the rotating ring 67 is rotatable around the axis O with respect to the pedestal 71.

台座部７１の下面には略半球状の溝部７６が複数設けられている。これら複数の溝部７６は、図２（ａ）に示すように、軸線Ｏを中心とする円の全周に亘って等間隔に配列されている。溝部７６と相対するように、回転リング部６７にはノッチ機構６９が配置されている。ノッチ機構６９は、ノッチ機構６９の上端部に配置された球体６９ａと、球体６９ａを上方に付勢するばね等の弾性体６９ｂとを備えており、球体６９ａの上端部が回転リング部６７の上面よりも上方に突出するようにして配置されている。ノッチ機構６９の球体６９ａが台座部７１の下面に設けられた複数の溝部７６のうちの１つと係合することで、台座部７１に対する回転リング部６７の回転位置が保持される。   A plurality of substantially hemispherical grooves 76 are provided on the lower surface of the base 71. As shown in FIG. 2A, the plurality of grooves 76 are arranged at equal intervals over the entire circumference of a circle centered on the axis O. A notch mechanism 69 is arranged on the rotating ring 67 so as to face the groove 76. The notch mechanism 69 includes a sphere 69a disposed at an upper end of the notch mechanism 69 and an elastic body 69b such as a spring for urging the sphere 69a upward. It is arranged so as to protrude above the upper surface. The rotating position of the rotating ring 67 with respect to the pedestal 71 is maintained by engaging the sphere 69 a of the notch mechanism 69 with one of the plurality of grooves 76 provided on the lower surface of the pedestal 71.

このような構成により、回転駆動部２１により回転駆動力が付与されて台座部７１が回転する場合には、台座部７１に付随して回転リング部６７が回転するようになっている。その一方で、ノッチ機構６９の保持力を超える外力が回転リング部６７に付与された場合には、回転リング部６７のみが独立して回転するようになっている。   With such a configuration, when the pedestal 71 is rotated by applying a rotational driving force by the rotary drive 21, the rotating ring 67 is rotated accompanying the pedestal 71. On the other hand, when an external force exceeding the holding force of the notch mechanism 69 is applied to the rotating ring 67, only the rotating ring 67 rotates independently.

なお、回転リング部６７を台座部７１と一体的に回転可能としつつ、回転リング部６７のみを独立に回転可能とするものであれば、その構成は任意である。例えば、台座部７１の回転方向が一方向に定まっている場合は、台座部７１に対する回転リング部６７の回転を一方向のみに許容するラチェット機構を用いてもよい。上記ノッチ機構やラチェット機構は、回転リング部６７の上面と台座部７１の下面との間に限らず、回転リング部６７の下面と拡径部６４の上面との間や、小径部６５の周面と貫通孔６８を区画する壁面との間に設けられてもよい。   The configuration is arbitrary as long as only the rotating ring 67 can be independently rotated while the rotating ring 67 can be rotated integrally with the pedestal 71. For example, when the rotation direction of the pedestal portion 71 is determined in one direction, a ratchet mechanism that allows the rotation of the rotating ring portion 67 with respect to the pedestal portion 71 in only one direction may be used. The notch mechanism and the ratchet mechanism are not limited to between the upper surface of the rotating ring portion 67 and the lower surface of the pedestal portion 71, but also between the lower surface of the rotating ring portion 67 and the upper surface of the enlarged diameter portion 64, and the periphery of the small diameter portion 65. It may be provided between the surface and a wall surface defining the through hole 68.

スペーサ５３は、測定物１１が設置されるものであり、測定物１１の高さ位置を調整するために設けられている。測定物１１を設置する場合には、スペーサ５３の上面に測定物１１が両面テープ等によって固定される。なお、スペーサ５３への測定物１１の固定は、滑り止めシート等の滑り止め構造や、エア吸引等による吸着構造によって行ってもよい。   The spacer 53 on which the measurement object 11 is installed is provided for adjusting the height position of the measurement object 11. When the measurement object 11 is installed, the measurement object 11 is fixed on the upper surface of the spacer 53 with a double-sided tape or the like. Note that the measurement object 11 may be fixed to the spacer 53 by a non-slip structure such as a non-slip sheet or an adsorption structure by air suction or the like.

スペーサ５３の下面には、台座部７１に対してスペーサ５３を位置決めするための位置決め凹部８２及び位置決め突起８３が設けられている。位置決め凹部８２には位置決めピン７３の上部が挿入され、位置決め突起８３は台座部７１の位置決め凹部７４に挿入される。スペーサ５３は、台座部７１に対してねじ止め等されておらず、着脱自在となっている。なお、スペーサ５３は台座部７１に対してねじ止めされてもよい。   A positioning recess 82 and a positioning projection 83 for positioning the spacer 53 with respect to the pedestal 71 are provided on the lower surface of the spacer 53. The upper portion of the positioning pin 73 is inserted into the positioning recess 82, and the positioning projection 83 is inserted into the positioning recess 74 of the pedestal 71. The spacer 53 is not screwed or the like to the pedestal 71 and is detachable. The spacer 53 may be screwed to the pedestal 71.

＜支持機構５２の構成について＞
次に、支持機構５２の構成について図２及び図３を参照しながら説明する。 <About the structure of the support mechanism 52>
Next, the configuration of the support mechanism 52 will be described with reference to FIGS.

支持機構５２は、撮影可能空間４０内に基準物１２を配置可能に支持する支持部として機能するものである。支持機構５２は、図２に示すように、回転リング部６７の外周面に連結された支持ベース９１と、支持ベース９１によって支持された回動クランプ９２と、回動クランプ９２によって支持され、その先端部に基準物１２が設置された支持アーム９３と、を備えている。   The support mechanism 52 functions as a support unit that supports the reference object 12 in the photographable space 40 so that the reference object 12 can be arranged. As shown in FIG. 2, the support mechanism 52 is supported by a support base 91 connected to the outer peripheral surface of the rotary ring 67, a rotary clamp 92 supported by the support base 91, and a rotary clamp 92. A support arm 93 having a reference object 12 installed at a distal end thereof.

支持ベース９１は、回動クランプ９２を回動可能に支持する第２支持体として機能とする金属製の部材であり、空間部９４を挟んで対向する一対の壁部９５ａ，９５ｂを備えている。これら壁部９５ａ，９５ｂは平板状をなしており、各壁部の回転リング部６７側の端部が連結部９５ｃを介して連結されている。   The support base 91 is a metal member functioning as a second support that rotatably supports the rotation clamp 92, and includes a pair of wall portions 95 a and 95 b opposed to each other with the space portion 94 interposed therebetween. . The walls 95a and 95b are in the form of a flat plate, and the ends of the walls on the side of the rotating ring 67 are connected via a connecting portion 95c.

連結部９５ｃは、複数の取付ねじ７０によって回転リング部６７の外周面にねじ止めされており、これにより、支持機構５２が回転リング部６７に固定されている。このため、回転リング部６７が回転した場合には、回転リング部６７と一体的に支持機構５２が回転する。   The connecting portion 95c is screwed to the outer peripheral surface of the rotating ring portion 67 by a plurality of mounting screws 70, whereby the support mechanism 52 is fixed to the rotating ring portion 67. Therefore, when the rotating ring 67 rotates, the support mechanism 52 rotates integrally with the rotating ring 67.

壁部９５ａ，９５ｂのそれぞれには、各壁部をそれらの対向方向に貫通する円柱状の貫通孔９６が設けられている。一方、回動クランプ９２の両側面には、壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に沿って外側に延びる円柱状の軸部材９７が設けられている。これら軸部材９７が壁部９５ａ，９５ｂの貫通孔９６に挿通されるようにして、壁部９５ａと壁部９５ｂとの間の空間部９４に回動クランプ９２が収容されている。貫通孔９６と軸部材９７との径は略一致しており、回動クランプ９２の幅寸法は空間部９４のそれよりも僅かに小さくなっている。かかる構成により、回動クランプ９２が支持ベース９１の支持を受けながら空間部９４において軸部材９７の軸線回りに回動可能となっている。   Each of the wall portions 95a and 95b is provided with a cylindrical through-hole 96 that penetrates each wall portion in the facing direction. On the other hand, on both side surfaces of the rotating clamp 92, columnar shaft members 97 extending outward along the direction in which the wall portions 95a and 95b face each other are provided. The rotation clamp 92 is accommodated in the space 94 between the wall 95a and the wall 95b such that the shaft members 97 are inserted into the through holes 96 of the walls 95a and 95b. The diameter of the through hole 96 and the diameter of the shaft member 97 are substantially the same, and the width of the rotating clamp 92 is slightly smaller than that of the space 94. With this configuration, the rotation clamp 92 can rotate around the axis of the shaft member 97 in the space 94 while being supported by the support base 91.

回動クランプ９２の高さ位置は、図２（ｂ）に示すように、回転リング部６７の真横ではなく、回転リング部６７の斜め上方に設定されている。これは、支持アーム９３及びその回動軸（軸部材９７）の位置を高くして、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することを抑制し、支持アーム９３の回動範囲を大きく確保するためのものである。   As shown in FIG. 2B, the height position of the rotating clamp 92 is set not obliquely above the rotating ring 67 but diagonally above the rotating ring 67. This raises the position of the support arm 93 and its rotation axis (shaft member 97), suppresses the support arm 93 from interfering with the spacer 53 and the pedestal 71, and enlarges the rotation range of the support arm 93. It is for securing.

回動クランプ９２は支持アーム９３を長さ方向に進退可能に支持する第１支持体として機能する金属製の部材である。回動クランプ９２には、回動クランプ９２を回動クランプ９２の前後方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に直交する方向）に貫通する円柱状の貫通孔９８が設けられている。貫通孔９８には丸棒状（円柱状）の支持アーム９３が挿通されており、回動クランプ９２が回動することで支持アーム９３が回動するようになっている。貫通孔９８の径は支持アーム９３の径よりも大きく形成されており、支持アーム９３が貫通孔９８内を支持アーム９３の長さ方向に移動可能になっている。   The rotation clamp 92 is a metal member that functions as a first support that supports the support arm 93 so as to be able to advance and retreat in the length direction. The rotating clamp 92 is provided with a cylindrical through-hole 98 that penetrates the rotating clamp 92 in a front-rear direction of the rotating clamp 92 (a direction orthogonal to a direction in which the walls 95a and 95b are opposed to each other). A support arm 93 in the shape of a round bar (column) is inserted into the through hole 98, and the support arm 93 is rotated by the rotation of the rotation clamp 92. The diameter of the through-hole 98 is formed larger than the diameter of the support arm 93, and the support arm 93 can move in the through-hole 98 in the length direction of the support arm 93.

なお、貫通孔９８は、軸部材９７よりも上方に配置されている。これにより、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することを抑制し、支持アーム９３の回動範囲の拡大に寄与している。   In addition, the through-hole 98 is arranged above the shaft member 97. This suppresses the support arm 93 from interfering with the spacer 53 and the pedestal 71, thereby contributing to the expansion of the rotation range of the support arm 93.

貫通孔９８の上方には、貫通孔９８の長さ方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に直交する方向）に沿って延びるスリット状の隙間９９が形成されている。隙間９９は、貫通孔９８と連通し、貫通孔９８の全長に亘って形成されている。これにより、貫通孔９８の上方において回動クランプ９２の上部が、壁部９５ａ側の第１部分９２ａと壁部９５ｂ側の第２部分９２ｂとに二分されている。隙間９９は貫通孔９８の径を変更可能とするための変更部として機能するものであり、回動クランプ９２に対して隙間９９の幅寸法を縮小させる方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向）の外力を付与することで、貫通孔９８の径を縮小可能となっている。   Above the through-hole 98, a slit-shaped gap 99 is formed extending along the length direction of the through-hole 98 (a direction orthogonal to the direction in which the walls 95a and 95b are opposed to each other). The gap 99 communicates with the through hole 98 and is formed over the entire length of the through hole 98. Thus, the upper portion of the rotary clamp 92 above the through hole 98 is divided into a first portion 92a on the wall portion 95a side and a second portion 92b on the wall portion 95b side. The gap 99 functions as a change portion that allows the diameter of the through hole 98 to be changed, and the direction in which the width dimension of the gap 99 is reduced with respect to the rotating clamp 92 (the direction in which the wall portions 95a and 95b face each other). By applying the external force described above, the diameter of the through hole 98 can be reduced.

貫通孔９８の側方において、支持ベース９１の壁部９５ａには、壁部９５ａを貫通するようにねじ孔１００が設けられている。ねじ孔１００には、壁部９５ａの外側からクランプねじ１０１が螺合されている。クランプねじ１０１の締め込み方向の先端部と壁部９５ｂの内壁面との間には回動クランプ９２が位置しており、クランプねじ１０１を締め込み方向に回転させた場合、クランプねじ１０１の締め込み方向の先端部が回動クランプ９２に当接する。   On the side of the through hole 98, a screw hole 100 is provided in the wall 95a of the support base 91 so as to penetrate the wall 95a. A clamp screw 101 is screwed into the screw hole 100 from outside the wall 95a. A rotation clamp 92 is located between the distal end of the clamp screw 101 in the tightening direction and the inner wall surface of the wall 95b, and when the clamp screw 101 is rotated in the tightening direction, the clamp screw 101 is tightened. The leading end in the insertion direction contacts the rotating clamp 92.

そして、クランプねじ１０１を締め込むことで、回動クランプ９２の第１部分９２ａが第２部分９２ｂに向けて押圧され、隙間９９の幅寸法を狭めるように回動クランプ９２が変形する。その結果、貫通孔９８の径が縮小され、貫通孔９８の周面（貫通孔９８を区画する内壁面）によって支持アーム９３がクランプ（挟持）される。これにより、支持アーム９３の進退位置が保持されるようになっている。   Then, by tightening the clamp screw 101, the first portion 92a of the rotating clamp 92 is pressed toward the second portion 92b, and the rotating clamp 92 is deformed so as to reduce the width of the gap 99. As a result, the diameter of the through hole 98 is reduced, and the support arm 93 is clamped (nipped) by the peripheral surface of the through hole 98 (the inner wall surface that defines the through hole 98). Thereby, the advance / retreat position of the support arm 93 is held.

これと同時に、クランプねじ１０１を締め込んだ場合には、クランプねじ１０１によって回動クランプ９２の全体が壁部９５ｂに向けて押圧され、クランプねじ１０１と壁部９５ｂとによって回動クランプ９２がクランプ（挟持）される。これにより、回動クランプ９２の回動角が保持されるようになっている。   At the same time, when the clamp screw 101 is tightened, the entire rotation clamp 92 is pressed toward the wall 95b by the clamp screw 101, and the rotation clamp 92 is clamped by the clamp screw 101 and the wall 95b. (Pinched). Thus, the rotation angle of the rotation clamp 92 is maintained.

支持アーム９３の進退位置を保持する場合のクランプ方向と、回動クランプ９２の回動角を保持する場合のクランプ方向とを一致させているため、１個のクランプねじ１０１によって支持アーム９３の進退位置と回動クランプ９２の回動角とを保持することが可能となっており、一度の締め付け操作で両者を保持し得るようになっている。これにより、部品点数の削減と作業性の向上とが図られている。   Since the clamp direction for holding the advancing / retracting position of the support arm 93 and the clamp direction for holding the rotation angle of the rotation clamp 92 are matched, the movement of the support arm 93 by one clamp screw 101 is performed. The position and the rotation angle of the rotation clamp 92 can be held, and both can be held by a single tightening operation. Thus, the number of parts is reduced and workability is improved.

ここで、ねじ孔１００の位置（クランプねじ１０１の位置）は、その中心が回動クランプ９２の軸部材９７の中心（回動クランプ９２の回動中心）よりも上方となるように設定されている。換言すれば、ねじ孔１００は軸部材９７よりも隙間９９側に位置するように設定されている。これにより、クランプねじ１０１を締め込んだ場合に、回動クランプ９２を容易に変形させることができ、支持アーム９３の進退位置を好適に保持することが可能となる。   Here, the position of the screw hole 100 (the position of the clamp screw 101) is set such that the center thereof is higher than the center of the shaft member 97 of the rotating clamp 92 (the rotating center of the rotating clamp 92). I have. In other words, the screw hole 100 is set to be located closer to the gap 99 than the shaft member 97. Accordingly, when the clamp screw 101 is tightened, the rotating clamp 92 can be easily deformed, and the advancing / retreating position of the support arm 93 can be suitably held.

なお、クランプねじ１０１の頭部につまみやレバー等を付設することで、工具を用いることなく、人手で締め込み作業が可能となるようにしてもよい。   In addition, by attaching a knob, a lever, or the like to the head of the clamp screw 101, the tightening operation may be manually performed without using a tool.

因みに、本実施形態において、回動クランプ９２は、基準物１２と支持アーム９３の回動軸との距離を変更可能とする変更手段としても機能し、回動クランプ９２及び支持ベース９１は、支持アーム９３を回動可能とする回動手段としても機能する。   Incidentally, in the present embodiment, the rotation clamp 92 also functions as a change unit that can change the distance between the reference object 12 and the rotation axis of the support arm 93, and the rotation clamp 92 and the support base 91 support the rotation. The arm 93 also functions as a rotating unit that enables the arm 93 to rotate.

支持アーム９３は基準物１２を支持するための長尺状の部材であり、その先端部には基準物１２が設置されている。前述の通り、支持機構５２は回転リング部６７と一体的に回転するように構成されているため、回転駆動部２１によりステージ装置１４が回転駆動された場合、支持アーム９３は測定物１１の周囲を公転することとなる。このため、ステージ装置１４の回転角度によっては、支持アーム９３が測定物１１とＸ線照射器１５との間に入り込み、測定物１１に対してＸ線照射器１５側から重なることがある。この場合、Ｘ線画像において測定物１１の前方に支持アーム９３が重なって映り込むこととなり、Ｘ線画像の解析処理等に悪影響を及ぼすおそれがある。   The support arm 93 is a long member for supporting the reference object 12, and the reference object 12 is installed at a tip end thereof. As described above, since the support mechanism 52 is configured to rotate integrally with the rotary ring 67, when the stage device 14 is rotationally driven by the rotary drive unit 21, the support arm 93 moves around the object 11 to be measured. Will orbit. For this reason, depending on the rotation angle of the stage device 14, the support arm 93 may enter between the object 11 and the X-ray irradiator 15 and overlap the object 11 from the X-ray irradiator 15 side. In this case, in the X-ray image, the support arm 93 overlaps and is projected in front of the measurement object 11, which may adversely affect the analysis processing of the X-ray image.

この点に鑑み、本実施形態では、支持アーム９３は測定物１１及び基準物１２よりもＸ線吸収率が低くなるように形成されている。これにより、Ｘ線が支持アーム９３を透過しやすくなり、Ｘ線画像への支持アーム９３の映り込みが抑制される。支持アーム９３の材質は、測定物１１及び基準物１２の材質等を考慮して定める必要があるが、例えば基準物１２がサファイア製で、測定物１１がアルミ製である場合には、カーボンやアクリル樹脂等を用いることができる。   In view of this point, in the present embodiment, the support arm 93 is formed so that the X-ray absorptivity is lower than that of the measurement object 11 and the reference object 12. This makes it easier for the X-rays to pass through the support arm 93, and suppresses the reflection of the support arm 93 on the X-ray image. The material of the support arm 93 needs to be determined in consideration of the materials of the measurement object 11 and the reference object 12. For example, when the reference object 12 is made of sapphire and the measurement object 11 is made of aluminum, carbon or carbon is used. Acrylic resin or the like can be used.

回動クランプ９２においても支持アーム９３と同様、測定物１１の周囲を公転するが、回動クランプ９２は、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入しないように、その高さ位置が制限されている。具体的には、回動クランプ９２の高さは、図３（ａ）に示すように、回動クランプ９２（支持アーム９３）がどの回動角にあっても、回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面、換言すれば、撮影可能空間４０の下端位置）よりも下方となるように設定されている。   Similarly to the support arm 93, the rotation clamp 92 revolves around the measurement object 11, but the height position of the rotation clamp 92 is restricted so that the rotation clamp 92 does not enter the photographable space 40. Have been. Specifically, as shown in FIG. 3A, the height of the rotation clamp 92 is set at the upper end position of the rotation clamp 92 regardless of the rotation angle of the rotation clamp 92 (support arm 93). Is set to be lower than the upper surface of the spacer 53 (the installation surface of the measurement object 11, in other words, the lower end position of the photographable space 40).

このため、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入することはなく、Ｘ線画像への映り込みが回避されている。このことは、支持ベース９１においても同様であり、その上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように設定されている。これにより、回動クランプ９２及び支持ベース９１がＸ線画像の解析処理等に悪影響を及ぼすことが防止され、回動クランプ９２及び支持ベース９１の材料選択の自由度を向上させることが可能となる。   For this reason, the rotating clamp 92 does not enter the photographable space 40, and the reflection on the X-ray image is avoided. The same applies to the support base 91, and the upper end position is set to be lower than the upper surface of the spacer 53. Accordingly, the rotation clamp 92 and the support base 91 are prevented from adversely affecting the analysis processing of the X-ray image, and the degree of freedom in selecting the material of the rotation clamp 92 and the support base 91 can be improved. .

なお、回動クランプ９２の上端位置は、支持アーム９３が起立状態となるときの回動角において最も位置が高くなる。このため、起立状態における回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように回動クランプ９２の高さ位置を設定すれば、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入することを確実に回避することができる。但し、支持アーム９３が起立状態である場合は基準物１２が撮影可能空間４０内に入らないことが多いと想定される。このため、基準物１２を撮影可能空間４０内に配置可能な回動クランプ９２の回動範囲が定まる場合には、少なくともその範囲内において、回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように、回動クランプ９２の高さ位置を設定すればよい。   Note that the upper end position of the rotating clamp 92 is highest at the rotating angle when the support arm 93 is in the upright state. For this reason, if the height position of the rotating clamp 92 is set so that the upper end position of the rotating clamp 92 in the upright state is lower than the upper surface of the spacer 53, the rotating clamp 92 enters the photographable space 40. Can be reliably avoided. However, when the support arm 93 is in the upright state, it is assumed that the reference object 12 often does not enter the photographable space 40. For this reason, when the rotation range of the rotation clamp 92 in which the reference object 12 can be arranged in the photographable space 40 is determined, the upper end position of the rotation clamp 92 is higher than the upper surface of the spacer 53 at least within that range. What is necessary is just to set the height position of the rotation clamp 92 so that it may become lower.

支持アーム９３の先端部には、支持アーム９３の長さ方向に対して斜めに交差する傾斜面１０２が形成されている。傾斜面１０２には、図２（ｃ）に示すように、曲面状の凹部１０２ａが形成されている。凹部１０２ａの曲率は基準物１２の曲率と一致するように形成されており、基準物１２の一部が凹部１０２ａに嵌められた状態にて基準物１２が接着剤等により接着されている。   An inclined surface 102 that obliquely intersects the length direction of the support arm 93 is formed at the tip of the support arm 93. As shown in FIG. 2C, a curved concave portion 102a is formed in the inclined surface 102. The curvature of the recess 102a is formed so as to match the curvature of the reference object 12, and the reference object 12 is adhered by an adhesive or the like in a state where a part of the reference object 12 is fitted in the recess 102a.

後述するように、本実施形態では、基準物１２のＸ線画像から基準物１２の直径寸法を計測するが、この場合、Ｘ線画像において少なくとも基準物１２の上半分の領域１２ａが撮影されていることが求められる。このような条件の下、支持アーム９３（回動クランプ９２）を回動させて基準物１２の位置調整を行うが、図２（ｂ）に示すように、支持アーム９３は、基準物１２の位置を決めた時点において、水平状態や起立状態ではなく、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）に対して傾斜する状態に回動していることが想定される。   As will be described later, in the present embodiment, the diameter of the reference object 12 is measured from the X-ray image of the reference object 12. In this case, at least the upper half region 12a of the reference object 12 is photographed in the X-ray image. Is required. Under such conditions, the position of the reference object 12 is adjusted by rotating the support arm 93 (rotation clamp 92). However, as shown in FIG. At the time when the position is determined, it is assumed that the rotation is not in a horizontal state or an upright state, but in a state of being inclined with respect to the installation surface of the measurement object 11 (the upper surface of the spacer 53).

この場合において、図３（ｂ）に示すように、例えば傾斜面１０２を設けることなく、支持アーム９３の長さ方向（軸線方向）と平行な平面上に基準物１２を設置すると、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）に対する基準物１２の傾きが大きくなり、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影することが困難となる。   In this case, as shown in FIG. 3B, when the reference object 12 is set on a plane parallel to the length direction (axial direction) of the support arm 93 without providing the inclined surface 102, for example, the measurement object 11 The inclination of the reference object 12 with respect to the installation surface (the upper surface of the spacer 53) becomes large, and it becomes difficult to photograph the upper half area 12a of the reference object 12.

この点、本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、支持アーム９３をある程度傾斜させた時点で傾斜面１０２がスペーサ５３の上面と平行になり、基準物１２を水平姿勢とすることができる。よって、位置決め時点における基準物１２の傾きの程度を少なく抑えることができ、上記不都合を解消することが可能になる。傾斜面１０２の傾斜角度は、支持アーム９３を起立状態からスペーサ５３の上面に向けて回動させた場合の回動範囲における中間位置にて、傾斜面１０２とスペーサ５３の上面とが平行となるように設定することが好ましい。   In this regard, in the present embodiment, as shown in FIG. 2B, when the support arm 93 is inclined to some extent, the inclined surface 102 becomes parallel to the upper surface of the spacer 53, and the reference object 12 is in a horizontal posture. Can be. Therefore, the degree of inclination of the reference object 12 at the time of positioning can be reduced, and the above-described inconvenience can be solved. The inclination angle of the inclined surface 102 is such that the inclined surface 102 and the upper surface of the spacer 53 are parallel to each other at an intermediate position in a rotation range when the support arm 93 is rotated toward the upper surface of the spacer 53 from the upright state. It is preferable to set as follows.

基準物１２は凹部１０２ａに嵌められた状態で傾斜面１０２に設置されるが、凹部１０２ａの深さｄは、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影可能とすべく、基準物１２の半径未満に設定される。但し、半径未満であっても、凹部１０２ａの深さｄを必要以上に大きくすると、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影可能な支持アーム９３の回動範囲が狭くなるし、接着剤等がＸ線画像に大きく映り込むことにも繋がる。この点を踏まえると、凹部１０２ａの深さｄは、基準物１２を支持可能な範囲内で浅く形成することが好ましい。具体的には、基準物１２の直径の１／４以下とすることが好ましく、１／１０以下とすることがより好ましい。   The reference object 12 is installed on the inclined surface 102 in a state of being fitted into the concave portion 102a. The depth d of the concave portion 102a is set to be equal to the radius of the reference object 12 so that the upper half area 12a of the reference object 12 can be photographed. Set to less than. However, if the depth d of the concave portion 102a is unnecessarily increased even if the radius is smaller than the radius, the rotation range of the support arm 93 capable of photographing the upper half area 12a of the reference object 12 is reduced, and the adhesive Can be greatly reflected on the X-ray image. In consideration of this point, it is preferable that the depth d of the concave portion 102a is formed to be shallow as long as the reference object 12 can be supported. Specifically, the diameter is preferably equal to or less than 1/4 of the diameter of the reference material 12, and more preferably equal to or less than 1/10.

＜Ｘ線画像の撮影方法について＞
次に、図４を参照しながらＸ線画像の撮影方法について説明する。 <How to take X-ray images>
Next, a method of capturing an X-ray image will be described with reference to FIG.

ステップＳ１では、オペレータが基準物１２の位置調整を行う。本ステップは、スペーサ５３に測定物１１を設置した状態で行ってもよいし、未設置の状態で行ってもよい。   In step S1, the operator adjusts the position of the reference object 12. This step may be performed in a state where the measurement object 11 is installed on the spacer 53, or may be performed in a state where it is not installed.

基準物１２の位置調整は、第１の方法及び第２の方法の少なくとも一方を用いて行うことができる。以下、これらの方法について分説する。   The position adjustment of the reference object 12 can be performed using at least one of the first method and the second method. Hereinafter, these methods will be described separately.

＜基準物１２の位置を調整する第１の方法について＞
図３（ａ）を参照しながら基準物１２の位置を調整する第１の方法について説明する。 <First Method of Adjusting Position of Reference Object 12>
A first method for adjusting the position of the reference object 12 will be described with reference to FIG.

第１の方法は、支持アーム９３の進退操作及び回動クランプ９２の回動操作によって基準物１２の位置を調整するものである。   The first method is to adjust the position of the reference object 12 by moving the support arm 93 forward and backward and turning the rotating clamp 92.

第１の方法にあたっては、まず、クランプねじ１０１を緩め、支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角が保持されている状態を解除する。これにより、支持アーム９３が回動クランプ９２に対して長さ方向に進退可能となるとともに、回動クランプ９２が支持ベース９１に対して回動可能となる。そして、支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角を変更して基準物１２の位置を変更し、基準物１２の位置合わせを行う。   In the first method, first, the clamp screw 101 is loosened to release the state in which the advancing / retreating position of the support arm 93 and the turning angle of the turning clamp 92 are maintained. Thus, the support arm 93 can move forward and backward with respect to the rotation clamp 92 in the length direction, and the rotation clamp 92 can rotate with respect to the support base 91. Then, the position of the reference object 12 is changed by changing the advance / retreat position of the support arm 93 and the rotation angle of the rotation clamp 92, and the position of the reference object 12 is adjusted.

このように、支持アーム９３の進退操作及び回動クランプ９２の回動操作を組み合わせることで、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）の上方において、縦方向（設置面に対して直交する第１方向）と横方向（第１方向に直交する第２方向）とに基準物１２の位置を変更することができ、基準物１２の高さ位置及び横方向位置を自由に変更することが可能である。   In this manner, by combining the forward / backward operation of the support arm 93 and the rotation operation of the rotation clamp 92, a vertical direction (perpendicular to the installation surface) is provided above the installation surface of the workpiece 11 (the upper surface of the spacer 53). The position of the reference object 12 can be changed in the first direction) and in the lateral direction (second direction orthogonal to the first direction), and the height position and the lateral position of the reference object 12 can be freely changed. It is possible.

基準物１２の位置を合わせた後は、クランプねじ１０１を締め込んで支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角を保持し、基準物１２の位置を固定する。   After the position of the reference object 12 is adjusted, the clamp screw 101 is tightened to maintain the advancing / retreating position of the support arm 93 and the rotation angle of the rotation clamp 92, thereby fixing the position of the reference object 12.

なお、支持アーム９３をスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面）に対して直交する面内において回動可能に構成しているが、必ずしも支持アーム９３の回動方向を上記設置面と直交させる必要はなく、設置面に対して交差するものであれば足りる。支持アーム９３を進退させる構成に代えて、支持アーム９３を伸縮させる構成としてもよく、支持アーム９３上を基準物１２が移動する構成としてもよい。   Note that the support arm 93 is configured to be rotatable in a plane perpendicular to the upper surface of the spacer 53 (the installation surface of the measurement object 11), but the rotation direction of the support arm 93 is not necessarily orthogonal to the installation surface. It is not necessary to make them intersect with the installation surface. Instead of moving the support arm 93 forward and backward, the support arm 93 may be expanded and contracted, or the reference object 12 may move on the support arm 93.

＜基準物１２の位置を調整する第２の方法について＞
図５を参照しながら基準物１２の位置を調整する第２の方法について説明する。 <About the second method of adjusting the position of the reference object 12>
A second method for adjusting the position of the reference object 12 will be described with reference to FIG.

第２の方法は、回転リング部６７の回転操作によって基準物１２の位置を調整するものである。   The second method is to adjust the position of the reference object 12 by rotating the rotating ring 67.

図５に示すように、例えば測定物１１の隅部に基準物１２を配置可能な大きさの凹部１０３が存在していた場合に、スペーサ５３上に設置された測定物１１を周方向に回して基準物１２との位置合わせを行いたいことがある。しかしながら、両面テープ等により測定物１１が固定されていると、測定物１１をスペーサ５３から取り外す必要が生じ、測定物１１の損傷を招いたり、再度の固定作業を強いられたりする。   As shown in FIG. 5, for example, when there is a concave portion 103 large enough to dispose the reference object 12 at the corner of the measured object 11, the measurement object 11 placed on the spacer 53 is rotated in the circumferential direction. In some cases, it is desired to perform positioning with the reference object 12. However, when the measurement object 11 is fixed with a double-sided tape or the like, it is necessary to remove the measurement object 11 from the spacer 53, which may cause damage to the measurement object 11 or force the fixing operation again.

このような場合に、回転リング部６７に対して矢印Ａ方向の回転力を付与し、回転リング部６７をスペーサ５３（台座部７１）に対して回転させる。これにより、測定物１１の取り外しを要することなく、基準物１２の位置を測定物１１の周方向に変更させることができる。回転リング部６７の回転位置は、溝部７６及びノッチ機構６９（図２参照）によって保持される。なお、基準物１２及び支持アーム９３が測定物１１と接触しないように、予め支持アーム９３をスペーサ５３から離間する方向に回動させておくことが好ましい。   In such a case, a rotating force in the direction of arrow A is applied to the rotating ring 67 to rotate the rotating ring 67 relative to the spacer 53 (pedestal 71). Thereby, the position of the reference object 12 can be changed in the circumferential direction of the measurement object 11 without removing the measurement object 11. The rotational position of the rotary ring 67 is held by the groove 76 and the notch mechanism 69 (see FIG. 2). It is preferable that the support arm 93 be previously rotated in a direction away from the spacer 53 so that the reference object 12 and the support arm 93 do not contact the measurement object 11.

図４に戻り、ステップＳ２では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を非回転とした状態で、Ｘ線照射を行う。具体的には、測定物１１及び基準物１２をＸ線の照射範囲内に位置させた状態で、Ｘ線照射器１５からＸ線を照射する。   Returning to FIG. 4, in step S2, X-ray irradiation is performed in a state where the object 11 is set and the stage device 14 is not rotated. Specifically, X-rays are emitted from the X-ray irradiator 15 in a state where the measurement object 11 and the reference object 12 are positioned within the X-ray irradiation range.

ステップＳ３では、Ｘ線照射により得られたＸ線画像を表示部３７に表示する。そして、ステップＳ４では、オペレータが表示部３７に表示されたＸ線画像を見ながら、撮影範囲（撮影可能空間４０）の大きさを調整するとともに、撮影範囲内における測定物１１及び基準物１２の位置を調整する。これらの作業は入力部３８を介して第１〜第３駆動部２２〜２４を操作することにより行う。なお、ステップＳ３，Ｓ４の処理はＸ線を照射し続けた状態で行う。   In step S3, an X-ray image obtained by X-ray irradiation is displayed on the display unit 37. In step S4, the operator adjusts the size of the imaging range (capturable space 40) while viewing the X-ray image displayed on the display unit 37, and adjusts the size of the measurement object 11 and the reference object 12 within the imaging range. Adjust the position. These operations are performed by operating the first to third driving units 22 to 24 via the input unit 38. Note that the processing of steps S3 and S4 is performed in a state where the X-ray is continuously irradiated.

ステップＳ５では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を非回転とした状態で、Ｘ線検出器１６の感度を調整するためのキャリブレーション処理を行う。本処理では、測定物１１、基準物１２及びステージ装置１４がＸ線の照射範囲外に位置するように、ステージ装置１４を移動させる。その状態で、Ｘ線照射器１５からＸ線を照射し、空気中を通過したＸ線をＸ線検出器１６により検出して撮影する。また、Ｘ線照射器１５からのＸ線の照射を停止し、Ｘ線がＸ線検出器１６に到達しない状況下で撮影を行う。これら全透過及び非透過状態での撮影結果を基にＸ線検出器１６の感度調整を行う。   In step S5, a calibration process for adjusting the sensitivity of the X-ray detector 16 is performed in a state where the object 11 is set and the stage device 14 is not rotated. In the present process, the stage device 14 is moved so that the measurement object 11, the reference object 12, and the stage device 14 are located outside the X-ray irradiation range. In this state, X-rays are emitted from the X-ray irradiator 15 and X-rays that have passed through the air are detected by the X-ray detector 16 and photographed. Further, irradiation of X-rays from the X-ray irradiator 15 is stopped, and imaging is performed in a state where X-rays do not reach the X-ray detector 16. The sensitivity of the X-ray detector 16 is adjusted based on the imaging results in the fully transmitting and non-transmitting states.

ステップＳ６では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を回転させた状態で、撮影処理を行う。具体的には、ステップＳ４で撮影範囲を調整したときの位置にステージ装置１４を移動させ、その状態で、ステージ装置１４を３６０°回転させながら、ロータリエンコーダの検出値に基づいてステージ装置１４の回転位置を検出し、所定の回転位置（例えば０．５°）ごとに測定物１１及び基準物１２のＸ線画像を撮影していく。   In step S6, a photographing process is performed in a state where the measurement object 11 is set and the stage device 14 is rotated. Specifically, the stage device 14 is moved to the position at which the photographing range was adjusted in step S4, and in this state, the stage device 14 is rotated by 360 ° while the stage device 14 is rotated based on the detection value of the rotary encoder. The rotational position is detected, and X-ray images of the measurement object 11 and the reference object 12 are taken for each predetermined rotation position (for example, 0.5 °).

続くステップＳ７では、各回転位置のＸ線画像に対して画像処理部３２によりエッジ処理や再構成等の画像処理を施し、測定物１１及び基準物１２の３次元画像を生成する。なお、再構成の方法としては、逆投影法、フィルタ補正逆投影法及び逐次近似法等を用いることができる。さらに、本ステップでは、生成した測定物１１及び基準物１２の３次元画像を表示部３７に表示する。   In the following step S7, the image processing unit 32 performs image processing such as edge processing and reconstruction on the X-ray image at each rotation position, and generates a three-dimensional image of the measured object 11 and the reference object 12. As a reconstruction method, a back projection method, a filtered back projection method, a successive approximation method, or the like can be used. Further, in this step, the generated three-dimensional images of the measurement object 11 and the reference object 12 are displayed on the display unit 37.

その後、ステップＳ８では、基準物１２の３次元画像から基準物１２の寸法を計測する。本実施形態では、基準物１２の寸法として平均直径を計測する。続くステップＳ９では、計測した基準物１２の平均直径を表示部３７の表示画面に表示する。この際、基準物１２の実寸も併せて表示する。   Thereafter, in step S8, the dimensions of the reference object 12 are measured from the three-dimensional image of the reference object 12. In the present embodiment, the average diameter is measured as the dimension of the reference object 12. In the following step S9, the measured average diameter of the reference object 12 is displayed on the display screen of the display unit 37. At this time, the actual size of the reference object 12 is also displayed.

ここで、Ｘ線照射器１５においては、ターゲットに衝突した電子の一部がＸ線となるが、他の一部は熱に変換される。このため、Ｘ線を長期間に亘って照射し続けていると、ターゲットの温度が上昇し、ターゲットが熱変形する場合がある。ターゲットが熱変形すると、Ｘ線の照射方向が変化してＸ線が揺らぎ、Ｘ線検出器１６に投影される測定物１１のＸ線画像の位置や大きさが変化するという問題が生じる。   Here, in the X-ray irradiator 15, some of the electrons that collided with the target become X-rays, but the other part is converted into heat. Therefore, if the X-rays are continuously irradiated for a long period of time, the temperature of the target may increase, and the target may be thermally deformed. When the target is thermally deformed, the X-ray irradiation direction changes, the X-ray fluctuates, and the position and size of the X-ray image of the object 11 projected on the X-ray detector 16 change.

本実施形態では、測定物１１及び基準物１２を同時に撮影するため、上記Ｘ線の揺らぎの影響は基準物１２のＸ線画像にも反映される。このため、撮影途中でＸ線の揺らぎが生じた場合には、その影響が基準物１２の計測寸法値に現れ、基準物１２の実寸とは異なる計測値が得られるようになる。Ｘ線の揺らぎの影響は、球体の表面に歪みが生じるなど基準物１２の３次元画像にも反映される。したがって、基準物１２の計測寸法値と実寸値とを見比べたり、基準物１２の３次元画像の表面形状等を参照することで、撮影途中で撮影条件が変化したことを把握することができる。   In the present embodiment, since the measurement object 11 and the reference object 12 are photographed at the same time, the influence of the X-ray fluctuation is also reflected on the X-ray image of the reference object 12. For this reason, when the X-ray fluctuation occurs during the imaging, the influence appears on the measurement dimension value of the reference object 12, and a measurement value different from the actual size of the reference object 12 can be obtained. The influence of the fluctuation of the X-rays is also reflected on the three-dimensional image of the reference object 12 such as distortion of the surface of the sphere. Therefore, by comparing the measured dimension value and the actual dimension value of the reference object 12 or referring to the surface shape of the three-dimensional image of the reference object 12, it is possible to grasp that the imaging conditions have changed during the imaging.

オペレータが基準物１２の計測寸法値と実寸値とを見比べたり、基準物１２の３次元画像の表面形状等を参照した結果、入力部３８を介して補正処理を行うように入力した場合には（ステップＳ１０のＹＥＳ）、画像補正部３４により基準物１２の計測寸法値と実寸との差分に基づいて測定物１１の３次元画像を補正する（ステップＳ１１）。一方、補正処理を行わないと判断した場合には（ステップＳ１０のＮＯ）、測定物１１に対して補正処理を行うことなく、撮影処理を終了する。   When the operator compares the measured dimension value of the reference object 12 with the actual size value, or refers to the surface shape of the three-dimensional image of the reference object 12 and the like, and inputs an instruction to perform the correction processing via the input unit 38, (YES in step S10), the image correction unit 34 corrects the three-dimensional image of the measured object 11 based on the difference between the measured dimension value of the reference object 12 and the actual size (step S11). On the other hand, when it is determined that the correction process is not performed (NO in step S10), the photographing process ends without performing the correction process on the measurement object 11.

なお、測定物１１の寸法を計測する場合には、補正後の測定物１１の３次元画像や断層面画像（未補正の場合は補正無しの３次元画像や断層面画像）を表示部３７の表示画面に表示した状態で、オペレータが表示画面上の二点を指定し、当該二点間の距離を寸法計測部３３により求めるようにして行う。   When the dimensions of the measurement object 11 are measured, a three-dimensional image or tomographic image of the corrected measurement object 11 (uncorrected three-dimensional image or tomographic image) is displayed on the display unit 37. In the state displayed on the display screen, the operator specifies two points on the display screen, and obtains the distance between the two points by the dimension measuring unit 33.

以上、詳述した本実施形態の構成によれば、以下の優れた効果が得られる。   According to the configuration of the present embodiment described in detail above, the following excellent effects can be obtained.

・基準物１２を撮影可能空間４０内に配置可能に支持する支持機構５２を備えた。これにより、各回転位置のＸ線画像を撮影するにあたって基準物１２と測定物１１とを同時に撮影することができる。 A support mechanism 52 for supporting the reference object 12 so as to be able to be arranged in the photographable space 40 is provided. Thereby, when imaging the X-ray image at each rotation position, the reference object 12 and the measurement object 11 can be simultaneously imaged.

・測定物１１と基準物１２とが一体的に回転するように構成し、回転駆動部２１による回転にかかわらず測定物１１と基準物１２との相対位置を固定化するようにした。これにより、測定物１１と基準物１２との位置関係を撮影期間において終始維持することができ、測定物１１を避けて基準物１２の位置を決めれば、回転が行われても測定物１１と基準物１２とが接触しない。 The measurement object 11 and the reference object 12 are configured to rotate integrally, and the relative position between the measurement object 11 and the reference object 12 is fixed regardless of rotation by the rotation drive unit 21. Thereby, the positional relationship between the measurement object 11 and the reference object 12 can be maintained throughout the imaging period. If the position of the reference object 12 is determined avoiding the measurement object 11, the measurement object 11 and the reference object 12 can be maintained even if the rotation is performed. The reference object 12 does not contact.

そして、測定物１１が回転しても基準物１２と接触しないことから、基準物１２の位置を決めるにあたり、基準物１２を測定物１１に近づけて配置することができる。この場合、基準物１２を測定物１１とともに撮影する構成としても、撮影可能空間４０の拡大が不要であったり、拡大量を少なく抑えたりすることができるため、分解能の低下を抑制することが可能になる。   Then, even when the measurement object 11 rotates, the reference object 12 does not come into contact with the reference object 12. Therefore, when determining the position of the reference object 12, the reference object 12 can be arranged close to the measurement object 11. In this case, even in a configuration in which the reference object 12 is photographed together with the measurement object 11, the enlargement of the photographable space 40 is unnecessary, and the amount of enlargement can be reduced, so that a decrease in resolution can be suppressed. become.

・測定物１１に対する基準物１２の位置を調整する調整部（支持ベース９１及び回動クランプ９２）を備え、調整部により調整された基準物１２の位置で測定物１１と基準物１２との相対位置を固定可能とした。 An adjustment unit (support base 91 and a rotating clamp 92) for adjusting the position of the reference object 12 with respect to the measurement object 11 is provided, and the relative position between the measurement object 11 and the reference object 12 is adjusted at the position of the reference object 12 adjusted by the adjustment unit. The position can be fixed.

例えばスペーサ５３や台座部７１の直下に基準物１２を配置した場合やスペーサ５３等内に基準物１２を埋設した場合、スペーサ５３等の上面に基準物１２を設置した場合には、測定物１１の設置面から比較的に遠く離れた領域（例えば測定物１１の上部）を部分撮影しようとしても、基準物１２が撮影領域に届かないという不都合が生じ得る。加えて、スペーサ５３等の上面に基準物１２を設置した場合には、測定物１１を設置するための領域が基準物１２により狭められ、設置可能な測定物１１の大きさが制限されるという問題も起こり得る。   For example, when the reference object 12 is disposed immediately below the spacer 53 or the pedestal 71, when the reference object 12 is buried in the spacer 53 or the like, or when the reference object 12 is installed on the upper surface of the spacer 53 or the like, the measurement object 11 Even if an attempt is made to partially photograph an area relatively far from the installation surface (for example, the upper part of the measurement object 11), a problem may occur that the reference object 12 does not reach the imaging area. In addition, when the reference object 12 is installed on the upper surface of the spacer 53 or the like, the area for installing the measurement object 11 is narrowed by the reference object 12, which limits the size of the measurement object 11 that can be installed. Problems can arise.

この点、調整部を備えた上記構成では、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）の上方において、基準物１２の高さ位置を変更することで、設置面から比較的に遠く離れた領域でも基準物１２を届かせることができ、部分撮影の要望に対して柔軟に対応することが可能になる。しかも、測定物１１の周面に凹み等があるなど、測定物１１における高さ方向の途中位置に基準物１２を配置可能な空間が存在する場合にも、その空間の位置に合わせて基準物１２の高さ位置を調整することができ、利便性が大幅に向上する。   In this regard, in the above-described configuration including the adjustment unit, by changing the height position of the reference object 12 above the installation surface of the measurement object 11 (the upper surface of the spacer 53), the reference object 12 is relatively far away from the installation surface. The reference object 12 can be reached even in the area, and it is possible to flexibly respond to a request for partial imaging. In addition, even when there is a space where the reference object 12 can be arranged at an intermediate position in the height direction of the measurement object 11 such as a dent or the like on the peripheral surface of the measurement object 11, the reference object is adjusted to the position of the space. 12, the height position can be adjusted, and the convenience is greatly improved.

上記構成では、基準物１２の横方向位置を変更することで、設置可能な測定物１１の大きさが基準物１２によって制限されるという問題も解消することができる。すなわち、測定物１１の設置に先立ち、設置面の上方空間から側方に退避させるように基準物１２を移動させることで、設置面の上方から測定物１１を設置する場合に、測定物１１の設置領域が基準物１２によって狭められることを抑制することができる。   In the above configuration, by changing the horizontal position of the reference object 12, the problem that the size of the installable measurement object 11 is limited by the reference object 12 can be solved. That is, by moving the reference object 12 so as to retreat to the side from the space above the installation surface before the installation of the measurement object 11, when the measurement object 11 is installed from above the installation surface, It is possible to suppress the installation area from being narrowed by the reference object 12.

基準物１２を測定物１１に近づけるように移動させることで、小サイズの測定物１１の場合でも基準物１２を測定物１１に接近させた状態で配置することが可能になる。その上で、撮影可能空間４０を測定物１１に適した大きさに縮小調整すれば、Ｘ線画像内に占める測定物１１の割合を大きくすることができ、分解能を向上させることが可能になる。   By moving the reference object 12 closer to the measurement object 11, it is possible to arrange the reference object 12 close to the measurement object 11 even in the case of a small-size measurement object 11. Then, if the photographable space 40 is reduced and adjusted to a size suitable for the measurement object 11, the proportion of the measurement object 11 in the X-ray image can be increased, and the resolution can be improved. .

・支持アーム９３の進退位置を保持可能なクランプ部（貫通孔９８を区画する内壁面）を回動クランプ９２に備えるとともに、回動クランプ９２の回動角を保持可能な一対の押え部（クランプねじ１０１、壁部９５ｂ）を支持ベース９１に備え、一対の押え部の間に、クランプ部のクランプ方向を一対の押え部のクランプ方向と一致させるようにして回動クランプ９２を配置した。これにより、１個の締め具（クランプねじ１０１）によって支持アーム９３の進退位置と回動クランプ９２の回動角とを保持できるとともに、それらの保持（又は保持状態の解除）を一度の締め付け操作（又は緩める操作）で済ませることができる。よって、部品点数の削減と作業性の向上とを図ることが可能になる。 A pair of holding portions (clamps) which are provided on the rotating clamp 92 with a clamp portion (an inner wall surface defining the through hole 98) capable of holding the advancing / retreating position of the support arm 93, and which can hold the rotating angle of the rotating clamp 92; The screw 101 and the wall 95b) are provided on the support base 91, and the rotating clamp 92 is arranged between the pair of pressing parts so that the clamping direction of the clamping part matches the clamping direction of the pair of pressing parts. Thus, the advancing / retreating position of the support arm 93 and the rotation angle of the rotation clamp 92 can be held by one fastener (clamp screw 101), and holding (or release of the holding state) is performed by a single tightening operation. (Or loosening operation). Therefore, it is possible to reduce the number of parts and improve workability.

なお、必ずしも支持ベース９１のクランプ方向と回動クランプ９２のクランプ方向とを一致させる必要はなく、支持ベース９１における一対の押え部による締め付け力が回動クランプ９２のクランプ方向に作用するものであれば、その構成は任意である。   The clamp direction of the support base 91 and the clamp direction of the rotary clamp 92 do not necessarily have to match each other, as long as the clamping force of the pair of pressing portions of the support base 91 acts in the clamp direction of the rotary clamp 92. If so, the configuration is arbitrary.

・支持アーム９３の先端部に傾斜面１０２を設け、傾斜面１０２に基準物１２を設置した。これにより、支持アーム９３を傾斜させた場合に基準物１２を水平姿勢とすることができ、基準物１２の傾きの程度を少なく抑えることが可能になる。 -The inclined surface 102 was provided at the tip of the support arm 93, and the reference object 12 was installed on the inclined surface 102. Accordingly, when the support arm 93 is inclined, the reference object 12 can be set in a horizontal posture, and the degree of inclination of the reference object 12 can be reduced.

なお、支持アーム９３の傾斜面１０２は逆傾斜としてもよい。この場合、測定物１１の斜め上方から支持アーム９３を吊下げ支持し、支持アーム９３が垂下する状態から上方へ向かうように支持アーム９３を回動させる構成とすることができる。   Note that the inclined surface 102 of the support arm 93 may be reversely inclined. In this case, the support arm 93 can be suspended and supported from obliquely above the measurement object 11, and the support arm 93 can be rotated upward from a state where the support arm 93 hangs down.

・支持アーム９３の放射線吸収率を基準物１２及び測定物１１の放射線吸収率よりも低くした。これにより、Ｘ線画像への支持アーム９３の映り込みが抑制され、撮影結果に悪影響を及ぼすことが抑制される。 The radiation absorptance of the support arm 93 is lower than the radiation absorptivity of the reference object 12 and the measurement object 11. Thereby, the reflection of the support arm 93 on the X-ray image is suppressed, and the adverse effect on the imaging result is suppressed.

本発明は上記実施形態に限らず、例えば次のように実施されてもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment, and may be implemented, for example, as follows.

（１）上記実施形態では、ステージ装置１４を回転させたが、ステージ装置１４を回転しない構成とした上で、Ｘ線照射器１５及びＸ線検出器１６を回転させてもよいし、ステージ装置１４を回転させると同時に、その逆方向にＸ線照射器１５及びＸ線検出器１６を回転させてもよい。測定物１１とＸ線とを相対的に回転させることができれば、その構成は任意である。 (1) In the above embodiment, the stage device 14 is rotated, but the X-ray irradiator 15 and the X-ray detector 16 may be rotated after the stage device 14 is not rotated. At the same time as rotating 14, the X-ray irradiator 15 and the X-ray detector 16 may be rotated in the opposite directions. The configuration is arbitrary as long as the object 11 and the X-ray can be relatively rotated.

（２）上記実施形態では、基準物１２を球状に形成したが、例えば円柱状や円錐状、角柱状等の球状以外の形状であってもよい。 (2) In the above embodiment, the reference object 12 is formed in a spherical shape, but may be in a shape other than a spherical shape such as a columnar shape, a conical shape, a prismatic shape, or the like.

（３）上記実施形態では、支持アーム９３を円柱状に形成したが、例えば角柱状等の他の形状であってもよい。この場合、回動クランプ９２の貫通孔９８は支持アーム９３の形状と整合する形状とすればよい。 (3) In the above embodiment, the support arm 93 is formed in a cylindrical shape, but may be formed in another shape such as a prism. In this case, the through hole 98 of the rotating clamp 92 may have a shape that matches the shape of the support arm 93.

（４）上記実施形態では、基準物１２の位置を縦方向及び横方向の双方に調整可能としたが、縦方向又は横方向のいずれかのみに調整可能としてもよい。 (4) In the above embodiment, the position of the reference object 12 can be adjusted in both the vertical direction and the horizontal direction. However, the position of the reference object 12 may be adjusted in either the vertical direction or the horizontal direction.

（５）上記実施形態では、支持アーム９３が進退及び回動する構成としたが、これに代えて、基準物１２を縦方向へ直線状に移動させる機構と、基準物１２を横方向へ直線状に移動させる機構とを設けてもよい。 (5) In the above embodiment, the support arm 93 is configured to move forward and backward, and is rotated. Alternatively, a mechanism for moving the reference object 12 linearly in the vertical direction, and a mechanism for moving the reference object 12 linearly in the horizontal direction. And a mechanism for moving the shape.

（６）上記実施形態では、回転リング部６７を設けるが、これに代えて又は加えて、基準物１２を測定物１１に対して前後方向へ直線状に移動させる機構（例えばスライド機構）を設けてもよい。 (6) In the above embodiment, the rotary ring 67 is provided, but instead or additionally, a mechanism (for example, a slide mechanism) for moving the reference object 12 linearly in the front-rear direction with respect to the measurement object 11 is provided. You may.

（７）上記実施形態では、放射線としてＸ線を用いるが、測定物１１に対して透過性を有する放射線であれば、γ線やマイクロ波等の他の放射線を用いることもできる。 (7) In the above embodiment, X-rays are used as the radiation. However, other radiations such as γ-rays and microwaves may be used as long as the radiations have transparency to the measurement object 11.

（８）上記実施形態では、測定物１１を３６０°回転させるが、測定物１１の回転量は３６０°未満であってもよいし、３６０°を超えるものであってもよい。 (8) In the above embodiment, the measured object 11 is rotated by 360 °, but the rotation amount of the measured object 11 may be less than 360 ° or may be more than 360 °.

（９）上記実施形態では、支持アーム９３の全体を測定物１１及び基準物１２よりもＸ線吸収率が低くなるように形成したが、少なくとも撮影可能空間４０内に含まれる部分においてＸ線吸収率が低くなるように形成すればよい。 (9) In the above-described embodiment, the entire support arm 93 is formed so that the X-ray absorption rate is lower than that of the measurement object 11 and the reference object 12, but at least the portion included in the photographable space 40 has the X-ray absorption. What is necessary is just to form so that a rate may become low.

（１０）上記実施形態では、測定物１１をスペーサ５３上に設置するが、スペーサ５３を省略して台座部７１の上面に測定物１１を直接設置してもよい。測定物１１の固定は、スペーサ５３の場合と同様、両面テープによる貼付構造や滑り止め構造、吸着構造等を用いることができる。この場合において、支持ベース９１及び回動クランプ９２は、それらの上端位置が台座部７１の上面よりも下方となるように高さ位置を設定することが好ましい。 (10) In the above embodiment, the measured object 11 is installed on the spacer 53, but the spacer 53 may be omitted and the measured object 11 may be installed directly on the upper surface of the pedestal 71. As in the case of the spacer 53, the measurement object 11 can be fixed using a sticking structure using a double-sided tape, a non-slip structure, a suction structure, or the like. In this case, it is preferable to set the height position of the support base 91 and the rotation clamp 92 such that their upper end positions are lower than the upper surface of the pedestal 71.

（１１）上記実施形態では、支持ベース９１及び回動クランプ９２の上端位置をスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面）よりも下方に位置させるが、スペーサ５３の上面よりも上方に位置させてもよい。これにより、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することをより好適に回避することができ、撮影可能空間４０内における基準物１２の位置調整範囲を拡大することができる。但し、支持ベース９１及び回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入する可能性があるため、それらのＸ線吸収率が測定物１１及び基準物１２のＸ線吸収率よりも低くなるように、材料選択や構造設計等を行うことが好ましい。 (11) In the above embodiment, the upper end positions of the support base 91 and the rotation clamp 92 are positioned below the upper surface of the spacer 53 (the installation surface of the object 11), but are positioned higher than the upper surface of the spacer 53. You may. Thereby, it is possible to more suitably prevent the support arm 93 from interfering with the spacer 53 and the pedestal portion 71, and it is possible to expand the position adjustment range of the reference object 12 in the photographable space 40. However, since there is a possibility that the support base 91 and the rotating clamp 92 may enter the photographable space 40, the X-ray absorptivity of these objects is set lower than the X-ray absorptivity of the measurement object 11 and the reference object 12. It is preferable to perform material selection and structural design.

（１２）上記実施形態では、支持アーム９３を一直線状に形成したが、支持アーム９３の一部をスペーサ５３側に折り曲げ形成したり、支持アーム９３の全体をスペーサ５３側と反対側に凸となる円弧状に形成したりしてもよい。これにより、基準物１２を測定物１１の下部に近づけやすくなる。 (12) In the above embodiment, the support arm 93 is formed in a straight line. However, a part of the support arm 93 is formed by bending the support arm 93 to the spacer 53 side, or the entire support arm 93 is formed to be convex on the side opposite to the spacer 53 side. It may be formed in an arc shape. This makes it easier to bring the reference object 12 closer to the lower part of the measurement object 11.

（１３）上記実施形態では、基準物１２の位置調整を手作業で行うが、駆動源を設けて機械的に移動させる構成としてもよい。その際、上方から測定物１１を撮影するカメラを設け、カメラの撮影画像を見ながらオペレータが回動クランプ９２及び支持アーム９３を操作し、基準物１２を移動させてもよい。カメラの撮影画像を画像解析して適切な空間を検出し、当該検出した空間に自動的に基準物１２を移動させてもよい。 (13) In the above embodiment, the position adjustment of the reference object 12 is performed manually, but a configuration in which a drive source is provided to move the reference object 12 mechanically may be used. At this time, a camera for photographing the measurement object 11 may be provided from above, and the operator may operate the rotating clamp 92 and the support arm 93 to move the reference object 12 while viewing the photographed image of the camera. An appropriate space may be detected by analyzing an image captured by the camera, and the reference object 12 may be automatically moved to the detected space.

（１４）上記実施形態では、基準物１２の３次元画像から基準物１２の直径を計測するが、２次元Ｘ線画像から基準物１２の直径を計測してもよい。例えば、最終ショットを含む回転撮影の終盤に撮影された２次元Ｘ線画像を用いることができる。予めＸ線の照射開始からＸ線の揺らぎが生じるまでの期間をＸ線の強度ごとにサンプリングしておき、実際の回転撮影において当該期間の経過後に撮影された２次元Ｘ線画像を用いて基準物１２の直径を計測してもよい。 (14) In the above embodiment, the diameter of the reference object 12 is measured from the three-dimensional image of the reference object 12, but the diameter of the reference object 12 may be measured from the two-dimensional X-ray image. For example, a two-dimensional X-ray image captured at the end of the rotation imaging including the final shot can be used. A period from the start of X-ray irradiation to the occurrence of X-ray fluctuation is sampled in advance for each X-ray intensity, and a reference is made using two-dimensional X-ray images taken after the elapse of the period in actual rotational imaging. The diameter of the object 12 may be measured.

１０…放射線画像撮影装置、１１…測定物、１２…基準物、１４…ステージ装置、１５…Ｘ線照射器、１６…Ｘ線検出器、２１…回転駆動部、５２…支持機構、６７…回転リング部、６９…ノッチ機構、７６…溝部、９１…支持ベース、９２…回動クランプ、９３…支持アーム、９５ｂ…壁部、９６…貫通孔、１０１…クランプねじ、１０２…傾斜面。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Radiation image imaging device, 11 ... Measurement object, 12 ... Reference object, 14 ... Stage device, 15 ... X-ray irradiator, 16 ... X-ray detector, 21 ... Rotation drive part, 52 ... Support mechanism, 67 ... Rotation Ring part, 69 notch mechanism, 76 groove, 91 support base, 92 rotating clamp, 93 support arm, 95b wall part, 96 through hole, 101 clamp screw, 102 inclined surface.

Claims (8)

測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は、前記設置部の設置面の上方に前記基準物を配置可能に構成されており、
前記調整部は、前記設置面の上方において前記基準物の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする放射線画像撮影装置。 An installation unit on which a measurement object is installed, a radiation source that irradiates radiation toward the measurement object, an imaging unit that captures a radiation image based on the radiation transmitted through the measurement object, the measurement object and the radiation And a rotating mechanism for relatively rotating the, the radiographic image capturing apparatus that captures the radiation image at each rotational position by the capturing unit while performing the rotation by the rotating mechanism,
Reference material,
The reference object is arranged to support the reference object so as to be included in each radiation image, and the reference object and the measurement object regardless of the rotation of the rotation mechanism during the imaging period of the radiation image. A support portion capable of fixing the relative position of
An adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object,
With
The support portion is Ri fixable der the relative position between the reference object and the measured object at the position of the reference object which is adjusted by the adjustment unit,
The support unit is configured to be able to arrange the reference object above an installation surface of the installation unit,
The said adjustment part is comprised so that adjustment of the position of the said reference | standard object above the said installation surface is possible, The radiographic imaging device characterized by the above-mentioned . 前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、
前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、
を備えていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像撮影装置。 The support unit includes a support arm that supports the reference object,
The adjustment unit is
Turning means for turning the support arm in a plane intersecting an installation plane of the installation section,
Changing means for changing the distance between the reference object and the rotation axis of the support arm,
The radiation image capturing apparatus according to claim 1 , further comprising: 前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、
前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、
を備え、
前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、
前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、
前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像撮影装置。 The support unit includes a support arm that supports the reference object,
The adjustment unit is
A first support for supporting the support arm so as to be able to advance and retreat in a length direction;
A second support for rotatably supporting the first support;
With
The first support includes a clamp unit that can clamp the support arm and hold an advance / retreat position of the support arm,
The second support is provided with a pair of pressing portions capable of holding the rotation angle of the first support by clamping the first support,
The first support is disposed between the pair of pressing portions of the second support so that a tightening force of the pair of pressing portions acts in a clamping direction of the clamp. The radiation image capturing apparatus according to claim 1 , wherein 測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、
前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、
を備えていることを特徴とする放射線画像撮影装置。 An installation unit on which a measurement object is installed, a radiation source that irradiates radiation toward the measurement object, an imaging unit that captures a radiation image based on the radiation transmitted through the measurement object, the measurement object and the radiation And a rotating mechanism for relatively rotating the, the radiographic image capturing apparatus that captures the radiation image at each rotational position by the capturing unit while performing the rotation by the rotating mechanism,
Reference material,
The reference object is arranged to support the reference object so as to be included in each radiation image, and the reference object and the measurement object regardless of the rotation of the rotation mechanism during the imaging period of the radiation image. A support portion capable of fixing the relative position of
An adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object,
With
The support portion is Ri fixable der the relative position between the reference object and the measured object at the position of the reference object which is adjusted by the adjustment unit,
The support unit includes a support arm that supports the reference object,
The adjustment unit is
Turning means for turning the support arm in a plane intersecting an installation plane of the installation section,
Changing means for changing the distance between the reference object and the rotation axis of the support arm,
Radiographic imaging apparatus characterized in that it comprises. 測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、
前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、
を備え、
前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、
前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、
前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする放射線画像撮影装置。 An installation unit on which a measurement object is installed, a radiation source that irradiates radiation toward the measurement object, an imaging unit that captures a radiation image based on the radiation transmitted through the measurement object, the measurement object and the radiation And a rotating mechanism for relatively rotating the, the radiographic image capturing apparatus that captures the radiation image at each rotational position by the capturing unit while performing the rotation by the rotating mechanism,
Reference material,
The reference object is arranged to support the reference object so as to be included in each radiation image, and the reference object and the measurement object regardless of the rotation of the rotation mechanism during the imaging period of the radiation image. A support portion capable of fixing the relative position of
An adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object,
With
The support portion is Ri fixable der the relative position between the reference object and the measured object at the position of the reference object which is adjusted by the adjustment unit,
The support unit includes a support arm that supports the reference object,
The adjustment unit is
A first support for supporting the support arm so as to be able to advance and retreat in a length direction;
A second support for rotatably supporting the first support;
With
The first support includes a clamp unit that can clamp the support arm and hold an advance / retreat position of the support arm,
The second support is provided with a pair of pressing portions capable of holding the rotation angle of the first support by clamping the first support,
The first support is disposed between the pair of pressing portions of the second support so that a tightening force of the pair of pressing portions acts in a clamping direction of the clamp. Radiation image capturing apparatus. 前記支持アームには、当該支持アームの長さ方向に対して斜めに交差する傾斜面が設けられており、
前記基準物は、前記支持アームの前記傾斜面に設置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の放射線画像撮影装置。 The support arm is provided with an inclined surface obliquely intersecting the length direction of the support arm,
The reference object is a radiographic imaging apparatus according to claim 4 or 5, characterized in that it is installed on the inclined surface of the support arm. 前記支持部のうち少なくとも各放射線画像に含まれる部分の放射線吸収率が前記基準物及び前記測定物の放射線吸収率よりも低いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の放射線画像撮影装置。 The radiation absorptivity of a portion included in at least the radiation image of the support portion according to any one of claims 1 to 6, characterized in that less than radiation absorptivity of the reference object and the measured object Radiation imaging device. 測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部を前記設置部の周方向に移動可能な移動手段と、
前記移動手段により移動された前記支持部の位置を保持する保持手段と、
を備えていることを特徴とする放射線画像撮影装置。 An installation unit on which a measurement object is installed, a radiation source that irradiates radiation toward the measurement object, an imaging unit that captures a radiation image based on the radiation transmitted through the measurement object, the measurement object and the radiation And a rotating mechanism for relatively rotating the, the radiographic image capturing apparatus that captures the radiation image at each rotational position by the capturing unit while performing the rotation by the rotating mechanism,
Reference material,
The reference object is arranged to support the reference object so as to be included in each radiation image, and the reference object and the measurement object regardless of the rotation of the rotation mechanism during the imaging period of the radiation image. A support portion capable of fixing the relative position of
An adjustment unit that adjusts the position of the reference object with respect to the measurement object,
With
The support portion is Ri fixable der the relative position between the reference object and the measured object at the position of the reference object which is adjusted by the adjustment unit,
Moving means capable of moving the support portion in a circumferential direction of the installation portion,
Holding means for holding the position of the support portion moved by the moving means,
Radiographic imaging apparatus characterized in that it comprises.
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